WO2018139243A1

WO2018139243A1 - パネル搬送ロボット

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Publication number: WO2018139243A1
Application number: PCT/JP2018/000894
Authority: WO
Inventors: 賢俊赤羽; 典彦瀧澤
Original assignee: 日本電産サンキョー株式会社
Priority date: 2017-01-27
Filing date: 2018-01-16
Publication date: 2018-08-02
Also published as: TWI762558B; CN110198902A; JP2018118357A; CN110198902B; TW201833537A; JP6815211B2

Abstract

本願は、複数枚の表示パネルを収容可能なトレイに収容された表示パネルを搬出するパネル搬送ロボットは、表示パネルを把持するパネル把持部２４と、パネル把持部２４を移動させる移動機構とを備えている。パネル把持部２４は、トレイ内の表示パネルの有無を検知するためのパネル検知機構７４を備えている。パネル検知機構７４は、トレイ内の表示パネルに向かって光を射出する発光部８９と、表示パネルで反射された光を受光可能な位置に配置される受光部９０とを有する光学式の検知機構であり、パネル把持部２４がトレイ内の表示パネルを把持しようとするときに表示パネルの有無を検知する。

Description

パネル搬送ロボット

　本発明は、液晶パネル等の表示パネルを搬送するパネル搬送ロボットに関する。

　従来、携帯機器等で使用される液晶表示装置の組立ラインに組み込まれる搬送装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の搬送装置は、５個の搬送ユニットを備えており、各搬送ユニットには、液晶表示装置の組立工程における各種の工程が割り当てられている。また、この搬送装置は、トレイに収容された液晶パネルを搬送ユニットに供給する自動ローダーを備えている（特許文献１の図１９参照）。トレイには、複数枚の液晶パネルが収容されている。自動ローダーは、トレイに収容された液晶パネルを把持して、ロータリーインデックス上の位置決め用治具に供給する。また、自動ローダーは、トレイに収容された液晶パネルを１枚ずつ位置決め用治具に供給する。

国際公開第２０１２／１２０９５６号

　特許文献１に記載された液晶表示装置の組立ラインでは、トレイの所定の箇所に収容されているべき液晶パネルが、何らかの原因によって、トレイの所定の箇所に収容されておらず、トレイの中のパネルが抜けている場合がある。すなわち、この液晶表示装置の組立ラインでは、トレイの中でパネル抜けが発生している場合がある。この場合、自動ローダーが、トレイの所定の箇所で液晶パネルを把持しようとしても、液晶パネルを把持することができないため、エラーとなって自動ローダーが停止してしまうおそれがある。

　そこで、本発明の課題は、複数枚の表示パネルを収容可能なトレイに収容された表示パネルを搬出するパネル搬送ロボットにおいて、トレイの中でパネル抜けが発生していても、動作を継続することが可能なパネル搬送ロボットを提供することにある。

　上記の課題を解決するため、本発明のパネル搬送ロボットは、複数枚の表示パネルを収容可能なトレイに収容された表示パネルを搬出するパネル搬送ロボットにおいて、表示パネルを把持するパネル把持部と、パネル把持部を移動させる移動機構とを備え、パネル把持部は、トレイ内の表示パネルの有無を検知するためのパネル検知機構を備え、パネル検知機構は、トレイ内の表示パネルに向かって光を射出する発光部と、表示パネルで反射された光を受光可能な位置に配置される受光部とを有する光学式の検知機構であり、パネル把持部がトレイ内の表示パネルを把持しようとするときに表示パネルの有無を検知することを特徴とする。

　本発明において、パネル搬送ロボットは、たとえば、パネル把持部がトレイ内の表示パネルを把持しようとするときにパネル検知機構によって表示パネルが検知されないと、引き続き、トレイ内の別の箇所に収容された表示パネルを把持するための動作を行う。

　本発明のパネル搬送ロボットでは、表示パネルを把持するパネル把持部は、トレイ内の表示パネルの有無を検知するためのパネル検知機構を備えており、パネル検知機構は、パネル把持部がトレイ内の表示パネルを把持しようとするときに表示パネルの有無を検知する。そのため、本発明では、パネル把持部がトレイ内の表示パネルを把持しようとするときにパネル検知機構によって表示パネルが検知されれば、パネル搬送ロボットに、そのまま、表示パネルの把持動作を継続させることが可能になる。また、トレイの中でパネル抜けが発生していて、パネル把持部がトレイ内の表示パネルを把持しようとするときにパネル検知機構によって表示パネルが検知されなければ、パネル搬送ロボットに、引き続き、トレイの中の別の箇所に収容された表示パネルを把持するための動作をさせることが可能になる。したがって、本発明では、トレイの中でパネル抜けが発生していても、パネル搬送ロボットの動作を継続することが可能になる。

　また、本発明では、パネル検知機構は、トレイ内の表示パネルに向かって光を射出する発光部と、表示パネルで反射された光を受光可能な位置に配置される受光部とを有する光学式の検知機構である。また、一般に、表示パネルの表面はガラス面であるとともに、トレイは樹脂で形成されていて、トレイの表面は表示パネルの表面よりも粗面となっている。そのため、本発明では、パネル把持部が把持しようとする表示パネルがトレイの中にある場合には、発光部から射出され表示パネルの表面で鏡面反射された光が受光部に入射する。一方、パネル把持部が把持しようとする表示パネルがトレイの中にない場合には、たとえば、発光部から射出されトレイの表面で乱反射された光が受光部に入射する。したがって、本発明では、パネル把持部が把持しようとする表示パネルがトレイの中にある場合とない場合とで、受光部の受光量に差異が生じやすくなり、その結果、トレイ内の表示パネルの有無を適切に検知することが可能になる。

　本発明において、パネル検知機構は、発光部および受光部を有する受発光部と、発光部から射出され表示パネルで反射された光を表示パネルに向かって反射する反射部材とを有する回帰反射型の光学式の検知機構であり、受光部は、反射部材で反射された後に表示パネルで反射された光を受光可能な位置に配置されていることが好ましい。

　このように構成すると、パネル把持部が把持しようとする表示パネルがトレイの中にある場合には、発光部から射出された光が２回、表示パネルの表面で鏡面反射された後に受光部に入射する。一方、パネル把持部が把持しようとする表示パネルがトレイの中にない場合には、たとえば、発光部から射出された光が２回、トレイの表面で乱反射された後に受光部に入射する。したがって、トレイに収容される表示パネルと、トレイの、発光部からの光が照射される部分との、表示パネルの厚さ方向の距離が短くなっていても、パネル把持部が把持しようとする表示パネルがトレイの中にある場合とない場合とで、受光部の受光量に差異が生じやすくなる。そのため、トレイに収容される表示パネルと、トレイの、発光部からの光が照射される部分との、表示パネルの厚さ方向の距離が短くなっていても、トレイ内の表示パネルの有無を適切に検知することが可能になる。

