KR101644481B1

KR101644481B1 - 테스트핸들러

Info

Publication number: KR101644481B1
Application number: KR1020110130698A
Authority: KR
Inventors: 성기주
Original assignee: (주)테크윙
Priority date: 2011-12-08
Filing date: 2011-12-08
Publication date: 2016-08-02
Also published as: CN103163446A; CN104841639B; CN103163446B; KR20130064204A; TWI549216B; TW201324666A; CN104841639A

Abstract

본 발명은 테스트핸들러에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 정지장치 또는 제2 이송장치를 통해 테스트챔버에서 디소크챔버로 이송되는 테스트트레이가 요구되는 정지위치에 정확히 정지될 수 있도록 하는 기술이 개시된다.

Description

테스트핸들러{TEST HANDLER}

본 발명은 생산된 반도체소자를 출하하기에 앞서 이루어지는 반도체소자의 테스트에 지원되는 테스트핸들러에 관한 것이다.

테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자가 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하며, 테스트 결과에 따라 반도체소자를 등급별로 분류하여 고객트레이에 적재하는 기기이다.

도1은 본 발명에 따른 테스트핸들러를 포함하는 일반적인 테스트핸들러(100)를 평면에서 바라본 개념도로서 이를 참조하면, 테스트핸들러(100)는 테스트트레이(110), 로딩장치(120), 소크챔버(130, SOAK CHAMBER), 테스트챔버(140, TEST CHAMBER), 디소크챔버(150, DESOAK CHAMBER), 언로딩장치(160) 등을 포함하여 구성된다.

테스트트레이(110)는, 도2에서 참조되는 바와 같이 반도체소자(D)가 적재될 수 있는 복수의 인서트(111)가 프레임(112)에 고정 설치되며, 다수의 이송장치(미도시)에 의해 도1에서 참조되는 바와 같은 정해진 폐쇄경로(C)를 따라 순환한다. 참고로 인서트(111)면과 프레임(112)면은 단차를 가진다(프레임면이 인서트면보다 도면상의 지면에서 더 튀어 나오는 단차임).

로딩장치(120)는 고객트레이에 적재되어 있는 미테스트된 반도체소자(D)를 로딩위치(LP : LOADING POSITION)에 있는 테스트트레이로 이동시킨다.

소크챔버(130)는 로딩위치(LP)로부터 이송되어 온 테스트트레이(110)에 적재되어 있는 반도체소자(D)를, 테스트되기에 앞서, 테스트 환경 조건에 따라 예열(豫熱) 또는 예냉(豫冷)시키기 위해 마련된다.

테스트챔버(140)는 소크챔버(130)에서 예열 또는 예냉된 후 테스트위치(TP : TEST POSITION)로 이송되어 온 테스트트레이(110)의 인서트(111)에 적재되어 있는 반도체소자(D)가 테스트될 수 있도록 지원하기 위해 마련된다. 그리고 반도체소자를 테스트하는 테스터(TESTER)는 테스트챔버(140) 측으로 테스트핸들러(100)에 결합된다.

디소크챔버(150)는 테스트챔버(140)로부터 이송되어 온 테스트트레이(110)에 적재되어 있는 가열 또는 냉각된 반도체소자를 상온(常溫)으로 회귀시키기 위해 마련된다.

언로딩장치(160)는 디소크챔버(160)로부터 언로딩위치(UP : UNLOADING POSITION)로 이송되어 온 테스트트레이(110)에 적재되어 있는 반도체소자를 테스트 등급별로 분류하여 빈 고객트레이로 언로딩(UNLOADING)시킨다.

이상에서 설명한 바와 같이, 반도체소자(D)는 테스트트레이(110)에 적재된 상태로 로딩위치(LP)로부터 소크챔버(130), 테스트챔버(140), 디소크챔버(150) 및 언로딩위치(UP)를 거쳐 다시 로딩위치(LP)로 이어지는 폐쇄경로(C)를 따라 순환한다.

위와 같은 기본적인 테스트트레이의 순환경로를 가지는 테스트핸들러(100)는 테스트트레이(110)가 수평인 상태에서 로딩되어 있는 반도체소자의 테스트가 이루어지는 언더헤드도킹식(UNDER HEAD DOCKING TYPE) 테스트핸들러와 테스트트레이(110)가 수직인 상태에서 로딩되어 있는 반도체소자의 테스트가 이루어지는 사이드도킹식(SIDE DOCKING TYPE) 테스트핸들러로 나뉜다. 따라서 사이드도킹방식의 테스트핸들러(100)의 경우에는 반도체소자의 로딩이 완료된 수평상태의 테스트트레이를 수직상태로 자세를 변환시키거나 테스트가 완료된 반도체소자의 언로딩을 위해 수직상태의 테스트트레이를 수평상태로 자세를 변환시키기 위한 자세변환장치가 하나 또는 두 개가 구비되어야 한다.

계속하여 본 발명과 관련된 테스트트레이 이송장치에 대하여 설명한다.

