JP2022186429A - 情報処理装置、移載位置補正方法及び基板処理装置 - Google Patents

情報処理装置、移載位置補正方法及び基板処理装置 Download PDF

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Abstract

【課題】搬送装置による被処理基板の搬送を自律制御できる技術を提供する。【解決手段】基板処理装置の搬送装置による被処理基板の搬送を制御する情報処理装置であって、被処理基板を載置可能な容器に被処理基板を載置する搬送装置の第１移動動作及び容器から被処理基板を取得する第２移動動作を、教示データに従って制御する搬送装置制御手段と、容器の被処理基板の載置位置を撮影可能に設置された撮影装置から、第１の移動動作及び第２の移動動作を撮影した画像データを取得する画像データ取得手段と、画像データに基づき、容器及び被処理基板の位置関係を数値化する画像処理手段と、数値化された容器及び被処理基板の位置関係の判定を行い、判定結果に基づいて搬送装置の第１移動動作及び第２移動動作の補正データを出力する位置補正手段とを有する。【選択図】図４

Description

本開示は、情報処理装置、移載位置補正方法及び基板処理装置に関する。
縦長の熱処理炉を有し、ウエハボートに複数枚のウエハを載置した状態で熱処理炉に収容し、ウエハを加熱する熱処理を行う縦型熱処理装置が知られている。この縦型熱処理装置では、複数枚のフォークを有するウエハ搬送装置により、キャリアに収納されたウエハをウエハボートに複数枚同時に搬送する（例えば、特許文献１参照）。
特開２０１９－０４６８４３号公報
本開示は、搬送装置による被処理基板の搬送を自律制御できる技術を提供する。
本開示の一態様は、基板処理装置の搬送装置による被処理基板の搬送を制御する情報処理装置であって、前記被処理基板を載置可能な容器に前記被処理基板を載置する前記搬送装置の第１移動動作及び前記容器から前記被処理基板を取得する第２移動動作を、教示データに従って制御する搬送装置制御手段と、前記容器の前記被処理基板の載置位置を撮影可能に設置された撮影装置から、前記第１移動動作及び前記第２移動動作を撮影した画像データを取得する画像データ取得手段と、前記画像データに基づき、前記容器及び前記被処理基板の位置関係を数値化する画像処理手段と、数値化された前記容器及び前記被処理基板の位置関係の判定を行い、判定結果に基づいて前記搬送装置の前記第１移動動作及び第２移動動作の補正データを出力する位置補正手段とを有する。
本開示によれば、搬送装置による被処理基板の搬送を自律制御できる。
本実施形態に係る基板処理システムを概略的に示す一例の縦断面図である。 ローディングエリアを概略的に示す一例の斜視図である。 コンピュータの一例のハードウェア構成図である。 制御装置の機能構成の一例を示す図である。 本実施形態に係る移載機構の移動動作を制御する処理の一例のフローチャートである。 ウエハＷを取得又は載置する場合のフォークの移動動作におけるポジション変化の一例を示した説明図である。 フォークを挿入されたボートの一例のイメージ図である。 本実施形態に係るボート側自動教示処理の一例のフローチャートである。 ポジションＰ５へフォークを挿入されたボートの一例のイメージ図である。 本実施形態に係るボート側自動教示処理の一例のフローチャートである。 ポジションＴＣＨ及びＰ３へフォークを挿入されたボートの一例のイメージ図である。
以下、添付の図面を参照しながら、本開示の限定的でない例示である実施形態について説明する。なお、添付の図面において、同一又は対応する部材又は部品については、同一又は対応する参照符号を付し、重複する説明を適宜省略する。また、本実施形態では基板処理装置の一例である熱処理装置を例として説明するが、熱処理装置に限定するものではない。
［第１の実施形態］
図１は本実施形態に係る基板処理システムを概略的に示す一例の縦断面図である。図２はローディングエリアを概略的に示す一例の斜視図である。図１に示したように、基板処理システムは、熱処理装置１０と、制御装置１００と、を有する。なお、制御装置１００は熱処理装置１０の構成の一部として熱処理装置１０の筐体内に設けてもよいし、熱処理装置１０の構成とは別に熱処理装置１０の筐体外に設けてもよい。例えば制御装置１００はネットワークを介してデータ通信可能に接続されたサーバ装置や、ネットワークを介して利用可能なクラウドサービス等を利用して実現するようにしてもよい。
熱処理装置１０は、後述する縦型の熱処理炉６０を備えており、ウエハＷをボートに縦方向に沿って所定の間隔で複数枚、保持及び収容し、ウエハＷに対して酸化、拡散、減圧ＣＶＤ等の各種の熱処理を施すことができる。以下では、後述の処理容器６５内に設置されているウエハＷに処理ガスを供給することによって、ウエハＷの表面を酸化処理する熱処理装置１０に適用した例について説明する。ウエハＷは被処理基板の一例である。被処理基板は円形のウエハＷに限られない。
図１の熱処理装置１０は、載置台（ロードポート）２０、筐体３０、及び制御装置１００を有する。載置台（ロードポート）２０は、筐体３０の前部に設けられている。筐体３０は、ローディングエリア（作業領域）４０及び熱処理炉６０を有する。
ローディングエリア４０は、筐体３０内の下方に設けられている。熱処理炉６０は、筐体３０内であって、ローディングエリア４０の上方に設けられている。また、ローディングエリア４０と熱処理炉６０との間には、ベースプレート３１が設けられている。
載置台（ロードポート）２０は、筐体３０内へのウエハＷの搬入搬出を行うためのものである。載置台（ロードポート）２０は、収納容器２１及び２２が載置される。収納容器２１及び２２は、前面に蓋を着脱可能に備えた、複数枚（例えば２５枚程度）のウエハＷを所定の間隔で収納可能な密閉型収納容器（フープ：ＦＯＵＰ）である。
また、載置台２０の下方には、後述する移載機構４７により移載されたウエハＷの外周に設けられた切欠部（例えばノッチ）を一方向に揃えるための整列装置（アライナ）２３が設けられていてもよい。
