JP6987505B2 - パネル搬送ロボットおよびパネル搬送システム - Google Patents

Description

本発明は、液晶パネル等の表示パネルを搬送するパネル搬送ロボットに関する。また、本発明は、かかるパネル搬送ロボットを有するパネル搬送システムに関する。

従来、携帯機器等で使用される液晶表示装置の組立ラインに組み込まれる搬送装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の搬送装置は、５個の搬送ユニットを備えており、各搬送ユニットには、液晶表示装置の組立工程における各種の工程が割り当てられている。各搬送ユニットは、液晶パネル等のワークを搬送するスカラロボットを備えている。このスカラロボットは、たとえば、液晶パネルを搬送する際に、液晶パネルを真空吸着して保持する。

国際公開第２０１２／１２０９５６号

特許文献１に記載された液晶表示装置の組立ラインでは、所定の工程において、液晶パネルにフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ ｐｒｉｎｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔｓ））が接続されるため、ＦＰＣの接続工程後の工程では、スカラロボットは、ＦＰＣ付きの液晶パネルを搬送しなければならない。しかしながら、液晶パネルからＦＰＣが引き出されていると、スカラロボットが液晶パネルを搬送する際にＦＰＣがふらついて、搬送ユニットの構成部品とＦＰＣとが干渉するおそれがある。

そこで、本発明の課題は、表示パネルから配線が引き出されていても、表示パネルを搬送する際の配線のふらつきを抑制することが可能なパネル搬送ロボットを提供することにある。また、本発明の課題は、かかるパネル搬送ロボットを備えるパネル搬送システムを提供することにある。

上記の課題を解決するため、本発明のパネル搬送ロボットは、表示パネルを把持するパネル把持部と、パネル把持部を移動させる移動機構と、流量制御弁とを備え、パネル把持部は、表示パネルを吸着するパネル吸着部と、表示パネルから引き出される配線を吸着する配線吸着部とを備え、パネル吸着部と配線吸着部とは、共通のオンオフ弁を介して共通の空気の吸引機構に接続され、流量制御弁は、配線吸着部とオンオフ弁との間の配管経路に配置され、配線吸着部による配線の吸引力は、パネル吸着部による表示パネルの吸引力よりも小さくなっていることを特徴とする。

本発明のパネル搬送ロボットでは、表示パネルを把持するパネル把持部は、表示パネルを吸着するパネル吸着部に加えて、表示パネルから引き出される配線を吸着する配線吸着部を備えている。そのため、本発明では、ＦＰＣ等の配線が表示パネルから引き出されていても、表示パネルを搬送する際の配線のふらつきを抑制することが可能になる。また、本発明では、パネル吸着部と配線吸着部とは、共通のオンオフ弁を介して共通の空気の吸引機構に接続されている。そのため、パネル吸着部が接続されるオンオフ弁と、配線吸着部が接続されるオンオフ弁とが別個に設けられている場合と比較して、パネル搬送ロボットの構成を簡素化することが可能になる。また、パネル吸着部が接続される空気の吸引機構と、配線吸着部が接続される空気の吸引機構とが別個に設けられている場合と比較して、パネル搬送ロボットの構成を簡素化することが可能になる。また、本発明では、パネル搬送ロボットは、配線吸着部とオンオフ弁との間の配管経路に配置される流量制御弁を備え、配線吸着部による配線の吸引力は、パネル吸着部による表示パネルの吸引力よりも小さくなっている。そのため、表示パネルよりも重量の軽い配線を適切な吸引力で吸引することが可能になるとともに、表示パネルを適切な吸引力で吸引することが可能になる。なお、一般に、表示パネルの、パネル吸着部によって吸着される部分の面積よりも、配線の、配線吸着部によって吸着される部分の面積の方が狭くなっている。そのため、パネル吸着部による表示パネルの吸着力よりも配線吸着部による配線の吸着力の方が低くなっており、パネル吸着部に吸着された表示パネルがパネル吸着部から外れるのと比較して、配線吸着部に吸着された配線は配線吸着部から外れやすい。また、パネル吸着部と配線吸着部とが共通のオンオフ弁を介して共通の空気の吸引機構に接続されている場合、配線吸着部に吸着された配線が配線吸着部から外れると、パネル吸着部による表示パネルの吸引力が低下するため、パネル吸着部に吸着された表示パネルがパネル吸着部から外れて落下し、表示パネルが破損するおそれがある。しかしながら、配線吸着部とオンオフ弁との間の配管経路に流量制御弁が配置され、配線吸着部による配線の吸引力が、パネル吸着部による表示パネルの吸引力よりも小さくなっていると、配線を吸引する空気の吸引量を少なくすることが可能になるため、配線吸着部に吸着された配線が配線吸着部から外れたときの、パネル吸着部による表示パネルの吸引力の低下を抑制することが可能になる。したがって、仮に、配線吸着部に吸着された配線が配線吸着部から外れたとしても、パネル吸着部に吸着された表示パネルのパネル吸着部からの外れを防止することが可能になる。また、配線吸着部に吸着された配線の、配線吸着部からの外れを検知して、パネル搬送ロボットを停止させることで、表示パネルを落下させることなく、パネル搬送ロボットを安全に停止させることが可能になる。

