JP2005193303A

JP2005193303A - 基板搬送装置

Info

Publication number: JP2005193303A
Application number: JP2003434929A
Authority: JP
Inventors: Kimihiro Shimoyama; 公宏下山; Akihiko Matsukura; 明彦松倉; Masaru Higuchi; 優樋口
Original assignee: Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Current assignee: Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date: 2003-12-26
Filing date: 2003-12-26
Publication date: 2005-07-21

Abstract

【課題】基板の位置を精度よく検出すること。
【解決手段】この基板搬送装置１００は、機軸６を備える装置本体５と、ガラス基板２を載置するハンド４と、ハンド４が取り付けられるアーム７と、ハンド４を往復動させる往復動機構７４とを備える。ハンド４は、往復動機構７４を介してアーム７を構成する第２アーム７２の旋回軸７３に取り付けられる。アーム７は第１アーム７１と第２アーム７２とで構成される。第２アーム７２は、第１アーム７１に対して旋回可能に取り付けられる。また第１アームは機軸６に取り付けられ、機軸６に対して旋回可能に構成される。ハンド４はハンドベース４１とハンドフォーク４２とで構成され、ハンドフォーク４２の両外側には第１及び第２側部端縁検出センサ９ａ、９ｂが取り付けられる。また、フォーク４２の付け根部分には、第１及び第２傾き検知センサ８ａ、８ｂが取り付けられる。
【選択図】図１

Description

本発明は、液晶表示パネルに代表される電気表示パネルを構成する基板を搬送する技術に関する。

液晶表示パネルの液晶パネル製造装置に液晶用ガラス基板を搬送する際には、液晶用ガラス基板を液晶パネル製造装置の適正な位置へ搬送する必要がある。そのため液晶用ガラス基板が収納されているカセットからこれを搬出する際に液晶用ガラス基板の位置を検出して、液晶用ガラス基板を搬出するロボットハンドと液晶用ガラス基板との位置ずれを算出し、両者のずれ量を補正してプロセス装置の適正な位置に搬送する技術が特許文献１及び２に開示されている。
特開平１０−２７７９８６号公報特開平１０−３３８３４６号公報

しかし、特許文献１及び２に開示されている技術では、液晶用ガラス基板の幅方向の位置を検出する手段は、液晶用ガラス基板の片側端のみに設けられている。このため、液晶用ガラス基板の形状寸法に誤差がある場合、液晶用ガラス基板の位置を正確に算出することができないという問題がある。また、液晶用ガラス基板の幅方向の位置を検出する動作及び補正する動作は、架台に設置されたレ−ル上で基板搬送装置本体を移動させて行う。このため、液晶用ガラス基板を載置するハンドとは離れた位置でハンドを動作させることになる。その結果、液晶用ガラス基板の位置を正確に算出することや、精度よく液晶パネル製造装置内へ液晶用ガラス基板を配置することが難しいという問題もある。

また、上記特許文献１、２に開示された技術では、架台に設置されたレ−ル上で基板搬送装置本体を移動させるので、基板搬送装置本体を液晶用基板の幅方向に移動させる走行設備が必要となる。その結果、基板搬送装置全体が大型となり重量も増加し、基板搬送装置の製造コストも増加してしまう。これは、基板搬送装置本体を固定した状態で使用し、床面上を移動する必要のない場合においては特に顕著である。さらに、基板搬送装置の走行設備は、重量の大きな基板搬送装置本体を液晶用ガラス基板の位置検出精度よりも高い位置精度で動作させる必要がある。このため、走行設備には高い精度が要求され、基板搬送装置の製造コストが増加してしまう。

そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、基板の位置を精度よく検出し、基板搬送装置の製造コストを抑えることのできる基板搬送装置を提供することを目的とする。

上述の目的を達成するために、本発明に係る基板搬送装置は、基板を搬送するものであって、前記基板の基板面に垂直な軸の周囲を回転可能な機軸を備える装置本体と、前記基板を載置するハンドと、前記ハンドを第１端部に配置し、第２端部は前記装置本体の前記機軸に取り付けられ、前記基板に対して接近、離間することにより前記ハンドを前記基板に向けて進行、後退させるとともに、前記基板を搬送するアームと、前記アームの第１端部に取り付けられて、前記ハンドをその進行方向に対して直交する方向へ往復運動させる往復動機構と、を含んで構成されることを特徴とする。

この発明に係る基板搬送装置は、アームの第１端部に取り付けられる往復動機構により、ハンドの進行方向と直交する方向にハンドを動作させることができる。これにより、基板を載置するハンドを基板面と平行に往復移動させることができるので、ガラスの位置検出や補正動作をするときには、基板搬送装置全体を移動させる必要はない。また、基板を載置するハンドを直接、又はハンドに近い位置で往復運動させることができる。その結果、基板の位置を精度よく検出することができる。また、基板搬送装置を移動させるための設備が不要となるので、基板搬送装置の製造コストを低減できるとともに、基板搬送装置全体を小型化できる。

また、次の本発明に係る基板搬送装置は、前記基板搬送装置において、前記ハンドが前記基板に対して進行する方向に直交する方向における前記ハンドの両外側には、前記基板の側部端縁を検出するための側部端縁検出センサが少なくとも１個づつ配置されることを特徴とする。

この発明に係る基板搬送装置は、基板の側部端縁検出センサをハンドの両外側に少なくとも１個づつ配置しているので、基板の幅の大きさに違いがあっても正確に基板の位置を検出できる。その結果、液晶パネル製造装置に精度よく基板の位置を検出して、液晶パネル製造装置内へ位置決めして搬入することができる。

また、次の本発明に係る基板搬送装置は、前記基板搬送装置において、前記側部端縁検出センサの間隔は、前記基板の側部端縁間距離と略同じ大きさであることを特徴とする。

この発明に係る基板搬送装置は、ハンドの両外側に配置する側部端縁検出センサの間の距離を、基板の幅と略同じ距離とする。これにより、基板の幅の大きさに違いがあっても正確に基板の位置を検出できる。その結果、液晶パネル製造装置に精度よく基板の位置を検出して、液晶パネル製造装置内へ位置決めして設置することができる。

また、次の本発明に係る基板搬送装置は、前記基板搬送装置において、さらに、前記ハンドの前記アーム側には、前記ハンドと対向する前記基板の端縁を検出し、前記基板と前記ハンドとの傾きを求めるために用いる傾き検出センサが、前記基板に対して前記ハンドが進行する方向に直交し、かつ当該方向と平行な直線上へ２個配置されることを特徴とする。

この傾き検出センサにより、基板の傾きを検出できるので、より正確に基板の位置を検出できる。その結果、さらに精度よく基板の位置を検出して、液晶パネル製造装置内へ位置決めして前記基板を搬入することができる。なお、直線上とは、完全に同一直線上に２個の傾き検出センサが配置される場合のみならず、製造誤差や通常考えられる程度に２個の傾き検出センサがすれて配置される場合も含まれる（以下同様）。

また、次の本発明に係る基板搬送装置は、前記基板搬送装置において、前記ハンドの先端部分には、前記ハンドと対向する前記基板の端縁とは反対側の端縁を検出し、前記基板と前記ハンドとの傾きを求めるために用いる傾き検出センサが、前記基板に対して前記ハンドが進行する方向に直交し、かつ当該方向と平行な直線上へ２個配置されることを特徴とする。

