JPH06298315A - 半導体製造装置における被処理物移載装置 - Google Patents
半導体製造装置における被処理物移載装置Info
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- JPH06298315A JPH06298315A JP11108593A JP11108593A JPH06298315A JP H06298315 A JPH06298315 A JP H06298315A JP 11108593 A JP11108593 A JP 11108593A JP 11108593 A JP11108593 A JP 11108593A JP H06298315 A JPH06298315 A JP H06298315A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウェハを支持するボート及び／又はカセット
収納棚が傾いていても、又、ボート或いはカセットが位
置ずれしていても、ボートへのウェハの載置位置又はカ
セットのウェハ収納位置を正確に検出し、高精度で自動
補正する。 【構成】 移載機５のチャック部４にセンサ６を取付
け、このセンサ６によりボート２及び／又はカセット収
納棚８或いはカセット３の正位置よりずれた量を検出
し、センサ６より得られる検出信号を入力してボート２
へのウェハ載置位置及び／又はカセット３のウェハ収納
位置を自動補正する制御手段を設ける。
収納棚が傾いていても、又、ボート或いはカセットが位
置ずれしていても、ボートへのウェハの載置位置又はカ
セットのウェハ収納位置を正確に検出し、高精度で自動
補正する。 【構成】 移載機５のチャック部４にセンサ６を取付
け、このセンサ６によりボート２及び／又はカセット収
納棚８或いはカセット３の正位置よりずれた量を検出
し、センサ６より得られる検出信号を入力してボート２
へのウェハ載置位置及び／又はカセット３のウェハ収納
位置を自動補正する制御手段を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は縦型拡散・ＣＶＤ装置等
の半導体製造装置に係り、特に被処理物の移載における
支持手段の正位置及び／又は収納棚或いは被処理物収納
手段の正位置よりずれた量を検出し、被処理物載置位置
及び／又は被処理物収納位置を自動補正することができ
る半導体製造装置における被処理物移載装置に関する。
の半導体製造装置に係り、特に被処理物の移載における
支持手段の正位置及び／又は収納棚或いは被処理物収納
手段の正位置よりずれた量を検出し、被処理物載置位置
及び／又は被処理物収納位置を自動補正することができ
る半導体製造装置における被処理物移載装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来装置を図１を参照して説明すると、
移載機５を手動操作してそのチャック部４によりカセッ
ト収納棚８のカセット３からウェハ１を取り出し、移載
機５のＡ点を中心にチャック部４をカセット３側からボ
ート２側に回転させ、チャック部４によりウェハ１をボ
ート２に挿入しセットする。以下、移載機５を搬送する
ウェハの枚数分のピッチずつ上動または下動し、上記と
同様にチャック部４によりカセット３内のウェハ１を順
次取り出し、回転してチャック部４によりボート２にウ
ェハ１を順次挿入しセットする。
移載機５を手動操作してそのチャック部４によりカセッ
ト収納棚８のカセット３からウェハ１を取り出し、移載
機５のＡ点を中心にチャック部４をカセット３側からボ
ート２側に回転させ、チャック部４によりウェハ１をボ
ート２に挿入しセットする。以下、移載機５を搬送する
ウェハの枚数分のピッチずつ上動または下動し、上記と
同様にチャック部４によりカセット３内のウェハ１を順
次取り出し、回転してチャック部４によりボート２にウ
ェハ１を順次挿入しセットする。
【０００３】この時、ボート２側に回転したチャック部
４に保持されたウェハ１の位置は予め定められた位置で
あるが、図２に示すようにボート２が左，右方向に傾い
ている場合、図４に示すようボート２が前，後方向に傾
いている場合、又は図６に示すようにボート２が左，右
方向に位置ずれしている場合がある。
４に保持されたウェハ１の位置は予め定められた位置で
あるが、図２に示すようにボート２が左，右方向に傾い
ている場合、図４に示すようボート２が前，後方向に傾
いている場合、又は図６に示すようにボート２が左，右
方向に位置ずれしている場合がある。
【０００４】又、ウェハ１をチャック部４によりカセッ
