CN110198901B - 面板搬运机器人及面板搬运系统 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种面板搬运机器人，即使配线从显示面板引出，也能够抑制搬运显示面板时的配线的晃动。例如，该面板搬运机器人具备把持显示面板的面板把持部(24)和使面板把持部(24)移动的移动机构。面板把持部(24)具备吸附显示面板的面板吸附部(71)和吸附从显示面板引出的配线的配线吸附部(72)。在该面板搬运机器人中，在搬运显示面板时，面板吸附部(71)吸附把持显示面板，配线吸附部(72)吸附把持配线。

Description

面板搬运机器人及面板搬运系统

技术领域

本发明涉及一种搬运液晶面板等显示面板的面板搬运机器人。并且，本发明涉及一种具有该面板搬运机器人的面板搬运系统。

背景技术

以往，已知有组装于便携设备等所使用的液晶显示设备的装配线的搬运装置(例如，参照专利文献1)。专利文献1中记载的搬运装置具备五个搬运单元，各搬运单元被分配液晶显示设备的装配工序中的各种工序。各搬运单元具备搬运液晶面板等工件的SCARA机器人。该SCARA机器人例如在搬运液晶面板时以真空吸附的方式保持液晶面板。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2012/120956号

发明内容

发明所欲解决的技术问题

在专利文献1记载的液晶显示设备的装配线中，在规定工序中，在液晶面板上连接柔性印刷基板(FPC(Flexible printed circuits))，因此，在FPC 的连接工序之后的工序中，SCARA机器人必须搬运附有FPC的液晶面板。但是，如果FPC从液晶面板引出，在SCARA机器人搬运液晶面板时FPC就会晃动，搬运单元的结构零件和FPC有可能发生干涉。

因此，本发明的技术问题在于，提供一种面板搬运机器人，即使配线从显示面板引出，也能够抑制搬运显示面板时的配线的晃动。并且，本发明的技术问题在于，提供一种具备该面板搬运机器人的面板搬运系统。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供一种面板搬运机器人，其特征在于，具备把持显示面板的面板把持部和使面板把持部移动的移动机构，面板把持部具备吸附显示面板的面板吸附部和吸附从显示面板引出的配线的配线吸附部。

在本发明的面板搬运机器人中，把持显示面板的面板把持部除具备吸附显示面板的面板吸附部外，还具备吸附从显示面板引出的配线的配线吸附部。因此，在本发明中，即使FPC等配线从显示面板引出，也能够抑制搬运显示面板时的配线的晃动。

在本发明中，理想的是，面板把持部具备用于调整配线吸附部相对于面板吸附部的位置的位置调整机构。如果这样构成，则即使配线从显示面板引出的引出位置或从显示面板引出的配线的形状发生变化，通过调整配线吸附部相对于面板吸附部的位置，也能够以配线不晃动的方式利用配线吸附部吸附配线。因此，即使配线从显示面板引出的引出位置或配线的形状发生变化，也能够使用共同的面板把持部抑制搬运显示面板时的配线的晃动。

在本发明中，理想的是，面板吸附部以显示面板的厚度方向和铅垂方向一致的方式吸附显示面板，配线吸附部能够在与铅垂方向正交的第一方向以及与铅垂方向及第一方向正交的第二方向上，相对于面板吸附部进行位置调整。如果这样构成，则即使配线从显示面板引出的引出位置或配线的形状大幅变化，通过在第一方向和第二方向这两个方向上调整配线吸附部相对于面板吸附部的位置，也能够以配线不晃动的方式利用配线吸附部吸附配线。因此，即使配线从显示面板引出的引出位置或配线的形状大幅变化，也能够使用共同的面板把持部抑制搬运显示面板时的配线的晃动。

在本发明中，理想的是，面板把持部具备多个配线吸附部，多个配线吸附部的每一个相对于面板吸附部能够分别进行位置调整。如果这样构成，则即使配线从显示面板的引出位置或配线的形状大幅变化，通过调整多个配线吸附部各自相对于面板吸附部的位置，也能够以配线不晃动的方式利用配线吸附部吸附配线。因此，即使配线从显示面板的引出位置或配线的形状大幅变化，也能够使用共同的面板把持部抑制搬运显示面板时的配线的晃动。

在本发明中，理想的是，配线吸附部具备与配线接触的配线接触部和缓和配线接触部与配线接触时的冲击的缓冲机构。如果这样构成，则即使配线接触部比面板吸附部向显示面板侧突出，使得在面板吸附部吸附显示面板时配线吸附部能够可靠地吸附配线，也能够缓和配线接触部接触配线时的冲击。因此，即使在面板吸附部吸附显示面板时配线吸附部能够可靠地吸附配线，也能够防止配线接触部和配线接触时的配线的损伤。

在本发明中，理想的是，面板吸附部和配线吸附部经由共同的开关阀与共同的空气吸引机构连接。如果这样构成，则与连接面板吸附部的开关阀和连接配线吸附部的开关阀个别设置的情况相比，能够简化面板搬运机器人的结构。并且，如果这样构成，则与连接面板吸附部的空气吸引机构和连接配线吸附部的空气吸引机构个别设置的情况相比，能够简化面板搬运机器人的结构。

在本发明中，理想的是，面板搬运机器人具备配置于配线吸附部和开关阀之间的配管路径上的流量控制阀，配线吸附部对配线的吸引力比面板吸附部对显示面板的吸引力小。如果这样构成，则能够通过适当的吸引力吸引重量比显示面板轻的配线，并且能够通过适当的吸引力吸引显示面板。

此外，通常，配线的由配线吸附部吸附的部分的面积比显示面板的由面板吸附部吸附的部分的面积小。因此，配线吸附部对配线的吸附力比面板吸附部对显示面板的吸附力低，相比吸附于面板吸附部的显示面板从面板吸附部脱离的情况，吸附于配线吸附部的配线容易从配线吸附部脱离。并且，在面板吸附部和配线吸附部经由共同的开关阀与共同的空气吸引机构连接的情况下，如果吸附于配线吸附部的配线从配线吸附部脱离，则面板吸附部对显示面板的吸引力降低，因此，吸附于面板吸附部的显示面板可能会从面板吸附部脱离而掉落，显示面板有可能损坏。

但是，如果在配线吸附部和开关阀之间的配管路径上配置流量控制阀，配线吸附部对配线的吸引力比面板吸附部对显示面板的吸引力小，则可以减少吸引配线的空气的吸引量，因此，能够抑制吸附于配线吸附部的配线从配线吸附部脱离时的、面板吸附部对显示面板的吸引力的降低。因此，假如吸附于配线吸附部的配线从配线吸附部脱离，也能够防止吸附于面板吸附部的显示面板从面板吸附部的脱离。并且，通过探测吸附于配线吸附部的配线的、从配线吸附部的脱离，停止面板搬运机器人，能够使面板搬运机器人安全地停止而不会使显示面板掉落。

本发明的面板搬运机器人能够用于具备载置面板搬运机器人搬运的显示面板的面板载台的面板搬运系统，在该面板搬运系统中，面板载台具备载置显示面板的面板载置部和载置配线的配线载置部。在该面板搬运系统中，即使FPC 等配线从显示面板引出，也能够抑制搬运显示面板时的配线的晃动。并且，在该面板搬运系统中，面板载台具备载置配线的配线载置部，因此，能够抑制载置于面板载台的配线的晃动。