この発明に係る基板搬送装置では、傾き検出センサをハンドの先端に設けているので、ハンドの先端部分を基板へ送り込めば、基板とハンドとの傾きを求めることができる。これにより、ハンドを基板の方向へ進める動作中に、基板とハンドとの傾きを修正することができるので、当該傾きの修正時間を短縮できる。

また、次の本発明に係る基板搬送装置は、前記基板搬送装置において、前記ハンドの先端部分に、前記ハンドと対向する前記基板の端縁とは反対側の端縁を検出するための端縁検出センサを設けることを特徴とする。

また、次の本発明に係る基板搬送装置は、前記基板搬送装置において、前記ハンドの前記アーム側に、前記ハンドと対向する前記基板の端縁を検出するための端縁検出センサを設けることを特徴とする。

また、次の本発明に係る基板搬送装置は、前記基板搬送装置において、前記基板に対する前記ハンドの進行方向と平行な直線上に、一方の前記傾き検出センサと前記端縁検出センサとが配置されるとともに、一方の前記傾き検出センサと前記端縁検出センサとの距離は、前記基板に対する前記ハンドの進行方向における前記基板の長さと略同じ大きさであることを特徴とする。

これらの基板搬送装置では、基板の端縁検出センサを備えるので、基板に対するハンドの進行方向に対しても、基板の位置を検出できる。これにより、基板の当該方向における大きさに違いがあっても、正確に基板の前後位置を検出できるので、液晶パネル製造装置に基板を搬送した場合には、精度よく基板を位置決めできる。

また、次の本発明に係る基板搬送装置のように、前記基板搬送装置において、前記側部端縁検出センサ、前記傾き検出センサ又は前記端縁検出センサのうち少なくとも一つはエリアセンサを使用してもよい。

本発明に係る基板搬送装置は、大型で重量の大きい基板搬送装置全体を移動させる走行設備と比較して、ハンドのみを往復動させる機構で構成できる。その結果、基板の位置を精度よく検出できるとともに、基板搬送装置の製造コストを抑えることができ、また、設置面積を抑えることができ、設備投資を抑えることができる。

以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、下記実施例によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施例における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、あるいは実質的に同一のものが含まれる。また、本発明は、液晶パネルに用いるガラス基板の搬送のみならず、プラズマパネル、エレクトロルミネッセンスパネルその他の電気光学パネルに使用する基板の搬送にも適用できる。なお、以下の説明では、上記基板として、液晶パネルに用いるガラス基板を例とする。

図１は、本発明の実施例１に係る基板搬送装置を示す平面図である。図２は、本発明の実施例１に係る基板搬送装置を示す側面図である。図１に示すように、液晶ガラス基板（以下ガラス基板）２を収納したカセット１から液晶の液晶パネル製造装置３０にガラス基板２を搬送する場合、基板搬送装置１００を使用する。液晶の液晶パネル製造装置３０へガラス基板２を搬送する際におけるガラス基板２の位置決めには高い精度が要求される。

特に一辺の長さが１ｍを超えるような大判のガラス基板を取り扱う場合には、液晶パネル製造装置３０へガラス基板を搬入し、設置した後は位置の修正が極めて困難であり、そのままではガラス基板の損傷を招くおそれがある。また、液晶パネル製造装置にも悪影響を与えるおそれもあるので、特に高い位置決め精度が要求される。一方、カセット１内に収納されているガラス基板２は、カセット１を搬送する際の振動等により、カセット１内で移動する場合がある。そして、多段に収納されたそれぞれのガラス基板２は、カセット１に対して位置、姿勢がばらつく場合があり、カセット１に対するガラス基板２の位置精度が確保されている保証はない。

さらに、製造設備コスト低減の観点から液晶基板搬送ロボットは、低コストのロボットが求められる。本発明者らは、かかる問題点を鋭意研究した結果、本発明の実施例１に係る基板搬送装置では、次に説明するような構成を採用することにより、前記問題点を解決するに至った。

本発明の実施例１に係る基板搬送装置１００の基本的な構成は、図１に示すように、基板搬送装置１００に搭載されたハンド４でガラス基板２の位置を検出し、基板位置制御装置５０でガラス基板２の傾きやずれを算出する。そして、この算出結果に基づいて基板搬送装置１００でガラス基板２の位置を補正し、液晶パネル製造装置３０に搬入するものである。

図１、図２に示すように、基板搬送装置１００には、装置本体５に対して図１中の矢印Ｒ方向に旋回動作可能な機軸６が配置される。また、図２に示すように、この機軸６は、装置本体５に対して垂直方向（図２中矢印Ｚａ方向）に往復動作ができるように構成される。機軸６には、アーム７が取り付けられている。アーム７は、機軸６に対して回動可能な第１アーム７１、及び第１アーム７１に対して回動可能に連結される第２アーム７２とで構成される。アーム７は、ハンド４が配置される第１端部７αと、機軸６へ回転可能に取り付けられる第２端部７βとを備える。

第２アーム７２の第１アーム７１に連結される側と反対側の端部（第１端部７α）には、旋回軸７３が設けられている。この旋回軸７３には、往復動機構７４を介してハンドベース４１が取り付けられる。ハンドベース４１は、ハンドフォーク４２とともに、ガラス基板を載置・吸着するハンド４を構成する。このような構成により、ハンド４は、水平方向（図１の矢印Ｙａ方向）に直線動作可能となっている。すなわち、ハンド４は、ガラス基板２の基板面に対して平行に往復運動することができる。また、往復動機構７４を動作させることにより、ハンド４は、その進行方向に対して直交する方向（図１の矢印Ｘａ方向）にも直線運動することができる。また、ガラス基板２の前方端縁２ｌｅに対して略平行に直線運動することもできる。

第１アーム７１を機軸６に対して回転させ、第２アーム７２を第１アーム７１に対して回動させるとともに、旋回軸７３を第２アーム７２に対して回転させることにより、アーム７に取り付けられるハンド４が、装置本体５とカセット１との間を直線往復動作するように構成される。これにより、ハンド４をカセット１の方向（図１、図２中のＹａ方向）に直線動作させ、ハンド４をカセット１内に挿入してガラス基板２をハンドフォーク４２上へ載置し、これをカセット１の外部へ取り出すことができる。

図３−１、図３−２は、本発明の実施例１に適用できる他のアームを備える基板搬送装置を示す説明図である。この基板搬送装置１００'が備えるアーム７ａは、ハンド４が配置される第１端部７αと、機軸６に取り付けられる第２端部７βとを備える。アーム７ａは、第１アーム７１ａに第２アーム７２ａが図３−１の矢印Ｙａ方向に出し入れ可能に挿入されており、アーム７ａの全長を変化させることができる。

第１アーム７１ａの一端は機軸６に固定されており、アーム７ａは機軸６に回転可能に取り付けられている。また、第２アーム７２ａの一端には旋回軸７３が設けられている。この旋回軸７３には、往復動機構７４を介してハンド４が取り付けられている。

