TWI422522B - 搬運裝置之教導方法、記憶媒體、及基板處理設備 - Google Patents

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Takasi Asakawa
Haruoki Nakamura
Masayuki Enomoto
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Description

搬運裝置之教導方法、記憶媒體、及基板處理設備
本發明係關於在基板處理設備中教導搬運裝置運送載體容器的方法，用於使內儲複數片基板的載體容器搬運進該設備的內部，自該載體容器中取出每一片基板，接著對此基板施作處理。本發明也關於儲存上述方法的記憶媒體，也和基板處理設備相關。
 【交叉參考之相關申請案】
本申請案係基於先前於西元2008年2月29日申請之日本專利申請案第2008-050759號，該案的內容併入於本文以供參考。
吾人已知作為半導體製造設備之一範例的分批式(batch-type)垂直基板處理設備係用於提供如半導體晶圓(下文稱為晶圓)之多片基板的加熱處理(如氧化處理與/或成膜處理)。藉由分隔壁或類似物使如此設備的內部空間分成工作區、裝卸區與一空間，其中該工作區用以使閉鎖型載器(每一個可儲存多片晶圓，如25片)搬運進該設備內部，該裝卸區用以使每一載器所儲之晶圓裝載或轉移至晶舟上，而該空間用以在其中安裝加熱晶圓用的加熱爐。對於坐落於工作區之側的分隔壁，設有檯桌作為傳送台，每一個檯桌係用於放置一載器。在此情況中，一旦載器中的一者係置於傳送台中之一上，則可用裝卸區之側所設置的傳送機構自該載器中取出每一片晶圓。通過此方式，載器先後地被置於傳送台上，且自每一載器中取出晶圓，再裝載到晶舟上，直至晶圓的片數達到預定的值(如100)。其後，已取出晶圓的每一載器係先儲於坐落在工作區的儲存單元中，再回至傳送台。在結束加熱處理之後，處理好的晶圓將再次儲於上述回傳的載器。
在此方式中，該設備對此多片晶圓提供預期的處理。因此，例如檯桌(每一個在工作區中係用於放置每一載器)包括總共廿個單元或台，諸如二負載埠、二傳送台及16個儲存單元。在此情況中，載器先後地自外部被搬運進該設備中。
使用載器托架將每一載器傳送至每一檯桌時，可藉由預先在設計圖中所設定之每一感興趣的長度與/或距離而獲得該載器托架的座標位置(或在傳動系統座標上的位置)。然而，事實上，因與裝配設備有關的誤差與/或如組成系統之傳動帶延長性等等所引起的傳動系統誤差，設計圖上之載器托架的座標位置可能在輸送操作時會些許偏離其理想位置。換句話說，在如此理想的位置中，可使載器運至與檯桌位置精確相符的位置。然而，不僅裝配設備可能引起如此的位置偏移，因長時間持續地操作設備而致之滾珠螺桿及其他零件的磨損也可能引起之。為解決如此問題，操作者有必要在啟動與/或保養設備時執行稱為「教導」的工作。換句話說，當載器托架傳送每一載器時，需要如此的教導工作用以獲得傳動系統座標上載器托架的每一位置。更具體地說，例如可在設備的螢幕上顯示載器托架的各座標位置。因此，操作者在確認螢幕上的載器與載器托架時，可依據手冊使載器托架帶著其所夾持的載器移至載器的每一傳送位置。因此，在載器托架抵達傳送位置時，同時可使載器托架的座標位置設定為載器傳送位置。
然而，由於操作者應依據手冊而行教導工作，故視操作者的經驗與技巧度的情況，與/或依操作者在輸入操作或類似動作時的失誤，載器傳送位置可能包括若干誤差及變異。另外，就運用上文所述之分批式加熱設備情況而言，有如此多(如20)安裝在其中且需要教導工作的單元或台。因此，在此情形下，教導工作應頗為複雜及花費許多時間。專利文件1描述一種示範性基板處理設備，而專利文件2揭露獲得半導體晶圓運送位置之資訊的方法。然而，這些專利文件中均未談到解決前述問題的任一挑戰。
專利文件1：JP11-314890A(【0010】至【0013】段與圖1)
專利文件2：JP2005-260176A(【0105】至【0108】段與圖2)
根據上文情況而構思本發明，所以本發明的目標係提供一種新的教導方法、一種儲存此教導方法的儲存媒體與一種新的基板處理設備。與本發明相關的教導方法、儲存媒體與基板處理設備全部旨在於基板處理設備中教導搬運裝置更快速地與更精確地搬運載體容器，用以使存有複數片基板的載體容器搬運進該設備之內部，自該載體容器中取出每一片基板，接著對該基板施以必要的處理。
本發明係一種教導搬運裝置的方法，其中該方法係用於基板處理設備，該設備包括檯桌，用以置放存有基板之載體容器、包括搬運裝置，其具有用以夾持載體容器的夾持部件與傳動機組，且適用於將載體容器傳送至檯桌上、包括座標位置監控單元與載器控制單元，其中座標位置監控單元適用於依據與搬運裝置之傳動機組相連的編碼器之輸出，而監控夾持部件在傳動系統之座標上的座標位置，而載器控制單元適用於控制該搬運裝置。該方法包括以下步驟：1)使搬運裝置的夾持部件在其預定的位置夾持載器機架，該載器機架設有面朝下的影像獲取裝置，2)使搬運裝置的夾持部件移至開始調降夾持部件之預設調降起始位置，3)使用該影像獲取裝置獲得設於檯桌及用於偵測位置偏移之標誌的影像，4)將影像獲取裝置之視野中所獲得該標誌之位置，與假定夾持部件係位於該調降起始位置的理想位置時該影像獲取裝置之視野中該標誌之位置相比，5)計算調降起始位置的修正量，6)接著在記憶體中儲存所計算的修正量。藉此可依此修正量修正預設調降起始位置，從而獲得該夾持部件在傳動系統之座標上的座標位置，該位置係對應夾持部件之已修正的調降起始位置。
另外，本發明係一種教導搬運裝置的方法，其中該方法係用於基板處理設備，該設備包括檯桌，用以置放存有基板之載體容器、包括搬運裝置，其具有用以夾持載體容器的夾持部件與傳動機組，且適用於將載體容器傳送至檯桌上、包括座標位置監控單元與載器控制單元，其中座標位置監控單元適用於依據與搬運裝置之傳動機組相連的編碼器之輸出，而監控夾持部件在傳動系統之座標上的座標位置，而載器控制單元適用於控制該搬運裝置。該方法包括以下步驟：1)使搬運裝置的夾持部件在其預定的位置夾持載器機架，該載器機架設有面朝上的影像獲取裝置，2)驅動該搬運裝置，使其夾持部件移至檯桌下的預設下位，3)使用該影像獲取裝置獲得設於檯桌及用於偵測位置偏移之標誌的影像，4)將影像獲取裝置之視野中所獲得該標誌之位置，與假定夾持部件係位於該下位的理想位置時該影像獲取裝置之視野中該標誌之位置相比，5)計算該下位的修正量，6)接著在記憶體中儲存所計算的修正量。藉此可依此修正量修正預設下位，俾獲得夾持部件之已修正的下位，從而由該已修正下位獲得夾持部件在傳動系統之座標上的座標位置，該位置係對應開始調降夾持部件的調降起始位置。