在本发明中，理想的是，在被吸附于配线吸附部的配线载置于配线载置部时和被载置于配线载置部的配线吸附于配线吸附部时的至少任一方，配线载置部配置于配线吸附部的正下方。如果这样构成，则在将吸附于配线吸附部的配线载置于配线载置部时，能够以使配线可靠地接触配线载置部的状态将配线载置在配线载置部。并且，如果这样构成，则在将载置于配线载置部的配线吸附于配线吸附部时，能够在使配线吸附部可靠地接触配线的状态下使配线吸附部吸附配线。

在本发明中，理想的是，面板载台具备用于调整配线载置部相对于面板载置部的位置的第二位置调整机构。如果这样构成，则即使配线从显示面板的引出位置或配线的形状发生变化，通过调整配线载置部相对于面板载置部的位置，也能够将配线适当地载置于配线载置部。因此，即使配线从显示面板的引出位置或配线的形状发生变化，也能够将附有配线的显示面板适当载置于共同的面板载台上。

在本发明中，理想的是，配线载置部具备配线接触的橡胶制的配线接触构件，配线接触的配线接触构件的上表面成为形成纹理形状的凹凸面。如果这样构成，则例如即使配线是FPC，也能够防止配线相对于配线载置部的贴附。

发明效果

如上所述，在本发明中，即使配线从显示面板引出，也能够抑制搬运显示面板时的配线的晃动。

附图说明

图1是组装了本发明实施方式的面板搬运机器人的搬运系统的侧视图。

图2是从图1的E－E方向表示搬运系统的俯视图。

图3是图1所示的面板搬运机器人的立体图。

图4是图1所示的供给单元的立体图。

图5是图4所示的供给单元的俯视图。

图6是图3所示的面板搬运机器人的面板把持部的立体图。

图7是从其他方向表示图6所示的面板把持部的立体图。

图8是从下侧表示图6所示的配线吸附部及位置调整机构的立体图。

图9是用于说明与图6所示的面板吸附部及配线吸附部连接的配管的路径的图。

图10是用于说明图6所示的面板探测机构的结构的概略图。

图11是图4所示的面板载台的立体图。

图12是图11所示的两个配线载置部移动到面板载置部侧固定时的面板载台的立体图。

具体实施方式

以下，参照附图，说明本发明的实施方式。

(搬运系统的整体结构)

图1是组装了本发明实施方式的面板搬运机器人9的搬运系统1的侧视图。图2是从图1的E－E方向表示搬运系统1的俯视图。图3是图1所示的面板搬运机器人9的立体图。

本方式的面板搬运机器人9(以下设为“机器人9”)是搬运作为显示面板的液晶面板2的机器人。该机器人9被组装于搬运系统1来使用。搬运系统1被组装于便携设备等中使用的液晶显示器的生产线。该搬运系统1 搬运液晶面板2，将液晶面板2供给至对液晶面板2进行规定处理的处理装置14(参照图2)。

液晶面板2形成为长方形的平板状。在液晶面板2的、离开显示区域的部位记录有液晶面板2的检查数据等数据。在液晶面板2的、离开显示区域的部位所记录的数据是可光学性读取的数据。在由本方式的搬运系统1 搬运的液晶面板2上安装有驱动器IC。并且，在液晶面板2上连接有作为配线的FPC(柔性印刷电路板)2a(参照图9、图11)。即，作为配线基板的FPC2a从液晶面板2引出。FPC2a例如从形成为长方形的平板状的液晶面板2的一短边向与长边平行的方向引出。此外，图2等中省略FPC2a的图示。

搬运系统1具备搬运可收容液晶面板2的托盘3的两个输送机4、5。在托盘3上可收容多张液晶面板2。收容于托盘3的多张液晶面板2以彼此不重叠的状态收容于托盘3。输送机4、5将多层堆叠起来的托盘3(堆垛的托盘3)向水平方向直线搬运。

在以下的说明中，将输送机4、5搬运的托盘3的搬运方向(图1等的 X方向)设为“前后方向”，将与上下方向(铅垂方向)和前后方向正交的方向(图1等的Y方向)设为“左右方向”。并且，将前后方向的一侧(图 1等的X1方向侧)设为“前”侧，将其相反侧(图1等的X2方向侧)设为“后侧”，将左右方向的一侧(图2等的Y1方向侧)设为“右”侧，将其相反侧(图2等的Y2方向侧)设为“左”侧。在本方式中，在搬运系统1 的后侧配置有处理装置14。

并且，搬运系统1具备：载置托盘3的两个托盘载台6、7；在输送机 4、5和托盘载台6、7之间搬运托盘3的机器人8；从载置于托盘载台6、7的托盘3搬出液晶面板2的上述机器人9；以及从机器人9接收液晶面板2 并将其供给至处理装置14的供给单元11。托盘载台6、7被配置于比输送机4、5靠后侧的位置。供给单元11被配置于比托盘载台6、7靠后侧的位置。

并且，搬运系统1具备：设置输送机4、5、托盘载台6、7、机器人8 及供给单元11的本体框架12；以及设置机器人9的本体框架13。本体框架12的上表面形成为与上下方向正交的平面状，在本体框架12的上表面设置有输送机4、5、托盘载台6、7、机器人8以及供给单元11。本体框架13是形成为大致门形的门形框架，设置为在左右方向上横跨本体框架12 的后端侧部分。机器人9设置于本体框架13的上表面部。

输送机4、5是具备多个辊的辊式输送机。输送机4和输送机5在左右方向上相邻配置。输送机4将堆垛的托盘3朝向后侧搬运，输送机5将堆垛的托盘3朝向前侧搬运。在由输送机4搬运的托盘3内收容有多张液晶面板2。另一方面，在由输送机5搬运的托盘3内未收容液晶面板2，由输送机5搬运的托盘3为空托盘。

由作业者从临时放置用的货架(省略图标)运送来的堆垛状态的托盘 3被载置于输送机4的前端侧。载置于输送机4的前端侧的堆垛状态的托盘 3被向后侧搬运，被搬运到输送机4的后端侧的堆垛状态的托盘3如后述被机器人8拆垛。并且，在输送机5的后端侧，如后述由机器人8堆垛空的托盘3。托盘3被堆垛到规定层数后，堆垛状态的托盘3被搬运到前侧。被搬运到输送机5的前端侧的堆垛状态的托盘3由作业者运送到空托盘用的货架。

在托盘载台6、7上载置一个托盘3。托盘载台6和托盘载台7在左右方向上以隔开规定间隔的状态配置。托盘载台6在左右方向上配置于与输送机4大致相同的位置，托盘载台7在左右方向上配置于与输送机5大致相同的位置。托盘载台6、7的上表面形成为与上下方向正交的平面状。

机器人8是所谓的三轴正交机器人。该机器人8具备：形成为门形的本体框架15；以相对于本体框架15能够向左右方向滑动的方式保持于本体框架15的可动框架16；以相对于可动框架16能够向前后方向滑动的方式保持于可动框架16的可动框架17；以相对于可动框架17能够向上下方向滑动的方式保持于可动框架17的可动框架18；以及安装于可动框架18的托盘把持部19。并且，机器人8具备：使可动框架16向左右方向滑动的驱动机构；使可动框架17向前后方向滑动的驱动机构；以及使可动框架18 向上下方向滑动的驱动机构。

