JPH09199571A - カセット移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 作業者の高度な熟練を必要とせず、成膜装置
のカセット移載装置を常に一定の精度をもって迅速にテ
ィーチングさせる。 【解決手段】 カセット載置板５１を移動させるロボッ
トアーム５２等の駆動手段を装置コントローラ１３及び
外部端末１４により制御して、カセット棚２、３に対し
てカセット１１を移載するカセット移載装置５におい
て、カセット載置板５１をカセット棚の支柱２１、３１
に沿う方向に移動させて載置板５１に設けられたセンサ
６より当該方向でのカセット棚の棚板２２、３２の位置
を検知し、また、カセット載置板５１を棚板２２、３２
に沿う方向に移動させてセンサ６により当該方向での棚
板の所定位置を検知した後、当該所定位置における棚板
２２、３２とカセット載置板５１との離間距離をセンサ
６によって検知し、外部端末１４に付随するメモリ９に
センサ６によって検知した各位置情報を記憶保持させ
て、当該位置情報を以後の駆動手段の制御に用いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造等にお
いて基板を収容するカセットをカセット棚に位置精度よ
く移載するカセット移載装置に関し、特に、当該移載装
置の動作を自動的にティーチングする技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体や液晶等を製造する成膜装置で
は、半導体基板やガラス基板といった処理対象の基板に
所定の成膜を行うが、成膜処理を行う炉に基板を供給し
或いは炉から基板を回収するに際しては、清浄性を保持
するとともに搬送処理を容易化する等のために複数枚の
基板をカセットに収容して搬送している。図１０には、
基板をカセットに収容して搬送する成膜装置の一例とし
て縦型拡散・ＣＶＤ装置１０を示してある。

【０００３】この縦型拡散・ＣＶＤ装置１０は、反応炉
を構成するボート１と、反応炉の側部に併設されたカセ
ット棚２と、カセット棚２の上部に併設されたバッファ
用のカセット棚３と、カセット棚に載置されたカセット
（図示せず）とボート１との間で基板を移載する基板移
載装置４と、カセット棚２とバッファカセット棚３（更
には、これらと図外のカセット搬送装置）との間でカセ
ットを移載するカセット移載装置５とを備えている。な
お、反応炉は、多数枚の基板を縦方向に整列させて保持
するボート１と、当該ボートを収容する反応管（図示せ
ず）とから構成されており、ボート１を反応管から引き
出した状態で基板移載装置４による移載処理がなされ
る。

【０００４】基板移載装置４は、ツィーザ４１を水平回
転させるユニット４４と、ユニット４２を支持してカセ
ット棚２とボート１との間で往復移動させる第１テーブ
ル４３と、第１テーブル４３を支持して昇降移動させる
昇降ユニット４５とを備える。カセット棚２が左右に動
き、基板を保持するツィーザ４１が前後、上下に移動
し、カセット棚２２とボート１との間で基板の移載を行
う。

【０００５】カセット移載装置５は、カセットを載置保
持するカセット載置板５１と、載置板５１を先端部で支
持する３関節式のロボットアーム５２と、ロボットアー
ム５２の基端を支持する昇降ユニット５３と、昇降ユニ
ット５３の昇降移動を案内する垂直ガイド５４と、垂直
ガイド５４の左右方向への移動を案内する水平ガイド５
５と、を備えている。そして、昇降ユニット５３の垂直
ガイド５４に沿ったカセット棚２とバッファカセット棚
３との間での昇降及び水平ガイド５５に沿った左右への
移動、更には、ロボットアーム５２の伸縮動による載置
板５１の前後及び左右への移動によって、載置板５１上
からカセット棚２（３）へのカセットの受け渡し或いは
カセット棚２（３）から載置板５１上へのカセットの受
け渡しを行う。なお、カセット棚２やバッファ用カセッ
ト棚３は支柱２１、３１に棚板２２、３２を横架した構
造となっており、一対の支柱２１、３１で仕切られた棚
板２２、３２上にそれぞれカセットが載置される。