ローディングエリア（作業領域）４０は、収納容器２１及び２２と後述のボート４４との間でウエハＷの移載を行い、ボート４４を処理容器６５内に搬入（ロード）し、ボート４４を処理容器６５から搬出（アンロード）するためのものである。ローディングエリア４０には、ドア機構４１、シャッター機構４２、蓋体４３、ボート４４、基台４５ａ、基台４５ｂ、昇降機構４６、及び移載機構４７が設けられている。
ドア機構４１は収納容器２１及び２２の蓋を取外し、収納容器２１、２２とローディングエリア４０とを連通開放するためのものである。シャッター機構４２は、ローディングエリア４０の上方に設けられている。シャッター機構４２は、蓋体４３を開けているときに、後述する炉口６８ａから高温の炉内の熱がローディングエリア４０に放出されるのを抑制ないし防止するために炉口６８ａを覆う（又は塞ぐ）ように設けられている。
蓋体４３は、保温筒４８及び回転機構４９を有する。保温筒４８は、蓋体４３上に設けられている。保温筒４８は、ボート４４が蓋体４３側との伝熱により冷却されることを防止し、ボート４４を保温するためのものである。回転機構４９は、蓋体４３の下部に取り付けられている。回転機構４９は、ボート４４を回転するためのものである。回転機構４９の回転軸は蓋体４３を気密に貫通し、蓋体４３上に配置された図示しない回転テーブルを回転するように設けられている。
昇降機構４６は、ボート４４のローディングエリア４０から処理容器６５に対する搬入及び搬出に際し、蓋体４３を昇降駆動する。そして、昇降機構４６により上昇させられた蓋体４３が処理容器６５内に搬入されているときに、蓋体４３は、後述する炉口６８ａに当接して炉口６８ａを密閉するように設けられている。蓋体４３に載置されているボート４４は、処理容器６５内でウエハＷを水平面内で回転可能に保持することができる。
なお、熱処理装置１０は、ボート４４を複数有していてもよい。本実施形態では、図２を参照し、２つのボート４４を有する例について説明する。
ローディングエリア４０には、ボート４４ａ及び４４ｂが設けられている。ローディングエリア４０には、基台４５ａ、基台４５ｂ、及びボート搬送機構４５ｃが設けられている。基台４５ａ及び４５ｂは、それぞれボート４４ａ及び４４ｂが蓋体４３から移載される載置台である。ボート搬送機構４５ｃは、ボート４４ａ又は４４ｂを、蓋体４３から基台４５ａ又は４５ｂに移載するためのものである。
ボート４４ａ及び４４ｂは例えば石英製であり、大口径例えば直径３００ｍｍのウエハＷを水平状態で上下方向に所定の間隔（ピッチ幅）で搭載するようになっている。ボート４４ａ及び４４ｂは、例えば天板と底板の間に複数本（例えば３本）の支柱５２を介設してなる。支柱５２には、それぞれウエハＷを支持（保持）するための溝又は爪などの支持部が設けられている。また、ボート４４ａ及び４４ｂは、支柱５２と共に補助柱が適宜設けられていてもよい。なお、ボート４４ａ及び４４ｂは、ウエハＷを載置可能な容器の一例である。
移載機構４７は、収納容器２１又は２２とボート４４ａ又は４４ｂの間でウエハＷの移載を行うためのものである。なお、移載機構４７は、ウエハＷを搬送する搬送装置の一例である。
移載機構４７は、基台５７、昇降アーム５８、及び複数のフォーク５９を有する。基台５７は、昇降及び旋回可能に設けられている。昇降アーム５８はボールネジ等により上下方向に移動可能（昇降可能）に設けられる。基台５７は、昇降アーム５８に水平旋回可能に設けられている。また、複数のフォークはウエハＷを支持する移載板（移載部）の一例である。
また、ローディングエリア４０には、カメラ８０ａ及び８０ｂが設置されている。カメラ８０ａ及び８０ｂは、撮影装置の一例である。カメラ８０ａは、移載機構４７から収納容器２１又は２２の方向と移載機構４７からボート４４ａ又は４４ｂの方向とを撮影可能に設置される。図１及び図２のカメラ８０ａは移載機構４７の可動部に設置された例を示している。
例えばカメラ８０ａは、移載機構４７が収納容器２１又は２２からウエハＷを取得（Ｇｅｔ）する移動動作、及び移載機構４７がボート４４ａ又は４４ｂにウエハＷを載置（Ｐｕｔ）する移動動作、を撮影する。また、カメラ８０ａは、移載機構４７がボート４４ａ又は４４ｂからウエハＷを取得する移動動作、及び移載機構４７が収納容器２１又は２２にウエハＷを載置する移動動作、を撮影する。
また、図１及び図２のカメラ８０ｂは移載機構４７側から見て、ボート４４ａ又は４４ｂの裏側を撮影可能に設置される。図１及び図２のカメラ８０ｂは筐体３０の側壁に設置された例を示している。
例えばカメラ８０ｂは、移載機構４７がボート４４ａ又は４４ｂにウエハＷを載置する移動動作を撮影する。また、カメラ８０ｂは、移載機構４７がボート４４ａ又は４４ｂからウエハＷを取得する移動動作を撮影する。
制御装置１００は熱処理装置１０の全体の制御を行う装置である。制御装置１００はレシピに示された種々の処理条件下で熱処理が行われるように、熱処理装置１０の動作を制御する。また、制御装置１００は後述するように、移載機構４７に対するウエハＷの移載位置の教示（ティーチング）を自動化する全自動教示処理、移載機構４７によるウエハＷの搬送を自律制御（自律航法制御）する自律型自動移載処理、移載機構４７の予防保全活動を支援する異常予兆検出処理、等を実行する。
制御装置１００は、例えば図３に示すようなハードウェア構成のコンピュータにより実現される。図３はコンピュータの一例のハードウェア構成図である。
図３のコンピュータ５００は、入力装置５０１、出力装置５０２、外部Ｉ／Ｆ（インタフェース）５０３、ＲＡＭ（Random Access Memory）５０４、ＲＯＭ（Read Only Memory）５０５、ＣＰＵ（Central Processing Unit）５０６、通信Ｉ／Ｆ５０７及びＨＤＤ（Hard Disk Drive）５０８などを備え、それぞれがバスＢで相互に接続されている。なお、入力装置５０１及び出力装置５０２は必要なときに接続して利用する形態であってもよい。
入力装置５０１はキーボードやマウス、タッチパネルなどであり、作業員等が各操作信号を入力するのに用いられる。出力装置５０２はディスプレイ等であり、コンピュータ５００による処理結果を表示する。通信Ｉ／Ｆ５０７はコンピュータ５００をネットワークに接続するインタフェースである。ＨＤＤ５０８は、プログラムやデータを格納している不揮発性の記憶装置の一例である。