本体框架15以在左右方向上横跨输送机4、5的方式设置。可动框架16被安装于本体框架15的上表面侧。该可动框架16被配置于比载置于输送机4、5的堆垛状态的托盘3靠上侧的位置。可动框架17安装于可动框架16的右侧。可动框架18安装于可动框架17的后端侧。托盘把持部19 安装于可动框架18的下端。该托盘把持部19具备吸附把持托盘3的多个吸附部。

机器人8进行托盘3从输送机4向托盘载台6、7的搬运和托盘3从托盘载台6、7向输送机5的搬运。具体而言，机器人8将搬运到输送机4的后端侧的堆垛状态的托盘3逐一搬运到托盘载台6或托盘载台7，将输送机 4上的堆垛状态的托盘3拆垛。并且，机器人8将变为空的一个托盘3从托盘载台6或托盘载台7搬运至输送机5的后端侧，将托盘3堆垛在输送机5上。

机器人9是所谓的并联连杆机器人。该机器人9具备：本体部20；与本体部20连结的三根杆21；与三根杆21分别连结的三个臂部22；与三个臂部22连结的头单元23；以及把持液晶面板2的面板把持部24(参照图6 等)。机器人9以悬挂于本体框架13的上表面部的方式设置。并且，本体部20配置于托盘载台6、7的上方，并且配置于比机器人8的本体框架15 靠后侧的位置。此外，图1、图3中省略了面板把持部24的图示。

三根杆21按照以大致等角度间距呈大致放射状向本体部20的外周侧伸出的方式与本体部20连结。即，三根杆21按照以大致120°间距呈大致放射状向本体部20的外周侧伸出的方式与本体部20连结。并且，三根杆 21的基端侧可转动地与本体部20连结。在本体部20和杆21的连结部配置有使杆21转动的附有减速器的马达25。本方式的机器人9具备使三根杆 21分别转动的三个马达25。马达25的输出轴固定于杆21的基端侧。

臂部22的基端侧可转动地与杆21的前端侧连结。具体而言，臂部22 由相互平行的直线状的两根臂26构成，两根臂26各自的基端侧可转动地与杆21的前端侧连结。头单元23可转动地与三个臂部22的前端侧连结。在头单元23的上端安装有马达27。

面板把持部24安装于头单元23的下端。并且，面板把持部24与马达27连结，能够通过马达27的动力进行以上下方向为旋转的轴向的旋转。在本方式中，由本体部20、三根杆21、三个臂部22、头单元23、三个马达 25以及马达27构成使面板把持部24移动的移动机构28。稍后描述面板把持部24的具体结构。

在机器人9中，通过个别地驱动三个马达25，能够使头单元23在规定的区域内向上下方向、左右方向及前后方向的任意位置、且以头单元23 一直保持固定姿势的状态(具体而言，以面板把持部24维持朝向下侧的状态)移动。机器人9将收容于托盘载台6、7上的托盘3内的液晶面板2逐一搬出。具体而言，机器人9将液晶面板2逐一从托盘3搬出，直至托盘载台6、7上的托盘3搬空为止。并且，机器人9将从托盘3搬出的液晶面板2搬运到后述的面板载台39。

(供给单元的结构及动作)

图4是图1所示的供给单元11的立体图。图5是图4所示的供给单元 11的俯视图。

供给单元11具备：用于进行液晶面板2的对位的对准装置30；以及读取记录于液晶面板2的数据的数据读取装置31。对准装置30在由数据读取装置31读取液晶面板2的数据之前进行液晶面板2的对位。并且，供给单元11具备：将由数据读取装置31读取了数据之后的液晶面板2向处理装置14搬运的机器人33；从向处理装置14搬运的液晶面板2去除静电的电离器(除静电装置)34；将由对准装置30进行了对位后的液晶面板2朝向机器人33搬运的搬运装置35；将由对准装置30进行了对位的液晶面板 2向搬运装置35搬运的机器人36；以及载置并固定这些结构的底板37。

对准装置30载置于底板37的右前端侧。机器人33载置于底板37的左后端侧。数据读取装置31载置于底板37的左前端侧。机器人36相邻配置于对准装置30的后侧。搬运装置35在左右方向上配置于数据读取装置 31及机器人33和对准装置30之间。电离器34配置于搬运装置35的上方。底板37载置固定于本体框架12的上表面的后端侧部分。

对准装置30具备：载置由机器人9从托盘载台6、7上的托盘3搬出的液晶面板2(即，机器人9搬运的液晶面板2)的面板载台39；以及以上下方向为转动的轴向使面板载台39转动并使面板载台39沿左右方向和前后方向移动而进行液晶面板2的对位的移动机构40。并且，对准装置30 具备配置于比面板载台39靠上侧的位置的摄像头41及照明构件42。

面板载台39具备：载置液晶面板2的面板载置部43；以及作为载置 FPC2a的配线载置部的基板载置部44(参照图11、图12)。面板载置部43 形成为长方形的平板状。面板载置部43的上表面形成与上下方向正交的平面。从上下方向观察时的面板载置部43的外形比液晶面板2的外形大。此外，图4、图5中省略了基板载置部44的图示。

液晶面板2以从上下方向观察时液晶面板2的中心和面板载置部43的中心大致一致、且液晶面板2的长边的方向和面板载置部43的长边的方向大致一致的方式载置于面板载置部43。并且，在面板载置部43的上表面安装有形成为平板状或膜状的偏振构件45。稍后描述面板载台39的详细结构。此外，在本方式中，由机器人9和面板载台39构成面板搬运系统49 (参照图2)。

移动机构40具备：可转动地保持面板载台39的可动框架46；以可向前后方向滑动的方式保持可动框架46的可动框架47；以可向左右方向滑动的方式保持可动框架46的固定框架48；使面板载台39相对于可动框架46 转动的转动机构；使可动框架46相对于可动框架47向前后方向滑动的驱动机构；以及使可动框架47相对于固定框架48向左右方向滑动的驱动机构。固定框架48固定于底板37上。

在本方式中，使可动框架46向前后方向滑动的驱动机构是为了进行载置于面板载置部43的液晶面板2的对位而设置的。另一方面，使可动框架 47向左右方向滑动的驱动机构是为了进行载置于面板载置部43的液晶面板2的对位、并且在后述的边缘探测位置39A和面板搬出位置39B之间搬运液晶面板2而设置的。并且，使面板载台39转动的转动机构是为了进行载置于面板载置部43的液晶面板2的对位而设置的。

照明构件42是具备在左右方向上呈直线状排列的多个发光二极管(LED)的条形照明构件。该照明构件42配置于比摄像头41靠下侧的位置，并且配置于离开摄像头41的视野的位置。在本方式中，照明构件42配置于摄像头41的后下侧。照明构件42对面板载台39照射间接光。

摄像头41配置于面板载台39的上方。该摄像头41从上侧探测载置于面板载置部43的液晶面板2的边缘。具体而言，摄像头41探测形成为长方形状的液晶面板2的四个角部的位置。摄像头41具备偏振滤光镜50。偏振滤光镜50以可以进行以上下方向为转动的轴向的转动的方式安装于摄像头41的透镜的前端。摄像头41的偏振滤光镜50的相位和偏振构件45的相位错开90°。因此，映射至摄像头41的面板载置部43变黑。

面板载台39在左右方向上能够在将液晶面板2配置于摄像头41的下侧的边缘探测位置39A(图4、图5的实线所示的位置)和由机器人36从面板载台39搬出液晶面板2的面板搬出位置39B(图5的双点划线所示的位置)之间移动。在本方式中，当面板载台39移动到固定框架48的右端侧时，面板载台39到达边缘探测位置39A，当面板载台39移动到固定框架 48的左端侧时，面板载台39到达面板搬出位置39B。并且，由机器人9从托盘载台6、7上的托盘3搬出的液晶面板2被供给至配置于边缘探测位置 39A的面板载台39。