【０００６】ここで、基板移載装置４による基板の移載
処理を正確に行わせ、カセット移載装置５によるカセッ
トの移載処理を正確に行わせる等のために、カセットは
棚板２２、２３上の所定の位置に常に正確に載置する必
要がある。すなわち、カセット移載装置５を側面視で表
す図１１及び平面視で表す図１２に示すように、ロボッ
トアーム５２及び昇降ユニット５３並びに垂直ガイド５
４を正確に駆動して、上下方向（ＣＺ軸方向）、左右方
向（ＣＳ軸方向）及び前後方向（ＣＸ軸方向）へカセッ
ト載置板５１を正確に位置決め移動させ、カセット１１
をカセット棚２（３）及び載置板５１上に正確に載置さ
せる必要がある。なお、カセット１１はその開口を基板
移載装置４側に向けて棚板２２上に載置され、基板搬送
装置４による基板１２の移載を可能ならしめている。ま
た、図１１にはカセット移載装置５の異なる動作状態を
示すために仮想的に上下２つのカセット移載装置を図示
してあり、図１２にはそれぞれ載置板５１を有した２つ
のロボットアーム５２が昇降ユニット５３上に設けられ
ている例を示してある。

【０００７】縦型拡散・ＣＶＤ装置１０を実稼動させて
いるときには、カセット移載装置５は図１３に示すよう
に縦型拡散・ＣＶＤ装置１０に付設された装置コントロ
ーラ１３によって制御され、上記のようにカセット棚２
（３）に対してカセット１１を正確に移載する処理を行
う。しかしながら、カセット移載装置５を初期設定する
場合等においては、カセット１１の正確な移載処理を行
わせるためのティーチングを行わなければならない。こ
のため、外部ターミナル（パーソナルコンピュータ等）
１４を用いて装置コントローラ１３に動作命令を入力し
て、作業者が正確な移載動作がなされているかを目視で
確認しつつカセット移載装置５により移載動作をさせ、
装置コントローラ１３からターミナル１４が移載動作中
における載置板５１のポジション値を受け取り、カセッ
ト１１をカセット棚２（３）に正確に載置することがで
きた時点で位置情報をターミナル１４から装置コントロ
ーラ１３のメモリに書き込み、以後の実稼動において装
置コントローラ１３によって正確な移載制御を行い得る
ようにしている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記したティーチング
作業では、目視確認を行いながらの操作によって、多く
の位置においてカセット載置板５１をカセット棚２
（３）、に対して極めて高い精度をもって位置決めする
ことが要求される。例えば、図１４に示すように上下方
向（ＣＺ軸方向）ではカセット載置板５１を棚板２２
（３２）からＬ1ｍｍ（規定値）上昇させた位置、図１
５に示すように左右方向（ＣＳ軸方向）ではカセット載
置板５１と棚板２２（３２）との左右の隙間Ｌ2ｍｍと
Ｌ3ｍｍとが等しい位置、図１６に示すように前後方向
（ＣＸ軸方向）ではカセット載置板５１と棚板２２（３
２）とのそれぞれの規定位置に設けたコマ５１ａと２２
ａ（３２ａ）とが一致する位置、等で正確に位置決めす
ることが必要となる。

【０００９】しかしながら、従来のカセット移載装置に
おけるティーチングにあっては、作業者が目視によって
カセット載置板５１と棚板２２（３２）との位置関係を
感覚的に確認していたため、作業者に高度な熟練が要求
され、作業者による位置決め精度にばらつきが生じてし
まうという問題があった。また、カセット棚２（３）の
段数が多数ある場合には、このような熟練を要する煩雑
な作業を繰り返し行わなければならないため、如何に熟
練した作業者と言えども、ティーチング作業にかなりの
時間を費やさなければならないという問題があった。