在依據本發明而教導搬運裝置的方法中，大批地設置檯桌，其中針對每一檯桌，依序地執行使搬運裝置之夾持部件移至預設調降起始位置的步驟，與計算修正量並將其存於記憶體中的步驟，俾針對每一檯桌指定所計算的調降起始位置之修正量且將其存於記憶體中。
在依據本發明而教導搬運裝置的方法中，大批地設置檯桌，其中針對每一檯桌，依序地執行使搬運裝置之夾持部件移至預設下位的步驟，與計算修正量並將其存於記憶體中的步驟，俾針對每一檯桌指定所計算的下位之修正量且將其存於記憶體中。
在依據本發明而教導搬運裝置的方法中，傳動系統之座標上的夾持部件座標位置係在水平面座標上的位置。
另外，本發明係一種教導搬運裝置的方法，其中該方法係用於基板處理設備，該設備包括檯桌，用以置放存有基板之載體容器、包括搬運裝置，其具有用以夾持載體容器的夾持部件、傳動機組與量測裝置，且適用於將載體容器傳送至檯桌上、包括座標位置監控單元與載器控制單元，其中座標位置監控單元適用於依據與搬運裝置之傳動機組相連的編碼器之輸出，而監控夾持部件在傳動系統之座標上之水平與垂直方向二者的的座標位置，而載器控制單元適用於控制該搬運裝置。該方法包括以下步驟：1)使搬運裝置的夾持部件在其預定的位置夾持載器機架，該載器機架設有面朝下的影像獲取裝置，2)使搬運裝置之夾持部件移至開始調降夾持部件之預設調降起始位置，3)使用該影像獲取裝置獲得設於檯桌及用於偵測位置偏移之標誌的影像，4)將影像獲取裝置之視野中所獲得該標誌之位置，與假定夾持部件係位於該調降起始位置的理想位置時該影像獲取裝置之視野中該標誌之位置相比，同時使用量測裝置量測夾持部件與檯桌之間在垂直方向的距離，進而將垂直方向上所測得距離與假定該夾持部件係位於該調降起始位置的理想位置時該夾持部件與該檯桌之間在垂直方向的距離相比，5)計算該調降起始位置在水平與垂直方向上的每一修正量，6)接著在記憶體中儲存所計算的修正量。藉此可依此修正量修正預設調降起始位置，從而獲得的夾持部件在傳動系統之座標上座標位置，該位置係對應夾持部件之已修正的調降起始位置。
另外，本發明係一種教導搬運裝置的方法，其中該方法係用於基板處理設備，該設備包括檯桌，用以置放存有基板之載體容器、包括搬運裝置，其具有用以夾持載體容器的夾持部件、傳動機組與量測裝置，且適用於將載體容器傳送至檯桌上、包括座標位置監控單元與載器控制單元，其中座標位置監控單元適用於依據與搬運裝置之傳動機組相連的編碼器之輸出，而監控夾持部件在傳動系統之座標上的座標位置，而載器控制單元適用於控制該搬運裝置。該方法包括以下步驟：1)使搬運裝置的夾持部件在其預定的位置夾持載器機架，該載器機架設有面朝上的影像獲取裝置，2)驅動該搬運裝置，使其夾持部件移至檯桌下的預設下位，3)使用該影像獲取裝置獲得設於檯桌及用於偵測位置偏移之標誌的影像，4)將影像獲取裝置之視野中所獲得該標誌之位置，與假定夾持部件係位於該下位的理想位置時該影像獲取裝置之視野中該標誌之位置相比，同時使用量測裝置量測夾持部件與檯桌之間在垂直方向的距離，進而將垂直方向上所測得距離與假定夾持部件係位於該下位的理想位置時該夾持部件與該檯桌之間在垂直方向的距離相比，5)計算該下位的修正量，6)接著在記憶體中儲存所計算的修正量。藉此可依此修正量修正預設下位，俾獲得夾持部件之已修正的下位，從而由該已修正下位獲得夾持部件在傳動系統之座標上的座標位置(水平與垂直方向二者)，該位置係對應開始調降夾持部件的調降起始位置。
在依據本發明而教導搬運裝置的方法中，載器機架設有光輻射部件，適用於發射光束至包含標誌的區域上，其中獲取影像的步驟包括發射光束至包含標誌的區域上，俾在包含標誌的區域中獲得受光照射之位置的影像。
在依據本發明而教導搬運裝置的方法中，檯桌係一反射部件，適用於反射光束，而該標誌係不能反射光束的非反射部件。
在依據本發明而教導搬運裝置的方法中，該檯桌係為一負載埠，其用以在該載體容器自外部被運進該基板處理設備時置放該載體容器、或為一傳送台，其用以在自該載體容器中取出每一片基板時置放該載體容器、或為一儲存單元，其用以置放該載體容器以暫時存放該載體容器。
另外，本發明係一儲存電腦程式的記憶媒體，該程式係用以驅動電腦執行教導搬運裝置的方法，其中該教導搬運裝置的方法係用於基板處理設備，該設備包括檯桌，用以置放存有基板之載體容器、包括搬運裝置，其具有用以夾持載體容器的夾持部件與傳動機組，且適用於將載體容器傳送至檯桌上、包括座標位置監控單元與載器控制單元，其中座標位置監控單元適用於依據與搬運裝置之傳動機組相連的編碼器之輸出，而監控夾持部件在傳動系統之座標上的座標位置，而載器控制單元適用於控制該搬運裝置。該方法包括以下步驟：1)使搬運裝置的夾持部件在其預定的位置夾持載器機架，該載器機架設有面朝下的影像獲取裝置，2)使搬運裝置之夾持部件移至開始調降夾持部件之預設調降起始位置，3)使用該影像獲取裝置獲得設於檯桌及用於偵測位置偏移之標誌的影像，4)將影像獲取裝置之視野中所獲得該標誌之位置，與假定夾持部件係位於該調降起始位置的理想位置時該影像獲取裝置之視野中該標誌之位置相比，5)計算該調降起始位置的修正量，6)接著在記憶體中儲存所計算的修正量。藉此可依此修正量修正預設調降起始位置，從而獲得夾持部件在傳動系統之座標上的座標位置，該位置係對應夾持部件之已修正的調降起始位置。
另外，本發明係一儲存電腦程式的記憶媒體，該程式係用以驅動電腦執行教導搬運裝置的方法，其中該教導搬運裝置的方法係用於基板處理設備，該設備包括檯桌，用以置放存有基板之載體容器、包括搬運裝置，其具有用以夾持載體容器的夾持部件與傳動機組，且適用於將載體容器傳送至檯桌上、包括座標位置監控單元與載器控制單元，其中座標位置監控單元適用於依據與搬運裝置之傳動機組相連的編碼器之輸出，而監控夾持部件在傳動系統之座標上的座標位置，而載器控制單元適用於控制該搬運裝置。該方法包括以下步驟：1)使搬運裝置的夾持部件在其預定的位置夾持載器機架，該載器機架設有面朝上的影像獲取裝置，2)驅動該搬運裝置，使其夾持部件移至檯桌下的預設下位，3)使用該影像獲取裝置獲得設於檯桌及用於偵測位置偏移之標誌的影像，4)將影像獲取裝置之視野中所獲得該標誌之位置，與假定夾持部件係位於該下位的理想位置時該影像獲取裝置之視野中該標誌之位置相比，5)計算該下位的修正量，6)接著在記憶體中儲存所計算的修正量。藉此依此修正量修正預設下位，俾獲得夾持部件之已修正的下位，從而獲得由該修正下位夾持部件在傳動系統之座標上的座標位置，該位置係對應開始調降夾持部件的調降起始位置。