상기한 바와 같이 테스트트레이(110)는 정해진 폐쇄경로(C)를 따라 순환하게 되는 데, 이러한 테스트트레이(110)의 순환을 위해 테스트핸들러(100)에는 다수의 이송장치들이 구비되어야 한다. 그러한 다수의 이송장치들에 의한 이송기술 중 본 발명은 특히 적재된 반도체소자의 테스트가 완료된 테스트트레이(110)를 디소크챔버(150) 내의 요구되는 위치로 이송시키는 기술과 관계한다.

대개의 경우 소크챔버(130)에서 테스트챔버(140)로 테스트트레이(110)를 이송시키는 이송장치(이하 '제1 이송장치'라 함)와 적재된 반도체소자의 테스트가 완료된 테스트트레이(110)를 디소크챔버(150) 내의 요구되는 위치로 이송시키기 위한 이송장치(이하 '제2 이송장치'라 함)는 서로 기구적으로 동일한 구성을 가지고 있으며, 일 예로 대한민국 공개특허 10-2008-0082591호(발명의 명칭 : 테스트핸들러용 트레이이송장치, 이하 '선행기술'이라 함)에 제시되어 있는 트레이이송장치를 들 수 있다.

계속하여 도3을 참조하여 폐쇄경로(C) 중 소크챔버(130)에서 테스트챔버(140) 및 디소크챔버(150)로 이어지는 경로에서 이루어지는 테스트트레이(110)의 이송방법에 대하여 설명한다. 참고로 도3은 소크챔버(130)에서 테스트챔버(140) 및 디소크챔버(150)로 이어지는 경로상에서 테스트트레이(110)가 수직으로 세워진 상태로 이송되는 사이드도킹식 테스트핸들러의 예를 도시하고 있다(언도헤드도킹식 테스트핸들러의 경우에도 동일 함).

먼저 도3의 (a)에서 참조되는 바와 같이 소크챔버(130)에 있는 테스트트레이(110A)는 제1 이송장치(170)에 의해 도3의 (b)에서 참조되는 바와 같이 테스트챔버(140)로 이송된다. 그리고 도3의 (b)와 같은 상태에서 부호 110A의 테스트트레이에 적재된 반도체소자에 대한 테스트가 이루어질 때, 부호 110A의 테스트트레이를 뒤따르는 부호 110B의 테스트트레이는 테스트챔버(140)로 이송되어질 위치로 이송된 상태에서 대기하게 된다.

차후 부호 110A의 테스트트레이에 적재된 반도체소자에 대한 테스트가 완료되면, 도3의 (c)에서 참조되는 바와 같이 제1 이송장치(170)는 부호 110B의 테스트트레이를 테스트챔버로 이송시키며, 이 때, 부호 110B의 테스트트레이에 의해 부호 110A의 테스트트레이가 밀리면서 디소크챔버(150) 측으로 소정 거리 이송되어 정지위치(SP)에 위치하게 된다.

이어서 도3의 (d)에서 참조되는 바와 같이 제2 이송장치(180)가 부호 110A의 테스트트레이를 디소크챔버(150) 내의 요구되는 설정위치(RP)로 이송시킨다.

위와 같이 제1 이송장치(170)는 테스트챔버(140)에서 디소크챔버(150) 측으로 이송되는 테스트트레이(110)의 이송에 대해 어느 정도 관여하게 된다.

물론 제1 이송장치(170)와 제2 이송장치(180)는 챔버(소크챔버, 테스트챔버, 디소크챔버) 내부에 존재할 수 도 있고, 일부 구성은 챔버 밖에 있고 다른 일부 구성은 챔버 내에 존재할 수 도 있다. 즉, 장비 구성에 맞는 구조를 선택하면 족하다.

그런데, 위와 같은 방식으로 테스트챔버(140)에 있는 테스트트레이(110)를 디소크챔버(150)로 이송시키는 경우에, 과장된 도4의 (a)에서 참조되는 바와 같이 이동 관성에 의해 기타 이송장치 등에 파지되어 있지 않은 테스트트레이(110)가 정지위치(SP)에 정확히 정지하지 못하고 정지위치(SP)를 어느 정도 지나치게 되며, 이에 따라 제2 이송장치(180)에 의한 이송에 불량이 발생하게 된다. 따라서 도4의 (b)에서 참조되는 바와 같이 테스트트레이(110)가 정지위치(SP)에 정확히 위치된 상태로 정지될 수 있도록 스토퍼(190)와, 스토퍼(190)를 폐쇄경로 상에 위치시키거나 도4의 (c)에서 참조되는 바와 같이 스토퍼(190)를 폐쇄경로 상으로부터 벗어나게 작동시키는 별도의 작동기구를 구비하고 있다.

