JP2010167626A - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基板に損傷を与えることなく、搬送タクトを短縮することができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】基板１ａ、メインストッパー１０１および基板１ｂが搬送方向Ｘに配列された状態で基板１ａの搬出および基板１ｂの搬入が行われるとともにメインストッパー１０１が搬送方向Ｘに移動される。したがって、基板１ｂが基板１ａと干渉するのをメインストッパー１０１により確実に防止することができる。また、このメインストッパー１０１に対し搬送方向Ｘの上流側にセンサー１０２を配置しており、メインストッパー１０１と一体的に搬送方向Ｘに移動する。このため、メインストッパー１０１に対し搬送方向の上流側近傍で搬入基板１を検出可能となっている。
【選択図】図８

Description

この発明は、コンベアにより基板固定位置から基板を搬送方向に搬出すると同時に当該コンベアに送り込まれた基板を搬送方向に搬送して基板固定位置に搬入する基板搬送技術に関するものである。

従来の基板処理装置では、基板に対して印刷処理や部品実装処理などの処理を施すために、搬入コンベアからメインコンベアに送り込まれた未処理の基板を当該メインコンベアにより搬送方向に搬送することで当該未処理基板を基板固定位置に搬入する。それに続いて、未処理基板をメインコンベアに乗せたままあるいはメインコンベアから上方に昇降させた状態で当該基板に対して上記処理を施す。そして、この処理が完了すると、メインコンベアにより処理済基板を基板固定位置から搬送方向に搬出するとともにメインコンベアに送り込まれる次の未処理基板を基板固定位置に搬入する。このように従来の基板処理装置では、基板固定位置からの基板搬出と基板固定位置への基板搬入を同時に実行する基板搬送技術が採用されている（例えば特許文献１参照）。

この特許文献１に記載のスクリーン印刷装置では、未処理基板をメインコンベアに搬入する際、係合ストッパを利用している。この係合ストッパはメインコンベアと搬送コンベアの間を移動自在となっており、搬入コンベア側に移動して搬入コンベア上で待機する基板の端縁中央部に係合する。また、メインコンベアにより処理済の基板を所定位置から搬出すると同時に係合ストッパの係合部を基板に係合させたまま係合ストッパは搬入コンベアの基板搬送速度と同一速度でメインコンベア側に移動して基板をメインコンベアの所定位置まで移動させる。

特開２００７−１６０８１８号公報（段落００１７〜００１９）

この特許文献１に記載のスクリーン印刷装置（基板処理装置）では、基板についてはコンベアにより搬送する一方、係合ストッパについては移動機構により搬送しており、常に係合ストッパを基板に係合させた状態で互いに異なる駆動手段により基板および係合ストッパを所望の基板固定位置まで移動させている。これは、コンベアおよび移動機構が常に正常に作動することを前提とするものであり、いずれか一方が正常に作動しないときには不具合が発生することがある。例えば基板固定位置に搬送している途中で移動機構にトラブルが生じて係合ストッパが大幅に減速したり、停止してしまうと、基板は係合ストッパにより係止された状態でコンベアからの搬送力を受ける。このため、基板に予定しない応力がかかり、基板に損傷を発生してしまう可能性があった。

また、基板を係合ストッパに係合させた状態で基板固定位置に搬送することを前提としているため、コンベア上で基板が滑って基板と係合ストッパの係合状態が解消されると、次のような問題が発生することがあった。すなわち、基板の滑り発生により係合ストッパが単独で基板固定位置に到着して停止した後に基板が遅れて所望位置に到着することがあるが、この場合、既に停止している係合ストッパに対してコンベアにより搬送されてきた基板が衝突して基板に欠けや破損などが生じる可能性がある。特に、近年の基板処理装置では搬送タクトの短縮化によるスループット向上を図るために基板の搬送速度を高く設定する傾向にあり、上記衝突による基板損傷が大きな課題となっている。

このように基板固定位置からの基板搬出と基板固定位置への基板搬入を同時に実行する基板処理装置では、搬送タクトの短縮と基板損傷の防止とを同時に達成することが要望されていた。

この発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、基板に損傷を与えることなく、搬送タクトを短縮することができる基板処理装置および基板処理方法を提供することを目的とする。

この発明にかかる基板処理装置は、上記目的を達成するため、基板を搬送方向に搬送するコンベアと、コンベアにより搬送される基板と係合して停止させるストッパーと、ストッパーに対し搬送方向の上流側に配置されてコンベア上の基板を検出する第１検出手段と、基板固定位置と基板固定位置でストッパーにより停止された基板から搬送方向の上流側に離れた基板待機位置との間で、ストッパーを第１検出手段と一体的に移動させる移動手段と、第１検出手段による基板の検出結果に基づきコンベアおよび移動手段を制御する制御手段とを備え、基板固定位置に停止された基板を第１基板とし、第１基板に続いてコンベアに搬入される基板を第２基板としたとき、制御手段は、ストッパーを基板待機位置に移動させて第１基板、ストッパーおよび第２基板を搬送方向に配列させ、当該配列関係を維持したまま第１検出手段による第２基板の検出結果に基づきコンベアによる基板の搬送を制御するとともに移動手段による基板固定位置へのストッパーの移動を制御しながら第１基板の搬出と第２基板の搬入を同時に行うことを特徴としている。

また、この発明にかかる基板処理方法は、上記目的を達成するため、コンベアにより搬送方向に搬送される第１基板をストッパーにより基板固定位置で停止させた後に第１基板に所定の処理を施す第１工程と、処理中または処理後に、ストッパーに対し搬送方向の上流側に配置されてストッパーに向かう基板を検出する、第１検出手段をストッパーと一体的に第１基板から搬送方向の上流側に離れた基板待機位置に移動させることで第１基板、ストッパーおよび第１基板に続く第２基板を搬送方向に配列する第２工程と、処理後に、配列関係を維持しながら第１基板および第２基板を搬送方向に搬送するとともにストッパーおよび第１検出手段を一体的に搬送方向に移動させる第３工程とを備え、第３工程では、第１検出手段による基板の検出結果に基づきコンベアによる基板の搬送が制御されるとともにストッパーの移動が制御されることを特徴としている。

このように構成された発明（基板処理装置および基板処理方法）では、第１基板、ストッパーおよび第２基板が搬送方向に配列された状態で第１基板および第２基板が搬送方向に搬送されるとともにストッパーが搬送方向に移動される。したがって、第２基板が第１基板と干渉するのをストッパーにより確実に防止することができる。また、このストッパーに対し搬送方向の上流側に第１検出手段が配置されており、ストッパーと一体的に搬送方向に移動する。したがって、第１検出手段の検出結果に基づき第２基板がストッパーから離間していることやストッパーに近接していることを正確に検出することができる。そこで、本発明では、上記検出結果に基づき基板の搬送が制御されるとともにストッパーの移動が制御される。したがって、コンベアによる基板の搬送速度を高めて搬送タクトを短縮しながらも、第２基板がストッパーに達する直前にストッパーと第２基板の相対速度を調整して第２基板が高速でストッパーに当接するのを防止することができる。例えば、第１検出手段により第２基板が検出されない間、コンベアにより第１基板および第２基板を第１搬送速度で搬送することで基板固定位置からの第１基板の搬出と基板固定位置への第２基板の搬入に要する時間を短縮することができる。また、第１検出手段により第２基板が検出されるとコンベアの基板搬送速度を第１搬送速度よりも遅い第２搬送速度に減速することで、第２基板は緩やかにストッパーに係合されることとなり、第２基板の損傷を確実に防止することができる。

以上のように、本発明によれば、第１基板、ストッパーおよび第２基板を搬送方向に配列した状態を維持しつつ第１基板および第２基板を搬送方向に搬送するとともにストッパーを搬送方向に移動しており、第１基板と第２基板の相互干渉を確実に防止することができる。また、ストッパーに対し搬送方向の上流側に第１検出手段を配置し、ストッパーへの第２基板の近接を検出しながら当該検出結果に基づき第２基板の搬送を制御するとともにストッパーの移動を制御しているので、第２基板がストッパーに近接するまで第２基板を高速搬送することができ、搬送タクトの短縮を図ることができる。一方、ストッパーに達する直前にストッパーと第２基板の相対速度を調整して第２基板が高速でストッパーに当接するのを防止することで第２基板の損傷を確実に防止することができる。

