JP2007012802A - 実装方法および実装装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 チップのアライメントマークと基板のアライメントマークを実装前に認識手段で画像認識してチップと基板のアライメントを行い、チップと基板を接合する実装方法において、チップをチップ搬送手段からボンディングヘッドに受け渡し、チップ受け渡し位置の高さでチップのアライメントマークを認識し、チップと基板の位置ずれ量を補正し、チップをチップ受け渡し位置の高さから基板接触位置の高さまで下降し、チップと基板の接合を行う。
【選択図】 図2
Description
2 バンプ
3 チップスライダ(チップ搬送手段)
4 基板
5 電極
6 ボンディングヘッド
7 ボンディングステージ
8 2視野カメラ(2視野の認識手段)
9 吸引孔
10 制御装置
11a,11b CCDカメラ
12a,12b レンズ鏡筒
13a,13b プリズム
14a,14b 照明
15a,15b ミラー
16a,16b ホルダ
17 光学系ベース
L0 第3のワークディスタンス
L1a 第1のワークディスタンス(2視野カメラのチップ認識距離)
L1b 第2のワークディスタンス(2視野カメラの基板認識距離)
Claims (6)
- チップのアライメントマークと基板のアライメントマークを実装前に2視野の認識手段で画像認識してチップと基板のアライメントを行い、チップと基板を接合する実装方法において、チップをチップ搬送手段からボンディングヘッドに受け渡すチップ受け渡し位置の高さでチップのアライメントマークを認識し、次いでチップをチップ受け渡し位置の高さから基板の上面の基板接触位置の高さまで下降し、チップのアライメントマークを認識した高さから基板接触位置の高さ間のいずれかの高さにおいてチップと基板の位置ずれ量を補正し、チップと基板の接合を行うことを特徴とする実装方法。
- チップのアライメントマークと基板のアライメントマークを実装前に2視野の認識手段で画像認識してチップと基板のアライメントを行い、チップと基板を接合する実装方法において、ボンディングヘッドの待機位置の高さで吸着保持されたチップのアライメントマークを認識し、次いでチップをボンディングヘッドの待機位置の高さから基板の上面の基板接触位置の高さまで下降し、チップのアライメントマークを認識した高さから基板接触位置の高さ間のいずれかの高さにおいてチップと基板の位置ずれ量を補正し、チップと基板の接合を行うことを特徴とする実装方法。
- チップのアライメントマークと基板のアライメントマークを実装前に2視野の認識手段で画像認識してチップと基板のアライメントを行い、チップと基板を接合する実装装置において、チップ受け渡し位置の高さでチップおよび基板のアライメントマークを認識する2視野の認識手段と、2視野の認識手段による認識結果に基づいてチップと基板の位置ずれ量をチップのアライメントマークを認識した高さから基板接触位置の高さ間のいずれかの高さにおいて補正する制御手段と、を備えたことを特徴とする実装装置。
- 請求項3に記載の実装装置において、2視野の認識手段はレンズ鏡筒とプリズムとCCDカメラを備え、レンズ鏡筒とプリズムを接近して取り付け、2視野の認識手段とチップの認識距離がチップ受け渡し位置に一致していることを特徴とする実装装置。
- ボンディングヘッドの待機位置に吸着保持されているチップおよび基板のアライメントマークを認識する2視野の認識手段と、2視野の認識手段による認識結果に基づいてチップと基板の位置ずれ量をチップのアライメントマークを認識した高さから基板接触位置の高さ間のいずれかの高さにおいて補正する制御手段と、を備えたことを特徴とする実装装置。
- 請求項5に記載の実装装置において、2視野の認識手段はレンズ鏡筒とプリズムとCCDカメラを備え、レンズ鏡筒とプリズムを接近して取り付け、2視野の認識手段とチップの認識距離がボンディングヘッドの待機位置に一致していることを特徴とする実装装置。
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