JP2008218488A - 実装方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ヘッド17を上側位置UXに配置したときのヘッド17のXY方向位置と、ヘッド17を下側位置DXに配置したときのヘッド17のXY方向位置との誤差を水平駆動部材24における複数の測定位置HX1〜HX5毎に求めるステップと、水平駆動部材24のX方向位置と上記誤差との相関関係を表す相関関数を求めるステップと、水平駆動部材24における実装時のヘッド17の位置に応じた誤差を上記相関関数から求め、求めた誤差だけヘッド17とワーク保持ステージとの相対位置関係をオフセットさせてからヘッド17を降下させるステップとを備える。
【選択図】図10
Description
14 基板保持ステージ(ワーク保持ステージ)
17 ヘッド
24 ガイドレール(水平駆動部材)
37 CCDカメラ(2視野カメラ)
110〜170 ステップ
252 温度センサ
330 ステップ
335 ステップ
DX 下側位置
ΔX 誤差
ΔY 誤差
HX1〜HX5 測定位置
UX 上側位置
W 基板(ワーク)
Claims (4)
- 直交座標系の3軸をX、Y、Zとし、XY平面を水平面、Z軸方向を鉛直方向とし、
チップ部品(11)の実装対象となるワーク(W)を載置保持するワーク保持ステージ(14)と、ワーク保持ステージ(14)の上方に設けられチップ部品(11)を吸着保持してZ軸方向に昇降可能なヘッド(17)と、ヘッド(17)をX軸方向に沿った複数の位置に駆動配置可能とする長尺状の水平駆動部材(24)とを備える実装装置を用いた実装方法であって、
ヘッド(17)を上側位置(UX)に配置したときのヘッド(17)のXY方向位置と、ヘッド(17)を下側位置(DX)に配置したときのヘッド(17)のXY方向位置との誤差(ΔX,ΔY)を水平駆動部材(24)における複数の測定位置(HX1〜HX5)毎に求めるステップ(110〜165)と、
水平駆動部材(24)のX方向位置と上記誤差(ΔX,ΔY)との相関関係を表す相関関数を求めるステップ(170)と、
水平駆動部材(24)における実装時のヘッド(17)の位置に応じた誤差(ΔX,ΔY)を上記相関関数から求め、求めた誤差(ΔX,ΔY)だけヘッド(17)とワーク保持ステージ(14)との相対位置関係をオフセットさせてからヘッド(17)を降下させるステップ(330,335)と
を備えることを特徴とする実装方法。 - ヘッド(17)を上側位置(UX)に配置したときのヘッド(17)のXY方向位置と、ヘッド(17)を下側位置(DX)に配置したときのヘッド(17)のXY方向位置とは、ヘッド(17)とワーク保持ステージ(14)との空間に進退可能に設けられ且つヘッド(17)の側とワーク保持ステージ(14)の側とを同時に撮像可能な2視野カメラ(37)を用いて、ヘッド(17)に設けられたターゲットマーク(R3)を読み取ることで取得する請求項1に記載の実装方法。
- 前記相関関数は、温度に対する水平駆動部材(24)の変形量の関連付けがされており、温度センサ(252)により計測した水平駆動部材(24)の温度と前記相関関数とにより前記誤差(ΔX,ΔY)を決定する請求項1または請求項2に記載の実装方法。
- 温度センサ(252)により計測した水平駆動部材(24)の温度に応じて、水平駆動部材(24)に向けてエアブローを行う請求項1から請求項3のいずれかに記載の実装方法。
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