JP2009212130A - 搬送手段のティーチング方法、記憶媒体及び基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】キャリアの搬送を行う前に、開口部が形成された載置台上に、キャリアと同形状で、且つ載置台の上方の理想位置に正確に位置決めされたときに前記開口部の中央に撮像領域の中心位置が相対するカメラを備えたキャリア冶具を搬送アーム上の所定の位置に保持し、このキャリア冶具が載置台の理想位置の近傍に来るように搬送アームを移動させ、カメラにより開口部を含む領域を撮像する。そして、開口部の中心位置とカメラの撮像領域の中心位置との水平方向におけるずれ量を計算して、その後、このずれ量を補正量として搬送アームの位置を修正してキャリアを載置台に載置する。
【選択図】図5
Description
特許文献1には基板処理装置が記載されており、また特許文献2には半導体ウェハの搬送位置の情報取得方法が記載されているが、前述の課題については触れられていない。
基板を収納した搬送容器を載置する載置部と、前記搬送容器を保持部に保持して前記載置部に上方側から受け渡す搬送手段と、この搬送手段の駆動部に接続されたエンコーダの出力に基づいて、当該エンコーダにより管理される駆動系座標上における前記保持部の座標位置を監視する座標位置監視部と、前記搬送容器から取り出した基板に対して処理を行う処理部と、を備えた基板処理装置に用いられ、搬送手段をティーチングする方法において、
下向きの視野を有する撮像手段が設けられた搬送治具を前記搬送手段の保持部の予め設定した位置に保持させる工程と、
次いで、前記搬送容器が前記載置部上の予め設定された設定位置に載置されるように前記搬送手段が下降を開始する時の理想位置の近傍位置に当該保持部を移動させる工程と、
その後、前記載置部に設けられた位置ずれ検出用の標識を前記撮像手段により撮像し、その時の前記視野における前記標識の位置と、前記保持部が前記理想位置に位置しているときの前記視野における前記標識の位置と、エンコーダの1パルスあたりの移動量と、に基づいて、前記理想位置に対応する前記駆動系座標上の座標位置と前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の座標位置とのずれ分である補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、を含み、
前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の座標位置を前記補正量により補正して、前記搬送容器を載置部に受け渡すときの搬送手段の下降開始位置に対応した前記駆動系座標上の座標位置を取得することを特徴とする。
基板を収納した搬送容器を載置する載置部と、前記搬送容器を保持部に保持して前記載置部に上方側から受け渡す搬送手段と、この搬送手段の駆動部に接続されたエンコーダの出力に基づいて、当該エンコーダにより管理される駆動系座標上における前記保持部の座標位置を監視する座標位置監視部と、前記搬送容器から取り出した基板に対して処理を行う処理部と、を備えた基板処理装置に用いられ、搬送手段をティーチングする方法において、
上向きの視野を有する撮像手段が設けられた搬送治具を前記搬送手段の保持部の予め設定した位置に保持させる工程と、
次いで、前記搬送容器が前記載置部上の予め設定された設定位置に載置されるように前記搬送手段が下降した後の理想位置の近傍位置に当該保持部を移動させる工程と、
その後、前記載置部に設けられた位置ずれ検出用の標識を前記撮像手段により撮像し、その時の前記視野における前記標識の位置と、前記保持部が前記理想位置に位置しているときの前記視野における前記標識の位置と、エンコーダの1パルスあたりの移動量と、に基づいて、前記理想位置に対応する前記駆動系座標上の座標位置と前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の座標位置とのずれ分である補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、を含み、
前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の座標位置を前記補正量により補正して、前記搬送容器を載置部に受け渡すときの搬送手段の下降開始位置位置に対応した前記駆動系座標上の座標位置を取得することを特徴とする。
前記保持部を近傍位置に移動させる工程と前記補正量を取得して記憶部に記憶させる工程とを順次各載置部について実行し、各載置部ごとに、前記近傍位置における駆動系座標上の座標位置と前記補正量とを対応付けて記憶部に記憶することが好ましい。
基板を収納した搬送容器を載置する載置部と、前記搬送容器を保持部に保持して前記載置部に上方側から受け渡す搬送手段と、この搬送手段の駆動部に接続されたエンコーダの出力に基づいて、当該エンコーダにより管理される駆動系座標上における前記保持部の座標位置を監視する座標位置監視部と、前記搬送容器から取り出した基板に対して処理を行う処理部と、を備えた基板処理装置に用いられ、搬送手段をティーチングする方法において、
下向きの視野を有する撮像手段が設けられた搬送治具を前記搬送手段の保持部の予め設定した位置に保持させる工程と、