그러나 도4에서와 같이 스토퍼(190)를 구성시키는 경우에도, 도5에서 참조되는 바와 같이 부호 110B의 테스트트레이가 스토퍼(190)의 반작용력에 의해 테스트챔버(140) 측 방향으로 최대 1mm 정도 이동하게 되고, 이에 따라 부호 110B의 테스트트레이도 테스트위치(TP)에서 소크챔버(130) 측으로 이동하게 된다. 물론, 부호 110B의 테스트트레이는 제1 이송장치(170)에 의해 파지된 상태이지만, 제1 이송장치(170) 의 파지에 필요한 정도 내의 공차 등에서 발생하는 유격에 의해, 부호 110B의 테스트트레이도 그 유격만큼 소크챔버(130) 측 방향으로 이동하게 되는 것이다. 이렇게 되는 경우 부호 110B의 테스트트레이는 정확한 테스트위치를 벗어나게 되기 때문에, 부호 110B의 테스트트레이와 테스터(TESTER)가 정확하게 정합하지 못하게 되어 반도체소자(D), 인서트(111) 또는 부호 110B의 테스트트레이에 손상을 주는 경우가 발생한다.

따라서 본 발명의 목적은 제1 이송장치에 의해 테스트챔버에서 디소크챔버 측으로 이송되는 테스트트레이를 정지위치에서 견고하게 잡아줄 수 있는 기술을 제공하는 것이다.

상기한 바와 같은 본 발명의 일 형태에 따른 테스트핸들러는, 반도체소자가 적재될 수 있으며, 폐쇄경로를 따라 순환하는 테스트트레이; 고객트레이에 있는 미테스트된 반도체소자를 로딩위치에 있는 상기 테스트트레이로 이동시키는 로딩장치; 로딩위치로부터 이송되어 온 상기 테스트트레이에 적재되어 있는 반도체소자를, 테스트되기에 앞서, 테스트 환경조건에 따라 예열 또는 예냉시키기 위해 마련되는 소크챔버; 소크챔버에서 예열 또는 예냉된 후 테스트위치로 이송되어 온 상기 테스트트레이에 적재되어 있는 반도체소자가 테스트될 수 있도록 지원하기 위해 마련되는 테스트챔버; 테스트챔버로부터 이송되어 온 상기 테스트트레이에 적재되어 있는 반도체소자를 상온으로 회귀시키기 위해 마련되는 디소크챔버; 디소크챔버로부터 언로딩위치로 이송되어 온 상기 테스트트레이에 적재되어 있는 반도체소자를 빈 고객트레이로 이동시키는 언로딩장치; 상기 소크챔버에 있는 상기 테스트트레이를 상기 테스트챔버로 이송시키는 제1 이송장치; 적재된 반도체소자의 테스트가 완료된 후 상기 제1 이송장치의 작동에 따라 상기 테스트챔버로부터 디소크챔버 측으로 이송되는 상기 테스트트레이를 요구되는 정지위치에 정지시키는 정지장치; 및 상기 정지장치에 의해 정지된 상기 테스트트레이를 정지위치에서 디소크챔버 내의 요구되는 설정위치까지 이송시키는 제2 이송장치; 를 포함하고, 상기 정지장치는, 상기 테스트트레이를 요구되는 정지위치에 정지시키는 스토퍼; 상기 스토퍼와의 충돌 시 상기 스토퍼에 의한 반작용력에 의해 이송 방향과 반대 방향으로 되돌아가려는 상기 테스트트레이를 잡아주는 락커; 상기 제2 이송장치에 의해 상기 테스트트레이가 정지위치에서 설정위치로 이송 가능하도록, 상기 락커가 상기 테스트트레이를 잡고 있는 상태를 해제시키는 해제기; 및 상기 스토퍼를 폐쇄경로 상에 위치시키거나 폐쇄경로 상으로부터 벗어나게 작동시키는 작동기; 를 포함한다.

상기 해제기는 상기 작동기가 동작함에 따라, 상기 스토퍼가 폐쇄경로 상으로부터 벗어나는 작동에 연동하여 상기 락커가 상기 테스트트레이를 잡고 있는 상태를 해제시킨다.

상기 작동기는, 회전 가능하게 구비되는 회전부재; 및 상기 회전부재를 회전시키는 구동원; 을 포함하고, 상기 스토퍼는 상기 회전부재의 회전에 연동하여 상기 회전부재와 함께 회전함으로써 폐쇄경로 상에 위치하거나 폐쇄경로 상으로부터 벗어나도록 상기 회전부재에 고정되며, 상기 해제기는 상기 회전부재의 회전에 연동하여 상기 회전부재와 함께 회전함으로써 상기 스토퍼가 상기 폐쇄경로 상으로부터 벗어날 때 상기 락커가 상기 테스트트레이를 잡고 있는 상태를 해제시키도록 상기 회전부재에 고정되게 마련된다.

상기 락커는, 회전 가능하게 구비됨으로써, 회전 상태에 따라 상기 테스트트레이를 잡아주거나 상기 테스트트레이를 잡고 있는 상태를 해제시키는 락킹부재; 및 상기 락킹부재가 상기 테스트트레이를 잡아 주는 상태로 회전되어 있도록 탄성력을 가하는 탄성부재; 를 포함하고, 상기 해제기는 상기 락킹부재가 상기 테스트트레이를 잡고 있는 상태를 해제시키는 방향으로 회전시킨다.