当在配置于边缘探测位置39A的面板载台39上载置由机器人9搬出的液晶面板2时，摄像头41探测液晶面板2的边缘。之后，移动机构40基于摄像头41对液晶面板2的边缘的探测结果，一边进行液晶面板2的对位，一边使面板载台39从边缘探测位置39A移动到面板搬出位置39B。具体而言，移动机构40基于摄像头41对液晶面板2的边缘的探测结果，一边进行面板载台39的转动动作及可动框架46向前后方向的滑动动作中的至少任一动作，一边使可动框架47向左方滑动，使面板载台39移动到面板搬出位置39B。

搬运装置35具备：载置液晶面板2的四个面板载台52；固定四个面板载台52的可动框架53；以可向前后方向滑动的方式保持可动框架53的固定框架54；以及使可动框架53相对于固定框架54向前后方向滑动的驱动机构。四个面板载台52在前后方向上相邻配置。面板载台52的上表面形成与上下方向正交的平面。面板载台52具备对载置于面板载台52的上表面的液晶面板2进行吸附的多个吸附部。固定框架54固定于底板37上。

机器人36具备：吸附把持液晶面板2的面板把持部55；以可向上下方向滑动的方式保持面板把持部55的可动框架56；以可向左右方向滑动的方式保持可动框架56的固定框架57；使面板把持部55相对于可动框架56 升降的升降机构；以及使可动框架56相对于固定框架57向左右方向滑动的驱动机构。固定框架57固定于底板37上。面板把持部55在前后方向上配置于与面板载台39相同的位置。

机器人36将配置于面板搬出位置39B的面板载台39上的液晶面板2 (即，由对准装置30对位后的液晶面板2)搬运到面板载台52上。具体而言，机器人36通过面板把持部55吸附把持被配置于面板搬出位置39B的面板载台39上的液晶面板2的上表面，将液晶面板2从面板载台39依次搬运至移动到前端侧而停止的四个面板载台52各自上。并且，当在四个面板载台52各自上载置液晶面板2时，搬运装置35使面板载台52向后方移动，将液晶面板2搬运到搬运装置35的后端侧。

机器人33具备：吸附把持液晶面板2的四个面板把持部58；以可向上下方向滑动的方式保持面板把持部58的可动框架59；以可向左右方向滑动的方式保持可动框架59的固定框架60；使面板把持部58相对于可动框架59升降的升降机构；以及使可动框架59相对于固定框架60向左右方向滑动的驱动机构。四个面板把持部58在前后方向上相邻配置。前后方向上的四个面板把持部58的间距与前后方向上的四个面板载台52的间距相等。固定框架60固定于底板37上。

机器人33将由搬运装置35搬运到搬运装置35的后端侧的液晶面板2 搬入处理装置14。具体而言，机器人33通过四个面板把持部58分别吸附把持分别载置于四个面板载台52上的四个液晶面板2各自的上表面，将四个液晶面板2一起从面板载台52搬入处理装置14。

数据读取装置31具备：读取二维码或一维码等可光学性读取的数据的摄像头62；安装摄像头62的可动框架63；以可向上下方向滑动的方式保持可动框架63的可动框架64；以可向前后方向滑动的方式保持可动框架 64的可动框架65；以可向左右方向滑动的方式保持可动框架65的固定框架66；使可动框架63相对于可动框架64升降的升降机构；使可动框架64 相对于可动框架65向前后方向滑动的驱动机构；以及使可动框架65相对于固定框架66向左右方向滑动的驱动机构。固定框架66固定于底板37。并且，数据读取装置31具备向液晶面板2照射光的照明构件。

数据读取装置31读取在由对准装置30进行了位置调整后载置于搬运装置35的面板载台52的液晶面板2的数据。由数据读取装置31读取的液晶面板2的数据作为读取了数据的液晶面板2的个别数据与读取了数据的液晶面板2进行关联。如上所述，电离器34配置于搬运装置35的上方。并且，电离器34配置于比数据读取装置31靠后侧的位置，以去除数据被数据读取装置31读取之后的液晶面板2的静电。

(面板把持部的结构)

图6是图3所示的机器人9的面板把持部24的立体图。图7是从其他方向表示图6所示的面板把持部24的立体图。图8是从下侧表示图6所示的基板吸附部72及位置调整机构73的立体图。图9是用于说明与图6所示的面板吸附部71及基板吸附部72连接的配管的路径的图。图10是用于说明图6所示的面板探测机构74的结构的概略图。

面板把持部24具备：吸附液晶面板2的面板吸附部71；以及作为吸附从液晶面板2引出的FPC2a的配线吸附部的基板吸附部72。本方式的面板把持部24具备两个基板吸附部72。并且，面板把持部24具备：用于调整基板吸附部72相对于面板吸附部71的位置的位置调整机构73；以及在面板把持部24要把持托盘3内的液晶面板2时探测液晶面板2的有无的面板探测机构74。而且，面板把持部24具备安装面板吸附部71、位置调整机构73及面板探测机构74的基体构件75。基体构件75形成为大致圆形的平板状，以基体构件75的厚度方向和上下方向一致的方式配置。

面板吸附部71安装于基体构件75的下表面侧。该面板吸附部71以液晶面板2的厚度方向和上下方向(铅垂方向)一致的方式吸附液晶面板2。在面板吸附部71的下表面形成有吸引液晶面板2的上表面的吸引口(省略图示)。面板吸附部71通过真空吸附液晶面板2的上表面而把持液晶面板 2。在以下的说明中，将与上下方向(铅垂方向)正交的图6等的V方向设为“第一方向”，将与上下方向和第一方向正交的图6等的W方向设为“第二方向”。

基板吸附部72以FPC2a的厚度方向和上下方向一致的方式吸附FPC2a。该基板吸附部72具备：作为与FPC2a接触的配线接触部的基板接触部76；以及缓和基板接触部76与FPC2a接触时的冲击的缓冲机构77。缓冲机构 77例如是具备活塞77a和可滑动地保持活塞77a的气缸77b的空气阻尼器。该缓冲机构77以活塞77a的移动方向和上下方向一致的方式配置。

基板接触部76固定于活塞77a的下端，能够与FPC2a的上表面接触。在基板接触部76的下表面形成有吸引FPC2a的上表面的吸引口76a(参照图8)。吸引口76a的直径比形成于面板吸附部71的下表面的吸引口的直径小。因此，FPC2a的、由基板吸附部72吸附的部分的面积比液晶面板2 的、由面板吸附部71吸附的部分的面积小。基板吸附部72通过真空吸附FPC2a的上表面而把持FPC2a。

位置调整机构73是手动式的调整机构。该位置调整机构73具备：保持气缸77b的保持构件78；向第一方向可滑动地保持保持构件78的保持构件79；以及向第二方向可滑动地保持保持构件79的保持构件80。本方式的位置调整机构73具备两个保持构件78、两个保持构件79以及两个保持构件80。