　本発明において、パネル把持部は、表示パネルを吸着するパネル吸着部と、パネル検知機構およびパネル吸着部が取り付けられるベース部材とを備え、受発光部と反射部材とは、鉛直方向に直交する第１方向においてパネル吸着部を挟むように配置されるとともに、第１方向におけるベース部材の両端側のそれぞれに取り付けられていることが好ましい。

　このように構成すると、発光部から射出された光の表示パネルへの入射角を大きくすることが可能になる。したがって、トレイに収容される表示パネルと、トレイの、発光部からの光が照射される部分との鉛直方向の距離が短くなっていても、パネル把持部が把持しようとする表示パネルがトレイの中にある場合に表示パネルで反射された光の光軸と、パネル把持部が把持しようとする表示パネルがトレイの中にない場合にトレイで反射された光の光軸とのずれ量を大きくすることが可能になり、その結果、受光部に入射する光の光軸のずれ量を大きくすることが可能になる。そのため、トレイに収容される表示パネルと、トレイの、発光部からの光が照射される部分との鉛直方向の距離が短くなっていても、パネル把持部が把持しようとする表示パネルがトレイの中にある場合とない場合とで、受光部の受光量により大きな差異が生じやすくなり、トレイ内の表示パネルの有無をより適切に検知することが可能になる。

　本発明において、パネル把持部は、表示パネルを吸着するパネル吸着部と、パネル検知機構およびパネル吸着部が取り付けられるベース部材とを備え、受光部は、発光部から射出され表示パネルで反射された光を受光可能な位置に配置され、発光部と受光部とは、鉛直方向に直交する第１方向においてパネル吸着部を挟むように配置されるとともに、第１方向におけるベース部材の両端側のそれぞれに取り付けられていても良い。

　この場合でも、発光部から射出された光の表示パネルへの入射角を大きくすることが可能になる。したがって、トレイに収容される表示パネルと、トレイの、発光部からの光が照射される部分との鉛直方向の距離が短くなっていても、パネル把持部が把持しようとする表示パネルがトレイの中にある場合に表示パネルで反射された光の光軸と、パネル把持部が把持しようとする表示パネルがトレイの中にない場合にトレイで反射された光の光軸とのずれ量を大きくすることが可能になり、その結果、受光部に入射する光の光軸のずれ量を大きくすることが可能になる。そのため、トレイに収容される表示パネルと、トレイの、発光部からの光が照射される部分との鉛直方向の距離が短くなっていても、パネル把持部が把持しようとする表示パネルがトレイの中にある場合とない場合とで、受光部の受光量に差異が生じやすくなり、トレイ内の表示パネルの有無を適切に検知することが可能になる。

　本発明において、発光部から射出された光の表示パネルへの入射角は、４５°以上９０°未満となっていることが好ましい。この場合には、入射角は、たとえば、略６５°となっている。このように構成すると、トレイに収容される表示パネルと、トレイの、発光部からの光が照射される部分との、表示パネルの厚さ方向の距離が短くなっていても、パネル把持部が把持しようとする表示パネルがトレイの中にある場合に表示パネルで反射された光の光軸と、パネル把持部が把持しようとする表示パネルがトレイの中にない場合にトレイで反射された光の光軸とのずれ量を大きくすることが可能になり、その結果、受光部に入射する光の光軸のずれ量を大きくすることが可能になる。したがって、トレイに収容される表示パネルと、トレイの、発光部からの光が照射される部分との、表示パネルの厚さ方向の距離が短くなっていても、パネル把持部が把持しようとする表示パネルがトレイの中にある場合とない場合とで、受光部の受光量に差異が生じやすくなり、トレイ内の表示パネルの有無を適切に検知することが可能になる。

　本発明において、パネル把持部は、表示パネルを吸着するパネル吸着部と、表示パネルから引き出される配線を吸着する配線吸着部とを備えていることが好ましい。このように構成すると、パネル把持部が、表示パネルを吸着するパネル吸着部に加えて、表示パネルから引き出される配線を吸着する配線吸着部を備えているため、ＦＰＣ等の配線が表示パネルから引き出されていても、表示パネルを搬送する際の配線のふらつきを抑制することが可能になる。

　本発明において、パネル搬送ロボットは、パネル吸着部の吸引圧に基づいてパネル吸着部に表示パネルが吸着されているのか否かを検知するための第１圧力センサと、配線吸着部の吸引圧に基づいて配線吸着部に配線が吸着されているのか否かを検知するための第２圧力センサとを備えていることが好ましい。このように構成すると、パネル検知機構によって表示パネルが検知された後であって、第１圧力センサによってパネル吸着部に表示パネルが吸着されていることが確認され、かつ、第２圧力センサによって配線吸着部に配線が吸着されていることが確認された後に、パネル把持部によってトレイから表示パネルを搬出することが可能になる。したがって、パネル把持部によって表示パネルおよび配線を確実に把持した状態で、トレイから表示パネルを搬出することが可能になる。

　以上のように、本発明では、複数枚の表示パネルを収容可能なトレイに収容された表示パネルを搬出するパネル搬送ロボットにおいて、トレイの中でパネル抜けが発生していても、パネル搬送ロボットの動作を継続することが可能になる。

本発明の実施の形態にかかるパネル搬送ロボットが組み込まれる搬送システムの側面図である。図１のＥ－Ｅ方向から搬送システムを示す平面図である。図１に示すパネル搬送ロボットの斜視図である。図１に示す供給ユニットの斜視図である。図３に示すパネル搬送ロボットのパネル把持部の斜視図である。図５に示すパネル把持部を別の方向から示す斜視図である。図５に示す配線吸着部および位置調整機構を下側から示す斜視図である。図５に示すパネル吸着部および配線吸着部に接続される配管の経路を説明するための図である。図５に示すパネル検知機構の構成を説明するための概略図である。図５に示すパネル把持部による表示パネルの把持動作を説明するためのフローチャートである。

　以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

　（搬送システムの全体構成）
　図１は、本発明の実施の形態にかかるパネル搬送ロボット９が組み込まれる搬送システム１の側面図である。図２は、図１のＥ－Ｅ方向から搬送システム１を示す平面図である。図３は、図１に示すパネル搬送ロボット９の斜視図である。図４は、図１に示す供給ユニット１１の斜視図である。

　本形態のパネル搬送ロボット９（以下、「ロボット９」とする。）は、表示パネルである液晶パネル２を搬送するロボットである。このロボット９は、搬送システム１に組み込まれて使用される。搬送システム１は、携帯機器等で使用される液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれている。この搬送システム１は、液晶パネル２を搬送して、液晶パネル２に対して所定の処理を行う処理装置１４（図２参照）に液晶パネル２を供給する。

