JP2022021239A - 電子部品ハンドリング装置及び電子部品試験装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は本実施形態における電子部品試験装置を示す斜視図である。図2は本実施形態における電子部品試験装置を示す断面図であり、図1のII-II線に沿った断面図である。図3は本実施形態におけるハンドラにおけるテストトレイの流れを示す図である。
5A~5D…テストヘッド
10,10B~10D…ハンドラ
20A,20B…ローダユニット、アンローダユニット
30…トレイ格納部
40A,40B…ローダ部、アンローダ部
42…姿勢変換装置
46…垂直搬送装置
50…トレイ搬送ユニット
51A~51D…装置フレーム
52…レール
53…ラックギア
54…移動部
55…トレイ保持装置
56…駆動装置
561…回転モータ
564…ピニオンギア
60A~60D…コンタクトユニット
61…アクセス部
62…熱印加部
621A~621D…温度調整装置
63…押圧部
63a…開口
631…押圧装置
64…熱除去部
65…第1の垂直搬送装置
66…第1の水平搬送装置
67…第2の垂直搬送装置
68…第2の水平搬送装置
100…カスタマトレイ
110…テストトレイ
200…DUT
Claims (20)
- DUTをハンドリングする電子部品ハンドリング装置であって、
テスタに接続されたテストヘッドがそれぞれ装着される複数のコンタクトユニットを備え、
それぞれの前記コンタクトユニットは、他の前記コンタクトユニットとは独立して、前記DUTの温度を調整可能であると共に、前記テストヘッドに設けられたソケットに前記DUTを押圧可能であり、
前記電子部品ハンドリング装置は、前記コンタクトユニットを増設又は減設することが可能なように構成されている電子部品ハンドリング装置。 - 請求項1に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記電子部品ハンドリング装置は、
前記DUTを第1のトレイと第2のトレイとの間で移載するDUT移載部をそれぞれ備えた複数の移載ユニットと、
前記コンタクトユニットと前記移載ユニットとの間で前記第1のトレイを搬送するトレイ搬送ユニットと、を備えており、
前記コンタクトユニットは、前記第1のトレイに前記DUTを搭載した状態で、前記DUTを前記ソケットに押圧する電子部品ハンドリング装置。 - 請求項2に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記トレイ搬送ユニットは、前記第1のトレイを垂直状態で搬送する電子部品ハンドリング装置。 - 請求項3に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記トレイ搬送ユニットは、前記第1のトレイの主面に実質的に平行な方向に沿って、前記第1のトレイを搬送する電子部品ハンドリング装置。 - 請求項3又は4に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記トレイ搬送ユニットは、前記移載ユニットとの間で前記第1のトレイを垂直状態で受け渡すと共に、前記コンタクトユニットとの間でも前記第1のトレイを垂直状態で受け渡す電子部品ハンドリング装置。 - 請求項3~5のいずれか一項に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記複数のコンタクトユニットは、水平方向に実質的に平行な第1の方向に沿って並べられており、
前記トレイ搬送ユニットは、前記第1のトレイの主面が前記第1の方向に実質的に平行な状態で、前記第1のトレイを前記第1の方向に沿って搬送する電子部品ハンドリング装置。 - 請求項2~6のいずれか一項に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記トレイ搬送ユニットは、
前記複数のコンタクトユニットの配列方向である第1の方向に沿って設けられたレールと、
前記レール上を移動することが可能な移動部と、を備えており、
前記移動部は、前記第1のトレイを保持することが可能なトレイ保持装置を備えた電子部品ハンドリング装置。 - 請求項7に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記トレイ保持装置は、前記第1のトレイを垂直状態で保持することが可能である電子部品ハンドリング装置。 - 請求項8に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記トレイ保持装置は、前記第1のトレイの法線方向に沿って前記第1のトレイを移動させることで、前記第1のトレイを前記コンタクトユニットに搬入出する電子部品ハンドリング装置。 - 請求項8又は9に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記移動部は、前記トレイ保持装置を前記レール上で移動させる駆動装置を備えた電子部品ハンドリング装置。 - 請求項10に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記駆動装置は、ピニオンギアが取り付けられた回転軸を有する回転モータを含み、
前記トレイ搬送ユニットは、前記レールに併設され、前記ピニオンギアが咬合しているラックギアを備えた電子部品ハンドリング装置。 - 請求項1~11のいずれか一項に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記コンタクトユニットは、
前記DUTに熱ストレスを印加する熱印加部と、
前記DUTを前記ソケットに押圧する押圧部と、
前記DUTから前記熱ストレスを除去する熱除去部と、を備え、
前記熱印加部、前記押圧部、及び、前記熱除去部は、垂直方向に沿って並べられており、
前記熱印加部は、前記押圧部よりも下方に配置され、
前記熱除去部は、前記押圧部よりも上方に配置されている電子部品ハンドリング装置。 - 請求項12に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記コンタクトユニットは、前記第1のトレイを前記熱印加部から前記押圧部に移動させると共に、前記第1のトレイを前記押圧部から前記熱除去部に移動させる第1のトレイ移動装置を備えた電子部品ハンドリング装置。 - 請求項12又は13に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記第1のトレイ移動装置は、前記第1のトレイの長手方向に沿って前記第1のトレイを移動させる電子部品ハンドリング装置。 - 請求項13又は14に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記押圧部は、前記第1のトレイを垂直とした状態で前記DUTを前記ソケットに向かって水平方向に押圧する押圧装置を備えており、
前記第1のトレイ移動装置は、前記第1のトレイを垂直状態で移動させ、
前記コンタクトユニットは、
前記熱印加部において、前記第1のトレイの法線方向である第2の方向に沿って、前記第1のトレイを垂直状態で移動させる第2のトレイ移動装置と、
前記熱除去部において、前記第2の方向とは反対の第3の方向に沿って、前記第1のトレイを垂直状態で移動させる第3のトレイ移動装置と、を備えた電子部品ハンドリング装置。 - 請求項11~15のいずれか一項に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記コンタクトユニットは、前記第1のトレイを前記コンタクトユニットから出し入れ可能なアクセス部を備え、
前記熱除去部、前記アクセス部、及び、前記熱印加部は、垂直方向に沿って並べられており、
前記熱印加部は、前記アクセス部よりも下方に配置され、
前記熱除去部は、前記アクセス部よりも上方に配置されており、
前記トレイ搬送ユニットは、前記アクセス部を介して前記第1のトレイを垂直状態で前記コンタクトユニットに搬入出する電子部品ハンドリング装置。 - 請求項16に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記コンタクトユニットは、前記第1のトレイを垂直状態で前記熱除去部から前記アクセス部に移動させると共に、前記第1のトレイを垂直状態で前記アクセス部から前記熱印加部に移動させる第4のトレイ移動装置を備えた電子部品ハンドリング装置。 - 請求項2~17のいずれか一項に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記複数の移載ユニットは、
未試験の前記DUTを前記第2のトレイから前記第1のトレイに移載するローダ部を備えたローダユニットと、
試験済みの前記DUTを前記第1のトレイから前記第2のトレイに移載するアンローダ部を備えたアンローダユニットと、を含む電子部品ハンドリング装置。 - 請求項2~18のいずれか一項に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記移載ユニットは、前記第2のトレイを格納しているトレイ格納部を備えた電子部品ハンドリング装置。 - DUTを試験する電子部品試験装置であって、
請求項1~19のいずれか一項に記載の電子部品ハンドリング装置と、
前記コンタクトユニットに装着された複数のテストヘッドと、
前記テストヘッドに電気的に接続されたテスタと、を備えた電子部品試験装置。
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