本発明にかかる基板処理装置の一実施形態たる印刷装置を示す斜視図である。 マスクを設置していない状態での印刷装置の概略構成を示す平面図である。 マスクを設置した状態での印刷装置の概略構成を示す側面図である。 印刷装置の主要な電気的構成を示すブロック図である。 マスクカメラ駆動ユニットの構成を示す図である。 図５の部分拡大図である。 メインストッパーおよび上流側基板検出センサーの動作を模式的に示す図である。 第１実施形態での基板搬入、印刷および基板搬出動作を模式的に示す図である。 第１実施形態での基板搬入、印刷および基板搬出動作を模式的に示す図である。 第１実施形態での基板搬入、印刷および基板搬出動作を模式的に示す図である。 本発明にかかる基板処理装置の第２実施形態で実行される動作を模式的に示す図である。 本発明にかかる基板処理装置の第３実施形態で実行される動作を模式的に示す図である。 本発明にかかる基板処理装置の第４実施形態で実行される動作を模式的に示す図である。 本発明にかかる基板処理装置の第５実施形態を模式的に示す図である。 本発明にかかる基板処理装置の第５実施形態を模式的に示す図である。

＜第１実施形態＞
図１は本発明にかかる基板処理装置の第１実施形態たる印刷装置を示す斜視図である。同図においては、装置内部の構成を明示するために、本体カバーを取り外した状態が図示されている。また、図２はマスクを設置していない状態での印刷装置の概略構成を示す平面図であり、図３はマスクを設置した状態での印刷装置の概略構成を示す側面図である。さらに、図４は印刷装置の主要な電気的構成を示すブロック図である。この印刷装置では、基台１０上で基板搬送機構２０が装置の前後方向（Ｙ軸方向）に移動自在となっている。また、基台１０上には一対のメインコンベア２５１ａ、２５１ｂを有するコンベアユニット２５が設けられ、搬入コンベア３１、３１が装置の右側面部に設けられる一方、搬出コンベア３２、３２が装置の左側面部に設けられている。

この搬入コンベア３１は半田ペーストを印刷すべき未処理の基板１を支持しながらＸ軸方向に搬送するために設けられたものである。そして、基板搬送機構２０をＹ軸方向に移動し、基板搬送機構２０上のコンベア２５１ａ、２５１ｂを搬入コンベア３１、３１と搬出コンベア３２、３２間に位置決めした状態で搬入コンベア３１、３１が駆動されると、印刷処理前の基板１が基板搬送機構２０に設けられたコンベア２５１ａ、２５１ｂに送り込まれる。このメインコンベア２５１ａ、２５１ｂが本発明の「コンベア」に相当する。

この基板搬送機構２０は平面視で矩形形状を有する可動板２１を有しており、この可動板２１が図示を省略する駆動ユニット群により水平面（ＸＹ平面）内で２次元的に移動させ、また上下方向に昇降移動させるとともに鉛直軸に対して回転させられる。また、可動板２１上には、コンベアユニット２５と、基板クランプユニット２６（図５、図６）と、バックアップユニット２７とが設けられている。

コンベアユニット２５では、一対のコンベア２５１ａ、２５１ｂがＸ軸方向に沿って延設されている。これらのコンベア２５１ａ、２５１ｂはＹ軸方向に所定間隔だけ離間しながら配置されており、前側のコンベア２５１ａは可動板２１に取り付けられた支持部材２５２ａ（図５、図６）により支持される一方、後側のコンベア２５１ｂは可動板２１に取り付けられた支持部材２５２ｂ（図５、図６）により支持されている。そして、可動板２１の高さ位置を調整して一対のコンベア２５１ａ、２５１ｂを搬入コンベア３１、３１および搬出コンベア３２、３２と同一の高さに位置決めした状態で、搬入コンベア３１、３１が駆動されるとともに、基板搬送機構制御部４３によりコンベア２５１ａ、２５１ｂが駆動されると、搬入コンベア３１、３１から送り込まれる未処理の基板１をコンベア２５１ａ、２５１ｂが受け取る。また、この状態で搬出コンベア３２、３２が駆動されるとともに、基板搬送機構制御部４３によりコンベア２５１ａ、２５１ｂが駆動されると、後述するようにして印刷処理を受けた処理済基板１をコンベア２５１ａ、２５１ｂは搬出コンベア３２、３２に搬送する。このように、本実施形態では、「Ｘ軸方向」が本発明の「搬送方向」に相当し、「印刷処理」が本発明の「処理」に相当する。

また支持部材２５２ａ、２５２ｂには、図５および図６に示すように基板クランプユニット２６を構成するクランプ片２６１、２６１がそれぞれ取り付けられている。そして、基板搬送機構制御部４３によるシリンダなどのアクチュエータの作動によりクランプ片２６１，２６１が駆動されてコンベア２５１ａ、２５１ｂ上の基板１を側方から支持する。また、このアクチュエータを逆方向に駆動することでクランプ片２６１、２６１による基板１の側方支持が解除される。

このようにコンベア２５１ａとクランプ片２６１を支持している支持部材２５２ａと、コンベア２５１ｂとクランプ片２６１を支持している支持部材２５２ｂとの間に位置するように、バックアップユニット２７が可動板２１上に配置されている。このバックアップユニット２７はバックアッププレート２７１と、複数のバックアップピン２７２と、バックアッププレート２７１と可動板２１の間に配置されてバックアッププレート２７１を昇降駆動する昇降機構部（図示省略）とを備えている。バックアップピン２７２はバックアッププレート２７１から上方に立設されており、バックアップピン２７２の先端部により基板１の下面を下方から支持可能となっている。そして、基板搬送機構制御部４３により昇降機構部を作動させることでバックアッププレート２７１を上方に移動させて次のようにコンベア２５１ａ、２５１ｂからの基板１の上昇位置決めを行う。すなわち、バックアッププレート２７１の上昇移動によりバックアップピン２７２の先端がコンベア２５１ａ、２５１ｂ上の基板１と当接し、さらにコンベア２５１ａ、２５１ｂからクランプ片２６１、２６１の上面と面一となる高さまで、さらに上昇することでバックアップピン２７２が基板１の下面を下方側から支持しながら基板１をコンベア２５１ａ、２５１ｂから上方に持ち上げる（バックアップ）。一方、バックアッププレート２７１を下降させることでバックアップピン２７２からコンベア２５１ａ、２５１ｂに基板１が戻され、さらにバックアップピン２７２が基板１の下方に退避する。このように、本実施形態では、バックアップユニット２７が本発明の「昇降手段」に相当している。

また、この基板搬送機構２０では、制御ユニット４０の基板搬送機構制御部４３により可動板２１がＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｒ軸方向（鉛直軸回りに回転する方向）に移動することで上記のようにしてバックアップピン２７２でバックアップされながらクランプ片２６１、２６１で保持される基板１がマスク５１に対して位置決めされる。このマスク５１はマスク枠（マスクフレーム）５２の下面側に薄板状のステンシルを張りつけたものであり、基板搬送機構２０の上方でマスククランプユニット５０によりマスク枠５２が保持されてマスク５１が固定配置される。そして、半田供給ユニット６０からマスク５１上に供給された半田ペーストがスキージユニット７０のスキージ７１をＹ軸方向に往復移動させることでマスク５１上に広げられる。このとき、マスク５１に設けた開口部を介して半田ペーストが基板１の上面に印刷される。このように半田供給ユニット６０およびスキージユニット７０が本発明の「処理手段」に相当している。

この印刷処理の後に、基板搬送機構２０は再び搬入コンベア３１、３１と搬出コンベア３２、３２間に移動して位置決めされる。そして、基板搬送機構２０のコンベア２５１ａ、２５１ｂが基板搬送機構制御部４３により駆動されることで印刷処理を受けた処理済基板１が搬出コンベア３２、３２に搬送される。その後、搬出コンベア３２、３２が駆動されると、印刷処理済の基板１が印刷装置から搬出される。