外部Ｉ／Ｆ５０３は、外部装置とのインタフェースである。コンピュータ５００は外部Ｉ／Ｆ５０３を介してＳＤ（Secure Digital）メモリカードなどの記録媒体５０３ａの読み取り及び／又は書き込みを行うことができる。ＲＯＭ５０５は、プログラムやデータが格納された不揮発性の半導体メモリ（記憶装置）の一例である。ＲＡＭ５０４はプログラムやデータを一時保持する揮発性の半導体メモリ（記憶装置）の一例である。
ＣＰＵ５０６は、ＲＯＭ５０５やＨＤＤ５０８などの記憶装置からプログラムやデータをＲＡＭ５０４上に読み出し、処理を実行することで、コンピュータ５００全体の制御や機能を実現する演算装置である。
制御装置１００は、図３のハードウェア構成のコンピュータ５００がプログラムに従い処理を実行することで、後述の各種機能を実現できる。
＜機能構成＞
制御装置１００の機能構成例について、図４を参照して説明する。図４は制御装置の機能構成の一例を示す図である。制御装置１００は、画像データ取得部１１０、画像処理部１２０、自律制御部１３０、カメラ制御部１４０、搬送装置制御部１５０、データベース１６０、レシピ実行部１７０、及びウエハ移載制御部１８０を有する。
画像処理部１２０は、ウエハ取得画像処理部１２２及びウエハ載置画像処理部１２４を有する。自律制御部１３０は、移載教示部１３２及び位置補正部１３４を有する。なお、図４の機能構成は本実施形態の説明に不要な機能構成について適宜省略している。
画像データ取得部１１０は、カメラ８０ａ及び８０ｂ（以下、カメラ８０ａ及び８０ｂをカメラ８０と適宜総称する）が撮影した画像データを取得する。例えば画像データ取得部１１０は、移載機構４７が収納容器２１又は２２からウエハＷを取得する移動動作及び移載機構４７がボート４４ａ又は４４ｂにウエハＷを載置する移動動作の画像データを取得する。また、例えば画像データ取得部１１０は、移載機構４７がボート４４ａ又は４４ｂからウエハＷを取得する移動動作及び移載機構４７がボート４４ａ又は４４ｂにウエハＷを載置する移動動作の画像データを取得する。
画像処理部１２０は、画像データ取得部１１０が取得した画像データを画像処理することにより、収納容器２１又は２２の溝や爪などの支持部の位置、移載機構４７のフォーク５９の位置、及びウエハＷの位置、から必要な距離（寸法）を解析（測定）し、位置関係を数値化する。以下では、収納容器２１又は２２の支持部が溝の例を説明する。
また、画像処理部１２０は、画像データ取得部１１０が取得した画像データを画像処理することにより、ボート４４ａ又は４４ｂの溝や爪などの支持部の位置、移載機構４７のフォーク５９の位置、及びウエハＷの位置から必要な距離（寸法）を解析（測定）し、位置関係を数値化する。以下では、ボート４４ａ又は４４ｂの支持部が溝の例を説明する。
画像処理部１２０のウエハ取得画像処理部１２２は、収納容器２１又は２２からウエハＷを取得する移動動作の画像データを画像処理することにより、収納容器２１又は２２の溝の位置、移載機構４７のフォーク５９の位置、及びウエハＷの位置から必要な距離を解析し、位置関係を数値化する。
また、画像処理部１２０のウエハ取得画像処理部１２２は、ボート４４ａ又は４４ｂからウエハＷを取得する移動動作の画像データを画像処理することにより、ボート４４ａ又は４４ｂの溝の位置、移載機構４７のフォーク５９の位置、及びウエハＷの位置から必要な距離を解析し、位置関係を数値化する。
画像処理部１２０のウエハ載置画像処理部１２４は、ボート４４ａ又は４４ｂにウエハＷを載置する移動動作の画像データを画像処理することにより、ボート４４ａ又は４４ｂの溝の位置、移載機構４７のフォーク５９の位置、及びウエハＷの位置から必要な距離を解析し、位置関係を数値化する。
また、画像処理部１２０のウエハ載置画像処理部１２４は、収納容器２１又は２２にウエハＷを載置する移動動作の画像データを画像処理することにより、収納容器２１又は２２の溝の位置、移載機構４７のフォーク５９の位置、及びウエハＷの位置から必要な距離を解析し、位置関係を数値化する。
自律制御部１３０は、数値化された収納容器２１又は２２の溝の位置、移載機構４７のフォーク５９の位置、及びウエハＷの位置関係に基づいて、収納容器２１又は２２におけるウエハＷの載置位置の補正教示データを算出し、移載機構４７に対するウエハＷの移載位置の教示を行う。例えば収納容器２１又は２２におけるウエハＷの載置位置の補正教示データは移載機構４７のフォーク５９が収納容器２１又は２２からウエハＷを取得する移動動作又は収納容器２１又は２２にウエハＷを載置する移動動作の初期教示データを補正するために利用される。
自律制御部１３０は、数値化されたボート４４ａ又は４４ｂの溝の位置、移載機構４７のフォーク５９の位置、及びウエハＷの位置関係に基づいて、ボート４４ａ又は４４ｂにおけるウエハＷの載置位置の補正教示データを算出し、移載機構４７に対するウエハＷの移載位置の教示を行う。例えばボート４４ａ又は４４ｂにおけるウエハＷの載置位置の補正教示データは、移載機構４７のフォーク５９がボート４４ａ又は４４ｂからウエハＷを取得する移動動作又はボート４４ａ又は４４ｂにウエハＷを載置する移動動作の初期教示データを補正するために利用される。
また、自律制御部１３０は補正教示データに従って収納容器２１又は２２とボート４４ａ又は４４ｂとの間で移載されるウエハＷの移載位置を所定間隔で測定し、位置ずれが生じた場合に、後述の位置補正を行うことにより、自律航法処理を可能としている。
自律制御部１３０の移載教示部１３２は、収納容器２１又は２２からウエハＷを取得する移動動作の画像データを画像処理することにより数値化された、収納容器２１又は２２の溝の位置、移載機構４７のフォーク５９の位置、及びウエハＷの位置関係に基づいて、収納容器２１又は２２におけるウエハＷの載置位置の補正教示データを算出する。
また、自律制御部１３０の移載教示部１３２は、ボート４４ａ又は４４ｂからウエハＷを取得する移動動作の画像データを画像処理することにより数値化された、ボート４４ａ又は４４ｂの溝の位置、移載機構４７のフォーク５９の位置、及びウエハＷの位置関係に基づいて、ボート４４ａ又は４４ｂにおけるウエハＷの載置位置の補正教示データを算出する。
