TW419774B - Positional allignment method for transport system - Google Patents

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五、發明說明（1 ) 技術領域 本發明，係關於一種於用來運送半導體晶圓等之搬送 機構中進行的位置對合方法，特別關於一種可快速地進行 此位置對合的搬送系統之位置對合方法。 技術背景 一般而言’製造半導體裝置時之裝置，組合有多式多 樣之處理室。在此等處理室彼此間及用來收容多數張晶圓 之卡匣與上述處理室間等，設有用來進行晶圓之自動交接 的搬送機構。此搬送機構，例如，具有一種横成得可自由 屈伸、旋迴及升降之搬送臂部。此搬送臂部，可水平移動 到給定之搬送位置，以便將晶圓搬送至給定之位置。 此時’在搬送臂部之動作中，必須避免搬送臂部與其 他構件糾纏或碰撞》又，搬送臂部，更需要適當地保持置 在某一定場所之晶圓，搬送此晶囿到目的位置，且在適當 之場所進行高精度之交接》 為此’將在搬送臂部之移動徑路進行晶圓交接之場所 等重要位置，作為位置座標記憶在一用來控制搬送臂部之 電腦等，進行所謂之教導操作。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制取 發明之要旨 此教導（teaching)就是：例如就搬送臂部與卡式容器 之位置關係’用以提取晶園之臂與卡匣之高度方向的位置 關係，負載鎖室之載置台與臂之位置關係等的，用以進行 晶圓交接之幾乎所有關係，進行教導，記憶其位置座標。 又，在所有之驅動系統，裝配有用來特定其駆動位置之編 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 * 297公爱> 經濟部智慧射產局-1工消費合作社印；^ A" ___ B7___ 五、發明說明（2 ) 碼器。 具體言之，首先，將搬送臂部之移動徑路之某點作為 絕對基準，從裝置之設計值求出裝置全體之應教導的場所 之位置座標。將此位置座標，暫作為位置座標予先記憶在 控制部。此時，預計給定量之界限，輸入各臨時之位置座 標。 其次，根據各個之臨時位置座標來軀動搬送臂部。當 ) 搬送臂部移動到教導基準位置之附近時，將控制模式轉換 成手動作。然後，由操作者一面從橫向目視一面進行手動 操作，俾例如以搬送臂部之叉與晶圓接觸著之狀態，使叉 中心位置與晶圓中心位置一致。在兩中心一致之時間點， 將其座標記憶於控制部以作為正確的適當之位置座標。依 照這種步驟進行了教導。就是，在各教導基準位置，分別 用手動作與目視來進行了這種教導操作。 如上所述之習知位置對合方法，係一面目視一面旋迴 t 搬送臂部，或使其屈伸，以進行微秒之位置對合者，因此 ’存在著極花費長時間之問題。 又，也有因進行教導操作之個人差異，而在位置對合 精度方面產生偏差之問題，再者，若因某種故障等，而對 於又或臂做了修理，或將之替換等進行了修復時，必須再 度重覆借助上述一連教導的位置對合操作，因而存在著會 產生時間性之極大損失等問題。 本發明，係著眼於以上之缺點，為了有效地解決該等 缺點而創作者。本發明之目的，係在於提供一種可高精度 本纸張尺度適用中國®家標準（CNS)A4規格（2〗〇χ297公釐） l!f! -裝·! —訂· ---ί ·線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 6 '419774 A7 _B7__ 五、發明說明（3 ) 且高效率地進行教導基準位置之位置對合的，搬送系統之 位置對合方法。、 本發明為一種對於基準位置進行搬送系統之搬送位置 對合方法，其搬送系統包含有： 搬送臂部’係備有一構成為可自由屈伸、旋迴及升降 之搬送臂本體、及一設在搬送臂本艘前端以保持被搬送體 之保持部； 移動機構，係使搬送臂部移動： 至少一個以上之容器載置台，係為了載置可收容多數 個被搬送體成多層的卡式容器，而配置在前述保持部之移 動區域内； 方向定位裝置，係備有一配置在前述保持部之移動區 域内的旋轉基準台、及一用以檢出載置在旋轉基準台的被 搬送體之偏心量及偏心方向之位置姿勢檢出部：及 控制部，係用以控制全體之動作；其特徵在於上述搬 送系統之位置對合方法包含有： 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 輸入工程--於前述控制部，預先輸入對於定向器教導 基準位置及容器教導基準位置的各個臨時位置座標，其中 定向器教導基準位置為旋轉基準台上之給定位置，而容器 教導基準位置為載置在容器載置台之前述卡式容器内的給 定位置； 移載工程一在根據定向器教導基準位置之臨時位置座 標的控制下’將正確地位置對合於前述保持部來保持之被 搬送體搬送到前述旋轉基準台以進行移載； 本紙張尺度適用中园國家標準（CNS)A4規格（2]0 X 297公« > 經濟部智慧財產局負工消費合作社印製 A7 ^^ _____B? __ 五、發明說明（4 ) 檢出工程·-藉位置姿勢檢出部來檢出載置在前述旋轉 基準台之前述被搬送體的偏心量與偏心方向； 補正工程--根據該所檢出之偏心量及偏心方向，補正 對於前述定向器教導基準位置的前述臨時位置座標以作為 合適位置座標； 移載工程一在根據容器教導基準位置之臨時位置座標 J 的控制下’將正確地位置對合於前述容器教導基準位置的 被搬送體搬送移載至前述旋轉基準台； 檢出工程--藉位置姿勢檢出部來檢出載置在前述旋轉 基準台的前述被搬送體之偏心量及偏心方向；及 補正工程--根據該所檢出之偏心量及偏心方向，補正 對於前述容器教導基準位置之前述臨時位置坐標以作為合 適位置座標。 如依本發明，則將藉由手動正確地位置對合於搬送臂 部之保持部來載置之被搬送體搬送至方向定位裝置，或者 ’將藉由手動正確地位置對合於各教導基準位置來載置之 被搬送體，由搬送臂部去交接並搬送至方向定位置裝置， 求出其偏心量及偏心方向，藉此可獲得真正正確的合適位 置動作。 在實際之動作時，控制部則根據該合適位置座標，使 搬送臂部動作。像這樣，不需要進行以往所實行之費時的 搬送臂部之位置對合，可進行迅速且高精度之位置對合β 又，對於位置對合操作沒有摻入個人差異之餘地，與操作 者無關地，時常可進行高精度之位置對合。 本#尺中固國家^^ (CNS)A4規格（210 X 297公楚） 1 -8 · I I I t I m I ^ i I I--II ^* — — 1— —— — t ^ ί請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 B7___ 五、發明說明（5 ) 移動機構，備有使搬送臂部滑動之導軌；前述臨時位 置座標包含有：沿前述導軌之X座標，前述搬送臂部本體 之屈伸量即R座標，前述搬送臂本體之旋迴量即0座標， 及前述搬送臂本體之升格i即z座標。 較佳者’於本位置對合方法，其在前述保持部之移動 區域内，配置有一在内部備有用來載置前述被搬送髏之被 搬送體載置台且構成得可抽空之負載鎖室；其特徵在於更 包含有： 輸入工程·-將對於被搬送體載置台上之給定位置即負 載鎖教導基準位置的臨時位置座標，預先輸入於前述控制 部； 移載工程··在根據負載鎖教導基準位置的臨時位置座 標之控制下，將正確地位置對合於前述負載鎖教導基準位 置之被搬送體，搬送到前述旋轉基準台以進行移載： 檢出工程--藉位置姿勢檢出部來檢出載置在該旋轉基 準台之前述被搬送體的偏心董與偏心方向；及 補正工程--根據該所檢出之偏心量及偏心方向，補正 對於前述負載鎖教導基準位置之前述臨時位置座標以作為 合適位置座標。 藉此，可進行對於負載鎖室之負載鎖室教導基準位置 的高精度之位置對合》 較佳者，於本搬送位置對合方法， 其在前述負載鎖室，連結有移載室； 更在移載室，連結有一具有用來載置前述被搬送體於 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（2]0 X 297公轚> <請先閱讀背面之注意ί項再填寫本頁> -f策 ---1 訂·--------! 9 經濟部智慧.