ハンド４は、ハンドベース４１及びハンドフォーク４２を含んで構成される。そして、ハンドフォーク４２のガラス基板載置側には、ハンド４の進行方向に対して直交する方向に平行な直線上に位置するように、第１傾き検出センサ８ａ、第２傾き検出センサ８ｂが配置される。この例において、第１傾き検出センサ８ａ、第２傾き検出センサ８ｂは、ハンド４のアーム７側に配置される。さらに、ハンドフォーク４２の外側４２ｏ₁、４２ｏ₂（図５−１）には、ハンド４の進行方向に対して直交する方向に平行な直線上に位置するように、第１側部端縁検出センサ９ａ、及び第２側部端縁検出センサ９ｂが配置されている。なお、第１及び第２側部端縁検出センサ９ａ、９ｂは、ハンド４の進行方向に対して直交する方向に平行な直線上に位置することが好ましいが、これに限定されるものではない。この第１側部端縁検出センサ９ａと第２側部端縁検出センサ９ｂとのセンサ間距離Ｗｈは、ガラス基板２の幅Ｗと略同じ大きさである。また、第１及び第２側部端縁検出センサ９ａ、９ｂは、ハンド４の動作方向中心線ＨｃＬから等間隔に振り分けられた位置に配置される。ここで、ハンド４の動作方向は、ハンド４の進行方向に対して直交する方向（図１の矢印Ｘａ方向）である。

前記センサ間距離Ｗｈを、ガラス基板２の幅Ｗと略同じ大きさとすることにより、後述する位置合わせにおけるハンド４の動作距離を小さくできる。これにより、当該位置合わせに要する時間を短縮できる。

実施例１で使用する前記第１傾き検出センサ８ａや前記第１側部端縁検出センサ９ａ等は、ガラス基板２の端縁がセンサの光を遮光することによりガラス基板２の位置を検出する機能を備えるセンサである。また、ハンドフォーク４２のガラス基板載置側には、ガラス基板２を搬送する際にこれを吸着する吸着手段４３が複数個備えられている。この吸着手段４３には、例えばバキュームチャックを使用することができる。次に、ハンド４が取り付けられている往復動機構７４について説明する。

図４−１は、ハンドを搭載する往復動機構の平面図である。図４−２は、ハンドを搭載する往復動機構の正面図である。図４−１、図４−２に示すように、往復動機構７４は、ハンド４のハンドベース４１を取り付けるブロック７５が、ブロックガイド７６に沿って往復直線運動するように構成される。このブロック７５は、ボールねじ７７を介してモータ７８によって駆動されて往復直線運動する。また、往復動機構７４は、旋回軸７３の回転軸Ｚｂを中心として旋回する。

ここで、ハンド４及びガラス基板２の各部の名称について説明する。図５−１は、ハンド及びガラス基板の各部の名称を説明する平面図である。図５−２は、ハンド及びガラス基板の各部の名称を説明する側面図である。図５−１に示すように、ガラス基板２のハンド４と対向する端縁を前方端縁２ｌｅという。ガラス基板２の前方端縁２ｌｅは、ハンド４と対向する側の端縁であり、ガラス基板２に対するハンド４の進行方向反対側におけるガラス基板２の端縁である。また、ガラス基板２に対するハンド４の進行方向側におけるガラス基板２の端縁を後方端縁２ｔｅという。後方端縁２ｔｅは、前方端縁２ｌｅの反対側における端縁である。ガラス基板２の前方端縁２ｌｅ、後方端縁２ｔｅに隣接する端縁を、側部端縁という。便宜上、第１側部端縁検出センサ９ａによって検出される端縁を第１側部端縁２ｓ１といい、第２側部端縁検出センサ９ｂによって検出される端縁を第２側部端縁２ｓ２という。

ハンド４のガラス基板２と対向する端部をハンド４の先端部分という。便宜上、第１側部端縁検出センサ９ａが取り付けられているハンドフォーク４２の先端部分を第１先端部分４２ａ₁といい、第２側部端縁検出センサ９ｂが取り付けられているハンドフォーク４２の先端部分を第２先端部分４２ａ₂という。ハンドフォーク４２がハンドベース４１に取り付けられている部分を、ハンドフォークの付け根部分あるいは取り付け部分という。便宜上、第１側部端縁検出センサ９ａが取り付けられているハンドフォーク４２の付け根部分（取り付け部分）を第１付け根部分（取り付け部分）４２ｂ₁といい、第２側部端縁検出センサ９ｂが取り付けられているハンドフォーク４２の先端部分を第２付け根部分（取り付け部分）４２ｂ₂という。

図５−１、図５−２に示すＹ軸は、ハンド４の進行方向となる。Ｘ軸はＹ軸と直交し、Ｙ軸と同一平面内に存在する軸である。Ｚ軸はＸ軸とＹ軸とに直交する軸であり、鉛直軸となる。また、Ｚ軸は、ガラス基板２の基板面と直交する軸でもある。図１、図２に示す機軸６の回転軸Ｚａ及び旋回軸７３の回転軸Ｚｂはそれぞれ前記Ｚ軸と平行である。すなわち、ハンド４及びアーム７は、ガラス基板２の基板面に垂直な軸の周囲を回転することになる。

ガラス基板２は、本発明において、ハンド４の進行方向（Ｙ軸方向）と直交する方向、すなわちＸ軸方向を幅とし、ハンド４の進行方向（Ｙ軸方向）、すなわちＹ軸方向を長さとし、Ｚ軸方向を厚さとして取り扱う。また、ガラス基板２のハンド４と対向する側をガラス基板２の前あるいは前方とし、その反対側をガラス基板２の後ろあるいは後方として取り扱う。

図６は、本発明の実施例１に係る基板搬送装置が備える基板位置制御装置を示す説明図である。基板位置制御装置５０は、処理部５０ｐと、記憶部５０ｍとを含んで構成される。処理部５０ｐは、さらに傾き算出部５１と、中心軸ズレ算出部５２と、補正値算出部５３と、駆動信号生成部５４とを含んで構成される。ここで、傾き算出部５１と、中心軸ズレ算出部５２と、補正値算出部５３と、駆動信号生成部５４とが、本発明の実施例１に係る基板位置制御手順を実行する部分となる。

記憶部５０ｍと、傾き算出部５１と、中心軸ズレ算出部５２と、補正値算出部５３と、駆動信号生成部５４とは、基板位置制御装置５０の入出力ポート（Ｉ／Ｏ）５５を介して接続される。これにより、記憶部５０ｍと、基板位置制御装置５０とは、それぞれ双方向でデータをやり取りできるように構成される。なお、装置構成上の必要に応じて片方向でデータを送受信するようにしてもよい。

基板位置制御装置５０の入出力ポート（Ｉ／Ｏ）５５には、基板搬送装置１００の第１傾き検出センサ８ａや第１側部端縁検出センサ９ａ等が接続されており、これらの検出信号に基づいて、処理部５０ｐが基板搬送装置１００のハンド４の傾きを補正する。また、基板位置制御装置５０の入出力ポート（Ｉ／Ｏ）５５には、基板搬送装置１００のアーム７やハンド４を動作させるためのコントローラ５６が接続されており、このコントローラ５６が駆動信号生成部５４から駆動信号を取得して、アーム７やハンド４を補正値算出部５３で求められた補正値にしたがって駆動する。

