JP2020021896A - 搬送ロボットおよび搬送システム - Google Patents

Abstract

【課題】トレイが複数段に積み重なった状態で配置されるトレイ配置部からトレイを１枚ずつ搬送することが可能な搬送ロボットを提供する。【解決手段】この搬送ロボットは、トレイ把持部５５と、トレイ把持部５５を昇降可能に保持する保持部材５６と、フローティング機構５７を介して保持部材５６を揺動可能に保持する保持部材５８と、保持部材５６に対してトレイ把持部５５を昇降させる昇降機構６０と、第１トレイ３Ａと第２トレイ３Ｂとの間に入り込む爪部９２ａと、分離位置９２Ａと退避位置９２Ｂとの間で爪部９２ａを移動させる爪移動機構９３とを備えている。この搬送ロボットは、トレイ把持部５５が第１トレイ３Ａを把持し、爪移動機構９３が退避位置９２Ｂにある爪部９２ａを分離位置９２Ａに移動させた後に、昇降機構６０が保持部材５６に対してトレイ把持部５５を上昇させてから、トレイ配置部から第１トレイ３Ａを搬送する。【選択図】図７

Description

本発明は、液晶パネル等の表示パネルを収容可能なトレイを搬送する搬送ロボットに関する。また、本発明は、かかる搬送ロボットを備える搬送システムに関する。

従来、小型の液晶パネルを搬送する搬送システムが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の搬送システムは、液晶パネルを収容可能なトレイを搬送するコンベヤと、トレイが載置されるトレイステージと、コンベヤとトレイステージとの間でトレイを搬送する第１搬送ロボットと、トレイステージに載置されたトレイから液晶パネルを搬出する第２搬送ロボットとを備えている。第１搬送ロボットは、いわゆる３軸直交ロボットであり、トレイを把持するトレイ把持部を備えている。第２搬送ロボットは、いわゆるパラレルリンクロボットであり、液晶パネルを把持するパネル把持部を備えている。

特許文献１に記載の搬送システムは、トレイを搬送するコンベヤとして、供給側のコンベヤと排出側のコンベヤとを備えるとともに、２個のトレイステージを備えている。供給側のコンベヤと排出側のコンベヤとは左右方向で隣接配置され、２個のトレイステージは、左右方向で隣接配置されている。第１搬送ロボットは、供給側のコンベヤからトレイステージにトレイを１枚ずつ搬送するとともに、トレイステージから排出側のコンベヤにトレイを１枚ずつ搬送する。

特許文献１に記載の搬送システムでは、コンベヤは、複数段に積み重なったトレイを前後方向へ直線的に搬送する。また、コンベヤは、前後方向で分割された複数の分割コンベヤによって構成されている。供給側のコンベヤを構成する分割コンベヤのうちの最も後ろ側に配置される分割コンベヤは、コンベヤ上のトレイの段数を検知するための段数検知機構を備えている。特許文献１に記載の搬送システムでは、段数検知機構の検知結果に基づいて第１搬送ロボットが動作して、供給側のコンベヤからトレイステージにトレイを１枚ずつ搬送する。

特開２０１８−６５１８号公報

特許文献１に記載の搬送システムでは、供給側のコンベヤ上で上下方向で接触する２枚のトレイのうちの一方のトレイが他方のトレイに食い込んで、供給側のコンベヤからトレイステージに、２枚以上のトレイが重なった状態で搬送されると、トレイステージに載置されたトレイから第２搬送ロボットが液晶パネルを搬出できなくなったり、トレイステージに載置されたトレイに収容される液晶パネルと第２搬送ロボットのパネル把持部とが衝突して液晶パネルが破損したりする等の様々な問題が発生するおそれがある。

そこで、本発明の課題は、表示パネルを収容可能なトレイが複数段に積み重なった状態で配置されるトレイ配置部からトレイを１枚ずつ搬送することが可能な搬送ロボットを提供することにある。また、本発明の課題は、かかる搬送ロボットを備える搬送システムを提供することにある。

上記の課題を解決するため、本発明の搬送ロボットは、表示パネルを収容可能なトレイが複数段に積み重なった状態で配置されるトレイ配置部からトレイを１枚ずつ搬送する搬送ロボットであって、トレイを上側から吸着して把持するトレイ把持部と、トレイ把持部を昇降可能に保持する第１保持部材と、フローティング機構を介して第１保持部材を揺動可能に保持する第２保持部材と、第２保持部材が固定される固定部材と、第１保持部材に対してトレイ把持部を昇降させる昇降機構と、固定部材を移動させる移動機構と、トレイ配置部で複数段に積み重なるトレイのうちの最上段に配置されるトレイである第１トレイとトレイ配置部で複数段に積み重なるトレイのうちの上から２番目に配置されるトレイである第２トレイとを分離するためのトレイ分離機構とを備え、トレイ分離機構は、第１トレイと第２トレイとの間に入り込む爪部と、第１トレイと第２トレイとの間に爪部が入り込む分離位置と第１トレイと第２トレイとの間から爪部が外れる退避位置との間で爪部を移動させる爪移動機構とを備えるとともに、第１保持部材に取り付けられ、トレイ把持部が第１トレイを把持するとともに、爪移動機構が退避位置にある爪部を分離位置に移動させた後に、昇降機構が第１保持部材に対してトレイ把持部を上昇させてから、移動機構が固定部材を移動させて、トレイ配置部から第１トレイを搬送することを特徴とする。

本発明の搬送ロボットでは、トレイ把持部が第１トレイを把持するとともに、爪移動機構が退避位置にある爪部を分離位置に移動させた後に、昇降機構が第１保持部材に対してトレイ把持部を上昇させてから、トレイ配置部から第１トレイを搬送している。すなわち、本発明では、第１トレイと第２トレイとの間に爪部が入り込んでいる状態で、爪部が取り付けられた第１保持部材に対して、第１トレイを把持するトレイ把持部を上昇させた後、トレイ配置部から第１トレイを搬送している。

そのため、本発明では、第１トレイと第２トレイとの間に入り込んでいる爪部が取り付けられた第１保持部材に対して、第１トレイを把持するトレイ把持部を上昇させることで、第１トレイと第２トレイとの間に入り込んでいる爪部によって第１トレイと第２トレイとを分離した後に、トレイ配置部から第１トレイを搬送することが可能になる。したがって、本発明では、トレイが複数段に積み重なった状態で配置されるトレイ配置部からトレイを１枚ずつ搬送することが可能になる。

また、本発明では、第１保持部材がフローティング機構を介して第２保持部材に揺動可能に保持されているため、第１トレイが水平方向に対して傾いていても、第１保持部材に保持されるトレイ把持部を第１トレイに追従させて傾けることが可能になる。したがって、本発明では、第１トレイが水平方向に対して傾いていても、トレイ把持部によって第１トレイを確実に把持することが可能になり、その結果、トレイが複数段に積み重なった状態で配置されるトレイ配置部からトレイを１枚ずつ搬送することが可能になる。