另外，本發明係一種基板處理設備，該設備包括檯桌，用以置放存有基板之載體容器、包括搬運裝置，其具有用以夾持載體容器的夾持部件與傳動機組，且適用於將載體容器傳送至檯桌上、與包括控制器(含座標位置監控單元與載器控制單元)，其中座標位置監控單元適用於依據與搬運裝置之傳動機組相連的編碼器之輸出，而監控夾持部件在傳動系統之座標上的座標位置，而載器控制單元適用於控制該搬運裝置。其中該基板處理設備係用以依據使用控制器的方法而教導搬運裝置，該教導搬運裝置的方法包括以下步驟：1)使搬運裝置的夾持部件在其預定的位置夾持載器機架，該載器機架設有面朝下的影像獲取裝置，2)使搬運裝置之夾持部件移至開始調降夾持部件之預設調降起始位置，3)使用該影像獲取裝置獲得設於檯桌及用於偵測位置偏移之標誌的影像，4)將影像獲取裝置之視野中所獲得該標誌之位置，與假定夾持部件係位於該調降起始位置的理想位置時該影像獲取裝置之視野中該標誌之位置相比，5)計算該調降起始位置的修正量，6)接著在記憶體中儲存所計算的修正量。藉此依此修正量修正預設調降起始位置，從而獲得夾持部件在傳動系統之座標上的座標位置，該位置係對應夾持部件之已修正的調降起始位置。
另外，本發明係一種基板處理設備，該設備包括檯桌，用以置放存有基板之載體容器、包括搬運裝置，其具有用以夾持載體容器的夾持部件與傳動機組，且適用於將載體容器傳送至檯桌上、與包括控制器(含座標位置監控單元與載器控制單元)，其中座標位置監控單元適用於依據與搬運裝置之傳動機組相連的編碼器之輸出，而監控夾持部件在傳動系統之座標上的座標位置，而載器控制單元適用於控制該搬運裝置。其中該基板處理設備係用以依據使用控制器的方法而教導搬運裝置，該教導搬運裝置的方法包括以下步驟：1)使搬運裝置的夾持部件在其預定的位置夾持載器機架，該載器機架設有面朝上的影像獲取裝置，2)驅動該搬運裝置，使其夾持部件移至檯桌下的預設下位，3)使用該影像獲取裝置獲得設於檯桌及用於偵測位置偏移之標誌的影像，4)將影像獲取裝置之視野中所獲得該標誌之位置，與假定夾持部件係位於該下位的理想位置時該影像獲取裝置之視野中該標誌之位置相比，5)計算該下位的修正量，6)接著在記憶體中儲存所計算的修正量。藉此可依此修正量修正預設下位，俾獲得夾持部件之已修正的下位，從而獲得由該修正下位夾持部件在傳動系統之座標上的座標位置，該位置對應開始調降夾持部件的調降起始位置。
在根據本發明的半導體處理設備中，本發明係用以使存有複數片基板的載體容器搬運進其內部，自該載體容器取出每一片基板，接著對該基板施以必要處理。例如，在啟動設備執行搬運裝置(適用於搬運載體容器)的教導工作時，用以教導工作的機架係由該搬運裝置所夾持，接著移至檯桌上的預設調降起始位置。其後，以設在機架之影像獲取裝置拍取設於檯裝上且用以偵測位置偏移之標誌的影像。隨後，根據獲得影像之步驟的結果，計算調降起始位置相對於其理想位置的修正量。因此，可以此修正量修正調降起始位置，從而獲得搬運裝置在傳動機組之座標上的座標位置，該座係對應理想位置。如此，在不依靠操作者之經驗與技巧度下，可高準度地自動執行教導工作。此外，此教導工作可使操作者不需至設有檯桌的每一處去執行該檯桌的教導工作，也可節省操作者針對每一桌在螢幕上檢查及獲取座標位置所需的時間。所以，本發明可大幅便於教導工作，俾實質降低該工作所需的時間。
在下文中，將參照圖1至6而揭露本發明之基板處理設備的一示範實施例。在圖1中，參考數字10指示該基板處理設備的殼體。殼體10分成左側所繪的工作區S1與右側的裝卸區S2，中間有分隔牆11。工作區S1係設以運送及儲存其中的每一載器1，該載器係閉鎖型載體容器，用以儲存其中的多片(如25片)半導體晶圓(下文稱為晶圓)。工作區S1保持在周遭的大氣條件下。如圖式所示，儘管晶圓搬運盒(FOUP)係用作為每一閉鎖型載器，本文也稱之為「載器」。在工作區S1中，各設有適當數目的負載埠21、傳送台23與儲存單元24。特別是，如圖2所示，負載埠21係設於工作區S1，例如於其前後側的二位置上。每一負載埠21係用作為放置每一載器1的檯桌，該載器係藉由外部運送機構(未顯示)自殼體10之側壁所設置的傳送埠20而被運進殼體10。傳送台23係固定於分隔牆11上，例如在垂直分隔的二處。當坐落於裝卸區S2的傳送機構42(下文將描述之)自工作區S1中的載器1取出晶圓W時，每一傳送台23也用作為放置每一載器1的檯桌。儲存單元24係個別設於工作區S1的上部中，且用作為儲存載器1的檯桌。此外，載器傳送機22係設於負載埠21與傳送台23之間，該傳送機係用以運送工作區S1中之每一載器1的搬運裝置。再者，風門D係設於殼體10的外側上對應傳送埠20的位置處。風門D係用以任意地開關傳送埠20。
如圖2所示，儲存單元24係以群組方式設置，例如以縱向4行及橫向2列的方式排列。在此情況中，於載器1之搬運區的兩側上設置二組儲存單元24，每一載器係由載器傳送機22所運送，而儲存單元24的每一開口側係對著搬運區。如圖3所示，用以放置載器1的載器台50(即每一儲存單元24的一面)具有其中所形成的矩形開口51，且開口係朝向載器傳送機22的搬運區。載器托架31(下文將描述之)係設於載器傳送機22上。在此情況中，因載器托架31穿過開口51而垂直移動，故可於載器台50與載器傳送機22之間傳送著載器1。在每一載器台50中，例如，於開口51旁邊設有作為標誌的圓形開口52，用以偵測位置偏移。如下文將描述的，在用載器機架(jig)2教導載器托架31時，開口52係用作為對齊用的標誌(即位置偏移的偵測)。應理解到，以如載器台50的方式，也於前述負載埠21與傳送台23之放置載器1的每一面上設置上文的開口52與用以允許載器托架31穿過的開口51。
載器傳送機22包括在殼體10中垂直延伸的支柱25，與設於支柱25之側面的水平臂桿26，其中臂桿26可在二組儲存單元24之間水平延伸的任一適當位置。換句話說，水平臂桿26可任意地在垂直方向上移動，例如隨著設於支柱25且由支柱25之下部的馬達M而驅動之確動皮帶(timing belt)一起垂直移動。馬達M包含編碼器(未顯示)，俾由該編碼器所給定的每一值而獲得或測得水平臂桿26的高度。對於水平臂桿26，設有載器托架31，俾藉由馬達34使其可經導向機構(未顯示)沿著水平臂桿26而水平移動。載器托架31係由活節臂所組成，包括二臂35與30及夾持部件31a。載器托架31係架構成使其整體繞著垂直軸心旋轉，同時夾持部件31a可直線移動。因此，可基於因旋轉用之馬達所致的移動量(關於轉動角度(θ))，和基於因另一直線移動用之馬達所致的移動量(進縮方向上)，而控制夾持部件31a的位置。