또한, 상기한 바와 같은 본 발명의 다른 형태에 따른 테스트핸들러는, 반도체소자가 적재될 수 있으며, 폐쇄경로를 따라 순환하는 테스트트레이; 고객트레이에 있는 미테스트된 반도체소자를 로딩위치에 있는 상기 테스트트레이로 이동시키는 로딩장치; 로딩위치로부터 이송되어 온 상기 테스트트레이에 적재되어 있는 반도체소자를 테스트되기에 앞서 테스트 환경조건에 따라 예열 또는 예냉시키기 위해 마련되는 소크챔버; 소크챔버에서 예열 또는 예냉된 후 테스트위치로 이송되어 온 상기 테스트트레이에 적재되어 있는 반도체소자가 테스트될 수 있도록 지원하기 위해 마련되는 테스트챔버; 테스트챔버로부터 이송되어 온 상기 테스트트레이에 적재되어 있는 반도체소자를 상온으로 회귀시키기 위해 마련되는 디소크챔버; 디소크챔버로부터 언로딩위치로 이송되어 온 상기 테스트트레이에 적재되어 있는 반도체소자를 빈 고객트레이로 이동시키는 언로딩장치; 상기 소크챔버에 있는 상기 테스트트레이를 상기 테스트챔버로 이송시키는 제1 이송장치; 적재된 반도체소자의 테스트가 완료된 후 상기 제1 이송장치의 작동에 따라 상기 테스트챔버로부터 디소크챔버 측으로 이송되는 상기 테스트트레이를 디소크챔버 내의 요구되는 설정위치까지 이송시키는 제2 이송장치; 를 포함하고, 상기 제2 이송장치는, 상기 테스트트레이를 잡아주는 락커; 상기 락커를 상기 테스트트레이의 이송 방향으로 폐쇄경로 상의 설정위치까지 이동시키며, 상기 락커에 결합되어 있는 제1 이동기; 및 상기 제1 이동기를 상기 테스트트레이의 이송 방향과 수직한 방향으로 진퇴시킴으로써 상기 락커가 상기 테스트트레이를 잡는 상태로 되게 하거나 상기 락커가 상기 테스트트레이를 잡고 있는 상태를 해제시키는 제2 이동기; 를 포함한다.

상기 락커는, 상기 테스트트레이를 요구되는 정지위치에 정지시키는 스토퍼부; 및 상기 스토퍼부와의 충돌 시 상기 스토퍼에 의한 반작용력에 의해 이송 방향과 반대 방향으로 되돌아가려는 상기 테스트트레이를 잡아주는 락킹부; 를 포함한다.

상기 락킹부는, 회전 가능하게 구비됨으로써, 회전 상태에 따라 상기 테스트트레이를 잡아주거나 상기 테스트트레이를 잡고 있는 상태를 해제시키는 락킹부재; 및 상기 락킹부재가 상기 테스트트레이를 잡아 주는 상태로 회전되어 있도록 탄성력을 가하는 탄성부재; 를 포함한다.

위와 같은 본 발명에 따르면 테스트챔버에서 디소크챔버 측으로 이동하는 테스트트레이가 정지위치에 정확히 정지한 후 요구되는 설정위치로 이송될 수 있어서, 이송의 정확함이 담보되는 상승효과가 있을 뿐만 아니라, 뒤따르는 테스트트레이에 반작용력을 가하지 않기 때문에 뒤따르는 테스트트레이 등의 손상을 방지할 수 있는 효과가 있다.

도1 내지 5는 배경기술의 설명에 참조하기 위한 도면이다.
도6은 본 발명의 제1 실시에에 따른 테스트핸들러에 대한 개념적인 평면도이다.
도7은 도6의 테스트핸들러에 적용된 정지장치에 대한 개략적인 평면도이다.
도8a 내지 도8d는 도7의 정지장치에 대한 작동을 설명하는데 참조하기 위한 참조도이다.
도9는 본 발명의 제2 실시에에 따른 테스트핸들러에 대한 개념적인 평면도이다.
도10은 도9의 테스트핸들러에 적용된 제2 이송장치에 대한 개략적인 평면도이다.
도11a 내지 도11d는 도10의 제2 이송장치에 대한 작동을 설명하는데 참조하기 위한 참조도이다.

이하 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하되, 설명의 간결함을 위해 중복되는 설명은 가급적 생략하거나 압축한다.

<제1 실시예에 대한 설명>

도6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 사이드 도킹 방식의 테스트핸들러(600)에 대한 구성도이다.

본 실시예에 따른 테스트핸들러(600)는 테스트트레이(610), 로딩장치(620), 소크챔버(630), 테스트챔버(640), 디소크챔버(650), 언로딩장치(660), 제1 이송장치(670), 정지장치(680) 및 제2 이송장치(690) 등을 포함하여 구성된다.

상기한 구성들 중, 테스트트레이(610), 로딩장치(620), 소크챔버(630), 테스트챔버(640), 디소크챔버(650) 및 언로딩장치(660)는 배경기술에서의 설명으로 갈음한다.

제1 이송장치(670)는, 예를 들어 선행기술에서 제시된 트레이이송장치와 동일한 구성으로 구비될 수 있으며, 소크챔버(630)에 있는 테스트트레이(610)를 테스트챔버(640)로 이송시키기 위해 마련된다.