本発明において、水平方向の一方向を第１方向とし、上下方向と第１方向とに直交する方向を第２方向とすると、フローティング機構は、第１方向を揺動の軸方向とする揺動可能に第２保持部材に保持される第１揺動部材と、第２方向を揺動の軸方向とする揺動可能に第１揺動部材に保持されるとともに第１保持部材が固定される第２揺動部材とを備えていることが好ましい。このように構成すると、第１トレイが水平方向に対して傾いていても、トレイ把持部を第１トレイに追従させて傾けやすくなる。

本発明において、搬送ロボットは、第１揺動部材を揺動可能に保持する第３保持部材と固定部材に固定されるとともに第３保持部材を昇降可能に保持する第４保持部材とを有する第２保持部材と、第４保持部材に対して第３保持部材を下側へ付勢するための付勢部材と、第４保持部材に対する第３保持部材の上下方向の相対位置を検知するための検知機構とを備え、移動機構は、固定部材を上下方向および水平方向に移動させるとともに、トレイ把持部が第１トレイを把持するときに、検知機構の検知結果に基づいて固定部材を停止させることが好ましい。

このように構成すると、トレイ把持部が過剰な力で第１トレイの上面に接触するのを防止することが可能になる。また、このように構成すると、トレイ把持部が第１トレイの上面に接触して第１トレイを把持するときに、検知機構の検知結果に基づいて、第１保持部材に保持される爪部を第１トレイと第２トレイとの間に高い確率で入れ込むことが可能となる位置で第１保持部材を停止させることが可能になる。したがって、第１トレイと第２トレイとを確実に分離することが可能になり、その結果、トレイ配置部から確実にトレイを１枚ずつ搬送することが可能になる。

本発明において、搬送ロボットは、第４保持部材に対する第３保持部材の下側への移動範囲を規制するためのストッパ部材を備え、ストッパ部材は、第１保持部材および第４保持部材のいずれか一方に固定され、第１保持部材および第４保持部材のいずれか他方に接触可能となっていることが好ましい。このように構成すると、水平方向に対して傾いている第１トレイをトレイ把持部が把持して上昇したときに、付勢部材およびストッパ部材を利用して、トレイ把持部に把持された第１トレイを水平方向と略平行にすることが可能になるとともに、第１トレイが水平方向と略平行になっている状態を維持することが可能になる。したがって、トレイ配置部から搬送されるトレイの状態を安定させることが可能になる。

本発明の搬送ロボットは、トレイ配置部を備える搬送システムに用いることができる。この搬送システムでは、たとえば、トレイ配置部は、複数段に積み重なった状態のトレイの一端面が当接可能なガイド部材を備え、搬送ロボットは、トレイの他端面を押して複数段に積み重なった状態のトレイの一端面をガイド部材に押し付けるための押付機構を備えている。

この搬送システムでは、トレイが複数段に積み重なった状態で配置されるトレイ配置部からトレイを１枚ずつ搬送することが可能になる。また、この搬送システムでは、搬送ロボットがトレイ分離機構を備えているため、トレイ配置部にトレイ分離機構を設ける必要がなくなる。さらに、この搬送システムでは、搬送ロボットが、トレイの他端面を押して複数段に積み重なった状態のトレイの一端面をトレイ配置部のガイド部材に押し付けるための押付機構を備えているため、トレイ把持部が第１トレイを把持する前に、トレイ配置部で複数段に積み重なっているトレイを位置決めすることが可能になる。また、トレイ把持部が第１トレイを把持する前に、トレイ配置部で複数段に積み重なっているトレイが水平方向と略平行になるようにトレイの水平方向に対する傾きを補正することが可能になる。したがって、第１トレイの、トレイ把持部に把持される位置のずれを抑制することが可能になる。

以上のように、本発明では、表示パネルを収容可能なトレイが複数段に積み重なった状態で配置されるトレイ配置部からトレイを１枚ずつ搬送することが可能になる。

本発明の実施の形態にかかる搬送システムの側面図である。 図１のＥ−Ｅ方向から搬送システムを示す平面図である。 図１に示す分割コンベヤのガイド部材の構成を説明するための平面図である。 図１に示すハンドの平面図である。 図４に示すハンドの側面図である。 図５に示すハンドがトレイを把持するときの状態を説明するための側面図である。 図４に示すハンドの正面図である。 図５に示すフローティング機構の構成を説明するための平面図である。 図２に示すトレイ配置部から搬送ロボットがトレイを搬送するときの動作を説明するための図である。 図１に示す搬送ロボットの効果を説明するための側面図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

（搬送システムの全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる搬送システム１の側面図である。図２は、図１のＥ−Ｅ方向から搬送システム１を示す平面図である。図３は、図１に示す分割コンベヤ２０のガイド部材２８の構成を説明するための平面図である。

本形態の搬送システム１は、携帯機器等で使用される小型の液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれて使用される。搬送システム１は、表示パネルである液晶パネル２を搬送して、液晶パネル２に対して所定の処理を行う処理装置１５（図２参照）に液晶パネル２を供給する。液晶パネル２は、長方形の平板状に形成されている。

搬送システム１は、液晶パネル２を収容可能なトレイ３を搬送する２個のコンベヤ４、５を備えている。トレイ３は、略長方形の平板状に形成されている。トレイ３の上面には、液晶パネル２が収容される凹部が形成されている。また、トレイ３は、樹脂で形成されている。トレイ３には、たとえば、複数枚の液晶パネル２が互いに重なっていない状態で収容されている。コンベヤ４、５は、複数段に積み重なったトレイ３（段積みされたトレイ３）を水平方向へ直線的に搬送する。

以下の説明では、コンベヤ４、５によるトレイ３の搬送方向（図１等のＸ方向）を「前後方向」とし、上下方向（鉛直方向）と前後方向とに直交する方向（図１等のＹ方向）を「左右方向」とする。また、前後方向の一方側である図１等のＸ１方向側を「前」側とし、その反対側である図１等のＸ２方向側を「後（後ろ）側」とする。本形態では、搬送システム１の後ろ側に処理装置１５が配置されている。

また、搬送システム１は、トレイ３が載置される２個のトレイステージ６、７と、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７との間でトレイ３を搬送する搬送ロボットとしてのロボット８と、トレイステージ６、７に載置されたトレイ３から液晶パネル２を搬出するロボット９と、ロボット９から液晶パネル２を受け取って処理装置１５に供給する供給ユニット１０とを備えている。トレイステージ６、７は、コンベヤ４、５よりも後ろ側に配置されている。供給ユニット１０は、トレイステージ６、７よりも後ろ側に配置されている。

また、搬送システム１は、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７とロボット８と供給ユニット１０とが設置される本体フレーム１１と、ロボット９が設置される本体フレーム１２とを備えている。本体フレーム１１は、前後方向に細長く、かつ、高さが低い扁平な直方体状に形成されている。本体フレーム１１の上面には、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７とロボット８と供給ユニット１０とが設置されている。本体フレーム１２は、略門型に形成された門型フレームであり、前後方向から見たときに、本体フレーム１１の後端側部分を跨ぐように設置されている。

