KR20010075662A - 반송시스템의 위치맞춤방법 - Google Patents

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Abstract

기준위치에 대하여 유지부(48)의 위치맞춤을 하는 반송시스템의 반송위치맞춤 방법이다. 제어부(72)에, 회전기준대(60)상의 소정위치인 오리엔터티칭 기준위치 및 용기재치대에 얹어 놓이는 카세트용기내의 소정위치인 용기티칭 기준위치에 대한 각각의 임시의 위치좌표를 미리 입력한다. 유지부(48)에 정확히 위치맞춤하여 유지시킨 피반송체(W)를 오리엔터티칭 기준위치의 임시의 위치좌표에 근거하는 제어에 의해서 회전기준대(60)까지 반송하여 이재한다. 회전기준대(60)에 재치된 피반송체(W)의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부(62)에 의해서 검출한다. 검출된 편심량과 편심방향과 따라서 오리엔터티칭 기준위치에 대한 임시의 위치좌표를 보정하여 적정위치좌표로 한다. 다음에, 용기티칭 기준위치에 정확히 위치맞춤한 피반송체(W)를 용기티칭 기준위치의 임시의 위치좌표에 근거하는 제어에 의해서 회전기준대(60)까지 반송하여 이재한다. 회전기준대(60)에 재치된 피반송체(W)의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부(62)에 의해서 검출한다. 검출된 편심량과 편심방향과 따라서 용기티칭 기준위치에 대한 임시의 위치좌표를 보정하여 적정위치좌표로 한다.

Description

반송시스템의 위치맞춤방법{CARRIER SYSTEM POSITIONING METHOD}
일반적으로, 반도체디바이스를 제조할 때의 장치는 다종다양한 처리챔버가 조합되어 있다. 이들 챔버끼리의 사이 및 반도체웨이퍼를 다수장 수용하는 카세트와 상기 챔버의 사이 등에는, 웨이퍼의 자동적인 주고 받음을 행하기 위한 반송기구가 설치된다. 이 반송기구는 예컨대, 굴신, 선회 및 승강이 자유롭게 구성된 반송아암부를 갖고 있다. 이 반송아암부는 소정의 반송위치까지 수평이동하여 웨이퍼를 소정의 위치까지 반송하도록 되어 있다.
이 경우, 반송아암부의 동작중에, 반송아암부가 다른 부재와 간섭 내지 충돌하는 것을 피하지 않으면 안 된다. 또한, 반송아암부는 어떤 일정한 장소에 놓여져 있는 웨이퍼를 적정히 유지하고, 이 웨이퍼를 목적으로 하는 위치까지 반송하여, 적정한 장소에 고정밀도로 주고받아야 한다.
이 때문에, 반송아암부의 이동경로에 있어서 웨이퍼의 주고 받음을 행하는장소 등의 중요한 위치를, 반송아암부의 동작을 제어하는 컴퓨터 등의 제어부에 위치좌표로서 기억시키게 하는, 소위 티칭(teaching)이라는 조작이 행하여지고 있다.
본 발명은 반도체웨이퍼 등을 반송하기 위한 반송기구에 있어서 행하여지는 위치맞춤방법에 관련되고, 특히 신속하게 이 위치맞춤을 행할 수 있는 반송시스템의 위치맞춤방법에 관한 것이다.
도 1은 본 발명방법을 실시하기 위해서 사용하는 클러스터툴장치를 나타내는 개략구성도,
도 2는 반송아암부를 나타내는 개략구성도,
도 3은 매핑아암을 나타내는 평면도,
도 4는 매핑시의 동작설명도,
도 5는 방향위치결정장치를 나타내는 측면도,
도 6은 방향위치결정장치로 피반송체를 얹어 놓은 상태를 나타내는 평면도,
도 7은 방향위치결정장치에 있어서의 검출파형의 일 예를 나타낸 도면,
도 8은 각 티칭 기준위치를 도시한 도면,
도 9는 위치결정의 기본적인 동작을 나타내는 플로 차트,
도 10은 위치결정 조작을 나타내는 플로 차트,
도 11은 위치결정 조작을 나타내는 플로 차트,
도 12는 도 10중의 스텝 S20에서 행하는 매핑조작(Z좌표 조정)을 나타내는 플로 차트,
도 13은 반송아암부에 개수를 행한 경우를 나타내는 플로 차트,
도 14는 통상 동작중에 포크의 위치 어긋남이 생기지 않는지 확인하는 경우를 나타내는 플로 차트,
도 15는 포크의 특정위치를 검출하는 경우의 동작을 설명하는 설명도,
도 16은 포크의 특정위치를 검출하는 경우의 동작을 설명하는 설명도,
도 17은 포크의 특정위치를 검출하는 경우의 동작을 설명하는 설명도,
도 18은 반송아암본체와 이재아암본체를 2자루씩 설치한 경우의 클러스터툴장치를 나타내는 개략구성도,
도 19는 반송시스템의 다른 구성예를 나타내는 개략구성도,
도 20은 적정위치좌표의 확인공정을 포함하는 경우의 플로 차트이다.
[실시예]
이하에, 본 발명에 관한 반송시스템의 반송위치맞춤 방법의 일 실시예를 첨부도면에 따라서 상술한다.
우선, 도 1을 참조하여 클러스터툴장치에 관해서 설명한다. 이 클러스터툴장치(2)는 피반송체로서의 반도체웨이퍼(W)에 대하여 성막처리, 확산처리, 에칭처리 등의 각종의 처리를 하는 처리 시스템(4)과, 이 처리 시스템(4)에 대하여 웨이퍼(W)를 반입, 반출시키는 반송시스템(6)으로 주로 구성된다.
처리 시스템(4)은 진공흡인이 가능하게 이루어진 이재실(8)과, 게이트밸브 (10A∼10D)를 통해 연결된 4개의 처리챔버(12A∼12D)로 이루어진다. 각 챔버(12A∼12D)는 동종의 혹은 이종의 열처리를 웨이퍼(W)에 대하여 실시하도록 되어 있다. 각 챔버(12A∼12D) 내에는, 웨이퍼(W)를 얹어 놓기 위한 서셉터 (14A∼14D)가 설치된다. 또한, 이재실(8)내에는, 굴신 및 선회가 자유롭게 이루어지는 이재아암부 (16)가 설치되어 있다. 이재아암부(16)는, 각 챔버 (12A∼12D) 및 후술하는 로드로크실(38A,38B) 중의 임의의 2개의 사이에서, 웨이퍼(W)의 주고 받음(이동)을 행하도록 되어 있다.
한편, 반송시스템(6)은 카세트용기를 얹어 놓은 카세트 스테이지(18)와, 웨이퍼(W)를 반송하여 주고 받음을 하기 위한 반송아암부(20)를 이동시키는 반송스테이지(22)를 갖고 있다. 카세트 스테이지(18)에는 용기재치대(24)가 설치되고, 여기에 복수(도시예에 있어서는 최대 4개)의 카세트용기(26A∼26D)를 재치할 수 있도록 되어 있다. 각 카세트용기(26A∼26D)에는 최대 예컨대 25장의 웨이퍼(W)를 등피치로 다단으로 얹어 놓아 수용할 수 있도록 되어 있다(도 4참조).
반송 스테이지(22)에는, 그 중심부를 길이 방향을 따라서 연기되는 안내레일(28)이 설치된다. 이 안내레일(28)에는 상기 반송아암부(20)가 슬라이드이동이 가능하게 지지되어 있다. 구체적으로는, 안내레일(28)에 이동기구로서 예컨대 볼나사(30)가 병설되고 있고, 이 볼나사(30)에 상기 반송아암부(20)의 기초부(34)가 끼워장착되어 있다. 따라서, 볼나사(30)의 일끝단부에 설치된 구동모터(32)를 회전구동함으로써, 반송아암부(20)는 안내레일(28)에 따라 이동하게 된다.
또한, 반송 스테이지(22)의 다른 끝단에는, 웨이퍼의 위치결정을 하는 방향위치결정장치로서의 오리엔터(36)가 설치된다. 또한, 반송 스테이지(22)의 도중과 상기 이재실(8) 사이에, 진공흡인이 가능하게 이루어진 2개의 로드로크실(38A,38B)이 접속되어 있다. 각 로드로크실(38A,38B) 내에는, 웨이퍼(W)를 얹어 놓은 피반송체 재치대(40A,40B)가 설치된다. 각 로드로크실(38A,38B)의 이재실(8)측에는 게이트밸브(42A,42B)가 각각 설치되고, 반송 스테이지(22)측에는 게이트밸브(44A, 44B)가 설치되어 있다.
상기 반송아암부(20)는 도 2∼도 4에도 나타낸 바와 같이, 굴신가능하게 구성된 다관절형상의 반송아암본체(46)와, 이 선단부에 부착된 포크(48)(유지부)를 가지고 있다.
웨이퍼(W)는 이 포크(48)상에 직접적으로 유지되게끔 되어 있다. 또한, 반송아암부(20)는 같이 굴신가능하게 구성된 매핑아암(50)을 갖고 있다. 매핑아암 (50)의 선단부는 도 3에 나타낸 바와 같이, 원호형상에 형성되고, 예컨대 레이저광의 발광·수광을 이용하여 웨이퍼(W)의 유무를 확인하는 매핑센서(52)가 설치되어 있다. 반송아암본체(46)와 매핑아암(50)의 각 기단부는 기초부(34)로부터 기립시킨 지주(54)에 따라 승강하는 승강대(56)에 연결되어 있다. 또한, 이 지주(54)는 선회가능하게 구성되어 있다. 따라서, 카세트용기에 수용되어 있는 웨이퍼(W)의 위치를 인식하기 위해서 하는 매핑조작은 도 3에 나타낸 바와 같이 연기된 상태의 매핑아암(50)을 상승 혹은 하강하면 좋다. 이에 따라, 웨이퍼의 위치가 확인된다. 여기서는 상기한 일련의 동작을 하는 구동장치의 기재를 생략하고 있다. 또한, 도 2에 나타내는 구조는 반송아암부(20)의 개념적인 움직임을 나타내는 것이며, 실제의 구조를 나타내는 것이 아니다.
