JP5889814B2 - 基板搬送装置、基板処理装置および基板収容方法 - Google Patents
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Description
まず、第1の実施形態に係る基板処理装置の概略構成について図1を用いて説明する。図1は、第1の実施形態に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。
ところで、上述した第1の実施形態では、第1ウェハの実際の収容位置と目標収容位置とのずれ量を補正量とし、かかる補正量を以降の全てのウェハWの目標収容位置の補正量として適用する場合の例について説明した。つまり、上述した第1の実施形態では、ウェハWの実際の収容位置と目標収容位置とのずれ量の算出を1枚目のウェハWである第1ウェハについてのみ行うこととした。
ところで、上述した第1の実施形態および第2の実施形態では、カセットC1〜C4へ最初に収容される第1ウェハが、製品ウェハであるウェハWである場合の例について説明した。しかし、第1ウェハは、製品ウェハではなくダミーウェハWd(図1参照)であってもよい。以下、第3の実施形態では、第1ウェハとしてダミーウェハWdを用いる場合の例について説明する。
基板処理装置100は、蓄積された判定情報622を用いて、次回のウェハWの目標収容位置と実際の収容位置とのずれ量を予測してもよい。かかる点について図8を参照して説明する。図8は、次回のウェハWの目標収容位置と実際の収容位置とのずれ量を予測する場合の説明図である。
Wd ダミーウェハ
C1〜C4 カセット
1 搬入出ステーション
2 搬送ステーション
6 制御装置
21 基板搬送部
22 基板受渡台
23 基板検出部
61 制御部
62 記憶部
100 基板処理装置
211 第1保持部
212 第2保持部
231 投光器
232 受光器
611 搬送制御部
612 判定部
613 補正部
621 目標位置情報
622 判定情報
Claims (13)
- 基板を収容可能なカセットとの間で前記基板の受け渡しを行う基板搬送部と、
前記カセットに収容された基板を検出する検出部と、
前記基板搬送部を制御する制御装置と
を備え、
前記制御装置は、
予め決定された目標収容位置に対して基板を収容するように前記基板搬送部を制御する搬送制御部と、
前記基板搬送部が前記搬送制御部による制御に従って前記カセットへ収容した基板を前記検出部によって検出した後、前記検出部の検出結果に基づいて前記基板の実際の収容位置を判定する判定部と、
前記基板の実際の収容位置と前記目標収容位置とのずれに基づき、前記基板搬送部が前記搬送制御部による制御に従って収容すべき他の基板の収容位置として予め決定された目標収容位置を補正する補正部と
を備えることを特徴とする基板搬送装置。 - 前記搬送制御部は、
予め決定された目標収容位置に対して1枚の基板を収容するように前記基板搬送部を制御し、
前記補正部は、
前記1枚の基板の実際の収容位置と前記目標収容位置とのずれに基づき、次に収容されるべき複数枚の基板の収容位置としてそれぞれ予め決定された目標収容位置を補正すること
を特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。 - 前記基板搬送部は、
前記基板を保持する第1保持部と、
複数枚の前記基板を保持する第2保持部と
を備え、
前記搬送制御部は、
前記1枚の基板を前記第1保持部で保持して前記カセットへ収容させた後、前記複数枚の基板を少なくとも前記第2保持部で保持し、前記補正部によって補正された前記複数枚の基板のそれぞれの目標収容位置に対して前記複数枚の基板を同時に収容させること
を特徴とする請求項2に記載の基板搬送装置。 - 前記判定部は、
前記基板が前記カセットへ収容されるごとに、該基板の実際の収容位置を判定し、
前記補正部は、
前記基板が前記カセットへ収容されるごとに、該基板の実際の収容位置と、該基板についての補正後の目標収容位置とのずれに基づき、次回の前記基板の目標収容位置を補正すること
を特徴とする請求項1、2または3に記載の基板搬送装置。 - 前記搬送制御部は、
前記カセットの最下段の位置として予め決定された目標収容位置に対して、前記カセットに最初に収容されるべき基板を収容するように前記基板搬送部を制御すること
を特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の基板搬送装置。 - 前記搬送制御部は、