記憶部５０ｍには、本発明の実施例１に係る基板位置制御手順を含むコンピュータプログラムや、基板搬送装置１００のティーチングデータ等が格納されている。ここで、記憶部５０ｍは、ＲＡＭ（Random Access Memory）のような揮発性のメモリ、フラッシュメモリ等の不揮発性のメモリ、あるいはこれらの組み合わせにより構成することができる。また、処理部５０ｐは、メモリ及びＣＰＵにより構成することができる。

上記コンピュータプログラムは、処理部５０ｐにすでに記録されているコンピュータプログラムとの組み合わせによって、本発明の実施例１に係る基板位置制御手順を実現できるものであってもよい。この処理部５０ｐは、前記コンピュータプログラムの代わりに専用のハードウェアを用いて、傾き算出部５１、中心軸ズレ算出部５２、補正値算出部５３、駆動信号生成部５４の機能を実現するものであってもよい。

図７は、本発明の実施例１に係る基板搬送装置がガラス基板を取り出すときの状態を示す平面図である。図８は、本発明の実施例１に係る基板搬送装置で用いる位置補正手順を示すフローチャートである。図７、８を用いて、本発明の実施例１に係る基板搬送装置１００がカセット１からガラス基板２を取り出して液晶パネル製造装置３０へ搬送する手順を説明する。なお、この説明では、適宜図１〜６も参照されたい。

図７に示すように、基板搬送装置１００のアーム７を動作させて、カセット１内に多段に収納されたガラス基板２の間にハンド４を挿入していく（ステップＳ１０１）。すると、ハンド４に設置された第１傾き検出センサ８ａ及び第２傾き検出センサ８ｂが、ガラス基板２の前方端縁２ｌｅを検出する（ステップＳ１０２）。ここで、第１傾き検出センサ８ａ及び第２傾き検出センサ８ｂが検出した前方端縁２ｌｅ上の点を、それぞれ第１前縁検出点８ａｐ、第２前縁検出点８ｂｐと定義する。傾き算出部５１は、前縁検出点間距離ｙと、傾き検出センサ間距離Ｘｓとから、式（１）により所定の（正しい）位置にある場合のガラス基板２１とガラス基板２の傾きθ、すなわちガラス基板２とハンド４との傾きθを算出する（ステップＳ１０３）。
θ＝ｔａｎ^-1（ｙ／Ｘｓ）・・・（１）
ここで、前縁検出点間距離ｙは、ハンド４ｃの進行方向（図７中矢印Ｙａ方向）における第１前縁検出点８ａｐと第２前縁検出点８ｂｐとの距離であり、傾き検出センサ間距離Ｘｓは、第１傾き検出センサ８ａと第２傾き検出センサ８ｂとの距離である。なお、第１傾き検出センサ８ａ及び第２傾き検出センサ８ｂは、ガラス基板２がカセット内の側端側にずれている場合でもガラス基板２の前方端縁２ｌｅを検出できるように、ガラス基板２の幅内に位置するように配置される。このため、傾き検出センサ間距離Ｘｓは、ガラス基板の幅よりも小さくする。

この傾きθを、基板搬送装置１００が備える機軸６の旋回動作とアーム７の直進動作とによって補正する（ステップＳ１０４）。このとき、補正値算出部５３は、傾き算出部５１によって求められた前記傾きθに基づき、ハンド４の傾きの補正量を算出し、基板搬送装置１００の駆動信号を生成する。これにより、ガラス基板２とハンド４との前後方向の位置関係を、所定の位置関係に合わせることができる。

図９は、傾き補正後におけるハンドとガラス基板との位置関係を示す例の平面図である。ハンド４の傾きを補正することにより、ハンド４とガラス基板２との前後方向は正しい位置関係に補正されるが、図７に示すように、ガラス基板２の中心線ＧｃＬとハンド４の動作方向中心線ＨｃＬとの位置関係はずれている場合がある。この場合には、ガラス基板２の中心線ＧｃＬとハンド４の動作方向中心線ＨｃＬとを合わせる処理が必要になる。この処理手順について説明する。

図１０−１、図１０−２は、ガラス基板の中心線とハンドの中心線とを合わせる手順を示す説明図である。まず、第１側部端縁検出センサ９ａと第２側部端縁検出センサ９ｂとを用いて、ガラス基板２の側部端縁を検出する（ステップＳ１０５）。図１０−１に示すように、往復動機構７４によりハンド４を図１０−１の矢印Ｍの方向に動作させると、第１側部端縁検出センサ９ａがガラス基板２の第１側部端縁２ｓ１を検出する。図１０−２に示すように、さらにハンド４を動作させると、第２側部端縁検出センサ９ｂのガラス基板端縁検出信号がＯＦＦになり、第２側部端縁検出センサ９ｂがガラス基板２の第１側部端縁２ｓ１に到達したと判定できる。ここで、第１側部端縁検出センサ９ａ、第２側部端縁検出センサ９ｂが検出した、第１、第２側部端縁２ｓ１、２ｓ２上の点を、それぞれ第１側縁検出点Ｐ１、第２側縁検出点Ｐ２と定義する。

ここで、往復動機構７４によるハンド４の水平移動量Δｘは、検出した第１側縁検出点Ｐ１、第２側縁検出点Ｐ２の位置に基づき式（２）で求められる。
Δｘ＝｜（Ｐ１の位置データ）−（Ｐ２の位置データ）｜・・・（２）

中心軸ズレ算出部５２は、ハンド４の水平移動量Δｘからガラス基板２の中心線ＧｃＬとハンド４の動作方向中心線ＨｃＬとのズレ量を求め、補正値算出部５３がハンド４の補正量を算出する（ステップＳ１０６）。ここで、ガラス基板２の中心線ＧｃＬとハンド４の動作方向中心線ＨｃＬとのずれは、Δｘ／２となり、これがハンド４の補正量となる。そして、第２側部端縁検出センサ９ｂが検出した第２側縁検出点Ｐ２位置からΔｘ／２だけハンド４を矢印Ｍとは反対方向に動作させれば、ガラス基板２の中心線ＧｃＬとハンド４の動作方向中心線ＨｃＬとは一致する。これにより、ガラス基板２とハンド４の位置が修正され所定の位置関係に合わせることができる。

次に、ガラス基板２の第１、第２側部端縁２ｓ１、２ｓ２と、第１、第２側部端縁検出センサ９ａ、９ｂとの位置関係の違いによる、中心軸ズレ量補正手順について説明する。図１１−１、図１１−２は、ガラス基板の中心線とハンドの中心線とを合わせる手順を示す説明図である。図１１−１に示すように、第２側部端縁検出センサ９ｂが先に第２側部端縁２ｓ２を検出した場合でも、第１側部端縁検出センサ９ａが第１側部端縁２ｓ１を検出するまでハンド４を図１１−１の矢印Ｍの方向に動作させれば、往復動機構７４によるハンド４の水平移動量Δｘは、上記式（２）で求められる。