この実施形態では、基板１のフィデューシャルマーク等を撮像するための基板カメラ８１が基台１０に固定されたビーム１２に沿ってＸ軸方向に移動自在に取り付けられている。また、基板搬送機構２０にはマスク５１下面のフィデューシャルマーク（図示せず）を撮像してマスク５１の位置や種類等を識別するためのマスクカメラ８２がマスクカメラ駆動ユニット８３のマスクカメラ駆動モータ８３１によりＸ軸方向に移動される。すなわち、マスクカメラ駆動ユニット８３では、図５に示すように可動板２１の前側端部にレール支持部材８３２が立設されるとともに、そのレール支持部材８３２の上端面上でガイドレール８３３がＸ軸方向に延設されている。また、このガイドレール８３３に沿ってスライダ８３４がＸ軸方向にスライド自在となっている。このスライダ８３４には、ボールねじブラケット８３５が連結されており、マスクカメラ駆動モータ８３１の回転軸に連結されたボールねじ軸８３６の回転に応じてボールねじブラケット８３５およびスライダ８３４が一体的にＸ軸方向に移動する。また、スライダ８３４にはマスクカメラ８２およびメインストッパーユニット１００が接続されて上記のようにマスクカメラ駆動モータ８３１の駆動に応じてスライダ８３４と一緒にＸ軸方向に移動する。このように本実施形態では、マスクカメラ駆動ユニット８３はマスクカメラ８２のみならずメインストッパーユニット１００も一緒に移動させており、マスクカメラ駆動ユニット８３はメインストッパーユニット１００をＸ軸方向に駆動するための「移動手段」としての機能を兼ね備え、装置構成のコンパクト化と簡素化と経済性に大きく寄与している。また、可動板２１は本発明の「支持テーブル」として機能しており、可動板２１上にコンベア２５１ａ、２５１ｂとマスクカメラ駆動ユニット８３が配置されているため、両者を個別にＹ軸方向に移動させる場合に比べてタクトを向上させることができる。

図６は図５の部分拡大図であり、メインストッパーユニットの構成を模式的に示している。この実施形態では、メインストッパーユニット１００は、先端部を基板１と係合可能に仕上げられたメインストッパー１０１と、メインストッパー１０１に対しＸ軸方向の上流側でコンベア２５１ａ、２５１ｂ上の基板１を検出可能に設けられた上流側基板検出センサー１０２とを備えている。これらのうちメインストッパー１０１は前側コンベア２５１ａのＹ軸方向の後側（基板側）で先端部を前側コンベア２５１ａよりも上方の突出位置と、前側コンベア２５１ａよりも下方の退避位置との間で昇降自在となっている。そして、メインストッパー制御部４５からの動作指令に応じて昇降駆動シリンダ１０３のピストン（図示省略）を上昇させると、ピストンに接続されたメインストッパー１０１が上昇して突出位置に位置決めされる。一方、昇降駆動シリンダ１０３のピストンを下降させると、メインストッパー１０１は退避位置に位置決めされる。また、昇降駆動シリンダ１０３および基板検出センサー１０２は前後駆動シリンダ１０４のピストン（図示省略）に接続されている。このため、メインストッパー制御部４５からの動作指令に応じて前後駆動シリンダ１０４のピストンがＹ軸方向の後側に前進すると、メインストッパー１０１および上流側基板検出センサー１０２が一体的にＹ軸方向の後側に移動する。逆に、ピストンがＹ軸方向の前側に後退すると、メインストッパー１０１および上流側基板検出センサー１０２が一体的にＹ軸方向の前側に移動する。したがって、昇降駆動シリンダ１０３および前後駆動シリンダ１０４の駆動状態をメインストッパー制御部４５により制御することでメインストッパー１０１および基板検出センサー１０２の位置組み合わせを図６に示すように３種類に切換制御可能となっている。

ストッパー上昇（図６（ａ））
昇降駆動シリンダ１０３のピストンを上昇させるととも前後駆動シリンダ１０４のピストンを前進させることで、基板前側端部の搬送経路上でメインストッパー１０１の先端部がコンベア２５１ａよりも上方に突出して基板１と係合して停止させることが可能となっている。また、センサー１０２はメインストッパー１０１に対しＸ軸方向の上流側近傍（同図の手前側）でコンベア２５１ａ、２５１ｂ上の基板１を下方側より非接触で検出可能となっている。したがって、コンベア２５１ａ、２５１ｂ上を基板１が搬送されてくると、まずセンサー１０２により基板１が検出され、その検出後もさらにコンベア２５１ａ、２５１ｂを駆動することで基板１の前左端部がメインストッパー１０１に係合して基板１の搬送が停止される。このように本実施形態では、メインストッパー１０１が本発明の「ストッパー」に相当している。また、基板検出センサー１０２が本発明の「第１検出手段」に相当している。なお、このように搬送中の基板１を検出するために、本実施形態ではいわゆる反射式の光センサーを用いているが、センサーの検出方法などに関しては任意である。

ストッパー下降（図６（ｂ））
前後駆動シリンダ１０４のピストンを前進させたまま、昇降駆動シリンダ１０３のピストンのみを下降させると、同図に示すように、メインストッパー１０１は退避位置まで下降して先端部がコンベア２５１ａよりも下方に下降する。したがって、上記のように基板１と係合して基板搬送を停止させていた場合には、メインストッパー１０１の下降によりコンベア２５１ａ、２５１ｂによる基板搬送が可能となる。なお、前後駆動シリンダ１０４のピストンを前進させたままであるため、「ストッパー上昇（図６（ａ））」の場合と同様に、メインストッパー１０１に対しＸ軸方向の上流側近傍でコンベア２５１ａ、２５１ｂ上の基板１をセンサー１０２により検出可能となっている。

移動中（図６（ｃ））
本実施形態では、コンベア２５１ａ、２５１ｂの間にバックアップユニット２７が設けられており、バックアップユニット２７が上昇して基板１をバックアップしている状態でメインストッパー１０１がＸ軸方向に移動すると、メインストッパー１０１がバックアップユニット２７や処理中の基板１を干渉する。そこで本実施形態では、メインストッパー１０１をＸ軸方向に移動させる際には、同図（ｃ）に示すように、昇降駆動シリンダ１０３のピストンを下降させるととも前後駆動シリンダ１０４のピストンを後退させることで、メインストッパー１０１およびセンサー１０２をコンベア２５１ａの下方位置に位置させる。これにより上記干渉を確実に防止することができる。なお、バックアップユニット２７が下降しており、メインストッパー１０１および上流側基板検出センサー１０２との干渉が問題とならないときには、メインストッパー１０１および上流側基板検出センサー１０２を同図（ａ）や同図（ｂ）の状態で移動させてもよいことはいうまでもない。

また、上記のように構成されたメインストッパー１０１および基板検出センサー１０２はマスクカメラ８２のＸ軸方向移動により一体的にＸ軸方向に移動する。なお、メインストッパー１０１およびセンサー１０２の移動タイミングについては後で詳述する。

さらに、基板搬送機構２０のＹ軸方向の前側にクリーナー９０が取り付けられており、基板搬送機構２０のＹ軸方向移動に伴ってクリーナー９０がＹ軸方向に移動する。このクリーナー９０は基板１への半田ペーストの印刷処理によりマスク５１に付着した半田ペースト等をクリーニング除去する装置である。

上記のように構成された印刷装置では、印刷装置全体を制御する制御ユニット４０が設けられている。この制御ユニット４０は、演算処理部４１と、プログラム記憶部４２と、基板搬送機構制御部４３と、カメラ制御部４４と、メインストッパー制御部４５とを有している。この演算処理部４１はＣＰＵ等により構成されており、プログラム記憶部４２に予め記憶されている印刷プログラムにしたがって印刷装置各部を制御して印刷処理を繰り返して行う。また、基板搬送機構制御部４３は基板搬送機構２０に組み込まれた各種モータやエアシリンダなどのアクチュエータを制御してコンベア２５１ａ、２５１ｂによる基板１の搬入および搬出、マスク５１に対する基板１の位置決めなどを行う。また、カメラ制御部４４は基板カメラ８１により撮像された画像に対して所定の画像処理を施して基板１に関する情報を得たり、マスクカメラ駆動モータ８３１を駆動制御しながらマスクカメラ８２により撮像された画像に対して所定の画像処理を施してマスク５１に関する情報を得ている。さらに、上記したようにメインストッパー制御部４５は昇降駆動シリンダ１０３および前後駆動シリンダ１０４を制御することでメインストッパー１０１を上下前後方向に駆動するとともに、上流側基板検出センサー１０２を前後方向に駆動する。なお、同図中の符号４６は印刷プログラムやエラーメッセージなどを表示したり、作業者が制御ユニット４０に対して各種データや指令などの情報を入力するための表示／操作ユニットである。また、符号４７は入出力制御部であり、上記上流側基板検出センサー１０２やコンベア２５１ａ、２５１ｂの搬出側に設けられた第１搬出側基板検出センサー１０５および搬出コンベア３２、３２に設けられた第２搬出側基板検出センサー１０６などの検出結果を受け取り、演算処理部４１に与える。