また、自律制御部１３０の移載教示部１３２は、ボート４４ａ又は４４ｂにウエハＷを載置する移動動作の画像データを画像処理することにより数値化された、ボート４４ａ又は４４ｂの溝の位置、移載機構４７のフォーク５９の位置、及びウエハＷの位置関係に基づいて、ボート４４ａ又は４４ｂにおけるウエハＷの載置位置の補正教示データを算出する。
また、自律制御部１３０の移載教示部１３２は、収納容器２１又は２２にウエハＷを載置する移動動作の画像データを画像処理することにより数値化された、収納容器２１又は２２の溝の位置、移載機構４７のフォーク５９の位置、及びウエハＷの位置関係に基づいて、収納容器２１又は２２におけるウエハＷの載置位置の補正教示データを算出する。
また、自律制御部１３０の位置補正部１３４は、補正教示データに従って収納容器２１又は２２とボート４４ａ又は４４ｂとの間で移載されるウエハＷの移載位置を所定間隔で測定し、位置ずれが生じた場合に、後述の位置補正を行うことにより、自律航法処理を可能としている。
カメラ制御部１４０は自律制御部１３０からの指示に従い、カメラ８０の撮影タイミングを制御する。データベース１６０は熱処理装置１０の移載機構４７に対してウエハＷの載置位置を教示するための初期教示データ及び補正教示データを記憶する。また、データベース１６０は後述の位置補正に利用される補正データ、変位データを記憶する。
例えば初期教示データは熱処理装置１０に予め設定されている教示データであり、熱処理装置１０の機種毎に設定されている。補正教示データは、熱処理装置１０の機差や作業員による調整バラツキを起因としたウエハＷの載置位置の位置ずれを補正した教示データである。補正データは、補正教示データに従って移載されるウエハＷの移載位置を例えば定期的に測定した結果に基づき、生じたウエハＷの載置位置の位置ずれを補正してウエハＷの移載を継続するために利用される。また、変位データは生じたウエハＷの載置位置の位置ずれを継続して記録したデータであって、各種解析（傾向、挙動、故障、又は異常など）の解析に利用される。
搬送装置制御部１５０は、自律制御部１３０又はウエハ移載制御部１８０からの制御に従い、移載機構４７の移動動作を制御する。搬送装置制御部１５０はデータベース１６０に記憶されている初期教示データ、補正教示データ、及び補正データを用いて、移載機構４７の移動動作を制御する。
レシピ実行部１７０は、レシピに示された処理条件下で熱処理が行われるように、熱処理装置１０の動作を制御する。ウエハ移載制御部１８０は、レシピ実行部１７０からの制御に従い、収納容器２１又は２２と、ボート４４ａ又は４４ｂと、の間でウエハＷが搬送されるように搬送装置制御部１５０に指示を行う。
＜処理＞
以下、収納容器２１又は２２と、ボート４４ａ又は４４ｂと、の間でウエハＷを搬送する移載機構４７の教示を自動化する全自動教示処理、移載機構４７によるウエハＷの搬送を自律制御（自律航法制御）する自律移載処理、の一例について説明する。制御装置１００は例えば図５の手順で移載機構４７の移動動作を制御する。図５は本実施形態に係る移載機構の移動動作を制御する処理の一例のフローチャートである。
ステップＳ１０において、制御装置１００は移載動作前確認処理を行う。ステップＳ１０の移載動作前確認処理は、移載動作前の確認処理であり、ウエハＷの搬送を行わず、初期教示データに基づいて移載機構４７のフォーク５９の移動動作を行い、収納容器２１又は２２と、ボート４４ａ又は４４ｂと、の移載位置を確認する処理である。
なお、本実施形態では載置位置からウエハＷを取得する又は載置位置にウエハＷを載置する場合のフォーク５９の移動動作におけるポジション（位置）の変化と、カメラ８０が撮影を行うポジションと、を例えば図６のように定義する。
図６はウエハＷを取得又は載置する場合のフォークの移動動作におけるポジション変化の一例を示した説明図である。図６（Ａ）はウエハＷを取得する場合のフォーク５９の移動動作におけるポジション変化の一例を示している。図６（Ｂ）はウエハＷを載置する場合のフォーク５９の移動動作におけるポジション変化の一例を示している。
例えば図６（Ａ）はフォーク５９をポジションＰ４→Ｐ３→Ｐ２→Ｐ５→Ｐ１に順番に移動させる移動動作の一例を示している。図６（Ａ）のポジションＰ３は第１の位置の一例であって、例えばフォーク５９がボート４４ａ又は４４ｂからウエハＷを取得する直前の位置である。ポジションＴＣＨは、例えばフォーク５９がボート４４ａ又は４４ｂからウエハＷを取得する位置である。ポジションＰ２は、例えばフォーク５９がボート４４ａ又は４４ｂからウエハＷを取得した後の位置である。
例えば図６（Ｂ）はフォーク５９をポジションＰ１→Ｐ５→Ｐ３→Ｐ４に順番に移動させる移動動作の一例を示している。図６（Ｂ）のポジションＰ５は、第２の位置の一例であって、例えばフォーク５９がボート４４ａ又は４４ｂにウエハＷを載置する直前の位置である。ポジションＴＣＨは、例えばフォーク５９がボート４４ａ又は４４ｂにウエハＷを載置する位置である。ポジションＰ３は、例えばフォーク５９がボート４４ａ又は４４ｂにウエハＷを載置した後の位置である。
ボート側の移載動作前確認処理は、例えば以下のように行われる。制御装置１００の自律制御部１３０はデータベース１６０から初期教示データを読み出す。自律制御部１３０は初期教示データに基づき、ボート４４ａのポジションＰ３へフォーク５９を挿入するように搬送装置制御部１５０を制御する。
自律制御部１３０はボート４４ａのポジションＰ３及びＰ５でカメラ８０に撮影を行わせるように、制御を行う。画像データ取得部１１０は、カメラ８０がボート４４ａのポジションＰ３及びＰ５で撮影した画像データを取得する。画像処理部１２０はボート４４ａのポジションＰ３及びＰ５で撮影した画像データを画像処理することにより、ボート４４ａの支柱５２の溝（以下ではボート溝と呼ぶ）の上部とフォーク５９のウエハ設置面との距離を測定する。画像処理部１２０はボート溝のエッジとフォーク５９のエッジとの距離を測定する。
自律制御部１３０は測定したボート４４ａのポジションＰ３及びＰ５におけるボート溝の上部とフォーク５９のウエハ設置面との距離、及びボート溝のエッジとフォーク５９のエッジとの距離が、設計基準値を満たしているか否かを判定する。設計基準値を満たしていなければ、自律制御部１３０は誤差分の補正動作を行い、フォーク５９の移動動作が設計基準値を満たすように位置補正を行う。自律制御部１３０は設計基準値を満たすように行ったフォーク５９の移動動作の位置補正の結果に従い、補正教示データをデータベース１６０に記憶することによりフィードバックする。