保持构件80是截面形状形成L形状的细长的板状构件。两个保持构件 80各自的一端部分别固定于第一方向上的基体构件75的两端侧，保持构件 80从基体构件75向第二方向的一侧延伸。即，保持构件80以保持构件80 的长度方向和第二方向一致的方式配置。在保持构件80上形成有以第二方向为长度方向的长孔80a。长孔80a在上下方向上贯通保持构件80的、与上下方向正交的平板部分。并且，长孔80a形成于第二方向上的保持构件80的大致中心和保持构件80的第二方向的一侧(保持构件80从基体构件 75伸出的方向一侧)的端部之间的整个区域。

保持构件79是截面形状形成L形状的细长的板状构件。在保持构件 79的两端侧形成有拧入螺钉81的螺钉孔。该螺钉孔形成于保持构件79的、与上下方向正交的平板部分。保持构件79的两端侧分别由从上侧插通于长孔80a的螺钉81固定于两个保持构件80各自上。即，保持构件79通过螺钉81固定于两个保持构件80上，且配置于保持构件80的下侧。并且，两个保持构件79分别固定于两个保持构件80上。保持构件79与第一方向平行地配置。即，两个保持构件79相互平行地配置，并且与第一方向平行地配置。

在保持构件79上形成有以第一方向为长度方向的长孔79a。长孔79a 在第二方向上贯通保持构件79的、与第二方向正交的平板部分。并且，长孔79a形成于保持构件79的第一方向的一侧的端部和另一侧的端部之间的整个区域。保持构件78是呈L形状折弯的平板状的构件。在保持构件78 上形成有拧入螺钉82的螺钉孔。该螺钉孔形成于保持构件78的、与第二方向正交的平板部分。

保持构件78通过从第二方向的一侧插通于长孔79a的螺钉82固定于保持构件79，且配置于保持构件79的、第二方向的另一侧。并且，两个保持构件78分别固定于两个保持构件79各自上。在保持构件78的、与上下方向正交的平板部分固定有气缸77b。即，在保持构件78上固定有基板吸附部72。

在本方式中，通过将螺钉82松开，可以进行基板吸附部72在第一方向上相对于面板吸附部71的位置调整。并且，通过将螺钉81松开，可以进行基板吸附部72在第二方向上相对于面板吸附部71的位置调整。即，基板吸附部72在第一方向和第二方向上相对于面板吸附部71可进行位置调整。并且，两个基板吸附部72各自相对于面板吸附部71可进行位置调整。

如图9所示，面板吸附部71和两个基板吸附部72经由共同的开关阀84与共同的空气的吸引机构85连接。开关阀84是电磁阀。并且，吸引机构85例如是真空泵。在开关阀84和两个基板吸附部72之间的配管路径上配置有流量控制阀86。流量控制阀86例如是流量调整阀或节流阀。在本方式中，通过流量控制阀86的作用，基板吸附部72对FPC2a的吸引力比面板吸附部71对液晶面板2的吸引力小。例如，基板吸附部72对FPC2a的吸引力和面板吸附部71对液晶面板2的吸引力的比为1：9。

在开关阀84和面板吸附部71之间的配管路径上，连接有用于基于面板吸附部71的吸引压而探测液晶面板2是否被吸附于面板吸附部71的第一压力传感器87。并且，在开关阀84和两个基板吸附部72之间的配管路径上，连接有用于基于基板吸附部72的吸引压探测FPC2a是否被吸附于基板吸附部72的第二压力传感器88。

面板探测机构74是光学式探测机构,具备朝向托盘3内的液晶面板2 射出光的发光部89和配置于可接受由液晶面板2反射的光的位置的受光部 90。具体而言，面板探测机构74是具有受发光部91和反射构件(回归反射板)92的回归反射型的光学式探测机构，受发光部91具有发光部89及受光部90，反射构件92将从发光部89射出并由液晶面板2反射后的光朝向液晶面板2反射，受光部90被配置于可接受由反射构件92反射后再由液晶面板2反射的光的位置。

发光部89具备作为光源的LED(发光二极管)。并且，发光部89例如具备传递来自LED的光的光纤。受发光部91及反射构件92固定于基体构件75的下表面侧。并且，受发光部91及反射构件92配置于比面板吸附部71的下表面靠上侧的位置。受发光部91和反射构件92以在第一方向上夹着面板吸附部71的方式配置。并且，受发光部91和反射构件92分别安装于第一方向上的基体构件75的两端侧。

发光部89的发光面及受光部90的受光面朝向斜下侧，反射构件92的反射面朝向斜下侧。并且，发光部89的发光面、受光部90的受光面及反射构件92的反射面朝向第一方向的内侧。从发光部89射出的光向液晶面板2的入射角θ为45°以上且小于90°。具体而言，入射角θ形成大致65 °。并且，在本方式中，照射至液晶面板2的光的点径较小。

面板探测机构74在面板把持部24要把持托盘3内的液晶面板2时，探测液晶面板2的有无。具体而言，面板探测机构74在面板把持部24要把持托盘3内的液晶面板2时，基于受光部90的受光量而探测液晶面板2 的有无。

即，如图10所示，在面板把持部24要把持托盘3内的液晶面板2时，如果在面板把持部24的下侧有液晶面板2，则从发光部89射出的光由液晶面板2的上表面反射、且由反射构件92反射后再次由液晶面板2的上表面反射而入射到受光部90，但如果在面板把持部24的下侧没有液晶面板2，则从发光部89射出的光由托盘3反射、且由反射构件92反射后再次由托盘3反射而入射到受光部90，因此，在面板把持部24的下侧有液晶面板2 的情况和没有液晶面板2的情况中，受光部90的受光量不同。面板探测机构74基于受光部90的受光量的差异来探测液晶面板2的有无。

此外，如图10所示，在托盘3上形成有支承液晶面板2的外周端部分的面板支承部3a。面板支承部3a形成为长方形的框状，液晶面板2的外周端部分的下表面与面板支承部3a的上表面接触。面板支承部3a的内周侧形成朝向下侧凹下的凹部3b。面板支承部3a的上表面和凹部3b的底面的上下方向的距离D为3～4(mm)左右。如上所述，液晶面板2的厚度为1(mm)左右，在收容于托盘3的液晶面板2未产生挠曲的情况下，收容于托盘3的液晶面板2的上表面和凹部3b的底面的上下方向的距离为4～5 (mm)左右。

在面板把持部24要把持托盘3内的液晶面板2时，在面板把持部24 的下侧没有液晶面板2的情况下，从发光部89射出的光由凹部3b的底面被反射。并且，由凹部3b的底面反射后的光由反射构件92反射后，再次由凹部3b的底面反射。

在本方式中，在面板把持部24要把持收容在托盘3内的规定部位的液晶面板2时，例如，如果在托盘3内存在液晶面板2的遗漏，且由面板探测机构74未探测到液晶面板2，机器人9则使面板把持部24移动，尝试由面板把持部24把持收容于托盘3内的其他部位的液晶面板2。

另一方面，在面板把持部24要把持收容在托盘3内的规定部位的液晶面板2时，如果由面板探测机构74探测到液晶面板2，机器人9则就这样继续液晶面板2的把持动作。即，机器人9尝试通过面板把持部24进行液晶面板2及FPC2a的吸附。具体而言，机器人9尝试由面板吸附部71吸附液晶面板2、由基板吸附部72吸附FPC2a。

之后，如果由第一压力传感器87探测到液晶面板2被吸附于面板吸附部71，且由第二压力传感器88探测到FPC2a被吸附于基板吸附部72，机器人9则开始从托盘3搬出液晶面板2的搬出动作。另一方面，在未探测到液晶面板2被吸附于面板吸附部71和FPC2a被吸附于基板吸附部72中的至少任一方的情况下，机器人9再次尝试通过面板把持部24进行液晶面板2及FPC2a的吸附。

