JP5372366B2 - 実装方法および実装装置 - Google Patents
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Description
位置合わせ用認識マークが上面に付されたチップを、前記チップの上面側から保持するチップ保持ツールを用いて、その下方に配され位置合わせ用認識マークが付された基板に実装する方法であって、
チップの基板への実装の前に、前記チップ保持ツールに目印となる部分を定め、前記目印となる部分の形状を画像認識して記憶するステップと、
チップの上面に付された位置合わせ用認識マークの形状を画像認識して記憶するステップと、
基板に付された位置合わせ用認識マークの形状を画像認識して記憶するステップとを行った後に、
仮置き台に吸着保持されたチップの上面に付された位置合わせ用認識マークと、チップ保持ツールの目印となる部分を2視野の認識手段で画像認識して、チップとチップ保持ツールの位置合わせをした後、
前記チップ保持ツールで前記チップを吸着保持し、
前記チップの基板への実装時に、2視野の認識手段で、前記チップ保持ツールの目印となる部分と、基板に付された位置合わせ用認識マークを画像認識して、チップ保持ツールと基板の位置合わせをした後、前記チップを前記基板に実装する実装方法である。
前記チップを吸着保持する仮置き台と前記基板を保持する基板ステージを一体として水平移動する移動台と、
前記移動台を水平移動する駆動手段と、
前記チップを上面側から保持するチップ保持用ツールと、
前記仮置き台に吸着保持されたチップとチップ保持用ツールの間に挿入され、さらに前記駆動手段により水平移動した移動台上の基板とチップ保持用ツールの間に挿入される2視野の認識手段とを有し、
チップの上面に付された位置合せ用認識マークの形状、基板に付された複数の位置合せ用認識マークの形状、およびチップ保持用ツールの部分形状を記憶する機能を備えることを特徴とする実装装置である。
(1)上記実施の形態では、圧着ユニット12が、上下(Z)方向に移動させる昇降機構19とを備えるものを用いたが、ヘッド17を水平2軸(X、Y)方向に移動させる水平駆動機構と、上下(Z)方向に移動させる昇降駆動機構と、回転方向(θ)方向に移動させる回転駆動機構を備えたものであっても良い。
(2)上記実施の形態では、基板8に予め熱硬化型の粘着材が転写されていたが、チップ11の下面にハンダが転写されており、基板8にチップ11をハンダ付けする実装形態であっても良い。
(3)上記実施の形態では、搬送機構33を使ってチップトレイ31からチップ11を仮置き台34に搬送したが、チップトレイ31ごと仮置き台34に備えられていても良い。
3 実装ユニット
4 部品供給ユニット
5 制御部
8 基板
10 基板保持部
11 チップ
12 圧着ユニット
13 2視野の認識手段
14 基板保持ステージ
15 移動テーブル
16 ヒータ
17 ヘッド
19 昇降駆動機構
23 吸着孔
25 アタッチメント
26 凸部
27a 角部
27b 角部
31 チップトレイ
32 載置テーブル
33 搬送機構
34 仮置き台
36 ガイドレール
37 可動フレーム
38 ガイドレール
39 可動台
40 吸着ヘッド
41a 位置合わせ用認識マーク(チップ)
41b 位置合わせ用認識マーク(チップ)
43a 位置合わせ用認識マーク(基板)
43b 位置合わせ用認識マーク(基板)
13a 上光軸
13b 下光軸
Claims (2)
- 位置合わせ用認識マークが上面に付されたチップを、前記チップの上面側から保持するチップ保持ツールを用いて、その下方に配され位置合わせ用認識マークが付された基板に実装する方法であって、
チップの基板への実装の前に、
前記チップ保持ツールに目印となる部分を定め、前記目印となる部分の形状を画像認識して記憶するステップと、
チップの上面に付された位置合わせ用認識マークの形状を画像認識して記憶するステップと、
基板に付された位置合わせ用認識マークの形状を画像認識して記憶するステップとを行った後に、
仮置き台に吸着保持されたチップの上面に付された位置合わせ用認識マークと、チップ保持ツールの目印となる部分を2視野の認識手段で画像認識して、チップとチップ保持ツールの位置合わせをした後、
前記チップ保持ツールで前記チップを吸着保持し、
前記チップの基板への実装時に、2視野の認識手段で、前記チップ保持ツールの目印となる部分と、基板に付された位置合わせ用認識マークを画像認識して、チップ保持ツールと基板の位置合わせをした後、前記チップを前記基板に実装する実装方法。 - 位置合わせ用認識マークが上面に付されたチップを、その下方に配された位置合わせ用認識マークが付された基板に実装する装置であって、
前記チップを吸着保持する仮置き台と前記基板を保持する基板ステージを一体として水平移動する移動台と、
前記移動台を水平移動する駆動手段と、
前記チップを上面側から保持するチップ保持用ツールと、
前記仮置き台に吸着保持されたチップとチップ保持用ツールの間に挿入され、さらに前記駆動手段により水平移動した移動台上の基板とチップ保持用ツールの間に挿入される2視野の認識手段とを有し、
チップの上面に付された位置合せ用認識マークの形状、基板に付された複数の位置合せ用認識マークの形状、およびチップ保持用ツールの部分形状を記憶する機能を備えることを特徴とする実装装置。
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JP2007338457A JP5372366B2 (ja) | 2007-12-28 | 2007-12-28 | 実装方法および実装装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007338457A JP5372366B2 (ja) | 2007-12-28 | 2007-12-28 | 実装方法および実装装置 |
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JP2009158876A JP2009158876A (ja) | 2009-07-16 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101807865B1 (ko) * | 2015-06-26 | 2017-12-13 | 주식회사 네오세미텍 | 세정 성능을 개선한 다이 어태칭 시스템 및 그 방법 |
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2007
- 2007-12-28 JP JP2007338457A patent/JP5372366B2/ja active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101807865B1 (ko) * | 2015-06-26 | 2017-12-13 | 주식회사 네오세미텍 | 세정 성능을 개선한 다이 어태칭 시스템 및 그 방법 |
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