對於夾持部件31a，例如在三個位置處設有凸部32，同時載器1具有其底面所形成的三個凹部，俾使當載器1置於夾持部件31a上時，此三個凸部32可個別安裝於載器1的凹部。因此，每一載器可由載器托架31所搬運，同時精確地定位於載器托架31上。前述直線移動用的馬達係經變速齒輪(未顯示)而與夾持部件31a相連，俾無論載器1的位置為何，可相對於其進縮方向而維持載器托架31上所置放之每一載器1的方位。如圖5所示，由前述馬達M、34與載器托架31的馬達所組成之傳動機組33的編碼器38係與控制器36相連。控制器36包括座標位置監控單元37、載器控制單元39與儲存教導資料於其中的記憶體8。藉由獲取編碼器38(其與驅動載器傳送機22之每一軸心的馬達相連)的脈衝數目，座標位置監控單元37用來獲得載器傳送機22之傳動系統之座標上的位置，更具體地說，夾持部件31a之傳動系統之座標上的位置。載器控制單元39包括預設運算程式，與用來依據教導資料而控制載器傳送機22的操作。記憶體8中所儲之教導資料係對應於載器傳送機22之每一軸心之編碼器38的脈衝指令值，所提供的指令值係根據教導所獲得的修正量或值(下文將述之)，即對應於傳動系統座標上之夾持部件31a的座標位置的資料。應注意到，相似的凸部也設於前述負載埠21與傳送台23之每一個放置載器1的面，俾使該凸部個別地安裝於載器1中所形成的凹部。
在此範例中，為教導控制器36記住載器托架31的搬運操作，具有與載器1相同形狀的載器機架2係置於載器托架31上。儘管如此設以執行教導的機架也稱為「教導機架」，該機架在本文中係稱為「載器機架」。在每一載器機架2的底面，設有與載器1凹部相似的凹部(未顯示)，其中夾持部件31a的凸部32可安裝於該凹部，俾使載器機架2在置於載器托架31上時可採與載器1相同的姿態，或俾預先明白載器1與載器機架2之間的位置關係。如圖6所示，在載器機架2底面與載器托架31接觸部分以外之區域中，各設有攝影機61與光輻射部件62a及62b。攝影機61係作為影像獲取(或攝像)裝置，其具有面向下方的視野，用以獲取包括例如開口52之區域影像，該開口形成於每一載器台50中，作為偵測位置偏移的標誌。每一光輻射部件62a及62b具有狹縫形狀，且適合以具有線性射束剖面之光或雷射照亮攝影機61的影像獲取區。如此的光輻射部件62a及62b係用以發射二雷射射束，該二雷射射束係在設備中所用之電腦控制的水平面上個別平行於直角座標(Cartesian coordinates)的X-Y軸。此外，可個別將光輻射部件62a及62b定向，俾使自該等部件所發射之雷射射束所個別照亮的線性部可在攝影機61之影像獲取區的中央部份彼此相交。
例如，載器托架31的理想位置係設於開始調降載器托架31的位置，在移至此位置後同時能夾持載器機架2，俾允許載器機架2安全地被傳送至載器台50上。在此理想位置中，攝影機61之影像獲取區的中央位置將與開口52中央位置一致。圖6(a)係一視圖，說明載器托架31上所夾持之載器機架2的背面，及圖6(b)係一視圖，說明載器托架31上所夾持之載器機架2的底面。如圖5所示，影像控制器64經電纜(未顯示)與載器機架2相連。在攝影機61獲取載器台50之開口52的影像後，影像控制器64適合用以計算攝影機61之影像獲取區的中央位置與開口52的中央位置之間的位置偏移量。
影像控制器64包括圖像資料處理程式6A與修正量計算程式6B。圖像資料處理程式6A係設計為使用攝影機61拍攝或獲取任一既定區(包括開口52)的影像，接著讀取每一座標位置，其中在攝影機61的視野中，自光輻射部件62a及62b所發射的每一雷射射束於開口52的周邊變得不連續。換句話說，程式6A用作為讀取由點P1至P4所環繞或定義之開口52的位置，下文將描述該等點。修正量計算程式6B係設計為在使載器機架2置於每個負載埠21、傳送台23與載器台50上時，基於圖像資料處理程式6A所獲得的位置資訊，而計算載器托架31在傳動系統的座標上理想位置與實際位置之間的位置偏移程度(位置差)，下文將細述之。然後，程式6B將計算與位置偏移(位置差)相對應的修正量。換句話說，如下文將描述的，修正量計算程式6B係作為量測載器機架2與載器台50之間的距離的手段。
就負載埠21與傳送台23的情況而言，理想位置係設於一位置，其中開始調降載器托架31，以允許載器1底面中所形成的凹部可安全地與每個負載埠21及傳送台23之放置載器1的面上所形成的個別凸部32囓合。在此情形中，允許於載器傳送機22與傳送機構42或任何其它合適的外部運送機構(未顯示，坐落於基板處理設備之外)之間精確地傳送著載器1。更具體的是，就載器台50的情況而言，理想位置係設為使載器托架31可精確地坐落於載器台50的中央位置上，從而在載器1置於載器台50時，防止載器1與儲存單元24的任一側面之間的碰撞。因此，在此範例中，當攝影機61所拍取之影像的中央位置係與開口52之中央位置一致時，可獲得理想位置上的位置資訊。
使用光輻射部件62以光線照亮攝影機61的影像獲取區(包括開口52)，俾用攝影機61得到包括開口52之區域影像，接著使用影像控制器64比較開口52的中央位置與攝影機61之影像獲取區的中央位置，而獲得載器托架31之座標位置在水平方向上的每一修正量(下文將細述之)。在此期間，可藉攝影機61所拍得的影像計算攝影機61與載器台50之間的距離，接著使所計算的距離與假定載器托架31係位於理想的位置時所獲得的距離(攝影機61及載器台50之間)相比，而獲得垂直方向上的位置偏移(或差異)的量或值(下文將細述之)。
依控制器36的指令執行如此的教導工作。因此，如上文所述與位置偏移或偏離值有關之個別所得的修正量係傳回至控制器36，接著存於記憶體8中作為教導資料。記憶體8(下文將細述之)設有數個區，用以個別儲存傳動系統之座標上的設計位置(如上文所述之設計資訊所得)及影像控制器64所個別計算的修正量。記憶體8也包括用以個別儲存座標上之理想位置的區域，該理想位置係基於修正量修正設計位置而獲得。其後，例如在教導工作後搬運載器1時，可自記憶體8讀取每一理想位置。此外，當輸出理想位置至傳動機組33時，資訊即從X-Y-Z軸之直角座標上的值轉換成傳動系統之座標上的值。