ガラス基板２の中心線ＧｃＬとハンド４の動作方向中心線ＨｃＬとのずれは、Δｘ／２となり、これがハンド４の補正量となる。そして、第１側部端縁検出センサ９ａが検出した第１側縁検出点Ｐ１位置からΔｘ／２だけハンド４を矢印Ｍとは反対方向に動作させれば、ガラス基板２の中心線ＧｃＬとハンド４の動作方向中心線ＨｃＬとは一致する。これにより、ガラス基板２とハンド４の位置が修正され所定の位置関係に合わせることができる。

図１２−１〜図１２−３は、ガラス基板の幅Ｗがセンサ間距離Ｗｈよりも小さい場合においてガラス基板の中心線とハンドの中心線とを合わせる手順を示す説明図である。ガラス基板２とハンド４との傾きを修正して、両者が図１２−１に示すような位置関係になったとき、すなわちガラス基板２の幅Ｗがセンサ間距離Ｗｈよりも小さいため、第１、第２側部端縁２ｓ１、２ｓ２が未検出である場合は、まず第１側部端縁検出センサ９ａが第１側部端縁２ｓ１を検出するまで、図１２−２の矢印Ｍの方向にハンド４を動作させる。次に、第２側部端縁検出センサ９ｂが第２側部端縁２ｓ２を検出するまで、図１２−２の矢印Ｍとは反対方向（図１０−３中矢印Ｍ'方向）にハンド４を動作させる。すると、往復動機構７４によるハンド４の水平移動量Δｘは、上記式（２）で求められる。

このとき、ガラス基板２の中心線ＧｃＬとハンド４の動作方向中心線ＨｃＬとのずれは、Δｘ／２となり、これがハンド４の補正量となる。そして、第２側部端縁検出センサ９ｂが検出した第２側縁検出点Ｐ２位置からΔｘ／２だけハンド４を矢印Ｍ'とは反対方向に動作させれば、ガラス基板２の中心線ＧｃＬとハンド４の動作方向中心線ＨｃＬとは一致する。これにより、ガラス基板２とハンド４の位置が修正され所定の位置関係に合わせることができる。なお、この説明では、第１側部端縁検出センサ９ａからガラス基板２の第１側部端縁２ｓ１を検出させているが、第２側部端縁検出センサ９ｂからガラス基板２の第２側部端縁２ｓ２を検出させてもよい。そのときには、第１側部端縁検出センサ９ａが検出した第１側縁検出点Ｐ１の位置からΔｘ／２だけ、第１側部端縁検出センサ９ａが第１側縁検出点Ｐ１を検出した際のハンド４の動作方向とは反対方向にハンド４を動作させれば、ガラス基板２の中心線ＧｃＬとハンド４の動作方向中心線ＨｃＬとを一致させることができる。

図１３−１〜図１３−３は、ガラス基板の幅Ｗがセンサ間距離Ｗｈよりも大きい場合においてガラス基板の中心線とハンドの中心線とを合わせる手順を示す説明図である。ガラス基板２とハンド４との傾きを修正して、両者が図１３−１に示すような位置関係になったときについて説明する。これは、ガラス基板２の幅Ｗがセンサ間距離Ｗｈよりも大きいため、第１、第２側部端縁検出センサ９ａ、９ｂがガラス基板２の第１、第２側部端縁２ｓ１、２ｓ２の両方を検出している状態である。この場合は、まず第１側部端縁検出センサ９ａが第１側部端縁２ｓ１を検出するまで（出力がＯＦＦになるまで）、図１３−２の矢印Ｍ'の方向にハンド４を動作させる。次に、第２側部端縁検出センサ９ｂが第２側部端縁２ｓ２を検出するまで（出力がＯＦＦになるまで）、図１３−２の矢印Ｍ'とは反対方向（図１３−３中矢印Ｍ方向）にハンド４を動作させる。すると、往復動機構７４によるハンド４の水平移動量Δｘは、上記式（２）で求められる。

このとき、ガラス基板２の中心線ＧｃＬとハンド４の動作方向中心線ＨｃＬとのずれは、Δｘ／２となり、これがハンド４の補正量となる。そして、第２側部端縁検出センサ９ｂが検出した第２側縁検出点Ｐ２位置からΔｘ／２だけハンド４を矢印Ｍとは反対方向に動作させれば、ガラス基板２の中心線ＧｃＬとハンド４の動作方向中心線ＨｃＬとは一致する。これにより、ガラス基板２とハンド４の位置が修正され所定の位置関係に合わせることができる。なお、この説明では、第１側部端縁検出センサ９ａからガラス基板２の第１側部端縁２ｓ１を検出させているが、第２側部端縁検出センサ９ｂからガラス基板２の第２側部端縁２ｓ２を検出させてもよい。そのときには、第１側部端縁検出センサ９ａが検出した第１側縁検出点Ｐ１の位置からΔｘ／２だけ、第１側部端縁検出センサ９ａが第１側縁検出点Ｐ１を検出した際のハンド４の動作方向とは反対方向にハンド４を動作させれば、ガラス基板２の中心線ＧｃＬとハンド４の動作方向中心線ＨｃＬとを一致させることができる。

補正値算出部５３がハンド４の補正量を算出したら（ステップＳ１０６）、駆動信号生成部５４は基板搬送装置１００の駆動信号を生成し、往復動機構７４を駆動する。これによって、ガラス基板２とハンド４の位置を所定の位置関係に合わせることができる（ステップＳ１０７）。ハンド４とガラス基板２との傾き及び中心軸ズレを補正したら（ステップＳ１０７）、ハンドフォーク４２に設けられた吸着手段４３によりガラス基板２を吸着する（ステップＳ１０８）。その後、基板搬送装置１００は、液晶パネル製造装置３内へガラス基板２を搬入して、すべての処理手順が終了する。

図１４は、実施例１の変形例に係る基板搬送装置が備えるハンドを示す説明図である。既に説明したハンド４（図１参照）は、ハンドフォーク４２を２本備えるが、図１４に示すハンド４'のように、ハンドフォーク４２'をさらに備えてもよい。すなわち、ハンドフォークをハンドベース４１に取り付ける構成では、ハンドフォークの本数は問わない。

以上、本発明の実施例１及びその変形例に係る基板搬送装置は、ハンドとアーム７との間又は装置本体とアームとの間に、ハンドの進行方向と直交する方向にハンドを動作させる往復動機構を備えているので、ガラスの位置検出や補正動作をするときに基板搬送装置全体を移動させる必要はない。これにより、基板搬送装置を移動させるための設備が不要となるので基板搬送装置全体を小型化でき、基板搬送装置の製造コストを低減できる。また、基板を載置するハンドを直接、又はハンドに近い位置で往復運動させて位置決めしたり、液晶パネル製造装置内へ搬入したりすることができる。これにより、ガラス基板の位置を精度よく検出することができ、またガラス基板を液晶パネル製造装置内へ精度よく搬入し、配置することができる。