コンベヤ４、５は、複数のローラを備えるローラコンベヤである。コンベヤ４とコンベヤ５とは、左右方向で隣接配置されている。コンベヤ４は、段積みされたトレイ３を後ろ側へ向かって搬送し、コンベヤ５は、段積みされたトレイ３を前側に向かって搬送する。コンベヤ４で搬送されるトレイ３には、複数枚の液晶パネル２が収容されている。一方、コンベヤ５で搬送されるトレイ３には、液晶パネル２は収容されておらず、コンベヤ５で搬送されるトレイ３は空トレイとなっている。なお、コンベヤ４、５は、ベルトコンベヤ等であっても良い。

コンベヤ４は、前後方向で分割された複数の分割コンベヤ１６〜２０によって構成されている。たとえば、コンベヤ４は、５個の分割コンベヤ１６〜２０によって構成されている。分割コンベヤ１６〜２０は、前側から後ろ側に向かってこの順番で配置されている。同様に、コンベヤ５は、前後方向で分割された５個の分割コンベヤ２１〜２５によって構成されている。分割コンベヤ２１〜２５は、前側から後ろ側に向かってこの順番で配置されている。分割コンベヤ１６〜２５は、個別に駆動可能となっている。

分割コンベヤ１６には、仮置き用の棚（図示省略）から作業者によって運ばれてきた段積み状態のトレイ３が載置される。分割コンベヤ１６に載置された段積み状態のトレイ３は、コンベヤ４によって後ろ側へ搬送される。分割コンベヤ２０まで搬送された段積み状態のトレイ３は、後述のようにロボット８によって段ばらしされる。また、分割コンベヤ２５には、後述のようにロボット８によって空のトレイ３が段積みされる。所定の段数までトレイ３が段積みされると、段積み状態のトレイ３は、コンベヤ５によって前側に搬送される。分割コンベヤ２１まで搬送された段積み状態のトレイ３は、作業者によって空トレイ用の棚まで運ばれる。

分割コンベヤ２０は、複数段に積み重なった状態のトレイ３を水平方向で位置決めするためのガイド部材２８を備えている（図３参照）。ガイド部材２８は、分割コンベヤ２０の後端部に配置されるとともに、左右の両端側の２箇所に配置されている。ガイド部材２８は、段積み状態のトレイ３を左右方向で位置決めするための第１ガイド部２８ａと、段積み状態のトレイ３を前後方向で位置決めするための第２ガイド部２８ｂとから構成されており、上下方向から見たときのガイド部材２８の形状は、Ｌ形状となっている。第２ガイド部２８ｂには、段積み状態のトレイ３の一端面（具体的には、後端面）が当接可能になっている。本形態の分割コンベヤ２０は、液晶パネル２を収容可能なトレイ３が複数段に積み重なった状態で配置されるトレイ配置部である。

トレイステージ６、７には、１枚のトレイ３が載置される。トレイステージ６とトレイステージ７とは、左右方向において所定の間隔をあけた状態で配置されている。トレイステージ６は、左右方向においてコンベヤ４と略同じ位置に配置され、トレイステージ７は、左右方向においてコンベヤ５と略同じ位置に配置されている。また、トレイステージ６は、分割コンベヤ２０のすぐ後ろに配置され、トレイステージ７は、分割コンベヤ２５のすぐ後ろに配置されている。トレイステージ６、７の上面は、上下方向に直交する平面となっている。

ロボット８は、いわゆる３軸直交ロボットである。ロボット８は、門型に形成される本体フレーム３５と、本体フレーム３５に対して左右方向へのスライドが可能となるように本体フレーム３５に保持される可動フレーム３６と、可動フレーム３６に対して前後方向へスライドが可能となるように可動フレーム３６に保持される可動フレーム３７と、可動フレーム３７に対して上下方向へのスライドが可能となるように可動フレーム３７に保持される可動フレーム３８と、可動フレーム３８に取り付けられるハンド３９とを備えている。また、ロボット８は、可動フレーム３６を左右方向へスライドさせる駆動機構と、可動フレーム３７を前後方向へスライドさせる駆動機構と、可動フレーム３８を上下方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。

本体フレーム３５は、左右方向において、分割コンベヤ１９、２４の後端側部分および分割コンベヤ２０、２５の前端側部分を跨ぐように設置されている。本体フレーム３５は、本体フレーム１１の上面から立ち上がるように本体フレーム１１の上面に固定されている。可動フレーム３６は、本体フレーム３５の上面側に取り付けられ、可動フレーム３７は、可動フレーム３６の右側に取り付けられ、可動フレーム３８は、可動フレーム３７の後端側に取り付けられている。ハンド３９は、可動フレーム３８の下端に取り付けられている。ロボット８がトレイ３を搬送するときには、ハンド３９がトレイ３を真空吸着する。ハンド３９の具体的な構成については後述する。

ロボット８は、コンベヤ４からトレイステージ６、７にトレイ３を１枚ずつ搬送するとともに、トレイステージ６、７からコンベヤ５にトレイ３を１枚ずつ搬送する。具体的には、ロボット８は、分割コンベヤ２０まで搬送された段積み状態のトレイ３をトレイステージ６またはトレイステージ７に１枚ずつ搬送して、分割コンベヤ２０上の段積み状態のトレイ３を段ばらしする。また、ロボット８は、空になった１枚のトレイ３をトレイステージ６またはトレイステージ７から分割コンベヤ２５に搬送して、分割コンベヤ２５上で積み重なるトレイ３の段数が所定の段数になるまで分割コンベヤ２５にトレイ３を段積みする。

ロボット９は、いわゆるパラレルリンクロボットである。ロボット９は、本体部４５と、本体部４５に連結される３本のレバー４６と、３本のレバー４６のそれぞれに連結される３個のアーム部４７と、３個のアーム部４７に連結されるヘッドユニット４８と、ヘッドユニット４８に取り付けられるパネル把持部４９とを備えている。本体部４５は、本体フレーム１２の上面部１２ａに固定されており、ロボット９は、上面部１２ａにぶら下がるように上面部１２ａに設置されている。また、本体部４５は、トレイステージ６、７の上方に配置されるとともに、ロボット８の本体フレーム３５よりも後ろ側に配置されている。

３本のレバー４６は、本体部４５の外周側へ略等角度ピッチで略放射状に伸びるように本体部４５に連結されている。すなわち、３本のレバー４６は、本体部４５の外周側へ略１２０°ピッチで略放射状に伸びるように本体部４５に連結されている。また、３本のレバー４６の基端側は、本体部４５に回動可能に連結されている。本体部４５とレバー４６との連結部には、レバー４６を回動させるモータ５０が配置されている。本形態のロボット９は、３本のレバー４６のそれぞれを回動させる３個のモータ５０を備えている。

アーム部４７の基端側は、レバー４６の先端側に回動可能に連結されている。具体的には、アーム部４７は、互いに平行な直線状の２本のアーム５２を備えており、２本のアーム５２のそれぞれの基端側がレバー４６の先端側に回動可能に連結されている。ヘッドユニット４８は、３個のアーム部４７の先端側に回動可能に連結されている。パネル把持部４９は、ヘッドユニット４８の下端に取り付けられている。パネル把持部４９は、液晶パネル２を真空吸着する複数の吸着部を備えており、この吸着部によって液晶パネル２の上面を吸着することで液晶パネル２を把持する。また、ヘッドユニット４８の上端には、上下方向を回転の軸方向としてパネル把持部４９を回転させるモータが取り付けられている。