　液晶パネル２は、長方形の平板状に形成されている。液晶パネル２の厚さは、１（ｍｍ）程度となっている。液晶パネル２の、表示領域から外れた箇所には、液晶パネル２の検査データ等のデータが記録されている。液晶パネル２の、表示領域から外れた箇所に記録されるデータは、光学的に読取可能なデータである。本形態の搬送システム１で搬送される液晶パネル２には、ドライバＩＣが実装されている。また、液晶パネル２には、配線としてのＦＰＣ２ａ（図８）が接続されている。すなわち、配線基板であるＦＰＣ２ａが液晶パネル２から引き出されている。ＦＰＣ２ａは、たとえば、長方形の平板状に形成される液晶パネル２の一方の短辺から長辺に平行な方向へ引き出されている。なお、図２等では、ＦＰＣ２ａの図示を省略している。

　搬送システム１は、液晶パネル２を収容可能なトレイ３を搬送する２個のコンベヤ４、５を備えている。トレイ３は、樹脂で形成されている。トレイ３には、複数枚の液晶パネル２が収容可能となっている。液晶パネル２は、液晶パネル２の厚さ方向と上下方向（鉛直方向）とが一致するようにトレイ３に収容されている。トレイ３に収容される複数枚の液晶パネル２は、互いに重なっていない状態でトレイ３に収容されている。コンベヤ４、５は、複数段に積み重なったトレイ３（段積みされたトレイ３）を水平方向へ直線的に搬送する。

　以下の説明では、コンベヤ４、５によるトレイ３の搬送方向（図１等のＸ方向）を「前後方向」とし、上下方向（鉛直方向）と前後方向とに直交する方向（図１等のＹ方向）を「左右方向」とする。また、前後方向の一方側（図１等のＸ１方向側）を「前」側とし、その反対側（図１等のＸ２方向側）を「後ろ側」とし、左右方向の一方側（図２等のＹ１方向側）を「右」側とし、その反対側（図２等のＹ２方向側）を「左」側とする。本形態では、搬送システム１の後ろ側に処理装置１４が配置されている。

　また、搬送システム１は、トレイ３が載置される２個のトレイステージ６、７と、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７との間でトレイ３を搬送するロボット８と、トレイステージ６、７に載置されたトレイ３から液晶パネル２を搬出する上述のロボット９と、ロボット９から液晶パネル２を受け取って処理装置１４に供給する供給ユニット１１とを備えている。トレイステージ６、７は、コンベヤ４、５よりも後ろ側に配置されている。供給ユニット１１は、トレイステージ６、７よりも後ろ側に配置されている。

　また、搬送システム１は、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７とロボット８と供給ユニット１１とが設置される本体フレーム１２と、ロボット９が設置される本体フレーム１３とを備えている。本体フレーム１２の上面は、上下方向に直交する平面状に形成されており、本体フレーム１２の上面に、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７とロボット８と供給ユニット１１とが設置されている。本体フレーム１３は、略門型に形成された門型フレームであり、左右方向で本体フレーム１２の後端側部分を跨ぐように設置されている。ロボット９は、本体フレーム１３の上面部に設置されている。

　コンベヤ４、５は、複数のローラを備えるローラコンベヤである。コンベヤ４とコンベヤ５とは、左右方向で隣接配置されている。コンベヤ４は、段積みされたトレイ３を後ろ側へ向かって搬送し、コンベヤ５は、段積みされたトレイ３を前側に向かって搬送する。コンベヤ４で搬送されるトレイ３には、複数枚の液晶パネル２が収容されている。一方、コンベヤ５で搬送されるトレイ３には、液晶パネル２は収容されておらず、コンベヤ５で搬送されるトレイ３は空トレイとなっている。

　コンベヤ４の前端側には、仮置き用の棚（図示省略）から作業者によって運ばれてきた段積み状態のトレイ３が載置される。コンベヤ４の前端側に載置された段積み状態のトレイ３は、後ろ側へ搬送され、コンベヤ４の後端側まで搬送された段積み状態のトレイ３は、後述のようにロボット８によって段ばらしされる。また、コンベヤ５の後端側には、後述のようにロボット８によって空のトレイ３が段積みされる。所定の段数までトレイ３が段積みされると、段積み状態のトレイ３は、前側に搬送される。コンベヤ５の前端側まで搬送された段積み状態のトレイ３は、作業者によって空トレイ用の棚まで運ばれる。

　トレイステージ６、７には、１個のトレイ３が載置される。トレイステージ６とトレイステージ７とは、左右方向において所定の間隔をあけた状態で配置されている。トレイステージ６は、左右方向においてコンベヤ４と略同じ位置に配置され、トレイステージ７は、左右方向においてコンベヤ５と略同じ位置に配置されている。トレイステージ６、７の上面は、上下方向に直交する平面状に形成されている。

　ロボット８は、いわゆる３軸直交ロボットである。このロボット８は、門型に形成される本体フレーム１５と、本体フレーム１５に対して左右方向へのスライドが可能となるように本体フレーム１５に保持される可動フレーム１６と、可動フレーム１６に対して前後方向へスライドが可能となるように可動フレーム１６に保持される可動フレーム１７と、可動フレーム１７に対して上下方向へのスライドが可能となるように可動フレーム１７に保持される可動フレーム１８と、可動フレーム１８に取り付けられるトレイ把持部１９とを備えている。また、ロボット８は、可動フレーム１６を左右方向へスライドさせる駆動機構と、可動フレーム１７を前後方向へスライドさせる駆動機構と、可動フレーム１８を上下方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。

　本体フレーム１５は、左右方向でコンベヤ４、５を跨ぐように設置されている。可動フレーム１６は、本体フレーム１５の上面側に取り付けられている。この可動フレーム１６は、コンベヤ４、５に載置される段積み状態のトレイ３よりも上側に配置されている。可動フレーム１７は、可動フレーム１６の右側に取り付けられている。可動フレーム１８は、可動フレーム１７の後端側に取り付けられている。トレイ把持部１９は、可動フレーム１８の下端に取り付けられている。このトレイ把持部１９は、トレイ３を吸着して把持する複数の吸着部を備えている。

　ロボット８は、コンベヤ４からトレイステージ６、７へのトレイ３の搬送と、トレイステージ６、７からコンベヤ５へのトレイ３の搬送とを行う。具体的には、ロボット８は、コンベヤ４の後端側まで搬送された段積み状態のトレイ３をトレイステージ６またはトレイステージ７に１個ずつ搬送して、コンベヤ４上の段積み状態のトレイ３を段ばらしする。また、ロボット８は、空になった１個のトレイ３をトレイステージ６またはトレイステージ７からコンベヤ５の後端側に搬送して、コンベヤ５にトレイ３を段積みする。