次に、上記のように構成された印刷装置の動作について図７ないし図１０を参照しつつ説明する。図７はメインストッパーおよび上流側基板検出センサーの動作を模式的に示す図である。また、図８ないし図１０は基板搬入、印刷および基板搬出動作を模式的に示す図である。まず、１枚目の基板１を搬入する際には、図７（ａ）および図８（ａ）に示すように、基板１の搬送方向Ｘの下流側端面が基板固定位置Ｐlに位置決めされるようにメインストッパー１０１は基板固定位置Ｐlに移動しており、その位置Ｐlでメインストッパー１０１の先端部はコンベア２５１ａ、２５１ｂの基板搬送面から上方に突出している（図６（ａ）；ストッパー上昇状態）。また、センサー１０２は基板固定位置Ｐlに対しＸ軸方向の上流側近傍（図７および図８の右手側）に位置してコンベア２５１ａ、２５１ｂ上の基板１を下方側より非接触で検出可能となっている。このため、第１搬送速度Ｖｆで搬送されてくる未処理（未印刷）の基板１はメインストッパー１０１に係合する前にセンサー１０２により検出される。この実施形態では、センサー１０２により基板１が検出されると、基板検出信号が演算処理部４１に与えられる。

この基板検出信号を受けた演算処理部４１は基板搬送機構制御部４３に減速指令を与えてコンベア２５１ａ、２５１ｂによる基板搬送速度を第１搬送速度Ｖｆよりも遅い第２搬送速度にまで減速する。その後、第２搬送速度で搬送される基板１がメインストッパー１０１に係合した時点でコンベア２５１ａ、２５１ｂ上で停止される（図７（ａ）、図８（ｂ））。また、基板固定位置Ｐlでの基板１の停止が完了すると、演算処理部４１は基板搬送機構制御部４３にコンベア停止指令を与えてコンベア２５１ａ、２５１ｂによる基板搬送を停止させるとともに、メインストッパー制御部４５にストッパー下降指令を与え、図６（ｂ）に示すように昇降駆動シリンダ１０３によりメインストッパー１０１を下降させる（図８（ｂ））。このように基板固定位置Ｐlに位置決めされた基板１は本発明の「第１基板」に相当する基板であり、この基板に続いて搬入される基板、つまり本発明の「第２基板」と区別するため、必要に応じて「第１基板」に相当する基板に符号「１ａ」を付す一方、「第２基板」に相当する基板に符号「１ｂ」を付す。

基板固定位置Ｐlへの基板１ａの位置決めが完了すると、演算処理部４１は基板搬送機構制御部４３にバックアップ指令を与えてバックアッププレート２７１を上方に移動させる。これによって、コンベア２５１ａ、２５１ｂから基板１ａが持ち上げられ、さらに基板１ａの上面がクランプ片２６１、２６１の上面と面一となる高さまで上昇させられる（バックアップ）。それに引き続いて、基板１ａがクランプ片２６１、２６１に挟み込まれて固定される。

次に、マスク５１下面の清掃が必要であれば、クリーナー９０による清掃を実施する。また、マスク５１下面のフィデューシャルマークを撮像する必要がある場合には、基板搬送機構２０をＹ軸方向に移動させるとともにマスクカメラ８２をＸ軸方向に移動させてマスクカメラ８２によりマスク５１下面のフィデューシャルマークを順次撮像する。このとき、マスクカメラ８２のＸ軸方向移動に伴ってメインストッパー１０１およびセンサー１０２が一体的にＸ軸方向に移動するが、マスク５１のフィデューシャルマーク撮像完了後にはメインストッパー１０１は基板固定位置Ｐlに戻される。これに引き続き、基板搬送機構２０をＹ軸方向に移動させて基板カメラ８１により基板１のフィデューシャルマークを順次撮像する。

このようにしてマスク５１及び基板１のフィデューシャルマークの位置情報をそれぞれ取得し、これらの位置情報に基づいてマスク５１下面のフィデューシャルマークと基板１ａのフィデューシャルマークとを一致させるべく基板搬送機構制御部４３が基板搬送機構２０の各駆動ユニットを駆動制御して基板１をマスク５１に対して位置決めする。また、マスク５１に対する基板１ａの位置決め開始と同時に、可動板２１を上昇させて上記のようにして固定された基板１を印刷位置に向けて上昇させ、マスク５１に対する基板１ａの位置決めが完了した状態で、基板１をマスク５１下面に密着させる（図８（ｃ））。その後、マスク５１上面にクリーム半田等のペーストを供給し、印刷荷重、移動速度を制御しつつ、スキージ７１をＹ軸方向片側に移動させる。これにより、マスク５１の開口部を通じて基板１ａ上面の所定の位置にペーストが印刷される。

基板１ａに対する印刷処理が完了すると、基板搬送機構制御部４３により可動板２１が下降移動させられるとともに、マスク５１に対する基板１ａの位置決めのために移動させた分だけ戻して元の位置（初期位置）に戻す。そして、基板搬送機構２０が搬入コンベア３１、３１と搬出コンベア３２、３２間に移動させられた後、クランプ片２６１、２６１による基板１の保持を解除する。それに続いて、バックアッププレート２７１を下降させてバックアップピン２７２からコンベア２５１ａ、２５１ｂに基板１を移載し、さらにバックアップピン２７２を基板１の下方に退避する。

このようにして基板固定位置Ｐlでコンベア２５１ａ、２５１ｂ上に戻された、印刷済の基板１ａがセンサー１０２により検出されると、演算処理部４１は、搬入コンベア３１で待機している第２基板（未処理基板）１ｂが基板待機位置Ｐwに達するまでに要する時間ＴLを算出する。この「基板待機位置Ｐw」とは、基板固定位置Ｐlでメインストッパー１０１により停止された基板１ａから搬送方向Ｘの上流側に離れた位置を意味しており、基板１ａの搬送方向上流端面から例えば３０［ｍｍ］程度離れた位置とすることができる。また、「基板待機位置Ｐw」は基板１のＸ軸方向サイズにより変更させる必要がある。つまり、比較的大きなＸ軸方向サイズを有する基板１を処理する場合には、基板待機位置Ｐwは比較的小さなＸ軸方向サイズの基板１を処理する場合よりも搬送方向Ｘの上流側に設定される。したがって、印刷済基板１ａの搬出と未処理基板１ｂの搬入を同時に行う場合には、次に説明するように印刷済基板１ａの搬出に要する時間と、未処理基板１ｂの搬入に要する時間とを考慮してメインストッパー１０１の昇降タイミングやメインストッパー１０１やセンサー１０２の移動タイミングを制御する必要がある。

この実施形態では、時間ＴLを算出すると、直ちにメインストッパー１０１をセンサー１０２と一緒に基板待機位置Ｐwに移動させる。この移動は以下の３ステップ(S1)〜(S3)で行われる。すなわち、(S1)図６（ｃ）に示すように前後駆動シリンダ１０４のピストンを後退させることでメインストッパー１０１およびセンサー１０２をＹ軸方向の前側に移動させてコンベア２５１ａの下方位置に位置させる、(S2)マスクカメラ駆動モータ８３１を作動させることでメインストッパー１０１を搬送方向Ｘの下流側（Ｘ軸方向の右側）に移動させて基板待機位置Ｐwで停止させる、(S3)図６（ｂ）に示すように前後駆動シリンダ１０４のピストンを前進させることでメインストッパー１０１およびセンサー１０２をＹ軸方向の後側に移動させる（図７（ｃ））。これにより、センサー１０２は基板待機位置Ｐwに対し搬送方向Xの上流側に位置し、基板待機位置Ｐwに向けて搬送されてくる未処理基板１ｂを検出可能となる。