予め決定された目標収容位置に対してダミー基板を収容するように前記基板搬送部を制御し、前記判定部によって前記ダミー基板の実際の収容位置が判定された後、前記ダミー基板を前記カセットから取り出したうえで、前記ダミー基板の実際の収容位置に対して前記基板を収容するように前記基板搬送部を制御すること
を特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の基板搬送装置。 - 外部から基板を搬入する基板搬送装置と、
前記基板搬送装置によって搬入された前記基板を処理する基板処理部と、
前記基板搬送装置によって搬入された前記基板を前記基板処理部へ受け渡すための受渡部と
を備え、
前記基板搬送装置は、
基板を収容可能なカセットとの間で前記基板の受け渡しを行う基板搬送部と、
前記カセットに収容された基板を検出する検出部と、
前記基板搬送部を制御する制御装置と
を備え、
前記制御装置は、
予め決定された目標収容位置に対して基板を収容するように前記基板搬送部を制御する搬送制御部と、
前記基板搬送部が前記搬送制御部による制御に従って前記カセットへ収容した基板を前記検出部によって検出した後、前記検出部の検出結果に基づいて前記基板の実際の収容位置を判定する判定部と、
前記基板の実際の収容位置と前記目標収容位置とのずれに基づき、前記基板搬送部が前記搬送制御部による制御に従って収容すべき他の基板の収容位置として予め決定された目標収容位置を補正する補正部と
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 基板を収容可能なカセットとの間で前記基板の受け渡しを行う基板搬送部を制御して、
予め決定された目標収容位置に対して基板を収容する第1収容工程と、
前記カセットに収容された基板を検出する検出部によって、前記第1収容工程において前記基板搬送部が前記カセットへ収容した基板を検出した後、前記検出部の検出結果に基づいて前記基板の実際の収容位置を判定する判定工程と、
前記基板の実際の収容位置と前記目標収容位置とのずれに基づき、前記基板搬送部が収容すべき他の基板の収容位置として予め決定された目標収容位置を補正する補正工程と、
前記基板搬送部を制御して、前記補正工程において補正した目標収容位置に対して前記他の基板を収容する第2収容工程と
を含むことを特徴とする基板収容方法。 - 前記第1収容工程は、
前記基板搬送部を制御して、1枚の基板の収容位置として予め決定された目標収容位置に対して該1枚の基板を収容し、
前記補正工程は、
前記1枚の基板の実際の収容位置と前記目標収容位置とのずれに基づき、次に収容されるべき複数枚の基板の収容位置としてそれぞれ予め決定された目標収容位置を補正すること
を特徴とする請求項8に記載の基板収容方法。 - 前記基板搬送部は、
前記基板を保持する第1保持部と、
複数枚の前記基板を保持する第2保持部と
を備え、
前記第1収容工程は、
前記1枚の基板を前記第1保持部で保持させて前記カセットへ収容し、
前記第2収容工程は、
前記複数枚の基板を少なくとも前記第2保持部で保持させ、前記補正工程において補正した前記複数枚の基板のそれぞれの目標収容位置に対して前記複数枚の基板を同時に収容すること
を特徴とする請求項9に記載の基板収容方法。 - 前記判定工程は、
前記基板が前記カセットへ収容されるごとに、該基板の実際の収容位置を判定し、
前記補正工程は、
前記基板が前記カセットへ収容されるごとに、該基板の実際の収容位置と、該基板についての補正後の目標収容位置とのずれに基づき、次回の前記基板の目標収容位置を補正すること
を特徴とする請求項8、9または10に記載の基板収容方法。 - 前記第1収容工程は、
前記基板搬送部を制御して、前記カセットの最下段の位置として予め決定された目標収容位置に対して、前記カセットに最初に収容されるべき基板を収容すること
を特徴とする請求項8〜11のいずれか一つに記載の基板収容方法。 - 前記第1収容工程は、
前記基板搬送部を制御して、予め決定された目標収容位置に対してダミー基板を収容し、前記判定工程において前記ダミー基板の実際の収容位置が判定された後、前記基板搬送部を制御して、前記ダミー基板を前記カセットから取り出し、前記ダミー基板の実際の収容位置に対して前記基板を収容すること
を特徴とする請求項8〜12のいずれか一つに記載の基板収容方法。
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