【００１０】本発明は上記従来の事情に鑑みなされたも
ので、作業者の高度な熟練を必要とせず、常に一定の精
度をもって迅速にティーチング作業を行うことができる
カセット移載装置及びティーチング方法を提供すること
を目的とする。また、このようなカセット移載装置を備
えた成膜装置を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明に係るカセット移
載装置では、基板を収容するカセットをカセット載置板
等のカセット保持手段で保持し、制御手段による制御の
下にカセット保持手段をロボットアーム等の駆動手段に
よって移動させ、カセットをカセット棚に移載させる。
そして、ティーチング作業においては、上記のような移
載処理を行い、この処理動作中におけるカセット保持手
段に対するカセット棚の位置を検知手段によって検知
し、検知手段が検知した位置情報を記憶手段に記憶させ
る。この後の実稼働においては、制御手段が記憶手段に
記憶された位置情報に基づいて駆動手段を制御して、テ
ィーチング作業におけるカセット保持手段の動作を再現
し、カセット棚に対してカセットを正確に移載する。

【００１２】すなわち、ティーチング作業においては、
検知手段から逐次得られる位置情報に基づいて制御手段
が駆動手段を制御して、カセット棚に対してカセット保
持手段が所定の位置関係となるようにし、このように作
業者の目視に頼らない正確な移載動作によって得られた
位置情報を記憶手段に記憶させる。そして、この記憶さ
れた位置情報に基づいて実稼働を行うことにより、カセ
ット保持手段を正確に位置決め移動させてカセットの正
確な移載処理を行う。

【００１３】なお、例えば、カセット棚は支柱に棚板を
横架することにより構成されて一対の支柱で区切られた
棚板上にカセットを載置する態様とし、検知手段は投光
した光線の反射光に基づいて棚板の縁と支柱の前側面と
を検知することにより、カセット棚の上下、前後、左右
の３軸方向での位置を検出するセンサにより構成され
る。また、例えば、検知手段はカセット保持手段にその
中心線を合わせ且つ当該カセット保持手段の前縁に臨ま
せて設けられ、カセット保持手段の移動に伴って、カセ
ット保持手段に対するカセット棚の位置を正確に検知す
る。

【００１４】また、本発明に係るカセット移載装置のテ
ィーチング方法では、ティーチング作業に際して、駆動
手段によりカセット保持手段を支柱に沿う方向に移動さ
せてカセット保持手段に設けられた検知手段により当該
方向での棚板の位置を検知し、また、駆動手段によりカ
セット保持手段を棚板に沿う方向に移動させて検知手段
により当該方向での棚板の所定位置を検知した後、当該
所定位置における棚板とカセット保持手段との離間距離
を検知手段によって検知し、制御手段に付随する記憶手
段に作業者の目視に頼らずに検知手段によって検知した
各位置情報を記憶保持させる。そして、記憶手段に記憶
させた位置情報を以後の制御手段による駆動手段の制御
に用いて実稼働を行うことにより、カセット保持手段を
正確に位置決め移動させてカセットの正確な移載処理を
行う。なお、このティーチング方法では、支柱に横架さ
れている棚板を検知した後に当該棚板とカセット保持手
段との離間距離を検知するため、正確な位置情報を得る
ことができる。

【００１５】また、本発明に係る成膜装置では、基板に
対して所定の処理を行う炉と、当該炉に併設されたカセ
ット棚と、カセット棚に載置されたカセットと炉との間
で基板を搬送する基板搬送装置と、基板を収容するカセ
ットをカセット棚に対して移載するカセット移載装置と
を備え、このカセット移載装置のティーチング作業では
作業者の目視に頼らない正確な移載動作によって得られ
た位置情報を記憶手段に記憶させ、この記憶された位置
情報に基づいて実稼働を行うことにより、カセット保持
手段を正確に位置決め移動させてカセットの正確な移載
処理を行う。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明の一実施例に係るカセット
移載装置を図面を参照して説明する。なお、以下の説明
では、前述した従来例を参照するとともに従来例と同一
部分には同一符号を付すこととする。本実施例のカセッ
ト移載装置は、図１０に示した縦型拡散・ＣＶＤ装置１
０のカセット移載装置５に適用されたものであり、図２
に示すようにカセット移載装置５のカセット載置板５１
上に検知手段としての光学的な変位センサ６を設け、更
に、図１に示すようにターミナル（外部端末）１４に併
設してアンプ７、Ａ／Ｄ変換器（アナログ−デジタル変
換器）８、メモリ９を設けたものである。