また、演算処理部４１は上記メインストッパー１０１の移動開始とともに当該移動開始からの経過時間Ｔの計測を開始し、さらにコンベア２５１ａ、２５１ｂの作動を開始して第１搬送速度Ｖｆで基板１ａの搬出と基板１ｂの搬入を開始する。そして、上記のようにしてメインストッパー１０１が基板待機位置Ｐwに到着した時点で、上記経過時間Ｔと時間ＴLとを対比する。その結果、経過時間Ｔが時間ＴL以上となっている、つまりメインストッパー１０１が基板待機位置Ｐwに到着する前に搬入基板（未処理基板）１ｂが基板待機位置Ｐwを通過している場合には、搬入基板１ｂが搬出基板１ａと衝突する可能性を否定できないため、エラー発生として基板１ａの搬出および基板１ｂの搬入を停止する。これによって、基板衝突を未然に、しかも確実に防止することができる。

逆に、経過時間Ｔが時間ＴL未満となっている、つまり搬入基板（未処理基板）１ｂが基板待機位置Ｐwに到着する前に、メインストッパー１０１が基板待機位置Ｐwに到着したことが確認されると、図６（ａ）に示すように昇降駆動シリンダ１０３によりメインストッパー１０１が上昇されて基板１ａ、メインストッパー１０１および基板１ｂが搬送方向Ｘに配列される（図７（ｃ）および図８（ｄ））。このため、搬入基板１ｂが基板待機位置Ｐwを超えて基板固定位置Ｐl側に搬送されるのを防止することができる。

こうした基板搬出・搬入が基板搬送が進むと、印刷済基板１ａは図９（ａ）に示すようにコンベア２５１ａ、２５１ｂの搬出側に設けられた第１搬出側基板検出センサー１０５に達し、同センサー１０５から基板検出信号が出力されるが、この基板検出信号が出力される前に搬入基板１ｂがメインストッパー１０１に近づきセンサー１０２により検出されることがある。この場合、基板検出信号の出力に応じてコンベア２５１ａ、２５１ｂによる基板搬送速度が第１搬送速度Ｖｆから第２搬送速度に減速され、搬入基板１ｂがメインストッパー１０１に係合する際に速度を大幅に低減させて搬入基板１ｂの損傷を防止している。

搬入基板１ｂがメインストッパー１０１に達する前に第１搬出側基板検出センサー１０５に達し、同センサー１０５から基板検出信号が出力された場合には、基板固定位置Ｐlとセンサー１０５とメインストッパー１０１の位置関係に基づきメインストッパー１０１を搬送方向Ｘの下流側に移動させる。すなわち、基板１ａのＸ軸方向サイズの大小によって上記位置関係が異なるため、それに応じてメインストッパー１０１の移動距離を調整している。より具体的には、基板１ａのＸ軸方向サイズが比較的大きい場合には、図９（ａ）に示すように、基板固定位置Ｐlからセンサー１０５までの距離Ｄ１は、基板固定位置Ｐlから現在のメインストッパー１０１の基板係合部（先端右側側面部）までの距離Ｄよりも短くなる。この場合、メインストッパー１０１を距離Ｄ１だけ搬送方向Ｘの下流側に第１搬送速度Ｖｆ以上の速度で移動させて停止させる。これによりメインストッパー１０１をいずれの基板１ａ、１ｂにも衝突させることなく、上記配列関係（基板１ａ−メインストッパー１０１−基板１ｂ）を維持したまま基板固定位置Ｐlに近づけることができる（図９（ｂ））。このように第１実施形態では、センサー１０５が本発明の「第２検出手段」として機能している。

そして、基板搬出・搬入がさらに進むと、図９（ｃ）に示すように、搬出基板１ａが搬出コンベア３２、３２に設けられた第２搬出側基板検出センサー１０６に達し、同センサー１０６から基板検出信号が出力される。この場合、メインストッパー１０１を基板固定位置Ｐlまで第１搬送速度Ｖｆ以上の速度で移動させて停止させる（図９（ｄ））。このように制御するためには、基板固定位置Ｐlから第２搬出側基板検出センサー１０６までの距離Ｄ２が印刷装置により処理可能な最大基板のＸ軸方向サイズよりも長くなるようにセンサー１０６を設置するのが望ましい。なお、こうしてメインストッパー１０１を基板固定位置Ｐlに位置決めした後は、最初の基板１の搬入時と同様に、メインストッパー１０１に係合する前にセンサー１０２により搬入基板１ｂが検出された時点でコンベア２５１ａ、２５１ｂによる基板搬送速度を第１搬送速度Ｖｆよりも遅い第２搬送速度にまで減速される。そして、この第２搬送速度で搬送される基板１ｂがメインストッパー１０１に係合されてコンベア２５１ａ、２５１ｂ上で停止させられる。

一方、基板１ａのＸ軸方向サイズが比較的小さい場合には、図１０（ａ）に示すように、基板固定位置Ｐlからセンサー１０５までの距離Ｄ１は、基板固定位置Ｐlから現在のメインストッパー１０１の基板係合部（先端右側側面部）までの距離Ｄ以上となる。この場合には、メインストッパー１０１を距離Ｄだけ搬送方向Ｘの下流側に第１搬送速度Ｖｆ以上の速度で移動させて基板固定位置Ｐlに位置決めする。この場合も、上記ケース（Ｄ1＜Ｄ）の場合と同様に、メインストッパー１０１をいずれの基板１ａ、１ｂにも衝突させることなく、上記配列関係（基板１ａ−メインストッパー１０１−基板１ｂ）を維持したまま基板固定位置Ｐlに位置決めすることができる（図１０（ｂ））。なお、こうしてメインストッパー１０１を基板固定位置Ｐlに位置決めした後は、上記と同様に、メインストッパー１０１に係合する前にセンサー１０２により搬入基板１ｂが検出された時点でコンベア２５１ａ、２５１ｂによる基板搬送速度を第１搬送速度Ｖｆよりも遅い第２搬送速度にまで減速される。そして、この第２搬送速度で搬送される基板１ｂがメインストッパー１０１に係合されてコンベア２５１ａ、２５１ｂ上で停止させられる。

以上のように、この第１実施形態では、基板１ａ、メインストッパー１０１および基板１ｂが搬送方向Ｘに配列された状態で基板１ａの搬出および基板１ｂの搬入が行われるとともにメインストッパー１０１が搬送方向Ｘに移動されるように構成されている。したがって、基板１ｂが基板１ａと干渉するのをメインストッパー１０１により確実に防止することができる。また、このメインストッパー１０１に対し搬送方向Ｘの上流側にセンサー１０２を配置しており、メインストッパー１０１と一体的に搬送方向Ｘに移動する。このため、メインストッパー１０１に対し搬送方向の上流側近傍で搬入基板１を検出可能となっている。このため、センサー１０２の検出結果に基づき搬入基板１ｂがメインストッパー１０１から搬送方向Ｘの上流側に離間していることやメインストッパー１０１に近接していることを正確に検出することができる。そして、その検出結果に基づき基板１ｂの搬送速度を制御するとともにメインストッパー１０１の移動タイミングや移動距離などを制御することで未処理基板１ｂをメインストッパー１０１により係合させる場合を除き未処理基板１ｂの搬入動作の大部分をメインストッパー１０１と係合しない非係合状態で行っている。しかも、非係合状態では高速搬送しており、コンベア２５１ａ、２５１ｂの基板搬送速度を第２搬送速度に減速させる時間を短縮することができる。つまり、センサー１０２により搬入基板１ｂが検出されない間、コンベア２５１ａ、２５１ｂにより搬出基板１ａおよび搬入基板１ｂを第１搬送速度Ｖｆで高速搬送しており、これにより基板固定位置Ｐlからの基板１ａの搬出と基板固定位置Ｐlへの基板１ｂの搬入に要する時間を短縮することができる。