財產局1工消費合作社印製 A7 ___B7_ 五、發明說明（6 ) 内部之感應器的處理室； 且在前述移載室設有移載臂部，此移載臂部備有：一 構成得向内部自由屈伸及旋迴之移載臂本體，及一設在移 載臂本體前端以用來保持被搬送體之第二保持部； 前述被搬送體係在周緣部形成有缺口標記； 前述位置姿勢檢出部，也可檢出被搬送體之缺口標記 之位置；其特徵在於更包含有： > 輸入工程--將對於感應器上之給定位置即感應器教導 基準位置之臨時位置座標，預先輸入於前述控制部： 移載工程·-在根據感應器教導基準位置之臨時位置座 標的控制下，將正確地位置對合於前述感應器基準位置來 載置的被搬送體’藉由前述移載臂部搬送到前述負載鋇室 以進行移載； 移载工程一藉由前述搬送臂部，將載置在前述負載鎖 室之前述被搬送體撤送到前述旋轉基準台，以進行移載； _ 檢出工程--藉位置姿勢檢出部來檢出載置在前述旋轉 基準台的前述被搬送體之偏心量、偏心方向及缺口標記之 位置； 補正工程--根據該所檢出之偏心量及/偏心方向，補 正對於前述移載臂部之感應器教導基準位置的前述臨時位 置座標’以作為合適位置座標；及 記憶工程--將所檢出之前述缺口標記位置作為前述方 向定位裝置之定位方向，記憶於前述控制部。 藉此，也可進行對於處理室之感應器教導基準位置的 本紙張尺度適用中朗冢標準（CNS)A4規格咖X 297公楚〉 --in — — !--- 裝.！ —訂11!線 {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁》 10 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 ' .. 、 A7 ____B7____ 五、發明說明（7 ) ，移載臂部之高精度位置對合。 此時，前述負載鎖室宜設置兩個，而在各負載鎖室分 別容納有前述被搬送體載置台。 藉此’可進行通過二個負載鎖室中之任一室來搬送均 可的，搬送系統之高精度位置對合。 或者，不設置移載室，將處理室連結於負載鎖室之態 樣也可。 此時，前述負栽鎖室宜與前述處理室成對地設置，而 在各負載鎖室分別容納有前述被搬送體載置台》 又，較佳者，於本搬送位置對合方法，前述搬送臂部 ，備有一與前述搬送臂本體平行地採取前述卡式容器内之 前述被搬送體的變換資訊之變換臂； 並在前述保持部之移動區域内，設有一向水平方向出 射水平檢出光的發光裝置；及 配置一受光裝置’以便受光來自發光裝置之水平檢出 光；其特徵在於更包含： 距離資訊求出工程··將自發光裝置向水平方向出射之 水平檢出光作為基準’在發光裝置之附近使前述搬送臂相 對地向高度方向移動’以求出前述搬送臂本體與前述變換 臂間之距離資訊； 資訊提取工程·-每卡式容器提取變換資訊；及 補正工程一根據前述距離資訊及前述變換資證，就z 座標補正前述臨時位置座標，以作為合適位置座標。 藉此，可獲得也就Z座標加以補正之合適位置座標。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格<210 * 297公» ) ---1 ------—JL装-------—訂----- (請先閱讀背面之注意事項再«-寫本頁) 痪！ 11 Α7 Β7 五、發明說明（ 又，較佳者，本搬送位置對合方法更包含： 位置對合工程--隨各臨時位置座標之輸入工程之後， 立即對於各教導基準位置進行概略之位置對合；及 置換工程--將藉由前述概略位置對合所取得之位置座 標作為新臨時位置座標來置換。 如依此，則可將根據設計值來設定的臨時位置座標， 置換為由粗略且概略之位置對合所得之較正確的位置座標 °又，若根據設計值設定之臨時位置座標具有某程度之高 精度時，不需要進行此粗略的概略之位置對合操作β 再者’更佳者，本搬送位置對合方法更包含： 訂 移載工程--當補修或交換前述保持部或前述搬送臂本 體時’將正確地位置對合保持於前述保持之被搬送體，搬 送到前述旋轉基準台以進行移載； 檢出工程一藉位置姿勢檢出部來檢出載置在前述旋轉 基準台的前述被搬送體之偏心量及偏心方向；及 線 經 濟 部 智 Μ 財 產 局 Μ 工 消 費 合 作 社 印 製 補正工程--根據該所檢出之偏心量及偏心方向，補正 前述搬送臂部之所有合適位置座標的R座標及Θ座標，以 作為新合適位置座標。

如依此，則在修復保持部或搬送臂本體時，可將對於 —處之教導基準位置進行之R座標及0座標之補正，適用 於搬送臂部之所有教導基準位置，因此可就搬送臂部之R 、Θ座標簡單且迅速地補正所有合適位置座標，以作為新 合適位置座標。 或者’於本搬送位置對合方法，更包含： 本紙張尺度適財關家標準（CNS)A4規格⑽X 297公爱i 12

五、 9 774 發明說明（ 移載工程--當補修或交換前述保持部或前述搬送臂本 想時，將正確地位置對合保持於前述保持部之被搬送體， 搬送到前述旋轉基準台，以進行移載； 檢出工程--藉位置姿#檢出部來檢出載置在前述旋轉 基準台的前述被搬送體之偏心量及偏心方向；及 補正工程一根據該所檢出之偏心量及偏心方向，補正 前述搬送臂部之所有合適位置座標的X座標及R座標，以 作為新合適位置座標β 如依此，則在修復保持部或搬送臂本醴時，可將對於 一處之教導基準位置進行之X座標及R座標之補正，適用 於搬送臂部之所有教導基準位置，因此可就搬送臂部之尺 、Θ座標簡單且迅速地補正所有合適位置座標，以作為新 合適位置座標。 又，更佳者，於本搬送位置對合方法，更包含： 距離資訊求出工程--將補修或交換前述保持部或前述 搬送臂本想時，將向水平方向出射之水平檢出光作為基準 ’使前述搬送臂部相對地向高度方向移動，藉此求出前述 搬送臂本體與前述變換臂間之距離資訊； 變換資訊提取工程--每卡式容器提取變換資訊；及 補正工程··根據前述距離資訊及變換資訊，補正前述 搬送臂部之所有合適位置座標之Ζ座標，以作為合適位置 座標。 如依此’則在修復保持部或搬送臂本體時，可就Ζ座 標簡單且迅速地補正所有合適位置座標，以作為新合適位 本紙張尺度適用中瓱國家標準（CNS)A4規格（2]〇χ 297公t > 請 先 閱 讀- 背 面 之 注< 意 事 項 再 J '衣 頁i I 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 13 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 --------__ 五、發明說明（Η)) 置座標。 又，更佳者，於本搬送位置對合方法，更包含： 移載工程_.當補修或交換前述第二保持部或前述移載 臂^料1正確地位置對合載置在前述第二保持部之被 搬达雜’藉由前述移載臂部搬送到前述負載鎖室，以進行 移載； 載工程·_藉由前述搬送臂部，將載置在前述負載鎖 ； 室之前述被搬送體搬送到前述旋轉基準台； 檢出工程-藉位置姿勢檢出冑來檢出載置在前述旋轉 基準台的前述被搬送體之偏心量及偏心方向；及 補正工程—根據該所檢出之偏心量及偏心方向，補正 前述搬送臂部之所有合適位置座標，以作為新合適位置座 標。 如依此，則在修復了第二保持部或移載臂本體時，可 將對於一處之教導基準位置進行之R座標及0座標之補正 ， ，適用於搬送臂部之所有教導基準位置，因此可就搬送臂 部之R、6>座標，簡單且迅速地補正所有合適位置座標， 以作為新合適位置座標β • 又，更佳者，則述搬送系統，係構成：於求出了前述 合適位置座標後之動作中，未保持前述被搬送體之狀態時 的前述搬送臂部特定部位之座標，可在任意之時候藉前述 方向定位裝置之位置姿勢檢出部或移動區域内之水平檢出 裝置來求出’藉此可檢出動作中所產生之前述保持部的位 置偏差。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2〗〇χ297公釐） 裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 14 419774 A7 ____B7______ 五、發明說明（11 ) 如依此’則於通常之動作中’可輕易檢出搬送臂部之 位置偏差究竟到了那一程度。此時，前述搬送臂部之特定 位置為：形成在前述搬送臂部之光透射窗；或，前述保持 部之特定部位的邊緣》 又，在一個搬送臂部’分別設置搬送臂本體及保持部 各二個，個別地動作時，也可適用上述本發明。又，在一 個移載臂部，分別設置搬送臂本艟及第二保持部各二個， 個別地動作時，也可適用本發明。 又，更佳者，於本搬送位置對合方法，更包含： 移載工程--在根據定向器教導基準位置之合適位置座 標之控制下，將正確地位置對合保持於前述保持部之被搬 送體，搬送到前述旋轉基準台以進行移載； 檢出工程--藉位置姿勢檢出部來檢出載置在前述旋轉 基準台的前述被搬送體之偏心量及偏心方向；及 確認工程一根據該所檢出之偏心量及偏心方向，確認 前述定向器教導基準位置之合適位置座標。 又，更佳者，於本搬送位置對合方法，更包含： 經濟部智慧財產局具工消費合作社印制衣 移載工程--在根據各教導基準位置之合適位置座標的 控制下，將正確地位置對合於前述各教導基準位置之被搬 送體’搬送到前述旋轉基準台以進行移載； 檢出工程--藉位置姿勢檢出部來檢出載置在前述旋轉 基準台之前述被搬送體的偏心量及偏心方向；及 確認工程--根據該所檢出之偏心量及偏心方向，確認 對於前述各教導基準位置之前述合適位置座標。 