【００１７】センサ６は前面にレーザー光線の投光及び
受光を行う投光受光部６１を有し、レーザ光線を投光し
て検出対象物から反射された反射光を受光し、この受光
光に応じた電圧を出力して当該電圧値から対象物の存否
及び対象物との距離を検出可能とするものであり、本実
施例ではセンサ６としてキーエンス社製の光学式変位セ
ンサ（ＬＢ−１２００／ＬＢ３００）を用いている。図
２に詳示するように、センサ６はカセット載置板５１上
の先端部に取付ブロック６２によって取付固定されてお
り、投光受光部６１を載置板５１の先端縁に臨ませると
ともにその中心線を載置板５１の左右幅方向の中心線上
に一致させて取り付けられている。すなわち、載置板５
１上にカセット１１を載置保持した場合にあっても投光
受光部６１が検出対象のカセット棚２（３）に対向して
カセット棚２（３）との位置関係を検知し得るようにな
っているとともに、載置板５１の中心線に対する位置関
係として検知するようになっている。

【００１８】上記の取付ブロック６２はカセット載置板
５１にネジ止め等で取り付けられて着脱容易であり、既
存の移載装置５に対してもセンサ６を容易に正確な位置
決めを行って取付固定することができる。なお、図２中
に示す５１ｂは位置決め突起であり、載置板５１上に載
置されたカセット１１に係合してカセット１１を所定の
位置に位置決め保持する。

【００１９】図１に示したアンプ７にはセンサ６からの
出力電圧が入力され、センサ６によって検知した位置情
報に相当する当該電圧値を増幅してＡ／Ｄ変換器８に入
力する。Ａ／Ｄ変換器８は入力されたアナログ電圧値を
デジタル電圧値に変換し、当該デジタル電圧値を位置情
報（位置データ）として外部端末１４に入力する。外部
端末１４はティーチング作業に際しては作業者によって
操作され、従来と同様に、装置コントローラ１３から移
載動作中における載置板５１の位置情報（ポジション
値）を受け取りつつ、装置コントローラ１３に動作命令
を入力してカセット移載装置５により移載動作をさせ
る。

【００２０】ここで、本実施例におけるティーチング作
業においては、センサ６で検知されたカセット載置板５
１の時々刻々の移動に伴う載置板５１とカセット棚２
（３）との位置関係に係る位置データ（デジタル電圧
値）、及び、装置コントローラ１３からの載置板５１の
移動に関するポジション値が外部端末１４に入力され、
外部端末１４がこれら位置データ及びポジション値に基
づいて演算処理を行って動作命令を装置コントローラ１
３に入力する。このため、装置コントローラ１３がカセ
ット移載装置５の動作を制御して、作業者の目視確認を
行わずとも後述するようにカセット載置板５１をカセッ
ト棚２（３）に対して所定の位置関係をもって移載動作
させることができる。

【００２１】そして、外部端末１４はティーチング作業
において得られたセンサ６からの位置データ及び装置コ
ントローラ１３からのポジション値をメモリ９に格納
し、以後行われる移載装置５の実稼動においてはメモリ
９に格納した位置データ及びポジション値に基づいた動
作命令（若しくは、ポジション値書き込み命令）を装置
コントローラ１３に入力する。すなわち、装置コントロ
ーラ１３は入力された動作命令に従ってカセット移載装
置５を駆動制御し、ティーチング作業において行ったと
同一の動作をカセット移載装置５に行わせる。したがっ
て、カセット１１を載置保持するカセット載置板５１を
カセット棚２（３）に対して所定の位置関係をもって移
載動作させて、カセット１１をカセット棚２（３）に対
して高精度に位置決めして移載することができる。