ロボット９では、３個のモータ５０を個別に駆動することで、所定のエリア内において、上下方向、左右方向および前後方向の任意の位置へ、かつ、ヘッドユニット４８が一定の姿勢を保ったままの状態で（具体的には、パネル把持部４９が下側を向いたままの状態で）、ヘッドユニット４８を移動させることが可能になっている。ロボット９は、トレイステージ６に載置されたトレイ３またはトレイステージ７に載置されたトレイ３から液晶パネル２を１枚ずつ搬出する。具体的には、ロボット９は、トレイステージ６、７に載置されたトレイ３が空になるまでトレイ３から液晶パネル２を１枚ずつ搬出して、供給ユニット１０に搬入する。

供給ユニット１０は、液晶パネル２の、表示領域から外れた箇所に記録される検査データ等のデータを読み取るデータ読取装置と、データ読取装置で液晶パネル２のデータが読み取られる前に液晶パネル２の位置合わせをするアライメント装置と、データ読取装置でデータが読み取られた後の液晶パネル２を処理装置１５へ搬送するロボットとを備えている。供給ユニット１０は、ロボット９から液晶パネル２を受け取って処理装置１５に供給する。

（ハンドの構成）
図４は、図１に示すハンド３９の平面図である。図５は、図４に示すハンド３９の側面図である。図６は、図５に示すハンド３９がトレイ３を把持するときの状態を説明するための側面図である。図７は、図４に示すハンド３９の正面図である。図８は、図５に示すフローティング機構５７の構成を説明するための平面図である。

ハンド３９は、トレイ３を上側から吸着して把持するトレイ把持部５５と、トレイ把持部５５を昇降可能に保持する第１保持部材としての保持部材５６と、フローティング機構５７を介して保持部材５６を揺動可能に保持する第２保持部材としての保持部材５８とを備えている。保持部材５８は、可動フレーム３８の下端に固定されている。本形態の可動フレーム３８は、保持部材５８が固定される固定部材である。また、本形態では、可動フレーム３６、３７と、可動フレーム３６を左右方向へスライドさせる駆動機構と、可動フレーム３７を前後方向へスライドさせる駆動機構と、可動フレーム３８を上下方向へスライドさせる駆動機構とによって、固定部材である可動フレーム３８を上下方向および水平方向へ移動させる移動機構５９（図１、図２参照）が構成されている。

また、ハンド３９は、保持部材５６に対してトレイ把持部５５を昇降させる昇降機構６０と、分割コンベヤ２０上で複数段に積み重なった状態のトレイ３の後端面をガイド部材２８に押し付ける（具体的には、第２ガイド部２８ｂに押し付ける）ための押付機構６１とを備えている。また、分割コンベヤ２０で複数段に積み重なるトレイ３のうちの最上段に配置されるトレイ３を「第１トレイ３Ａ」とし、分割コンベヤ２０で複数段に積み重なるトレイ３のうちの上から２番目に配置されるトレイ３を「第２トレイ３Ｂ」とすると、ハンド３９は、第１トレイ３Ａと第２トレイ３Ｂとを分離するためのトレイ分離機構６２を備えている。

トレイ把持部５５は、トレイ３を吸着する複数の吸着部６４と、複数の吸着部６４を保持するフレーム６５とを備えている。上下方向から見たときのフレーム６５の形状は、たとえば、略正方形の枠状に形成されている。吸着部６４は、たとえば、略正方形の枠状に形成されるフレーム６５の四隅に取り付けられている。吸着部６４には、所定の配管を介して真空ポンプ（図示省略）が接続されている。吸着部６４の下端部は、トレイ３の上面に接触してトレイ３を真空吸着する吸着パッド６６となっている。吸着パッド６６は、フレーム６５よりも下側に配置されている。また、吸着パッド６６は、フレーム６５に対して昇降可能となっている（図５、図６参照）。吸着パッド６６は、圧縮コイルバネ等の付勢部材によって下側に向かって付勢されている。

フローティング機構５７は、前後方向を揺動の軸方向とする揺動が可能となるように保持部材５８に保持される第１揺動部材としての揺動部材６８と、左右方向を揺動の軸方向とする揺動が可能となるように揺動部材６８に保持されるとともに保持部材５６が固定される第２揺動部材としての揺動部材６９とを備えている。本形態の前後方向（Ｘ方向）は、水平方向の一方向である第１方向となっており、左右方向（Ｙ方向）は、上下方向と第１方向とに直交する第２方向となっている。

図８に示すように、保持部材５８の下端部には、２本の固定軸７０が固定されている。２本の固定軸７０のそれぞれは、保持部材５８の下端部から前後方向の両側に突出している。揺動部材６８は、保持部材５８の下端部の外周面を囲む略正方形の枠状に形成されている。揺動部材６８は、２本の固定軸７０に揺動可能に支持されている。揺動部材６８には、２本の固定軸７１が固定されている。２本の固定軸７１のそれぞれは、揺動部材６８から左右方向の両側に突出している。揺動部材６９は、揺動部材６８の外周面を囲む略正方形の枠状に形成されている。揺動部材６９は、２本の固定軸７１に揺動可能に支持されている。

保持部材５６は、揺動部材６９が固定される平板状の平板部材７２と、平板部材７２から立ち上がる扁平な直方体状の２個のブロック部材７３とを備えている。平板部材７２は、平板部材７２の厚さ方向と上下方向とが略一致するように配置されている。平板部材７２は、略正方形の枠状に形成される基部７２ａと、基部７２ａの前端側から左右方向の一方側へ伸びる突出部７２ｂと、基部７２ａの後端側から左右方向の他方側へ伸びる突出部７２ｂとから構成されている。

揺動部材６９は、基部７２ａの下面に固定されている。上下方向から見たときに、揺動部材６８の外周面は、基部７２ａに囲まれている。ブロック部材７３は、基部７２ａの上面に固定されており、基部７２ａの上面から上側に向かって立ち上がっている。２個のブロック部材７３のそれぞれは、基部７２ａの前後方向の両端部に固定されている。また、ブロック部材７３は、左右方向における基部７２ａの中心位置に固定されている。

保持部材５８は、保持部材５８の下端部を構成するブロック状のブロック部材７５と、保持部材５８の上端部を構成するブロック状のブロック部材７６とを備えている。固定軸７０は、ブロック部材７５に固定されており、ブロック部材７５は、揺動部材６８を揺動可能に保持している。ブロック部材７６は、可動フレーム３８の下端に固定されている。本形態のブロック部材７５は、第３保持部材であり、ブロック部材７６は、第４保持部材である。

