JP5022381B2 - 電子部品試験装置及び電子部品の試験方法 - Google Patents
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Description
上記発明においては特に限定されないが、前記電子部品試験装置は、前記搬出手段による前記テスト部から前記アンソーク部への前記トレイの搬送の異常を検出する検出手段と、前記搬出手段の動作制御を行う制御手段と、をさらに備え、前記制御手段は、前記検出手段が前記トレイの搬送の異常を検出した場合に、前記搬出手段が前記逆転方向に前記トレイを搬送させるように、前記搬出手段を制御することが好ましい(請求項6参照)。
上記発明においては特に限定されないが、前記搬出手段が前記逆転方向に前記トレイを搬送した場合に、前記トレイが所定位置に戻ったか否かを認識する認識手段をさらに備えることが好ましい(請求項7参照)。
上記発明においては特に限定されないが、前記制御手段は、前記認識手段が前記所定位置に前記トレイが戻ったと認識した場合に、前記搬出手段が前記トレイを前記所定方向に搬送するように、前記搬出手段を制御することが好ましい(請求項8参照)。
100…チャンバ部
101…装置基台
102…トレイ搬送装置
110…ソークチャンバ
111…垂直搬送装置
119…トレイ搬入装置
119b:当接部
119c…起立部
120…テストチャンバ
126…搬送ベルト
130…アンソークチャンバ
131…トレイ搬出装置
131b…当接部
131c…起立部
132…垂直搬送装置
200…格納部
300…ローダ部
400…アンローダ部
5…テストヘッド
9…搬送系
TST…テストトレイ
720…凹部
図4は本発明の実施形態に係る電子部品試験装置に用いられるICストッカを示す分解斜視図、図5は本発明の実施形態に係る電子部品試験装置に用いられるカスタマトレイを示す斜視図である。
図6は本発明の実施形態に係る電子部品試験装置に用いられるテストトレイを示す分解斜視図である。
図7は本発明の実施形態に係る電子部品試験装置のチャンバ部の内部を示す概略断面図、図8A〜図8Iは図7に示すチャンバ部のソークチャンバにおける垂直搬送装置をVIII方向から見た矢視図である。
本実施形態では、アンローダ部400にも、ローダ部300に設けられたデバイス搬送装置310と同一構造の搬送装置410が2台設けられており、このデバイス搬送装置410によって、アンローダ部400に運び出されたテストトレイTSTから試験済みのICデバイスが、試験結果に応じたカスタマトレイKSTに積み替えられる。
Claims (8)
- 被試験電子部品をトレイに搭載した状態で前記被試験電子部品をテストヘッドのコンタクト部に電気的に接触させて前記被試験電子部品のテストを行うための電子部品試験装置であって、
前記トレイを前記電子部品試験装置内で所定方向に循環搬送する搬送系と、
試験前の前記被試験電子部品に所定の熱ストレスを与えるソーク部と、
熱ストレスが与えられた前記被試験電子部品の試験を行うテスト部と、
を備え、
前記搬送系は、
前記ソーク部内に設けられ、前記トレイを前記テスト部に搬入する搬入手段と、
前記テスト部内に設けられ、前記トレイを搬送する搬送手段と、を有し、
前記搬入手段は、前記トレイを逆転方向に搬送することが可能であり、
前記搬入手段は、
前記トレイに当接して前記トレイを前記所定方向に搬送する第1の当接部と、
前記トレイを前記逆転方向に搬送する際、前記トレイに当接して前記トレイを前記逆転
方向に搬送する第2の当接部と、
を有する電子部品試験装置。 - 前記電子部品試験装置は、
前記搬入手段による前記ソーク部から前記テスト部への前記トレイの搬送の異常を検出する検出手段と、
前記搬入手段の動作制御を行う制御手段と、
をさらに備え、
前記制御手段は、前記検出手段が前記トレイの搬送の異常を検出した場合に、前記搬入手段が前記逆転方向に前記トレイを搬送させるように、前記搬入手段を制御する請求項1記載の電子部品試験装置。 - 前記搬入手段が前記逆転方向に前記トレイを搬送した場合に、前記トレイが所定位置に戻ったか否かを認識する認識手段をさらに備える請求項2記載の電子部品試験装置。
- 前記制御手段は、前記認識手段が前記所定位置に前記トレイが戻ったと認識した場合に、前記搬入手段が前記トレイを前記所定方向に搬送するように、前記搬入手段を制御する請求項3記載の電子部品試験装置。
- 被試験電子部品をトレイに搭載した状態で前記被試験電子部品をテストヘッドのコンタクト部に電気的に接触させて前記被試験電子部品のテストを行うための電子部品試験装置であって、
前記トレイを前記電子部品試験装置内で所定方向に循環搬送する搬送系と、
試験前の前記被試験電子部品に所定の熱ストレスを与えるソーク部と、
前記ソーク部において熱ストレスが与えられた前記被試験電子部品の試験を行うテスト部と、
試験済みの前記被試験電子部品に与えられた前記所定の熱ストレスを除くアンソーク部と、
を備え、
前記搬送系は、
前記テスト部内に設けられ、前記トレイを搬送する搬送手段と、
前記アンソーク部内に設けられ、前記トレイを前記テスト部から搬出する搬出手段と、
を有し、
前記搬出手段は、前記トレイを逆転方向に搬送することが可能であり、
前記搬出手段は、
前記トレイに当接して前記トレイを前記所定方向に搬送する第1の当接部と、
前記トレイを前記逆転方向に搬送する際、前記トレイに当接して前記トレイを前記逆転方向に搬送する第2の当接部と、
を有する電子部品試験装置。 - 前記電子部品試験装置は、
前記搬出手段による前記テスト部から前記アンソーク部への前記トレイの搬送の異常を検出する検出手段と、
前記搬出手段の動作制御を行う制御手段と、
をさらに備え、
前記制御手段は、前記検出手段が前記トレイの搬送の異常を検出した場合に、前記搬出手段が前記逆転方向に前記トレイを搬送させるように、前記搬出手段を制御する請求項5記載の電子部品試験装置。 - 前記搬出手段が前記逆転方向に前記トレイを搬送した場合に、前記トレイが所定位置に戻ったか否かを認識する認識手段をさらに備える請求項6記載の電子部品試験装置。
- 前記制御手段は、前記認識手段が前記所定位置に前記トレイが戻ったと認識した場合に、前記搬出手段が前記トレイを前記所定方向に搬送するように、前記搬出手段を制御する請求項7記載の電子部品試験装置。
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