정지장치(680)는 적재된 반도체소자의 테스트가 완료된 후 제1 이송장치(670)의 작동에 따라 테스트챔버(640)로부터 디소크챔버(650) 측으로 이송(배경기술에서 도3에 대한 설명 부분 참조)되는 테스트트레이(610)를 요구되는 정지위치에 정지시키기 위해 마련되며, 도7a 및 도7b의 평면도에서 참조되는 바와 같이 스토퍼(681), 락커(682), 해제기(683) 및 작동기(684) 등을 포함하여 구성된다.

스토퍼(681)는, 테스트트레이(610)를 요구되는 정지위치에 정지시키기 위해 마련되는 것으로 테스트트레이(610)에 접촉되는 접촉부분(681a)은 접촉 충격을 완화하기 위해 연질의 실리콘으로 구성되는 것이 바람직하다. 그리고 스토퍼(681, 더 구체적으로는 접촉부분)는 작동기(684)의 작동상태에 따라 회전함으로써 테스트트레이(610)를 정지시키기 위해 폐쇄경로(C) 상에 위치하거나 테스트트레이(610)가 이송될 수 있도록 폐쇄경로(C)로부터 벗어나게 위치(도7b 참조)할 수 있게 구성된다.

락커(682)는, 테스트트레이(610)가 스토퍼(681)와 충돌할 시에 스토퍼(681)에 의한 반작용력에 의해 이송 방향과 반대 방향으로 되돌아가려는 테스트트레이(610)를 잡아주기 위해 마련되며, 락킹부재(682a)와 탄성부재(682b)로 구성된다.

락킹부재(682a)는, 평면에서 볼 때 대략 디귿(ㄷ)자 형상으로 구비되며, 도면상의 지면에 수직한 선을 회전축(빗금친 부분)으로 하여 회전 가능하게 구비된다. 이러한 락킹부재(682a)는 더 구체적으로 해제기(683)로부터 탄성부재(682b)의 탄성력을 극복하기 위한 외력을 받는 외력단(682a-1, 디긋자 형상 중 상측 직선 부분)과 테스트트레이(610)를 잡아주기 위해 테스트트레이(610)의 단차진 부분을 거는 걸음단(682a-2, 디긋자 형상 중 하측 직선 부분)을 포함한다. 여기서 걸음단(682a-2)의 경우에는, 테스트트레이(610)와 접촉되는 부분이 접촉 충격의 완화가 가능한 연질의 고무로 구성되는 것이 바람직하다.

탄성부재(682b)는, 토션스프링 등으로 구비될 수 있으며, 락킹부재(682a)가 테스트트레이(610)를 잡아 주는 상태로 회전되어 있도록 락킹부재(682a)에 탄성력을 가한다. 물론 실시하기에 따라서는 탄성부재가 일반적인 압축된 코일스프링을 사용할 수 도 있다. 이럴 경우 회전축(빗금친 부분)과 코일스프링과의 위치를 고려하여 설계해야 할 것이다.)

해제기(683)는 회전상태에 따라 락킹부재(682a)의 외력단(682a-1)에 탄성부재(682b)의 탄성력을 극복하기 위한 외력을 가하기 위해 마련된다.

작동기(684)는, 스토퍼(683)를 폐쇄경로(C) 상에 위치시키거나 폐쇄경로(C) 상으로부터 벗어나게 작동시키기 위해 마련되며, 회전부재(684a)와 구동원(684b)을 포함한다.

회전부재(684a)는, 도면상에서 지면에 수직한 방향으로 긴 막대형상이며, 도면상에서 지면에 수직한 선을 회전축으로 하여 회전가능하게 구비된다.

구동원(684b)은, 모터나 실린더 등으로 구비될 수 있으며, 회전부재(684a)를 소정 각도 정역 회전시키기 위해 마련된다.

한편, 작동기(684)의 회전부재(684a)에는 도면에서 참조되는 바와 같이 상기한 스토퍼(681) 및 해제기(683)가 결합되어 있다. 이로 인해 회전부재(684a)의 회전에 따라 스토퍼(681) 및 해제기(683)는 같은 방향으로 연동하여 함께 회전하게 된다. 따라서 스토퍼(681)가 폐쇄경로(C) 상으로부터 벗어나도록 회전하는 작동에 연동하여 해제기(683)도 회전하면서 락킹부재(682a)의 외력단(682a-1)에 외력을 가하여 탄성부재(682b)의 탄성력을 극복시키면서 락킹부재(682a)를 회전시킴으로써 락킹부재(682a)의 걸음단(682a-2)이 테스트트레이(610)를 잡고 있는 상태를 해제시킨다. 즉, 궁극적으로 스토퍼(681)와 락커(682)는 서로 연동하게 되는 것이다.

마지막으로 제2 이송장치(690)는, 예를 들어 선행기술의 트레이이송장치와 동일한 구성으로 구비될 수 있으며, 정지장치(680)에 의해 정지위치에 정지되어 있는 테스트트레이(610)를 정지위치에서 디소크챔버(650) 내의 요구되는 설정위치로 이송시키기 위해 마련된다.

계속하여 상기한 바와 같은 테스트핸들러(600)의 주요부위에 대한 작동을 도7을 참조하여 설명한다.