ト収納棚８のカセット３内より順次取出し又は収納する
時、図８に示すようにカセット収納棚８が左，右方向、
例えば右方向に傾いている場合、図１０に示すようにカ
セット収納棚８が前，後方向、例えば後方向に傾いてい
る場合、あるいは図１３に示すようにカセット収納棚８
内の各列毎の各段のカセット３のセンターｌ11〜ｌ13，
ｌ21〜ｌ23が各列のセンターｌ1 ，ｌ2 より左，右方向
に位置ずれしている場合がある。
ト収納棚８のカセット３内より順次取出し又は収納する
時、図８に示すようにカセット収納棚８が左，右方向、
例えば右方向に傾いている場合、図１０に示すようにカ
セット収納棚８が前，後方向、例えば後方向に傾いてい
る場合、あるいは図１３に示すようにカセット収納棚８
内の各列毎の各段のカセット３のセンターｌ11〜ｌ13，
ｌ21〜ｌ23が各列のセンターｌ1 ，ｌ2 より左，右方向
に位置ずれしている場合がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ボート２が左，右方向
に傾いている場合は、セットされるウェハ１とボート２
との隙間が上，下方部でバラツキができるため、ウェハ
の載置位置を手動で調整する必要がある。ボート２が
前，後方向に傾いている場合は、ウェハ１の挿入ストロ
ークが上，下方部で異なるため、チャック部４を手動操
作してウェハ１を挿入するストローク量を決定しなけれ
ばならない。又、ボート２が左，右方向に位置ずれして
いる場合は、ボート側に回転したチャック部４に保持さ
れたウェハ１の位置が定位置であるため、ウェハ１とボ
ート２の隙間ｄ1 , ｄ2 が左, 右部で均等になるように
目視で調整する必要がある。
に傾いている場合は、セットされるウェハ１とボート２
との隙間が上，下方部でバラツキができるため、ウェハ
の載置位置を手動で調整する必要がある。ボート２が
前，後方向に傾いている場合は、ウェハ１の挿入ストロ
ークが上，下方部で異なるため、チャック部４を手動操
作してウェハ１を挿入するストローク量を決定しなけれ
ばならない。又、ボート２が左，右方向に位置ずれして
いる場合は、ボート側に回転したチャック部４に保持さ
れたウェハ１の位置が定位置であるため、ウェハ１とボ
ート２の隙間ｄ1 , ｄ2 が左, 右部で均等になるように
目視で調整する必要がある。
【０００６】又、カセット収納棚８が左，右方向に傾い
ている場合は、図８に示すようにチャック部４にダイヤ
ルゲージ９を取付け、カセット収納棚８を左，右方向に
移動し、カセット収納棚８の左，右端部面にゲージ先端
を押し当てて目盛を読むことにより、例えばカセット収
納棚８内のカセット３の右方向の傾き量Ｄ3 を測定して
いる。カセット収納棚８が前，後方向に傾いている場合
は、図１０に示すようにチャック部４にダイヤルゲージ
９を取付け、移載機５を上，下方向に移動し、カセット
収納棚８の上，下端部面にゲージ先端を押し当てて目盛
を読むことにより、例えばカセット収納棚８内のカセッ
ト３の後方向の傾き量Ｄ6 を測定している。更に、カセ
ット収納棚８内の各列毎の各段のカセット３のセンター
ｌ11〜ｌ13，ｌ21〜ｌ23が図１３に示すように各列のセ
ンターｌ1 ，ｌ2 より左，右方向に位置ずれしている場
合は、例えば第１列第１段〜第３段のカセット内のウェ
ハ１11〜１13をチャック部４でホールドして取り出し、
ボート２に載置すると、各棚段毎のウェハの位置ずれが
図１４に示すようにボート２に載置されたウェハにその
まま生じ、ウェハ位置ずれを手動で補正する必要があ
る。いずれの従来例にあっても、ウェハ位置の調整に多
くの時間と熟練を必要とし、位置調整を迅速に行うこと
ができない等の課題がある。
ている場合は、図８に示すようにチャック部４にダイヤ
ルゲージ９を取付け、カセット収納棚８を左，右方向に
移動し、カセット収納棚８の左，右端部面にゲージ先端
を押し当てて目盛を読むことにより、例えばカセット収
納棚８内のカセット３の右方向の傾き量Ｄ3 を測定して
いる。カセット収納棚８が前，後方向に傾いている場合
は、図１０に示すようにチャック部４にダイヤルゲージ
９を取付け、移載機５を上，下方向に移動し、カセット
収納棚８の上，下端部面にゲージ先端を押し当てて目盛
を読むことにより、例えばカセット収納棚８内のカセッ
ト３の後方向の傾き量Ｄ6 を測定している。更に、カセ
ット収納棚８内の各列毎の各段のカセット３のセンター
ｌ11〜ｌ13，ｌ21〜ｌ23が図１３に示すように各列のセ
ンターｌ1 ，ｌ2 より左，右方向に位置ずれしている場