【００２２】次に、上記したティーチング作業における
カセット移載板５１の動作及びカセット載置板５１とカ
セット棚２（３）との位置関係を図１乃至図７を参照し
て説明する。まず、図３に示すようにカセット棚２
（３）に対する上下方向（ＣＺ軸方向）でのティーチン
グ（位置出し）においては、昇降ユニット５３を昇降移
動させることによりカセット載置板５１を上昇或いは下
降移動させ、この載置板５１の移動によってセンサ６に
棚板２２（３２）の縁を検知させる。この載置板５１の
動作中におけるポジション値はエンコーダ値等に基づい
て装置コントローラ１３により検出されて外部端末１４
に入力されるとともに、センサ６が棚板２２（３２）を
検出した高さ位置データが外部端末１４に入力される。

【００２３】これらのデータに基づいて外部端末１４
は、（センサ６が棚板を検知した時の載置板５１のポジ
ション値）＋（載置板５１上の投光受光部６１の高さ：
ｈ）を検知した棚板２２（３２）の高さ位置（ＣＺ軸方
向位置）として演算する。ここで、例えば図５に示すよ
うに棚板２２（３２）は縁部を残して前縁（移載装置５
側）から中央部を切除した櫛歯状となっており、載置板
５１上から棚板２２（３２）上へカセット１１を受け渡
す際には、図４に示したように載置板５１を棚板２２
（３２）より若干（Ｌ1ｍｍ）高所に位置決めした後、
載置板５１を下降移動させて棚板の縁部にカセットを載
せるようにしている。このため、棚板２２（３２）に対
する載置板５１の高さ方向のポジション値としては、上
記の棚板２２（３２）の高さ位置の値に規定された高さ
Ｌ1を加えた値が演算されてメモリ９に記憶される。な
お、棚板２２（３２）上から載置板５１上へカセット１
１を受け渡す際には、上記とは逆に載置板５１を棚板２
２（３２）より若干低所に位置決めするが、この場合に
もこの規定された高さを差し引いた載置板５１の高さ方
向のポジション値として演算されてメモリ９に記憶され
る。

【００２４】また、図４及び図５に示すようにカセット
棚２（３）に対する左右方向（ＣＳ軸方向）でのティー
チング（位置出し）においては、垂直ガイド５４を移動
させて昇降ユニット５３を左方若しくは右方へ移動させ
ることにより、カセット載置板５１を左方或いは右方へ
移動させ、この載置板５１の移動によってセンサ６にカ
セット棚の支柱２１（３１）を検知させる。この載置板
５１の動作中におけるポジション値は装置コントローラ
１３により検出されて外部端末１４に入力されるととも
に、センサ６が支柱２１（３１）を検出したＣＳ軸方向
の位置データが外部端末１４に入力される。

【００２５】これらのデータに基づいて外部端末１４
は、（センサ６が支柱を検知した時の載置板５１のポジ
ション値）±（支柱間の幅Ｐ1の半分：Ｐ2）を検知した
支柱間の中心（すなわち、棚板２２（３２）にカセット
１１が載置される位置の中心）の位置（ＣＳ軸方向位
置）を演算し、棚板２２（３２）に対する載置板５１の
左右方向のポジション値としてメモリ９に記憶させる。

【００２６】また、図７に示すようにカセット棚２
（３）に対する前後方向（ＣＸ軸方向）でのティーチン
グ（位置出し）においては、センサ６にカセット棚の棚
板２２（３２）を検知させて、センサ６と棚板２２（３
２）の基準位置（本実施例では、上記の棚板にカセット
が載置される位置の中心）との距離を検知する。検知さ
れた距離情報は外部端末１４に入力され、外部端末１４
が、（検知された距離：Ｌ）−（（棚板の基準位置とコ
マ２２ａ（２３ａ）との距離：Ｌ4）−（載置板の先端
縁とコマ５１ａとの距離：Ｌ5））を演算し、棚板２２
（３２）に対する載置板５１の前後方向（ＣＸ軸方向）
のポジション値としてメモリ９に記憶させる。

【００２７】ここで、図６に示すように、カセット棚の
棚板２２（３２）は棚板間の中間の高さ位置（図中に破
線で示す）ではセンサ６によって検知することができ
ず、この高さ位置ではセンサ６は支柱２１（３１）しか
検知することができない。このため、本実施例では、Ｃ
Ｓ軸方向のポジション位置の検知処理がなされてセンサ
６が棚板２２（３２）を捉えている状態で、ＣＸ軸方向
のポジション位置の検知処理を行う。