ブロック部材７６は、ブロック部材７５を昇降可能に保持している。ハンド３９は、ブロック部材７６に対してブロック部材７５を下側へ付勢するための付勢部材７７と、ブロック部材７６に対するブロック部材７５の上下方向の相対位置を検知するための検知機構７８と、ブロック部材７６に対するブロック部材７５の下側への移動範囲を規制するためのストッパ部材７９とを備えている。本形態の付勢部材７７は、圧縮コイルバネである。したがって、以下では、付勢部材７７を「圧縮コイルバネ７７」と表記する。

ブロック部材７５の上面には、ブロック部材７６に対してブロック部材７５を上下方向へ案内するためのガイド軸８０が固定されている。ガイド軸８０は、ブロック部材７５の上面の、左右の両端側の２箇所に固定されている。ガイド軸８０は、ブロック部材７５の上面から上側に向かって立ち上がっている。ガイド軸８０は、ブロック部材７６に固定されるガイドブッシュ８１に挿通されている。ガイド軸８０の上端には、ガイドブッシュ８１からのガイド軸８０の抜けを防止する抜止め部材８２が固定されている。抜止め部材８２は、ガイドブッシュ８１の上側に配置されている。圧縮コイルバネ７７には、ガイド軸８０が挿通されている。圧縮コイルバネ７７の上端は、ガイドブッシュ８１の下端に当接し、圧縮コイルバネ７７の下端は、ブロック部材７５の上面に当接している。

ストッパ部材７９は、保持部材５６に固定されている。具体的には、ストッパ部材７９は、平板状の固定部材８３を介してブロック部材７３の上端面に固定されている。すなわち、ブロック部材７３の上端面に固定部材８３が固定され、ストッパ部材７９は、固定部材８３に固定されている。ストッパ部材７９は、固定部材８３から下側に向かって伸びる棒状の部材である。ストッパ部材７９の上端部には、オネジが形成されており、ストッパ部材７９の上端部は、ナットによって固定部材８３に固定されている。本形態では、２個の固定部材８３のそれぞれに２本のストッパ部材７９が左右方向に間隔をあけた状態で固定されている。また、ストッパ部材７９は、ブロック部材７３よりも前後方向の内側に配置されている。なお、図７等では、ストッパ部材７９の図示を省略している。

ストッパ部材７９の下端面は、ブロック部材７６の一部を構成する当接板８４の上面に当接可能となっている。すなわち、ストッパ部材７９は、ブロック部材７６に当接可能となっている。ストッパ部材７９の下端面が当接板８４の上面に当接すると、ブロック部材７６に対するブロック部材７５の下側への移動範囲が規制される。より具体的には、ストッパ部材７９の下端面が当接板８４の上面に当接すると、ブロック部材７６に対するブロック部材７５、フローティング機構５７（揺動部材６８、６９）、保持部材５６（平板部材７２、ブロック部材７３）、昇降機構６０およびトレイ把持部５５の下側への移動範囲が規制される。なお、４本のストッパ部材７９のそれぞれが当接板８４に当接しているときには、トレイ把持部５５が水平方向と平行になっている。

検知機構７８は、ブロック部材７６に固定されるセンサ８６と、ブロック部材７５の上面に固定される検知部材８７とを備えている。センサ８６は、たとえば、発光素子と受光素子とを備える光学式センサである。圧縮コイルバネ７７の付勢力によって、ブロック部材７６に対してブロック部材７５が下降してストッパ部材７９の下端面が当接板８４の上面に当接しているときには、検知部材８７の上端は、センサ８６よりも下側に配置されており、検知部材８７は、センサ８６に検知されていない。一方、圧縮コイルバネ７７の付勢力に抗して、ブロック部材７６に対してブロック部材７５が所定位置まで上昇すると、検知部材８７の上端部がセンサ８６によって検知される。なお、センサ８６は、近接センサ等の光学式センサ以外のセンサであっても良い。また、図４、図７等では、検知機構７８の図示を省略している。

昇降機構６０は、エアシリンダである。具体的には、昇降機構６０は、デュアルロッドタイプのエアシリンダである。したがって、以下の説明では、昇降機構６０を「エアシリンダ６０」と表記する。本形態では、２個のエアシリンダ６０が設置されている。エアシリンダ６０の本体部６０ａは、ブロック部材７３に固定されている。具体的には、本体部６０ａは、ブロック部材７３の前後方向の外側面に固定されている。エアシリンダ６０は、エアシリンダ６０のロッド６０ｂが下側へ突出するように配置されている。ロッド６０ｂの下端部には、トレイ把持部５５のフレーム６５が固定されている。

押付機構６１は、エアシリンダ８８と、エアシリンダ８８のロッド８８ｂの先端に固定される押付部材８９とを備えている。エアシリンダ８８は、デュアルロッドタイプのエアシリンダである。エアシリンダ８８の本体部８８ａは、トレイ把持部５５のフレーム６５の前端に固定部材９０を介して固定されている。エアシリンダ８８は、ロッド８８ｂが後ろ側へ突出するように配置されている。押付部材８９は、前後方向に直交する平板状に形成されている。押付部材８９は、第１トレイ３Ａの前端面に接触可能となっている。なお、図７では、押付機構６１の図示を省略している。

分割コンベヤ２０に載置される段積み状態のトレイ３に対してハンド３９が所定位置まで下降した状態でロッド８８ｂが突出すると、図６に示すように、押付部材８９が第１トレイ３Ａの前端面に接触して第１トレイ３Ａの前端面を押し、段積み状態のトレイ３の後端面をガイド部材２８の第２ガイド部２８ｂに押し付ける。すなわち、押付機構６１は、第１トレイ３Ａの前端面を押し、段積み状態のトレイ３の後端面をガイド部材２８の第２ガイド部２８ｂに押し付ける。

トレイ分離機構６２は、第１トレイ３Ａと第２トレイ３Ｂとの間に入り込む爪部９２ａを有する爪部材９２と、爪部材９２を移動させる（すなわち、爪部９２ａを移動させる）爪移動機構９３とを備えている。爪移動機構９３は、エアシリンダである。具体的には、爪移動機構９３は、デュアルロッドタイプのエアシリンダである。したがって、以下の説明では、爪移動機構９３を「エアシリンダ９３」と表記する。エアシリンダ９３の本体部９３ａは、平板部材７２の２個の突出部７２ｂのそれぞれの上面に固定されており、２個のエアシリンダ９３が設置されている。

２個のエアシリンダ９３は、エアシリンダ９３のロッド９３ｂが左右方向の外側へ突出するように配置されている。右側に配置される突出部７２ｂに固定される本体部９３ａの右端と右側に配置される突出部７２ｂの右端とは略一致し、左側に配置される突出部７２ｂに固定される本体部９３ａの左端と左側に配置される突出部７２ｂの左端とは略一致している。

爪部材９２は、エアシリンダ９３のロッド９３ｂの先端部に固定される固定部９２ｂと上述の爪部９２ａとから構成されている。固定部９２ｂは、長方形の平板状に形成されており、固定部９２ｂの厚さ方向と左右方向とが一致するように配置されている。固定部９２ｂは、ロッド９３ｂの先端部から下側に向かって伸びている。爪部９２ａは、長方形の平板状に形成されており、爪部９２ａの厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。爪部９２ａは、固定部９２ｂの下端から左右方向の内側に向かって伸びている。