　ロボット９は、いわゆるパラレルリンクロボットである。このロボット９は、本体部２０と、本体部２０に連結される３本のレバー２１と、３本のレバー２１のそれぞれに連結される３個のアーム部２２と、３個のアーム部２２に連結されるヘッドユニット２３と、液晶パネル２を把持するパネル把持部２４（図５等参照）とを備えている。ロボット９は、本体フレーム１３の上面部にぶら下がるように設置されている。また、本体部２０は、トレイステージ６、７の上方に配置されるとともに、ロボット８の本体フレーム１５よりも後ろ側に配置されている。なお、図１、図３では、パネル把持部２４の図示を省略している。

　３本のレバー２１は、本体部２０の外周側へ略等角度ピッチで略放射状に伸びるように本体部２０に連結されている。すなわち、３本のレバー２１は、本体部２０の外周側へ略１２０°ピッチで略放射状に伸びるように本体部２０に連結されている。また、３本のレバー２１の基端側は、本体部２０に回動可能に連結されている。本体部２０とレバー２１との連結部には、レバー２１を回動させる減速機付きのモータ２５が配置されている。本形態のロボット９は、３本のレバー２１のそれぞれを回動させる３個のモータ２５を備えている。モータ２５の出力軸は、レバー２１の基端側に固定されている。

　アーム部２２の基端側は、レバー２１の先端側に回動可能に連結されている。具体的には、アーム部２２は、互いに平行な直線状の２本のアーム２６によって構成されており、２本のアーム２６のそれぞれの基端側がレバー２１の先端側に回動可能に連結されている。ヘッドユニット２３は、３個のアーム部２２の先端側に回動可能に連結されている。ヘッドユニット２３の上端には、モータ２７が取り付けられている。

　パネル把持部２４は、ヘッドユニット２３の下端に取り付けられている。また、パネル把持部２４は、モータ２７に連結されており、モータ２７の動力によって上下方向を回転の軸方向とする回転が可能になっている。本形態では、本体部２０と３本のレバー２１と３個のアーム部２２とヘッドユニット２３と３個のモータ２５とモータ２７とによって、パネル把持部２４を移動させる移動機構２８が構成されている。パネル把持部２４の具体的な構成については後述する。

　ロボット９では、３個のモータ２５を個別に駆動することで、所定のエリア内において、上下方向、左右方向および前後方向の任意の位置へ、かつ、ヘッドユニット２３が一定の姿勢を保ったままの状態で（具体的には、パネル把持部２４が下側を向いたままの状態で）、ヘッドユニット２３を移動させることが可能になっている。ロボット９は、トレイステージ６、７上のトレイ３に収容された液晶パネル２を１枚ずつ搬出する。具体的には、ロボット９は、トレイステージ６、７上のトレイ３が空になるまでトレイ３から液晶パネル２を１枚ずつ搬出する。また、ロボット９は、トレイ３から搬出した液晶パネル２を後述のパネルステージ３９へ搬送する。

　供給ユニット１１は、液晶パネル２の位置合わせを行うためアライメント装置３０と、液晶パネル２に記録されたデータを読み取るデータ読取装置３１とを備えている。アライメント装置３０は、データ読取装置３１で液晶パネル２のデータが読み取られる前に液晶パネル２の位置合わせをする。また、供給ユニット１１は、データ読取装置３１でデータが読み取られた後の液晶パネル２を処理装置１４へ搬送するロボット３３と、処理装置１４へ搬送される液晶パネル２から静電気を除去するイオナイザー（静電気除去装置）３４と、アライメント装置３０で位置合わせされた後の液晶パネル２をロボット３３に向かって搬送する搬送装置３５と、アライメント装置３０で位置合わせされた液晶パネル２を搬送装置３５に搬送するロボット３６と、これらの構成が載置されて固定されるベース板３７とを備えている。

　アライメント装置３０は、ベース板３７の右前端側に載置されている。ロボット３３は、ベース板３７の左後端側に載置されている。データ読取装置３１は、ベース板３７の左前端側に載置されている。ロボット３６は、アライメント装置３０の後ろ側に隣接配置されている。搬送装置３５は、左右方向において、データ読取装置３１およびロボット３３と、アライメント装置３０との間に配置されている。イオナイザー３４は、搬送装置３５の上方に配置されている。ベース板３７は、本体フレーム１２の上面の後端側部分に載置されて固定されている。

　アライメント装置３０は、トレイステージ６、７上のトレイ３からロボット９によって搬出された液晶パネル２が載置されるパネルステージ３９と、上下方向を回動の軸方向としてパネルステージ３９を回動させるとともに左右方向と前後方向とにパネルステージ３９を移動させて液晶パネル２の位置合わせを行う移動機構とを備えている。また、アライメント装置３０は、パネルステージ３９よりも上側に配置されるカメラ４１および照明４２を備えている。

　搬送装置３５は、液晶パネル２が載置される４個のパネルステージ５２と、４個のパネルステージ５２を前後方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。ロボット３６は、液晶パネル２を吸着して把持するパネル把持部５５と、パネル把持部５５を上下方向および左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。ロボット３３は、液晶パネル２を吸着して把持する４個のパネル把持部５８と、４個のパネル把持部５８を上下方向および左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。

　ロボット３６は、アライメント装置３０で位置合わせされた後の液晶パネル２を、前側で停止しているパネルステージ５２に搬送する。パネルステージ５２に液晶パネル２が載置されると、搬送装置３５は、後ろ方向へパネルステージ５２を移動させて、液晶パネル２を搬送装置３５の後端側まで搬送する。ロボット３３は、搬送装置３５によって搬送装置３５の後端側まで搬送された液晶パネル２を処理装置１４に搬入する。

　データ読取装置３１は、光学的に読取可能なデータを読み取るカメラ６２と、カメラ６２を上下方向、前後方向および左右方向へスライドさせる駆動機構と、液晶パネル２に光を照射する照明とを備えている。データ読取装置３１は、アライメント装置３０での位置調整後に搬送装置３５のパネルステージ５２に載置された液晶パネル２のデータを読み取る。上述のように、イオナイザー３４は、搬送装置３５の上方に配置されている。また、イオナイザー３４は、データ読取装置３１よりも後ろ側に配置されており、データ読取装置３１でデータが読み取られた後の液晶パネル２の静電気を除去する。

　（パネル把持部の構成）
　図５は、図３に示すロボット９のパネル把持部２４の斜視図である。図６は、図５に示すパネル把持部２４を別の方向から示す斜視図である。図７は、図５に示す基板吸着部７２および位置調整機構７３を下側から示す斜視図である。図８は、図５に示すパネル吸着部７１および基板吸着部７２に接続される配管の経路を説明するための図である。図９は、図５に示すパネル検知機構７４の構成を説明するための概略図である。