【００２８】次に、上記したティーチングにおける処理
手順を図８及び図９に示すフローチャートを参照して更
に詳しく説明する。ティーチングは装置コントローラ１
３及び外部端末１４による制御の下にカセット棚２、バ
ッファカセット棚３の順で行われ、それぞれのカセット
棚２、３においては棚板２２、３２の各段毎に処理がな
される。まず、カセット棚２についてその段数Ｎをゼロ
に初期化した後（ステップＳ１）、１段目の棚板につい
ての処理を行うためにＮを１つ増加させる（ステップＳ
２）。そして、図３を参照して上記したＣＺ軸方向での
位置検出処理（ステップＳ３）、図４及び図５を参照し
て上記したＣＳ軸方向での位置検出処理（ステップＳ
４）、図７を参照して上記したＣＸ軸方向での位置検出
処理（ステップＳ５）を順次行う。

【００２９】そして、カセット棚２の全ての段について
これら一連の処理（ステップＳ３〜Ｓ５）が終了したか
を判断し（ステップＳ６）、全ての段が終了するまで上
記と同様な各段毎の処理を繰り返し行う。このようなカ
セット棚２についての処理が完了した後、バッファカセ
ット棚３についての段数Ｎをゼロに初期化し（ステップ
Ｓ７）、１段目の棚板についての処理を行うためにＮを
１つ増加させる（ステップＳ８）。そして、図３を参照
して上記したＣＺ軸方向での位置検出処理（ステップＳ
９）、図４及び図５を参照して上記したＣＳ軸方向での
位置検出処理（ステップＳ１０）、図７を参照して上記
したＣＸ軸方向での位置検出処理（ステップＳ１１）を
順次行う。

【００３０】そして、バッファカセット棚３の全ての段
についてこれら一連の処理（ステップＳ９〜Ｓ１１）が
終了したかを判断し（ステップＳ１２）、全ての段が終
了するまで上記と同様な各段毎の処理を繰り返し行う。
上記した各位置検出処理（ステップＳ３〜Ｓ５、Ｓ９〜
Ｓ１１）は、それぞれ図９に示す処理手順によって行わ
れる。すなわち、それぞれの駆動モータを作動させて昇
降ユニット５３をＣＺ軸方向に移動させ、或いは、昇降
ユニット５３をＣＳ軸方向に移動させ、或いは、ロボッ
トアーム５２を伸縮させてカセット載置板５１をＣＸ軸
方向に移動させる（ステップＳ２１）。これらの動作に
よってセンサ６が棚板２２（３２）或いは支柱２１（３
１）を検知したかを判断し（ステップＳ２２）、これら
をセンサ６で検知するように駆動モータの制御を行う。

【００３１】そして、センサ６が上記の対象を検知した
場合には、その時点のエンコーダ値を読み込み（ステッ
プＳ２３）、更に、上記したＣＸ軸方向の距離をセンサ
６が測定する（ステップＳ２４）。そして、距離情報を
含む位置データ及びエンコーダ値に基づいてポジション
値を算出し（ステップＳ２５）、当該ポジション値をメ
モリ９に書き込む（ステップＳ２６）。上記の処理によ
って、カセット載置板５１がカセット棚２（３）に対し
て規定の位置関係をもって移載動作を行う動作ルート上
の要所となる位置のポジション値が得られ、以後の実稼
動時には、メモリ９に書き込まれたこれらポジション値
に基づいて上記の駆動モータを動作させることにより、
ティーチングされたと同一な動作によってカセットを移
載することができる。

【００３２】なお、上記した実施例では本発明を縦型拡
散・ＣＶＤ装置のカセット移載装置に適用したが、本発
明は他の形式のＣＶＤ等、種々な成膜装置に適用するこ
とができる。また、上記した実施例では外部端末１４並
びにアンプ７、Ａ／Ｄ変換器８、メモリ９を装置の外部
に設けたが、これらの全て或いは一部を成膜装置１０或
いは装置コントローラ１３の内部に設けるようにしても
よい。また、上記の実施例で説明したようにＣＸ軸方向
の測定は棚板を検知した後に行う必要があるが、ＣＺ軸
方向の検知処理とＣＳ軸方向の検知処理とのいずれを先
に実行するかは任意に設定することができる。