여기서, 안내레일(28)에 따른 방향을 X방향, 승강대(56)의 상하방향의 움직임을 Z방향, 지주(54) 혹은 승강대(56)의 선회방향을 θ방향, 포크(48) 및 반송아암본체(46)를 포함하는 길이 방향을 R 방향으로 정의한다. 따라서, 반송아암부 (20)의 모든 위치상태가, 후술하도록 X, Z, R, θ의 좌표를 사용하여 나타낼 수 있다. 각축의 좌표는 미리 설정된 기준점으로부터의 변위량을 예컨대 엔코더 등에 의해서 인식할 수 있도록 되어 있는 것은 물론이다.
오리엔터(36)는 도 5 및 도 6에도 나타낸 바와 같이, 구동모터(58)에 의해서 회전되는 회전기준대(60)를 갖고 있다. 회전기준대(60)는 이 위에 웨이퍼(W)를 얹어 놓은 상태로 회전하도록 되어 있다. 회전기준대(60)의 바깥둘레에는, 웨이퍼 (W)의 둘레가장자리부를 검출하기 위한 광학적 센서(62)가 설치된다. 이 광학적 센서(62)는 회전기준대(60)의 반경방향에 따라 배치된 소정의 길이의 발광소자 (62A)와 수광소자(62B)로 이루어진다. 발광소자(62A)는 커튼형상의 레이저광을 웨이퍼 단부에 조사한다. 이 레이저광을 수광소자(62)에 의해서 검출함으로써, 웨이퍼(W)의 위치를 검출할 수 있도록 되어 있다. 그리고, 검출연산부(63)로서는 도 7에 나타낸 바와 같은 검출파형을 이용하여, 웨이퍼(W)의 편심량, 편심방향 및 웨이퍼(W)에 형성되어 있는 노치표시로서의 예컨대 노치(64)의 회전위치, 즉 방위를 인식할 수 있도록 되어 있다.
도 6 중에 있어서, O1은 회전기준대(60)의 중심(회전중심)이며, O2는 웨이퍼 (W)의 중심이다. 따라서, 편심량은 Δr 이다. 이 때, 도 7에 나타내는 검출파형은 Δr에 해당하는 진폭의 싸인곡선이 된다. 편심방향은 진폭이 최대가 되는 회전위치로부터 인식할 수 있다. 노치(64)에 대응하는 부분에는, 그 회전위치를 나타내는 신호(64A)가 나타나고 있다. 이에 따라, 미리 설정된 기준위치로부터 노치 (64)까지의 회전위치의 어긋남을 검출할 수가 있다. 한편, 노치표시는 12인치 웨이퍼로서는 노치(64)가 되지만, 8인치, 혹은 6인치 웨이퍼로서는 노치 또는 오리엔테이션 플랫이 된다. 한편, 편심량(Δr)이 제로이면, 검출파형은 신호(64A)의 부분을 제외하여, 직선형상이 된다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 오리엔터(36)의 입구측에는 수평방향으로 레벨검출레이저광(66)을 출력하는 레이저 소자(68)와 이 레이저광(66)을 받는 수광소자 (70)로 이루어지는 레벨검출기(72)가 설치된다. 이에 따라, 반송아암부 (20)의 매핑아암(50)과 포크(48) 사이의 거리를 측정하여 거리정보를 얻도록 되어 있다. 그리고, 클러스터툴장치(2)의 전체의 동작을 제어하는 제어부(72)(도 1참조)에, 각 축의 위치정보나 각 검출부 등으로 얻어진 정보가 모아진다. 제어부(72)는 이들 정보에 기인하여 웨이퍼(W)의 반송의 제어를 한다. 또한, 이 제어부(72)에는 후술하는 위치결정티칭 조작시에 필요한 위치좌표 등이 기억된다.
다음에, 이상과 같은 클러스터툴장치(2)를 사용하여 행하여지는 본 발명의 반송위치맞춤 방법에 관해서 설명한다.
여기서는 반송시스템(6)에 있어서의 반송아암부(20)의 위치맞춤에 관해서 주로 설명하지만, 처리 시스템(4)에 있어서의 이재아암부(16)도, 아울러 위치맞춤을 할 수 있다.
우선, 위치맞춤을 해야되는 곳은 주로 반송아암부(20)가 웨이퍼(W)의 주고 받음을 하는 장소이다. 동작중에 있어서는, 소정의 위치에 정확히 반송아암부(20)를 위치결정하며, 또한, 웨이퍼에 대하여 적정한 방향설정 상태로 주고 받음을 하도록 포크 및 아암본체의 자세도 특정시킬 필요가 있다.
반송아암부(20)는 2차원의 평면내에서의 이동방향으로서 X, R, θ의 3축이 있다. 이 때문에, 예컨대 어느 1개의 축을 고정하지 않으면, 특정한 좌표에 대한 반송아암부(20)의 자세가 일의적으로 정해지지 않는다. 따라서, 여기서는 X축을 고정한다. X축을 고정하더라도, R과 θ를 변화시킬 뿐이며, 아암의 스트록범위내의 임의의 점을 특정할 수가 있다. 여기서는, 안내레일(28)상의 점 PO(도 8참조)를 절대좌표의 기준점으로 하여, 여기를 기준으로서 각 티칭의 위치좌표를 특정한다. 점 PO에서는, 반송아암부(20)는 X축 상의 원점에 있으며, θ축은 안내레일 (28)의 방향을 향하고, Z축은 최하점에 있고, R 축은 단축한 기본자세로 한다.
또한, 웨이퍼의 반송위치 등을 티칭 기준위치로서 정한다. 예컨대 여기서는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 티칭 기준위치로서 P1∼P7 및 Q1∼Q6을 미리 규정한다. P1∼P4는 카세트용기(26A∼26D)에 대한 이재위치에 대응하고 있는 용기티칭 기준위치이다. P5, P6은 각각 로드로크실(38A,38B)에 대한 이재위치에 대응하고 있는 로드로크실 기준위치이다. P7은 오리엔터(36)에 대한 이재위치에 대응하고 있는 오리엔터티칭 기준위치이며, O1상에 있다.
이에 대하여, 처리 시스템(4)의 Q0은 이재아암부(16)의 절대좌표의 기준점에 대응하고 있다. Q1∼Q4는 각 처리챔버(12A∼12D)의 각 서셉터(14A∼14D)에 대한 이재위치에 대응하고 있는 서셉터티칭 기준위치이다. 또한, 서셉터티칭 기준위치인 Q5, Q6은 각각 로드로크실(38A,38B)에 대한 이재위치에 대응하고 있는 로드로크티칭 기준위치 P5, P6에 일치하고 있다.
위치결정의 순서를 개설적으로 서술한다. 처음에, 예컨대 점 PO에 있어서, 포크(48)의 중심과 웨이퍼(W)의 중심이 매우 정확하게 맞도록, 포크(48)상에 웨이퍼(W)를 얹어 놓는다. 그리고, 웨이퍼(W)를 오리엔터(36)까지 반송하여, 웨이퍼 (W)의 중심이 오리엔터티칭 기준위치에 오도록, 임시의 위치좌표를 사용한 제어를 하여 웨이퍼(W)를 회전기준대(60)에 얹어 놓는다. 회전기준대(60)를 회전함으로써, 이 때의 웨이퍼(W)의 편심량(Δr)(도 6참조)으로 편심방향이 요청된다. 그리고, 이 편심량(Δr)의 분만큼 편심방향과 반대 방향으로, 상기 임시의 위치좌표를 보정(R, θ에 관해서만)하여 적정위치좌표로 한다. 즉, 임시의 위치좌표가 부정확하면, 그 부정확분이 편심량(Δr)이 되어 나타나기 때문에, 이 편심량(Δr)에 해당하는 분만큼 임시의 위치좌표를 보정하면, 바르고 적정한 위치좌표로 할 수 있다.
다음에, 각 티칭 기준위치에 있어서, 각 티칭 기준위치와 웨이퍼(W)의 중심이 대단히 정확히 맞도록 웨이퍼(W)를 얹어 놓고, 또한, 필요에 따라서 노치(64)의 회전위치(방향)도 기준방향으로 정확하게 맞추어둔다. 그리고, 이 웨이퍼(W)를 각 티칭 기준위치로부터 임시의 위치좌표를 사용한 제어에 의해서 집어내어, 오리엔터 (36)까지 반송하여 회전기준대(60)에 얹어 놓는다. 회전기준대(60)를 회전함으로써, 이 때의 웨이퍼(W)의 편심량(Δr)과 편심방향과 노치(64)의 회전위치(방향)가 요청된다. 그리고, 이 편심량(Δr)의 분만큼 편심방향과 같은 방향으로, 상기 임시의 위치좌표를 보정(R, θ에 관해서만)하여 적정위치좌표로 한다. 또한, 노치 (64)의 회전위치(방향)를 제어부(72)에 기억한다. 이 방향은 통상 동작중에 있어서, 노치(64)의 위치결정 방향으로서 사용되게 된다. 한편, Z축에 관해서는, 웨이퍼(W)를 재치 등을 행할 때의 포크의 상하이동일 뿐이기 때문에, 카세트용기에 대한 경우를 제외하고, 승강량의 엄밀성은 요구되지 않는다. 또한, 카세트용기에 대한 조작은 매핑조작으로서 후술한다.
도 9에 나타내는 플로 차트를 사용하여, 위치결정의 기본적 동작에 관해서 설명한다. 그리고, 수평, 수직조정 등의 메카니컬적 조정은 미리 종료하고 있는 것으로 한다.
우선, 클러스터툴장치(2)의 설계치에 따라서, 각 티칭 기준위치(P1∼P7)에 대한 임시의 위치좌표를 입력한다(S1). 다음에, 각 티칭 기준위치에 반송아암부 (20)를 이동하여, 메뉴얼에 의하여, 임시의 대략적인 자리매김을 행하여 그 좌표를 기억시킴으로써 대략적인 티칭을 행한다(S2). 이 좌표가 전번의 임시의 위치좌표를 갱신하고, 새로운 임시의 위치좌표가 된다. 한편, 상기 설계치에 의한 임시의위치좌표가 어느 정도 정확하면, 이 스텝(S2)은 행하지 않더라도 좋다.