　パネル把持部２４は、液晶パネル２を吸着するパネル吸着部７１と、液晶パネル２から引き出されるＦＰＣ２ａを吸着する配線吸着部としての基板吸着部７２とを備えている。本形態のパネル把持部２４は、２個の基板吸着部７２を備えている。また、パネル把持部２４は、パネル吸着部７１に対する基板吸着部７２の位置を調整するための位置調整機構７３と、トレイ３内の液晶パネル２の有無を検知するためのパネル検知機構７４とを備えている。さらに、パネル把持部２４は、パネル吸着部７１、位置調整機構７３およびパネル検知機構７４が取り付けられるベース部材７５を備えている。ベース部材７５は、略円形の平板状に形成されており、ベース部材７５の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。

　パネル吸着部７１は、ベース部材７５の下面側に取り付けられている。このパネル吸着部７１は、液晶パネル２の厚さ方向と上下方向（鉛直方向）とが一致するように液晶パネル２を吸着する。パネル吸着部７１の下面には、液晶パネル２の上面を吸引する吸引口（図示省略）が形成されている。パネル吸着部７１は、液晶パネル２の上面を真空吸着することで液晶パネル２を把持する。以下の説明では、上下方向（鉛直方向）に直交する図５等のＶ方向を「第１方向」とし、上下方向と第１方向とに直交する図５等のＷ方向を「第２方向」とする。

　基板吸着部７２は、ＦＰＣ２ａの厚さ方向と上下方向とが一致するようにＦＰＣ２ａを吸着する。この基板吸着部７２は、ＦＰＣ２ａに接触する基板接触部７６と、基板接触部７６がＦＰＣ２ａに接触するときの衝撃を緩和する緩衝機構７７とを備えている。緩衝機構７７は、たとえば、ピストン７７ａとピストン７７ａをスライド可能に保持するシリンダ７７ｂとを備えるエアダンパーである。この緩衝機構７７は、ピストン７７ａの移動方向と上下方向とが一致するように配置されている。

　基板接触部７６は、ピストン７７ａの下端に固定されており、ＦＰＣ２ａの上面に接触可能となっている。基板接触部７６の下面には、ＦＰＣ２ａの上面を吸引する吸引口７６ａ（図７参照）が形成されている。吸引口７６ａの径は、パネル吸着部７１の下面に形成される吸引口の径よりも小さくなっている。基板吸着部７２は、ＦＰＣ２ａの上面を真空吸着することでＦＰＣ２ａを把持する。

　位置調整機構７３は、手動式の調整機構である。この位置調整機構７３は、シリンダ７７ｂを保持する保持部材７８と、保持部材７８を第１方向へスライド可能に保持する保持部材７９と、保持部材７９を第２方向へスライド可能に保持する保持部材８０とを備えている。本形態の位置調整機構７３は、２個の保持部材７８と、２個の保持部材７９と、２個の保持部材８０とを備えている。

　保持部材８０は、断面形状がＬ形状をなす細長い板状部材である。２個の保持部材８０のそれぞれの一端部は、第１方向におけるベース部材７５の両端側のそれぞれに固定されており、保持部材８０は、ベース部材７５から第２方向の一方側へ伸びている。すなわち、保持部材８０は、保持部材８０の長手方向と第２方向とが一致するように配置されている。保持部材８０には、第２方向を長手方向とする長穴８０ａが形成されている。長穴８０ａは、保持部材８０の、上下方向に直交する平板部分を上下方向で貫通している。また、長穴８０ａは、第２方向における保持部材８０の略中心と、保持部材８０の第２方向の一方側（ベース部材７５から保持部材８０が伸びている方向の側）の端部との間の全域に形成されている。

　保持部材７９は、断面形状がＬ形状をなす細長い板状部材である。保持部材７９の両端側には、ネジ８１がねじ込まれるネジ穴が形成されている。このネジ穴は、保持部材７９の、上下方向に直交する平板部分に形成されている。保持部材７９の両端側のそれぞれは、上側から長穴８０ａに挿通されるネジ８１によって２個の保持部材８０のそれぞれに固定されている。すなわち、保持部材７９は、ネジ８１によって２個の保持部材８０に固定されており、保持部材８０の下側に配置されている。また、２個の保持部材７９のそれぞれが２個の保持部材８０に固定されている。保持部材７９は、第１方向と平行に配置されている。すなわち、２個の保持部材７９は、互いに平行に配置されるとともに第１方向と平行に配置されている。

　保持部材７９には、第１方向を長手方向とする長穴７９ａが形成されている。長穴７９ａは、保持部材７９の、第２方向に直交する平板部分を第２方向で貫通している。また、長穴７９ａは、保持部材７９の第１方向の一方側の端部と他方側の端部との間の全域に形成されている。保持部材７８は、Ｌ形状に折り曲げられた平板状の部材である。保持部材７８には、ネジ８２がねじ込まれるネジ穴が形成されている。このネジ穴は、保持部材７８の、第２方向に直交する平板部分に形成されている。

　保持部材７８は、第２方向の一方側から長穴７９ａに挿通されるネジ８２によって保持部材７９に固定されており、保持部材７９の、第２方向の他方側に配置されている。また、２個の保持部材７８のそれぞれが２個の保持部材７９のそれぞれに固定されている。保持部材７８の、上下方向に直交する平板部分には、シリンダ７７ｂが固定されている。すなわち、保持部材７８には、基板吸着部７２が固定されている。

　本形態では、ネジ８２を緩めることで、パネル吸着部７１に対する第１方向での基板吸着部７２の位置調整が可能となる。また、ネジ８１を緩めることで、パネル吸着部７１に対する第２方向での基板吸着部７２の位置調整が可能となる。すなわち、基板吸着部７２は、第１方向と第２方向とにおいて、パネル吸着部７１に対して位置調整可能となっている。また、２個の基板吸着部７２のそれぞれがパネル吸着部７１に対して位置調整可能となっている。

　図８に示すように、パネル吸着部７１と２個の基板吸着部７２とは、共通のオンオフ弁８４を介して共通の空気の吸引機構８５に接続されている。オンオフ弁８４は、電磁弁である。また、吸引機構８５は、たとえば、真空ポンプである。オンオフ弁８４と２個の基板吸着部７２との間の配管経路には、流量制御弁８６が配置されている。流量制御弁８６は、たとえば、流量調整弁や絞り弁である。本形態では、流量制御弁８６の作用によって、基板吸着部７２によるＦＰＣ２ａの吸引力は、パネル吸着部７１による液晶パネル２の吸引力よりも小さくなっている。たとえば、基板吸着部７２によるＦＰＣ２ａの吸引力とパネル吸着部７１による液晶パネル２の吸引力との比は、１：９となっている。

　オンオフ弁８４とパネル吸着部７１との間の配管経路には、パネル吸着部７１の吸引圧に基づいてパネル吸着部７１に液晶パネル２が吸着されているのか否かを検知するための第１圧力センサ８７が接続されている。また、オンオフ弁８４と２個の基板吸着部７２との間の配管経路には、基板吸着部７２の吸引圧に基づいて基板吸着部７２にＦＰＣ２ａが吸着されているのか否かを検知するための第２圧力センサ８８が接続されている。