도8a 내지 도8c에서 참조되는 바와 같이 제1 이송장치(670)의 작동에 따라 테스트챔버(640) 내에 위치하던 테스트트레이(610)가 디소크챔버(650) 측으로 일정 구간 이송되어진다(배경기술의 설명 참조). 이 때, 도8b에서 참조되는 바와 같이 테스트트레이(610)의 프레임 우측 부분이 먼저 락킹부재(682a)의 걸음단(682a-2)에 접촉되면서 락킹부재(682a)가 탄성부재(682b)의 탄성력을 극복하고 반시계방향으로 약간 회전하다가, 도8c에서 참조되는 바와 같이 테스트트레이(610)의 프레임 우측단이 스토퍼(681)에 닿음과 함께 락킹부재(682a)의 걸음단(682a-2)도 테스트트레이(610)의 프레임 우측 부분과의 접촉이 해제되면서 탄성부재(682b)의 탄성력에 의해 락킹부재(682a)가 시계방향으로 회전하게 됨으로써 락킹부재(682a)의 걸음단(682a-2)이 테스트트레이(610)의 프레임 우측 부분을 걸게 된다. 이에 따라 테스트트레이(610)는 스토퍼(681)의 반작용력에도 불구하고 정지위치에 그대로 정지할 수 있게 되어서 현재 테스트챔버(640)에 위치하게 된 뒤따르는 테스트트레이(610)를 소크챔버(630) 측으로 미는 일이 발생하지 않게 된다.

차후 테스트트레이(610)의 지속된 이송을 위해, 도8d에서 참조되는 바와 같이 작동기(684)가 동작하여 회전부재(684a)가 반시계방향으로 회전하게 된다. 이에 따라 스토퍼(681) 및 해제기(683)가 반시계방향으로 함께 회전하면서 스토퍼(681)는 폐쇄경로(C)로부터 벗어나게 되고, 해제기(683)는 락킹부재(682a)의 외력단(682a-1)을 밀어 락킹부재(682a)가 탄성부재(682b)의 탄성력을 극복하면서 반시계방향으로 회전함으로써 락킹부재(682a)의 걸음단(682a-2)이 테스트트레이(610)를 잡아주고 있는 상태를 해제시키게 된다.

도8d와 같이 스토퍼(681)가 페쇄경로(C) 상으로부터 벗어나게 위치된 경우, 스토퍼(681), 락커(682), 해제기(683)는 테스트트레이(610)의 후방(테스트트레이가 위치된 지점에서 테스터 측 방향으로 정의 함)에 위치하게 된다.

그리고 제2 이송장치(690)가 작동하여 테스트트레이(610)를 설정위치로 이송시킨다.

<제2 실시예에 대한 설명>

도9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 사이드 도킹 방식의 테스트핸들러(900)에 대한 구성도이다.

본 실시예에 따른 테스트핸들러(900)는 테스트트레이(910), 로딩장치(920), 소크챔버(930), 테스트챔버(940), 디소크챔버(950), 언로딩장치(960), 제1 이송장치(970), 제2 이송장치(980) 등을 포함하여 구성된다.

상기한 구성들 중, 테스트트레이(910), 로딩장치(920), 소크챔버(930), 테스트챔버(940), 디소크챔버(950), 언로딩장치(960) 및 제1 이송장치(970)는 배경기술 및 제1 실시예에 대한 설명으로 갈음한다.

제2 이송장치(980)는 도10에서 참조되는 바와 같이 락커(981), 제1 이동기(982) 및 제2 이동기(983)를 포함하여 구성된다.

락커(981)는 테스트트레이(910)를 잡아주기 위해 마련되며, 스토퍼부(981a)와 락킹부(981b)를 포함한다.

스토퍼부(981a)는 테스트트레이(910)를 요구되는 정지위치에 정지시키기 위해 마련된다.

락킹부(981b)는 스토퍼부(981a)와 충돌 시 스토퍼부(981a)에 의한 반작용력에 의해 이송 방향과 반대 방향으로 되돌아가려는 테스트트레이(910)를 잡아주기 위해 마련되며, 락킹부재(981b-1)와 탄성부재(981b-2)를 포함하여 구성된다.

락킹부재(981b-1)는 도면상의 지면에 수직한 선을 회전축으로 하여 회전 가능하게 구비되며, 그 회전 상태에 따라 테스트트레이(910)를 걸거나 걸음을 해제함으로써 테스트트레이(910)를 잡아주거나 테스트트레이(910)를 잡고 있는 상태를 해제시킨다.

탄성부재(981b-2)는 락킹부재(981b-1)가 테스트트레이(910)를 잡아 주고 있는 상태로 회전되어 있도록 탄성력을 가한다.

제1 이동기(982)는, 바람직하게는 실린더로 구성될 수 있으며, 락커(981)를 테스트트레이(910)의 이송 방향으로 폐쇄경로(C) 상의 설정위치까지 이동시키며 일 측(실린더의 경우 피스톤로드의 끝단)이 락커(981)에 결합되어 있다.