ボート側の移載動作前確認処理の後で、制御装置１００は収納容器側の移載動作前確認処理を行う。なお、ボート溝と比較して収納容器２１の溝（以下、収納容器溝と呼ぶ）の寸法が十分に大きいため、収納容器側の移載動作前確認処理は省略してもよい。
制御装置１００の自律制御部１３０は、データベース１６０から初期教示データを読み出す。自律制御部１３０は初期教示データに基づいて、収納容器２１のポジションＰ３へフォーク５９を挿入するように搬送装置制御部１５０を制御する。
自律制御部１３０は収納容器２１のポジションＰ３及びＰ５でカメラ８０ａに撮影を行わせるように、制御を行う。画像データ取得部１１０は、カメラ８０ａが収納容器２１のポジションＰ３及びＰ５で撮影した画像データを取得する。画像処理部１２０は収納容器２１のポジションＰ３及びＰ５で撮影した画像データを画像処理することにより、収納容器溝の上部とフォーク５９のウエハ設置面との距離を測定する。画像処理部１２０は収納容器溝のエッジとフォーク５９のエッジとの距離を測定する。
自律制御部１３０は測定した収納容器２１のポジションＰ３及びＰ５における収納容器溝の上部とフォーク５９のウエハ設置面との距離、及び収納容器溝のエッジとフォーク５９のエッジとの距離が、設計基準値を満たしているか否かを判定する。設計基準値を満たしていなければ、自律制御部１３０は誤差分の補正動作を行い、フォーク５９の移動動作が設計基準値を満たすように位置補正を行う。自律制御部１３０は、設計基準値を満たすように行ったフォーク５９の移動動作の位置補正の結果に従い、補正教示データをデータベース１６０に記憶することによりフィードバックする。
ステップＳ１２において、制御装置１００は自動教示処理を行う。ステップＳ１２の自動教示処理は、ステップＳ１０の移載動作前確認処理により初期教示データを補正した補正教示データに基づいて、移載機構４７のフォーク５９の移動動作を行う。
制御装置１００は移載機構４７のフォーク５９が収納容器２１又は２２からウエハＷを取得する移動動作を撮影した画像データを取得し、画像処理により、収納容器２１又は２２の溝、フォーク５９、及びウエハＷの位置関係を数値化する。制御装置１００は数値化した収納容器２１又は２２の溝、フォーク５９、及びウエハＷの位置関係に基づいて、収納容器２１又は２２におけるウエハＷの載置位置を補正する（フォーク５９の移動動作を補正する）補正教示データを出力する。
また、制御装置１００は移載機構４７のフォーク５９がボート４４ａ又は４４ｂにウエハＷを載置する移動動作を撮影した画像データを取得し、画像処理により、ボート４４ａ又は４４ｂの溝、フォーク５９、及びウエハＷの位置関係を数値化する。ボート４４ａ又は４４ｂの溝、フォーク５９、及びウエハＷの位置関係は、例えばボート４４ａ又は４４ｂとウエハＷの取り合い寸法と呼ばれることもある。
制御装置１００は数値化したボート４４ａ又は４４ｂの溝、フォーク５９、及びウエハＷの位置関係に基づいて、ボート４４ａ又は４４ｂにおけるウエハＷの載置位置を補正する（フォーク５９の移動動作を補正する）補正教示データを出力する。なお、ステップＳ１２の自動教示処理の詳細は後述する。
ステップＳ１４において、制御装置１００はデータベース１６０に記憶されている補正教示データを用いて、移載機構４７の移動動作を制御し、ウエハＷの移載処理を行うことにより、熱処理装置１０を運用する。本実施形態では、熱処理装置１０の運用下において定期間隔等の所定間隔でステップＳ１６以降の処理を行う。
ステップＳ１６において、自律制御部１３０はボート４４ａのポジションＰ３又はＰ５でカメラ８０ａ及び８０ｂに撮影を行わせるように、制御を行う。画像データ取得部１１０は、例えば図７に示すように、カメラ８０ａ及び８０ｂがボート４４ａのポジションＰ３又はＰ５で撮影した画像データを取得する。図７はフォークを挿入されたボートの一例のイメージ図である。図７のように、カメラ８０ａ及び８０ｂはボート４４ａの３ヶ所のボート溝を撮影可能に設置されている。
ステップＳ１８において、画像処理部１２０はボート４４ａのポジションＰ３又はＰ５でカメラ８０ａ及び８０ｂが撮影した画像データを画像処理することにより、ボート溝及びウエハＷの位置関係を数値化する。
例えば画像処理部１２０は、ポジションＰ５でカメラ８０ａ及び８０ｂが撮影した画像データを画像処理することにより、フォーク５９が保持するウエハＷの下面とボート溝の上面との距離ａ、支柱５２とウエハＷのエッジとの距離ｂ、などを測定する。画像処理部１２０はポジションＰ３でカメラ８０ａ及び８０ｂが撮影した画像データを画像処理することにより、フォーク５９が保持するウエハＷの下面とボート溝の上面との距離ａ、支柱５２とウエハＷのエッジとの距離ｂ、などを測定する。
ステップＳ２０において、自律制御部１３０は数値化したボート溝及びウエハＷの位置関係を、３ヶ所のボート溝ごとに設計基準値と比較する。ステップＳ２２において、自律制御部１３０は、３ヶ所のボート溝で設計基準値を満たさないか否かを判定する。
例えば自律制御部１３０はステップＳ１８で数値化したフォーク５９が保持するウエハＷの下面とボート溝の上面との距離ａ、及び設計基準値の距離ａを比較し、その差分に従い、３ヶ所のボート溝のそれぞれで設計基準値を満たさないか否かを判定する。数値化したフォーク５９が保持するウエハＷの下面とボート溝の上面との距離ａ、及び設計基準値の距離ａの差分が所定のレンジ（例えば２００μｍ未満）に含まれていれば、自律制御部１３０は設計基準値を満たす正常値であると判定する。
数値化したフォーク５９が保持するウエハＷの下面とボート溝の上面との距離ａ、及び設計基準値の距離ａの差分が所定のレンジ（例えば２００μｍ以上４００μｍ未満）に含まれていれば、設計基準値を満たさない調整推奨値であると判定する。さらに、数値化したフォーク５９が保持するウエハＷの下面とボート溝の上面との距離ａ、及び設計基準値の距離ａの差分が所定のレンジ（例えば４００μｍ以上）に含まれていれば、設計基準値を満たさない異常値であると判定する。