本紙張尺度適用中國國家標準〈CNS)A4規格（21〇χ297公爱） 15 五、發明說明（12 圊式之簡單說明 第1囷為概略構成囷，係顯示為實施本發明方法而 實施之叢集式工具裝置。 第2圓係顯示變換臂之概略構成圊。 第3圖，係顯..示變換臂之平面圊。 第4圖，係變換時之動作說明圊。 第5圖係顯示方向定位裝置之側面圖。 第6圖為一平面圖’係顯示將被搬送體載置於方向定 位裝置之狀態* 第7圖，係顯示方向定位裝置之檢出波形的一例β 第8圖’係顯示各教導基準位置。 第9圖，係顯示定位基本動作的流程圓。 第10圈，係顯示定位操作之流程圖。 第11圏，係顯示定位操作之流程.圖。 第12圈為一流程围，係顯示一在第10圊中之步驟S20 進行的變換操作（調整Ζ座標）* 第13圖為一流程囷，係顯示對搬送臂部進行修復之情 i I I I —ID — — — i I I I I — I ^-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本耳) 經 濟 部 智 ,€ 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 況。 第14圖為一流程圖 又之位置偏差的情況。 第15圖為一說明圖 動作。 第16圊為一說明圖 動作。 係顯示核對通常動作中會否產生 係用以說明檢出叉特定位置時之 係用以說明檢出又特定位置時之 16 本紙張尺度適用中國圈家標準（CNS)A4規格（2】〇><297公楚） A7 B7 4^9774 五、發明說明（13 ) 第17圖為一說明®，係用以說明檢出又特定位置時之 動作。 第18困為一概略構成圈，係顯示分別設置搬送臂本體 及移載臂本體各二個時之叢集式工具裝置。 第19圖為一概略構成圖，係顯示搬送系統之其他搆成 例。 第20困’係包含合適位置座標之確認工程時之流程圖 〇 用以實施發明之最佳形態 以下’根據附圖來說明有關本發明搬送系統之搬送位 置對合方法之一實施例i 首先，參照第1圖’說明叢集式工具裝置。此叢集式 工具裝置2主要包含有：處理系統4,其係對於作為被搬送 體之半導體晶圓，進行成膜處理、擴散處理、蝕刻處理等 之各種處理；及搬送系統6，其係用以搬入、搬出晶困w 於該處理系統4 » 處理系統4，包含有：移載室8，其係被做成可抽控之 狀態；及四個處理12A〜12D，其係透過閘式閥l〇A〜10D 來連結著。各室12A〜12D，係用以對晶圓W旋行同種或 異種之熱處理。在各處理室12A〜12D内，分別設有用來載 置晶圓W之感應器14A〜14D。又，在移載室8内，設有一 可自由屈伸及旋轉之移載臂部16，移載臂部16，係用以在 各處理室12A〜12D及後述負載鎖室38A，38B中之任意兩 個之間，進行晶圆W之交接（移動）。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2】〇χ297公爱） <請先閱讀背面之注意事項再¢-¾本頁)

裝 -------- 訂· 111 I 線！ 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 經濟部智慧財產局肩工消費合作社印製 A7 ------ B?____ 五、發明說明（I4 ) 一方面’搬送系統6,備有：匣式載物台18，其係用 以載置卡式容器；及搬送台22,其係用以移動搬送臂20以 便搬送晶圓W來進行交接β在匣式載物台18，設有容器載 置24 ’在此可載置多數個（囷示例為最大四個）之卡式容器 26Α〜26D。在各卡式容器26Α〜26D，可將最多例如25張 之晶圓W以等間距載置成多層’以便收容（參照第4圖）。 在搬送台22，設有一將其中心部沿著長向延伸之導軌 1 28。在此導軌28 ’可滑移地支持著上述搬送臂2〇，具體言 之，在導軌28並設有例如球螺桿30以作為移動機構；在此 球螺桿30則嵌裝有上述搬送臂部2〇之基部34。因此，旋轉 驅動一設在球螺桿之一端部的驅動馬達32,藉此該搬送臂 部20沿著導軌28移動。 又，在搬送台22之另一端，設有定向器36,其係作為 一用來進行晶圓定位之方向定位裝置使用。再者，在搬送 台22之中途與上述移載室8之間，連接有兩個作成可抽空 * 之負載鎖室38Α，38Β。在各負載鎖室38Α，38内，設有 用來載置晶圓W之被搬送艏載置台40Α，40Β。在各負載 鎖室38Α，38Β之移載室8側，分別設有閘式閥42Α，42Β :而在搬送台22側，則分別設有閘式閥44Α，44Β。 上述搬送臂部20,係如第2〜4圓所示，備有一構成得 可屈伸的多關節形之搬送臂本體46，及一裝在該前端部之 又48(保持部）。 晶圓W，係直接被保持在此又48上。又，搬送臂部20 ’同樣具有構成可屈伸的變換臂50。變換臂50之前端部， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2】0 X 297公釐） 18 — Jillllli — — * i ! I ! — — {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 419774 1 A7 _______B7___ 五、發明說明（15 ) 係如第3®所示，形成圃藏形，例如安裝有利用雷射光之 發光•受光來確認晶圓W之有無的變換感測器52。搬送臂 46及變換臂50之各基端部，係連接於一沿著支柱54(從基 部立起）升降之升降台56 又，該支柱54，係構成可旋迴 。因此’為認識卡式容器内所收容的晶圓W之位置而進行 之變換操作，一如第3圈所示，將延伸狀態之變換臂50上 升或下降即可》藉此，確認晶圓之位置。在此，省略進行 —連動作之驅動機構之記述。又，第2因所示之構造，係 顯示搬送臂部20之概念性動態者，並非顯示實際構造。 在此’定義：沿導軌28之方向為X方向：升降台56之 上下方向之動作為Z方向；支柱54或升降台56之旋迴方向 為0方向：含又48及搬送臂本體46之長度方向為R方向。 因此，搬送臂部20之所有位置狀態，一如後述，可使用X 、Z、R、0之座標來表示。不用說，各轴之座標，可藉 例如編碼器等來認識來自預先設定之基準點的變位量。 經濟部智慧財產局負工消費合作社印製 定向器36, 一如第5圖及第6®表示，備有一藉驅動馬 達58來旋轉之旋轉基準台60。旋轉基準台60，可以載置晶 圓W於上面之狀態旋轉β在旋轉基準台60之外周，設有一 用以檢出晶圓W周緣部的光學感測器62。此光學感測器62 ，係由沿著旋轉基準台60之半徑方向配置的給長度之發光 元件62Α及受光元件62Β所構成。發光元件62Α，係將幕 簾狀之雷射光照射於晶圓端部，用光學感測器62來檢出該 雷射光，藉此可檢出晶圓W之位置。而且，檢出運算部63 ，可利用如第7圊所示之檢出波形，來認識晶圓W之偏心 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2】0 * 297公釐） A7 B7 經 濟 部 智 .慧 財 產 局 -員 工 消 費 合 社 印 tl 五、發明說明（16 ) 量、偏心方向及方位（例如，作為形成在晶圓W之缺口標 記使用之凹槽64之旋轉位置 於第6圖中’01為旋轉基準台6〇之中心（旋轉中心）， 02為晶圓W之中心。因此，偏心量為△ r。此時，第7圖所 示之檢出波形，則成為相當於△!·之振幅的正弦曲線。偏 心方向，可從振幅成為最大之旋轉位置認識。在對應於凹 槽64之部分’出現用以表示其旋轉位置2信號64A。藉此 ，可檢出從預先設定之基準位置至凹槽64的旋轉位置之偏 差。又’缺口標記’雖12吋晶圓時成為凹槽64，但8吋、6 吋晶圓時成為凹口或定向扁形。又，偏心量為零的話 ’檢出波形則除信號64a之部分以外，皆成為直線狀。 如第1圖所示’在定向器36之進口側，設有由一向水 平方向輪出水平檢出雷射光66之雷射元件68及一接受該雷 射光66之受光元件70所成之水平檢出器。藉此，測定掩送 臂部20之變換臂50與叉48間之距離，以獲得距離資訊。然 後，將各軸之位置資訊和由各檢出部等所得之資訊，收集 於用來控制叢集工具裝置2之全體動作的控制部72(參照第 1圊）。控制部72，則根據此等資訊來控制晶圓W之搬送。 又’在此控制部72，記憶有後述定位教導操作時需要的位 置座標等。 其次，說明一種使用如上述的叢集式工具裝置2來進 行的本發明之搬送位置對合方法。 在此，雖主要說明有關搬送系統中之搬送臂部20的位 置對合方法，但處理系統4中之移載臂6也可同時進行位置 本紙張尺度適用中國囷家標準（CNS)A4規格（210 * 297公* ) n ------ ---I r ills— I II--I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 20 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 '! 