　パネル検知機構７４は、図９等に示すように、トレイ３内の液晶パネル２に向かって光を射出する発光部８９と、液晶パネル２で反射された光を受光可能な位置に配置される受光部９０とを備える光学式の検知機構である。具体的には、パネル検知機構７４は、発光部８９および受光部９０を有する受発光部９１と、発光部８９から射出され液晶パネル２で反射された光を液晶パネル２に向かって反射する反射部材（回帰反射板）９２とを有する回帰反射型の光学式の検知機構であり、受光部９０は、反射部材９２で反射された後に液晶パネル２で反射された光を受光可能な位置に配置されている。

　発光部８９は、光源であるＬＥＤ（発光ダイオード）を備えている。また、発光部８９は、たとえば、ＬＥＤからの光を伝達する光ファイバーを備えている。受発光部９１および反射部材９２は、ベース部材７５の下面側に固定されている。また、受発光部９１および反射部材９２は、パネル吸着部７１の下面よりも上側に配置されている。受発光部９１と反射部材９２とは、第１方向においてパネル吸着部７１を挟むように配置されている。また、受発光部９１と反射部材９２とは、第１方向におけるベース部材７５の両端側のそれぞれに取り付けられている。

　発光部８９の発光面および受光部９０の受光面は斜め下側に向き、反射部材９２の反射面は、斜め下側を向いている。また、発光部８９の発光面、受光部９０の受光面および反射部材９２の反射面は、第１方向の内側に向いている。発光部８９から射出された光の液晶パネル２への入射角θは、４５°以上９０°未満となっている。具体的には、入射角θは、略６５°となっている。また、本形態では、液晶パネル２に照射される光のスポット径は比較的小さくなっている。

　パネル検知機構７４は、パネル把持部２４がトレイ３内の液晶パネル２を把持しようとするときに液晶パネル２の有無を検知する。具体的には、パネル検知機構７４は、パネル把持部２４がトレイ３内の液晶パネル２を把持しようとするときに、受光部９０の受光量に基づいて、液晶パネル２の有無を検知する。

　すなわち、パネル把持部２４がトレイ３内の液晶パネル２を把持しようとするときに、図９に示すように、パネル把持部２４の下側に液晶パネル２があれば、発光部８９から射出された光は、液晶パネル２の上面で反射され、反射部材９２で反射された後、再び、液晶パネル２の上面で反射されて受光部９０に入射するが、パネル把持部２４の下側に液晶パネル２がないと、発光部８９から射出された光は、トレイ３で反射され、反射部材９２で反射された後、再び、トレイ３で反射されて受光部９０に入射するため、パネル把持部２４の下側に液晶パネル２がある場合とない場合とで、受光部９０の受光量が異なる。パネル検知機構７４は、受光部９０の受光量の相違に基づいて、液晶パネル２の有無を検知する。

　なお、図９に示すように、トレイ３には、液晶パネル２の外周端部分を支持するパネル支持部３ａが形成されている。パネル支持部３ａは、長方形の枠状に形成されており、液晶パネル２の外周端部分の下面がパネル支持部３ａの上面に接触している。パネル支持部３ａの内周側は、下側に向かって窪む凹部３ｂとなっている。パネル支持部３ａの上面と凹部３ｂの底面との上下方向の距離Ｄは、３～４（ｍｍ）程度となっている。上述のように、液晶パネル２の厚さは１（ｍｍ）程度となっており、トレイ３に収容される液晶パネル２に撓みが生じていない場合には、トレイ３に収容される液晶パネル２の上面と凹部３ｂの底面との上下方向の距離は、４～５（ｍｍ）程度となっている。

　パネル把持部２４がトレイ３内の液晶パネル２を把持しようとするときに、パネル把持部２４の下側に液晶パネル２がない場合には、発光部８９から射出された光は、凹部３ｂの底面で反射される。また、凹部３ｂの底面で反射された光は、反射部材９２で反射された後、再び、凹部３ｂの底面で反射される。

　（液晶パネルの把持動作）
　図１０は、図５に示すパネル把持部２４による液晶パネル２の把持動作を説明するためのフローチャートである。

　本形態では、パネル把持部２４による液晶パネル２の把持動作が開始されて、トレイ３内の所定の箇所に収容されている液晶パネル２をパネル把持部２４が把持しようとするときには、まず、パネル検知機構７４によって液晶パネル２の有無が検知される（ステップＳ１）。トレイ３内で液晶パネル２の抜けがあって、ステップＳ１において、パネル検知機構７４によって液晶パネル２が検知されないと（ステップＳ１において、“Ｎｏ”の場合）、ロボット９は、パネル把持部２４を移動させて、トレイ３内の他の箇所に収容されている液晶パネル２をパネル把持部２４で把持することを試みる（ステップＳ２）。すなわち、パネル把持部２４がトレイ３内の液晶パネル２を把持しようとするときにパネル検知機構７４によって液晶パネル２が検知されないと、ロボット９は、引き続き、トレイ３内の別の箇所に収容された液晶パネル２を把持するための動作を行う。

　一方、トレイ３内の所定の箇所に収容されている液晶パネル２をパネル把持部２４が把持しようとするときに、パネル検知機構７４によって液晶パネル２が検知されると（ステップＳ１において、“Ｙｅｓ”の場合）、ロボット９は、そのまま、液晶パネル２の把持動作を継続する（ステップＳ３）。すなわち、ロボット９は、パネル把持部２４による液晶パネル２およびＦＰＣ２ａの吸着を試みる。具体的には、ロボット９は、液晶パネル２をパネル吸着部７１で吸着し、ＦＰＣ２ａを基板吸着部７２で吸着することを試みる。

　その後、第１圧力センサ８７によってパネル吸着部７１に液晶パネル２が吸着されているのか否かが検知されるととともに、第２圧力センサ８８によって基板吸着部７２にＦＰＣ２ａが吸着されているのか否かが検知される（ステップＳ４）。ステップＳ４において、第１圧力センサ８７によってパネル吸着部７１に液晶パネル２が吸着されていることが検知され、かつ、第２圧力センサ８８によって基板吸着部７２にＦＰＣ２ａが吸着されていることが検知されると（ステップＳ４において、“Ｙｅｓ”の場合）、パネル把持部２４による液晶パネル２の把持動作が完了して、ロボット９は、トレイ３からの液晶パネル２の搬出動作を開始する。

