JP6368567B2 - 搬送ロボット交換装置及び搬送ロボット交換方法 - Google Patents
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Description
13 ローダーモジュール
13a〜13c 正面パネル
14a〜14c ロードポート
20 搬送ロボット
40 交換装置
42 位置決めユニット
45 保持アーム
46 アーム位置調整ユニット
47 ガイドレール
48 第1の回転ハンドル
51 第2の回転ハンドル
53 ロック機構
54 先端部品
55 連結部品
56 ガード部材
71,73 スケール
72,74 マーカ
82 ロックピン
83 係合金具
84 磁石
92 突起部
95 ボルト穴
Claims (11)
- 基板を搬送するために半導体製造装置の大気搬送室内に設置された搬送ロボットを交換するために用いられる搬送ロボット交換装置であって、
前記搬送ロボット交換装置は、
前記大気搬送室に対して前記搬送ロボット交換装置を位置決めする位置決め部と、
前記搬送ロボットを釣支する保持部と、
前記位置決め部と係合し、前記保持部の前記大気搬送室に対する進退を案内するガイド部と、
前記保持部を前後、左右及び上下方向の各方向に移動させて前記保持部の位置を調整する位置調整部と、
前記保持部に対して連結可能であると共に、前記搬送ロボットに対して連結可能な連結部品とを備え、
前記搬送ロボットに取り付けられた前記連結部品と前記保持部の先端とが連結されることで前記保持部が前記搬送ロボットを釣支することを特徴とする搬送ロボット交換装置。 - 前記保持部は、前記連結部品と連結される先端部品を有し、
前記先端部品は、前記先端部品の水平方向に対する角度を前記搬送ロボットに取り付けられた前記連結部品の角度と合わせることができるように前記保持部の先端部に回転可能に取り付けられていることを特徴とする請求項1記載の搬送ロボット交換装置。 - 前記位置調整部は、前記保持部の位置の前記各方向での調整を補助するスケール及びマーカを有することを特徴とする請求項1又は2記載の搬送ロボット交換装置。
- 前記位置決め部は、固定機構を有し、
前記固定機構が前記大気搬送室を構成するフレームに固定されることにより、前記位置決め部が前記大気搬送室に対して固定されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の搬送ロボット交換装置。 - 前記位置決め部は、前記大気搬送室を構成する前記フレームに設けられた突起部と係合する係合金具を有し、
前記係合金具が前記突起部と係合するように前記搬送ロボット交換装置を前記大気搬送室に向けて移動させたときに、前記係合金具が前記突起部と係合すると前記固定機構が前記フレームに固定されることを特徴とする請求項4記載の搬送ロボット交換装置。 - 前記固定機構は、磁石、吸盤又はラッチ機構のいずれかであることを特徴とする請求項4又は5記載の搬送ロボット交換装置。
- 基板を搬送するために半導体製造装置の大気搬送室内に設置された搬送ロボットを搬送ロボット交換装置を用いて交換する搬送ロボット交換方法であって、
前記搬送ロボットの所定位置に連結部品を仮固定するステップと、
前記搬送ロボット交換装置において前記搬送ロボットを釣支する保持部の位置合わせを行うステップと、
前記保持部を前記大気搬送室に対して進退させる方向を固定するステップと、
前記保持部の先端を前記大気搬送室に進入させて前記連結部品にアクセスさせ、前記搬送ロボットに仮固定された前記連結部品と前記保持部の前記先端とを仮固定するステップと、
前記大気搬送室内における前記搬送ロボットの固定を解除するステップと、
前記搬送ロボットと前記連結部品とを本固定すると共に前記連結部品と前記保持部とを本固定するステップと、
前記搬送ロボットを釣支した前記保持部を前記大気搬送室内から引き出すステップと、を有することを特徴とする搬送ロボット交換方法。 - 基板を搬送するために半導体製造装置の大気搬送室内に設置された搬送ロボットを搬送ロボット交換装置を用いて交換する搬送ロボット交換方法であって、
前記搬送ロボット交換装置において前記搬送ロボットを釣支する保持部が連結部品を介して前記搬送ロボットを釣支した状態で前記保持部の位置合わせを行うステップと、
前記保持部を前記大気搬送室に対して進退させる方向を固定するステップと、
前記搬送ロボットを釣支した前記保持部を前記大気搬送室に進入させて、前記搬送ロボットを前記大気搬送室内の所定位置に位置合わせするステップと、
前記保持部と前記連結部品との連結を仮固定の状態へ調整すると共に、前記連結部品と前記搬送ロボットとの連結を仮固定の状態へ調整するステップと、
前記搬送ロボットを前記大気搬送室内の所定位置に固定するステップと、
前記搬送ロボット及び前記保持部から前記連結部品を取り外すステップと、
前記保持部を前記大気搬送室内から退出させるステップと、を有することを特徴とする搬送ロボット交換方法。 - 前記保持部を前記大気搬送室に対して進退させる方向を固定するステップでは、前記搬送ロボット交換装置が備えるガイドレールに沿って直線的にスライド可能な位置決め部を前記大気搬送室のフレームに固定することを特徴とする請求項7又は8記載の搬送ロボット交換方法。
- 前記位置決め部は、固定機構を有し、
前記固定機構を前記大気搬送室を構成するフレームに固定させることにより、前記位置決め部を前記大気搬送室に対して固定することを特徴とする請求項9記載の搬送ロボット交換方法。 - 前記固定機構は、磁石、吸盤又はラッチ機構のいずれかであることを特徴とする請求項10記載の搬送ロボット交換方法。
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