다음에, 포크(48)의 중심에 웨이퍼(W)를 메뉴얼에 의해 정확히 위치결정하여 설치한다(S3). 그리고, 이 웨이퍼(W)를 오리엔터(36)내로 반송하고, 여기서 웨이퍼(W)의 편심량과 편심방향을 구한다(S4). 다음에, 이 구한 편심량과 편심방향에 따라, 전번의 오리엔터티칭 기준위치 P7에 대한 임시의 위치좌표를 보정하여 적정위치좌표로 한다(S5).
다음에, 다른 티칭 기준위치에 있어서, 웨이퍼(W)를 메뉴얼에 의해 정확히 위치결정하여 설치한다(S6). 그리고, 이 웨이퍼(W)를 오리엔터(36)내로 반송하고, 여기서 웨이퍼(W)의 편심량과 편심방향과 노치의 회전위치를 구한다(S7). 다음에, 이 구한 편심량과 편심방향에 따라서, 전번의 임시의 위치좌표를 보정하여 적정위치좌표로 한다(S8). 다음에, 구한 노치의 회전위치를 제어부(72)에 노치의 위치결정 방향으로서 기억한다(S9). 그리고, 상기 스텝S6,7,8,9를 오리엔터 이외의 각 티칭위치좌표의 전부에 대하여 동일하게 행한다(S10). 이에 따라, 위치결정 조작을 완료할 수가 있다. 한편, 티칭위치좌표 Q1∼Q6에 있어서는 후술한다.
다음에, 상기한 위치결정 조작을 도 10 및 도 11을 참조하여 흔히 구체적으로 설명한다.
우선, X, R, θ, Z 등의 각 축의 제로점 조정을 한다(S11). 그리고, 대상이 되는 각 티칭 기준위치 P1∼P7, Q1∼Q6으로서, 클러스터툴장치(2)의 설계치에 기초를 둔 각 위치좌표를 제어부(72)에 입력하여, 이것을 임시의 위치좌표로 한다 (S12).
다음에, 각 티칭 기준위치까지 반송아암부(20)를 자동으로 이동시킨다. 여기서 메뉴얼제어모드에 전환하여, 아암부(46)나 포크(48)의 자세를 메뉴얼로 조정하여, 이 위치좌표를 제어부(72)에 기억시킨다. 이에 따라, 대략적인 위치맞춤에 의한 위치좌표를 새로운 임시의 위치좌표로 한다(S13).
한편, 티칭 기준위치 Q1∼Q6에 있어서는, 반송아암부(20)가 아니라 이재아암부(16)에 대하여 각 조작이 행하여진다. 또한, 상기 설계치에 근거하는 최초의 임시의 위치좌표의 정밀도가 높은 경우에는, 스텝S13은 실행하는 필요가 없다.
다음에, 안내레일(28)상의 소정의 위치, 예컨대 기준점 P0까지 반송아암부 (20)를 자동으로 이동시킨다. 그리고, 아암본체(46)나 포크(48) 등을 기본자세로 한 상태에서, 이 포크(48)의 위에 웨이퍼를 메뉴얼로 정확히 위치결정하여 유지시킨다(S14). 이 때, 웨이퍼(W)의 중심과 포크(48)의 중심을 대단히 정확하게 맞춘다. 이 경우, 필요하면 적당한 지그 등을 사용하도록 해도 좋다. 한편, 노치(64)의 방향은 임의로도 좋다.
다음에, X축을 이동하여, 웨이퍼(W)를 유지한 채로 반송아암부(20)를 오리엔터(36)까지 이동시킨다(S15). 그리고, R, θ, Z축을 구동하여, 웨이퍼(W)를 오리엔터(36)의 회전기준대(60)상에 이재한다(S16).
다음에, 웨이퍼(W)를 회전함으로써, 도 5 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 광학적 센서(62) 및 검출연산부(64)를 사용하여 웨이퍼(W)의 편심량(Δr)과 편심방향을 구한다(S17). 이 경우, 오리엔터티칭 기준위치 P7에 있어서의 임시 위치좌표가 매우 정확하다면, 편심량(Δr)은 제로가 된다. 그러나, 임시의 위치좌표가 부정확한경우에는, 그 부정확량이 편심량(Δr)이 되어 나타나게 된다.
다음에, 얻어진 편심량(Δr)과 편심방향에 따라서, 오리엔터티칭 기준위치 P7에 있어서의 임시의 위치좌표를 보정하고, 적정위치좌표로 한다(S18). 이 경우, X좌표에 있어서는 고정으로 하여, R 및 θ좌표만으로 보정을 한다. 즉, X좌표에 관해서는, 임시의 위치좌표시의 X좌표가 적정위치좌표가 된다. 이 점은 이후 설명하는 다른 위치결정의 조작이어도 동일하다.
이 조작에 의해, 오리엔터티칭 기준위치 P7에 대한 위치결정이 완료한다.
다음에, 용기티칭 기준위치의 위치결정 조작으로 이행한다.
우선, 예컨대 카세트용기(26A) 내의 소정의 위치인 용기티칭 기준위치 P1에, 웨이퍼(W)를 메뉴얼로 대단히 정확히 위치맞춤하여 수용한다(S19). 이 경우, 카세트용기(26A)의 25단의 슬롯내의 예컨대 최하단의 제1슬롯을 소정의 위치로 규정하고, 여기에 웨이퍼(W)를 대단히 정확히 위치맞춤하여 수용한다. 도 4는 최하단의 제1슬롯에 웨이퍼(W)를 수용한 상태를 나타낸다. 이 때, 웨이퍼(W)의 중심과, 슬롯의 중심을 매우 정확하게 위치맞춤해 놓는다. 이 경우에도, 필요하면 지그를 사용하도록 하여도 좋다. 한편, 노치(64)의 방향은 임의로 하여도 좋다.
다음에, 제어부(72)의 제어하에서, 상기 용기티칭 기준위치 P1에 대하여 임시의 위치좌표에 따라서 반송아암부(20)를 구동하고, 웨이퍼(W)를 가지러 간다. 이 때, 후술하는 매핑조작을 하여, 웨이퍼(W)와 포크(48)가 간섭 내지 충돌하지 않도록 한다(S20).
다음에, 받아들인 웨이퍼(W)를 반송아암부(20)에 유지한 채 오리엔터(36)까지 반송한다(S21). 그리고, 이 웨이퍼(W)를 오리엔터(36)의 회전재치대(60)상에 얹어 놓아, 전술한 스텝S17과 같이 웨이퍼(W)의 편심량과 편심방향을 구한다(S22). 그리고, 여기서 얻어진 편심량과 편심방향에 따라서, 용기티칭 기준위치에 대한 임시의 위치좌표를 보정하여(R, θ좌표만), 적정한 위치좌표로 한다(S23). 한편, 여기서도 X좌표에 관해서는 임시의 위치좌표의 X좌표를 그대로 적정한 위치좌표의 X좌표로서 사용한다.
다음에, 다른 용기티칭 기준위치 P2, P3, P4에 관해서도 상술한 스텝S19∼23을 행한다(S24). 그리고, 각 카세트용기(26A∼26D)에서의 티칭 기준위치 P1∼P4에 대한 위치결정이 종료한다.
다음에, 다른 티칭 기준위치가 존재하면(S26의 YES), 그 대상이 되는 티칭 기준위치에 있어서 웨이퍼(W)를 메뉴얼로 대단히 정확히 위치맞춤하여 얹어 놓고 (S25), 그리고 스텝S21, 22, 23을 마찬가지로 실행함으로써, 적정위치좌표를 구한다. 이 경우, 각 로드로크실(38A,38B)의 피반송체재치대(40A,40B)에 웨이퍼(W)를 매우 정확히 위치맞춤하여 얹어 놓고, 이것을 반송아암부(20)에 의해 수취에 행하여 오리엔터(36)로써 마찬가지로 편심량(Δr)과 편심방향을 구함으로써 적정위치좌표를 얻을 수 있다.
로드로크실(38A,38B)에 대한 위치맞춤이 종료하였으면, 다음에, 티칭 기준위치 Q1∼Q6의 위치맞춤을 한다. 이 경우, 우선, 로드로크티칭 기준위치Q5, Q6에 관해서 위치맞춤을 행하고, 다음에, 임의의 순으로 서셉터티칭 기준위치 Q1∼Q4에 관해서 위치맞춤을 행한다.
우선, 로드로크티칭 기준위치 Q5에 있어서는, 예컨대 이 이재아암부(16)의 기준점 Q0에 있어서 이 아암에 웨이퍼(W)를 매우 정확히 위치결정하여 얹어 놓는다. 이 경우, 전술한 바와 같이 아암의 중심과 웨이퍼(W)의 중심을 메뉴얼에 의해 정확히 위치맞춤해 놓는다. 한편, 이 경우도, 노치(64)의 방향은 임의로 하여도 좋다. 그리고, 이 웨이퍼(W)를 로드로크실(38A)의 피반송체재치대(40A) 상에 이재한다. 다음에 이 웨이퍼(W)를 이미 로드로크실(40A)에 대하여 정확히 위치맞춤된 반송아암부(20)에 의해 가지러 가서, 이것을 오리엔터(36)로 반송한다. 그리고, 여기서 전술한 바와 같이 웨이퍼(W)의 편심량 및 편심방향을 구함으로써, 로드로크티칭 기준위치 Q5에 대한 적정위치좌표를 얻을 수 있다. 로드로크티칭 기준위치 Q6에 관해서도 같다.
이렇게 하여, 이재아암부(16)의 로드로크티칭 기준위치 Q5, Q6에 관해서의 위치결정을 완료하였으면, 다음에, 처리챔버 예컨대 12A의 서셉터(14A) 상에 웨이퍼(W)를 메뉴얼에 의해 매우 정확히 위치맞춤하여 얹어 놓는다. 이 경우에도 웨이퍼(W)의 중심과 서셉터(14A)의 중심을 정확히 위치맞춤하여, 또한 노치(64)의 방향을 기준방향과 정확히 위치맞춤한다. 그리고, 이 웨이퍼(W)를 이재아암부(16), 로드로크실(38A) 및 반송아암부(20)의 순서로 주고 받음, 이것을 오리엔터(36)로 이송하여 전술한 바와 같이 웨이퍼(W)의 편심량 및 편심방향을 구하여, 점 Q1에 대한 적정위치좌표를 얻을 수 있다. 또한, 노치(64)의 회전위치도 동시에 구함으로써, 오리엔터(36)에 있어서의 노치(64)의 위치맞춤 방향을 얻을 수 있다. 단지, 노치(64)의 회전위치는 로드로크실(38A) 및 (38B)의 어느 쪽을 경유하는지에 따라변하기 때문에, 본 조작은 각 로드로크실의 각각에 관해서 행해야 한다.