合は、例えば第１列第１段〜第３段のカセット内のウェ
ハ１11〜１13をチャック部４でホールドして取り出し、
ボート２に載置すると、各棚段毎のウェハの位置ずれが
図１４に示すようにボート２に載置されたウェハにその
まま生じ、ウェハ位置ずれを手動で補正する必要があ
る。いずれの従来例にあっても、ウェハ位置の調整に多
くの時間と熟練を必要とし、位置調整を迅速に行うこと
ができない等の課題がある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明装置は上記の課題
を解決するため、被処理物１を載置する支持手段２及び
／又は収納棚８或いは被処理物収納手段３の正位置より
ずれた量を検出し、被処理物載置位置及び／又は被処理
物収納位置を自動補正する制御手段を設けてなる。
を解決するため、被処理物１を載置する支持手段２及び
／又は収納棚８或いは被処理物収納手段３の正位置より
ずれた量を検出し、被処理物載置位置及び／又は被処理
物収納位置を自動補正する制御手段を設けてなる。
【０００８】
【作用】本発明装置はこのような構成であるから、被処
理物１の支持手段２及び／又は収納棚８が左，右方向、
前，後方向に傾いていても、又、支持手段２或いは被処
理物収納手段３が左，右方向に位置ずれしていても人手
がかからず、熟練を要さず、被処理物１の載置位置及び
／又は被処理物１の収納位置を制御手段により正確に検
出し高精度で自動的に補正でき、位置調整時間を大幅に
短縮できることになる。
理物１の支持手段２及び／又は収納棚８が左，右方向、
前，後方向に傾いていても、又、支持手段２或いは被処
理物収納手段３が左，右方向に位置ずれしていても人手
がかからず、熟練を要さず、被処理物１の載置位置及び
／又は被処理物１の収納位置を制御手段により正確に検
出し高精度で自動的に補正でき、位置調整時間を大幅に
短縮できることになる。
【０００９】
【実施例】図１は本発明に係る移載装置の構成を示す説
明用平面図である。その構成及び動作の説明は従来の技
術の項で概略説明したので省略する。図３（Ａ），
（Ｂ）はそれぞれ本発明装置の第１実施例の構成とボー
トが左，右方向に傾いている場合の動作を説明するため
の平面図及び側面図である。本実施例は、図１に示した
装置において、ウェハ１を載置するボート２の正位置よ
りずれた量を検出するセンサ６をチャック部４に取付
け、このセンサ６によりボート２の正位置よりずれた量
を検出し、このセンサ６より得られる検出信号を入力し
てボート２へのウェハ１の載置位置を自動補正する制御
手段（図示せず）を設ける。
明用平面図である。その構成及び動作の説明は従来の技
術の項で概略説明したので省略する。図３（Ａ），
（Ｂ）はそれぞれ本発明装置の第１実施例の構成とボー
トが左，右方向に傾いている場合の動作を説明するため
の平面図及び側面図である。本実施例は、図１に示した
装置において、ウェハ１を載置するボート２の正位置よ
りずれた量を検出するセンサ６をチャック部４に取付
け、このセンサ６によりボート２の正位置よりずれた量
を検出し、このセンサ６より得られる検出信号を入力し
てボート２へのウェハ１の載置位置を自動補正する制御
手段（図示せず）を設ける。
【００１０】〈ボートが左，右方向に傾いている場合〉
図２はボートが左方向に傾いている状態を示す簡略正面
図である。移載機５を中心点Ａを中心に回転させ、チャ
ック部４に取付けたセンサ６を図３（Ａ）に示すように
ボート側の所定位置に向かせ、移載機５を下動してボー
ト２の下部Ｄ位置で、ボート２の左右２位置Ｂ，Ｃを検
出する。又，移載機５を上動させ、ボート２の上部Ｅ位
置についても同様に左右２位置Ｂ，Ｃを検出する。これ
らの検出信号を制御手段に入力してボート２の左方向の
傾き量（Ｄ，Ｅ位置で検出したＢ，Ｃ位置の差）を算出
することができる。右方向に傾いている場合も同様であ
る。このように人手がかからず、左，右方向の傾き量を
正確に検出することができるので、ボート２へのウェハ
載置位置を高精度で自動的に補正することができ、位置
調整時間を大幅に短縮することができ、当然熟練も必要
としない。又、傾き量を基に機械組立精度の自己自動検
査も行なえるものである。
図２はボートが左方向に傾いている状態を示す簡略正面
図である。移載機５を中心点Ａを中心に回転させ、チャ
ック部４に取付けたセンサ６を図３（Ａ）に示すように
ボート側の所定位置に向かせ、移載機５を下動してボー
ト２の下部Ｄ位置で、ボート２の左右２位置Ｂ，Ｃを検
出する。又，移載機５を上動させ、ボート２の上部Ｅ位
置についても同様に左右２位置Ｂ，Ｃを検出する。これ