419774 * At _____B7___ 五、發明說明（17 ) 對合。 首先’應進行位置對合之處，主要為由搬送臂部2〇進 行晶圓W之交接的場合。在動作中，有必要將搬送臂部2〇 正確地定位於給定之位置，且，為了以適當之方向狀態對 於晶圓W進行交接而使叉及臂本體之姿勢特定。 搬送臂部20有X、R、Θ之三抽以作為二維平面内之 移動方向。為此，例如，其中之任一軸未固定的話，對於 特定座標之搬送臂部20之姿勢就無法一義地決定。因此， 在此固定X轴•儘管固定X轴，也只使R及<9變化，即可 特定臂行程範圍内之任意點》在此，將導軌28内上之點P〇( 請參照第8圖）作為絕對座標之基準點，以此為基準來特定 各教導之位置座標。於點PO，假定搬送臂20位於X轴上之 原點，0轴朝向導軌28之方向，乙軸位於最下點，R軸為 縮小的基本姿勢》 又，將晶圓之搬送位置等作為教導基準位置來規定。 例如在此’如第8圓所示，預先規定P1〜P7及Q1〜Q6作為 教導基準位置》P1〜P4，係分別對應於向卡式容器26A〜 26D之移載位置的容器教導基準位置。p5，P6係分別對應 於向負載鎖室38A，38B之移載位置的負載鎖室基準位置 。P7係對應於定向器36之相對移載位置的定向器教導基 準位置，且位於01上。 對此，處理系統4之Q0，係對應於移載臂部16之絕對 座標之基準點《 Q〗〜Q4，係對應於各處理室12A〜12D之 各感應器14A〜14D的相對移載位置之感應器教導基準位 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2丨0 x 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝- - ------ 訂----.1 - 21 A7 B7 經濟部智,1財產局-1工消費合作社印製 五、發明說明（18 ) 置。又’感應器教導基準位置即Q5、Q6，係分別與對應 於向負載鎖室38A’ 38B之移轉位置的負載鎖室教導基準 位置P5，P6—致》 概述定位程序。首先’例如於點P0，將晶圓W載置於 叉48上，使又48之中心舆晶圓W之中心非常正確地對合。 接著，搬送晶圓W至定向器36,進行使用臨時座標之控制 ，載置晶圓W於旋轉基準台上，俾使晶圓w之中心到來定 向器教導基準位置。旋轉基準台60,藉此求出此時之晶圓 W的偏心量△!·(請參照第6圖）及偏心方向β然後，向偏心 方向之相反方向’將上述臨時位置座標補正該偏心量Δγ 之份兒（只關於R，β)，以作為合適位置座標β就是，如 果臨時位置座標不正確的話，其不正確份則成為偏心量 表現出來，所以只要把臨時位置座標補正相當於此偏心量 △ r之份兒’即可成為正確合適的位置座標。 其次，於各教導基準位置，將晶圓W載置成各教導基 準位置與晶固W之中心非常正確地對合，且，按照需要將 凹槽64之旋轉位置（方向）正確地對合於基準方向。接著， 在使用臨時位置座控制下，從各教導基準位置舉起該晶圓 W’搬送至定向器36後載置於旋轉基準台60上。旋轉該旋 轉基準台60 ’藉此求出此時之晶圓w的偏心量、偏心方向 及凹槽64之旋轉位置（方向）。然後，向偏心方向之同一方 向，將上述臨時位置座標補正該偏心|Δι·之份兒（只關於 R，0)，以作為合適位置座標。又，將凹槽64之旋轉位置 (方向）記憶於控制部72。此方向，便於通常動作中，成為 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） --------------裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· -線· 22 A7 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 _____B7___ 五、發明說明（19 ) 作為凹槽64之定位方向使用。又，關於Z轴，由於僅為載 置晶圓W等時之叉上下動，所以除對於卡式容器之場合以 外，並不要求升降量之嚴密性。又，對於卡式容量之操作 ，待後文作為變換操作詳述之。 使用第9圖所示之流程圖，說明有關定位之基本動作 。又，水平、垂直調整等之機構性調整，假定預先已完成 〇 首先’根據叢集式工具裝置2之設計值，輸入對於各 教導基準位置Ρ1〜Ρ7之臨時位置座標（S1)。其次，將搬送 臂部20移動至各教導基準位置’藉由手動，進行粗糙的概 略定位並使其座標記憶下來，藉此進行概略之教導 (teaChing)(S2)e此座標，則更新先前之臨時位置座標，而 成為新臨時位置座標。又，如果依據上述設計值之臨時位 置座標為某程度正確的話，可以不進行該步驟s2。 其次，藉由手動，將晶圓W正確地定位設置於又48之 中心（S3)。將此晶圓w椒送至定向器36内，在此求出晶圓 W之偏心量及偏心方向（S4)e接著，根據所求得之偏心量 及偏心方向，補正對於先前之定向器教導基準位置？7的 臨時位置座標’以作為合適位置座標（S5)。 其次，於其他教導基準位置，藉由手動正確地定位設 置晶圓W(S6)。然後，將此晶圖w搬送至定向器％内在 此求出晶園w之偏心量、偏心方向及凹槽之旋轉位置（s7) 。接著，根據該所求得之偏心量及偏心方向，補正先前之 臨時位置座標以作為合適位置座標（S8)。接著，將所求得 本紙張尺度適用中國國冢標準（CNS)A4規g (210 * 297 公* ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 装--------訂 ------- 23 經濟部智慧.財產局·Μ工消費合作社印製 A7 ____B7__ 五、發明說明（20 ) 之凹槽的旋轉位置，作為凹槽之定位方向記憶於控制部 72(S9)。然後，對於定向器以外之所有各教導位置座標， 同樣地進行上述步驟S6、7、8、9(S10)。藉此，可完成定 位操作。.又’關於教導位置座標Q1〜Q6，則留待後文詳 述之。 其次，參照第10圖及第11圖，更具體地說明上述定位 操作。 首先，進行X、R、0、Z等各轴之零點調整（si〗）。 接著，將根據叢集工具裝置之設計值的各位置座標，輸入 於控制部72以作為成為對象之各教導基準位置 〜Q6，並將之作為臨時位置座標（si2)。 其次’使搬送臂部20自動移動到各教導基準位置為止 。在此轉換成手動模式’以手動調整臂部46和又48之姿勢 ’進而使該位置座標記憶於控制部72。藉此，將依據粗糙 對合之位置座標作為臨時位置座標（S13)。 _ 又，關於教導基準位置Q1〜Q6,並非由搬送臂部20 ’而是由移載臂部16來進行各操作。又，若根據上述設計 值之最初臨時位置座標之精度高時，不需要實行步驟S13 〇 其次’使搬送臂部20自動移動到導軌28上之給定位置 ，例如基準點P0為止。然後，使臂本體46和叉48等成為 基本姿勢，以此狀態，藉由手動使晶圓正確地定位保持於 該又48上（S14)。此時，非常正確地對合晶圓W之中心與 叉48之中心。此時，有必要的話使用適當之夾具也可。又 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2]0 x 297公爱） -----------I > in! ^*1--— — — — — ^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本一〇〇 24 A7 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 ---------— B7 — 五、發明說明（21 ) ，凹槽64之方向可為任意之方向。 其次’移動X軸’以保持晶圓W之狀態使搬送壁部20 移動到定向器36為止（S15) »然後，驅動r、0、z轴，將 晶圓W移载於定向器36之旋轉基準台6〇上（S16)。 其次’旋轉晶圓W’藉此，如第5圈及第7困所示，使 用光學感測器62及檢出運算部（凹槽）64，來求出晶圃w之 偏心量Δγ及偏心方向（S17) «此時，如果定向器教導基準 位置Ρ7中之臨時位置座標非常正確的話，偏心量△ r便成 為零。然而’若臨時位置座標並不正確時，其不正確量則 表現出偏心量Δ r - 其次’根據所得之偏心量△!·及偏心方向，補正定向 器教導基準位置P7中之臨時位置座標，以作為合適位置 座標（S18)。此時’關於X座標，將其作成固定，僅利用r 及0座標來進行補正。就是，關X座標，臨時位置座標時 之X座標成為合適位置座標。此點，在以後說明之其他定 位操作，也相同》 在此操作下，完成對於定向器教導基準位置P7之定 位。 其次，轉變為容器教導基準位之定位操作。 首先，藉由手動，將晶圓W非常正碟地位置對合於例 如卡式容器26A内之給定位置（即，容器教導基準位置P1) 後，收容起來（S19)。此時，將卡式容器26A之25層的溝槽 中例如最下層之第一溝槽規定為第一溝槽，將晶圓W非常 正確地位置對合收容於此處。第4圖，係顯示將晶圓w收 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210* 297公莹） ^1 ^1 t n ·1 ϋ ^i- I I I- _ (請先M讀背面之注意事項再1寫本頁) 25 經濟部智慧.財產局-M工消費合作社印製