다른 처리챔버(12B∼12D)에 관해서도, 처리챔버(12A)의 경우와 같이 조작함에 의해, 각 티칭 기준위치 Q2∼Q4에 대한 적정위치좌표와 노치(64)의 위치맞춤 방향을 얻을 수 있다.
다음에, 도 12에 나타내는 플로 차트에 따라서, 도 10중의 스텝S20에서 행하는 매핑조작(Z좌표조정)에 관해서 설명한다.
웨이퍼(W)와 포크(48)가 충돌하지 않도록 하기 위해서는, 웨이퍼(W)의 높이 방향의 위치와, 매핑아암(50)과 포크(48) 사이의 거리 L1의 정보가 필요하다(도 2참조). 카세트 용기의 슬롯피치 등은 이미 제어부(72)(도 1참조)에 기억되어 있는 것은 물론이다.
우선, 최초의 카세트용기에 대한 매핑조작의 경우에는(S101의 YES), 반송아암부(20)를 카세트용기에 대응하는 위치까지 이동하기 전에, 오리엔터(36)로 이동시킨다. 그리고, 매핑아암(50)과 포크(48)를 포함하는 반송아암본체(46)를 일체적으로 Z축 방향(위쪽 혹은 아래 쪽)으로 이동시킨다(S102). 이 때, 오리엔터(36)의 입구에 설치해둔 레벨검출발광기(68)(도 1참조)가, 레벨검출레이저광(66)을 수평방향으로 수광기(70)를 향하여 방사시킨다. 이 레이저광(66)은 포크(48)와 매핑아암 (50)과 따라서 일시적으로 차단되는 점에서, 이들 사이의 거리 L1을 거리정보로서 얻을 수 있다(S103).
다음에, 대상으로 되어있는 용기티칭 기준위치, 이 경우에는 위치 P1로, 반송아암부(20)를 이동시킨다(S104). 그리고, 웨이퍼(W)와 간섭하지 않는 위치에서,매핑아암(50)과 반송아암본체(46)를 일체적으로 Z축 방향으로 이동(상승 혹은 강하)하고, 여기서 매핑센서(52)(도 3 참조)에 의해 맵정보를 얻는다(S105). 즉, 웨이퍼위치를 인식할 수 있다. 얻어진 맵정보와 상기 거리정보에 따라, 포크(48)와 웨이퍼(W) 위치관계를 알 수 있다. 이에 따라서, 이 티칭 기준위치 P1에 있어서의 임시의 위치좌표의 Z좌표만을 보정하여 적정위치좌표로 한다(S106).
또한, 다른 카세트용기(26B∼26D)의 용기티칭 기준위치 P2∼P4의 위치결정시에는 이미 매핑아암(50)과 포크(48) 사이의 거리 L1을 나타내는 거리정보를 얻었기 때문에, 이 계측을 하는 스텝S102, 103을 행하지 않는다. 이 경우, 스텝S104가 실행되어 맵정보를 가지러 가고, Z좌표에 관해서 각각의 적정위치좌표를 얻는다. 이러한 매핑조작은 용기티칭 기준위치뿐만 아니라, 로드로크 등의 다른 티칭 기준위치에 대하여도 적용할 수가 있다.
이들에 의해, X, R, θ, Z의 모든 좌표가 적정한 것으로 갱신된 것이 된다. 더구나, 각 티칭 기준위치에 있어서, 메뉴얼로 반송아암부(20)의 자세 등을 고정밀도로 위치맞춤한 종래 방법과 다르고, 단지 웨이퍼(W)를 정확히 위치맞춤하기만 하면 적정위치좌표를 얻을 수 있기 때문에, 신속히, 또한 정확히 반송아암부(20)의 위치맞춤을 할 수 있다.
다음에, 통상동작중에 있어, 포크나 반송아암본체 등을, 어떠한 이유에 의해, 바꾸거나, 혹은 보수를 가하기도 하여 개수를 한 경우에 관해서, 도 13에 나타내는 플로 차트를 참조하여 설명한다.
이 경우에는, 포크(48)나 반송아암본체(46)의 개수에 의해, X축을 제외하는R, θ, Z의 각 축이 어긋날 우려가 있으므로, 이 각 좌표를 두 번째 조정해야 한다.
이 경우에는, 우선, 안내레일(28)상의 소정의 위치, 예컨대 기준점 P0까지 반송아암부(20)를 자동으로 이동시킨다. 그리고, 아암본체(46)나 포크(48) 등을 기본자세로 한 상태로 이 포크(48)의 위에 웨이퍼를 메뉴얼로 정확히 위치결정하여 유지시킨다(S201). 이 점은 도 10중의 S14와 동일하다. 이 때, 웨이퍼(W)의 중심화포크(48)의 중심을 매우 정확에 맞춘다. 이 경우, 필요하면 적당한 지그등을 사용하도록 하여도 좋다.
다음에, X축을 구동하여, 웨이퍼(W)를 유지한 채로 반송아암부(20)를 오리엔터(36)까지 이동시킨다(S202). 이 점도 도 10중의 S15와 동일하다. 그리고, R, θ, Z축을 구동하고, 웨이퍼(W)를 오리엔터(36)의 회전기준대(60)상에 이재한다 (S203). 이 점도 도 10중의 S16과 동일하다.
다음에, 웨이퍼(W)를 회전함으로써, 도 5 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 광학적 센서(62) 및 검출연산부(64)를 사용하여 웨이퍼(W)의 편심량(Δr)과 편심방향을 구한다(S204). 이 점도 도 10중의 S17과 동일하다. 이 경우, 개수한 포크(48)나 반송아암본체(46)에 위치적인 실수가 전혀 생기지 않으면, 편심량(Δr)은 제로가 된다. 그러나, 위치적인 실수가 생겼을 경우에는, 그 실수한 양이 편심량(Δr)이 되어 나타나게 된다.
다음에, 얻어진 편심량(Δr)과 편심방향에 따라, 오리엔터티칭 기준위치 P7에 있어서의 적정위치좌표 뿐만 아니라, 다른 모든 티칭 기준위치 P1∼P6에 있어서의 적정위치좌표를 보정하고, 새로운 적정위치좌표로 한다(S205). 이 경우, X좌표에 있어서는 고정으로 하고, R 및 θ좌표만으로 보정을 한다. X좌표의 변동에 관해서는 R 및 θ좌표의 보정으로 흡수되기 때문이다.
다음에, 도 12에 있어서 행한 바와 같은 매핑조작, 즉 Z축 조정을 행한다 (S206). 이 경우, 매핑아암(50)과 포크(48) 사이의 거리 L1을 나타내는 거리정보를 구하는 스텝(도 12중의 S102, 103)만을 행하면 좋다. 그 이유는 각 카세트용기에 있어서의 맵정보는 이미 얻어졌기 때문이다. 그리고, 여기서 얻어진 거리정보에 따라서, 모든 티칭 기준위치의 적정위치좌표의 Z좌표를 보정하여, 새로운 적정위치좌표를 구하도록 한다.
이와 같이, 포크(48)나 반송아암본체(46)를 개수한 경우에는, 모든 티칭 기준위치에서 다시 위치맞춤을 할 필요가 없고, 일부의 티칭 기준위치에서 행한 위치맞춤의 결과를 모든 티칭 기준위치에 있어서 반영시킬 수 있다. 따라서, 매우 신속하게 회복의 위치맞춤을 할 수 있다.
한편, 여기서는 포크(48)나 반송아암본체(46)를 개수한 경우의 위치맞춤에 관해서 설명하였지만, 픽(제 2 유지부)나 이재아암본체를 개수한 경우에도, 같은 위치맞춤을 할 수 있다.
또한, 위치맞춤 완료후의 통상 동작중에 있어서는, 도 14에 나타내는 플로 차트와 같이, 포크(48)의 위치어긋남이 생기지 않을까 체크한다. 이 경우, 전술한 바와 같은 위치맞춤 완료후, 반송아암부(20)를 오리엔터(36)에 이동하여, 오리엔터 (36)의 광학적 센서(62)(도 5 및 도 6참조)를 사용하여 반송아암부(20)의 특정위치를 검출하고, 그 좌표를 기준특정위치좌표로서 제어부(72)에 기억해 놓는다(S301).
도 15에 나타낸 바와 같이, 반송아암부(20)의 특정위치(74)로서는, 포크(48)의 일부에 설치한 폭이 좁은 슬릿형상의 광투과창(76)을 사용하더라도 좋다. 혹은, 도 16 및 도 17에 나타낸 바와 같이, 2다리로 쪼개어진 포크(48) 중 어느 한쪽의 선단의 에지(78)로서 규정하더라도 좋다.
도 15에 나타내는 경우에는, 예컨대 슬릿형상의 광투과창(76)을 광학적 센서 (62)에 의해 검출하면서 R축 방향(도 15오른쪽방향)으로 이동하여, 광투과창(76)이 센서(62)로부터 벗겨진 위치를 기준특정위치좌표라고 하면 된다.
또한, 도 16 및 도 17에 나타내는 경우에는, 우선, 도 16에 나타낸 바와 같이 X, Z, R 축을 고정한 상태로 θ축을 구동하여 포크(48)의 측면의 끝단부를 광학적 센서(62)로 검출하고, 다음에, 도 17에 나타낸 바와 같이 R 축을 구동하여 포크(48)의 에지(78)를 광학적 센서(62)에 의해 검출하도록 하면 된다. 이에 따라, 기준특정위치좌표를 규정할 수가 있다. 한편, 특정위치의 장소에 의해서는, 웨이퍼(W)를 유지한 채로도 검출할 수가 있다.