また、例えば自律制御部１３０はステップＳ１８で数値化したフォーク５９が保持するウエハＷのエッジと支柱５２との距離ｂ、及び設計基準値の距離ｂを比較し、その差分に従い、３ヶ所のボート溝のそれぞれで設計基準値を満たさないか否かを判定する。数値化したフォーク５９が保持するウエハＷのエッジと支柱５２との距離ｂ、及び設計基準値の距離ｂの差分が所定のレンジ（例えば２００μｍ未満）に含まれていれば、自律制御部１３０は設計基準値を満たす正常値であると判定する。
数値化したフォーク５９が保持するウエハＷのエッジと支柱５２との距離ｂ、及び設計基準値の距離ｂの差分が所定のレンジ（例えば２００μｍ以上４００μｍ未満）に含まれていれば、設計基準値を満たさない調整推奨値であると判定する。数値化したフォーク５９が保持するウエハＷのエッジと支柱５２との距離ｂ、及び設計基準値の距離ｂの差分が所定のレンジ（例えば４００μｍ以上）に含まれていれば、設計基準値を満たさない異常値であると判定する。
自律制御部１３０は１ヶ所以上のボート溝で設計基準を満たしていればステップＳ２４の処理を行う。ステップＳ２４において、自律制御部１３０は差分（位置ずれ分）の補正動作を行い、設計基準値を満たしたフォーク５９の移動動作の位置補正の結果に従い、補正教示データを補正する補正データをデータベース１６０に記憶することによりフィードバックする。したがって、自律制御部１３０は設計基準値が満たされるようにフォーク５９の移動動作の位置を補正しながら熱処理装置１０の運用を継続できる。
なお、図５では１ヶ所以上のボート溝で設計基準を満たす正常値であれば、フォーク５９の移動動作の位置を補正しながら熱処理装置１０の運用を継続する処理を一例として説明したが、この例に限定されない。例えば自律制御部１３０は３ヶ所のボート溝で設計基準を満たしていないが、調整推奨値のレンジに含まれていれば、処理中のバッチが終了するまで、フォーク５９の移動動作の位置を補正しながら熱処理装置１０の運用を継続するようにしてもよい。また、自律制御部１３０は１ヶ所以上のボート溝が設計基準を満たさない異常値のレンジに含まれていれば、処理中のバッチが終了する前に、熱処理装置１０の運用を中止するようにしてもよい。
自律制御部１３０は３ヶ所のボート溝で設計基準を満たしていなければステップＳ１２の処理に戻り、図８～図１１に示すような自動教示処理を行う。
図８は本実施形態に係るボート側自動教示処理の一例のフローチャートである。制御装置１００の自律制御部１３０はステップＳ８０において、データベース１６０から補正教示データを読み出す。
ステップＳ８２において、自律制御部１３０は補正教示データに基づき、ボート４４ａのポジションＰ５へフォーク５９を挿入するように搬送装置制御部１５０を制御する。搬送装置制御部１５０は補正教示データに従い、例えば図９に示すように、ボート４４ａのポジションＰ５へフォーク５９を挿入するように移載機構４７の移動動作を制御する。図９はポジションＰ５へフォークを挿入されたボートの一例のイメージ図である。
ステップＳ８４において、自律制御部１３０はボート４４ａのポジションＰ５でカメラ８０ａに撮影を行わせるように、制御を行う。画像データ取得部１１０は、カメラ８０ａがボート４４ａのポジションＰ５で撮影した画像データを取得する。
ステップＳ８６において、画像処理部１２０はボート４４ａのポジションＰ５でカメラ８０ａが撮影した画像データを画像処理することにより、ボート溝、フォーク５９、及びウエハＷの位置関係を数値化する。
例えば画像処理部１２０はポジションＰ５でカメラ８０ａが撮影した画像データを画像処理することにより、フォーク５９が保持するウエハＷの下面とボート溝の上面との距離ａ、支柱５２とウエハＷのエッジとの距離ｂ、などを測定する。
ステップＳ８８において、自律制御部１３０は測定した距離が、設計基準値を満たしているか否かを判定する。設計基準値を満たしていなければ、自律制御部１３０はステップＳ９０において誤差分の補正動作を行い、設計基準値を満たすまでフォーク５９の移動動作の位置補正を繰り返し行う。
設計基準値を満たしていれば、自律制御部１３０はステップＳ９２の処理に進む。自律制御部１３０はボート４４ａのポジションＰ５でカメラ８０ｂに撮影を行わせるように制御を行う。画像データ取得部１１０は、カメラ８０ｂがボート４４ａのポジションＰ５で撮影した画像データを取得する。
ステップＳ９４において、画像処理部１２０はボート４４ａのポジションＰ５でカメラ８０ｂが撮影した画像データを画像処理することにより、ボート溝、フォーク５９、及びウエハＷの位置関係を数値化する。
例えば画像処理部１２０はポジションＰ５でカメラ８０ｂが撮影した画像データを画像処理することにより、フォーク５９が保持するウエハＷの下面とボート溝の上面との距離ａ、支柱５２とウエハＷのエッジとの距離ｂ、などを測定する。
ステップＳ９６において、自律制御部１３０は測定した距離が、設計基準値を満たしているか否かを判定する。設計基準値を満たしていなければ、自律制御部１３０はステップＳ９８において誤差分の補正動作を行い、設計基準値を満たすまでフォーク５９の移動動作の位置補正を繰り返し行う。
ステップＳ１００において、自律制御部１３０は設計基準値を満たしたフォーク５９の移動動作の位置補正の結果に従い、補正教示データをデータベース１６０に記憶することによりフィードバックする。
図１０は本実施形態に係るボート側自動教示処理の一例のフローチャートである。制御装置１００の自律制御部１３０はステップＳ１１０において、データベース１６０から補正教示データを読み出す。
ステップＳ１１２において、自律制御部１３０は補正教示データに基づいて、ボート４４ａのポジションＴＣＨへフォーク５９を移動するように、搬送装置制御部１５０を制御する。搬送装置制御部１５０は補正教示データに従い、例えば図１１に示すようにボート４４ａのポジションＴＣＨへフォーク５９を移動するように移載機構４７の移動動作を制御する。
図１１は、ポジションＴＣＨ及びＰ３へフォークを挿入されたボートの一例のイメージ図である。図１１に示したように、カメラ８０ａ及び８０ｂはポジションＴＣＨ及びＰ３に移載機構４７を移動させた状態でボート４４ａの３ヶ所のボート溝を撮影可能に設置されている。
ステップＳ１１４において、自律制御部１３０はボート４４ａのポジションＴＣＨでカメラ８０ａ、８０ｂが撮影を行うように制御を行う。画像データ取得部１１０はカメラ８０ａ、８０ｂがボート４４ａのポジションＴＣＨで撮影した画像データを取得する。
