JP5431049B2 - 基板搬送用ロボットのカセットに対する制御方法 - Google Patents
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Description
前記長手方向奥のずれ量を考慮した位置情報算出式は下記(1)であり、
x=−cy2+a2 (1)
前記長手方向手前のずれ量を考慮した位置情報算出式は下記(2)である、
x=cy2−a3 (2)
(但し、xは長手方向のロボットハンド位置情報、cは定数、a2は長手方向奥のずれ量、a3は長手方向手前のずれ量、yはカセット内高さ位置情報)
ことを特徴とする基板搬送用ロボットのカセットに対する制御方法にある。
図5は本発明の一実施形態に用いるロードポート10及びカセット30と、半導体製造装置側からカセット30内に挿入されるロボットハンド50との関係を示す概略側面図、図6はロードポート10及びカセット30と、ロボットハンド50を有する基板搬送用ロボット70との関係を示す概略平面図である。図5に示すようにカセット30はロードポート10のテーブル11上に設けられた凸部13とカセット30の下面に設けられた凹部で位置決めされて載置される。ロードポート10とカセット30間の相対的な傾きはほとんどない。カセット30内には上下方向に向かって複数枚の基板Wが収納できる図示しない棚が設けられている。図5では最下段に収納された基板Wと、最上段に収納された基板Wとが2枚だけ記載されているが、実際はこの実施形態では全部で25段にわたって基板Wが収納できるように構成されている。つまり最下段の基板Wは1段目、最上段の基板Wは25段目ということになる。
長手方向 X2+a(m−1)/(n−1) ・・・式(1)
θ方向 θ2+Δθ(m−1)/(n−1) ・・・式(2)
ただし、n:全段の数、m:求めようとする段数のいずれか(m=1〜n)
となる。
X2+a(m−1)/(n−1)−b
となる。
x=−cy2+a2 ・・・式(3)
を用いる。
x=cy2−a3 ・・・式(4)
を用いる。
x=c1y2+c2y ・・・式(5)
を用いる。
30 カセット
50 ロボットハンド
70 基板搬送用ロボット
71 アーム
W 基板
Claims (6)
- 基板を複数段収納するカセットと、前記カセットの各段に対してロボットハンドを用いて基板の受け渡しを行う基板搬送用ロボットとを用意し、
前記カセットに収納される基板の最下段と最上段の基板の受渡位置に前記ロボットハンドを移動してそれらの受渡位置をロボットハンド位置情報として測定すると共に、1または複数の中間段の基板の受渡位置に前記ロボットハンドを移動してその受渡位置をロボットハンド位置情報として測定し、
次に前記測定した最下段のロボットハンド位置情報に対する最上段のロボットハンド位置情報が所定量ずれており、前記測定した中間段のロボットハンド位置情報が該最下段のロボットハンド位置情報に対する最上段のロボットハンド位置情報のずれ量内に収まっている場合は前記最下段と最上段のロボットハンド位置情報を用いてカセットのその他の段のロボットハンド位置情報を算出し、
前記測定した最下段と最上段のロボットハンド位置情報が同じで、前記中間段のロボットハンド位置情報が前記最下段の位置情報より長手方向奥または長手方向手前に所定量ずれている場合は、前記最下段または最上段のロボットハンド位置情報と該長手方向奥または長手方向手前のずれ量を考慮した位置情報算出式でその他の段のロボットハンド位置情報を算出し、
前記測定したロボットハンド位置情報と前記算出したロボットハンド位置情報とを用いて、カセットの各段に対して前記ロボットハンドを移動させることで基板の受け渡しを行うことを特徴とする基板搬送用ロボットのカセットに対する制御方法。 - 請求項1に記載の基板搬送用ロボットのカセットに対する制御方法であって、
前記長手方向奥のずれ量を考慮した位置情報算出式は下記(1)であり、
x=−cy2+a2 (1)
前記長手方向手前のずれ量を考慮した位置情報算出式は下記(2)である、
x=cy2−a3 (2)
(但し、xは長手方向のロボットハンド位置情報、cは定数、a2は長手方向奥のずれ量、a3は長手方向手前のずれ量、yはカセット内高さ位置情報)
ことを特徴とする基板搬送用ロボットのカセットに対する制御方法。 - 請求項1又は2に記載の基板搬送用ロボットのカセットに対する制御方法であって、
ロボットハンド位置情報は、前記ロボットハンドの回転中心軸を中心とする位置情報を含んでおり、前記カセット内における各段の基板の位置が、前記ロボットハンドから該カセットに向かう方向に見て長手方向と回転方向の何れの方向にずれていても、これに対応する前記ロボットハンド位置情報を得ることを特徴とする基板搬送用ロボットのカセットに対する制御方法。 - 請求項1乃至3の何れか一項に記載の基板搬送用ロボットのカセットに対する制御方法であって、
前記カセットを載置するロードポートは複数組であり、
各組のロードポート毎にカセット各段のロボットハンド位置情報を求めることを特徴とする基板搬送用ロボットのカセットに対する制御方法。 - 請求項1乃至4の何れか一項に記載の基板搬送用ロボットのカセットに対する制御方法であって、
前記ロボットハンドが基板の受渡位置にあるときのロボットハンド位置情報と前記基板との離間距離をセンサによって定期的に測定し、当初のロボットハンド位置情報と現在のロボットハンド位置情報の測定値とが所定値以上異なった際は、現在の測定値が当初のロボットハンド位置情報になるように自動的にロボットハンド位置情報を書き換えることを特徴とする基板搬送用ロボットのカセットに対する制御方法。 - 請求項1乃至5の何れか一項に記載の基板搬送用ロボットのカセットに対する制御方法であって、
前記ロボットハンドに保持した基板をカセットの所定の段に戻す際は、この段で基板を受け取った位置よりも所定距離手前に戻すことを特徴とする基板搬送用ロボットのカセットに対する制御方法。
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