도 14에 나타내는 플로우로 되돌아간다. 다음에, 통상의 동작을 시작하고, 반송아암부(20)를 사용하여 부품웨이퍼의 반송을 하여 웨이퍼(W)의 처리를 계속적으로 행한다(S302). 장기간의 사용에 의해, 반송아암부(20)자체에 여러 가지의 기계적 열화 등이 생길 가능성이 있다. 그래서, 어떤 일정한 기간만 통상의 운용을 하였으면(S303의 YES), 전번의 S301로써 실시한 바와 같이, 반송아암부(20)를 오리엔터(36)에 이동하여, 여기서 오리엔터(36)의 광학적 센서(62)를 사용하여 두 번째, 포크(48)의 특정위치의 좌표를 구하여, 이것을 특정위치좌표로 한다(S304).
다음에, S301에서 구한 기준특정위치좌표와 상기 S304에서 구한 특정위치좌표를 비교하여, 그 오차를 구한다(S305). 그리고, 이 오차가 미리 정해진 소정의 값보다도 작은 경우에는(S306의 NO), 정상이라고 인식하여 다시, S302로 되돌아가 통상 동작을 속행한다. 이에 대하여, 상기 오차가 소정의 값보다도 큰 경우에는 (S306의 YES), 포크(48)의 자세가 기계적인 반동 등에 의해 처음 자세와는 크게 변화하고 있다고 판단할 수 있다. 이 경우, 이대로 계속하여 동작을 하면, 다른 부재와 포크(48)가 충돌하는 등으로 고장의 원인이 되는 경우가 생길 수 있다. 따라서, 이 경우에는, 동작을 즉시 정지하고 경고램프 등을 점등하는 등의 경고처리를 실행하여, 그 취지를 조작자에게 알린다(S307). 이에 따라, 포크(48)가 다른 부재와 충돌하는 등의 사고가 발생하는 것을 미연에 방지할 수가 있다.
한편, 이상의 각 실시예로서는 반송아암부(20)에는 1개의 포크부착 반송아암본체를 설치한 경우를 예를 들어 설명하였지만, 이에 한정되는 것이 아니라, 도 18에 나타낸 바와 같이 포크 붙은 반송아암본체를 2개 설치하도록 한 구조의 반송아암부에도 본 발명방법을 적용할 수가 있다. 이러한 구조의 반송아암부에서는, 2개의 포크는 일체적으로 Z축 방향 및 θ방향으로는 동작하지만, R 방향으로는 개별적으로 제어가능하다. 이와 같은 반송아암부의 위치맞춤은 상술한 바와 같이 위치결정 조작을 각 포크에 대하여 행하도록 하면 좋다.
또한, 상기 실시예에서는, 이재아암부(16)에는 1개의 픽부착 이재아암본체를 설치한 경우를 예를 들어 설명하였지만, 이에 한정되는 것이 아니라 도 18에 나타낸 바와 같이 픽부착의 이재아암본체를 2개 설치하도록 한 구조의 이재아암부에도 본 발명방법을 적용할 수가 있다.
또한, 여기서는 피반송체로서 반도체웨이퍼를 예를 들어 설명하였지만, 이에 한정되지 않고, LCD 등을 처리하는 경우의 LCD의 반송계에 관해서도 적용할 수 있는 것은 물론이다.
또한, 여기서는 반송시스템의 구조는 단지 일례를 나타낸 것에 지나가지 않고, 반송아암부를 사용하여 웨이퍼 등을 반송하는 바와 같은 시스템이면, 어떠한 구조의 반송시스템에도 본 발명방법을 적용할 수가 있다.
예컨대, 도 19는 반송시스템(102)의 다른 구성예를 나타내고 있다. 이 장치에서는, 이재실이 설치되어 있지 않고, 로드로크실(138A,138B)에 직접처리챔버 (112A,112B)가 연결되어 있다. 이 경우, 로드로크실(138A,138B)은 처리챔버(112A ,112B)와 대로 되어, 2쌍이 설치되어 있고, 각 로드로크실(138A,138B)의 각각 피반송체 재치대(114A,114B)와, 이재아암부(116A,116B )가 격납되어 있다. 또한, 이재아암부(116A,116B)는, 선회기능을 갖고 있지 않다. 그 밖의 구성은 도 1의 클러스터툴장치와 대략 같다.
도 19에 나타내는 양태의 반송시스템(102)이더라도 본 발명의 목적을 달성할 수가 있다.
또한, 적정위치좌표의 확인공정을 부가할 수도 있다.
즉, 유지부(48)에 정확히 위치맞춤하여 유지시킨 피반송체(W)를 오리엔터티칭 기준위치 O1의 적정위치좌표에 근거하는 제어에 의해서 회전기준대(60)까지 반송하여 이재하는 공정과, 회전기준대(60)에 재치된 피반송체(W)의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부(62)에 의해서 검출하는 공정과, 검출된 편심량과 편심방향과 따라서 오리엔터티칭 기준위치 O1의 적정위치좌표를 확인하는 공정을 더욱 구비하는 것이 바람직하다.
마찬가지로, 각 티칭 기준위치 P1∼P6, Q1∼Q4에 정확히 위치맞춤한 피반송체(W)를 각 티칭 기준위치 P1∼P6, Q1∼Q4의 적정위치좌표에 근거하는 제어에 의해서 회전기준대(60)까지 반송하여 이재하는 공정과, 회전기준대(60)에 재치된 피반송체(W)의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부(62)에 의해서 검출하는 공정과, 검출된 편심량과 편심방향과 따라서 각 티칭 기준위치 P1∼P6, Q1∼Q4에 대한 적정위치좌표를 확인하는 공정을 더욱 구비하는 것이 바람직하다.
후자의 구체예를 도 20을 사용하여 설명한다. 우선, 설계치에 따라서 각 티칭 기준위치에 대한 임시의 위치좌표를 입력한다(S401). 다음에, 각 티칭 기준위치에 대하여 대략적인 티칭을 행한다(S402). 그리고, 메뉴얼에 의해 포크중심으로 웨이퍼를 정확히 위치결정하여 설치한다(S403).
이어서, 웨이퍼를 오리엔터에 반송하여, 편심량 및 편심방향을 구한다 (S404). 다음에, 오리엔터티칭 기준위치에 대한 임시의 위치좌표를 보정하고, 적정위치좌표를 얻는다(S405). 그리고, 다른 티칭 기준위치에 있어서, 웨이퍼를 매뉴얼에 의하여 정확히 위치결정하여 설치한다(S406).
이어서, 오리엔터내로 웨이퍼를 반송하고, 편심량과 편심방향과 노치의 회전위치를 구한다(S407). 편심량이 허용치 이하가 아니면, 구한 편심량과 편심방향에따라서 임시의 위치좌표를 보정한다(S408). 편심량이 허용치 이하이면, 그 때의 임시의 위치좌표를 적정위치좌표로 행한다(S410).
S408 후는 같은 티칭 기준위치에 있어서, 다시 웨이퍼를 메뉴얼로 정확히 위치결정하여 설치한다(S409). 그 후, S407에 되돌아간다.
S410 후는 구한 노치의 회전위치를 제어부에 기억하고(S411), 상기 스텝S406∼S411을 오리엔터 이외의 각 티칭위치좌표에 관해서 행한다(S412).
도 20에 나타낸 바와 같은 루프계를 채용하여 적정위치좌표를 확인함으로써, 적정위치좌표를 원하는 정밀도로 얻을 수 있다.
그 외, 반송시스템은 각 공정의 상황, 타이밍 등의 정보를 조작자에게 표시하는 표시장치가 설치되는 것이 바람직하다.
이 티칭은 예컨대 반송아암부와 카세트용기와의 위치관계, 웨이퍼를 집기 위한 아암과 카세트의 높이 방향의 위치관계, 로드로크실의 재치대와 아암과의 위치관계 등, 웨이퍼의 주고 받음을 행하기 위한 거의 모든 위치관계에 관해서 행하여지며, 그 위치좌표가 기억된다. 한편, 모든 구동계에는 그 구동위치를 특정하기 위한 엔코더 등이 편성되어 있다.
구체적으로는, 우선, 반송아암부의 이동경로가 있는 점을 절대기준으로서, 장치전체의 티칭해야 할 장소의 위치좌표를 장치의 설계치로부터 구한다. 이 위치좌표는 임시의 위치좌표로서 제어부에 미리 입력되고 기억된다. 이 경우, 반송아암부가 다른 부재와 간섭하지 않도록, 소정량의 마진을 예상하여 각 임시의 위치좌표가 입력된다.
다음에, 개개의 임시의 위치좌표에 따라서 반송아암부가 구동된다. 반송아암부가 티칭 기준위치의 근방까지 이동하여 왔으면, 제어모드를 수동으로 전환한다. 그리고, 예컨대 반송아암부의 포크와 웨이퍼가 접촉한 상태에서, 포크중심위치와 웨이퍼의 중심위치가 일치하도록, 조작자는 가로방향에서 눈으로 보면서 수동의 조작을 한다. 양 중심이 일치한 시점에서, 그 좌표를 정확한 적정한 위치좌표로서 제어부에 기억시킨다. 이러한 순서에 따라, 티칭이 행하여지고 있었다. 이러한 티칭조작은 각 티칭 기준위치의 각각에 있어서, 수동과 눈으로 봄에 의해 행하여지고 있었다.
상술한 바와 같은 종래의 위치맞춤 방법은 눈으로 보면서, 반송아암부를 선회하거나, 굴신시키기도 하여 미묘한 위치맞춤을 하는 것이다. 따라서, 대단히 장시간을 요하게 된다는 문제가 있었다.
또한, 티칭조작을 하는 조작자의 개인차에 의해서, 위치맞춤 정밀도에 불균형이 생겨 버린다는 문제도 있었다. 또한, 어떠한 고장 등에 의하여, 포크나 아암 등에 수리를 가하거나, 이것을 교환하기도 하여 개수를 한 경우에는, 상기한 일련의 티칭에 의한 위치맞춤 조작을 다시 되풀이하여 행하여야 하므로, 대단히 시간적인 손실이 발생한다고 하는 문제가 있었다.