また、上記第１実施形態では、図９や図１０に示すように、印刷済の基板１ａがセンサー１０５により検出されることをトリガーとしてメインストッパー１０１の搬送方向下流側への移動を開始している。したがって、メインストッパー１０１が基板１ａに干渉するのを効果的に防止することができる。しかも、基板固定位置Ｐlからセンサー１０５までの距離Ｄ１と、基板固定位置Ｐlからメインストッパー１０１までの距離Ｄとに基づきメインストッパー１０１の移動距離を制御しているため、上記干渉をより確実に防止することができる。

さらに、上記第１実施形態では、マスクカメラ駆動ユニット８３はマスクカメラをＸ軸方向に移動させるのみならず、メインストッパー１０１をＸ軸方向に移動させて基板固定位置Ｐlと基板待機位置Ｐwの間で移動させている。このようにマスクカメラ駆動ユニット８３が本発明の「移動手段」として機能しており、駆動機構の共通化により装置構成の簡素化と経済性が達成されている。また、図１の印刷装置により印刷処理を実行することができる最大サイズの基板１に対応してマスクカメラ駆動ユニット８３によるメインストッパー１０１の可動範囲が設定されている。すなわち、マスクカメラ駆動ユニット８３は、最大基板１の基板固定位置Ｐlと、基板固定位置Ｐlから搬送方向Ｘの上流側に最大基板サイズＳＺより離れた位置（例えばＳＺ＋３０［ｍｍ］の位置）との間でメインストッパー１０１を移動させることが可能となっている。したがって、種々の基板サイズの基板１について、上記作用効果を達成しつつ印刷処理を施すことができ、優れた汎用性を有している。

＜第２実施形態＞
図１１は本発明にかかる基板処理装置の第２実施形態で実行される動作を模式的に示す図である。この第２実施形態が第１実施形態と大きく相違する点はバックアップユニット２７の上昇開始タイミングをセンサー１０２、１０５の検出結果に基づき制御している点である。すなわち、第２実施形態では、同図（ａ）に示すように、センサー１０５の検出結果に基づき印刷処理を受けた搬出基板１ａの搬送方向上流端部がセンサー１０５を通過することにより、搬出基板１ａの全体がバックアップユニット２７の動作領域から抜け出したことを検出している。また、基板固定位置Ｐlに移動してきたメインストッパー１０１の上流側に位置するセンサー１０２の検出結果に基づき搬入基板１ｂが基板固定位置Ｐlまで移動してきたことを検出している。そして、これら２つの検出を確認すると、演算処理部４１は基板搬送機構制御部４３にバックアップ指令を与えてバックアッププレート２７１を上方に移動させて上記バックアップ処理を実行するのに続いて、基板１ｂをクランプ片２６１、２６１に挟み込み固定する（図１１（ｂ））。その後に、上記第１実施形態と同様にして印刷処理を開始する（図１１（ｃ））。なお、その他の動作は基本的に第１実施形態と同一である。

以上のように、第２実施形態では、先行して印刷処理された基板１ａがバックアップユニット２７の動作領域から抜け出し、しかも次に印刷処理すべき基板１ｂが基板固定位置Ｐlに位置決めされたことを検出すると、直ちにバックアップ処理を含む基板固定処理を開始している。このように基板固定を開始するタイミングを早めることができ、その結果搬送タクトをさらに短縮することができる。なお、第２実施形態では、センサー１０５が本発明の「第３検出手段」としても機能しているが、専用のセンサーを別途追加してもよい。

＜第３実施形態＞
ところで、印刷装置で実行される印刷処理は、基板１とマスク５１とを密着させた状態でマスク５１の開口部を通じて基板１ａ上面にペーストを印刷するものであり、印刷処理完了後にバックアッププレート２７１を下降させることでマスク５１から基板１を引き離している。しかしながら、マスク５１から基板１が良好に剥離しない場合がある。特に、ペーストは粘性を有しているため、基板１がマスク５１に付着して残余することがある。そこで、第３実施形態では、センサー１０２を利用して印刷済の基板１がマスク５１から離間する、いわゆる版離れしてコンベア２５１ａ、２５１ｂに戻されたことを確認している。以下、図１２を参照しつつ本発明の第３実施形態について説明する。

図１２は本発明にかかる基板処理装置の第３実施形態で実行される動作を模式的に示す図である。この第３実施形態では、図１２（ａ）に示すように、基板１ａがマスク５１に密着された状態でマスク５１の開口部を通じて基板１ａ上面にペーストが印刷される（印刷処理）。この印刷処理が完了すると、演算処理部４１は基板搬送機構制御部４３に版離れ指令を与えてバックアッププレート２７１を下降移動させる。この実施形態では、メインストッパー１０１が下降状態（図６（ｂ））で基板固定位置Ｐlに位置決めされてセンサー１０２は基板固定位置Ｐlに対し搬送方向Ｘの上流側（図１２中の右側）に位置決めされている。このため、版離れが良好に行われると、図１２（ｂ）に示すように、バックアップピン２７２からコンベア２５１ａ、２５１ｂに印刷済基板１ａが戻されると、センサー１０２により当該基板１ａが検出される。逆に、版離れ不良、つまり基板１ａがマスク５１に付着している場合には、センサー１０２から基板検出信号が出力されない。

そこで、第３実施形態では、演算処理部４１は版離れ指令を出力した後、所定時間が経過してもセンサー１０２から基板検出信号が出力されないことをもって版離れ不良が発生したと判定し、その旨を表示／操作ユニット４６に表示してオペレータに知らせる。一方、所定時間内にセンサー１０２から基板検出信号が出力されると、演算処理部４１は第１実施形態と同様にメインストッパー１０１をセンサー１０２と一緒に基板待機位置Ｐwに移動させるとともに、第１搬送速度Ｖｆで基板１ａの搬出と基板１ｂの搬入を開始する（図１２（ｃ））。

以上のように、第３実施形態によれば、基板固定位置Ｐlにメインストッパー１０１を位置させることで基板固定位置Ｐlに対し搬送方向Ｘの上流側にセンサー１０２を配置して版離れを確認している。このように、版離れを確認した上で基板の搬出・搬入を行うことで後続の印刷処理を良好に行うことができる。また、版離れの確認直後より基板の搬出・搬入を行うことができ、搬送タクトを短縮することができる。さらに、版離れ不良が発生した場合には、それを確実に検出することができ、上記不良が発生したまま印刷処理が継続されるのを未然に、しかも確実に防止することができる。

＜第４実施形態＞
図１３は本発明にかかる基板処理装置の第４実施形態で実行される動作を模式的に示す図である。この第４実施形態が第３実施形態と大きく相違する点は、図１３（ａ）に示すように、基板１ａに対して印刷処理を施している間にメインストッパー１０１を基板固定位置Ｐlと基板待機位置Ｐwとの中間位置Ｐiに移動させて当該中間位置Ｐiの近傍位置にセンサー１０２を配置して当該センサー１０２による版離れ検出を可能としている点である。すなわち、第４実施形態では、基板１ａの印刷処理中に演算処理部４１はメインストッパー１０１をセンサー１０２と一緒に中間位置Ｐiに移動させ、センサー１０２は当該中間位置Ｐiの搬送方向上流側で印刷済の基板１ａがコンベア２５１ａ、２５１ｂ上に戻されるのを待つ。そして、図１３（ｂ）に示すように版離れが良好に行われたことがセンサー１０２により検出されると、演算処理部４１はメインストッパー１０１をセンサー１０２と一緒に中間位置Ｐiから基板待機位置Ｐwに移動させるとともに、第１搬送速度Ｖｆで基板１ａの搬出と基板１ｂの搬入を開始する（図１３（ｃ））。

以上のように、第４実施形態においても、センサー１０２により版離れを検出しているため、第３実施形態と同様の作用効果が得られる。また、第４実施形態では第３実施形態よりも基板待機位置Ｐw側、つまり搬送方向Ｘの上流側にセンサー１０２を配置して版離れを検出しているため、版離れ検出後にメインストッパー１０１を基板待機位置Ｐwまで移動させる距離（Ｐi〜Ｐwの距離）が第３実施形態のそれ（Ｐl〜Ｐwの距離）よりも短いため、搬送タクトをさらに短縮することができる。

