JP2013131609A - 基板作業装置およびx線検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】このX線検査装置100(基板作業装置)は、基板10を搬送する基板搬送部2と、基板搬送部2とは独立して設けられ基板10を所定の搬送位置で停止させて基板10を位置決めするメインストッパ6とを備える。そして、メインストッパ6は、基板10への作業を行う際に、基板10への作業に干渉しないように基板搬送部2に対して相対的に退避可能なように構成されている。
【選択図】図2
Description
3 X線源
4 X線撮像部
6 メインストッパ(ストッパ部)
10 基板
61 当接部
62 アーム部
65 インライン位置検知センサ(検知部)
66 オフライン位置検知センサ(検知部)
100 X線検査装置(基板作業装置)
626 ロック板(ロック機構)
Claims (9)
- 基板を搬送する基板搬送部と、
前記基板搬送部とは独立して設けられ、前記基板を所定の搬送位置で停止させて前記基板を位置決めするストッパ部とを備え、
前記ストッパ部は、前記基板への作業を行う際に、前記基板への作業に干渉しないように前記基板搬送部または作業領域に対して相対的に退避可能なように構成されている、基板作業装置。 - 前記ストッパ部は、前記基板を停止させる停止位置と前記基板への作業に干渉しない退避位置とに移動可能に構成されている、請求項1に記載の基板作業装置。
- 前記ストッパ部は、前記基板に当接して前記基板を所定の搬送位置で停止させる当接部と、前記当接部を保持して、水平方向に伸縮または回動の少なくとも一方が可能なアーム部とを含み、
前記基板への作業を行う際に、前記アーム部の伸縮または回動の少なくとも一方により、前記退避位置に移動するように構成されている、請求項2に記載の基板作業装置。 - 前記ストッパ部は、前記アーム部が所定の長さ以上の伸縮位置に位置する場合に前記アーム部の水平方向の回動を規制するロック機構をさらに含む、請求項3に記載の基板作業装置。
- 前記ストッパ部は、前記基板作業装置が基板生産のライン内で使用される際のインライン位置と、前記基板作業装置が基板生産のラインとは独立して使用される際のオフライン位置とに切替可能に構成されており、
前記オフライン位置は、オフライン使用時の退避位置となる、請求項1〜4のいずれか1項に記載の基板作業装置。 - 前記ストッパ部が前記インライン位置または前記オフライン位置のいずれかに位置するかを検知する検知部をさらに備える、請求項5に記載の基板作業装置。
- 前記ストッパ部は、前記基板の搬送方向に応じて設置位置を変更可能に構成されている、請求項1〜6のいずれか1項に記載の基板作業装置。
- 前記ストッパ部は、前記基板搬送部とは独立して前記基板搬送部の上方に設置されている、請求項1〜7のいずれか1項に記載の基板作業装置。
- 基板にX線を照射するX線源と、
前記基板に照射されたX線に基づいた画像を撮像するX線撮像部と、
前記基板を搬送する基板搬送部と、
前記基板搬送部とは独立して設けられ、前記基板を所定の搬送位置で停止させて前記基板を位置決めするストッパ部とを備え、
前記ストッパ部は、前記基板の撮像を行う際に、前記基板の撮像に干渉しないように前記基板搬送部または作業領域に対して相対的に退避可能なように構成されている、X線検査装置。
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