JPS63201324U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63201324U JPS63201324U JP9242587U JP9242587U JPS63201324U JP S63201324 U JPS63201324 U JP S63201324U JP 9242587 U JP9242587 U JP 9242587U JP 9242587 U JP9242587 U JP 9242587U JP S63201324 U JPS63201324 U JP S63201324U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz tube
- tube support
- elevator according
- adjuster
- support stand
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 10
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
Landscapes
- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
Description
第１図は、この考案の実施例を示す要部正面図
、第２図は、使用状態を示す側面略図である。 ２……基台、３……柱部、９……石英管支持台
、１４……ローラ。
、第２図は、使用状態を示す側面略図である。 ２……基台、３……柱部、９……石英管支持台
、１４……ローラ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 移動可能な基台の柱部に上下動可能な石英
管支持台を設け、該石英管支持台の上面に石英管
移送装置を設けたことを特徴とする石英管昇降機
。 (2) 石英管支持台が、前後方向調整器と水平方
向調整器とを備えていることを特徴とする実用新
案登録請求の範囲第１項記載の石英管昇降機。 (3) 石英管支持台が、長手方向に傾斜させるた
めの回転装置を備えていることを特徴とする実用
新案登録請求の範囲第１項記載の石英管昇降機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9242587U JPS63201324U (ja) | 1987-06-16 | 1987-06-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9242587U JPS63201324U (ja) | 1987-06-16 | 1987-06-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63201324U true JPS63201324U (ja) | 1988-12-26 |
Family
ID=30954120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9242587U Pending JPS63201324U (ja) | 1987-06-16 | 1987-06-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63201324U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016018954A (ja) * | 2014-07-10 | 2016-02-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送ロボット交換装置及び搬送ロボット交換方法 |
-
1987
- 1987-06-16 JP JP9242587U patent/JPS63201324U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016018954A (ja) * | 2014-07-10 | 2016-02-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送ロボット交換装置及び搬送ロボット交換方法 |