＜第５実施形態＞
図１４および図１５は本発明にかかる基板処理装置の第５実施形態を模式的に示す図である。この第５実施形態が第１実施形態と大きく相違する点は、メインストッパー１０１と一緒に搬送方向Ｘに移動させられるセンサーが追加されている点と、当該追加センサーによる基板１ａの検出結果に基づきメインストッパーの動作を制御している点である。以下においては、上記相違点を中心に説明し、同一構成については同一符号を付して構成説明を省略する。

この第５実施形態では、メインストッパーユニット１００は、メインストッパー１０１および上流側基板検出センサー１０２以外に、メインストッパー１０１に対しＸ軸方向の下流側でコンベア２５１ａ、２５１ｂ上の基板１を検出可能に設けられた下流側基板検出センサー１０７をさらに備えている。そして、これらメインストッパー１０１、センサー１０２、１０７はマスクカメラ駆動ユニット８３により一体的に基板固定位置Ｐlと基板待機位置Ｐwとの間を移動させられる。その移動制御は以下の通りである。

１枚目の未処理基板の基板固定位置Ｐlへの搬入、位置決めおよび基板固定・印刷は第１実施形態と同様にして行われる。そして、図１４（ａ）に示すように基板１ａに対する基板固定・印刷が開始されると、当該基板１ａの印刷処理中に演算処理部４１はメインストッパー１０１をセンサー１０２、１０７と一緒に基板待機位置Ｐwに移動させる。この実施形態においても、３ステップ(S1)〜(S3)でメインストッパー１０１の移動が行われる。なお、第５実施形態における「基板待機位置Ｐw」とは、図１４（ｂ）に示すように基板固定位置Ｐlでメインストッパー１０１により停止された基板１ａから搬送方向Ｘの上流側に離れた位置であり、当該基板待機位置Ｐwに位置決めされたメインストッパー１０１は当該基板１ａと接触しないものの、メインストッパー１０１の搬送方向下流側に配置されたセンサー１０７によりコンベア２５１ａ、２５１ｂ上の基板１ａを検出することができる位置を意味している。なお、印刷処理中においては、メインストッパー１０１は下降状態に維持されている。

印刷処理が完了すると、演算処理部４１はメインストッパー制御部４５にストッパー上昇指令を与え、昇降駆動シリンダ１０３のピストンを上昇させる。これにより、メインストッパー１０１の先端部は基板待機位置Ｐwでコンベア２５１ａ、２５１ｂの基板搬送面から上方に突出する（図１４（ｃ））。また、演算処理部４１は基板搬送機構制御部４３に版離れ指令を与えてバックアッププレート２７１を下降移動させる。この実施形態では、上記したようにメインストッパー１０１が下降状態で基板待機位置Ｐwに位置決めされてセンサー１０７によりコンベア２５１ａ、２５１ｂに戻された基板１ａを検出可能となっている。このため、版離れが良好に行われると、図１４（ｃ）に示すように、バックアップピン２７２からコンベア２５１ａ、２５１ｂに印刷済基板１ａが戻されると、センサー１０７により当該基板１ａが検出される。逆に、版離れ不良、つまり基板１ａがマスク５１に付着している場合には、センサー１０７から基板検出信号が出力されない。このように、第５実施形態では、下流側基板検出センサー１０７が本発明の「第４検出手段」として機能しており、第３実施形態と同様の作用効果が得られる。また、メインストッパー１０１を基板待機位置Ｐwに位置決めしたまま版離れを検出することができるため、メインストッパー１０１を新たに移動させる必要はなく、第３実施形態や第４実施形態に比べて搬送タクトをさらに短縮することができる。

この第５実施形態では、上記のようにセンサー１０７により版離れが確認されると、演算処理部４１は装置各部を制御して第１搬送速度Ｖｆでの基板１の搬出・搬入を直ちに開始する（図１４（ｄ））とともに、当該搬出・搬入開始からの経過時間Ｔの計測を開始する。また、演算処理部４１は、搬入コンベア３１で待機している第２基板（未処理基板）１ｂが基板待機位置Ｐwに達するまでに要する時間ＴLを算出する。そして、上記経過時間Ｔが（０．９＊ＴL）以上となり、搬入基板１ｂが基板待機位置Ｐwに近接してきたと判定されると、マスクカメラ駆動ユニット８３によりメインストッパー１０１がセンサー１０２、１０７と一緒に搬送方向Ｘの下流側にコンベア２５１ａ、２５１ｂの基板搬送速度Ｖｆと等速で移動させられる。

ここで、メインストッパー１０１に対して搬送方向Ｘの下流側で搬送されている基板１ａに滑りなどが生じてメインストッパー１０１が基板１ａに近接して下流側基板検出センサー１０７が基板１ａを検出すると、その基板検出信号を受けて演算処理部４１はカメラ制御部４４に移動停止指令を与えてマスクカメラ駆動ユニット８３によるメインストッパー１０１の移動を一定時間だけ停止させる（図１５（ａ）、（ｂ））。この停止中に基板１ａはメインストッパー１０１から搬送方向Ｘの下流側に離れていくが、停止中に上流側基板検出センサー１０２がメインストッパー１０１に近づいてくる未処理基板１ｂを検出すると、搬送速度を第２搬送速度（＜Ｖｆ）に減速して基板１ｂを緩やかにメインストッパー１０１に係合させて基板１ｂの損傷を防ぐ。なお、基板１ｂがメインストッパー１０１に係合した後は搬送速度を第１搬送速度Ｖｆに戻す。また、一定時間が経過すると、第１搬送速度Ｖｆでのメインストッパー１０１の移動が再開される。

こうして搬送方向Ｘに沿った（処理済基板１ａ−メインストッパー１０１−未処理基板１ｂ）の配列関係を維持しつつメインストッパー１０１が移動して基板固定位置Ｐlに達すると、メインストッパー１０１は当該基板固定位置Ｐlで停止させられる。そして、１枚目の基板１と同様にセンサー１０２により基板１ｂが検出されると、基板搬送速度を第２搬送速度に減速させて未処理基板１ｂをメインストッパー１０１に係合させて基板固定位置Ｐlに位置決めし、印刷処理を実行する。

以上のように、第５実施形態によれば、第１実施形態と同様の作用効果が得られるのみならず、次のような作用効果も得られる。すなわち、メインストッパー１０１に対し搬送方向Ｘの下流側に下流側基板検出センサー１０７を配置してメインストッパー１０１が搬出基板（処理済基板、印刷済基板）１ａに近接するのを検出し、その検出結果に応じてメインストッパー１０１の移動および移動停止を制御しているため、メインストッパー１０１が搬出基板１ａに衝突して損傷するのを確実に防止することができる。

また、印刷処理中にメインストッパー１０１を基板待機位置Ｐwに移動させておき、下流側基板検出センサー１０７により基板１ａの版離れを検出すると、直ちに基板の搬出・搬入を開始しているため、搬送タクトを短縮することができる。

なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えばバックアップユニット２７は通常メーカー側より提供することが多いが、ユーザ側でバックアップユニット２７を準備する場合もある。このようにユーザにより用意されたバックアップユニット２７により基板１をバックアップしている際に図６（ｃ）に示す状態でメインストッパー１０１を移動させたとしてもバックアップユニット２７がメインストッパー１０１と干渉する場合がある。しかしながら、次のように構成することで干渉を確実に防止することができる。つまり、メインストッパー１０１の移動範囲内でのバックアップユニット２７の有無を検出するセンサー（本発明の「第５検出手段」に相当）を設け、当該センサーによりバックアップユニット２７がメインストッパー１０１の移動範囲から離れていることを確認したときにメインストッパー１０１を移動させるように構成してもよい。

また、上記実施形態では本発明を印刷装置に適用しているが、本発明に適用対象は印刷装置に限定されるものではなく、コンベアにより基板固定位置から基板を搬送方向に搬出すると同時に搬入コンベアから当該コンベアに送り込まれた基板を搬送方向に搬送して基板固定位置に搬入して所定の処理を施す基板処理装置、例えば基板に部品を実装するヘッドを複数個備えたマルチヘッドタイプの部品実装装置にも適用することができる。