次いで、前記搬送容器が前記載置部上の予め設定された設定位置に載置されるように前記搬送手段が下降を開始する時の理想位置の近傍位置に当該保持部を移動させる工程と、
その後、前記載置部に設けられた位置ずれ検出用の標識を前記撮像手段により撮像し、その時の前記視野における前記標識の位置と、前記保持部が前記理想位置に位置しているときの前記視野における前記標識の位置と、水平方向のエンコーダの1パルスあたりの移動量と、に基づいて、前記理想位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置と前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置とのずれ分である補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、を含み、
前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置を前記補正量により補正して、前記搬送容器を載置部に受け渡すときの搬送手段の下降開始位置に対応した前記駆動系座標上の水平方向の座標位置を取得することを特徴とする。
基板を収納した搬送容器を載置する載置部と、前記搬送容器を保持部に保持して前記載置部に上方側から受け渡す搬送手段と、この搬送手段の駆動部に接続されたエンコーダの出力に基づいて、当該エンコーダにより管理される駆動系座標上における前記保持部の座標位置を監視する座標位置監視部と、前記搬送容器から取り出した基板に対して処理を行う処理部と、を備えた基板処理装置に用いられ、搬送手段をティーチングする方法において、
上向きの視野を有する撮像手段が設けられた搬送治具を前記搬送手段の保持部の予め設定した位置に保持させる工程と、
次いで、前記搬送容器が前記載置部上の予め設定された設定位置に載置されるように前記搬送手段が下降した後の理想位置の近傍位置に当該保持部を移動させる工程と、
その後、前記載置部に設けられた位置ずれ検出用の標識を前記撮像手段により撮像し、その時の前記視野における前記標識の位置と、前記保持部が前記理想位置に位置しているときの前記視野における前記標識の位置と、水平方向のエンコーダの1パルスあたりの移動量と、に基づいて、前記理想位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置と前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置とのずれ分である補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、を含み、
前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置を前記補正量により補正して、前記搬送容器を載置部に受け渡すときの搬送手段の下降開始位置位置に対応した前記駆動系座標上の水平方向の座標位置を取得することを特徴とする。
前記保持部を近傍位置に移動させる工程と前記補正量を取得して記憶部に記憶させる工程とを順次各載置部について実行し、各載置部ごとに、前記近傍位置における駆動系座標上の水平方向の座標位置と前記補正量とを対応付けて記憶部に記憶することが好ましい。
前記近傍位置に保持部を移動させた後、前記搬送冶具に設けられた計測手段を用いて前記搬送冶具から前記載置台までの高さ方向の距離を求める工程と、
前記工程で求めた高さ方向の距離と前記理想位置における前記搬送冶具から前記載置部までの高さ方向の距離との差と、高さ方向のエンコーダの1パルスあたりの移動量と、に基づいて、前記理想位置に対応する前記駆動系座標上の高さ方向の座標位置と前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の高さ方向の座標位置との差である補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、を含み、
前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の高さ方向の座標位置を前記補正量により補正して、前記搬送容器を載置部に受け渡すときの搬送手段の下降開始位置に対応した前記駆動系座標上の高さ方向の座標位置を取得することが好ましい。
前記保持部を近傍位置に移動させる工程と前記補正量を取得して記憶部に記憶させる工程とを順次各載置部について実行し、各載置部ごとに、前記近傍位置における駆動系座標上の水平方向及び高さ方向の座標位置と前記補正量とを対応付けて記憶部に記憶することが好ましい。
前記搬送冶具は、前記標識を含む領域に対して光を照射する光照射部を備え、
前記記憶させる工程は、前記標識を含む領域に対して光を照射して、前記標識を含む領域における前記光の照射位置を撮像する工程を含むことが好ましい。
前記載置部は前記光を反射する反射部であり、
前記標識は前記光を反射しない非反射部であっても良い。
前記載置部は、前記基板処理装置の外部から前記搬送容器を搬入するために載置するロードポート、前記搬送容器内から前記基板を取り出すときに搬送容器を載置するトランスファーステージ及び前記搬送容器を保管するために載置する保管部であることが好ましい。