之后，如果探测到液晶面板2被吸附于面板吸附部71且FPC2a被吸附于基板吸附部72，机器人9则开始从托盘3搬出液晶面板2的搬出动作，如果未探测到液晶面板2被吸附于面板吸附部71和FPC2a被吸附于基板吸附部72中的至少任一方，则为错误，机器人9停止。

(面板载台的结构)

图11是图4所示的面板载台39的立体图。图12是图11所示的两个基板载置部44移动并固定于面板载置部43侧时的面板载台39的立体图。

如上所述，面板载台39具备：载置液晶面板2的面板载置部43；以及载置FPC2a的基板载置部44。本方式的面板载台39具备两个基板载置部 44。并且，面板载台39具备用于调整基板载置部44相对于面板载置部43 的位置的第二位置调整机构93。

如上所述，面板载置部43形成为长方形的平板状。面板载置部43以面板载置部43的厚度方向和上下方向一致的方式配置。在以下的说明中，将形成为长方形的平板状的面板载置部43的长度方向(图11、图12的S 方向)设为“第三方向”，该第三方向为与上下方向(铅垂方向)正交的方向，将与上下方向和第三方向正交的面板载置部43的宽度方向(图11、图12的T方向)设为“第四方向”。

面板载置部43由具有导电性的树脂材料形成。该面板载置部43具备对载置于面板载置部43的上表面的液晶面板2进行真空吸附的吸附部43a。吸附部43a配置于面板载置部43的中心。如上所述，在面板载置部43的上表面安装有偏振构件45。偏振构件45被粘贴在面板载置部43的上表面的、未配置吸附部43a的位置。

基板载置部44形成为细长的扁平的长方体状。基板载置部44的上表面形成与上下方向正交的平面。基板载置部44的长度与面板载置部43的宽度方向的宽度(第四方向的宽度)相等。基板载置部44的厚度(上下方向的厚度)与面板载置部43的厚度相等。基板载置部44具备作为FPC2a 接触的配线接触构件的基板接触构件94。

基板接触构件94形成为细长的长方形的薄板状，构成基板载置部44 的上表面。基板接触构件94由橡胶形成。例如，基板接触构件94由硅橡胶形成。在基板接触构件94的上表面实施纹理加工，基板接触构件94的上表面成为形成纹理形状的凹凸面。即，FPC2a接触的基板接触构件94的上表面成为形成纹理形状的凹凸面。

第二位置调整机构93是手动式调整机构。该第二位置调整机构93具备保持基板载置部44的两个保持构件95。保持构件95是细长的长方形的平板状构件。在保持构件95上形成有长孔95a。长孔95a形成于保持构件 95的一端侧和保持构件95的另一端侧之间的整个区域。在面板载置部43 的第四方向的两端侧形成有拧入螺钉96的螺钉孔43b。具体而言，在面板载置部43的第四方向的两端侧分别形成有两个螺钉孔43b。螺钉孔43b在上下方向上贯通面板载置部43。

两个保持构件95分别通过从下侧插通于长孔95a的螺钉96固定于面板载置部43的第四方向的两端侧。并且，保持构件95以保持构件95的长度方向和第三方向一致的方式固定于面板载置部43的下表面。并且，保持构件95以保持构件95的厚度方向和上下方向一致的方式配置，长孔95a 在上下方向上贯通保持构件95。

两个基板载置部44中的一基板载置部44固定于两个保持构件95的一端部的上表面。即，该基板载置部44的一端部被固定在配置于第四方向的一侧的保持构件95的一端部的上表面，该基板载置部44的另一端部被固定在配置于第四方向的另一侧的保持构件95的一端部的上表面。

在另一基板载置部44的两端侧部分的下表面形成有拧入螺钉97的螺钉孔。该基板载置部44通过从下侧插通于长孔95a的螺钉97固定于保持构件95的上表面。即，该基板载置部44的一端部通过螺钉97被固定在配置于第四方向的一侧的保持构件95的上表面，该基板载置部44的另一端部通过螺钉97被固定在配置于第四方向的另一侧的保持构件95的上表面。基板载置部44与第四方向平行地配置。即，两个基板载置部44相互平行地配置，并且与第四方向平行地配置。并且，两个基板载置部44在第三方向上配置于面板载置部43的一侧。

在本方式中，通过将螺钉96松开，可进行保持构件95在第三方向上相对于面板载置部43的位置调整。即，通过将螺钉96松开，可进行两个基板载置部44在第三方向上相对于面板载置部43的位置调整。并且，通过将螺钉97松开，可进行另一基板载置部44在第三方向上相对于保持构件95的位置调整。即，通过将螺钉97松开，可进行另一基板载置部44在第三方向上相对于面板载置部43及一基板载置部44的位置调整。这样，在本方式中，两个基板载置部44各自相对于面板载置部43可进行位置调整。

两个基板载置部44的第三方向的间距与两个基板吸附部72的第二方向的间距大致相等。并且，两个基板载置部44中的配置于面板载置部43 侧的基板载置部44(另一基板载置部44)和面板载置部43的中心的第三方向的间距大致等于两个基板吸附部72中的配置于面板吸附部71侧的基板吸附部72和面板吸附部71的中心的第二方向的间距。

因此，在吸附于面板吸附部71的液晶面板2被载置于面板载置部43、吸附于基板吸附部72的FPC2a被载置于基板载置部44时，两个基板载置部44分别配置于两个基板吸附部72各自的正下方。此外，在本方式中，如图12所示，可以使两个基板载置部44接近面板载置部43，直至两个基板载置部44相互接触并且另一基板载置部44和面板载置部43相互接触的位置为止。

(本方式的主要效果)

如以上说明，在本方式中，把持液晶面板2的面板把持部24除具备吸附液晶面板2的面板吸附部71之外，还具备吸附从液晶面板2引出的FPC2a 的基板吸附部72。因此，在本方式中，即使将FPC2a从液晶面板2引出，也能够抑制搬运液晶面板2时的FPC2a的晃动。

在本方式中，面板把持部24具备用于调整基板吸附部72相对于面板吸附部71的位置的位置调整机构73。因此，在本方式中，即使FPC2a从液晶面板2的引出位置或FPC2a的形状发生变化，通过调整基板吸附部72相对于面板吸附部71的位置，也能够利用基板吸部72吸附FPC2a，使得FPC2a 不会晃动。因此，在本方式中，即使FPC2a从液晶面板2的引出位置或FPC2a 的形状发生变化，也能够使用共同的面板把持部24抑制搬运液晶面板2时的FPC2a的晃动。

特别是在本方式中，基板吸附部72在第一方向和第二方向上相对于面板吸附部71可进行位置调整，因此，即使FPC2a从液晶面板2的引出位置或FPC2a的形状大幅变化，通过在第一方向和第二方向这两方向上调整基板吸附部72相对于面板吸附部71的位置，也能够利用基板吸附部72吸附 FPC2a，使得FPC2a不会晃动。因此，在本方式中，即使FPC2a从液晶面板 2的引出位置或FPC2a的形状大幅变化，也能够使用共同的面板把持部24 抑制搬运液晶面板2时的FPC2a的晃动。