トレイ３には、トレイ３の外周側に広がる環状（枠状）の鍔部３ａが形成されている。爪部９２ａは、第１トレイ３Ａの鍔部３ａと第２トレイ３Ｂの鍔部３ａとの間に入り込む。エアシリンダ９３は、第１トレイ３Ａと第２トレイ３Ｂとの間（具体的には、第１トレイ３Ａの鍔部３ａと第２トレイ３Ｂの鍔部３ａとの間）に爪部９２ａが入り込む分離位置９２Ａ（図７の二点鎖線で示す位置）と、第１トレイ３Ａと第２トレイ３Ｂとの間から爪部９２ａが外れる退避位置９２Ｂ（図７の実線で示す位置）との間で爪部９２ａを移動させる。上述のように、エアシリンダ９３の本体部９３ａは、平板部材７２に固定されている。また、爪部材９２の固定部９２ｂは、エアシリンダ９３のロッド９３ｂの先端部に固定されている。すなわち、トレイ分離機構６２は、保持部材５６に取り付けられている。

（搬送ロボットによるトレイの搬送動作）
図９は、図２に示す分割コンベヤ２０からロボット８がトレイ３を搬送するときの動作を説明するための図である。

段積み状態のトレイ３が分割コンベヤ２０まで搬送されると、ロボット８が分割コンベヤ２０からトレイステージ６、７にトレイ３を１枚ずつ搬送する。分割コンベヤ２０からトレイ３が搬送されるときには、まず、分割コンベヤ２０に載置される段積み状態のトレイ３の上側にハンド３９が移動するとともに、段積み状態のトレイ３の上側に移動したハンド３９が下降する。

このときには、エアシリンダ６０のロッド６０ｂは、下側に突出し、エアシリンダ８８のロッド８８ｂは、本体部８８ａ側に引っ込んでいる。また、このときには、エアシリンダ９３のロッド９３ｂは、左右方向の外側に向かって突出しており、爪部９２ａは、退避位置９２Ｂに配置されている。さらに、このときには、圧縮コイルバネ７７の付勢力によって、ブロック部材７６に対してブロック部材７５が下降してストッパ部材７９の下端面が当接板８４の上面に当接している。

分割コンベヤ２０に載置される段積み状態のトレイ３の上側に配置されるハンド３９が下降していくと、吸着パッド６６の下面（吸着面）が第１トレイ３Ａの上面に接触する。その後、さらにハンド３９が下降していくと、吸着パッド６６が停止した状態でフレーム６５、保持部材５６、フローティング機構５７およびブロック部材７５が所定距離下降した後、停止し、その後、さらにハンド３９が下降していくと、検知部材８７がセンサ８６に検知される（図６参照）。検知部材８７がセンサ８６に検知されると、ハンド３９が停止する。また、ハンド３９が停止すると、トレイ把持部５５の吸着部６４が第１トレイ３Ａを真空吸着して把持する。すなわち、トレイ把持部５５が第１トレイ３Ａを把持するときには、移動機構５９は、検知機構７８の検知結果に基づいて、ハンド３９が固定される可動フレーム３８を停止させる。

本形態では、検知部材８７がセンサ８６に検知されてハンド３９が停止したときに、押付部材８９は、上下方向において、第１トレイ３Ａの前端面に接触可能な位置に配置されている（図６参照）。検知部材８７がセンサ８６に検知されてハンド３９が停止すると、トレイ把持部５５の吸着部６４が第１トレイ３Ａを吸着して把持する前に、エアシリンダ８８のロッド８８ｂが後ろ側に突出する。

ロッド８８ｂが後ろ側に突出すると、押付部材８９が第１トレイ３Ａの前端面に接触して第１トレイ３Ａの前端面を押し、段積み状態のトレイ３の後端面をガイド部材２８の第２ガイド部２８ｂに押し付ける。段積み状態のトレイ３の後端面が第２ガイド部２８ｂに押し付けられた状態で、吸着部６４が第１トレイ３Ａを吸着して把持すると、ロッド８８ｂが本体部８８ａ側に引っ込む。なお、ロッド８８ｂが本体部８８ａ側に引っ込んだ後に、吸着部６４が第１トレイ３Ａを吸着して把持しても良い。

また、本形態では、検知部材８７がセンサ８６に検知されてハンド３９が停止したときに、爪部９２ａは、上下方向において、第１トレイ３Ａの鍔部３ａと第２トレイ３Ｂの鍔部３ａとの間に配置されている（図６、図７参照）。検知部材８７がセンサ８６に検知されてハンド３９が停止すると、エアシリンダ９３のロッド９３ｂは、本体部９３ａ側に引っ込んで、退避位置９２Ｂにある爪部９２ａが分離位置９２Ａに移動する。すなわち、検知部材８７がセンサ８６に検知されてハンド３９が停止すると、エアシリンダ９３は、退避位置９２Ｂにある爪部９２ａを分離位置９２Ａに移動させる。

なお、エアシリンダ９３は、トレイ把持部５５の吸着部６４が第１トレイ３Ａを吸着して把持する前に、退避位置９２Ｂにある爪部９２ａを分離位置９２Ａに移動させても良いし、吸着部６４が第１トレイ３Ａを吸着して把持した後に、退避位置９２Ｂにある爪部９２ａを分離位置９２Ａに移動させても良い。

その後、可動フレーム３８が停止している状態でエアシリンダ６０のロッド６０ｂが本体部６０ａ側に引っ込んで、保持部材５６に対してトレイ把持部５５のフレーム６５を上昇させる（図９参照）。すなわち、可動フレーム３８が停止している状態でエアシリンダ６０が保持部材５６に対してトレイ把持部５５を上昇させる。具体的には、エアシリンダ６０は、分離位置９２Ａにある爪部９２ａによって第１トレイ３Ａと第２トレイ３Ｂとが確実に分離される位置まで保持部材５６に対してトレイ把持部５５を上昇させて、第１トレイ３Ａを持ち上げる。

すなわち、仮に第１トレイ３Ａと一緒に第２トレイ３Ｂが持ち上がったとしても、鍔部３ａの上面が爪部９２ａに接触する第２トレイ３Ｂが第１トレイ３Ａから分離される位置までエアシリンダ６０がトレイ把持部５５を上昇させて、第１トレイ３Ａを持ち上げる（図９の二点鎖線参照）。なお、保持部材５６に対してフレーム６５が所定距離上昇するまでは、吸着パッド６６は停止しており、保持部材５６に対してフレーム６５が所定距離上昇すると、その後、保持部材５６に対してトレイ把持部５５の全体が上昇して、第１トレイ３Ａが持ち上がる。