コンピュータ上で動作するコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、上記搬送手段のティーチング方法を実施するようにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。
基板を収納した搬送容器を載置する載置部と、この載置部に対して前記搬送容器を搬送する搬送手段と、前記搬送容器から取り出した基板に対して処理を行う処理部と、上記プログラムを含む制御部と、を備えたことを特徴とする。
この装置コントローラ36は、座標位置監視部37、搬送制御部39及びティーチングデータが保存されるメモリ8を備えている。座標位置監視部37は、キャリア搬送機22の各軸を駆動するモータに夫々設けられたエンコーダ38のパルス数を取得してキャリア搬送機22の駆動系の座標上の位置、より詳しくは保持部31aの駆動系の座標上の座標位置を取得する役割を備えている。また搬送制御部39は、所定の動作プログラムを含み、ティーチングデータに基づいてキャリア搬送機22の動作を制御する役割を持っている。またメモリ8内のティーチングデータは、後述のティーチングにより取得された補正量等に基づいて求めたキャリア搬送機22の各軸におけるエンコーダ38のパルス指令値、言い換えれば駆動系の座標上における保持部31aの座標位置に相当するデータである。尚、既述のロードポート21及びトランスファーステージ23についても、この搬送アーム31と同様に、キャリア1が載置される載置面にはキャリア1の凹部に嵌合する突起が形成されている。
このキャリア冶具2には、既述の図5に示すように、カメラ61によりキャリアステージ50の開口部52を撮像した時に、このカメラ61の撮像領域の中心位置と開口部52の中心位置とのずれ量を計算するための画像コントローラ64が図示しないケーブルを介して接続されている。
a = x0+(x2+x4)/2
b = y0+(y1+y3)/2
として表される。従って、カメラ61の撮像領域の中心位置と開口部52の中心位置とのずれ量である補正量Δx1及びΔy1は、レーザー光の照射路が直交座標のX−Y座標と平行になっているので、C0とC1との差を取ることによって、
Δx1 = (x2+x4)/2
Δy1 = (y1+y3)/2
となる。この時既述のように、画像コントローラ64では、撮像倍率からカメラ61により撮像した画像内における実寸法が分かるので、C1とP1〜P4との間の距離つまりx2、x4、y1、y3の値が求められる。尚、カメラ61の撮像領域の中心の座標A1と開口部52の中心の座標B1とがずれていない場合には、この補正量Δx1及びΔy1は、ゼロとなる。また、既述の図9は、判別しやすいように、開口部52に対して照射される2本のレーザ光の一方を示している。
一方、キャリア冶具2が理想位置に位置すると仮定した時の上記の角度α及び距離x1、x2については例えば設計データや計算あるいは実験などにより容易に求まるので、この時のキャリア冶具2の高さh0と上記の算出結果とを比較することにより、高さ方向の補正量ΔZ1(=|h0−h|)が求まる。
その後、搬送アーム31を縮退させて、補正量の未測定の載置部があるか否かを判定し、未測定の載置部がある場合には、同様に順次ティーチングを行う(ステップS64)。このティーチング作業により、図12に示すように、メモリ8には例えば20カ所の搬送先に対応する設計位置A1〜A20、補正量(Δx1,Δy1,Δz1)〜(Δx20,Δy20,Δz20)及び理想座標B1〜B20が保存される。そして、例えば搬送アーム31上からキャリア冶具2を取り外し、ティーチング作業を終了する。
書名:三次元画像計測
著者:井口 征士,佐藤 宏介
出版社:昭晃堂(1990/11)
ISBN-10:4785690364
参照頁:91〜97
尚、設計位置において、搬送アーム31の高さ位置は理想位置からそれ程大きく離れていないので、高さ位置を理想位置に修正せずに、開口部52を撮像して水平方向の位置ずれ量(補正量)を取得しても良い。
本発明は、バッチ式の熱処理装置に適用することに限られず、例えばキャリア1内のウェハW等の基板を一括して洗浄液で洗浄する洗浄装置等においても適用でき、この場合、洗浄装置内にキャリア1が取り込まれることから、同様に有効な手法である。
S2 ローディングエリア
1 キャリア
2 キャリア冶具
5 制御部
6A 画像データ処理プログラム
6B 補正量演算プログラム
8 メモリ
21 ロードポート
23 トランスファーステージ
24 保管部
31 搬送アーム
50 キャリアステージ
52 開口部
61 カメラ
62 光照射部
63 距離計
Claims (13)
- 基板を収納した搬送容器を載置する載置部と、前記搬送容器を保持部に保持して前記載置部に上方側から受け渡す搬送手段と、この搬送手段の駆動部に接続されたエンコーダの出力に基づいて、当該エンコーダにより管理される駆動系座標上における前記保持部の座標位置を監視する座標位置監視部と、前記搬送容器から取り出した基板に対して処理を行う処理部と、を備えた基板処理装置に用いられ、搬送手段をティーチングする方法において、
下向きの視野を有する撮像手段が設けられた搬送治具を前記搬送手段の保持部の予め設定した位置に保持させる工程と、