A7 ________B7_ 五、發明說明（22 ) 容於最下段之第一溝槽之狀態。此時，預先非常正確地位 置對合晶圓W之中心與溝槽之中心。此時，按照需要可使 用夹具。又，凹槽64之方向可為任意方向。 其次，在控制部72之控制下，針對上述容器教導基準 位置P1，根據臨時位置坐標驅動搬送臂20，去取晶圓W。 此時，進行後述之變換操作，以防備晶圓W與又48糾纏或 碰撞（S20)。 s其次’將收到之晶圓W，以保持於搬送臂部20之狀態 搬送至定向器36為止（S21)。接著，將此晶圓W載置於定 向器36之旋轉載置台60上，按照前述步驟S17求出晶圓W 之偏心量及偏心方向（S22)。然後，根據在此所得之偏心 量及偏心方向’補正對於容器教導基準位置之臨時位置座 標（只R、β座標），以作為合適之位置座標（S23)。又，在 此’關於X座標，也同樣將臨時位置座標之X座標照原樣 作為合適位置座標之X座標使用。 _ 其次，就其他容器教導基準位置P2、P3、P4，也進 行上述步驟S19〜23(S24)。然後，完成對於各卡式容器26A 〜26D之教導基準位置pi〜p4之定位。 其次’若存在其他教導基準位置（S26之YES)，則用 手動將晶圓W非常正確地位置對合著載置於成為其對象之 教導基準位置（S25)，然後，按照步驟S21、22、23實行， 藉此分别求出合適位置座標D此時，將晶圓W非常正確地 位置對合著載置於各負載鎖室38A，38B之被搬送體載置 台40A ’ 40B，藉由搬送臂部去接領該晶圓w，在定向器36 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2]〇 X 297公爱） -------------裝-------—訂----- - --線 (請先Μ讀背面之注意事項再填窵本頁) 26 f f 419774 A7 — ______B7_____ 五、發明說明（23 ) 同樣求出偏心量△ r及偏心方向，藉此可獲得合適位置座 標。 若完成了對於負載鎖室38A，38B之位置對合，則接 著進行教導基準位置Q1〜Q6之位置對合。此時，首先， 就負載鎖教導基準位置Q5、Q6進行位置對合，接著，以 任意之順序就感應器教導基準位置Q1〜Q4進行位置對合 首先’關於負載鎖教導基準位置Q5,例如，於該移 載臂部16之基準點q〇，將晶圓W非常正確地位置對合著 載置該臂〇此時，按照前述，用手動預先正確地位置對合 臂中心及晶圓W中心。又，此時，凹槽64之方向也可為任 意之方向》然後，將該晶圓W移載於負載鎖室38A之被搬 送體載置台40A上。接著藉由已正確地位置對合於負載鎖 室40A之搬送臂部20，去取該晶囿W，將之搬送至定向器 36 »然後，在此一如前述求出晶圓w之偏心量及偏心方向 ’藉此可獲得對於負載鎖教導基準位置Q5之合適位置位 置座標。關於負載鎖教導基準位置Q6,也是同一作法。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 像這樣，完成了關於移載臂部16之負載鎖教導基準位 置Q5、Q6之定位的話，接著藉由手動將晶圓W非常正確 地位置對合著載置於處理室例如12A之感應器14A上。此 時，也正確地位置對合晶圓W之中心與感應器14A之中心 ，且將凹槽64之方向正確地與基準方向位置對合。然後按 移載臂部16、負載鎖室38A及搬送臂部20之順序交接該晶 ®W，將之轉送至定向器36, 一如前述求出晶圓W之偏心 本紙張尺度遇用中國國家標準（CNS)A4規格<210* 297公釐> 27 經濟部智慧.財產局,工消費合作社印*|私 A7 ______B7__ 五、發明說明（24 ) 量及偏心方向，藉此可獲得對於點Q1之合適位置座標》 又，也同時求出凹槽64之旋轉位置，藉此可獲得定向器36 之凹槽64的位置對向方向。但，由於凹槽64之旋轉位置依 經過負載鎖室38A及38B之那一室而變化，所以有必要就 各負載鎖室之各個進行本操作。 關於其他處理室12B〜12D，也按照處理室12A之情 況操作，藉此可獲得對於各教導基準位置Q2〜Q4之合適 % 位置座標及凹槽64之位置對合方向。 其次，根據第12圖所示之流程圖，說明按照第1〇圃中 之步驟S20來進行的變換操作（Z座標調整）。 為了防止晶圓W與又48之碰撞，而需要變換臂50與叉 48間之距離L1的資訊（請參照第2圖）。卡式容器之溝槽間 距等，不用說，己記憶在控制部72(請參照第1田）。 首先’若是對於最初之卡式容器的變換操作時（S101 之YES)，在移動搬送臂部20到對應於卡式容器之位置之 t 前，先移動至定向器36。然後，使含有變換臂50及叉48之 搬送臂本體16’ 一體地向Z軸方向（上方或下方）移動（S 102) 。此時’設在定向器36進口的水平檢出發光器68(請參照 第1圊）則使水平檢出雷射光66向水平方向朝受光器70放射 。由於藉又48及變換臂50來暫時遮斷該雷射光66，所以可 獲得此等間之距離L1以作為距離資訊（S103)。 其次，使搬送臂部20移動至成為對象之容器教導基準 位置（此例為移動至位置P1)(S104)。然後，在不會與晶因 W糾纏之位置，將變換臂50與搬送臂本體46 —體地向Z轴 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規^各（2】0 X 297公爱） I 11--I — I I * — —--- I 訂·！-- ί請先閱讀背面之注意事項再填本頁) 28 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 ί 9 7 7 4 A? ________B?__ 五、發明說明（25 ) 方向移動（上升或下降），在此藉變換感測器52(請參照第3 圖）來取得變換資訊（S105)〇即，可認識晶圓位置。根據 所得之變換資訊及上述距離資訊，得知叉48與晶園w之位 置關係。依此，只補正該教導基準位置之臨時位置座 標的Z座標’以作為合適位置座標（Si〇6)。 又’當其他卡式容器26B〜26D之容器教導基準位置P2 〜P4之定位時’因己取得用來表示變換臂5〇與叉48間之 距離L1的距離資訊，而不實行用來進行此計測的步驟sl〇2 、103»此時’實行步称si 04而去取變換資訊，就z座標 分別獲得各合適位置座標。這種變換操作不但適用於容器 教導基準位置，且也可適用於負載鎖等之其他教導基準位 置。 藉此，更新X、R、0、Z之所有座標成合適者。而且 ’跟於各教導基準位置，用手動高精度地位置對合搬送臂 部20之姿勢等之習知方法，只單純正確地位置對合晶圓w 即可獲得合適位置座標，所以可迅速、且正確地進行搬送 臂部20之位置對合》 其次，就於通常動作中，因某理由而更換或修補又或 搬送臂等進行修復之場合，參照第13圖所示之流程圖說明 如下。 此時，由於在叉48或搬送臂本體46之修復下，除X軸 以外之R、θ、Z之各轴恐有偏移之虞，所以有必要再度 調整此各座標。 此時，首先，使搬送臂20自動移動到導軌28上之給定 本紙張尺度適用中a國家標準<CNS)A4規格（210 X 297公釐） 「'我|-----訂------線f I <請先閱讀背面之注意事項再一^寫本頁) 一 29 經濟部智慧_財產局'ρ·工消費合作社印製 A7 ____________B7____ 五、發明說明（26 ) 位置’例如基準點P0為止。然後，使臂本體46或又48等 成為基本姿勢’以此肤態藉由手動正確地定位晶圓W使之 保持於該又48上（S201)。在此方面，與第1〇圖中之S14同 一。此時，將晶圓W之中心與又48之中心非常正確地予以 對合。此時’有必要的話，也可使用適當之夾具。 其次’驅動X轴，以保持著晶圓W之狀態使搬送臂部 20移動到定向器36為止（S202) »在此方面，也輿第10圖中 ’:’ 之S15同一。然後’驅動r、0、z軸，將晶圓W移載至定 向器36之旋轉基準台60上（S203)。在此方面，也與第10圊 中之S16同一。 其次，旋轉晶圓W，藉此如第5圖及第7圓所示，使用 光學感測器62及檢出運算部64(凹槽）求出晶園W之偏心量 Δ r及偏心方向（S204) »在此方面，也與第1〇圈中之S17同 一。