らの検出信号を制御手段に入力してボート２の左方向の
傾き量（Ｄ，Ｅ位置で検出したＢ，Ｃ位置の差）を算出
することができる。右方向に傾いている場合も同様であ
る。このように人手がかからず、左，右方向の傾き量を
正確に検出することができるので、ボート２へのウェハ
載置位置を高精度で自動的に補正することができ、位置
調整時間を大幅に短縮することができ、当然熟練も必要
としない。又、傾き量を基に機械組立精度の自己自動検
査も行なえるものである。
【００１１】〈ボートが前，後方向に傾いている場合〉
図４はボートが後方向に傾いている状態を示す正面図、
図５（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ本実施例においてボート
が前，後方向に傾いている場合の動作を説明するための
平面図及び側面図である。予めボート２に治具７をセッ
トし、移載機５を中心点Ａを中心に回転させ、チャック
部４に取付けたセンサ６をボート側の所定位置に向か
せ、移載機５を下動して予めボート２に載せてある治具
７をボート２の下部Ｄ位置で検出する。又、移載機５を
上動させ、ボート２の上部Ｅ位置についても同様に検出
する。前方向に傾いている場合も同様である。これらの
検出信号を制御手段に入力してボート２の前，後方向の
傾き量（治具７とセンサ６間の距離をＤ，Ｅ点で測定し
た測定値の差）を算出することができる。このように人
手がかからず、前，後方向の傾き量を正確に検出するこ
とができるので、ボート２へのウェハ載置位置を高精度
で自動的に補正することができ、位置調整時間を大幅に
短縮することができ、当然熟練も必要としない。又、傾
き量を基に機械組立精度の自己自動検査も行なえるもの
である。
図４はボートが後方向に傾いている状態を示す正面図、
図５（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ本実施例においてボート
が前，後方向に傾いている場合の動作を説明するための
平面図及び側面図である。予めボート２に治具７をセッ
トし、移載機５を中心点Ａを中心に回転させ、チャック
部４に取付けたセンサ６をボート側の所定位置に向か
せ、移載機５を下動して予めボート２に載せてある治具
７をボート２の下部Ｄ位置で検出する。又、移載機５を
上動させ、ボート２の上部Ｅ位置についても同様に検出
する。前方向に傾いている場合も同様である。これらの
検出信号を制御手段に入力してボート２の前，後方向の
傾き量（治具７とセンサ６間の距離をＤ，Ｅ点で測定し
た測定値の差）を算出することができる。このように人
手がかからず、前，後方向の傾き量を正確に検出するこ
とができるので、ボート２へのウェハ載置位置を高精度
で自動的に補正することができ、位置調整時間を大幅に
短縮することができ、当然熟練も必要としない。又、傾
き量を基に機械組立精度の自己自動検査も行なえるもの
である。
【００１２】〈ボートが左，右方向に位置ずれしている
場合〉図６は本実施例においてボートが右方向に位置ず
れしている状態を示す平面図、図７は本実施例において
ボートが右方向に位置ずれしている場合の動作を説明す
るための平面図である。移載機５を中心点Ａを中心に回
転させ、チャック部４に取付けたセンサ６をボート側の
所定位置に向かせ、ボート２の同一水平面内の位置Ｂ，
Ｃを検出し、これらの検出信号を制御手段に入力してボ
ート２の右方向の位置ずれをボートとウェハ間の右側で
の隙間ｄ1 と右側での隙間ｄ2 より算出することがで
き、かつセンターラインＦを算出することができる。左
方向の位置ずれについても同様である。このように人手
がかからず、熟練を要さず、左，右方向の位置ずれを正
確に検出することができるので、ボート２へのウェハ載
置位置を高精度で自動的に補正することができ、位置調
整時間を大幅に短縮することができ、又、センターライ
ンＦを求めることができるばかりでなく、ボート２の有
無検知も行うことができる。
場合〉図６は本実施例においてボートが右方向に位置ず
れしている状態を示す平面図、図７は本実施例において
ボートが右方向に位置ずれしている場合の動作を説明す
るための平面図である。移載機５を中心点Ａを中心に回
転させ、チャック部４に取付けたセンサ６をボート側の
所定位置に向かせ、ボート２の同一水平面内の位置Ｂ，
Ｃを検出し、これらの検出信号を制御手段に入力してボ
ート２の右方向の位置ずれをボートとウェハ間の右側で
の隙間ｄ1 と右側での隙間ｄ2 より算出することがで
き、かつセンターラインＦを算出することができる。左
方向の位置ずれについても同様である。このように人手