次いで、前記搬送容器が前記載置部上の予め設定された設定位置に載置されるように前記搬送手段が下降を開始する時の理想位置の近傍位置に当該保持部を移動させる工程と、
その後、前記載置部に設けられた位置ずれ検出用の標識を前記撮像手段により撮像し、その時の前記視野における前記標識の位置と、前記保持部が前記理想位置に位置しているときの前記視野における前記標識の位置と、エンコーダの1パルスあたりの移動量と、に基づいて、前記理想位置に対応する前記駆動系座標上の座標位置と前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の座標位置とのずれ分である補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、を含み、
前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の座標位置を前記補正量により補正して、前記搬送容器を載置部に受け渡すときの搬送手段の下降開始位置に対応した前記駆動系座標上の座標位置を取得することを特徴とする搬送手段のティーチング方法。 - 基板を収納した搬送容器を載置する載置部と、前記搬送容器を保持部に保持して前記載置部に上方側から受け渡す搬送手段と、この搬送手段の駆動部に接続されたエンコーダの出力に基づいて、当該エンコーダにより管理される駆動系座標上における前記保持部の座標位置を監視する座標位置監視部と、前記搬送容器から取り出した基板に対して処理を行う処理部と、を備えた基板処理装置に用いられ、搬送手段をティーチングする方法において、
上向きの視野を有する撮像手段が設けられた搬送治具を前記搬送手段の保持部の予め設定した位置に保持させる工程と、
次いで、前記搬送容器が前記載置部上の予め設定された設定位置に載置されるように前記搬送手段が下降した後の理想位置の近傍位置に当該保持部を移動させる工程と、
その後、前記載置部に設けられた位置ずれ検出用の標識を前記撮像手段により撮像し、その時の前記視野における前記標識の位置と、前記保持部が前記理想位置に位置しているときの前記視野における前記標識の位置と、エンコーダの1パルスあたりの移動量と、に基づいて、前記理想位置に対応する前記駆動系座標上の座標位置と前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の座標位置とのずれ分である補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、を含み、
前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の座標位置を前記補正量により補正して、前記搬送容器を載置部に受け渡すときの搬送手段の下降開始位置位置に対応した前記駆動系座標上の座標位置を取得することを特徴とする搬送手段のティーチング方法。 - 前記載置部は複数設けられ、
前記保持部を近傍位置に移動させる工程と前記補正量を取得して記憶部に記憶させる工程とを順次各載置部について実行し、各載置部ごとに、前記近傍位置における駆動系座標上の座標位置と前記補正量とを対応付けて記憶部に記憶することを特徴とする請求項1または2に記載の搬送手段のティーチング方法。 - 基板を収納した搬送容器を載置する載置部と、前記搬送容器を保持部に保持して前記載置部に上方側から受け渡す搬送手段と、この搬送手段の駆動部に接続されたエンコーダの出力に基づいて、当該エンコーダにより管理される駆動系座標上における前記保持部の座標位置を監視する座標位置監視部と、前記搬送容器から取り出した基板に対して処理を行う処理部と、を備えた基板処理装置に用いられ、搬送手段をティーチングする方法において、
下向きの視野を有する撮像手段が設けられた搬送治具を前記搬送手段の保持部の予め設定した位置に保持させる工程と、
次いで、前記搬送容器が前記載置部上の予め設定された設定位置に載置されるように前記搬送手段が下降を開始する時の理想位置の近傍位置に当該保持部を移動させる工程と、
その後、前記載置部に設けられた位置ずれ検出用の標識を前記撮像手段により撮像し、その時の前記視野における前記標識の位置と、前記保持部が前記理想位置に位置しているときの前記視野における前記標識の位置と、水平方向のエンコーダの1パルスあたりの移動量と、に基づいて、前記理想位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置と前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置とのずれ分である補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、を含み、
前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置を前記補正量により補正して、前記搬送容器を載置部に受け渡すときの搬送手段の下降開始位置に対応した前記駆動系座標上の水平方向の座標位置を取得することを特徴とする搬送手段のティーチング方法。 - 基板を収納した搬送容器を載置する載置部と、前記搬送容器を保持部に保持して前記載置部に上方側から受け渡す搬送手段と、この搬送手段の駆動部に接続されたエンコーダの出力に基づいて、当該エンコーダにより管理される駆動系座標上における前記保持部の座標位置を監視する座標位置監視部と、前記搬送容器から取り出した基板に対して処理を行う処理部と、を備えた基板処理装置に用いられ、搬送手段をティーチングする方法において、