此時’若在所修復之又48或搬送臂本體46完全未產生 位置上之偏差時，偏心量Δγ為零。但，若產生位置上之 _ 偏差時，其偏差量則成為偏心Δ r表現出來。 其次，根據所得之偏心量△ r及偏心方向，不但補正 定向器教導基準位置P7之合適位置座標，且補正其他所 有教導基準位置P1〜P6之合適位置座標，以作為新合適 位置座標（S205)。此時，將X座標作成固定，只用R及0 座標來進行補正。這是因為，可用R及0座標來吸收X座 標之變動之故。 其次，進行如第12圓中所進行的變換操作，即Z轴調 整（S206)。此時，只進行用來求出Ll(變換臂50與叉48間 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2】〇χ297公爱） I!! — —-裝 i!li — 訂·!!-線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 30 A7 419774 _____ B?___ 五、發明說明（27 ) 之距離）的距離資訊之步驊（第12圖中之S102、103)即可》 其理由是，因為各卡式容器之變換資訊已求得之故。然後 ，根據所得之距離資訊，補正所有教導基準位置之合適位 置座標之Ζ座標，求出新合適位置座標。 像這樣在修復又48或搬送臂本體46時，並不需要在所 有教導基準位置再度進行位置對合，可使在一部分之教導 基準位置進行的位置對合之結果，反映於所有教導基準位 置。所以可非常迅速地進行恢復（reC〇Very)之位置對合。 又，在此’雖說明了修復又48或搬送臂本體46時之位 置對合，但修復抓住部（第二保持部）或移載本體時，也可 進行相同之位置對合。 又’於位置對合完了後之通常動作中，如第14圓之流 程圖所示，核對是否產生又48之位置偏移。此時，待如前 述之位置對合完了後，將搬送臂部20移動至定向器36,使 用定向器36之光學感測器62(第5囷、第6囷參照）來檢出搬 送臂部20之特定位置，進而將其座標作為基準特定位置座 標記憶於控制部72(S301)。 如第15圖所示’作為搬送臂部20之特定位置74用者， 可使用一設在叉48之一部分的狹窄寬度之隊縫形光透射窗 76。或者，如第16圖及第17囷所示，規定為分開成又之又 48中任一方之前端邊緣78也可。 於如第15圖所示之場合，例如一面藉光學感測器62來 檢出隙縫形之光透射窗76’ 一面向R軸方向（第15圈右方向）移 動’將光透射窗76離開感測器62之位置作為基準特定位置 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2]0 X 297公釐） ί丨4装-------—訂！ ！·線(r *··' (請先閱讀背面之注意事項再4-¾本頁) ~ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 31 Α7 B? 五、發明說明（28 ) 座標即可。 又，若是如第16圊及第17圖所示之情况時，首先如第 16圊所示以固定著X、Z、R轴之狀態驅動0軸，進而藉光 學感測器62來檢出又48之側面端部，接著如第17圖所示驅 動R軸，藉光學感測器62來檢出叉48之邊緣78即可。藉此 ，可規定基準特定位置座標。又，依特定位置之場所，可 檢出保持狀態之晶圓W。 返回第14圓所示之流程。其次開始通常之動作，使用 搬送臂部20來進行零件晶圓之搬送，以繼續進行晶圓评之 處理（S302)。在長期間之使用下，有可能在搬送臂部2〇本 身產生各種之機械性劣化等》於是，若只在某一定之期間 進行通常之運用（S303之YES)，則如先前之S301所實施， 將搬送臂部20移動至定向器36，在此使用定向器36之光學 感測器62 ’再度求出又48之特定位置座標，將之作為特定 位置座標（S304)。 經濟部智慧，財產局*shl消費合作社印製 其次，比較由S301所求得之基準特定位置座標與由 上述S304所求得之特定位置座標，求其誤差（S3〇5)e然後 ’若其誤差小於預先設定之給定值時（S3〇6之NO)，認為 正常，而再度返回S302繼續進行通常動作。反之若上述 誤差大於給定值時（S306之YES)，可判斷為又48之姿勢因 機械性之搖晃而與當初之姿勢大為不同β此時，若按原狀 繼續進行動作，則有可能產生因其他構件與又48之碰撞等 而成為故障原因之情況。因此，此時，立即停止動作，實 行警告燈之點亮等之警告處理，然後將其趣旨通知操作者 (210x297 公笼） 32 A7 A1 9 Ί1 4 ____B7____ 五、發明說明（29 ) (S307)。藉此，可將因叉48舆其他構件碰撞而產生事故時 ，防患於未然。 又，於以上之各實施例，雖以搬送臂部20設有一支附 帶又之運送臂本體為例做了說明，但並不限定於此，如第 18圖所示，本發明也可適用於一種將附帶有又之搬送臂本 體設成二支之構造的搬送臂部》依此種構造之搬送臂部， 二支之又雖一體地向Z轴方向及0方向動作，但卻可向R 方向個別地控制。這種搬送臂部之位置對合，一如前述， 只要對於各又進行定位操作即可違成。 又，於上述各實施例，雖以移載臂部16設有一支附帶 抓住部之移載臂本體為例做了說明，但並不限定於此，如 第18囷所示，本發明也可適用於一種將附帶有抓住部之移 載本體設成二支之構造的移載臂部》 又，在此雖以半導體晶圆作為被搬送體之例進行了說 明，但並不限定於此，不用說，關於處理LCD等時之LCD 搬送系統，也可適用》 更且，在此，搬送系統之構造只是表示一例而已，只 要是使用搬送臂部來搬送晶困等之系統，即任何構造之搬 送系統均可適用本發明方法β 例如，第19圓係顯示搬送系統102之其他構成例。此 裝置，並沒有設置移載室，而在負載鎖室138Α，138Β直 接連結處理室112Α，112Β »此時，負載鎖室138Α，138Β 係與處理室112Α，112Β成對，而設有二對。在各負載鎖 室138Α，138Β之各個，分別收容有被搬送體載置114Α， 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2〗0 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁> 来------— —訂-------I . 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 33 經濟部智慧.財產局負工消費合作社印製 A7 ___B7___ 五、發明說明（30 )

114B，及移載臂部116A，116B。又，移載臂部116A，116B ，並不具備旋迴機能。其他之構成，係與第1圓之叢集式 工具裝置大致相同。 第19圖所示之態樣的搬送系統102,也可達成本發明 之目的》 更且，也可附加合適位置座標之附加工程。 即，宜更包含： s’ 移載工程--在根據定向器教導基準位置ΟΙ之合適位置 座標之控制下，將正確地位置對合著保持於保持部48之被 搬送體W，搬送移載到旋轉基準台60為止； 檢出工程“藉位置姿勢檢出部62來檢出載置在旋轉基 準台60之被搬送體W之偏心量及偏心方向；及 確認、工程--根據所檢出之偏心量及偏心方向，來碟認 定向器教導基準位置01之合適位置座標。 同樣*宜更包含： ~ 移載工程--在根據各教導基準位置P1〜P6、Q1〜Q4 之合適位置座標之控制下，將正確地位置對合於各教導基 準位置P1〜P6'Q1〜Q4之被搬送體，搬送到旋轉基準台60 為止； 檢出工程--藉位置姿勢檢出部62來檢出載置在旋轉基 準台60之被搬送體W的偏心量及偽心方向；及 確認工程一根據所檢出之偏心量及偏心方向，來確認 對於各教導基準位置P1〜P6、Q1〜Q4之合適位置座標。 使用第20圖，來說明後者之具體例。首先，根據設計 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） —— — — — —— — — — — ——I — — — — — — —illlllllt (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 34 419774 A7 B7 五、發明說明（31 ) 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 值輸入對於各教導基準位置之臨時位置座標（S401)。其次 ，對於各教導基準位置，進行粗略的教導（S402)。然後， 用手動將晶®正確地定位設置於又中心（S403)。 接著，將晶囷搬送至定向器，求偏心量及偏心方向 (S404)。