１…基板
１ａ…第１基板
１ｂ…第２基板
２１…可動板（支持テーブル）
２５…コンベアユニット
２７…バックアップユニット（昇降手段）
４０…制御ユニット（制御手段）
４１…演算処理部（制御手段）
５１…マスク
６０…半田供給ユニット(処理手段)
７０…スキージユニット(処理手段)
８３…マスクカメラ駆動ユニット（移動手段）
１００…メインストッパーユニット
１０１…メインストッパー
１０２…上流側基板検出センサー（第１検出手段）
１０５…第１搬出側基板検出センサー（第２検出手段、第３検出手段）
１０７…下流側基板検出センサー（第４検出手段）
２５１ａ、２５１ｂ…コンベア
Ｐi...中間位置
Ｐl...基板固定位置
Ｐw...基板待機位置
Ｖｆ…基板搬送速度（第１搬送速度）
Ｘ…搬送方向

Claims (13)

1. 基板を搬送方向に搬送するコンベアと、
   前記コンベアにより搬送される基板と係合して停止させるストッパーと、
   前記ストッパーに対し前記搬送方向の上流側に配置されて前記コンベア上の基板を検出する第１検出手段と、
   基板固定位置と前記基板固定位置で前記ストッパーにより停止された基板から前記搬送方向の上流側に離れた基板待機位置との間で、前記ストッパーを前記第１検出手段と一体的に移動させる移動手段と、
   前記第１検出手段による基板の検出結果に基づき前記コンベアおよび前記移動手段を制御する制御手段とを備え、
   前記基板固定位置に停止された基板を第１基板とし、前記第１基板に続いて前記コンベアに搬入される基板を第２基板としたとき、
   前記制御手段は、前記ストッパーを前記基板待機位置に移動させて前記第１基板、前記ストッパーおよび前記第２基板を前記搬送方向に配列させ、当該配列関係を維持したまま前記第１検出手段による前記第２基板の検出結果に基づき前記コンベアによる基板の搬送を制御するとともに前記移動手段による前記基板固定位置への前記ストッパーの移動を制御しながら前記第１基板の搬出と前記第２基板の搬入を同時に行うことを特徴とする基板処理装置。
2. 前記制御手段は、前記第１検出手段により前記第２基板が検出されない間、前記コンベアにより前記第１基板および前記第２基板を第１搬送速度で搬送する一方、前記第１検出手段により前記第２基板が検出されると前記コンベアの基板搬送速度を前記第１搬送速度よりも遅い第２搬送速度に減速する請求項１記載の基板処理装置。
3. 前記基板固定位置に対し前記搬送方向の下流側で前記基板固定位置から搬出されてくる前記第１基板を検出する第２検出手段をさらに備え、
   前記制御手段は前記第２検出手段による前記第１基板の検出に基づき前記基板待機位置から前記基板固定位置に向けて前記ストッパーの移動を開始させる請求項１または２記載の基板処理装置。
4. 前記基板固定位置に位置決めされた基板を前記コンベアと前記コンベアの上方の間で昇降移動させる昇降手段と、
   前記昇降手段により前記コンベアから上方に移動された前記基板に対して所定の処理を施す処理手段と、
   前記基板固定位置に対し前記搬送方向の下流側で前記基板固定位置から前記搬送方向に搬送される基板を検出する第３検出手段をさらに備え、
   前記制御手段は、前記処理手段により前記処理を受けた前記第１基板の全体が前記基板固定位置に対し前記搬送方向の下流側に搬出されたことを前記第３検出手段の検出結果に基づき検出し、しかも前記第１基板の搬出と同時に前記基板固定位置に向けて搬入されてきた前記第２基板が前記基板固定位置に位置したことを前記第１検出手段の検出結果に基づき検出したとき、前記昇降手段を制御して前記第２基板を前記コンベアから上昇移動させた後、前記所定の処理を実行する請求項１ないし３のいずれか一項に記載の基板処理装置。
5. 前記基板固定位置に位置決めされた基板を前記コンベアと前記コンベアの上方の間で昇降移動させる昇降手段と、
   前記昇降手段により前記コンベアから上方に移動された前記基板に対して所定の処理を施す処理手段とをさらに備え、
   前記制御手段は、
   前記基板固定位置に前記ストッパーを位置させることで前記基板固定位置に対し前記搬送方向の上流側に配置された前記第１検出手段によって、前記処理手段による前記処理を受けた前記第１基板が前記昇降手段により前記コンベアに戻されるのを検出した後に、前記ストッパーを前記基板待機位置に移動させる請求項１ないし３のいずれか一項に記載の基板処理装置。
6. 前記基板固定位置に位置決めされた基板を前記コンベアと前記コンベアの上方の間で昇降移動させる昇降手段と、
   前記昇降手段により前記コンベアから上方に移動された前記基板に対して所定の処理を施す処理手段とをさらに備え、
   前記制御手段は、
   前記処理手段による前記第１基板の処理中に前記ストッパーを前記基板固定位置と前記基板待機位置との中間位置に位置させることで前記中間位置に対し前記搬送方向の上流側に配置された前記第１検出手段によって、前記処理を受けた前記第１基板が前記昇降手段により前記コンベアに戻されるのを検出した後に、前記ストッパーを前記基板待機位置に移動させる請求項１ないし３のいずれか一項に記載の基板処理装置。
7. 前記ストッパーに対し前記搬送方向の下流側に配置されて前記ストッパーと一体的に移動するとともに前記コンベア上の基板を検出する第４検出手段をさらに備え、
   前記制御手段は、前記配列関係を維持しながら前記第４検出手段による前記第１基板の検出結果に基づき前記移動手段による前記ストッパーの移動および移動停止を制御する請求項１または２記載の基板処理装置。
8. 前記基板固定位置に位置決めされた基板を前記コンベアと前記コンベアの上方の間で昇降移動させる昇降手段と、
   前記昇降手段により前記コンベアから上方に移動された前記基板に対して所定の処理を施す処理手段とをさらに備え、
   前記制御手段は、
   前記基板待機位置に前記ストッパーを位置させることで前記基板待機位置に対し前記搬送方向の下流側に配置された前記第４検出手段によって、前記処理手段による前記処理を受けた前記第１基板が前記昇降手段により前記コンベアに戻されるのを検出する請求項７記載の基板処理装置。
9. 前記搬送方向における基板の寸法が最大基板サイズ以下の基板を前記基板固定位置に搬送して処理する請求項１ないし８のいずれか一項に記載の基板処理装置であって、
   前記移動手段は、前記最大基板サイズの基板に対応する前記基板固定位置と、前記基板固定位置から前記搬送方向の上流側に前記最大基板サイズより離れた位置との間で前記ストッパーを移動させる基板処理装置。
10. 支持テーブルをさらに備え、
    前記移動手段および前記コンベアは前記支持テーブル上に設けられている請求項１ないし９のいずれか一項に記載の基板処理装置。
11. 前記搬送方向に移動自在に設けられた撮像手段をさらに備え、
    前記移動手段は前記ストッパーと前記撮像手段を一体的に移動させる請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の基板処理装置。
12. 前記基板固定位置に位置決めされた基板を前記コンベアと前記コンベアの上方の間で昇降移動させる昇降手段と、
    前記ストッパーの移動範囲内での前記昇降手段の有無を検出する第５検出手段とをさらに備え、
    前記制御手段は、前記第５検出手段により前記昇降手段が前記ストッパーの移動範囲から離れていることを確認したときに前記移動手段により前記ストッパーを移動させる請求項１ないし３のいずれか一項に記載の基板処理装置。
13. コンベアにより搬送方向に搬送される第１基板をストッパーにより基板固定位置で停止させた後に前記第１基板に所定の処理を施す第１工程と、
    前記処理中または前記処理後に、前記ストッパーに対し前記搬送方向の上流側に配置されて前記ストッパーに向かう基板を検出する、第１検出手段を前記ストッパーと一体的に前記第１基板から前記搬送方向の上流側に離れた基板待機位置に移動させることで前記第１基板、前記ストッパーおよび前記第１基板に続く第２基板を前記搬送方向に配列する第２工程と、
    前記処理後に、前記配列関係を維持しながら前記第１基板および前記第２基板を前記搬送方向に搬送するとともに前記ストッパーおよび前記第１検出手段を一体的に前記搬送方向に移動させる第３工程とを備え、
    前記第３工程では、前記第１検出手段による前記基板の検出結果に基づき前記コンベアによる基板の搬送が制御されるとともに前記ストッパーの移動が制御されることを特徴とする基板処理方法。

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