如上文所述，因組裝設備時的誤差，對於放置載器1的每一地方或檯桌，會出現設計位置與理想位置之間的誤差。因此，修正量隨每一檯桌而變。於是，有必要針對放置載器1的每一區執行教導工作。每個程式6A、6B與傳動系統所用的其它程式(如用以輸入與/或顯示每一操作參數的程式)係存於記憶單元4，接著安裝在控制器36中，該單元係電腦記憶媒體，如軟碟、光碟、磁光碟(MO)、硬碟或類似物。應注意到，可在非啟動基板處理設備的其它時段執行此教導工作。例如，可在設備的週期保養時執行此工作。
如圖1所示，對應於每一傳送台23而開啟分隔牆11。閘門70設於裝卸區S2之側的分隔牆11上，俾使分隔牆11的每一開口可由閘門70而關閉。當載器1置於傳送台23上而使載器1上所設的開關門(opening and closing door，未顯示)面對分隔牆11上所設的開口時，連同此開關門一起開啟閘門70，從而使載器1中的大氣與裝卸區S2的大氣互通。
裝卸區S2係用於提供晶圓W的加熱處理，如氧化處理與/或成膜處理，且保持在如氮氣的惰性氣體大氣中。在裝卸區S2中，設有加熱爐40，該加熱爐係底端具有作為爐口之開口的垂直式處理單元。此外，在加熱爐40下方設有晶舟41。晶舟41係用作為夾持多片晶圓W的夾持工具，且用以藉升降機構41a而任意地在垂直方向上移動。可藉外罩44開關加熱爐40的爐口。另外，在裝卸區S2中，於晶舟41與分隔牆11之間設有傳送機構42。傳送機構42適合用以在傳送台23上所放置的載器1與晶舟41之間傳送晶圓W。例如，對於傳送機構42，設有可共同放置多片晶圓W的臂桿43，俾使臂桿43可任意地進縮。此外，傳送機構42可藉馬達(未顯示)而繞著垂直軸心轉動，且用以沿著升降軸45而任意地升降。
接著，參照圖7至12將揭露與本發明相關之搬運裝置的教導方法。例如，首先，當執行此教導工作時，於啟動基板處理設備時，操作者將載器機架2置於載器托架31上。然後，如圖8(a)所示，載器托架31的夾持部件31a前進至儲存單元24之一，且升至由設計資訊所得之預設的調降起始位置(即開始調降載器托架31的設計位置)，A1(xA1 ,yA1 ,zA1 )，(步驟S61)。有時候，由設計資訊所得之如此的預設調降起始位置可能與調降起始位置的理想位置相同。然而，如此的預設調降起始位置常常稍微異於理想位置。無論在哪種情況下，於預設調降起始位置處，攝影機61係位於開口52之上，同時對著該開口。
其後，如圖8(b)與9所示，以光輻射部件62a及62b所發射的光線(如雷射射束)照射開口52，該等射束在水平面上係個別地平行於直角座標的X-Y軸，俾使該雷射射束可在攝影機61之影像獲取區的中央位置彼此相交。如此，攝影機61可拍取或獲得含開口52的區域影像(步驟S62)。因此，如圖10(a)所示，在攝影機61之影像獲取區的視野中可獲得開口52的影像。然而，假設夾持部件31a的預設調降起始位置(或調降起始位置的設計位置)不與調降起始位置的理想位置一致，則攝影機61的中央位置將異於開口52的中央位置。在此情形下，會在開口52的周邊獲得所發射之雷射射束之十字線的不連續影像。
更具體地說，如圖10(a)與10(b)所示，假定上文情況中攝影機61之影像獲取區的中央位置座標係指定為C0 (x0 ,y0 )，則所發射之雷射射束的十字線於開口52之周邊變得不連續的位置座標，依順時針各個地表示為：P1 (x0 ,y1 )、P2 (x2 ,yo )、P3(xo ,y3 ),與P4(x4 ,yo )。因此，可從這些P1 到P4 的座標依下式而獲得開口52之中心座標C1 (a,b)：a=xo +(x2 +x4 )/2，與b=yo +(y1 +y3 )/2.因此，假定雷射射束(個別地平行於直角座標的X-Y軸)係發射至開口52上，可計算修正量Δx1 與Δy1 (個別對應攝影機61之影像獲取區的中央位置與開口52的中央位置之間的位置偏移量)作為C0 與C1 之間的差值，因而表為下式：Δx1 =(x2 +x4 )/2，與Δy1 =(y1 +y3 )/2如上述，影像控制器64依據影像的倍率而計算攝影機61所拍得影像中所含之任一部分的實際尺寸。因此，可個別獲得C1 與P1 至P4 之間的每一距離，即x2 、x4 、y1 、y3 之值。當然，假設攝影機61之影像獲取區的中央位置座標A1不偏離開口52的中央位置座標B1，則修正量Δx1 與Δy1 應各自為零。應注意到，為簡化，圖9僅說明所發射至開口52上的二雷射射束其中之一。
將依下述方式計算載器機架2與載器台50之間垂直方向的距離h。換句話說，如圖11所示，例如可預先自設計資料等等中獲得自光輻射部件62所發射之雷射設束與載器機架2之間所定義的角度α，及攝影機61之影像獲取區的中央位置與光輻射部件62之間的水平距離x1。在此情形中，當距離或高度h變化時，圖中之雷射射束所照射的位置將會橫向偏移。因此，隨著載器機架2之垂直方向上的位置變化，所發射至載器台50上的雷射射束線與攝影機61之影像獲取區的中央位置之間的距離(距離x2)也有所改變。於是，基於角度α、距離x1與距離x2，可依據三角學計算載器機架2與載器台50之間的垂直距離h。應注意到，載器機架2與載器台50之間的距離h對應於載器托架31之夾持部件31a頂面與載器台50之間的距離。在此期間，當假定載器托架31之夾持部件31a位於調降起始位置的理想位置時，也可輕易地如依設計資料、計算、實驗等等而獲得角度α、距離x1與x2。因此，藉由將理想情況中之載器機架2的高度h0 與上述所計算的距離h做比較，可獲得垂直方向上的修正量Δz1 (=∣h0 -h∣)。
其後，如上述，吾人可自影像控制器64將修正量Δx1 、Δy1 、Δz1 儲於控制器36的記憶體8中(步驟S63)。然後，依個別的修正量Δx1 、Δy1 、Δz1 修正載器托架31的設計座標(具體地說，夾持部件31a的設計座標)，A1(xA1 ,yA1 ,zA1 )，且也將所修正的座標(即理想座標B1(xB1 ,yB1 ,zB1 ))儲於記憶體8中。這些X、Y與Z軸座標各自對應馬達所驅動之整個載器托架31沿著水平臂桿26的轉移量、馬達所驅動之載器托架31的進縮量、與馬達M所驅動之水平臂桿26的垂直移動量。換句話說，如此X、Y與Z軸座標對應於任一既定時間內驅動系統座標上的載器托架31位置。更具體地說，對於載器托架31在驅動系統座標上之的位置修正，載器托架31因編碼器(與每一馬達連接)的一脈衝而引致水平方向上的轉移量係用作為個別修正量Δx1 、Δy1 的單位。在此期間，載器托架31在垂直方向上的轉移量(對應馬達M之編碼器的一脈衝)係用作為修正量Δz1 的單位。