并且，在本方式中，因为两个基板吸附部72各自相对于面板吸附部 71可进行位置调整，所以即使FPC2a从液晶面板2的引出位置或FPC2a的形状大幅变化，通过调整两个基板吸附部72各自相对于面板吸附部71的位置，也能够利用基板吸附部72吸附FPC2a，使得FPC2a不会晃动。因此，在本方式中，即使FPC2a从液晶面板2的引出位置或FPC2a的形状大幅变化，也能够使用共同的面板把持部24抑制搬运液晶面板2时的FPC2a的晃动。

在本方式中，基板吸附部72具备缓和基板接触部76接触FPC2a时的冲击的缓冲机构77。因此，在本方式中，即使基板接触部76从面板吸附部 71向下侧突出，使得在面板吸附部71吸附液晶面板2时基板吸附部72能够可靠地吸附FPC2a，也能够缓和基板接触部76接触FPC2a时的冲击。因此，在本方式中，即使在面板吸附部71吸附液晶面板2时基板吸附部72能够可靠地吸附FPC2a，也能够防止基板接触部76和FPC2a接触时的FPC2a 的损伤。

并且，在本方式中，因为基板吸附部72具备缓冲机构77，所以即使液晶面板2的下表面的位置和FPC2a的下表面的位置在上下方向上错开，也能够在使液晶面板2与面板载置部43的上表面接触、且使FPC2a与基板载置部44的上表面接触的状态下，一起进行面板吸附部71对液晶面板2 的吸附的解除和基板吸附部72对FPC2a的吸附的解除。

在本方式中，面板吸附部71和基板吸附部72经由共同的开关阀84与共同的空气吸引机构85连接。因此，在本方式中，与连接面板吸附部71 的开关阀84和连接基板吸附部72的开关阀84分开设置的情况相比，可以简化机器人9的结构。并且，与连接面板吸附部71的吸引机构85和连接基板吸附部72的吸引机构85分开设置的情况相比，可简化机器人9的结构。

在本方式中，基板吸附部72对FPC2a的吸引力比面板吸附部71对液晶面板2的吸引力小。因此，在本方式中，可以通过适当的吸引力吸引重量比液晶面板2轻的FPC2a，并且可以通过适当的吸引力吸引液晶面板2。

在本方式中，FPC2a的、由基板吸附部72吸附的部分的面积比液晶面板2的、由面板吸附部71吸附的部分的面积小。因此，基板吸附部72对 FPC2a的吸附力比面板吸附部71对液晶面板2的吸附力低，与吸附于面板吸附部71的液晶面板2从面板吸附部71脱离的情况相比，吸附于基板吸附部72的FPC2a更容易从基板吸附部72脱离。并且，在本方式中，因为面板吸附部71和基板吸附部72经由共同的开关阀84与共同的空气吸引机构85连接，所以如果吸附于基板吸附部72的FPC2a从基板吸附部72脱离，则面板吸附部71对液晶面板2的吸引力降低，吸附于面板吸附部71的液晶面板2可能从面板吸附部71脱离而掉落，液晶面板2有可能损坏。

但是，在本方式中，在基板吸附部72和开关阀84之间的配管路径上配置有流量控制阀86，基板吸附部72对FPC2a的吸引力比面板吸附部71 对液晶面板2的吸引力小，因此，可减少吸引FPC2a的空气的吸引量。因此，在本方式中，能够抑制吸附于基板吸附部72的FPC2a从基板吸附部72 脱离时的、面板吸附部71对液晶面板2的吸引力的降低，其结果是，假如吸附于基板吸附部72的FPC2a从基板吸附部72脱离，也能够防止吸附于面板吸附部71的液晶面板2从面板吸附部71的脱离。

并且，在本方式中，设有用于基于基板吸附部72的吸引压而探测FPC2a 是否吸附于基板吸附部72的第二压力传感器88，因此，在探测到吸附于基板吸附部72的FPC2a从基板吸附部72脱离时，使机器人9停止，从而能够使机器人9安全地停止而不会使液晶面板2掉落。

在本方式中，面板载台39除载置液晶面板2的面板载置部43之外，还具备载置FPC2a的基板载置部44。因此，在本方式中，可以抑制在面板载台39向前后方向或左右方向滑动时或面板载台39转动时载置于面板载台39的FPC2a的晃动。

在本方式中，在吸附于面板吸附部71的液晶面板2被载置于面板载置部43、且吸附于基板吸附部72的FPC2a被载置于基板载置部44时，两个基板载置部44分别配置于两个基板吸附部72各自的正下方。因此，在本方式中，可以在将吸附于基板吸附部72的FPC2a载置于基板载置部44时使FPC2a可靠地接触基板载置部44的上表面的状态下，将FPC2a载置于基板载置部44。

在本方式中，面板载台39具备用于调整基板载置部44相对于面板载置部43的位置的第二位置调整机构93。因此，在本方式中，即使FPC2a 从液晶面板2引出的引出位置或FPC2a的形状发生变化，也能够通过调整基板载置部44相对于面板载置部43的位置，将FPC2a适当地载置于基板载置部44。因此，在本方式中，即使FPC2a从液晶面板2引出的引出位置或FPC2a的形状发生变化，也能够将附有FPC2a的液晶面板2适当地载置于共同的面板载台39上。

特别是在本方式中，两个基板载置部44各自相对于面板载置部43可进行位置调整，因此，即使FPC2a从液晶面板2引出的引出位置或FPC2a 的形状大幅变化，也能够通过调整两个基板载置部44各自相对于面板载置部43的位置，将FPC2a适当地载置于基板载置部44。因此，在本方式中，即使FPC2a从液晶面板2引出的引出位置或FPC2a的形状大幅变化，也能够将附有FPC2a的液晶面板2适当地载置于共同的面板载台39上。

并且，在本方式中，如图12所示，能够使两个基板载置部44接近面板载置部43，直至两个基板载置部44相互接触并且另一基板载置部44和面板载置部43相互接触的位置为止，因此，在看不见面板载台39的原点位置时，在图12所示的状态下可以使面板载台39恢复到原点。因此，在本方式中，即使在使面板载台39恢复到原点时使面板载台39转动，也能够防止面板载台39的周围的结构和面板载台39的干涉。

在本方式中，FPC2a接触的基板载置部44的上表面由橡胶制的基板接触构件94构成。并且，基板载置部44的上表面成为形成纹理形状的凹凸面。因此，在本方式中，能够防止FPC2a相对于基板载置部44的粘附。

(其他实施方式)

上述的方式是本发明的最佳方式的一例，但不限定于此，在不变更本发明的宗旨的范围内可以实施各种变形。

在上述的方式中，位置调整机构73是手动式的调整机构，但位置调整机构73亦可以是具备驱动源等的自动式的调整机构。并且，在上述的方式中，基板吸附部72可以仅在第一方向上相对于面板吸附部71可进行位置调整，亦可以仅在第二方向上相对于面板吸附部71可进行位置调整。并且，在上述的方式中，两个基板吸附部72相对于面板吸附部71可个别地调整，但亦可以是两个基板吸附部72相对于面板吸附部71可一起调整。而且，在上述的方式中，亦可以是仅两个基板吸附部72中的任一方的基板吸附部72相对于面板吸附部71可进行位置调整。并且，亦可以是两个基板吸附部 72相对于面板吸附部71不能进行位置调整。

在上述的方式中，面板把持部24具备的基板吸附部72的数量可以是一个，亦可以是三个以上。并且，基板吸附部72亦可以不具备缓冲机构77。并且，在上述的方式中，面板吸附部71和基板吸附部72可以经由个别的开关阀84与共同的吸引机构85连接，亦可以经由个别的开关阀84与个别的吸引机构85连接。