その後、移動機構５９が可動フレーム３８と一緒にハンド３９を上昇させるとともに前後左右方向に移動させて、分割コンベヤ２０からトレイステージ６、７に第１トレイ３Ａを搬送する。このように、本形態では、トレイ把持部５５が第１トレイ３Ａを把持するとともに、エアシリンダ９３が退避位置９２Ｂにある爪部９２ａを分離位置９２Ａに移動させた後に、エアシリンダ６０が保持部材５６に対してトレイ把持部５５を上昇させてから、移動機構５９が可動フレーム３８を移動させて、分割コンベヤ２０からトレイステージ６、７に第１トレイ３Ａを搬送する。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、トレイ把持部５５が第１トレイ３Ａを把持するとともに、エアシリンダ９３が退避位置９２Ｂにある爪部９２ａを分離位置９２Ａに移動させた後に、分離位置９２Ａにある爪部９２ａによって第１トレイ３Ａと第２トレイ３Ｂとが分離される位置まで保持部材５６に対してトレイ把持部５５を上昇させて、第１トレイ３Ａを持ち上げている。また、本形態では、その後、移動機構５９が可動フレーム３８を移動させて、分割コンベヤ２０からトレイステージ６、７に第１トレイ３Ａを搬送している。すなわち、本形態では、第１トレイ３Ａと第２トレイ３Ｂとを分離してから、分割コンベヤ２０から第１トレイ３Ａを搬送している。そのため、本形態では、トレイ３が複数段に積み重なった状態で配置される分割コンベヤ２０からトレイ３を１枚ずつ搬送することが可能になる。

また、本形態では、ブロック部材７５の上面に固定される検知部材８７がブロック部材７６に固定されるセンサ８６に検知されてハンド３９が停止したときに、爪部９２ａは、上下方向において、第１トレイ３Ａの鍔部３ａと第２トレイ３Ｂの鍔部３ａとの間に配置されている。そのため、本形態では、爪部９２ａを第１トレイ３Ａと第２トレイ３Ｂとの間に高い確率で入れ込むことが可能となる。したがって、本形態では、第１トレイ３Ａと第２トレイ３Ｂとを確実に分離することが可能になり、その結果、分割コンベヤ２０から確実にトレイ３を１枚ずつ搬送することが可能になる。

本形態では、保持部材５６がフローティング機構５７を介して保持部材５８に揺動可能に保持されている。そのため、本形態では、図１０に示すように、第１トレイ３Ａが水平方向に対して傾いていても、保持部材５６に保持されるトレイ把持部５５を第１トレイ３Ａに追従させて傾けることが可能になる。したがって、本形態では、第１トレイ３Ａが水平方向に対して傾いていても、トレイ把持部５５によって第１トレイ３Ａを確実に把持することが可能になり、その結果、トレイ３が複数段に積み重なった状態で配置される分割コンベヤ２０からトレイ３を１枚ずつ搬送することが可能になる。

また、本形態では、フローティング機構５７は、前後方向を揺動の軸方向とする揺動が可能となるように保持部材５８に保持される揺動部材６８と、左右方向を揺動の軸方向とする揺動が可能となるように揺動部材６８に保持される揺動部材６９とを備えているため、第１トレイ３Ａが水平方向に対して傾いていても、トレイ把持部５５を第１トレイ３Ａに追従させて傾けやすくなる。

本形態では、圧縮コイルバネ７７の付勢力によってストッパ部材７９の下端面が当接板８４の上面に当接すると、ブロック部材７６に対するブロック部材７５、フローティング機構５７および保持部材５６等の下側への移動範囲が規制されており、４本のストッパ部材７９のそれぞれが当接板８４に当接しているときには、トレイ把持部５５が水平方向と平行になっている。

そのため、本形態では、水平方向に対して傾いている第１トレイ３Ａをトレイ把持部５５が把持して上昇したときに、圧縮コイルバネ７７およびストッパ部材７９を利用して、トレイ把持部５５に把持された第１トレイ３Ａを水平方向と略平行にすることが可能になるとともに、第１トレイ３Ａが水平方向と略平行になっている状態を維持することが可能になる（図５参照）。したがって、本形態では、分割コンベヤ２０から搬送されるトレイ３の状態を安定させることが可能になる。

本形態では、トレイ把持部５５の吸着部６４が第１トレイ３Ａを吸着して把持する前に、押付部材８９が第１トレイ３Ａの前端面に接触して第１トレイ３Ａの前端面を押し、段積み状態のトレイ３の後端面をガイド部材２８の第２ガイド部２８ｂに押し付けている。そのため、本形態では、トレイ把持部５５が第１トレイ３Ａを把持する前に、分割コンベヤ２０で複数段に積み重なっているトレイ３を位置決めすることが可能になる。また、本形態では、トレイ把持部５５が第１トレイ３Ａを把持する前に、分割コンベヤ２０で複数段に積み重なっているトレイ３が水平方向と略平行になるようにトレイ３の水平方向に対する傾きを補正することが可能になる。したがって、本形態では、第１トレイ３Ａの、吸着部６４に吸着される位置のずれを抑制することが可能になる。

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

上述した形態では、保持部材５８は、前後方向および左右方向を揺動の軸方向とする揺動が可能となるように、フローティング機構５７を介して保持部材５６を保持しているが、保持部材５８は、フローティング機構を介して、前後方向のみを揺動の軸方向とする揺動が可能となるように保持部材５６を保持していても良いし、左右方向のみを揺動の軸方向とする揺動が可能となるように保持部材５６を保持していても良い。

すなわち、フローティング機構は、前後方向を揺動の軸方向とする揺動が可能となるように保持部材５８に保持されるとともに保持部材５６が固定される揺動部材を備えていても良いし、左右方向を揺動の軸方向とする揺動が可能となるように保持部材５８に保持されるとともに保持部材５６が固定される揺動部材を備えていても良い。また、保持部材５８は、前後方向または左右方向を揺動の軸方向とする揺動が可能となるように保持部材５６を直接、保持していても良い。

また、保持部材５８は、フローティング機構を介して、前後方向および左右方向に加えて一方向または多方向を揺動の軸方向とする揺動が可能となるように保持部材５６を保持していても良い。また、上述した形態において、ハンド３９は、押付機構６１を備えていなくても良い。この場合には、たとえば、分割コンベヤ２０が、複数段に積み重なった状態のトレイ３の後端面をガイド部材２８に押し付けるための押付機構を備えている。

上述した形態において、保持部材５８は、揺動部材６８を揺動可能に保持するとともに可動フレーム３８の下端に固定される１個のブロック部材によって構成されていても良い。この場合には、検知機構７８が不要になる。また、この場合には、爪部９２ａが上下方向において第１トレイ３Ａの鍔部３ａと第２トレイ３Ｂの鍔部３ａとの間に配置される位置でハンド３９が停止するように、移動機構５９を制御すれば良い。ただし、上述した形態のように、検知機構７８での検知結果に基づいて、爪部９２ａが上下方向において第１トレイ３Ａの鍔部３ａと第２トレイ３Ｂの鍔部３ａとの間に配置される位置でハンド３９を停止させる方がロボット８の制御が容易になる。

