JP2013130458A - 基板作業装置およびx線検査装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 276
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 67
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 28
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 13
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 10
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 10
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 7
- 238000004904 shortening Methods 0.000 abstract 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 73
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 230000008569 process Effects 0.000 description 13
- 238000012634 optical imaging Methods 0.000 description 12
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000011112 process operation Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
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Abstract
【解決手段】このX線検査装置100(基板作業装置)は、基板10を搬送する基板搬送部2と、基板10にX線を照射するX線源3と、基板10に照射されたX線に基づいた画像を撮像するX線撮像部4と、基板搬送部2、X線源3およびX線撮像部4とは独立して設けられ、基板10を所定の搬送位置で停止させて基板10を位置決めするメインストッパ6とを備える。そして、メインストッパ6は、基板搬送部2に対して水平方向に移動可能に構成されている。
【選択図】図2
Description
3 X線源(作業部)
4 X線撮像部(作業部)
6 メインストッパ(ストッパ部)
10 基板
61 当接部
62 アーム部
100 X線検査装置(基板作業装置)
626 ロック板(ロック機構)
Claims (9)
- 基板を搬送する基板搬送部と、
前記基板への作業を行う作業部と、
前記基板搬送部および前記作業部とは独立して設けられ、前記基板を所定の搬送位置で停止させて前記基板を位置決めするストッパ部とを備え、
前記ストッパ部は、前記基板搬送部に対して水平方向に移動可能に構成されている、基板作業装置。 - 前記ストッパ部は、前記基板の大きさ、形状または状態に応じて前記基板搬送部に対して水平方向に移動することにより、前記基板を停止させる停止位置を調節可能に構成されている、請求項1に記載の基板作業装置。
- 前記ストッパ部は、前記基板に当接して前記基板を所定の搬送位置で停止させる当接部と、前記当接部を保持して水平方向に伸縮するアーム部とを含み、
前記アーム部が伸縮することにより、前記当接部を移動させて前記停止位置を調節するように構成されている、請求項2に記載の基板作業装置。 - 前記アーム部は、前記基板の搬送方向に沿って伸縮することにより、前記当接部を移動させて前記停止位置を調節するように構成されている、請求項3に記載の基板作業装置。
- 前記ストッパ部は、前記基板に当接して前記基板を所定の搬送位置で停止させる当接部と、前記当接部を保持して、水平方向に伸縮または回動の少なくとも一方が可能なアーム部とを含み、
前記アーム部の伸縮または回動の少なくとも一方により、前記当接部を移動させて前記停止位置を調節するように構成されている、請求項2に記載の基板作業装置。 - 前記ストッパ部は、前記アーム部が所定の長さ以上の伸縮位置に位置する場合に前記アーム部の水平方向の回動を規制するロック機構をさらに含む、請求項5に記載の基板作業装置。
- 前記ストッパ部は、前記基板の搬送方向に応じて設置位置を変更可能に構成されている、請求項1〜6のいずれか1項に記載の基板作業装置。
- 前記ストッパ部は、前記基板搬送部および前記作業部とは独立して前記基板搬送部の上方に設置されている、請求項1〜7のいずれか1項に記載の基板作業装置。
- 基板にX線を照射するX線源と、
前記基板に照射されたX線に基づいた画像を撮像するX線撮像部と、
前記基板を搬送する基板搬送部と、
前記X線源、前記X線撮像部および前記基板搬送部とは独立して設けられ、前記基板を所定の搬送位置で停止させて前記基板を位置決めするストッパ部とを備え、
前記ストッパ部は、前記基板搬送部に対して水平方向に移動可能に構成されている、X線検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011279732A JP5681619B2 (ja) | 2011-12-21 | 2011-12-21 | 基板作業装置およびx線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011279732A JP5681619B2 (ja) | 2011-12-21 | 2011-12-21 | 基板作業装置およびx線検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013130458A true JP2013130458A (ja) | 2013-07-04 |
JP5681619B2 JP5681619B2 (ja) | 2015-03-11 |
Family
ID=48908130
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011279732A Active JP5681619B2 (ja) | 2011-12-21 | 2011-12-21 | 基板作業装置およびx線検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5681619B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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