　一方、パネル吸着部７１に液晶パネル２が吸着されていること、および、基板吸着部７２にＦＰＣ２ａが吸着されていることの少なくともいずれか一方が検知されない場合（ステップＳ４において、“Ｎｏ”の場合）には、パネル吸着部７１に液晶パネル２が吸着されていない状態、および、基板吸着部７２にＦＰＣ２ａが吸着されていない状態の少なくともいずれか一方の状態となっている吸着ミスが所定回数（Ｎ回）発生したのか否かが判断される（ステップＳ５）。たとえば、所定回数である３回、吸着ミスが発生していない場合（ステップＳ５において、“Ｎｏ”の場合）には、ロボット９は、パネル把持部２４による液晶パネル２およびＦＰＣ２ａの吸着を再度試みて（ステップＳ６）、ステップＳ４へ戻る。

　ステップＳ６を経た後のステップＳ４において、パネル吸着部７１に液晶パネル２が吸着されていることが検知され、かつ、基板吸着部７２にＦＰＣ２ａが吸着されていることが検知されると（ステップＳ４において、“Ｙｅｓ”の場合）、パネル把持部２４による液晶パネル２の把持動作が完了して、ロボット９は、トレイ３からの液晶パネル２の搬出動作を開始する。また、ステップＳ５において、吸着ミスが所定回数、発生している場合（ステップＳ５において、“Ｙｅｓ”の場合）には、エラーとなってロボット９が停止する。

　（本形態の主な効果）
　以上説明したように、本形態では、パネル把持部２４は、パネル把持部２４がトレイ３内の液晶パネル２を把持しようとするときに液晶パネル２の有無を検知するパネル検知機構７４を備えている。また、本形態では、パネル把持部２４がトレイ３内の液晶パネル２を把持しようとするときに、パネル検知機構７４によって液晶パネル２が検知されれば、ロボット９は、そのまま、液晶パネル２の把持動作を継続し、トレイ３の中で液晶パネル２の抜けが発生していて、パネル検知機構７４によって液晶パネル２が検知されなければ、ロボット９は、トレイ３の中の別の箇所に収容された液晶パネル２を把持するための動作を継続している。そのため、本形態では、トレイ３の中で液晶パネル２の抜けが発生していても、ロボット９の動作を継続することが可能になる。

　本形態では、パネル検知機構７４は、トレイ３内の液晶パネル２に向かって光を射出する発光部８９と、液晶パネル２で反射された光を受光可能な位置に配置される受光部９０とを備える光学式の検知機構である。また、本形態では、液晶パネル２の表面がガラス面となっている一方で、トレイ３は樹脂で形成されており、トレイ３の表面は液晶パネル２の表面よりも粗面となっている。

　そのため、本形態では、パネル把持部２４が把持しようとする液晶パネル２がトレイ３の中にある場合には、発光部８９から射出され液晶パネル２の表面で鏡面反射された光が受光部９０に入射し、パネル把持部２４が把持しようとする液晶パネル２がトレイ３の中にない場合には、発光部８９から射出されトレイ３の表面で乱反射された光が受光部９０に入射する。したがって、本形態では、パネル把持部２４が把持しようとする液晶パネル２がトレイ３の中にある場合とない場合とで、受光部９０の受光量に差異が生じやすくなり、その結果、トレイ３内の液晶パネル２の有無を適切に検知することが可能になる。

　また、本形態では、パネル検知機構７４は、回帰反射型の光学式の検知機構であり、受光部９０は、反射部材９２で反射された後に液晶パネル２で反射された光を受光可能な位置に配置されている。そのため、本形態では、パネル把持部２４が把持しようとする液晶パネル２がトレイ３の中にある場合には、発光部８９から射出された光が２回、液晶パネル２の表面で鏡面反射された後に受光部９０に入射し、パネル把持部２４が把持しようとする液晶パネル２がトレイ３の中にない場合には、発光部８９から射出された光が２回、トレイ３の表面で乱反射された後に受光部９０に入射する。

　したがって、本形態では、トレイ３に収容される液晶パネル２の上面と、発光部８９からの光が照射されるトレイ３の凹部３ｂの底面との上下方向の距離が４～５（ｍｍ）と短くなっていても、パネル把持部２４が把持しようとする液晶パネル２がトレイ３の中にある場合とない場合とで、受光部９０の受光量に差異が生じやすくなる。そのため、本形態では、トレイ３に収容される液晶パネル２の上面とトレイ３の凹部３ｂの底面との上下方向の距離が短くなっていても、トレイ３内の液晶パネル２の有無を適切に検知することが可能になる。

　また、本形態では、受発光部９１と反射部材９２とが、第１方向におけるベース部材７５の両端側のそれぞれに取り付けられており、発光部８９から射出された光の液晶パネル２への入射角θが大きくなっている。そのため、本形態では、トレイ３に収容される液晶パネル２の上面とトレイ３の凹部３ｂの底面との上下方向の距離が短くなっていても、図９に示すように、パネル把持部２４が把持しようとする液晶パネル２がトレイ３の中にある場合に、発光部８９から射出され液晶パネル２で反射された光の光軸Ｌ１と、パネル把持部２４が把持しようとする液晶パネル２がトレイ３の中にない場合に、発光部８９から射出されトレイ３で反射された光の光軸Ｌ２とのずれ量を大きくすることが可能になる。

　したがって、本形態では、トレイ３に収容される液晶パネル２の上面とトレイ３の凹部３ｂの底面との上下方向の距離が短くなっていても、パネル把持部２４が把持しようとする液晶パネル２がトレイ３の中にある場合とない場合とで、受光部９０に入射する光の光軸のずれ量を大きくすることが可能になる。そのため、本形態では、トレイ３に収容される液晶パネル２の上面とトレイ３の凹部３ｂの底面との上下方向の距離が短くなっていても、受光部９０の受光量により大きな差異が生じやすくなり、その結果、トレイ３内の液晶パネル２の有無をより適切に検知することが可能になる。

　本形態では、液晶パネル２を把持するパネル把持部２４は、液晶パネル２を吸着するパネル吸着部７１に加えて、液晶パネル２から引き出されるＦＰＣ２ａを吸着する基板吸着部７２を備えている。そのため、本形態では、ＦＰＣ２ａが液晶パネル２から引き出されていても、液晶パネル２を搬送する際のＦＰＣ２ａのふらつきを抑制することが可能になる。

　本形態では、第１圧力センサ８７によってパネル吸着部７１に液晶パネル２が吸着されていることが検知され、かつ、第２圧力センサ８８によって基板吸着部７２にＦＰＣ２ａが吸着されていることが検知されると、ロボット９は、トレイ３からの液晶パネル２の搬出動作を開始する。そのため、本形態では、パネル把持部２４によって液晶パネル２およびＦＰＣ２ａを確実に把持した状態で、トレイ３から液晶パネル２を搬出することが可能になる。

　（他の実施の形態）
　上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

　上述した形態において、パネル検知機構７４は、回帰反射型の光学式の検知機構でなくても良い。この場合には、たとえば、受光部９０は、上述した形態において反射部材９２が配置されている位置に配置されている。すなわち、受光部９０は、発光部８９から射出され液晶パネル２で反射された光を受光可能な位置に配置されている。また、発光部８９と受光部９０とは、第１方向においてパネル吸着部７１を挟むように配置されるとともに、第１方向におけるベース部材７５の両端側のそれぞれに取り付けられている。

