JP2019141930A - 産業用ロボットの補正値算出方法 - Google Patents
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Abstract
Description
値を算出する産業用ロボットの補正値算出方法であって、前記産業用ロボットは、本体部と、前記本体部に基端側が回動可能に連結される第1アーム部と、前記第1アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される第2アーム部と、前記第2アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結され、搬送対象物が搭載されるハンドフォークを有するハンドと、を有し、前記第1アーム部、前記第2アーム部、および前記ハンドのうち、回動可能に連結された2つの部材の一方を一方部材とし、他方を他方部材としたとき、前記一方部材に対する前記他方部材の基準位置に停止するように前記他方部材を移動させた際の停止位置におけるエンコーダの値と、前記他方部材を前記停止位置から前記基準位置に前記他方部材が位置決め治具によって位置決めされる位置まで移動させたときの前記エンコーダの値とに基づいて、前記他方部材の前記基準位置に対応する前記エンコーダの基準値を特定する基準位置特定工程と、前記基準値を反映した条件で、前記第1アーム部、前記第2アーム部、および前記ハンドをモータ駆動して前記産業用ロボットを仮の基準姿勢にするロボット動作工程と、前記ロボット動作工程後に、前記産業用ロボットを動作させて前記搬送対象物の受渡し位置に、遮光性の検知用パネルを搭載した前記ハンドフォークを移動させ、カメラによって前記検知用パネルを撮像した際の前記受渡し位置における前記検知用パネルの基準位置と前記検知用パネルの停止位置とのずれ量に基づいて前記第1アーム部をモータ駆動する際の補正値を算出する補正値算出工程と、を有することを特徴とする。
図1は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの補正値算出方法によって補正値が算出される産業用ロボット1の図であり、(A)は平面図、(B)は側面図である。図2は、図1に示す産業用ロボット1が有機ELディスプレイの製造システム3に組み込まれた状態を示す平面図である。図3は、図1に示す産業用ロボット1の構成を説明するためのブロック図である。なお、図1(B)、および図2では、ハンドフォーク18、19に設けた支持部の図示を省略してある。
19の上面にも、搭載される基板2を位置決めするための位置決め部材が取り付けられている。
ハンド基部17のいずれか他方には、ハンド基部17が原点位置にあるときに原点センサ33に検知される検知部材が固定されている。
図4は、図2に示すチャンバー5およびチャンバー6に対して基板2を搬出および搬入する際の産業用ロボット1の動きを示す説明図である。図5は、図2に示すプロセスチャンバー51へ基板2を搬入する際の産業用ロボット1の動きを示す説明図である。図6は、図1に示すプロセスチャンバー5へ基板2を搬入する際の産業用ロボット1の動きを示す説明図である。図7は、図1に示すプロセスチャンバー53へ基板2を搬入する際の産業用ロボット1の動きを示す説明図である。図8は、図1に示すプロセスチャンバー54へ基板2を搬入する際の産業用ロボット1の動き示す説明図である。なお、図4〜図8では、ハンドフォーク18、19に設けた支持部の図示を省略してある。
図9は、図1に示すロボット1に位置決め治具36〜38が取り付けられた状態の図であり、(A)は平面図、(B)は側面図である。図10(A)は、図9(B)のE部の拡大図であり、図10(B)は、図10(A)のF−F方向から位置決め治具36等を示す図であり、図10(C)は、図10(A)のG部の拡大図である。図11(A)は、図9(B)のH部の拡大図であり、図11(B)は、図11(A)のJ−J方向から位置決め治具37等を示す図であり、図11(C)は、図11(A)のK部の拡大図である。図12(A)は、図9(A)のL部の拡大図であり、図12(B)は、図9(B)のM部の拡大図であり、図12(C)は、図12(B)のN−N方向から位置決め治具38等を示す図であり、図12(D)は、図12(B)のP部の拡大図である。
治具36と、第2基準位置にハンド基部17を位置決めするための位置決め治具37と、第3基準位置にハンドフォーク18を位置決めするための位置決め治具38とが使用される。本形態の位置決め治具36は第1位置決め治具であり、位置決め治具37は第2位置決め治具であり、位置決め治具38は第3位置決め治具である。なお、位置決め治具38は、ハンドフォーク19の長手方向に直交する方向におけるハンド基部17に対するハンドフォーク19の所定の基準位置にハンドフォーク19を位置決めする際にも使用される。