がかからず、熟練を要さず、左，右方向の位置ずれを正
確に検出することができるので、ボート２へのウェハ載
置位置を高精度で自動的に補正することができ、位置調
整時間を大幅に短縮することができ、又、センターライ
ンＦを求めることができるばかりでなく、ボート２の有
無検知も行うことができる。
【００１３】図９（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ本発明装置
の第２実施例の構成とカセット収納棚が左，右方向に傾
いている場合の動作を説明するための平面図及び側面図
である。本実施例の場合、センサ６はカセット収納棚８
又はカセット３の正位置よりずれた量を検出する機能も
兼ねており、かつ制御手段（図示せず）は検出信号を入
力してカセット収納棚８の位置、換言すればカセット３
の収納位置、延いてはウェハの収納位置を自動補正する
機能も兼ねている。
の第２実施例の構成とカセット収納棚が左，右方向に傾
いている場合の動作を説明するための平面図及び側面図
である。本実施例の場合、センサ６はカセット収納棚８
又はカセット３の正位置よりずれた量を検出する機能も
兼ねており、かつ制御手段（図示せず）は検出信号を入
力してカセット収納棚８の位置、換言すればカセット３
の収納位置、延いてはウェハの収納位置を自動補正する
機能も兼ねている。
【００１４】〈カセット収納棚が左，右方向に傾いてい
る場合〉移載機５を中心点Ａを中心に回転させ、チャッ
ク部４に取付けたセンサ６を図９に示すように収納棚８
側の所定位置に向かせ、収納棚８を左，右方向に移動さ
せて収納棚８の左，右端部位置で、距離Ｄ1 ，Ｄ2 を検
出し、これらの検出信号を制御手段に入力して、例えば
その差Ｄ2 −Ｄ1 より右方向の傾き量Ｄ3 を算出するこ
とができる。左方向に傾いている場合も同様である。こ
のように人手がかからず、左，右方向の傾き量を正確に
検出することができるので、収納棚８のカセット３内の
ウェハ収納位置を高精度で自動的に補正することがで
き、位置調整時間を大幅に短縮することができ、当然熟
練も必要としない。又、傾き量を基に機械組立精度の自
己自動検査も行なえるものである。
る場合〉移載機５を中心点Ａを中心に回転させ、チャッ
ク部４に取付けたセンサ６を図９に示すように収納棚８
側の所定位置に向かせ、収納棚８を左，右方向に移動さ
せて収納棚８の左，右端部位置で、距離Ｄ1 ，Ｄ2 を検
出し、これらの検出信号を制御手段に入力して、例えば
その差Ｄ2 −Ｄ1 より右方向の傾き量Ｄ3 を算出するこ
とができる。左方向に傾いている場合も同様である。こ
のように人手がかからず、左，右方向の傾き量を正確に
検出することができるので、収納棚８のカセット３内の
ウェハ収納位置を高精度で自動的に補正することがで
き、位置調整時間を大幅に短縮することができ、当然熟
練も必要としない。又、傾き量を基に機械組立精度の自
己自動検査も行なえるものである。
【００１５】〈カセット収納棚が前，後方向に傾いてい
る場合〉図１１（Ａ），（Ｂ）はそれぞれカセット収納
棚が前，後方向に傾いている場合の動作を説明するため
の平面図及び側面図である。センサ６を図１１に示すよ
うに収納棚８の所定位置に向かせ、移載機５を上，下方
向に移動させて収納棚８の上，下端部位置で、距離
Ｄ4 ，Ｄ5 を検出し、これらの検出信号を制御手段に入
力して例えばその差Ｄ5 −Ｄ4 より後方向の傾き量Ｄ6
を算出することができる。前方向に傾いている場合も同
様である。このように人手がかからず、前，後方向の傾
き量を正確に検出することができるので、収納棚８のカ
セット３内のウェハ収納位置を高精度で自動的に補正す
ることができ、位置調整時間を大幅に短縮することがで
き、当然熟練も必要としない。又、傾き量を基に機械組
立精度の自己自動検査も行なえるものである。
る場合〉図１１（Ａ），（Ｂ）はそれぞれカセット収納
棚が前，後方向に傾いている場合の動作を説明するため
の平面図及び側面図である。センサ６を図１１に示すよ
うに収納棚８の所定位置に向かせ、移載機５を上，下方
向に移動させて収納棚８の上，下端部位置で、距離
Ｄ4 ，Ｄ5 を検出し、これらの検出信号を制御手段に入
力して例えばその差Ｄ5 −Ｄ4 より後方向の傾き量Ｄ6
を算出することができる。前方向に傾いている場合も同
様である。このように人手がかからず、前，後方向の傾
き量を正確に検出することができるので、収納棚８のカ
セット３内のウェハ収納位置を高精度で自動的に補正す
ることができ、位置調整時間を大幅に短縮することがで
き、当然熟練も必要としない。又、傾き量を基に機械組