一旦獲得載器托架31之夾持部件31a之調降起始位置的理想位置，就將載器托架31之夾持部件31a設定在該調降起始位置的理想位置。接著，為了實際搬運載器1，將依據預設之典型操作程序而調降載器托架31穿過載器台50的凹口51，俾使載器1置於載器台50上。其後，將載器托架31降的更低，接著縮回。在縮回該載器托架之後，應檢查是否仍留存尚未獲得修正量之任何檯桌。假設存有如此的檯桌，則依上述之相同方法進一步對其執行教導(步驟S64)。在此方法中，如圖12所示，各自對應載器之搬運位置的設計位置A1 至A20 、修正量(Δx1 ,Δy1 ,Δz1 )至(Δx20 ,Δy20 ,Δz20 )與理想座標B1 至B20 係個別儲於記憶體8中。其後，自載器托架31移除載器機架2，且結束此教導工作。
再來，將簡略地解釋每一載器1之經過整個基板處理設備系統的傳送。首先，當外部搬運裝置(未顯示)經輸送埠20將載器1置於負載埠21時，將載器托架31自上位移至所計算的下位，該上位係負載埠21的理想位置。隨後，延伸載器托架31或使其前進，接著升起載器托架31的夾持部件31a至承受住載器1。其後，在該上位中縮回載器托架31，再將載器1移向傳送台23。一旦載器托架31抵達傳送台23，則將載器托架31的夾持部件31a移至調降起始位置的理想位置。然後，將載器托架31的夾持部件31a朝下位調降，俾使載器1置於傳送台23之用以放置載器1的面上。其後，於該下位處縮回載器托架31。
在傳送台23上，載器1的開關門(未顯示)緊貼著分隔牆11，接著隨同閘門70一起被開啟。因此，傳送機構42可自載器1取出晶圓W，再傳送至晶舟41上。在此期間，載器托架31將剩下空的載器1傳至並存於儲存單元24，其中已用上述相同的方式修正了該座標。在此方法中，接連地將載器1搬運進工作區S1，直至傳到晶舟41上之晶圓W達預定片數，如100片。然後，分別將剩下空的載器1存於儲存單元24中。
一旦升高晶舟41並放入加熱爐40中，則關閉加熱爐40之底端所設置的爐口。接著，對晶圓W施以預定的熱處理。在熱處理之後，以反向順序將裝填於晶舟41上的晶圓W送回每一載器1。其後，以相同方式將載器1運出基板處理設備。應理解到，在先行將載器1搬運至基板處理設備後，每一儲存單元24可用以暫時存放載器1，該載器儲有未處理之晶圓W。
在依據前述實施例的基板處理設備中，將載器1(每一個存有複數片晶圓W)搬運進該設備，自每一載器1中取出晶圓W，再對晶圓W執行所需的處理。例如，在開始基板處理的操作時，執行載器托架31的定位教導工作，該載器托架適用於傳送載器1往返個別檯桌。在此情況中，載器機架2係置於載器托架31上，且例如，移至相對於載器台50的上位。然後，攝影機61拍取載器台50之含開口52之區域影像。隨後，獲得攝影機61之影像獲取區的中央位置與開口52的中央位置之間水平方向上的位置偏移量。在此期間，如上述，可預先個別知悉攝影機61之影像獲取區的中央位置與開口52的中央位置之間的位置關係，和載器1與載器機架2之間的位置關係，其中載器1與載器機架2皆由載器托架31所托持。換句話說，在如此的位置關係中，攝影機61之影像獲取區的中央位置係設定與開口52的中央位置相同，同時載器托架31所夾持的載器1係設定與載器機架2採相同的姿態。於是，可依據如此的位置關係，而獲得攝影機61之影像獲取區的中央位置與開口52的中央位置之間水平方向上的位置偏移。因此，也可獲得載器1與載器台50之間的位置偏移。於是，可依據如此之位置偏移量來修正載器托架31的座標，而執行教導工作，其有關載器台50上之載器托架31在傳動系統座標上的位置。因此，在不依靠操作者依據手冊而工作的情況下，實現此教導工作。所以，即使在許多位置(如上文之基板處理設備)中設有用以個別放置載器1的檯桌或其它相似地方之情況下，可大幅降地因操作者之經驗與技巧度，與/或操作者在輸入操作或類似動作時所犯的失誤而引致教導工作中的誤差。此外，可實質減少教導工作所需的時間。
因為可用雷射射束迅速地判定或區別開口52的周邊，故可以非常簡單的方式執行教導工作。此外，由於可獲得載器托架31之夾持部件31a在垂直方向上的位置，故也可依據載器台50與載器機架2之間的垂直距離，而執行有關載器托架31之垂直方向的教導工作。
在上文之搬運裝置的教導方法中，當已各自得到開口52的座標位置(即其中心座標C1 與垂直方向上的距離h)時，同時可獲得如此的座標。例如，如下文之參考文獻1所述，運用如所謂狹縫光投影法(slit-light projection method)中的立體量測同時地獲得如此三維座標。
(參考文獻1)
標題：三維影像量測
作者：Masashi Iguchi,
出版商：(1990/11)
ISBN-10：4785690364
頁碼：91至97
通常，載器托架31之夾持部件31a在垂直方向上設計位置並不會偏離其理想位置。因此，不需將設計垂直位置修正或改變成理想位置，可僅藉由使用攝影機61所拍得的開口52影像來獲得水平方向上的每一位置偏移量(或修正量)。
另外，攝影機61與光輻射部件62可設於載器機架2的頂面，同時個別面朝上。在如此的情況中，在相對於檯桌的下位中獲得理想位置。因此，基於該下位的座標，而計算載器托架31之調降起始位置的理想位置。應理解到，載器托架31的教導工作可也在本發明的範圍內，其中可在比上位或下位更毗鄰檯桌的位置處執行此教導工作，或在比上未或下位更遠離檯桌的位置處執行之。
關於利用開口52之周邊的每一雷射射束的不連續位置而計算開口52的中心位置，可對檯桌(如載器台50或相似物)提供任何用以防止雷射射束反射的適當表面處理，替代使用其中所形成的開口52。此外，儘管光輻射部件62在攝影機61拍取開口52影像時會發射雷射射束，仍可在無雷射射束照射開口52的情況下，直接自攝影機61所拍取的影像中讀取開口52的周邊。另外，儘管當載器托架31位於理想位置時，攝影機61之影像獲取區的中央位置係設定與開口52的中央位置相同，攝影機61的設定並不限於如此之實施態樣。例如，可設定攝影機61，俾當載器托架31位於理想位置時獲得其影像獲取區與開口52的另一特定位置關係。不僅如此，在上例中，開口52係形成於每一載器台50上，俾使攝影機61可拍取其影像。然而，例如，可在載器台50上設置或印上十字型標誌，替代在其中形成開口52。此外，可使用如針對載器機架2所分別設置的任一適當距離記錄器，而量測載器機架2與載器台50之間的垂直距離。