본 발명은 이상과 같은 문제점에 착안하여, 이것을 효율적으로 해결하도록 창안된 것이다. 본 발명의 목적은 티칭 기준위치에 있어서의 위치맞춤을 고정밀도로 또한 효율적으로 할 수 있는 반송시스템의 위치맞춤 방법을 제공하는 것에 있다.
본 발명은 굴신, 선회 및 승강이 자유롭게 구성된 반송아암본체와, 반송아암본체의 선단에 설치되어 피반송체를 유지하는 유지부를 갖는 반송아암부와, 반송아암부를 이동시키는 이동기구와, 복수의 피반송체를 다단으로 수용할 수 있는 카세트용기를 얹어 놓기 위해서, 상기 유지부의 이동영역내에 배치된 적어도 1개 이상의 용기재치대와, 상기 유지부의 이동영역내에 배치된 회전기준대와 회전기준대에 재치되는 피반송체의 편심량과 편심방향을 검출하는 위치자세검출부를 갖는 방향위치결정장치와, 전체의 동작을 제어하는 제어부를 구비하며, 기준위치에 대하여 상기 유지부의 위치맞춤을 하는 반송시스템의 반송위치맞춤방법에 있어서, 상기 제어부에, 회전기준대상의 소정위치인 오리엔터티칭 기준위치 및 용기재치대에 재치되는 상기 카세트용기내의 소정위치인 용기티칭 기준위치에 대한 각각의 임시의 위치좌표를 미리 입력하는 공정과, 상기 유지부에 정확히 위치맞춤하여 유지시킨 피반송체를 오리엔터티칭 기준위치의 임시의 위치좌표에 근거하는 제어에 의해서 상기 회전기준대까지 반송하여 이재하는 공정과, 상기 회전기준대에 재치된 상기 피반송체의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부에 의해서 검출하는 공정과, 이 검출된 편심량과 편심방향에 따라서 상기 오리엔터티칭 기준위치에 대한 상기 임시의 위치좌표를 보정하여 적정위치좌표로 하는 공정과, 상기 용기티칭 기준위치에 정확히 위치맞춤한 피반송체를 용기티칭 기준위치의 임시의 위치좌표에 근거하는 제어에 의해서 상기 회전기준대까지 반송하여 이재하는 공정과, 상기 회전기준대에 재치된 상기 피반송체의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부에 의해서 검출하는 공정과, 이 검출된 편심량과 편심방향과 따라서 상기 용기티칭 기준위치에 대한 상기 임시의 위치좌표를 보정하여 적정위치좌표로 하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 반송시스템의 위치맞춤방법이다.
본 발명에 의하면, 반송아암부의 유지부에 메뉴얼에 의해 정확히 위치맞춤하여 얹어 놓은 피반송체를 방향위치결정장치에 반송하거나, 혹은, 각 티칭 기준위치로써 메뉴얼에 의해 정확히 위치맞춤하여 설치한 피반송체를 반송아암부가 수취하러 가서 방향위치결정장치로 반송하여, 그 편심량과 편심방향을 구함으로써, 정말 정확한 적정위치좌표를 얻을 수 있다.
실제의 동작시에는, 제어부는 이 적정위치좌표에 따라서 반송아암부를 동작시키게 된다. 이와 같이, 종래 행하여지고 있는 시간이 걸리는 반송아암부의 위치맞춤을 하지 않고도, 신속하고, 또한 정밀도가 높은 위치맞춤을 할 수 있다. 또한, 위치맞춤 조작에 개인차가 들어가는 여지도 없고, 조작자의 능력에 관계없이 항상 높은 정밀도로 위치맞춤을 할 수 있다.
이동기구는 반송아암부를 미끄럼 운동시키는 안내레일을 가지며, 상기 임시의 위치좌표는 상기 안내레일에 따른 X좌표와, 상기 반송아암본체의 굴신량인 R좌표와, 상기 반송아암본체의 선회량인 θ좌표과, 상기 반송아암본체의 승강량인 Z좌표를 포함하는 것이 바람직하다.
바람직하게는, 상기 유지부의 이동영역내에는, 내부에 상기 피반송체를 얹어 놓은 피반송체 재치대를 갖고 진공흡인이 가능하도록 이루어진 로드로크실이 배치되어 있고, 상기 제어부에, 피반송체 재치대상의 소정위치인 로드로크티칭 기준위치에 대한 임시의 위치좌표를 미리 입력하는 공정과, 상기 로드로크티칭 기준위치에 정확히 위치맞춤한 피반송체를 로드로크티칭 기준위치의 임시 위치좌표에 근거하는 제어에 의해서 상기 회전기준대까지 반송하여 이재하는 공정과, 상기 회전기준대에 재치된 상기 피반송체의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부에 의해서 검출하는 공정과, 이 검출된 편심량과 편심방향에 따라서 상기 로드로크티칭 기준위치에 대한 상기 임시의 위치좌표를 보정하여 적정위치좌표로 하는 공정을 더욱 구비한 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 로드로크실의 로드로크티칭 기준위치에 대한 정밀도가 높은 위치맞춤을 할 수 있다.
바람직하게는, 상기 로드로크실에는, 이재실이 연결되고, 이재실에는 내부에 상기 피반송체를 얹어 놓은 서셉터를 갖는 처리챔버가 연결되어 있고, 상기 이재실에는 내부에 굴신 및 선회가 자유롭게 구성된 이재아암본체와, 이재아암본체의 선단에 설치되고 피반송체를 유지하는 제2유지부를 갖는 이재아암부가 설치되며, 피반송체는 둘레가장자리에 노치표시(nick)가 형성되어 있고, 상기 위치자세검출부는 피반송체의 노치표시의 위치를 검출할 수도 있으며, 상기 제어부에 서셉터상의 소정위치인 서셉터티칭 기준위치에 대한 임시의 위치좌표를 미리 입력하는 공정과, 상기 서셉터티칭 기준위치에 정확히 위치맞춤하여 얹어 놓은 피반송체를 서셉터티칭 기준위치의 임시 위치좌표에 근거하는 제어에 의해서 상기 이재아암부에 의해 상기 로드로크실까지 반송하여 이재하는 공정과, 상기 로드로크실에 재치된 상기 피반송체를 상기 반송아암부에 의해 상기 회전기준대까지 반송하여 이재하는 공정과, 상기 회전기준대에 재치된 상기 피반송체의 편심량과 편심방향과 노치표시의 위치를 위치자세검출부에 의해서 검출하는 공정과, 이 검출된 편심량과 편심방향에 따라서 상기 이재아암부의 서셉터티칭 기준위치에 대한 상기 임시의 위치좌표를 보정하여 적정위치좌표로 하는 공정과, 검출된 상기 노치표시의 위치를 상기 방향위치결정장치의 위치결정 방향으로서 상기 제어부에 기억시키는 공정을 더욱 구비한 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 처리챔버의 서셉터티칭 기준위치에 대한 이재아암부의 정밀도가 높은 위치맞춤도 할 수 있다.
이 경우, 바람직하게는, 상기 로드로크실은 2개 설치되어 있고, 각 로드로크실의 각각 상기 피반송체 재치대가 격납되어 있다.
이에 따라, 2개의 로드로크실의 어느 쪽을 지나 반송하더라도 좋은 반송시스템의 정밀도가 높은 위치맞춤을 할 수 있다.
혹은, 이재실이 설치되지 않고, 로드로크실에 처리챔버가 연결되는 양태이어도 좋다.
이 경우에는, 상기 로드로크실은 상기 처리챔버와 쌍으로 설치되어 있고, 각 로드로크실의 각각 상기 피반송체 재치대가 격납되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 바람직하게는, 상기 반송아암부는 상기 반송아암본체와 평행하게, 상기 카세트용기내의 상기 피반송체의 맵정보를 취하는 매핑아암을 갖고 있고, 상기 유지부의 이동영역내에, 수평방향으로 레벨검출광을 출사하는 발광장치가 설치되어 있고, 발광장치부터의 레벨검출광을 수광하도록 수광장치가 배치되어 있고, 발광장치로부터 수평방향으로 출사된 레벨검출광을 기준으로 하여, 발광장치의 근방에서 상기 반송아암부를 상대적으로 높이방향으로 이동시켜, 상기 반송아암본체와 상기 매핑아암 사이의 거리정보를 구하는 공정과, 카세트용기마다 맵정보를 취하는 공정과, 상기 거리정보와 상기 맵정보에 따라서, Z좌표에 관해서 상기 임시의 위치좌표를 보정하여 적정위치좌표로 하는 행정을 더욱 구비한 것을 특징으로 한다.
이에 따라, Z좌표에 관해서도 보정을 가한 적정위치좌표를 얻을 수 있다.
또한, 바람직하게는, 각 임시의 위치좌표의 입력공정의 직후에, 각 티칭 기준위치에 대하여 대략적으로 위치맞춤을 행하는 공정과, 상기 대략적인 위치맞춤에의해서 얻어진 위치좌표를 새로운 임시의 위치좌표로서 치환하는 공정을 더욱 구비한 것을 특징으로 한다.
이것에 의하면, 설계치에 따라서 설정된 임시의 위치좌표를, 대략적인 위치맞춤으로 얻을 수 있는 비교적 정확한 위치좌표로 대체할 수 있다. 그리고, 이 대략적인 위치맞춤 조작은 설계치에 따라서 설정된 임시의 위치좌표의 정밀도가 어느 정도 높은 경우에는, 할 필요가 없다.
더욱 바람직하게는, 상기 유지부 또는 상기 반송아암본체를 보수 또는 교환할 때에, 상기 유지부에 정확히 위치맞춤하여 유지시킨 피반송체를 상기 회전기준대까지 반송하여 이재하는 공정과, 상기 회전기준대에 재치된 상기 피반송체의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부에 의해서 검출하는 공정과, 이 검출된 편심량과 편심방향과 따라서 상기 반송아암부의 모든 적정위치좌표의 R좌표와 θ좌표를 보정하여 새로운 적정위치좌표로 하는 공정을 더욱 구비한 것을 특징으로 한다.
이것에 의하면, 유지부 또는 반송아암본체를 개수한 경우에는, 일개소의 티칭 기준위치에 대하여 행한 R좌표와 θ좌표의 보정을, 반송아암부의 모든 티칭 기준위치에 대하여 적용할 수가 있기 때문에, 반송아암부의 R, θ좌표에 관해서 간단하고 또한 신속하게 모든 적정위치좌표를 보정하여 새로운 보정위치좌표로 할 수 있다.