また、ガラス基板の側部端縁検出センサをガラス基板の幅と略同じ距離に２個配置しているので、ガラス基板の幅の大きさに違いがあっても正確にガラス基板の位置を検出できる。その結果、液晶パネル製造装置に精度よくガラス基板の位置を検出して搬送し、液晶パネル製造装置内へ精度よく位置決めして設置することができる。特に、一辺が２ｍにおよぶ大判のガラス基板は、一旦液晶パネル製造装置内へ搬入し、設置すると位置の修正が極めて困難である。そして、ガラス基板の設置位置がずれた場合には、液晶パネル製造装置での配向膜形成やパターン形成等に支障をきたすおそれがある。本発明の実施例１に係る基板搬送装置は、液晶パネル製造装置に精度よくガラス基板を搬入し、設置できるので、このような問題が発生するおそれを極めて低減できる。さらに、本発明の実施例１に係る基板搬送装置は、側部端縁検出センサをガラス基板の幅形状とほぼ同じ距離に２個配置しているので、端縁のセンシング時間が短くて済み、ガラス基板を搬送する時間の短縮化を図ることができる。

また、本発明の実施例１に係る基板搬送装置は、ハンドを交換するだけで、寸法の異なる多種類のガラス基板の搬送に対応することもできる。なお、本発明の実施例１で説明した各構成は、以下の実施例に対しても適宜適用できる。また、本発明の実施例１と同様の構成を備える以上、少なくとも本発明の実施例１と同様の作用、効果を奏する。

本発明の実施例２に係る基板搬送装置は、上記実施例１に係る基板搬送装置と略同一の構成であるが、基板とハンドとの傾きを検出する傾き検出センサをハンドフォークの先端に設けたハンドを備える点が異なる。その他の構成は実施の形態１と同様なのでその説明を省略するとともに、同一の構成要素には同一の符号を付する。

図１５は、本発明の実施例２に係る基板搬送装置が備えるハンドを示す平面図である。図１６は、本発明の実施例２に係る基板搬送装置が備えるハンドによる傾きの検出を示す説明図である。図１５に示すように、このハンド４ａは、ハンドフォーク４２の先端に、第１傾き検出センサ８ａ、第２傾き検出センサ８ｂが配置される。ガラス基板２を取り出す際には、図１５−２に示すように、ガラス基板２の下部へハンド４を挿入する。このとき、ハンドフォーク４２の先端に設けられた第１傾き検出センサ８ａ及び第２傾き検出センサ８ｂが、ガラス基板２の前方端縁２ｌｅを検出する。そして、傾き算出部５１は、前縁検出点間距離ｙと、傾き検出センサ間距離Ｘｓとから、上記式（１）により所定の（正しい）位置にある場合のガラス基板２１とガラス基板２の傾きθ、すなわちガラス基板２とハンド４との傾きθを算出する。

次に、ガラス基板２の中心線ＧｃＬとハンド４の動作方向中心線ＨｃＬとを合わせるため、第１及び第２側部端縁検出センサ９ａ、９ｂによりガラス基板２の側部端縁を検出する。このため、ハンド４をガラス基板２が格納されている方向（図１５中の矢印Ｙａ方向）へ進める。実施例２によれば、この動作中にガラス基板２とハンド４との傾きθを修正することができる。

本発明の実施例１に係る上記基板搬送装置では、傾き検出センサをハンドフォークの付け根、すなわち、ハンドフォークがハンドベースに設けられている部分の近傍に設けられている。このため、ハンドフォークの付け根近傍までガラス基板２へ送り込まないと、ガラス基板２とハンド４との傾きθを求めることができなかった。しかし、本発明の実施例２では、傾き検出センサをハンドフォークの先端に設けているので、この部分をガラス基板２へ送り込めば、ガラス基板２とハンド４との傾きθを求めることができる。これにより、ハンド４の根元までガラス基板２の下部へ送り込む必要はないので、実施例１と比較して、この送り込む時間の分だけガラス基板２とハンド４との傾きθを求める時間を短縮できる。また、ハンドをガラス基板が格納されている方向へ進める動作中に、ガラス基板とハンドとの傾きθを計算し、当該傾きを修正することができるので、当該傾きの修正時間を短縮できる。

本発明の実施例３に係る基板搬送装置は、上記実施例１に係る基板搬送装置と略同一の構成であるが、ハンドの進行方向側に存在する基板の端縁を検出する端縁検出センサを、さらにハンドフォークの先端に設けたハンドを備える点が異なる。その他の構成は実施の形態１と同様なのでその説明を省略するとともに、同一の構成要素には同一の符号を付する。

図１７−１、図１７−２は、本発明の実施例３に係る基板搬送装置が備えるハンドを示す平面図である。このハンド４ｂは、片方のハンドフォーク４２の先端部に、ガラス基板２の長さを検出する端縁検出センサ１２を設置している。ここで、第２傾き検出センサ８ｂと端縁検出センサ１２との距離Ｌ１は、ガラス基板２の長さＬと略同じ距離とすることが好ましい。このようにすれば、端縁検出センサ１２と第２傾き検出センサ８ｂとでガラス基板２の前方端縁２ｌｅと後方端縁２ｔｅとを検出する際の移動量を小さくできるので、端縁検出に要する時間を短縮でき、好ましい。また、端縁検出センサ１２と第２傾き検出センサ８ｂとは、ハンド４の進行方向と平行な直線上に配置されることが好ましいが、これに限定されるものではない。

端縁検出センサ１２は、ガラス基板２の端縁がセンサの光を遮光することによりガラス基板２の位置を検出するようなセンサである。なお、実施例２に係る基板搬送装置が備えるハンド４ｂ（図１５参照）のように、ハンドフォーク４２の先端に第１傾き検出センサ８ａ、第２傾き検出センサ８ｂが配置される場合には、図１７−２に示すハンド４ｂ'のように、端縁検出センサ１２をアーム側（ハンドフォーク４２の付け根部分近傍）に配置する。

実施例１で説明したように、ハンド４はガラス基板２を収納しているカセット１内に移動する。そして、第１、第２傾き検出センサ８ａ、８ｂ、及び第１、第２側部端縁検出センサ９ａ、９ｂによりハンド４とガラス基板２との相対的な位置を検出し、その結果に基づいてハンド４とガラス基板２とが所定の位置関係になるように動作する。

図１８−１、図１８−２は、ガラス基板の長さ方向におけるハンドとガラス基板との相対的な位置関係を補正する例を示す説明図である。ハンドとガラス基板との傾き及び中心軸とを所定の位置関係となるように補正した状態としてから、ガラス基板の長さ方向におけるハンドとガラス基板との相対的な位置関係を補正する。端縁検出センサ１２がガラス基板２の前方端縁２ｌｅを検出していない場合、すなわちガラス基板２の長さＬが第２傾き検出センサ８ｂと端縁検出センサ１２との距離Ｌ１よりも小さい場合は、端縁検出センサ１２がガラス基板２の後方端縁２ｔｅを検出するまでハンド４を矢印Ｎの方向に動作させる（図１８−２）。このときのハンド４の動作量Δｙは、図１８−１に示す状態から端縁検出センサ１２がガラス基板２の後方端縁２ｔｅを検出するまで動作した距離である。その後ハンド４を矢印Ｎと反対の方向にΔｙ／２動作させれば、ハンド４とガラス基板２との相対的な位置を所定の位置に合わせることができる。