立精度の自己自動検査も行なえるものである。
【００１６】〈カセット収納棚内のカセットが左，右方
向に位置ずれしている場合〉図１２は本発明装置の第２
実施例を、カセット収納棚内の各列毎の各段のカセット
が左，右方向に位置ずれしている場合に適用した構成例
を示す平面図である。ウェハ１を収納したカセット３又
は治具を載せたカセット収納棚８を左，右方向に移動さ
せ、各列毎に移載機５を上下方向に移動して例えば図１
３に示すように２列，３段の収納部にカセット又は治具
が収められている場合、各列センターｌ1 ，ｌ2 毎の各
段のカセット又は治具の端面を検出し、これらの検出信
号を制御手段に入力してカセット収納棚８における各列
センターｌ1 ，ｌ2 と、各列毎の各段のカセット又は治
具のセンター，即ちウェハ１11〜１13，１21〜１23のセ
ンターｌ11〜ｌ13，ｌ21〜ｌ23を算出することができ
る。このように人手がかからず、各列、各段毎のカセッ
ト、ウェハの左，右方向の位置ずれを正確に検出するこ
とができるので、カセットのウェハ載置位置を高精度で
自動的に補正することができ、位置調整時間を大幅に短
縮することができ、当然熟練も必要としない。
向に位置ずれしている場合〉図１２は本発明装置の第２
実施例を、カセット収納棚内の各列毎の各段のカセット
が左，右方向に位置ずれしている場合に適用した構成例
を示す平面図である。ウェハ１を収納したカセット３又
は治具を載せたカセット収納棚８を左，右方向に移動さ
せ、各列毎に移載機５を上下方向に移動して例えば図１
３に示すように２列，３段の収納部にカセット又は治具
が収められている場合、各列センターｌ1 ，ｌ2 毎の各
段のカセット又は治具の端面を検出し、これらの検出信
号を制御手段に入力してカセット収納棚８における各列
センターｌ1 ，ｌ2 と、各列毎の各段のカセット又は治
具のセンター，即ちウェハ１11〜１13，１21〜１23のセ
ンターｌ11〜ｌ13，ｌ21〜ｌ23を算出することができ
る。このように人手がかからず、各列、各段毎のカセッ
ト、ウェハの左，右方向の位置ずれを正確に検出するこ
とができるので、カセットのウェハ載置位置を高精度で
自動的に補正することができ、位置調整時間を大幅に短
縮することができ、当然熟練も必要としない。
【００１７】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、被処理物
１を載せる支持手段２及び／又は収納棚８或いは被処理
物収納手段３の正位置よりずれた量を検出し、被処理物
載置位置及び／又は被処理物収納位置を自動補正する制
御手段を設けてなるので、被処理物１の支持手段２及び
／又は収納棚８が左，右方向、前，後方向に傾いていて
も、又、支持手段２或いは被処理物収納手段３が左，右
方向に位置ずれしていても人手がかからず、熟練を要さ
ず、被処理物１の載置位置及び／又は被処理物１の収納
位置を制御手段により正確に検出し高精度で自動的に補
正でき、位置調整時間を大幅に短縮できる。
１を載せる支持手段２及び／又は収納棚８或いは被処理
物収納手段３の正位置よりずれた量を検出し、被処理物
載置位置及び／又は被処理物収納位置を自動補正する制
御手段を設けてなるので、被処理物１の支持手段２及び
／又は収納棚８が左，右方向、前，後方向に傾いていて
も、又、支持手段２或いは被処理物収納手段３が左，右
方向に位置ずれしていても人手がかからず、熟練を要さ
ず、被処理物１の載置位置及び／又は被処理物１の収納
位置を制御手段により正確に検出し高精度で自動的に補
正でき、位置調整時間を大幅に短縮できる。
【図１】本発明に係る移載装置の構成を示す説明用平面
図である。
図である。
【図２】ボートが左方向に傾いている状態を示す簡略正
面図である。
面図である。
【図３】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ本発明装置の第１実
施例の構成とボートが左，右方向に傾いている場合の動
作を説明するための平面図及び側面図である。
施例の構成とボートが左，右方向に傾いている場合の動
作を説明するための平面図及び側面図である。
【図４】ボートが後方向に傾いている状態を示す正面図
である。
である。
【図５】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ本実施例においてボ
ートが前，後方向に傾いている場合の動作を説明するた
めの平面図及び側面図である。
ートが前，後方向に傾いている場合の動作を説明するた
めの平面図及び側面図である。