在上述的方式中，亦可以是在吸附于面板吸附部71的液晶面板2被载置于面板载置部43、吸附于基板吸附部72的FPC2a被载置于基板载置部 44时，两个基板载置部44中的至少任一方被配置于从基板吸附部72的正下方偏离的位置。并且，在上述的方式中，第二位置调整机构93是手动式调整机构，但第二位置调整机构93亦可以是具备驱动源等的自动式调整机构。并且，在上述的方式中，面板载台39亦可以被固定。

在上述的方式中，可以是仅两个基板载置部44中的任一方的基板载置部44相对于面板载置部43可进行位置调整，亦可以是两个基板载置部44 相对于面板载置部43不能进行位置调整。并且，在上述的方式中，面板载台39具备的基板载置部44的数量可以是一个，亦可以是三个以上。在面板载台39具备的基板载置部44的数量是一个、且基板载置部44相对于面板载置部43不能进行位置调整的情况下，例如，基板载置部44形成为一张平板状。此外，面板载台39亦可以不具备基板载置部44。

在上述的方式中，亦可以是FPC2a以外的配线从液晶面板2引出。例如，亦可以是FFC(Flexible Flat Cable：柔性扁平电缆)从液晶面板2 引出。在这种情况下，面板把持部24代替基板吸附部72而具备把持FFC 的配线吸附部。并且，在上述的方式中，被机器人9搬运的显示面板亦可以是液晶面板2以外的显示面板。例如，被机器人9搬运的显示面板亦可以是有机EL(电致发光)面板。

在上述的方式中，机器人36的面板把持部55亦可以与面板把持部24 同样地构成。即，面板把持部55亦可以具备吸附液晶面板2的面板吸附部和吸附FPC2a的基板吸附部。在这种情况下，在载置于面板载置部43的液晶面板2被吸附于面板把持部55的面板吸附部、载置于基板载置部44的 FPC2a被吸附于面板把持部55的基板吸附部时，两个基板载置部44分别配置于面板把持部55的两个基板吸附部各自的正下方。

在这种情况下，可以在将载置于基板载置部44的FPC2a吸附于面板把持部55的基板吸附部时使面板把持部55的基板吸附部与FPC2a可靠地接触的状态下，使面板把持部55的基板吸附部吸附FPC2a。该情况下的机器人36是面板搬运机器人。即，应用本发明的面板搬运机器人亦可以是双轴正交机器人。并且，在这种情况下，由机器人36和面板载台39构成面板搬运系统。此外，应用本发明的面板搬运机器人可以是三轴正交机器人，亦可以是水平多关节机器人。

同样，在上述的方式中，机器人33的面板把持部58亦可以与面板把持部24同样地构成。该情况下的机器人33是面板搬运机器人。并且，面板载台52亦可以与面板载台39同样地构成。即，面板载台52亦可以具备载置液晶面板2的面板载置部和载置FPC2a的基板载置部。在面板把持部 58与面板把持部24同样地构成、面板载台52与面板载台39同样地构成的情况下，由机器人33和面板载台52构成面板搬运系统。并且，在面板把持部55与面板把持部24同样地构成、且面板载台52与面板载台39同样地构成的情况下，由机器人36和面板载台52构成面板搬运系统。

符号说明

2 液晶面板(显示面板)

2a FPC(柔性印刷基板、配线)

9 机器人(面板搬运机器人)

24 面板把持部

28 移动机构

39 面板载台

43 面板载置部

44 基板载置部(配线载置部)

49 面板搬运系统

71 面板吸附部

72 基板吸附部(配线吸附部)

73 位置调整机构

76 配线接触部

77 缓冲机构

84 开关阀

85 吸引机构

86 流量控制阀

93 第二位置调整机构

94 基板接触构件(配线接触构件)

V 第一方向

W 第二方向。

Claims (14)

1.一种面板搬运机器人，其特征在于，具备：

把持显示面板的面板把持部；以及

使所述面板把持部移动的移动机构，

所述面板把持部具备：

吸附所述显示面板的面板吸附部；以及

吸附从所述显示面板引出的配线的配线吸附部，

所述面板吸附部和所述配线吸附部经由共同的开关阀与共同的空气吸引机构连接，

所述面板搬运机器人具备配置于所述配线吸附部和所述开关阀之间的配管路径上的流量控制阀，

所述配线吸附部对所述配线的吸引力比所述面板吸附部对所述显示面板的吸引力小。

2.如权利要求1所述的面板搬运机器人，其特征在于，

所述面板把持部具备用于调整所述配线吸附部相对于所述面板吸附部的位置的位置调整机构。

3.如权利要求2所述的面板搬运机器人，其特征在于，

所述面板吸附部以所述显示面板的厚度方向和铅垂方向一致的方式吸附所述显示面板，

所述配线吸附部能够在与铅垂方向正交的第一方向以及与铅垂方向和第一方向正交的第二方向上，相对于所述面板吸附部进行位置调整。

4.如权利要求2所述的面板搬运机器人，其特征在于，

所述面板把持部具备多个所述配线吸附部，

多个所述配线吸附部的每一个相对于所述面板吸附部能够分别进行位置调整。

5.如权利要求3所述的面板搬运机器人，其特征在于，

所述面板把持部具备多个所述配线吸附部，

多个所述配线吸附部的每一个相对于所述面板吸附部能够分别进行位置调整。

6.如权利要求1～5中任一项所述的面板搬运机器人，其特征在于，

所述配线吸附部具备：

与所述配线接触的配线接触部；以及

缓和所述配线接触部与所述配线接触时的冲击的缓冲机构。

7.一种面板搬运系统，其特征在于，具备：

权利要求1～6中任一项所述的面板搬运机器人；以及

载置所述面板搬运机器人搬运的所述显示面板的面板载台，

所述面板载台具备：

载置所述显示面板的面板载置部；以及

载置所述配线的配线载置部。

8.如权利要求7所述的面板搬运系统，其特征在于，

在被吸附于所述配线吸附部的所述配线载置于所述配线载置部时和被载置于所述配线载置部的所述配线吸附于所述配线吸附部时的至少任一方，所述配线载置部配置于所述配线吸附部的正下方。

9.如权利要求7所述的面板搬运系统，其特征在于，

所述面板载台具备用于调整所述配线载置部相对于所述面板载置部的位置的第二位置调整机构。

10.如权利要求8所述的面板搬运系统，其特征在于，

所述面板载台具备用于调整所述配线载置部相对于所述面板载置部的位置的第二位置调整机构。

11.如权利要求7所述的面板搬运系统，其特征在于，

所述配线载置部具备与所述配线接触的橡胶制的配线接触构件，

所述配线接触的所述配线接触构件的上表面成为形成纹理形状的凹凸面。

12.如权利要求8所述的面板搬运系统，其特征在于，

所述配线载置部具备与所述配线接触的橡胶制的配线接触构件，

所述配线接触的所述配线接触构件的上表面成为形成纹理形状的凹凸面。

13.如权利要求9所述的面板搬运系统，其特征在于，

所述配线载置部具备与所述配线接触的橡胶制的配线接触构件，

所述配线接触的所述配线接触构件的上表面成为形成纹理形状的凹凸面。

14.如权利要求10所述的面板搬运系统，其特征在于，

所述配线载置部具备与所述配线接触的橡胶制的配线接触构件，

所述配线接触的所述配线接触构件的上表面成为形成纹理形状的凹凸面。

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