ステップＳ１１６において、画像処理部１２０はボート４４ａのポジションＴＣＨでカメラ８０ａ、８０ｂが撮影した画像データを画像処理し、ボート溝、フォーク５９、及びウエハＷの位置関係を３ヶ所のボート溝で数値化する。
例えば画像処理部１２０は、ポジションＴＣＨでカメラ８０ａ、８０ｂが撮影した画像データを画像処理することにより、フォーク５９が保持するウエハＷの下面とボート溝の上面との距離、支柱５２とウエハＷのエッジとの距離、などを測定する。
ステップＳ１１８において自律制御部１３０は、測定した距離が設計基準値を満たしているか否かを判定する。設計基準値を満たしていなければ、自律制御部１３０はステップＳ１２０において誤差分の補正動作を行い、設計基準値を満たすまでフォーク５９の移動動作の位置補正を繰り返し行う。
設計基準値を満たしていれば、自律制御部１３０はステップＳ１２４の処理に進む。自律制御部１３０はボート４４ａのポジションＰ３でカメラ８０ａ、８０ｂに撮影を行わせるように制御を行う。画像データ取得部１１０は、カメラ８０ａ、８０ｂがボート４４ａのポジションＰ３で撮影した画像データを取得する。
ステップＳ１２６において、画像処理部１２０はボート４４ａのポジションＰ３でカメラ８０ａ、８０ｂが撮影した画像データを画像処理し、ボート溝、フォーク５９、及びウエハＷの位置関係を３ヶ所のボート溝で数値化する。
例えば画像処理部１２０は、ポジションＰ３においてカメラ８０ａ、８０ｂが撮影した画像データを画像処理することにより、ボート溝が保持するウエハＷの下面とフォーク５９のウエハ設置面との距離、支柱５２とウエハＷのエッジとの距離、などを測定する。
ステップＳ１２８において自律制御部１３０は、測定した距離が設計基準値を満たしているか否かを判定する。設計基準値を満たしていなければ、自律制御部１３０はステップＳ１３０において誤差分の補正動作を行い、設計基準値を満たすまでフォーク５９の移動動作の位置補正を繰り返し行う。
ステップＳ１３２において、自律制御部１３０は設計基準値を満たしたフォーク５９の移動動作の位置補正の結果に従い、補正教示データをデータベース１６０に記憶することによりフィードバックする。
なお、図８及び図１０に示したフローチャートの処理は、ボート４４ａを高さにより上下２ヶ所、又は３ヶ所以上のエリアに分け、エリアごとに行うことで、精度を更に向上させることができる。
本実施形態によれば、熱処理装置１０の運用下において所定間隔でステップＳ１６以降の処理を行うことにより、設計基準値が満たされるようにフォーク５９の移動動作の位置を補正しながら熱処理装置１０の運用を継続できる。したがって、本実施形態によればＭＴＢＦ（平均故障間隔）を延長させることができ、稼働率を向上させることで、熱処理装置１０の付加価値を向上できる。また、本実施形態によればＭＴＴＲ（平均復旧時間）を短縮させることができ、稼働率及び品質を向上させることで、熱処理装置１０の付加価値を向上できる。
また、本実施形態によれば、データベース１６０に記憶されている変位データを解析することで、例えば移載機構４７及びボート４４の挙動把握が可能となる。さらに、本実施形態によれば、データベース１６０に記憶されている変位データを解析することで、異常検知及び故障検知が容易となり、熱処理装置１０の付加価値を向上できる。例えばデータベース１６０に記憶されている変位データを解析することで、熱処理装置１０の熱変異挙動のログが可能となり、変異データが機械設計の示す物理変化量を超過する前に超過予測を行うことで、保守の適正時期の通知を行うことも可能となる。
このように、本実施形態の自律移載処理によれば、移載機構４７の物理限界やプロセスの成膜分布限界を超えない限り、ウエハＷの搬送を起因とするＭＴＢＦを延長することができる。プロセスの成膜分布限界は、例えば偏心オプティマイザ機能による調整限界から検出するようにしてもよい。
また、本実施形態によれば、例えば作業員による調整作業よりもスタートアップ（装置の据え付け）時や石英治具交換後の調整作業の時間が短縮できると共に、高精度調整による移載マージンを増加させることができる。また、本実施形態によれば移載マージンの増加によりＭＴＴＦ（平均故障時間）が延びることが期待でき、熱処理装置１０の付加価値を向上できる。
また、本実施形態では画像処理により、収納容器２１又は２２の溝や爪などの支持部の位置、ボート４４ａ又は４４ｂの溝や爪などの支持部の位置、移載機構４７のフォーク５９の位置、及びウエハＷの位置関係を数値化しているが、光学センサなどを併用するようにしてもよい。また、本実施形態では、ボート４４ａ又は４４ｂ上のウエハＷのセンタリング（Centering）が実現可能であり、移載機構４７基準でボート４４ａ又は４４ｂの傾きを計算から解析できる。また、本実施形態では、フォーク５９が保持するウエハＷの位置ずれをカメラ８０ｂが撮影した画像データから解析し、位置ずれの偏差分を補正してウエハＷの移載を継続するようにしてもよい。
なお、上記の実施形態では、上下に対向配置された天板と底板との間に複数本の支柱が設けられ、各支柱の内側面に複数の溝部が形成され、溝部にウエハＷの周縁部が挿入され支持される、いわゆるラダーボートを例に挙げて説明したが、ラダーボートの形状に限定されない。
例えば、上下に対向配置された天板と底板との間に複数本の支柱が設けられ、複数本の支柱に平らな支持面を備えたリング部材が設けられ、リング部材の支持面でウエハＷを支持する、いわゆるリングボートにも適用できる。また、その他の特殊な形状のボートにも適用可能である。
本開示の実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。また、上記の実施形態は、添付の特許請求の範囲、及びその趣旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。
１０ 熱処理装置
２１、２２ 収納容器
４４、４４ａ、４４ｂ ボート
４７ 移載機構
５２ 支柱
５９ フォーク
８０ａ、８０ｂ カメラ
１００ 制御装置
１１０ 画像データ取得部
１２０ 画像処理部
１２２ ウエハ取得画像処理部
１２４ ウエハ載置画像処理部