【図６】本実施例においてボートが右方向に位置ずれし
ている状態を示す平面図である。
ている状態を示す平面図である。
【図７】本実施例においてボートが右方向に位置ずれし
ている場合の動作を説明するための平面図である。
ている場合の動作を説明するための平面図である。
【図８】（Ａ），（Ｂ）は従来装置においてカセット収
納棚の右方向に傾いている状態を示す平面図及び側面図
である。
納棚の右方向に傾いている状態を示す平面図及び側面図
である。
【図９】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ本発明装置の第２実
施例の構成とカセット収納棚が左，右方向に傾いている
場合の動作を説明するための平面図及び側面図である。
施例の構成とカセット収納棚が左，右方向に傾いている
場合の動作を説明するための平面図及び側面図である。
【図１０】従来装置においてカセット収納棚の後方向に
傾いている状態を示す側面図である。
傾いている状態を示す側面図である。
【図１１】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれカセット収納棚が
前，後方向に傾いている場合の動作を説明するための平
面図及び側面図である。
前，後方向に傾いている場合の動作を説明するための平
面図及び側面図である。
【図１２】本発明装置の第２実施例をカセット収納棚内
の各列毎の各段のカセットが左，右方向に位置ずれして
いる場合に適用した構成例を示す平面図である。
の各列毎の各段のカセットが左，右方向に位置ずれして
いる場合に適用した構成例を示す平面図である。
【図１３】カセット収納棚の２列、３段の収納部にカセ
ット又は治具が収められている場合の１例を示すカセッ
ト収納棚の正面図である。
ット又は治具が収められている場合の１例を示すカセッ
ト収納棚の正面図である。
【図１４】図１３に示すカセット収納棚の第１列、第１
〜第３段の収納部のカセットよりウェハをボートに載置
した状態の１例を示すボートの正面図である。
〜第３段の収納部のカセットよりウェハをボートに載置
した状態の１例を示すボートの正面図である。
１ 被処理物（ウェハ） ２ 支持手段（ボート） ３ 被処理物収納手段（カセット） ４ 被処理物載置部（チャック部） ５ 移載機 ６ センサ ７ 治具 ８ （カセット）収納棚
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ 8418−4Ｍ
Claims (4)
- 【請求項１】 被処理物（１）を載せるための支持手段
（２）を反応管内に挿入する上下動機構と、被処理物
（１）を保持し、支持手段（２），被処理物収納手段
（３）の収納棚（８）に移動する被処理物載置部（４）
を備えた半導体製造装置における被処理物移載装置にお
いて、支持手段（２）の正位置よりずれた量を検出し、
被処理物載置位置を自動補正する制御手段を設けてなる
半導体製造装置における被処理物移載装置。 - 【請求項２】 支持手段（２）のずれ量を基に機械的組
立精度の自己自動検査を行う機能を制御手段に有せしめ
てなる請求項１の半導体製造装置における被処理物移載
装置。 - 【請求項３】 被処理物（１）を載せるための支持手段
（２）を反応管内に挿入する上下動機構と、被処理物
（１）を保持し、支持手段（２），被処理物収納手段
（３）の収納棚（８）に移動する被処理物載置部（４）
を備えた半導体製造装置における被処理物移載装置にお
いて、収納棚（８）又は被処理物収納手段（３）の正位
置よりずれた量を検出し、被処理物収納位置を自動補正
する制御手段を設けてなる半導体製造装置における被処
理物移載装置。 - 【請求項４】 被処理物（１）を載せるための支持手段
（２）を反応管内に挿入する上下動機構と、被処理物
（１）を保持し、支持手段（２），被処理物収納手段
（３）の収納棚（８）に移動する被処理物載置部（４）
を備えた半導体製造装置における被処理物移載装置にお
いて、収納棚（８）又は被処理物収納手段（３）の正位
置よりずれた量を検出し、収納棚（８）又は被処理物収
納手段（３）のずれ量を基に機械的組立精度の自己自動
検査を行う機能を制御手段に有せしめてなる請求項３の