図１９−１、図１９−２は、ガラス基板の長さ方向におけるハンドとガラス基板との相対的な位置関係を補正する例を示す説明図である。図１９−１に示す状態は、端縁検出センサ１２がガラス基板２の前方端縁２ｌｅを検出している場合、すなわちガラス基板２の長さＬが第２傾き検出センサ８ｂと端縁検出センサ１２との距離Ｌ１よりも大きい場合である。この場合は、端縁検出センサ１２の出力がＯＦＦになるまで、すなわち端縁検出センサ１２がガラス基板２の後方端縁２ｔｅを越えるまでハンド４を矢印Ｎ'の方向に動作させる（図１９−２）。このときのハンド４の動作量ｙは、図１９−
１に示す状態から端縁検出センサ１２がガラス基板２の後方端縁２ｔｅを検出するまで動作した距離である。その後ハンド４を矢印Ｎ'と反対の方向にΔｙ／２動作させれば、ハンド４とガラス基板２との相対的な位置を所定の
位置に合わせることができる。

以上、本発明の実施例３によれば、ガラス基板の端縁検出センサを、ガラス基板の長さと略同じ距離に配置している。このため、搬送するガラス基板の長さに違いがあっても正確にガラス基板の前後位置を検出できるので、液晶パネル製造装置にガラス基板を搬送した場合には、精度よくガラス基板を位置決めできる。また、端縁検出センサをガラス基板の長さと略同じ距離に配置しているので、後方端縁のセンシング時間を短縮でき、ガラス基板を搬送する時間を短縮できる。

本発明の実施例４に係る基板搬送装置は、上記実施例１に係る基板搬送装置と略同一の構成であるが、ガラス基板の端縁を検出する第１、第２傾き検出センサ、及び第１、第２側部端縁検出センサにエリアセンサを用いる点が異なる。その他の構成は実施の形態１と同様なのでその説明を省略するとともに、同一の構成要素には同一の符号を付する。

図２０−１、図２０−２は、本発明の実施例４に係る基板搬送装置が備えるハンドによるガラス基板とハンドとの相対的な位置関係を補正する例を示す説明図である。本発明の実施例４で用いるエリアセンサとは、遮光した光の量に応じた出力を得られるセンサであり、スポットでなく長さを持った範囲を検出することができる。なお、本発明の実施例４に使用するエリアセンサは、細径の反射式光ファイバセンサを必要数直列に配置して構成してもよい。

図２０−１に示すように、本発明の実施例４に係る基板搬送装置が備えるハンド４ｃをカセット１内の所定の位置に入れる。ガラス基板２が傾いていた場合、第１検出センサ１０ａと第２傾き検出センサ１０ｂとを遮る範囲がｙ₁、ｙ₂となり、両者には差があるため、センサ出力にも差が生ずる。傾き算出部５１（図５参照）は、両センサの出力差からハンド４ｃとガラス基板との傾きθを求め、補正値算出部５３は、両センサの出力が同じになるように基板搬送装置１００の機軸６の旋回動作と、アーム７の直進動作によって、ハンド４ｃとガラス基板２との傾きθを補正する。これによって、ガラス基板２とハンド４との前後方向を所定の位置関係に合わせることができる。

このとき、図２０−２に示すように、ガラス基板２とハンド４との幅方向における相対的な位置がずれている場合、第１側部端縁検出センサ１１ａと第２側部端縁検出センサ１１ｂとを遮る範囲がｘ₁、ｘ₂となり、両者には差があるのでセンサ出力にも差が生ずる。このとき、中心軸ズレ算出部５２は、両センサの出力差から、ガラス基板２の中心線ＧｃＬとハンド４ｃの動作方向中心線ＨｃＬとのズレ量を求める。そして、補正値算出部５３は、両センサの出力が同じになるように、往復動機構７４によってハンド４ｃを移動させて補正することにより、ガラス基板２の中心線ＧｃＬとハンド４ｃの動作方向中心線ＨｃＬとを合わせる。その結果、ハンド４ｃとガラス基板２との幅方向における相対的な位置を所定の位置関係にあわせることができる。ハンド４ｃとガラス基板２とを所定の位置関係に合わせたら、ハンド４ｃでガラス基板２を吸着して液晶パネル製造装置３０へ搬送する。

本発明の実施例５に係る基板搬送装置は、上記実施例１に係る基板搬送装置と略同一の構成であるが、ガラス基板の前方端縁を検出する第１、第２傾き検出センサと、ガラス基板の側部端縁を検出する第１、第２側部端縁検出センサとを共用する点が異なる。その他の構成は実施の形態１と同様なのでその説明を省略するとともに、同一の構成要素には同一の符号を付する。

図２１−１は、本発明の実施例５に係る基板搬送装置が備えるハンドを示す平面図である。図２１−２は、本発明の実施例２に係る基板搬送装置が備えるハンドによる傾きの検出を示す説明図である。このハンド４ｄは、ハンドフォーク４２の外側４２ｏ₁、４２ｏ₂（図５−１）に、ハンド４の進行方向に対して直交する方向に略同一直線上に位置するように、第１端縁検出センサ１３ａ、及び第２端縁検出センサ１３ｂが配置されている。この第１端縁検出センサ１３ａと第２端縁検出センサ１３ｂとのセンサ間距離Ｗｈは、ガラス基板２の幅Ｗよりも小さくしてある。また、第１及び第２端縁検出センサ１３ａ、１３ｂは、ハンド４の動作方向中心線ＨｃＬから等間隔に振り分けられた位置に配置される。

ガラス基板２を取り出す際には、図２１−２に示すように、ガラス基板２の下部へハンド４を挿入する。このとき、ハンドフォーク４２の外側４２ｏ₁、４２ｏ₂（図５−１）に設けられた第１端縁検出センサ１３ａ及び第２端縁検出センサ１３ｂが、ガラス基板２の前方端縁２ｌｅを検出する。ここで、第１端縁検出センサ１３ａ及び第２端縁検出センサ１３ｂが検出した前方端縁２ｌｅ上の点を、それぞれ第１前縁検出点１３ａｐ、第２前縁検出点１３ｂｐと定義する。傾き算出部５１は、第１前縁検出点１３ａｐと第２前縁検出点１３ｂｐとの前縁検出点間距離ｙ'と、センサ間距離Ｗｈとから、式（３）により所定の（正しい）位置にある場合のガラス基板２１とガラス基板２の傾きθ、すなわちガラス基板２とハンド４との傾きθを算出する（ステップＳ１０３）。
θ＝ｔａｎ^-1（ｙ'／Ｗｈ）・・・（３）
その後、先の実施例に示すように、ハンド４とガラス基板２との傾きを補正して、両者の位置を合わせる。

次に、ガラス基板２の中心線ＧｃＬとハンド４の動作方向中心線ＨｃＬとを合わせるため、第１及び第２端縁検出センサ１３ａ、１３ｂによりガラス基板２の側部端縁を検出する。このため、ハンド４をその進行方向と直交する（図２１−２中の矢印Ｙａと直交する）方向へ移動させる。そして、先の実施例と同様に前記中心線同士を合わせ、ハンド４とガラス基板２とを所定の位置関係に合わせる。

以上、本発明の実施例５では、ガラス基板の前方端縁を検出する第１、第２傾き検出センサと、ガラス基板の側部端縁を検出する第１、第２側部端縁検出センサとを共用するので、ガラス基板の端縁を検出するセンサの個数を低減することができる。これにより、ハンド４の構成を簡素化することができる。