上述した形態において、搬送システム１は、分割コンベヤ２０に載置されるトレイ３を昇降させるための昇降機構を備えていても良い。この場合には、ロボット８は、たとえば、可動フレーム３８と、可動フレーム３８を上下方向へスライドさせる駆動機構とを備えてない。すなわち、この場合には、ロボット８は、たとえば、ハンド３９を左右方向および前後方向へ移動させることが可能な２軸直交ロボットである。この場合には、保持部材５８は、可動フレーム３７に固定されている。この場合の可動フレーム３７は、保持部材５８が固定される固定部材である。また、この場合には、分割コンベヤ２０からトレイ３が搬送されるときに、分割コンベヤ２０に載置される段積み状態のトレイ３がハンド３９に向かって上昇する。

上述した形態では、トレイ３の搬送機能を有する分割コンベヤ２０が、複数段に積み重なるトレイ３が配置されるトレイ配置部となっているが、トレイ３の搬送機能を備えていない載置台が、トレイ３が複数段に積み重なった状態で配置されるトレイ配置部となっていても良い。また、上述した形態では、コンベヤ４、５は、複数の分割コンベヤによって構成されているが、コンベヤ４、５は、一体型のコンベヤであっても良い。この場合のコンベヤ４は、液晶パネル２を収容可能なトレイ３が複数段に積み重なった状態で配置されるトレイ配置部となっている。

上述した形態において、搬送システム１は、処理装置１５から排出される液晶パネル２を搬送しても良い。この場合には、コンベヤ４で搬送されるトレイ３は空トレイとなっており、コンベヤ５で搬送されるトレイ３に、複数枚の液晶パネル２が収容されている。また、上述した形態において、搬送システム１は、液晶パネル２を搬送して処理装置１５に液晶パネル２を供給するとともに、処理装置１５から排出される液晶パネル２を搬送しても良い。

上述した形態において、ストッパ部材７９は、ブロック部材７６に固定されるとともに、保持部材５６に当接可能となっていても良い。また、上述した形態において、搬送システム１が備えるトレイステージの数は、１個であっても良いし、３個以上であっても良い。また、上述した形態において、搬送システム１が備えるコンベヤの数は、１個であっても良いし、３個以上であっても良い。

上述した形態において、ロボット８は、パラレルリンクロボットであっても良いし、垂直多関節ロボットであっても良いし、水平多関節ロボットであっても良い。また、上述した形態において、ロボット９は、垂直多関節ロボットであっても良いし、水平多関節ロボットであっても良い。また、上述した形態では、搬送システム１で搬送される表示パネルは、液晶パネル２であるが、搬送システム１で搬送される表示パネルは、液晶パネル２以外の表示パネルであっても良い。たとえば、搬送システム１で搬送される表示パネルは、有機ＥＬパネルであっても良い。

１ 搬送システム
２ 液晶パネル（表示パネル）
３ トレイ
３Ａ 第１トレイ
３Ｂ 第２トレイ
８ ロボット（搬送ロボット）
２０ 分割コンベヤ（トレイ配置部）
２８ ガイド部材
３８ 可動フレーム（固定部材）
５５ トレイ把持部
５６ 保持部材（第１保持部材）
５７ フローティング機構
５８ 保持部材（第２保持部材）
５９ 移動機構
６０ エアシリンダ（昇降機構）
６１ 押付機構
６２ トレイ分離機構
６８ 揺動部材（第１揺動部材）
６９ 揺動部材（第２揺動部材）
７５ ブロック部材（第３保持部材）
７６ ブロック部材（第４保持部材）
７７ 圧縮コイルバネ（付勢部材）
７８ 検知機構
７９ ストッパ部材
９２Ａ 分離位置
９２Ｂ 退避位置
９２ａ 爪部
９３ エアシリンダ（爪移動機構）
Ｘ 第１方向
Ｙ 第２方向

Claims (5)

1. 表示パネルを収容可能なトレイが複数段に積み重なった状態で配置されるトレイ配置部から前記トレイを１枚ずつ搬送する搬送ロボットであって、
   前記トレイを上側から吸着して把持するトレイ把持部と、前記トレイ把持部を昇降可能に保持する第１保持部材と、フローティング機構を介して前記第１保持部材を揺動可能に保持する第２保持部材と、前記第２保持部材が固定される固定部材と、前記第１保持部材に対して前記トレイ把持部を昇降させる昇降機構と、前記固定部材を移動させる移動機構と、前記トレイ配置部で複数段に積み重なる前記トレイのうちの最上段に配置される前記トレイである第１トレイと前記トレイ配置部で複数段に積み重なる前記トレイのうちの上から２番目に配置される前記トレイである第２トレイとを分離するためのトレイ分離機構とを備え、
   前記トレイ分離機構は、前記第１トレイと前記第２トレイとの間に入り込む爪部と、前記第１トレイと前記第２トレイとの間に前記爪部が入り込む分離位置と前記第１トレイと前記第２トレイとの間から前記爪部が外れる退避位置との間で前記爪部を移動させる爪移動機構とを備えるとともに、前記第１保持部材に取り付けられ、
   前記トレイ把持部が前記第１トレイを把持するとともに、前記爪移動機構が前記退避位置にある前記爪部を前記分離位置に移動させた後に、前記昇降機構が前記第１保持部材に対して前記トレイ把持部を上昇させてから、前記移動機構が前記固定部材を移動させて、前記トレイ配置部から前記第１トレイを搬送することを特徴とする搬送ロボット。
2. 水平方向の一方向を第１方向とし、上下方向と第１方向とに直交する方向を第２方向とすると、前記フローティング機構は、第１方向を揺動の軸方向とする揺動可能に前記第２保持部材に保持される第１揺動部材と、第２方向を揺動の軸方向とする揺動可能に前記第１揺動部材に保持されるとともに前記第１保持部材が固定される第２揺動部材とを備えることを特徴とする請求項１記載の搬送ロボット。
3. 前記第１揺動部材を揺動可能に保持する第３保持部材と前記固定部材に固定されるとともに前記第３保持部材を昇降可能に保持する第４保持部材とを有する前記第２保持部材と、前記第４保持部材に対して前記第３保持部材を下側へ付勢するための付勢部材と、前記第４保持部材に対する前記第３保持部材の上下方向の相対位置を検知するための検知機構とを備え、
   前記移動機構は、前記固定部材を上下方向および水平方向に移動させるとともに、前記トレイ把持部が前記第１トレイを把持するときに、前記検知機構の検知結果に基づいて前記固定部材を停止させることを特徴とする請求項２記載の搬送ロボット。
4. 前記第４保持部材に対する前記第３保持部材の下側への移動範囲を規制するためのストッパ部材を備え、
   前記ストッパ部材は、前記第１保持部材および前記第４保持部材のいずれか一方に固定され、前記第１保持部材および前記第４保持部材のいずれか他方に接触可能となっていることを特徴とする請求項３記載の搬送ロボット。
5. 請求項１から４のいずれかに記載の搬送ロボットと、前記トレイ配置部とを備え、
   前記トレイ配置部は、複数段に積み重なった状態の前記トレイの一端面が当接可能なガイド部材を備え、
   前記搬送ロボットは、前記トレイの他端面を押して複数段に積み重なった状態の前記トレイの一端面を前記ガイド部材に押し付けるための押付機構を備えることを特徴とする搬送システム。

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