半導体製造装置における被処理物移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11108593A JP3623522B2 (ja) | 1993-04-13 | 1993-04-13 | 半導体製造装置における被処理物移載方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11108593A JP3623522B2 (ja) | 1993-04-13 | 1993-04-13 | 半導体製造装置における被処理物移載方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06298315A true JPH06298315A (ja) | 1994-10-25 |
| JP3623522B2 JP3623522B2 (ja) | 2005-02-23 |
Family
ID=14552007
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11108593A Expired - Lifetime JP3623522B2 (ja) | 1993-04-13 | 1993-04-13 | 半導体製造装置における被処理物移載方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3623522B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001033624A1 (fr) * | 1999-10-29 | 2001-05-10 | Applied Materials Inc. | Appareil permettant d'eprouver un robot transportant des tranches |
| US7751922B2 (en) | 2004-10-06 | 2010-07-06 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Semiconductor manufacturing apparatus and manufacturing of a semiconductor device |
| JP2011023604A (ja) * | 2009-07-16 | 2011-02-03 | Ebara Corp | 基板搬送用ロボットのカセットに対する制御方法 |
| US11913116B2 (en) | 2018-03-26 | 2024-02-27 | Kokusai Electric Corporation | Substrate processing apparatus and method of manufacturing semiconductor device |
-
1993
- 1993-04-13 JP JP11108593A patent/JP3623522B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001033624A1 (fr) * | 1999-10-29 | 2001-05-10 | Applied Materials Inc. | Appareil permettant d'eprouver un robot transportant des tranches |
| US6401554B1 (en) | 1999-10-29 | 2002-06-11 | Applied Materials, Inc. | Device for testing wafer-transporting robot |
| US7751922B2 (en) | 2004-10-06 | 2010-07-06 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Semiconductor manufacturing apparatus and manufacturing of a semiconductor device |
| JP2011023604A (ja) * | 2009-07-16 | 2011-02-03 | Ebara Corp | 基板搬送用ロボットのカセットに対する制御方法 |
| US11913116B2 (en) | 2018-03-26 | 2024-02-27 | Kokusai Electric Corporation | Substrate processing apparatus and method of manufacturing semiconductor device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3623522B2 (ja) | 2005-02-23 |
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