其次，補正對於定向器教導基準位置之臨時位置 座標’以獲得合適位置座標（S405)»然後，用手動將晶圓 正確地定位設在其他教導基準位置（S406)。 接著，將晶圓搬送至定向器内，求出偏心量、偏心方 向及凹槽之旋轉位置（S407)〇若偏心量不在容許值以下， 則根據所求得之偏心量及偏心方向，補正臨時位置座標 (S408) 〇若偏心量為容許值以下，則將其時之臨時位置座 標作為合適位置座標（S410)。 在S408之後’再用手段將晶圓正確地定位設置在同 一教導基準位置（S409)。其後，返回S407。 在S410之後’將所求得之凹槽之旋轉位置記俛於控 制部（S411)，就定向器以外之各教導位置座標，進行上述 步驟S406〜S411(S412)。 採用第2 0圓所示之環路系統’來確認合適位置座標， 藉此以所需之精度獲得合適位置座標。 其他，搬送系統，宜設置一給操作者顯示各工程之情 況、定時等資訊的顯示裝置。 請 先 閱 讀。 背 面 之， 注 意 事 項 再. I訂 终 -35 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（32 ) 元件標號對照 2…叢集式工具裝置 44A，44B…閘式閥 4…處理系統 46…搬送臂本體 6…搬送系統 48…叉 8…移載室 50…變換臂 10 A〜10D…閘式閥 52…變換感測器 12A〜12D···處理室 54…支柱 W…晶圆 56…升降台 I4A〜i4D···感應器 58…驅動馬達 16…移載臂部 60…旋轉基準台 18…匣式載物台 62…光學感測器 20…搬送臂部 62A…發光元件 22…搬送台 62B…受光元件 24…容器載置台 63…檢出部運算部 26A〜26D···卡式容器 64…凹槽 28…導軌 〇卜··旋轉基準台60中心 30…球螺桿 02…晶圓W中心 32…驅動馬達 △ Γ…偏心量 34…基部 66…水平檢出雷射光 36…定向器 68…雷射元件 38A，38B…負載鎖室 70…受光元件 40A，40B…被搬送體載置台 42A，42B…閘式閥 72…控制部 -------------裝 * -------訂_ ! ·^ (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2】0 X 297公釐） 36

Claims (1)

1. 9 1 4 4 7 ASB8C8D8 經濟部智慧財產局具工消费合作社印製 六、申請專利範圍 1. 一種搬送系統之位置對合方法，該系統包含有： 搬送臂部，係備有一構成為可自由屈伸、旋迴及 升降之搬送臂本艘、及一設在該搬送臂本體前端以保 持被搬送體之保持部；’ 移動機構’係用以移動前述搬送臂部； 至少一個以上之容器載置台，係為了載置可收容 多數個被搬送體成多層的卡式容器，而配置在前述保 持部之移動區域内； 方向定位裝置’係僙有一配置在前述保持部之移 動區域内的旋轉基準台、及一用以檢出載置在旋轉基 準台的被搬送趙之偏心量、及偏心方向之位置姿勢檢出 部：及 控制部，係用以控制全體之動作；其特徵在於上 述搬送系統之位置對合方法包含有： 輸入工程--於前述控制部，預先輸入對於定向器 教導基準位置及容器教導基準位置的各個臨時位置座 標’其中定向器教導基準位置為旋轉基準台上之給定 位置’而容器教導基準位置為載置在容器載置台之前 述卡式容器内的給定位置； 移載工程--在根據定向器教導基準位置之臨時位 置座標的控制下，將正確地位置對合於前述保持部來 保持之被搬送體搬送到前述旋轉基準台，以進行移載 1 檢出工程-·踔位置姿勢檢出部來檢出載置在前述 本紙張尺度適用中國囲家楳準（CNS)A4規格（210 * 297公« ) ---it---^ 衣 i 丨丨！ _| 訂·！ — I (請先閱讀背面之注意事項再1^鸾本頁) 37 A8B8C8D8 經濟部智M財產局-M工消費合作杜印製 六、申請專利範圍 旋轉基準台之前述被搬送體的偏心量與偏心方向： 補正工程--根據該所檢出之偏心量及偏心方向， 補正對於前述定向器教導基準位置的前述臨時位置座 標，以作為合適位置座標； 移載工程-·在根據容器教導基準位置之臨時位置 座標的控制下，將正確地位置對合於前述容器教導基 準位置的被搬送體移載到前述旋轉基準台； 檢出工程--藉位置姿勢檢出部來檢出載置在前述 旋轉基準台的前述被搬送體之偏心量及偏心方向；及 補正工程--根據該所檢出4偏心量及偏心方向， 補正對於前述容器教導基準位置之臨時位置座標，以 作為合適位置座標。 惠 2. 如申請專利範圍第I項所述之搬送系^置對合 方法，其特徵在於： ^ 前述移動機構，備有使搬送臂部移動之導軌；前 述臨時位置座標包含有：沿前述導軌之X座標，前述 搬送臂部本體之屈伸量即R座標，前述搬送臂本體之 旋迴量即0座標，及前述搬送臂本體之升降量即Z座 標。 3. 如申請專利範圍第】項所述之搬送系統之位置對合方法 ’其係在前述保持部之移動區域内，配置有一在内部 備有用來載置前述被搬送體之被搬送體載置台且構成 得可抽空之負載鎖室；其特徵在於更包含有： 輪入工程一將對於被搬送體載置台上之給定位置 本紙張&度通用中®國家標準（CNS)A4規格（210 * 297公t > ϋ I n ) 1 n at n n I a vt n n』&J« ϋ ϋ {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 38 A8B8C8D8 t! 419774 六、申請專利範圍 即負載鎖教導基準位置的臨時位置座標，預先輸入於 前述控制部； 移載工程·-在根據負載鎖教導基準位置的臨時位 置座標之控制下，將正確地位置對合於前述負載鎖教 導墓準位置之被搬送體，搬送到前述旋轉基準台以進 行移載； 檢出工程一藉位置姿勢檢出部來檢出載置在前述 旋.轉基準台之前述被搬送艘的偏心量及偏心方向；及 補正工程--根據該所檢出之偏心量及偏心方向， 補正對於前述負載鎖教導基準位置之前述臨時位置座 標，以作為合適位置座標。 4.如申請專利範圍第3項所述之搬送系統之位置對合方法 ，其中： 在前述負載鎖室，連結有移載室： 而在前述移載室’則連結有一具有用來載置前述 被搬送體於内部之感應器的處理室； 且在前述移載室設有移載臂部，此移載臂部備有 :一構成得向内部自由屈伸及旋迴之移載臂本體、及 一設在移載臂本體前端以用來保持被搬送體之第二保 持部； 前述被搬送體’係在周緣部形成有缺σ標記； 前述位置姿勢檢出部，也可檢出被搬送想之缺口 標記之位置：其特徵在於更包含有： 輸入工程--將對於感應器上之給定位置即感應器 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐> -------------(衣— — <請先Mit背面之注意事項再4-東本頁) I— n J 訂---------终！ 經濟部智慧財產局具工消费合作社印製 39 A8B8C8D8 經 濟 部 智 Μ 財 產 局 消 費 合 社 印 製 申請專利範圍 教導基準位置之臨時位置座標，預先輸入於前述控制 部； 移載工程·-在根據感應器教導基準位置之臨時位 置座標的控制下，將正確地位置對合於感應器教導基 準位置來載置的被搬送髏，藉由前述移載臂部搬送到 前述負載鎖室，以進行移載； 移載工程—藉由前述搬送臂部，將載置在前述負 載鎖室之前述被搬送體搬送到前述旋轉基準台，以進 行移載； 檢出工程一藉位置姿勢檢出部來檢出載置在前述 旋轉基準台的前述被搬送體之偏心量、偏心方向及缺 口標記之位置； 補正工程—根據該所檢出之偏心量及偏心方向， 補正對於前述移載臂部之感應器教導基準位置的前述 臨時位置座標，以作為合適位置座標；及 έ己憶工程一將所檢出之前述缺口標記位置，作為 前述方向定位裝置之定位方向記憶於前浮^^彳部。 5·如申請專利範圍第4項所述之搬送系統之叙置對合 • *' · \ 方法’其特徵在於： 緣_ 前述負載鎖室，係設成兩個，而在各負載鎖室分 、 別容納有前述被搬送體載置台。 6.如申請專利範圍第3項所述之搬送系統之位置對合方法 ’其中、 ^在前述負載鎖室，連結有一具有用來載置前述被 本紙張又度適用中画國家標準（CNS)A4規格（210x 297公爱 -------------裝 4 n n tt I 訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁》 40 A8B8C8D8 419774 六、申請專利範圍 搬送體於内部之處理室； 1 在前述負載鎖室’設有移載臂部，此移載臂部備 有：一構成得向内部自由屈伸及旋迴之移載臂本體、 及一設在移載臂本體前端以用來保持被搬送體之第二 保持部； 前述被搬送體’係在周緣部形成有缺口標記； 前述位置姿勢檢出部，也可檢出被搬送體之缺口 標記之位置；其特徵在於更包含有： 輪入工程·-將對於感應器上之給定位置即感應器 教導基準位置之臨時位置座標’預先輸入於前述控制 部； 移載工程--在根據感應器教導基準位置之臨時位 置座標的控制下，將正確地位置對合於前述感應器教 導基準位置來載置的被搬送體，藉由前述移載臂部搬 送到前述負載鎖室，以進行移載； 移載工程--藉由前述搬送臂部，將載置在前述負 載鎖室之前述被搬送體搬送到前述旋轉基準台，以進 行移載； 檢出工程--藉位置姿勢檢出部來檢出載置在前述 旋轉基準台的前述被搬送雔之偏心量、偏心方向及缺 口標記之位置； 補正工程--根據所檢出之偏心量及偏心方向，補 正對於前述移載臂部之感應器教導基準位置的前述臨 時位置座\標及對於前述搬送臂部之負載鎖教導基準位 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210χ 297 公¾) * * -------i—J^-------- 訂！-----線 | I r 崎 y (請先«»背面之注意Ϋ項再#-ί本頁) 一 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 41 \

