JP2010261915A - 基板検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】顕微鏡ユニットを用いて基板を検査する基板検査装置において、顕微鏡ユニット5,7を基板Sの検査面に交差する方向に移動させる駆動機構を備え、基板Sは、基板ステージ2に載置される基板トレイ9に収納され、駆動機構は、顕微鏡ユニット5,7を、基板ステージ2又は基板トレイ9との干渉を避けるように、基板Sの検査時には基板Sに近接させ、基板Sの検査が終了した後には基板Sに近接する位置から上記検査面に交差する方向に退避させる構成とする。
【選択図】図3
Description
図1は、本発明の一実施の形態に係る基板検査装置1を示す平面図である。
図2は、上記基板検査装置1の表面用顕微鏡ユニット5及び裏面用顕微鏡ユニット7の動きを説明するための斜視図である。
基板検査装置1は、後述する基板トレイ9を載置する基板ステージ2、基板ステージ2を一方向(Y軸方向)に移動させる検査ステージ搬送部3,4、基板トレイ9に収納された基板Sの表面側から検査する表面用顕微鏡ユニット5、基板ステージ2の移動方向と直交する方向に表面用顕微鏡ユニット5を移動させる表面側顕微鏡ステージ(ガントリ)6、基板トレイ9に収納された基板Sの裏面側から検査する裏面用顕微鏡ユニット7、基板ステージ2の移動方向と直交する方向に裏面用顕微鏡ユニット5を移動させる裏面側顕微鏡ステージ8等を備え、基板Sの検査を行う。
検査ステージ搬送部3,4は、架台上に平行に配置された搬送ベース3a,4aと、この搬送ベース3a,4aの上面に敷設された搬送ガイド3b,4bと、リニアモータを構成するリニアガイドレール3c,4cとを有する。搬送ベース3a,4aは、ステージ2の搬送方向であるY軸方向に平行に延びている。搬送ガイド3b,4bは、搬送ベース3a,4aの上面に敷設されたY軸方向に延びる2本ずつのガイドレールからなる。リニアモータは、ステージ2の底面に設けられたスライダをリニアガイドレール3c,4cに沿って移動させる駆動源として用いられている。
以上の構成により、表面用顕微鏡ユニット5は、ガントリ6に対しXYZの3軸方向に移動する。
まず、基板ステージ2を検査ステージ搬送部3,4よりステージ搬送方向(Y軸方向)の上流側となる搬入端に移動させる。そして、搬送ロボット等の搬送手段や作業者の手により基板トレイ9を基板ステージ2の上に載置する。
基板トレイ9が基板ステージ2上に載置されたことが図示しないセンサにより検出されると、トレイ押付ピン2e,2f,2gにより基板トレイ9をトレイ用基準ピン2b,2c,2dに対し押付けることで、基板トレイ9を位置決め保持する。
なお、検査をすべき欠陥の位置は、予め制御装置に登録され、検査対象を指定できるようにしておくことが望ましい。このようにすれば、必要な箇所のみを検査すれば足りるので検査時間を短縮できる。予め検査をすべき箇所を特定する方法としては、別の検査装置で検査者が目視で確認したり、別の検査装置で基板Sについて取得した画像から欠陥の疑いのある場所を抽出したりすることが挙げられる。
基板トレイ9を基板ステージ2から取り外す際には、まず、トレイ押付ピン2d,2e,2fを、基板トレイ9を押付ける位置から退避させる。このように基板トレイ9の位置決めが解除されると、直接的又はリフタ等の受け渡し装置を介して、搬送ロボット等の搬送手段や人の手により基板トレイ9が基板検査装置1から搬出される。この際、トレイ押付ピン2e,2f,2gに対する基板ステージ2の摺動を防止するために、トレイ用基準ピン2b,2c,2dにより基板ステージ2を押し出し、その後でトレイ用基準ピン2b,2c,2dを基準位置に退避させるようにしてもよい。
図5は、上記基板検査装置1の表面用顕微鏡ユニット5及び裏面用顕微鏡ユニット7の動きを説明するための断面図である。
なお、基板ステージ22の開口部22aには、複数の基板支持梁を架設すると共に、この基板支持梁に基板Sの底面を支持する基板支持ピンを配設することで、基板Sに撓みや反りが生じるのを防ぐことができる。基板支持梁として、低摩擦部材よりなる1mm程度の線材を用いることにより裏面用顕微鏡ユニット7による検査不能領域を小さくできるので好ましい。
次に、基板検査装置21の動作について説明する。
具体的には、まず、表面用顕微鏡ユニット5又は裏面用顕微鏡ユニット7をX軸方向に移動させるとともに、基板ステージ22をY軸方向に移動させて基板S上の欠陥のXY座標位置に表面用顕微鏡ユニット5又は裏面用顕微鏡ユニット7の観察光路(光軸)を合わせる。
基板Sを基板ステージ22から取り外す際には、まず、基板押付ピン22e,22f,22gを、基板Sを押付ける位置から退避させて基板Sの位置決めが解除されると、搬送ロボット等により基板Sが基板検査装置21から搬出される。この際、基板用基準ピン22b,22c,22dに対する基板Sの摺動を防止するために、基板用基準ピン22b,22c,22dにより基板Sを押し出し、その後で基板用基準ピン22b,22c,22dを基準位置に退避させるようにしてもよい。
2 基板ステージ
2a 開口部
2b,2c,2d トレイ用基準ピン
2e,2f,2g トレイ押付ピン
3,4 基板ステージ搬送部
3a,4a 搬送ベース
3b,4b 搬送ガイド
3c,4c リニアガイドレール
5 表面用顕微鏡ユニット
5a 筐体
5b レボルバ
5c 対物レンズ
5d 撮像部
6 ガントリ
6a 水平梁
7 裏面用顕微鏡ユニット
7a 筐体
7b 対物レンズ
7c 撮像部
8 裏面側顕微鏡ステージ
9 基板トレイ
9a 開口部
9b,9c,9d 基板用基準ピン
9e,9f,9g 基板押付ピン
10 表面側顕微鏡X軸方向ステージ
10a X軸ガイド
10b リニアガイドレール
10c スケール
11 表面側顕微鏡X軸方向可動部