上向きの視野を有する撮像手段が設けられた搬送治具を前記搬送手段の保持部の予め設定した位置に保持させる工程と、
次いで、前記搬送容器が前記載置部上の予め設定された設定位置に載置されるように前記搬送手段が下降した後の理想位置の近傍位置に当該保持部を移動させる工程と、
その後、前記載置部に設けられた位置ずれ検出用の標識を前記撮像手段により撮像し、その時の前記視野における前記標識の位置と、前記保持部が前記理想位置に位置しているときの前記視野における前記標識の位置と、水平方向のエンコーダの1パルスあたりの移動量と、に基づいて、前記理想位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置と前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置とのずれ分である補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、を含み、
前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置を前記補正量により補正して、前記搬送容器を載置部に受け渡すときの搬送手段の下降開始位置位置に対応した前記駆動系座標上の水平方向の座標位置を取得することを特徴とする搬送手段のティーチング方法。 - 前記載置部は複数設けられ、
前記保持部を近傍位置に移動させる工程と前記補正量を取得して記憶部に記憶させる工程とを順次各載置部について実行し、各載置部ごとに、前記近傍位置における駆動系座標上の水平方向の座標位置と前記補正量とを対応付けて記憶部に記憶することを特徴とする請求項4または5に記載の搬送手段のティーチング方法。 - 前記近傍位置に保持部を移動させた後、前記搬送冶具に設けられた計測手段を用いて前記搬送冶具から前記載置台までの高さ方向の距離を求める工程と、
前記工程で求めた高さ方向の距離と前記理想位置における前記搬送冶具から前記載置部までの高さ方向の距離との差と、高さ方向のエンコーダの1パルスあたりの移動量と、に基づいて、前記理想位置に対応する前記駆動系座標上の高さ方向の座標位置と前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の高さ方向の座標位置との差である補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、を含み、
前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の高さ方向の座標位置を前記補正量により補正して、前記搬送容器を載置部に受け渡すときの搬送手段の下降開始位置に対応した前記駆動系座標上の高さ方向の座標位置を取得することを特徴とする請求項4または5に記載の搬送手段のティーチング方法。 - 前記載置部は複数設けられ、
前記保持部を近傍位置に移動させる工程と前記補正量を取得して記憶部に記憶させる工程とを順次各載置部について実行し、各載置部ごとに、前記近傍位置における駆動系座標上の水平方向及び高さ方向の座標位置と前記補正量とを対応付けて記憶部に記憶することを特徴とする請求項7に記載の搬送手段のティーチング方法。 - 前記搬送冶具は、前記標識を含む領域に対して光を照射する光照射部を備え、
前記記憶させる工程は、前記標識を含む領域に対して光を照射して、前記標識を含む領域における前記光の照射位置を撮像する工程を含むことを特徴とする請求項1ないし8のいずれか一つに記載の搬送手段のティーチング方法。 - 前記載置部は前記光を反射する反射部であり、
前記標識は前記光を反射しない非反射部であることを特徴とする請求項9記載の搬送手段のティーチング方法。 - 前記載置部は、前記基板処理装置の外部から前記搬送容器を搬入するために載置するロードポート、前記搬送容器内から前記基板を取り出すときに搬送容器を載置するトランスファーステージ及び前記搬送容器を保管するために載置する保管部であることを特徴とする請求項1ないし10のいずれか一つに記載の搬送手段のティーチング方法。
- コンピュータ上で動作するコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項1ないし11のいずれか一つに記載の搬送手段のティーチング方法を実施するようにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。 - 基板を収納した搬送容器を載置する載置部と、この載置部に対して前記搬送容器を搬送する搬送手段と、前記搬送容器から取り出した基板に対して処理を行う処理部と、請求項12記載のプログラムを含む制御部と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。
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