ダ26の検知結果に基づいてハンド基部17を原点位置から第2基準位置に回動させる。すなわち、第2基準位置でハンド基部17が停止するように原点センサ33の検知結果とエンコーダ26の検知結果に基づいてハンド基部17を回動させて停止させる。
図13は、図1に示す第1アーム部15の補正値を算出する補正値算出工程で用いる検知用パネル40をハンドフォーク18に搭載した状態の説明図であり、(A)は平面図、(B)は断面図である。図14は、図1に示す第1アーム部15の補正値を算出する補正値算出工程でのロボット1の動作を説明するための図である。図15は、図1に示す第1アーム部15の補正値を算出する補正値算出工程でのカメラの視野等を示す説明図である。
831とが所定の位置関係からずれている場合のずれ量に対応する第1アーム部15の回動方向および回動角度は、エンコーダ24での検出値に対応させた値として制御部27に記憶されている。
本形態では、チャンバー6での補正値算出工程を行った後、同様な補正値算出工程をプロセスチャンバー51でも行う。従って、プロセスチャンバー51にも、チャンバー6と同様、第1基準マーク860が付された第1部材86と、第2基準マーク870が付された第2部材87と、第1基準マーク860および第1被検出部821が視野内に入る第1カメラ88と、第2基準マーク870および第2被検出部831が視野内に入る第2カメラ89とが設けられている。
本形態では、チャンバー6での補正値算出工程、およびプロセスチャンバー51での補正値算出工程を行った後、同様な補正値算出工程をプロセスチャンバー53でも行う。従って、プロセスチャンバー53にも、チャンバー6と同様、第1基準マーク860が付された第1部材86と、第2基準マーク870が付された第2部材87と、第1基準マーク860および第1被検出部821が視野内に入る第1カメラ88と、第2基準マーク8
70および第2被検出部831が視野内に入る第2カメラ89とが設けられている。
なお、本形態では、ハンドフォーク18での補正値算出工程の後、ハンド基部17を180°回動させるとともに2本のハンドフォーク19に検知用パネル40を載せ換えてから、チャンバー6の中の基板2の受渡し位置にハンドフォーク19を移動させる。このとき、第1カメラ88の撮像結果において第1基準マーク860と第1被検出部821とが所定の位置関係からずれ、かつ、第2カメラ89の撮像結果において第2基準マーク870と第2被検出部831とが所定の位置関係からずれている場合には、第1基準マーク860と第1被検出部821とが所定の位置関係となり、第2基準マーク870と第2被検出部831とが所定の位置関係となるように、位置決め治具38を用いて、ハンドフォーク19の長手方向に直交する方向におけるハンド基部17へのハンドフォーク19の固定位置を調整する。
以上説明したように、本形態では、第1基準位置特定工程において位置決め治具36を用いて、第1アーム部15に対する第2アーム部16の回動方向における第2アーム部16の基準位置である第1基準位置を特定し、第2基準位置特定工程において位置決め治具37を用いて、第2アーム部16に対するハンド基部17の回動方向におけるハンド基部17の基準位置である第2基準位置を特定し、ハンドフォーク位置決め工程において位置決め治具38によって、ハンド基部17に対するハンドフォーク18の長手方向に直交する方向におけるハンドフォーク18の基準位置である第3基準位置にハンドフォーク18を位置決めしている。
定された第1基準位置を基準にしてモータ22を駆動制御するとともに、第2基準位置特定工程で特定された第2基準位置を基準にしてモータ23を駆動制御して、ロボット1を仮の基準姿勢にしてから、ハンド移動工程において、ハンドフォーク18をチャンバー6、プロセスチャンバー51、およびプロセスチャンバー53に移動させて補正値算出工程を行い、モータ21を制御するための補正値を算出している。すなわち、本形態では、第2アーム部16、ハンド基部17およびハンドフォーク18を所定の基準位置に合わせた状態で、ハンドフォーク18をチャンバー6、プロセスチャンバー51、およびプロセスチャンバー53に移動させて補正値算出工程を行い、第1アーム部15を駆動するモータ21を制御するための補正値を算出している。
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
ンコーダ(第1エンコーダ)、25・・エンコーダ(第2エンコーダ)、26・・エンコーダ(第3エンコーダ)、31・・原点センサ(第1原点センサ)、32・・原点センサ(第2原点センサ)、33・・原点センサ(第3原点センサ)、36・・位置決め治具(第1位置決め治具)、37・・位置決め治具(第2位置決め治具)、38・・位置決め治具(第3位置決め治具)、80・・検知用パネル、86・・第1部材、87・・第1部材、88・・第1カメラ、89・・第2カメラ、860・・第1基準マーク、870・・第2基準マーク、C1・・第1回動中心、C2・・第2回動中心、C3・・第3回動中心