혹은, 상기 유지부 또는 상기 반송아암본체를 보수 또는 교환했을 때에, 상기 유지부에 정확히 위치맞춤하여 유지시킨 피반송체를 상기 회전기준대까지 반송하여 이재하는 공정과, 상기 회전기준대에 재치된 상기 피반송체의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부에 의해서 검출하는 공정과, 이 검출된 편심량과 편심방향에 따라서 상기 반송아암부의 모든 적정위치좌표의 X좌표와 R좌표를 보정하여 새로운 적정위치좌표로 하는 공정을 더욱 구비한 것을 특징으로 한다.
이것에 의하면, 유지부 또는 반송아암본체를 개수한 경우에는, 1개소의 티칭 기준위치에 대하여 행한 X좌표와 R좌표의 보정을, 반송아암부의 모든 티칭 기준위치에 대하여 적용할 수가 있기 때문에, 반송아암부의 R, θ좌표에 관해서 간단 또는 신속히 모든 적정위치좌표를 보정하여 새로운 보정위치좌표로 할 수 있다.
더욱 바람직하게는, 상기 유지부 또는 상기 반송아암본체를 보수 또는 교환하였을 때에, 수평방향으로 출사된 레벨검출광을 기준으로 하여 상기 반송아암부를 상대적으로 높이 방향으로 이동시킴으로써 상기 반송아암본체와 상기 매핑아암 사이의 거리정보를 구하는 공정과, 카세트용기마다 맵정보를 취하는 공정과, 상기 거리정보와 상기 맵정보에 따라 상기 반송아암부의 모든 적정위치좌표의 Z좌표를 보정하여 적정위치좌표로 하는 행정을 더욱 구비한 것을 특징으로 한다.
이것에 의하면, 유지부 또는 반송아암본체를 개수한 경우에는, Z좌표에 관해서 간단 또한 신속히 모든 적정위치좌표를 보정하여 새로운 적정위치좌표로 할 수 있다.
더욱 바람직하게는, 상기 제2유지부 또는 상기 이재아암본체를 보수 또는 교환하였을 때에, 상기 제2유지부에 정확히 위치맞춤하여 얹어 놓은 피반송체를 상기 이재아암부에 의해 상기 로드로크실까지 반송하여 이재하는 공정과, 상기 로드로크실에 재치된 상기 피반송체를 상기 반송아암부에 의해 상기 회전기준대까지 반송하여 이재하는 공정과, 상기 회전기준대에 재치된 상기 피반송체의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부에 의해서 검출하는 공정과, 이 검출된 편심량과 편심방향에 따라서 상기 이재아암부의 모든 적정위치좌표를 보정하여 새로운 적정위치좌표로 하는 공정을 더욱 구비한 것을 특징으로 한다.
이것에 의하면, 제2유지부 또는 이재아암본체를 개수한 경우에는, 1개소의 티칭 기준위치에 대하여 한 R좌표와 θ좌표의 보정을, 반송아암부의 모든 티칭 기준위치에 대하여 적용할 수가 있기 때문에, 반송아암부의 R, θ좌표에 관해서 간단 또한 신속히 모든 적정위치좌표를 보정하여 새로운 적정위치좌표로 할 수 있다.
더욱 바람직하게는, 반송시스템은 상기 적정위치좌표를 구한 후의 동작중에 있어서는, 상기 피반송체를 유지하지 않는 상태에서의 상기 반송아암부의 특정부위의 좌표가, 상기 방향위치결정장치의 위치자세검출부에서 임의의 시기에 요청되는 것에 의해, 동작중에 발생한 상기 유지부의 위치 어긋남이 검출될 수 있도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
이것에 의하면, 통상의 동작중에 있어, 반송아암부의 위치 어긋남이 어느 정도 발생하였는지를 용이하게 검출할 수가 있다. 이 경우, 상기 반송아암부의 특정위치는 상기 반송아암부에 형성되어 있는 광통과창이거나, 혹은, 상기 유지부의 특정한 개소의 에지이다.
또한, 1개의 반송아암부에, 반송아암본체와 유지부를 각각 2개 설치하여 개별로 동작하는 경우에도, 상기한 본 발명을 적용할 수 있다. 또한, 1개의 이재아암부에, 이재아암본체와 제2유지부를 각각 2개설치하여 개별로 동작하는 경우에도,상기한 본 발명을 적용할 수 있다.
더욱 바람직하게는, 상기 유지부에 정확히 위치맞춤하여 유지시킨 피반송체를 오리엔터티칭 기준위치의 적정위치좌표에 근거하는 제어에 의해서 상기 회전기준대까지 반송하여 이재하는 공정과, 상기 회전기준대에 재치된 상기 피반송체의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부에 의해서 검출하는 공정과, 이 검출된 편심량과 편심방향에 따라서 상기 오리엔터티칭 기준위치의 적정위치좌표를 확인하는 공정을 더욱 구비한 것을 특징으로 한다.
더욱 바람직하게는, 상기 각 티칭 기준위치에 정확히 위치맞춤한 피반송체를 각 티칭 기준위치의 적정위치좌표에 근거하는 제어에 의해서 상기 회전기준대까지 반송하여 이재하는 공정과, 상기 회전기준대에 재치된 상기 피반송체의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부에 의해서 검출하는 공정과, 이 검출된 편심량과 편심방향에 따라 상기 각 티칭 기준위치에 대한 상기 적정위치좌표를 확인하는 공정을 더욱 구비한 것을 특징으로 한다.

Claims (20)

  1. 굴신, 선회 및 승강이 자유롭게 구성된 반송아암본체와, 반송아암본체의 선단에 설치되어 피반송체를 유지하는 유지부를 갖는 반송아암부와,
    반송아암부를 이동시키는 이동기구와,
    복수의 피반송체를 다단으로 수용할 수 있는 카세트용기를 얹어 놓기 위해서, 상기 유지부의 이동영역내에 배치된 적어도 1개 이상의 용기재치대와,
    상기 유지부의 이동영역내에 배치된 회전기준대와, 회전기준대에 얹어 놓여지는 피반송체의 편심량과 편심방향을 검출하는 위치자세검출부를 갖는 방향위치결정장치와,
    전체의 동작을 제어하는 제어부를 구비하여,
    기준위치에 대하여 상기 유지부의 위치맞춤을 하는 반송시스템의 반송위치맞춤 방법에 있어서,
    상기 제어부에 회전기준대상의 소정위치인 오리엔터티칭 기준위치 및 용기재치대에 얹어 놓인 상기 카세트용기내의 소정위치인 용기티칭 기준위치에 대한 각각의 임시의 위치좌표를 미리 입력하는 공정과,
    상기 유지부에 정확히 위치맞춤하여 유지시킨 피반송체를 오리엔터티칭 기준위치의 임시의 위치좌표에 근거하는 제어에 의해서 상기 회전기준대까지 반송하여 이재하는 공정과,
    상기 회전기준대에 재치된 상기 피반송체의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부에 의해서 검출하는 공정과,
    이 검출된 편심량과 편심방향에 따라서 상기 오리엔터티칭 기준위치에 대한 상기 임시의 위치좌표를 보정하여 적정위치좌표로 하는 공정과,
    상기 용기티칭 기준위치에 정확히 위치맞춤한 피반송체를 용기티칭 기준위치의 임시 위치좌표에 근거하는 제어에 의해서 상기 회전기준대까지 반송하여 이재하는 공정과,
    상기 회전기준대에 재치된 상기 피반송체의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부에 의해서 검출하는 공정과,
    이 검출된 편심량과 편심방향에 따라서 상기 용기티칭 기준위치에 대한 상기 임시의 위치좌표를 보정하여 적정위치좌표로 하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 반송시스템의 위치맞춤방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 이동기구는 반송아암부를 미끄럼 운동시키는 안내레일을 가지고 있으며,
    상기 임시의 위치좌표는 상기 안내레일에 따른 X좌표와, 상기 반송아암본체의 굴신량인 R좌표와, 상기 반송아암본체의 선회량인 θ좌표와, 상기 반송아암본체의 승강량인 Z좌표를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송시스템의 반송위치맞춤방법.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 유지부의 이동영역내에는, 내부에 상기 피반송체를얹어 놓는 피반송체 재치대를 갖고 진공흡인이 가능하도록 이루어진 로드로크실이 배치되어 있고,
    상기 제어부에 피반송체 재치대상의 소정위치인 로드로크티칭 기준위치에 대한 임시의 위치좌표를 미리 입력하는 공정과,
    상기 로드로크티칭 기준위치에 정확히 위치맞춤한 피반송체를 로드로크티칭 기준위치의 임시 위치좌표에 근거하는 제어에 의해서 상기 회전기준대까지 반송하여 이재하는 공정과,
    상기 회전기준대에 재치된 상기 피반송체의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부에 의해서 검출하는 공정과,
    이 검출된 편심량과 편심방향에 따라서 상기 로드로크티칭 기준위치에 대한 상기 임시의 위치좌표를 보정하여 적정위치좌표로 하는 공정을 더욱 구비한 것을 특징으로 하는 반송시스템의 위치맞춤방법.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 로드로크실에는 이재실이 연결되고,
    이재실에는 내부에 상기 피반송체를 얹어 놓은 서셉터를 갖는 처리챔버가 연결되어 있고,
    상기 이재실에는 내부에 굴신 및 선회가 자유롭게 구성된 이재아암본체와, 이재아암본체의 선단에 설치되어 피반송체를 유지하는 제2유지부를 갖는 이재아암부가 설치되고,
    피반송체는 둘레가장자리부에 노치표시가 형성되어 있고,
    상기 위치자세검출부는 피반송체의 노치표시의 위치를 검출할 수도 있으며,
    상기 제어부에 서셉터상의 소정위치인 서셉터티칭 기준위치에 대한 임시의 위치좌표를 미리 입력하는 공정과,
    상기 서셉터티칭 기준위치에 정확히 위치맞춤하여 얹어 놓은 피반송체를 서셉터티칭 기준위치의 임시 위치좌표에 근거하는 제어에 의해서 상기 이재아암부에 의해 상기 로드로크실까지 반송하여 이재하는 공정과,
    상기 로드로크실에 재치된 상기 피반송체를 상기 반송아암부에 의해 상기 회전기준대까지 반송하여 이재하는 공정과,
    상기 회전기준대에 재치된 상기 피반송체의 편심량과 편심방향과 노치표시의 위치를 위치자세검출부에 의해서 검출하는 공정과,
    이 검출된 편심량과 편심방향에 따라서 상기 이재아암부의 서셉터티칭 기준위치에 대한 상기 임시의 위치좌표를 보정하여 적정위치좌표로 행하는 공정과,
    검출된 상기 노치표시의 위치를 상기 방향위치결정장치의 위치결정 방향으로서 상기 제어부에 기억시키는 공정을 더욱 구비한 것을 특징으로 하는 반송시스템의 위치맞춤방법.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 로드로크실은 2개 설치되어 있고, 각 로드로크실의 각각 상기 피반송체 재치대가 격납되어 있는 것을 특징으로 하는 반송시스템의 반송위치맞춤방법.