另外，在上例中，載器機架2(或載器1)係置於載器托架31上而搬運。然而，當載器機架2的頂面係由載器托架31所夾持時，也可搬運載器機架2。應理解到，本發明不僅應用於如上述的分批式加熱設備，也能應用於清洗設備或適合以清洗液共同清洗基板(如晶圓W或每一載器1中所儲之相似物)的相似設備。在如此情況下，可獲得類似的效果，用以教導適用於使載器1搬運進清洗設備中的任何適當搬運裝置。
1．．．載器
2．．．載器機架
4．．．記憶單元
6A．．．圖像資料處理程式
6B．．．修正量計算程式
8．．．記憶體
10．．．殼體
11．．．分隔牆
20．．．輸送埠
21．．．負載埠
22．．．載器傳送機
23．．．傳送台
24．．．儲存單元
25．．．支柱
26．．．臂桿
30．．．臂
31．．．載器托架
31a．．．夾持部件
32．．．凸部
33．．．傳動機組
34．．．馬達
35．．．導向機構
35a．．．樞軸
36．．．控制器
37．．．座標位置監控單元
38．．．編碼器
39．．．載器控制單元
40．．．加熱爐
41．．．晶舟
41a．．．升降機構
42．．．傳送機構
43．．．臂桿
44．．．外罩
45．．．升降軸
50．．．載器台
51．．．開口/凹口
52．．．開口
61．．．攝影機
62．．．光輻射部件
62a．．．光輻射部件
62b．．．光輻射部件
64．．．影像控制器
70．．．閘門
C0 ．．．中央位置座標
C1 ．．．中心座標
D．．．風門
P1-P4．．．點
S1．．．工作區
S2．．．裝卸區
W．．．晶圓
M．．．馬達
h．．．距離
α．．．角度
x1．．．距離
x2．．．距離
A1．．．座標
B1．．．座標
圖1係概略視圖，顯示本發明之基板處理設備的一範例。
圖2係基板處理設備的透視圖。
圖3係透視圖，顯示基板處理設備中所用之載器傳送機的一範例。
圖4係顯示載器傳送機的平面視圖。
圖5係概略圖，顯示基板處理設備中所用之控制單元的一範例。
圖6(a)與6(b)係概略視圖，分別顯示基板處理設備中所用之載體機架的一範例。
圖7係流程圖，顯示基板處理設備中所執行的教導工作之步驟的一範例。
圖8(a)與8(b)係係概略視圖，分別說明基板處理設備中所執行之教導工作的步驟。
圖9係一簡圖，用以說明基板處理設備中所執行之教導工作的步驟。
圖10(a)與10(b)係簡圖，用以分別說明基板處理設備中所執行之教導工作的步驟。
圖11係一簡圖，用以說明基板處理設備中所執行之教導工作的步驟。
圖12係一簡圖，用以說明藉由基板處理設備中所執行的教導工作而獲得教導資料的一範例。
S61．．．將載器托架移至設計位置
S62．．．使用攝影機獲得開口的影像
S63．．．計算水平方向的修正量和垂直方向的修正量，且將其存於記憶體中
S64．．．是否仍留存尚未獲得修正量之任何檯桌？

Claims (11)

  1. 一種教導一搬運裝置的方法，其中該方法係用於一基板處理設備，該基板處理設備包括一檯桌，用以置放存有基板之載體容器、包括該搬運裝置，具有用以夾持該載體容器的一夾持部件與一傳動機組，且適用於將該載體容器傳送至該檯桌上、包括一座標位置監控單元與一載器控制單元，其中該座標位置監控單元適用於依據與該搬運裝置之傳動機組相連的一編碼器之輸出，而監控該夾持部件在一傳動系統之座標上的座標位置，而該載器控制單元適用於控制該搬運裝置，該方法包括以下步驟：使該搬運裝置的夾持部件在該夾持部件之一預定位置夾持一載器機架，該載器機架設有面朝下的一影像獲取裝置；使該搬運裝置的夾持部件移至開始調降該夾持部件之一預設調降起始位置；及使用該影像獲取裝置獲得設於該檯桌及用於偵測位置偏移之一標誌的影像，將該影像獲取裝置之視野中所獲得該標誌之位置，與假定該夾持部件係位於該調降起始位置的理想位置時該影像獲取裝置之視野中該標誌之位置相比，計算該調降起始位置的一修正量，接著在一記憶體中儲存所計算的修正量；藉此可依該修正量修正該預設調降起始位置，從而獲得該夾持部件在該傳動系統之座標上的座標位置，該位置係對應該夾持部件之已修正的調降起始位置，其中該載器機架設有一光輻射部件，適用於發射光束至包含該標誌的一區域上，且其中該獲取影像的步驟包括發射光束至包含該標誌的該區域上，俾在包含該標誌的該區域中獲得受光照射之一位置影像。
  2. 如申請專利範圍第1項之教導一搬運裝置的方法，其中大批地設置該檯桌，且其中針對每一檯桌，依序地執行使該搬運裝置之夾持部件移至該預設調降起始位置的步驟，與計算修正量並 將該計算修正量存於該記憶體中的步驟，俾針對每一檯桌指定所計算的該調降起始位置之修正量且將所計算的修正量存於該記憶體中。
  3. 一種教導一搬運裝置的方法，其中該方法係用於一基板處理設備，該基板處理設備包括一檯桌，用以置放存有基板之一載體容器、包括該搬運裝置，具有用以夾持該載體容器的一夾持部件與一傳動機組，且適用於將該載體容器傳送至該檯桌上、包括一座標位置監控單元與一載器控制單元，其中該座標位置監控單元適用於依據與該搬運裝置之傳動機組相連的一編碼器之輸出，而監控該夾持部件在一傳動系統之座標上的座標位置，而該載器控制單元適用於控制該搬運裝置，該方法包括以下步驟：使該搬運裝置的夾持部件在該夾持部件之預定位置夾持一載器機架，該載器機架設有面朝上的一影像獲取裝置；驅動該搬運裝置，以使該搬運裝置之夾持部件移至該檯桌下的一預設下位；及使用該影像獲取裝置獲得設於該檯桌及用於偵測位置偏移之一標誌的影像，將該影像獲取裝置之視野中所獲得該標誌之位置，與假定該夾持部件係位於該下位的理想位置時該影像獲取裝置之視野中該標誌之位置相比，計算該下位的一修正量，接著在一記憶體中儲存所計算的修正量；藉此可依該修正量修正該預設下位，俾獲得該夾持部件之一已修正的下位，從而由該已修正下位獲得該夾持部件在該傳動系統之座標上的座標位置，該位置係對應開始調降該夾持部件的一調降起始位置，其中該載器機架設有一光輻射部件，適用於發射光束至包含該標誌的一區域上，且其中該獲取影像的步驟包括發射光束至包含該標誌的該區域上，俾在包含該標誌的該區域中獲得受光照射之一位置影像。
  4. 如申請專利範圍第3項之教導一搬運裝置的方法，其中大批地設置該檯桌，且其中針對每一檯桌，依序地執行使該搬運裝置之夾持部件移至該預設下位的步驟，與計算該修正量並將該修正量存於該記憶體中的步驟，俾針對每一檯桌指定所計算的該下位之修正量且將該所計算的修正量存於該記憶體中。
  5. 如申請專利範圍第1項或第3項之教導一搬運裝置的方法，其中該傳動系統之座標上的該夾持部件座標位置係水平面座標上的一位置。