１３０ 自律制御部
１３２ 移載教示部
１３４ 位置補正部
１４０ カメラ制御部
１５０ 搬送装置制御部
１６０ データベース
１７０ レシピ実行部
１８０ ウエハ移載制御部
Ｗ ウエハ

Claims (9)

  1. 基板処理装置の搬送装置による被処理基板の搬送を制御する情報処理装置であって、
    前記被処理基板を載置可能な容器に前記被処理基板を載置する前記搬送装置の第１移動動作及び前記容器から前記被処理基板を取得する第２移動動作を、教示データに従って制御する搬送装置制御手段と、
    前記容器の前記被処理基板の載置位置を撮影可能に設置された撮影装置から、前記第１移動動作及び前記第２移動動作を撮影した画像データを取得する画像データ取得手段と、
    前記画像データに基づき、前記容器及び前記被処理基板の位置関係を数値化する画像処理手段と、
    数値化された前記容器及び前記被処理基板の位置関係の判定を行い、判定結果に基づいて前記搬送装置の前記第１移動動作及び第２移動動作の補正データを出力する位置補正手段と
    を有する情報処理装置。
  2. 前記位置補正手段は、数値化された前記容器及び前記被処理基板の位置関係と、前記位置関係の設計基準値と、の比較を行い、判定結果が異常範囲でなければ、判定結果に基づいて前記搬送装置の前記第１移動動作及び前記第２移動動作の補正データを出力し、判定結果が異常範囲であれば、前記搬送装置の前記第１移動動作及び前記第２移動動作を教示する移載教示手段に、前記第１移動動作及び前記第２移動動作の教示を要求すること
    を特徴とする請求項１記載の情報処理装置。
  3. 前記画像処理手段により数値化された前記容器の前記載置位置、前記搬送装置、及び前記被処理基板の位置関係に基づいて、前記容器の前記載置位置に前記被処理基板を載置する前記搬送装置の前記第１移動動作及び前記第２移動動作の教示を行う移載教示手段、
    を更に有する請求項１又は２記載の情報処理装置。
  4. 前記画像データ取得手段は、前記被処理基板と、前記被処理基板を搭載する前記容器において前記被処理基板を支持する少なくとも３点の支持部と、の位置関係を画像処理により数値化できる画像データを取得し、
    前記画像処理手段は、前記３点の支持部のそれぞれについて、前記被処理基板と、前記被処理基板を搭載する前記容器の前記３点の支持部と、の位置関係を数値化し、
    前記位置補正手段は、前記３点の支持部のそれぞれについて、前記被処理基板と、前記被処理基板を搭載する前記容器の前記３点の支持部と、の位置関係の判定を行い、判定結果に基づいて前記搬送装置の前記第１移動動作及び前記第２移動動作の補正データを出力すること
    を特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の情報処理装置。
  5. 前記画像処理手段は、前記搬送装置の第２移動動作のうち、前記搬送装置が前記被処理基板を取得する前の第１の位置に移動したときに撮影した第１の画像データと、前記搬送装置の第１移動動作のうち、前記搬送装置が前記被処理基板を載置する前の第２の位置に移動したときに撮影した第２の画像データと、に基づき、前記第１の位置及び前記第２の位置における前記容器及び前記被処理基板の位置関係を数値化し、
    前記位置補正手段は、数値化された前記第１の位置及び前記第２の位置における前記容器の前記載置位置及び前記被処理基板の位置関係の判定を行い、判定の結果に基づいて前記搬送装置の前記第１移動動作及び第２移動動作の補正データを出力すること
    を特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の情報処理装置。
  6. 前記撮影装置は、前記搬送装置の前記第１移動動作及び第２移動動作が可能な上下左右方向及び前後方向のうち、前記容器の前記載置位置の前記上下左右方向の誤差を撮影可能な複数の撮影部と、前記容器の前記載置位置の前記前後方向の誤差を撮影可能な少なくとも１つの撮影部と、を有する請求項１乃至５の何れか一項に記載の情報処理装置。
  7. 前記容器は、前記搬送装置により搬送された複数の前記被処理基板を支持するボート（Ｂｏａｔ）であること
    を特徴とする請求項１乃至６の何れか一項に記載の情報処理装置。
  8. 基板処理装置の搬送装置による被処理基板の搬送を制御する情報処理装置の移載位置補正方法であって、
    前記被処理基板を載置可能な容器に前記被処理基板を載置する前記搬送装置の第１移動動作及び前記容器から前記被処理基板を取得する第２移動動作を、教示データに従って制御する搬送装置制御ステップと、
    前記容器の前記被処理基板の載置位置を撮影可能に設置された撮影装置から、前記第１移動動作及び前記第２移動動作を撮影した画像データを取得する画像データ取得ステップと、
    前記画像データに基づき、前記容器及び前記被処理基板の位置関係を数値化する画像処理ステップと、
    数値化された前記容器及び前記被処理基板の位置関係の判定を行い、判定結果に基づいて前記搬送装置の前記第１移動動作及び第２移動動作の補正データを出力する位置補正ステップと
    を有する移載位置補正方法。
  9. 基板処理装置を処理する基板処理装置であって、
    被処理基板を載置可能な容器に前記被処理基板を載置する又は前記容器から前記被処理基板を取得する搬送手段と、
    前記容器の前記被処理基板の載置位置を撮影可能に設置された撮影手段と、
    前記容器に前記被処理基板を載置する前記搬送手段の第１移動動作及び前記容器から前記被処理基板を取得する第２移動動作を、教示データに従って制御する搬送装置制御手段と、
    前記撮影手段から、前記第１移動動作及び前記第２移動動作を撮影した画像データを取得する画像データ取得手段と、
    前記画像データに基づき、前記容器及び前記被処理基板の位置関係を数値化する画像処理手段と、
    数値化された前記容器及び前記被処理基板の位置関係の判定を行い、判定結果に基づいて前記搬送手段の前記第１移動動作及び第２移動動作の補正データを出力する位置補正手段と
    を有する基板処理装置。
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