  6. 제 3 항에 있어서, 상기 로드로크실에는 내부에 상기 피반송체를 얹어 놓는 서셉터를 갖는 처리챔버가 연결되어 있고,
    상기 로드로크실에는 내부에 굴신이 자유롭게 구성된 이재아암본체와, 이재아암본체의 선단에 설정되어 피반송체를 유지하는 제2유지부를 갖는 이재아암부가 설치되고,
    피반송체는 둘레가장자리부에 노치표시가 형성되어 있고,
    상기 위치자세검출부는 피반송체의 노치표시의 위치를 검출할 수도 있으며,
    상기 제어부에 서셉터상의 소정위치인 서셉터티칭 기준위치에 대한 임시의 위치좌표를 미리 입력하는 공정과,
    상기 서셉터티칭 기준위치에 정확히 위치맞춤하여 얹어 놓는 피반송체를 서셉터티칭 기준위치의 임시 위치좌표에 근거하는 제어에 의해서 상기 이재아암부에 의해 상기 로드로크실까지 반송하여 이재하는 공정과,
    상기 로드로크실에 재치된 상기 피반송체를 상기 반송아암부에 의해 상기 회전기준대까지 반송하여 이재하는 공정과,
    상기 회전기준대에 재치된 상기 피반송체의 편심량과 편심방향과 노치표시의 위치를 위치자세검출부에 의해서 검출하는 공정과,
    이 검출된 편심량과 편심방향에 따라서 상기 이재아암부의 서셉터티칭 기준위치에 대한 상기 임시의 위치좌표 및 상기 반송아암부의 로드로크티칭 기준위치에 대한 상기 임시의 위치좌표의 양쪽 혹은 한쪽을 보정하여 적정위치좌표로 하는 공정과,
    검출된 상기 노치표시의 위치를 상기 방향위치결정장치의 위치결정 방향으로서 상기 제어부에 기억시키는 공정을 더욱 구비한 것을 특징으로 하는 반송시스템의 위치맞춤방법.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 로드로크실은 상기 처리챔버와 쌍으로 설치되어 있고, 각 로드로크실의 각각 상기 피반송체 재치대가 격납되어 있는 것을 특징으로 하는 반송시스템의 반송위치맞춤방법.
  8. 제 2 항에 있어서, 상기 반송아암부는 상기 반송아암본체와 평행하게, 상기 카세트용기내의 상기 피반송체의 맵정보를 취하는 매핑아암을 갖고 있고,
    상기 유지부의 이동영역내에 수평방향으로 레벨검출광을 출사하는 발광장치가 설치되어 있고,
    발광장치부터의 레벨검출광을 수광하도록 수광장치가 배치되어 있고,
    발광장치로부터 수평방향으로 출사된 레벨검출광을 기준으로 하여, 발광장치의 근방에서 상기 반송아암부를 상대적으로 높이 방향으로 이동시켜, 상기 반송아암본체와 상기 매핑아암 사이의 거리정보를 구하는 공정과,
    카세트용기마다 맵정보를 취하는 공정과,
    상기 거리정보와 상기 맵정보에 따라, Z좌표에 관하여 상기 임시의 위치좌표를 보정하여 적정위치좌표로 하는 공정을 더욱 구비한 것을 특징으로 하는 반송시스템의 반송위치맞춤방법.
  9. 제 1 항에 있어서, 각 임시의 위치좌표의 입력공정의 직후에, 각 티칭 기준위치에 대하여 대략적인 위치맞춤을 하는 공정과,
    상기 대략적인 위치맞춤에 의해서 얻어진 위치좌표를 새로운 임시 위치좌표로서 치환하는 공정을 더욱 구비한 것을 특징으로 하는 반송시스템의 반송위치맞춤방법.
  10. 제 2 항에 있어서, 상기 유지부 또는 상기 반송아암본체를 보수 또는 교환하였을 때에, 상기 유지부에 정확히 위치맞춤하여 유지시킨 피반송체를 상기 회전기준대까지 반송하여 이재하는 공정과,
    상기 회전기준대에 재치된 상기 피반송체의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부에 의해서 검출하는 공정과,
    이 검출된 편심량과 편심방향에 따라서 상기 반송아암부의 모든 적정위치좌표의 R좌표와 θ좌표를 보정하여 새로운 적정위치좌표로 하는 공정을 더욱 구비한 것을 특징으로 하는 반송시스템의 반송위치맞춤방법.
  11. 제 2 항에 있어서, 상기 유지부 또는 상기 반송아암본체를 보수 또는 교환하였을 때에, 상기 유지부에 정확히 위치맞춤하여 유지시킨 피반송체를 상기 회전기준대까지 반송하여 이재하는 공정과,
    상기 회전기준대에 재치된 상기 피반송체의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부에 의해서 검출하는 공정과,
    이 검출된 편심량과 편심방향에 따라서 상기 반송아암부의 모든 적정위치좌표의 X좌표와 R좌표를 보정하여 새로운 적정위치좌표로 하는 공정을 더욱 구비한 것을 특징으로 하는 반송시스템의 반송위치맞춤방법.
  12. 제 2 항에 있어서, 상기 유지부 또는 상기 반송아암본체를 보수 또는 교환하였을 때에, 수평방향으로 출사된 레벨검출광을 기준으로 하여 상기 반송아암부를 상대적으로 높이 방향으로 이동시킴으로써 상기 반송아암본체와 상기 매핑아암과의 사이의 거리정보를 구하는 공정과,
    카세트용기마다 맵정보를 취하는 공정과,
    상기 거리정보와 상기 맵정보에 따라서 상기 반송아암부의 모든 적정위치좌표의 Z좌표를 보정하여 적정위치좌표로 하는 공정을 더욱 구비한 것을 특징으로 하는 반송시스템의 반송위치맞춤방법.
  13. 제 4 항에 있어서, 상기 제2유지부 또는 상기 이재아암본체를 보수 또는 교환하였을 때에,
    상기 제2유지부에 정확히 위치맞춤하여 얹어 놓은 피반송체를 상기 이재아암부에 의해 상기 로드로크실까지 반송하여 이재하는 공정과,
    상기 로드로크실에 재치된 상기 피반송체를 상기 반송아암부에 의해 상기 회전기준대까지 반송하여 이재하는 공정과,
    상기 회전기준대에 재치된 상기 피반송체의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부에 의해서 검출하는 공정과,
    이 검출된 편심량과 편심방향에 따라서 상기 이재아암부의 모든 적정위치좌표를 보정하여 새로운 적정위치좌표로 하는 공정을 더욱 구비한 것을 특징으로 하는 반송시스템의 반송위치맞춤방법.
  14. 제 1 항에 있어서, 반송시스템은 상기 적정위치좌표를 구한 후의 동작중에 있어서는, 상기 피반송체를 유지하지 않는 상태에서의 상기 반송아암부의 특정부위의 좌표가 상기 방향위치결정장치의 위치자세검출부 또는 이동영역내의 레벨검출장치로 임의의 시에 요구됨으로써, 동작중에 발생한 상기 유지부의 위치어긋남이 검출되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송시스템의 반송위치맞춤방법.
  15. 제 14 항에 있어서, 상기 반송아암부의 특정부위는 상기 반송아암부에 형성되어 있는 광투과창인 것을 특징으로 하는 반송시스템의 반송위치맞춤방법.
  16. 제 14 항에 있어서, 상기 반송아암부의 특정부위는 상기 반송아암부의 특정한 개소의 에지인 것을 특징으로 하는 반송시스템의 반송위치맞춤방법.
  17. 제 1 항에 있어서, 상기 반송아암본체와 상기 유지부는 각각 2개 설치되는것을 특징으로 하는 반송시스템의 반송위치맞춤방법.
  18. 제 4 항에 있어서, 상기 이재아암본체와 상기 제2유지부는 각각 2개 설치되는 것을 특징으로 하는 반송시스템의 반송위치맞춤방법.
  19. 제 1 항에 있어서, 상기 유지부에 정확히 위치맞춤하여 유지시킨 피반송체를 오리엔터티칭 기준위치의 적정위치좌표에 근거하는 제어에 의해서 상기 회전기준대까지 반송하여 이재하는 공정과,
    상기 회전기준대에 재치된 상기 피반송체의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부에 의해서 검출하는 공정과,
    이 검출된 편심량과 편심방향에 따라서 상기 오리엔터티칭 기준위치의 적정위치좌표를 확인하는 공정을 더욱 구비한 것을 특징으로 하는 반송시스템의 반송위치맞춤방법.
  20. 제 1 항에 있어서, 상기 각 티칭 기준위치에 정확히 위치맞춤한 피반송체를 각 티칭 기준위치의 적정위치좌표에 근거하는 제어에 의해서 상기 회전기준대까지 반송하여 이재하는 공정과,
    상기 회전기준대에 재치된 상기 피반송체의 편심량과 편심방향을 위치자세검출부에 의해서 검출하는 공정과,
    이 검출된 편심량과 편심방향에 따라서 상기 각 티칭 기준위치에 대한 상기적정위치좌표를 확인하는 공정을 더욱 구비한 것을 특징으로 하는 반송시스템의 위치맞춤방법.
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