  6. 如申請專利範圍第1項之教導一搬運裝置的方法，其中該檯桌係一反射部件，適用於反射光束，且其中該標誌係不能反射光束的一非反射部件。
  7. 如申請專利範圍第1項或第3項之教導一搬運裝置的方法，其中該檯桌係為一負載埠，其用以在該載體容器自外部被運進該基板處理設備時置放該載體容器、或為一傳送台，其用以在自該載體容器中取出每一片基板時置放該載體容器、或為一儲存單元，其用以置放該載體容器以暫時存放該載體容器。
  8. 一種儲存一電腦程式的記憶媒體，該電腦程式係用以驅動電腦執行教導一搬運裝置的方法，其中該教導搬運裝置的方法係用於一基板處理設備，該基板處理設備包括一檯桌，用以置放存有基板之一載體容器、包括該搬運裝置，具有用以夾持該載體容器的一夾持部件與一傳動機組，且適用於將該載體容器傳送至該檯桌上、包括一座標位置監控單元與一載器控制單元，其中該座標位置監控單元適用於依據與該搬運裝置之傳動機組相連的一編碼器之輸出，而監控該夾持部件在一傳動系統之座標上的座標位置，而該載器控制單元適用於控制該搬運裝置，該方法包括以下步驟：使該搬運裝置的夾持部件在該夾持部件之預定位置夾持一載器機架，該載器機架設有面朝下的一影像獲取裝置；使該搬運裝置之夾持部件移至開始調降該夾持部件之一預設調降起始位置；及 使用該影像獲取裝置獲得設於該檯桌及用於偵測位置偏移之一標誌的影像，將該影像獲取裝置之視野中所獲得該標誌之位置，與假定該夾持部件係位於該調降起始位置的理想位置時該影像獲取裝置之視野中該標誌之位置相比，計算該調降起始位置的一修正量，接著在一記憶體中儲存所計算的修正量；藉此可依該修正量修正該預設調降起始位置，從而獲得該夾持部件在該傳動系統之座標上的座標位置，該位置係對應該夾持部件之已修正的調降起始位置，其中該載器機架設有一光輻射部件，適用於發射光束至包含該標誌的一區域上，且其中該獲取影像的步驟包括發射光束至包含該標誌的該區域上，俾在包含該標誌的該區域中獲得受光照射之一位置影像。
  9. 一種儲存一電腦程式的記憶媒體，該電腦程式係用以驅動電腦執行教導一搬運裝置的方法，其中該教導搬運裝置的方法係用於一基板處理設備，該基板處理設備包括一檯桌，用以置放存有基板之一載體容器、包括該搬運裝置，具有用以夾持該載體容器的一夾持部件與一傳動機組，且適用於將該載體容器傳送至該檯桌上、包括一座標位置監控單元與一載器控制單元，其中該座標位置監控單元適用於依據與該搬運裝置之傳動機組相連的一編碼器之輸出，而監控該夾持部件在一傳動系統之座標上的座標位置，而該載器控制單元適用於控制該搬運裝置，該方法包括以下步驟：使該搬運裝置的夾持部件在該夾持部件之預定位置夾持一載器機架，該載器機架設有面朝上的一影像獲取裝置；驅動該搬運裝置，以使該搬運裝置之夾持部件移至該檯桌下的一預設下位；及使用該影像獲取裝置獲得設於該檯桌及用於偵測位置偏移之一標誌的影像，將該影像獲取裝置之視野中所獲得該標誌之位置，與假定該夾持部件係位於該下位的理想位置時該影像 獲取裝置之視野中該標誌之位置相比，計算該下位的一修正量，接著在一記憶體中儲存所計算的修正量；藉此依該修正量修正該預設下位，俾獲得該夾持部件之一已修正的下位，從而由該修正下位獲得該夾持部件在該傳動系統之座標上的座標位置，該位置係對應開始調降該夾持部件的一調降起始位置，其中該載器機架設有一光輻射部件，適用於發射光束至包含該標誌的一區域上，且其中該獲取影像的步驟包括發射光束至包含該標誌的該區域上，俾在包含該標誌的該區域中獲得受光照射之一位置影像。
  10. 一種基板處理設備，包括一檯桌，用以置放存有基板之一載體容器、包括一搬運裝置，具有用以夾持該載體容器的一夾持部件與一傳動機組，且適用於將該載體容器傳送至該檯桌上、與包括一控制器，含一座標位置監控單元與一載器控制單元，其中該座標位置監控單元適用於依據與該搬運裝置之傳動機組相連的一編碼器之輸出，而監控該夾持部件在一傳動系統之座標上的座標位置，而載器控制單元適用於控制該搬運裝置，其中該基板處理設備係用以依據使用該控制器的一方法而教導該搬運裝置，該教導搬運裝置的方法包括以下步驟：使該搬運裝置的夾持部件在該夾持部件之預定位置夾持一載器機架，該載器機架設有面朝下的一影像獲取裝置；使該搬運裝置之夾持部件移至開始調降該夾持部件之一預設調降起始位置；及使用該影像獲取裝置獲得設於該檯桌及用於偵測位置偏移之一標誌的影像，將該影像獲取裝置之視野中所獲得該標誌之位置，與假定該夾持部件係位於該調降起始位置的理想位置時該影像獲取裝置之視野中該標誌之位置相比，計算該調降起始位置的一修正量，接著在一記憶體中儲存所計算的修正量；藉此可依該修正量修正該預設調降起始位置，從而獲得該 夾持部件在該傳動系統之座標上的座標位置，該位置係對應該夾持部件之已修正的調降起始位置，其中該載器機架設有一光輻射部件，適用於發射光束至包含該標誌的一區域上，且其中該獲取影像的步驟包括發射光束至包含該標誌的該區域上，俾在包含該標誌的該區域中獲得受光照射之一位置影像。
  11. 一種基板處理設備，包括一檯桌，用以置放存有基板之一載體容器、包括一搬運裝置，具有用以夾持該載體容器的一夾持部件與一傳動機組，且適用於將該載體容器傳送至該檯桌上、與包括一控制器，含一座標位置監控單元與一載器控制單元，其中該座標位置監控單元適用於依據與該搬運裝置之傳動機組相連的一編碼器之輸出，而監控該夾持部件在一傳動系統之座標上的座標位置，而該載器控制單元適用於控制該搬運裝置，其中該基板處理設備係用以依據使用該控制器的方法而教導該搬運裝置，該教導搬運裝置的方法包括以下步驟：使該搬運裝置的夾持部件在該夾持部件之預定位置夾持一載器機架，該載器機架設有面朝上的一影像獲取裝置；驅動該搬運裝置，以使該搬運裝置之夾持部件移至該檯桌下的一預設下位；及使用該影像獲取裝置獲得設於該檯桌及用於偵測位置偏移之一標誌的影像，將該影像獲取裝置之視野中所獲得該標誌之位置，與假定該夾持部件係位於該下位的理想位置時該影像獲取裝置之視野中該標誌之位置相比，計算該下位的一修正量，接著在一記憶體中儲存所計算的修正量；藉此可依該修正量修正該預設下位，俾獲得該夾持部件之一已修正的下位，從而由該修正下位獲得該夾持部件在該傳動系統之座標上的座標位置，該位置係對應開始調降該夾持部件的一調降起始位置，其中該載器機架設有一光輻射部件，適用於發射光束至包 含該標誌的一區域上，且其中該獲取影像的步驟包括發射光束至包含該標誌的該區域上，俾在包含該標誌的該區域中獲得受光照射之一位置影像。
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