   申清寻利範圍 經濟部智慧財產局員Η消費合作社印製 一· 置的前述臨時位置座標之兩方，或其中之一方，以作 為合適位置座標；及 記憶工程--將所檢出之前述缺口標置，作為 前述方向定位裝置之定位方向記憶於前^部。 7·如申請專利範圍第6項所述之搬送系統之|_位置對合 方法，其特徵在於： 前述負載鎖室，係設成與前述處理室成對，而在 各負載鎖室分別容納有前述被搬送體載 8.如申請專利範圍第2項所述之搬送系統之位置對合 方法，其中： i 前述搬送臂部，係備有一與前述搬送ϋ平行地 採取前述卡式容器内之前述被搬送體的變換資訊之變 換臂； 在前述保持部之移動區域内，設有一向水平方向 出射水平檢出光的發光裝置；及 配置一受光裝置，以便受光來自發光裝置之水平 檢出光；其特徵在於更包含： 距離資訊求出工程--將自發光裝置向水平方向出 射之水平檢出光作為基準，在發光裝置之附近使前述 搬送臂相對地向高度方向移動，以求出前述搬送臂本 體與前述變換臂問之距離資訊； 資訊提取工程-·每卡式容器，提取變換資訊；及 補正工程一根據前述距離資訊及前述變換資證， 就Z座標補正前述臨時位置座標，以作為合適位置座 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS)A4規格<210 X 297公釐） — Ι1ΙΙΙΙΙ — — — — — I I I I I I I tilt — — — — — {請先Η讀背面之注意事項再填芄本頁) 42

   〃、申請專利範圍 Ι-a» 標。 每如申請專利範園第1項所述之搬送系統之:齡媒位置對合 請 先 Μ 讀 背 面 之 注· t 事 項 再 頁 方法，其更包含有： , » ·,.++... 位置對合工程-·隨各臨時位置座標之蓄入工程之 後’立即對疔各教導基準位置進行概略之位置對合； 及 置換工程-·將藉由前述概略位置對合所取得之位 置座標作為新丨臨時位置座標來置換。 1〇_如申請專利範圍第2項所述之搬送系統之置對合 方法’其更包含有： hrj , 移載工程·-當補修或交換前述保持部或i述搬送 臂本艘時’將正確地位置對合保持於前述保持之被搬 送體，搬遑到前述旋轉基準台以進行移載； 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 檢出工程—藉位置姿勢檢出部來檢出載置在前述 竦轉基準台的前述被搬送體之偏心量及偏心方向；及 補正工程—根據該所檢出之偏心量及偏心方向， 補正前述搬送臂部之所有合適位置座標的R座標及0 座標，以作為新合適位置座標。 _ 11.如申請專利範圍第2項所述之搬送系統之位置對合 方法’其特徵在於更包含： 丨id 移栽工程--當補修或交換前述保持部或前述搬送 ' I 臂本體時，將正確地埤置對合保持於前述保持之被镦 送體，搬^送到前述旋轉基準台以進行移載： 檢出工程一藉位置姿勢檢出部來檢出載置在前述 本紙張尺度適用中困困家標準(CNS)A4蚬格（210 X 297公» > 43 A8B8C8D8 訊 申請專利範圍 旋轉基準台的前述被搬送體之偏心量及偏心方向；及 補正工程_·根據該所檢出之偏心董及偏心方向， 補直前述搬送臂部之所有合適位置座標的X座標及R座 標’以作為新合適位置座標- 12.如申請專利範圍第2項所述之搬送系統位置對合 * -4.： * 方法’其特徵在於更包含： \g\ 〜距離資訊求出工程••將補修或交換前持部或 前述搬送臂本體時，將向水平方向出射之水平檢出光 作為基準，使前述搬送臂部相對地向高度方向移動， 藉此求出前述搬送臂本體與前述變換臂間之距離資訊 變換資訊提取工程··每卡式容器，提取變換資 :及 補正工程--根據前述距離資訊及變換資訊，補正 刖述搬送臂部之所有合適位置座標之擇，以作為 合適位置座標。 ί令今..丨 13.如申請專利範圍第4項所述冬搬送系統之送位置對合 方法，其特徵在於更包含： a 移載工程一當補修或交換前述第二保持部或前述 移載臂本體時，將正確地位置對合載置在前述第二保 持部之被搬送體，藉由前述移栽臂部搬送到前述負栽 鎖室’以進行移載； 、 移載工程--藉由前述搬送臂部，將載置在前述負 載鎖室之前述被搬送體搬送到前述旋轉基準心；' 本紙張尺度適用中因國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱了 — 111 — — — — — — — — — — — — — — — II ·11111111 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧•財產局負工消费合作社印製 44 經濟部智慧財產局員Η消費合作社印製 六、申請專利範圍 檢出工程·-藉位置姿勢檢出部來檢出載置在前述 旋轉基準台的前述被搬送體之偏心量及偏 心方向；及 補正工程--根據該所檢出之偏心量及偏心方向， 補正該搬送臂::部之所有合適位置座標，以作為新合適 座標 14. 如申請專利範圍第1項所述之搬送系統之位置對合 方法，其特徵在於： -存:.1 前述搬送系統’係搆成：於求出了前f合適位置 座標後之動作中，未保持前述被掩送體之狀態時的前 述搬送臂部特定部位之座標，可在任意之時候藉前述 方向定位裝置之位置姿勢檢出部或移動區域内之水平 檢出裝置來求出，藉此可檢出動作中所之前述保 持部的位置偏差。 & 15. 如申請專利,範圍第14項所述之搬送系統^_丨适位置對 合方法，其特徵在於： 前述搬送臂部之特定部位為，形成_述搬送臂 部之光透射窗》 4¾ 卜."： 16. 如申請專利範圍第14項所述之搬送系統位置對 合方法，其特徵在於： 前述搬送臂部之特定部位為形成在前述搬送臂部 之特定地方的邊緣。 1 ..：-：.- 17. 如，請專利範圍第1項所述之搬送系統之^^位置對合 方法，其特徵在於： 前述搬送臂本體及前述保持部，分別連#二個。 本紙張尺度適用中國國家楳準（CNS>A4規格(210 X 297公爱> ----------1-'衣 i— — — — — — 訂---------線气 I <請先Μ讀背面之注意事項再tt:本頁) 一 45 A8B8C8D8 經 濟 部 智 慧 產 局 *員 X. 消 费 合 社 印 製 六、申請專利範圍 _ 、- 8·如申請專利範圍第4項所述之搬送系統之位置對合 方法’其特徵在於： 、冬 前述移載臂本餿及前述第二保持部，分別設有二 個。 19.如申請專利範圍第j項所述之搬送系統位置對合 方法’其特徵在於更包含： 、論\ 移載工程--在根據定向器教導基準位重之合適位 置座標之控制下，將正確地位置對合保持於前述保持 部之被搬送體，搬送到前述旋轉基準台以進行移栽； 檢出工程一藉位置姿勢檢出部來檢出載置在前述 旋轉基準台的前述被搬送體之偏心量及偏心方向；及 " \ 蜂聪工程--根據該所檢出之择心量及偏心方向， 確認前述定向器教導基準位置之合適位置座標。 2〇.如申請專利範圍第1項所述之搬送系統之位置對合方法 ，其特徵在於更包含： 移載工程一在根據各教導基準位置之合適位置座 標的控制下’將正確地位置對合於前述各教導基準位 . 置之被搬送體’搬送到前述旋轉基準台以進行移載： 檢出工程--藉位置姿勢檢出部來檢出載置在前述 旋轉基準台之前述被搬送體之偏心量及偏心方向；及 確認工程-·根據該所檢出之偏.心量及偏心方向， 確認對於前述各教導基準位置之前述合適位置座標。 本紙張尺度適用中0國家楳準（CNS>A4規格（210 X 297公釐） — — — — — — — III— — — — * I m I I I — —mill {靖先閱讀背面之;is事項再填寫本Ϊ 46