제2 이동기(983)는, 바람직하게는 실린더로 구성될 수 있으며, 제1 이동기(982)를 테스트트레이(910)의 이송 방향과 수직한 방향으로 진퇴시킴으로써 제1 이동기(982)에 결합되어 있는 락커(981)가 테스트트레이(910)를 잡는 상태로 되게 하거나 테스트트레이(910)를 잡고 있는 상태를 해제시키게 한다. 물론, 실시하기에 따라서 제2 이동기는 락커와 테스트트레이를 함께 진퇴시키도록 구성하는 것도 가능하다.

계속하여 상기한 바와 같은 테스트핸들러(900)의 주요부위에 대한 작동을 도10을 참조하여 설명한다.

도11a 내지 도11c에서 참조되는 바와 같이 제1 이송장치(970)의 작동에 따라 테스트챔버(940) 내에 위치하던 테스트트레이(910)가 테스트챔버(940)에서 디소크챔버(950) 측으로 일정 구간 이송되어진다. 이 때, 도11b에서 참조되는 바와 같이 테스트트레이(910)의 프레임 우측 부분이 먼저 락킹부재(981b-1)에 접촉되면서 락킹부재(981b-1)가 탄성부재(981b-2)의 탄성력을 극복하고 시계방향으로 약간 회전하다가, 도11c에서 참조되는 바와 같이 테스트트레이(910)의 프레임 우측단이 스토퍼부(981a)에 닿음과 함께 락킹부재(981b-1)도 테스트트레이(910)의 프레임 우측 부분과의 접촉이 해제되면서 탄성부재(981a)의 탄성력에 의해 락킹부재(981b-1)가 반시계방향으로 회전하게 됨으로써 락킹부재(981b-1)가 테스트트레이(910)의 프레임 우측 부분을 걸게 된다.

차후 테스트트레이(910)의 지속된 이송을 위해, 도11d에서 참조되는 바와 같이 락킹부재(981b-1)가 테스트트레이(910)를 잡고 있는 상태에서 제1 이송기(982)가 동작하여 테스트트레이(910)를 설정위치로 이송시키고, 이어서 도11e에서 참조되는 바와 같이 제2 이송기(983)가 동작하여 제1 이동기(982) 및 제1 이동기(982)에 결합되어 있는 락커(981)를 테스트트레이(910)의 이송 방향과 수직한 방향으로 후퇴시킴으로써 락커(981)가 테스트트레이(910)를 잡고 있는 상태가 해제될 수 있도록 한다. 참고로 제2 이동기(983)가 제1 이동기(982) 및 락커(981)를 전진시키면 락커(981)가 테스트트레이(910)를 잡을 수 있는 상태로 되돌아가게 된다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.

600, 900 : 테스트핸들러
610, 910 : 테스트트레이
620, 920 : 로딩장치
630, 930 : 소크챔버
640, 940 : 테스트챔버
650, 950 : 디소크챔버
660, 960 : 언로딩장치
670, 970 : 제1 이송장치
680 : 정지장치
681 : 스토퍼
682 : 락커
682a : 락킹부재 682b : 탄성부재
683 : 해제기
684 : 작동기
684a : 회전부재 684b : 구동원
690, 980 : 제2 이송장치
981 : 락커
981a : 스토퍼부
981b : 락킹부
981b-1 : 락킹부재 981b-2 : 탄성부재
982 : 제1 이동기
983 : 제2 이동기