　この場合であっても、発光部８９から射出された光の液晶パネル２への入射角θを大きくすることが可能になるため、トレイ３に収容される液晶パネル２の上面とトレイ３の凹部３ｂの底面との上下方向の距離が短くなっていても、パネル把持部２４が把持しようとする液晶パネル２がトレイ３の中にある場合に液晶パネル２で反射された光の光軸Ｌ１と、パネル把持部２４が把持しようとする液晶パネル２がトレイ３の中にない場合にトレイ３で反射された光の光軸Ｌ２とのずれ量を大きくすることが可能になる。

　そのため、トレイ３に収容される液晶パネル２の上面とトレイ３の凹部３ｂの底面との上下方向の距離が短くなっていても、パネル把持部２４が把持しようとする液晶パネル２がトレイ３の中にある場合とない場合とで、受光部９０に入射する光の光軸のずれ量を大きくすることが可能になる。したがって、トレイ３に収容される液晶パネル２の上面とトレイ３の凹部３ｂの底面との上下方向の距離が短くなっていても、受光部９０の受光量に差異が生じやすくなり、その結果、トレイ３内の液晶パネル２の有無を適切に検知することが可能になる。

　上述した形態において、トレイ３の凹部３ｂの底面に照射された光が反射部材９２に向かって反射されないように、凹部３ｂの底面に上側に向かって突出する凸部が形成されていても良い。この場合には、トレイ３に収容される液晶パネル２の上面とトレイ３の凹部３ｂの底面との上下方向の距離が短くなっていても、パネル把持部２４が把持しようとする液晶パネル２がトレイ３の中にある場合とない場合とで、受光部９０の受光量により大きな差異が生じやすくなる。

　上述した形態において、ＦＰＣ２ａ以外の配線が液晶パネル２から引き出されていても良い。たとえば、ＦＦＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ　Ｆｌａｔ　Ｃａｂｌｅ）が液晶パネル２から引き出されていても良い。また、上述した形態において、パネル把持部２４は、基板吸着部７２を備えていなくても良い。

　上述した形態において、ロボット９に搬送される液晶パネル２は、ＦＰＣ２ａが接続される前の液晶パネル２であっても良い。すなわち、トレイ３に収容される液晶パネル２は、ＦＰＣ２ａが接続される前の液晶パネル２であっても良い。また、上述した形態において、ロボット９に搬送される表示パネルは、液晶パネル２以外の表示パネルであっても良い。たとえば、ロボット９に搬送される表示パネルは、有機ＥＬパネルであっても良い。

　上述した形態では、パラレルリンクロボットであるロボット９を例に、本発明のパネル搬送ロボットの構成を説明しているが、本発明が適用されるパネル搬送ロボットは、２軸直交型ロボットであっても良いし、３軸直交型ロボットであっても良い。また、本発明が適用されるパネル搬送ロボットは、水平多関節ロボットであっても良い。

　２　液晶パネル（表示パネル）
　２ａ　ＦＰＣ（フレキシブルプリント基板、配線）
　３　トレイ
　９　ロボット（パネル搬送ロボット）
　２４　パネル把持部
　２８　移動機構
　７１　パネル吸着部
　７２　基板吸着部（配線吸着部）
　７４　パネル検知機構
　７５　ベース部材
　８７　第１圧力センサ
　８８　第２圧力センサ
　８９　発光部
　９０　受光部
　９１　受発光部
　９２　反射部材
　Ｖ　第１方向
　θ　入射角

Claims

　複数枚の表示パネルを収容可能なトレイに収容された前記表示パネルを搬出するパネル搬送ロボットにおいて、
　前記表示パネルを把持するパネル把持部と、前記パネル把持部を移動させる移動機構とを備え、
　前記パネル把持部は、前記トレイ内の前記表示パネルの有無を検知するためのパネル検知機構を備え、
　前記パネル検知機構は、前記トレイ内の前記表示パネルに向かって光を射出する発光部と、前記表示パネルで反射された光を受光可能な位置に配置される受光部とを有する光学式の検知機構であり、前記パネル把持部が前記トレイ内の前記表示パネルを把持しようとするときに前記表示パネルの有無を検知することを特徴とするパネル搬送ロボット。
　前記パネル把持部が前記トレイ内の前記表示パネルを把持しようとするときに前記パネル検知機構によって前記表示パネルが検知されないと、引き続き、前記トレイ内の別の箇所に収容された前記表示パネルを把持するための動作を行うことを特徴とする請求項１記載のパネル搬送ロボット。
　前記パネル検知機構は、前記発光部および前記受光部を有する受発光部と、前記発光部から射出され前記表示パネルで反射された光を前記表示パネルに向かって反射する反射部材とを有する回帰反射型の光学式の検知機構であり、
　前記受光部は、前記反射部材で反射された後に前記表示パネルで反射された光を受光可能な位置に配置されていることを特徴とする請求項１または２記載のパネル搬送ロボット。
　前記パネル把持部は、前記表示パネルを吸着するパネル吸着部と、前記パネル検知機構および前記パネル吸着部が取り付けられるベース部材とを備え、
　前記受発光部と前記反射部材とは、鉛直方向に直交する第１方向において前記パネル吸着部を挟むように配置されるとともに、第１方向における前記ベース部材の両端側のそれぞれに取り付けられていることを特徴とする請求項３記載のパネル搬送ロボット。
　前記パネル把持部は、前記表示パネルを吸着するパネル吸着部と、前記パネル検知機構および前記パネル吸着部が取り付けられるベース部材とを備え、
　前記受光部は、前記発光部から射出され前記表示パネルで反射された光を受光可能な位置に配置され、
　前記発光部と前記受光部とは、鉛直方向に直交する第１方向において前記パネル吸着部を挟むように配置されるとともに、第１方向における前記ベース部材の両端側のそれぞれに取り付けられていることを特徴とする請求項１または２記載のパネル搬送ロボット。
　前記発光部から射出された光の前記表示パネルへの入射角は、４５°以上９０°未満となっていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のパネル搬送ロボット。
　前記入射角は、略６５°となっていることを特徴とする請求項６記載のパネル搬送ロボット。
　前記パネル把持部は、前記表示パネルを吸着するパネル吸着部と、前記表示パネルから引き出される配線を吸着する配線吸着部とを備えることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のパネル搬送ロボット。
　前記パネル吸着部の吸引圧に基づいて前記パネル吸着部に前記表示パネルが吸着されているのか否かを検知するための第１圧力センサと、前記配線吸着部の吸引圧に基づいて前記配線吸着部に前記配線が吸着されているのか否かを検知するための第２圧力センサとを備えることを特徴とする請求項８記載のパネル搬送ロボット。