以上のように、本発明に係る基板搬送装置は、液晶パネルやプラズマパネル等の電気光学表示パネルに用いる基板の搬送に有用である。

本発明の実施例１に係る基板搬送装置を示す平面図である。本発明の実施例１に係る基板搬送装置を示す側面図である。本発明の実施例１に適用できる他のアームを備える基板搬送装置を示す説明図である。本発明の実施例１に適用できる他のアームを備える基板搬送装置を示す説明図である。ハンドを搭載する往復動機構の平面図である。ハンドを搭載する往復動機構の正面図である。ハンド及びガラス基板の各部の名称を説明する平面図である。ハンド及びガラス基板の各部の名称を説明する側面図である。本発明の実施例１に係る基板搬送装置が備える基板位置制御装置を示す説明図である。本発明の実施例１に係る基板搬送装置がガラス基板を取り出すときの状態を示す平面図である。本発明の実施例１に係る基板搬送装置で用いる位置補正手順を示すフローチャートである。傾き補正後におけるハンドとガラス基板との位置関係を示す例の平面図である。ガラス基板の中心線とハンドの中心線とを合わせる手順を示す説明図である。ガラス基板の中心線とハンドの中心線とを合わせる手順を示す説明図である。ガラス基板の中心線とハンドの中心線とを合わせる手順を示す説明図である。ガラス基板の中心線とハンドの中心線とを合わせる手順を示す説明図である。ガラス基板の幅Ｗがセンサ間距離Ｗｈよりも小さい場合においてガラス基板の中心線とハンドの中心線とを合わせる手順を示す説明図である。ガラス基板の幅Ｗがセンサ間距離Ｗｈよりも小さい場合においてガラス基板の中心線とハンドの中心線とを合わせる手順を示す説明図である。ガラス基板の幅Ｗがセンサ間距離Ｗｈよりも小さい場合においてガラス基板の中心線とハンドの中心線とを合わせる手順を示す説明図である。ガラス基板の幅Ｗがセンサ間距離Ｗｈよりも大きい場合においてガラス基板の中心線とハンドの中心線とを合わせる手順を示す説明図である。ガラス基板の幅Ｗがセンサ間距離Ｗｈよりも大きい場合においてガラス基板の中心線とハンドの中心線とを合わせる手順を示す説明図である。ガラス基板の幅Ｗがセンサ間距離Ｗｈよりも大きい場合においてガラス基板の中心線とハンドの中心線とを合わせる手順を示す説明図である。実施例１の変形例に係る基板搬送装置が備えるハンドを示す説明図である。本発明の実施例２に係る基板搬送装置が備えるハンドを示す平面図である。本発明の実施例２に係る基板搬送装置が備えるハンドによる傾きの検出を示す説明図である。本発明の実施例３に係る基板搬送装置が備えるハンドを示す平面図である。本発明の実施例３に係る基板搬送装置が備えるハンドを示す平面図である。ガラス基板の長さ方向におけるハンドとガラス基板との相対的な位置関係を補正する例を示す説明図である。ガラス基板の長さ方向におけるハンドとガラス基板との相対的な位置関係を補正する例を示す説明図である。ガラス基板の長さ方向におけるハンドとガラス基板との相対的な位置関係を補正する例を示す説明図である。ガラス基板の長さ方向におけるハンドとガラス基板との相対的な位置関係を補正する例を示す説明図である。本発明の実施例４に係る基板搬送装置が備えるハンドによるガラス基板とハンドとの相対的な位置関係を補正する例を示す説明図である。本発明の実施例４に係る基板搬送装置が備えるハンドによるガラス基板とハンドとの相対的な位置関係を補正する例を示す説明図である。本発明の実施例５に係る基板搬送装置が備えるハンドを示す平面図である。本発明の実施例２に係る基板搬送装置が備えるハンドによる傾きの検出を示す説明図である。

符号の説明

１カセット
２、２１液晶ガラス基板（ガラス基板）
３液晶パネル製造装置
４、４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄハンド
５装置本体
６機軸
７、７ａアーム
８ａ、１０ａ第１傾き検出センサ
８ｂ、１０ｂ第２傾き検出センサ
９ａ、１１ａ第１側部端縁検出センサ
９ｂ、１１ｂ第２側部端縁検出センサ
１２端縁検出センサ
１３ａ第１端縁検出センサ
１３ｂ第２端縁検出センサ
２１ガラス基板
４１ハンドベース
４２ハンドフォーク
７１、７１ａ第１アーム
７２、７２ｂ第２アーム
７３旋回軸
７４往復動機構
７５ブロック
７７ブロックガイド
７８モータ
１００基板搬送装置

Claims

基板を搬送するものであって、
前記基板の基板面に垂直な軸の周囲を回転可能な機軸を備える装置本体と、
前記基板を載置するハンドと、
前記ハンドを第１端部に配置し、第２端部は前記装置本体の前記機軸に取り付けられ、前記基板に対して接近、離間することにより前記ハンドを前記基板に向けて進行、後退させるとともに、前記基板を搬送するアームと、
前記アームの第１端部に取り付けられて、前記ハンドをその進行方向に対して直交する方向へ往復運動させる往復動機構と、
を含んで構成されることを特徴とする基板搬送装置。
前記ハンドが前記基板に対して進行する方向に直交する方向における前記ハンドの両外側には、前記基板の側部端縁を検出するための側部端縁検出センサが少なくとも１個づつ配置されることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
前記側部端縁検出センサの間隔は、前記基板の側部端縁間距離と略同じ大きさであることを特徴とする請求項２に記載の基板搬送装置。
前記ハンドの前記アーム側には、前記ハンドと対向する前記基板の端縁を検出し、前記基板と前記ハンドとの傾きを求めるために用いる傾き検出センサが、前記基板に対して前記ハンドが進行する方向に直交し、かつ当該方向と平行な直線上へ２個配置されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の基板搬送装置。
前記ハンドの先端部分には、前記ハンドと対向する前記基板の端縁とは反対側の端縁を検出し、前記基板と前記ハンドとの傾きを求めるために用いる傾き検出センサが、前記基板に対して前記ハンドが進行する方向に直交し、かつ当該方向と平行な直線上へ２個配置されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の基板搬送装置。
前記ハンドの先端部分に、前記ハンドと対向する前記基板の端縁とは反対側の端縁を検出するための端縁検出センサを設けることを特徴とする請求項４に記載の基板搬送装置。
前記ハンドの前記アーム側に、前記ハンドと対向する前記基板の端縁を検出するための端縁検出センサを設けることを特徴とする請求項５に記載の基板搬送装置。
前記基板に対する前記ハンドの進行方向と平行な直線上に、前記端縁検出センサと一方の前記傾き検出センサとが配置されるとともに、前記端縁検出センサと一方の前記傾き検出センサとの距離は、前記基板に対する前記ハンドの進行方向における前記基板の長さと略同じ大きさであることを特徴とする請求項６又は７に記載の基板搬送装置。
前記側部端縁検出センサ、前記傾き検出センサ又は前記端縁検出センサのうち少なくとも一つはエリアセンサであることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の基板搬送装置。