【００３３】また、上記の実施例ではそれぞれ複数のカ
セットを載置し得るカセット棚２とバッファ用のカセッ
ト棚３とを備えた成膜装置に本発明を適用したが、本発
明はバッファ用のカセット棚を特に有しない成膜装置等
にも適用でき、カセット棚の数、カセット棚におけるカ
セットの載置個数、棚板の段数等、カセット棚に関して
特に限定されるものではない。また、上記した実施例の
ようにカセット載置板（カセット保持手段）５１を上下
動させてカセットをカセット棚との間で受け渡す形式の
場合には、棚板は櫛歯状である必要があるが、カセット
移載装置の形式によっては棚板の形状は種々設定するこ
とができる。また、上記した実施例ではカセット保持手
段をガイドに沿った直線移動とロボットアームによる移
動とによって３軸方向へ移動させるようにしたが、カセ
ット保持手段を移動させる機構は特に限定されるもので
はない。

【００３４】また、上記した実施例ではカセット保持手
段をカセットを載置保持する載置板としたが、カセット
を把持し或いは吸引保持する等、カセット保持手段の形
式は特に限定されるものではない。また、上記した実施
例では検知手段を光学的な変位センサとしたが、他の形
式の光学的センサ、棚板を画像として検知して位置を検
出するセンサ、超音波を対象物に発射してその反射波が
戻ってくるまでの時間から対象物の存否及び距離を検出
する超音波センサ等を用いることも可能である。また、
上記した実施例ではセンサをカセット載置板上に設けて
カセット載置板の時々刻々の移動に伴う位置情報を検知
し得るようにしたが、例えばカセット載置板とカセット
棚とを常に画像として捉える画像センサとした場合に
は、センサはこれらを捉えられ得る位置に設置すること
も可能である。また、上記した実施例ではセンサをカセ
ット載置板上に中心軸を合わせて設けたが、検知した位
置情報を演算処理によって補正するようにすれば、セン
サの設置位置は任意に設定することができる。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
カセット棚の位置を検知手段で検知しながらティーチン
グを行い、これによって、カセット移載機のポジション
データ（位置情報）を取得して記憶手段に格納するよう
にしたため、作業者の感覚に依存した作業が大幅に減少
し、高度な熟練度を有しない作業者によっても、移載機
のティーチング作業を常に一定した精度で迅速に行うこ
とができる。したがって、装置の実稼動を早期に実施す
ることができ、成膜装置の稼働効率を向上させることが
できるとともに、実稼動におけるカセット移載処理を正
確に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例に係る成膜装置の制御系を
示す構成図である。

【図２】 本発明の一実施例に係るカセット載置板及び
センサを示す斜視図である。

【図３】 ＣＺ軸方向の検知処理を説明する概念図であ
る。

【図４】 ＣＳ軸方向の検知処理を説明する概念図であ
る。

【図５】 ＣＳ軸方向の検知処理を説明する概念図であ
る。

【図６】 ＣＸ軸方向の検知処理を説明する概念図であ
る。

【図７】 ＣＸ軸方向の検知処理を説明する概念図であ
る。

【図８】 本発明の一実施例に係るティーチング処理手
順のメインフローを示すフローチャートである。

【図９】 本発明の一実施例に係るティーチング処理手
順のサブフローを示すフローチャートである。

【図１０】 本発明の一実施例に係る縦型拡散・ＣＶＤ
装置の内部構造を示す斜視図である。

【図１１】 本発明の一実施例に係るカセット移載装置
を示す側面図である。

【図１２】 本発明の一実施例に係るカセット移載装置
を示す平面図である。

【図１３】 従来の成膜装置における制御系を示す構成
図である。

【図１４】 従来のＣＺ軸方向の検知処理を説明する概
念図である。

【図１５】 従来のＣＳ軸方向の検知処理を説明する概
念図である。

【図１６】 従来のＣＸ軸方向の検知処理を説明する概
念図である。

【符号の説明】

２、３・・・カセット棚、 ５・・・カセット移載装
置、 ６・・・センサ、９・・・メモリ、 １０・・・
縦型拡散・ＣＶＤ装置、 １１・・・カセット、１３・
・・装置コントローラ、 １４・・・外部端末、２１、
３１・・・支柱、 ２２、３２・・・棚板、５１・・・
カセット載置板、 ５２・・・ロボットアーム、５３・
・・昇降ユニット、 ５４・・・垂直ガイド、 ５５・
・・水平ガイド、