Claims

반도체소자가 적재될 수 있으며, 폐쇄경로를 따라 순환하는 테스트트레이;
고객트레이에 있는 미테스트된 반도체소자를 로딩위치에 있는 상기 테스트트레이로 이동시키는 로딩장치;
로딩위치로부터 이송되어 온 상기 테스트트레이에 적재되어 있는 반도체소자를, 테스트되기에 앞서, 테스트 환경조건에 따라 예열 또는 예냉시키기 위해 마련되는 소크챔버;
소크챔버에서 예열 또는 예냉된 후 테스트위치로 이송되어 온 상기 테스트트레이에 적재되어 있는 반도체소자가 테스트될 수 있도록 지원하기 위해 마련되는 테스트챔버;
테스트챔버로부터 이송되어 온 상기 테스트트레이에 적재되어 있는 반도체소자를 상온으로 회귀시키기 위해 마련되는 디소크챔버;
디소크챔버로부터 언로딩위치로 이송되어 온 상기 테스트트레이에 적재되어 있는 반도체소자를 빈 고객트레이로 이동시키는 언로딩장치;
상기 소크챔버에 있는 상기 테스트트레이를 상기 테스트챔버로 이송시키는 제1 이송장치;
적재된 반도체소자의 테스트가 완료된 후 상기 제1 이송장치의 작동에 따라 상기 테스트챔버로부터 디소크챔버 측으로 이송되는 상기 테스트트레이를 요구되는 정지위치에 정지시키는 정지장치; 및
상기 정지장치에 의해 정지된 상기 테스트트레이를 정지위치에서 디소크챔버 내의 요구되는 설정위치까지 이송시키는 제2 이송장치; 를 포함하고,
상기 정지장치는,
상기 테스트트레이를 요구되는 정지위치에 정지시키는 스토퍼;
상기 스토퍼와의 충돌 시 상기 스토퍼에 의한 반작용력에 의해 이송 방향과 반대 방향으로 되돌아가려는 상기 테스트트레이를 잡아주는 락커;
상기 제2 이송장치에 의해 상기 테스트트레이가 정지위치에서 설정위치로 이송 가능하도록, 상기 락커가 상기 테스트트레이를 잡고 있는 상태를 해제시키는 해제기; 및
상기 스토퍼를 폐쇄경로 상에 위치시키거나 폐쇄경로 상으로부터 벗어나게 작동시키는 작동기; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러.
제1항에 있어서,
상기 해제기는 상기 작동기가 동작함에 따라, 상기 스토퍼가 폐쇄경로 상으로부터 벗어나는 작동에 연동하여 상기 락커가 상기 테스트트레이를 잡고 있는 상태를 해제시키는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러.
제1항에 있어서,
상기 작동기는,
회전 가능하게 구비되는 회전부재; 및
상기 회전부재를 회전시키는 구동원; 을 포함하고,
상기 스토퍼는 상기 회전부재의 회전에 연동하여 상기 회전부재와 함께 회전함으로써 폐쇄경로 상에 위치하거나 폐쇄경로 상으로부터 벗어나도록 상기 회전부재에 고정되며,
상기 해제기는 상기 회전부재의 회전에 연동하여 상기 회전부재와 함께 회전함으로써 상기 스토퍼가 상기 폐쇄경로 상으로부터 벗어날 때 상기 락커가 상기 테스트트레이를 잡고 있는 상태를 해제시키도록 상기 회전부재에 고정되게 마련되는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러.
제1항에 있어서,
상기 락커는,
회전 가능하게 구비됨으로써, 회전 상태에 따라 상기 테스트트레이를 잡아주거나 상기 테스트트레이를 잡고 있는 상태를 해제시키는 락킹부재; 및
상기 락킹부재가 상기 테스트트레이를 잡아 주는 상태로 회전되어 있도록 탄성력을 가하는 탄성부재; 를 포함하고,
상기 해제기는 상기 락킹부재가 상기 테스트트레이를 잡고 있는 상태를 해제시키는 방향으로 회전시키는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러.
반도체소자가 적재될 수 있으며, 폐쇄경로를 따라 순환하는 테스트트레이;
고객트레이에 있는 미테스트된 반도체소자를 로딩위치에 있는 상기 테스트트레이로 이동시키는 로딩장치;
로딩위치로부터 이송되어 온 상기 테스트트레이에 적재되어 있는 반도체소자를 테스트되기에 앞서 테스트 환경조건에 따라 예열 또는 예냉시키기 위해 마련되는 소크챔버;
소크챔버에서 예열 또는 예냉된 후 테스트위치로 이송되어 온 상기 테스트트레이에 적재되어 있는 반도체소자가 테스트될 수 있도록 지원하기 위해 마련되는 테스트챔버;
테스트챔버로부터 이송되어 온 상기 테스트트레이에 적재되어 있는 반도체소자를 상온으로 회귀시키기 위해 마련되는 디소크챔버;
디소크챔버로부터 언로딩위치로 이송되어 온 상기 테스트트레이에 적재되어 있는 반도체소자를 빈 고객트레이로 이동시키는 언로딩장치;
상기 소크챔버에 있는 상기 테스트트레이를 상기 테스트챔버로 이송시키는 제1 이송장치;
적재된 반도체소자의 테스트가 완료된 후 상기 제1 이송장치의 작동에 따라 상기 테스트챔버로부터 디소크챔버 측으로 이송되는 상기 테스트트레이를 디소크챔버 내의 요구되는 설정위치까지 이송시키는 제2 이송장치; 를 포함하고,
상기 제2 이송장치는,
상기 테스트트레이를 잡아주는 락커;
상기 락커를 상기 테스트트레이의 이송 방향으로 폐쇄경로 상의 설정위치까지 이동시키며, 상기 락커에 결합되어 있는 제1 이동기; 및
상기 제1 이동기를 상기 테스트트레이의 이송 방향과 수직한 방향으로 진퇴시킴으로써 상기 락커가 상기 테스트트레이를 잡는 상태로 되게 하거나 상기 락커가 상기 테스트트레이를 잡고 있는 상태를 해제시키는 제2 이동기; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러.
제5항에 있어서,
상기 락커는,
상기 테스트트레이를 요구되는 정지위치에 정지시키는 스토퍼부; 및
상기 스토퍼부와의 충돌 시 상기 스토퍼부에 의한 반작용력에 의해 이송 방향과 반대 방향으로 되돌아가려는 상기 테스트트레이를 잡아주는 락킹부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러.
제6항에 있어서,
상기 락킹부는,
회전 가능하게 구비됨으로써, 회전 상태에 따라 상기 테스트트레이를 잡아주거나 상기 테스트트레이를 잡고 있는 상태를 해제시키는 락킹부재; 및
상기 락킹부재가 상기 테스트트레이를 잡아 주는 상태로 회전되어 있도록 탄성력을 가하는 탄성부재; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러.