12 表面側顕微鏡Z軸方向駆動部
12a Z軸ガイド
12b リニアガイドレール
13 表面側顕微鏡Z軸方向可動部
14 裏面側顕微鏡X軸方向駆動部
14a X軸ガイド
14b リニアガイドレール
15 裏面側顕微鏡X軸方向可動部
16 裏面側顕微鏡Y軸方向可動部
17 裏面側顕微鏡Z軸方向可動部
21 基板検査装置
22 基板ステージ
22a 開口部
22b,22c,22d 基板用基準ピン
22e,22f,22g 基板押付ピン
S 基板
P パターン領域(検査領域)
Claims (8)
- 顕微鏡ユニットを用いて基板を検査する基板検査装置において、
前記顕微鏡ユニットを前記基板の検査面に交差する方向に移動させる駆動機構を備え、
前記基板は、基板ステージに載置される基板トレイに収納され、
前記駆動機構は、前記顕微鏡ユニットを、前記基板ステージ又は前記基板トレイとの干渉を避けるように、前記基板の検査時には該基板に近接させ、該基板の検査が終了した後には該基板に近接する位置から前記検査面に交差する方向に退避させる、
ことを特徴とする基板検査装置。 - 前記基板トレイは、前記基板の基準位置を規定する基板用基準部材と、該基板用基準部材に対し前記基板を押付ける基板押付部材とを有し、
前記駆動機構は、前記顕微鏡ユニットを、前記基板ステージ又は、前記基板トレイの前記基板用基準部材及び前記基板押付部材との干渉を避けるように前記検査面に交差する方向に移動させる、
ことを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。 - 前記基板は、パターン領域を有し、
前記駆動機構は、前記顕微鏡ユニットを、前記基板ステージ又は前記基板トレイとの干渉を避けるように、観察光路が前記パターン領域内に入ると前記基板に近接させ、前記観察光路が前記パターン領域から外れると前記基板に近接する位置から前記検査面に交差する方向に退避させる、
ことを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。 - 前記顕微鏡ユニットは、前記基板の表面側に配置された表面用顕微鏡ユニットと、前記基板の裏面側に配置された裏面用顕微鏡ユニットとを含み、
前記駆動機構は、前記表面用顕微鏡ユニットを前記基板の検査面に交差する方向に移動させる表面用顕微鏡駆動機構と、前記裏面用顕微鏡ユニットを前記基板の検査面に交差する方向に移動させる裏面用顕微鏡駆動機構とを含み、
前記表面用顕微鏡駆動機構及び前記裏面用顕微鏡駆動機構は、前記表面用顕微鏡ユニット及び裏面用顕微鏡ユニットを、前記基板ステージ又は前記基板トレイとの干渉を避けるように、前記基板の検査時には該基板に近接させ、該基板の検査が終了した後には該基板に近接する位置から前記検査面に交差する方向に退避させる、
ことを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。 - 顕微鏡ユニットを用いて基板を検査する基板検査装置において、
前記顕微鏡ユニットを前記基板の検査面に交差する方向に移動させる駆動機構を備え、
前記基板は、基板ステージ上で保持され、
前記駆動機構は、前記顕微鏡ユニットを、前記基板ステージとの干渉を避けるように、前記基板の検査時には該基板に近接させ、該基板の検査が終了した後には該基板に近接する位置から前記検査面に交差する方向に退避させる、
ことを特徴とする基板検査装置。 - 前記基板ステージは、前記基板の基準位置を規定する基板用基準部材と、該基板用基準部材に対し前記基板を押付ける基板押付部材とを有し、
前記駆動機構は、前記顕微鏡ユニットを、前記基板ステージの前記基板用基準部材及び前記基板押付部材との干渉を避けるように前記検査面に交差する方向に移動させる、
ことを特徴とする請求項5記載の基板検査装置。 - 前記基板は、パターン領域を有し、
前記駆動機構は、前記顕微鏡ユニットを、前記基板ステージとの干渉を避けるように、観察光路が前記パターン領域内に入ると前記基板に近接させ、前記観察光路が前記パターン領域から外れると前記基板に近接する位置から前記検査面に交差する方向に退避させる、
ことを特徴とする請求項5記載の基板検査装置。 - 前記顕微鏡ユニットは、前記基板の表面側に配置された表面用顕微鏡ユニットと、前記基板の裏面側に配置された裏面用顕微鏡ユニットとを含み、
前記駆動機構は、前記表面用顕微鏡ユニットを前記基板の検査面に交差する方向に移動させる表面用顕微鏡駆動機構と、前記裏面用顕微鏡ユニットを前記基板の検査面に交差する方向に移動させる裏面用顕微鏡駆動機構とを含み、
前記表面用顕微鏡駆動機構及び前記裏面用顕微鏡駆動機構は、前記表面用顕微鏡ユニット及び裏面用顕微鏡ユニットを、前記基板ステージとの干渉を避けるように、前記基板の検査時には該基板に近接させ、該基板の検査が終了した後には該基板に近接する位置から前記検査面に交差する方向に退避させる、
ことを特徴とする請求項5記載の基板検査装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009114952A JP2010261915A (ja) | 2009-05-11 | 2009-05-11 | 基板検査装置 |
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Family Applications (1)
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2009
- 2009-05-11 JP JP2009114952A patent/JP2010261915A/ja active Pending
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