Claims (9)
- 産業用ロボットの動作を補正するための補正値を算出する産業用ロボットの補正値算出方法であって、
前記産業用ロボットは、本体部と、前記本体部に基端側が回動可能に連結される第1アーム部と、前記第1アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される第2アーム部と、前記第2アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結され、搬送対象物が搭載されるハンドフォークを有するハンドと、を有し、
前記第1アーム部、前記第2アーム部、および前記ハンドのうち、回動可能に連結された2つの部材の一方を一方部材とし、他方を他方部材としたとき、前記一方部材に対する前記他方部材の基準位置に停止するように前記他方部材を移動させた際の停止位置におけるエンコーダの値と、前記他方部材を前記停止位置から前記基準位置に前記他方部材が位置決め治具によって位置決めされる位置まで移動させたときの前記エンコーダの値とに基づいて、前記他方部材の前記基準位置に対応する前記エンコーダの基準値を特定する基準位置特定工程と、
前記基準値を反映した条件で、前記第1アーム部、前記第2アーム部、および前記ハンドをモータ駆動して前記産業用ロボットを仮の基準姿勢にするロボット動作工程と、
前記ロボット動作工程後に、前記産業用ロボットを動作させて前記搬送対象物の受渡し位置に、遮光性の検知用パネルを搭載した前記ハンドフォークを移動させ、カメラによって前記検知用パネルを撮像した際の前記受渡し位置における前記検知用パネルの基準位置と前記検知用パネルの停止位置とのずれ量に基づいて前記第1アーム部をモータ駆動する際の補正値を算出する補正値算出工程と、
を有することを特徴とする産業用ロボットの補正値算出方法。 - 前記検知用パネルの基準位置を示す基準マークを備えた遮光性の部材を前記受渡し位置に配置することを特徴とする請求項1に記載の産業用ロボットの補正値算出方法。
- 前記基準マークは、前記部材を貫通する穴からなることを特徴とする請求項2に記載の産業用ロボットの補正値算出方法。
- 前記搬送対象物は四角形の基板であり、
前記検知用パネルは、前記基板を前記ハンドフォークに搭載した際に前記基板の対角に位置する2つの角の各々に重なる第1被検出部および第2被検出部を備え、
前記カメラとして、前記第1被検出部が視野に入る第1カメラと、前記第2被検出部が視野に入る第2カメラとを用いることを特徴とする請求項2または3に記載の産業用ロボットの補正値算出方法。 - 前記部材として、前記第1カメラの視野に前記基準マークが入る遮光性の第1部材、および前記第2カメラの視野に前記基準マークが入る遮光性の第2部材を前記受渡し位置に配置することを特徴とする請求項4に記載の産業用ロボットの補正値算出方法。
- 前記搬送対象物の受渡しが行わる複数のチャンバーを有し、
前記補正値算出工程の際、前記複数のチャンバー内のいずれかの前記搬送対象物の受渡し位置に前記ハンドフォークを移動させることを特徴とする請求項1から5までの何れか一項に産業用ロボットの補正値算出方法。 - 前記複数のチャンバーには、外部から前記搬送対象物の搬入が行われるローダー用チャンバー、外部への前記搬送対象物の搬出が行われるアンローダー用チャンバー、および前記搬送対象物に対する処理が行われるプロセスチャンバーが含まれ、
前記補正値算出工程として、前記ローダー用チャンバー内における前記搬送対象物の
受渡し位置、または前記アンローダー用チャンバー内における前記搬送対象物の受渡し位置に前記ハンドフォークを移動させる第1補正値算出工程と、前記プロセスチャンバー内における前記搬送対象物の受渡し位置に前記ハンドフォークを移動させる第2補正値算出工程と、を行うことを特徴とする請求項6に記載の産業用ロボットの補正値算出方法。 - 前記基準位置特定工程として、前記2つの部材が前記第1アーム部および前記第2アーム部である第1基準位置特定工程と、前記2つの部材が前記第2アーム部および前記ハンドである第2基準位置特定工程と、を行うことを特徴とする請求項1から7までの何れか一項に記載の産業用ロボットの補正値算出方法。
- 前記基準位置特定工程後、前記第2アーム部に対する基準位置に前記ハンド基部を停止させた状態で、位置決め治具によって、前記ハンドにハンドフォークを位置決めするハンドフォーク位置決め工程を行うことを特徴とする請求項1から7までの何れか一項に記載の産業用ロボットの補正値算出方法。
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