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 カセットを保持するカセット保持手段
   と、カセット保持手段を移動させる駆動手段と、駆動手
   段を制御してカセット保持手段によってカセットをカセ
   ット棚に移載させる制御手段とを備え、カセット棚に対
   して基板を収容するカセットを移載処理するカセット移
   載装置において、 カセット棚の位置を検知する検知手段と、検知手段が検
   知した位置情報を記憶する記憶手段とを更に備え、前記
   制御手段は記憶手段に記憶された位置情報に基づいて駆
   動手段を制御することを特徴とするカセット移載装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のカセット移載装置にお
   いて、 カセット棚は支柱に棚板を横架することにより構成され
   て一対の支柱で区切られた棚板上にカセットを載置し、 前記検知手段は投光した光線の反射光に基づいて棚板の
   縁と支柱の前側面とを検知することにより、カセット棚
   の上下、前後、左右の３軸方向での位置を検出すること
   を特徴とするカセット移載装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載のカセット
   移載装置において、 検知手段はカセット保持手段の中心線上で且つ当該カセ
   ット保持手段の先端縁に臨ませて設けられていることを
   特徴とするカセット移載装置。
4. 【請求項４】 請求項２又は請求項３に記載のカセット
   移載装置において、 カセット棚の棚板は縁部を残して前縁から中央部を切除
   した櫛歯状に構成され、 駆動手段はロボットアームにより構成されるとともに、
   カセット保持手段はカセットを載置保持する載置板によ
   り構成されて、ロボットアームがカセット保持手段を棚
   板に対して上下動させることにより当該カセット保持手
   段と棚板との間でカセットを受け渡しさせることを特徴
   とするカセット移載装置。
5. 【請求項５】 カセット保持手段を移動させる駆動手段
   を制御手段により制御して、支柱に棚板を横架すること
   により構成されて一対の支柱で区切られた棚板上にカセ
   ットを載置するカセット棚に対して、基板を収容するカ
   セットをカセット保持手段により移載するカセット移載
   装置において、 駆動手段によりカセット保持手段を支柱に沿う方向に移
   動させてカセット保持手段に設けられた検知手段により
   当該方向での棚板の位置を検知し、また、駆動手段によ
   りカセット保持手段を棚板に沿う方向に移動させて前記
   検知手段により当該方向での棚板の所定位置を検知した
   後、当該所定位置における棚板とカセット保持手段との
   離間距離を検知手段によって検知し、 制御手段に付随する記憶手段に前記検知手段によって検
   知した各位置情報を記憶保持させて、当該位置情報を以
   後の制御手段による駆動手段の制御に用いることを特徴
   とするカセット移載装置のティーチング方法。
6. 【請求項６】 基板に対して所定の処理を行う炉と、当
   該炉に併設されたカセット棚と、カセット棚に載置され
   たカセットと炉との間で基板を搬送する基板搬送装置
   と、基板を収容するカセットをカセット棚に対して移載
   するカセット移載装置と、を備えた成膜装置において、 前記カセット移載装置は、カセットを保持するカセット
   保持手段と、カセット保持手段を移動させる駆動手段
   と、駆動手段を制御してカセット保持手段によってカセ
   ットをカセット棚に移載させる制御手段と、カセット棚
   の位置を検知する検知手段と、検知手段が検知した位置
   情報を記憶する記憶手段とを備え、前記制御手段は記憶
   手段に記憶された位置情報に基づいて駆動手段を制御す
   ることを特徴とする成膜装置。