本発明において、パネル把持部は、パネル吸着部に対する配線吸着部の位置を調整するための位置調整機構を備えていることが好ましい。このように構成すると、表示パネルからの配線の引き出し位置や、表示パネルから引き出される配線の形状が変わっても、パネル吸着部に対する配線吸着部の位置を調整することで、配線がふらつかないように配線吸着部によって配線を吸着することが可能になる。したがって、表示パネルからの配線の引き出し位置や配線の形状が変わっても、共通のパネル把持部を用いて、表示パネルを搬送する際の配線のふらつきを抑制することが可能になる。

本発明において、パネル吸着部は、表示パネルの厚さ方向と鉛直方向とが一致するように表示パネルを吸着し、配線吸着部は、鉛直方向に直交する第１方向と、鉛直方向と第１方向とに直交する第２方向とにおいて、パネル吸着部に対して位置調整可能となっていることが好ましい。このように構成すると、表示パネルからの配線の引き出し位置や配線の形状が大きく変わっても、第１方向と第２方向との両方向においてパネル吸着部に対する配線吸着部の位置を調整することで、配線がふらつかないように配線吸着部によって配線を吸着することが可能になる。したがって、表示パネルからの配線の引き出し位置や配線の形状が大きく変わっても、共通のパネル把持部を用いて、表示パネルを搬送する際の配線のふらつきを抑制することが可能になる。

本発明において、パネル把持部は、複数の配線吸着部を備え、複数の配線吸着部のそれぞれがパネル吸着部に対して個別に位置調整可能となっていることが好ましい。このように構成すると、表示パネルからの配線の引き出し位置や配線の形状が大きく変わっても、パネル吸着部に対する複数の配線吸着部のそれぞれの位置を調整することで、配線がふらつかないように配線吸着部によって配線を吸着することが可能になる。したがって、表示パネルからの配線の引き出し位置や配線の形状が大きく変わっても、共通のパネル把持部を用いて、表示パネルを搬送する際の配線のふらつきを抑制することが可能になる。

本発明において、配線吸着部は、配線に接触する配線接触部と、配線接触部が配線に接触するときの衝撃を緩和する緩衝機構とを備えていることが好ましい。このように構成すると、パネル吸着部が表示パネルを吸着するときに配線吸着部が配線を確実に吸着できるように、パネル吸着部より表示パネル側に配線接触部が飛び出していても、配線接触部が配線に接触するときの衝撃を緩和することが可能になる。したがって、パネル吸着部が表示パネルを吸着するときに配線吸着部が配線を確実に吸着することが可能となっていても、配線接触部と配線との接触時の配線の損傷を防止することが可能になる。

本発明のパネル搬送ロボットは、パネル搬送ロボットが搬送する表示パネルが載置されるパネルステージを備えるパネル搬送システムに用いることができ、このパネル搬送システムでは、パネルステージは、表示パネルが載置されるパネル載置部と、配線が載置される配線載置部とを備えている。このパネル搬送システムでは、ＦＰＣ等の配線が表示パネルから引き出されていても、表示パネルを搬送する際の配線のふらつきを抑制することが可能になる。また、このパネル搬送システムでは、配線が載置される配線載置部をパネルステージが備えているため、パネルステージに載置される配線のふらつきを抑制することが可能になる。

本発明において、配線載置部は、配線吸着部に吸着された配線が配線載置部に載置されるとき、および、配線載置部に載置された配線が配線吸着部に吸着されるときの少なくともいずれか一方において、配線吸着部の真下に配置されていることが好ましい。このように構成すると、配線吸着部に吸着された配線を配線載置部に載置する際に、配線載置部に配線を確実に接触させた状態で配線載置部に配線を載置することが可能になる。また、このように構成すると、配線載置部に載置された配線を配線吸着部に吸着させる際に、配線吸着部を配線に確実に接触させた状態で配線吸着部に配線を吸着させることが可能になる。

本発明において、パネルステージは、パネル載置部に対する配線載置部の位置を調整するための第２位置調整機構を備えていることが好ましい。このように構成すると、表示パネルからの配線の引き出し位置や配線の形状が変わっても、パネル載置部に対する配線載置部の位置を調整することで、配線載置部に配線を適切に載置することが可能になる。したがって、表示パネルからの配線の引き出し位置や配線の形状が変わっても、共通のパネルステージに配線付きの表示パネルを適切に載置することが可能になる。

本発明において、配線載置部は、配線が接触するゴム製の配線接触部材を備え、配線が接触する配線接触部材の上面は、シボ形状をなす凹凸面となっていることが好ましい。このように構成すると、たとえば、配線がＦＰＣであっても、配線載置部に対する配線の貼り付きを防止することが可能になる。

以上のように、本発明では、表示パネルから配線が引き出されていても、表示パネルを搬送する際の配線のふらつきを抑制することが可能になる。

本発明の実施の形態にかかるパネル搬送ロボットが組み込まれる搬送システムの側面図である。 図１のＥ−Ｅ方向から搬送システムを示す平面図である。 図１に示すパネル搬送ロボットの斜視図である。 図１に示す供給ユニットの斜視図である。 図４に示す供給ユニットの平面図である。 図３に示すパネル搬送ロボットのパネル把持部の斜視図である。 図６に示すパネル把持部を別の方向から示す斜視図である。 図６に示す配線吸着部および位置調整機構を下側から示す斜視図である。 図６に示すパネル吸着部および配線吸着部に接続される配管の経路を説明するための図である。 図６に示すパネル検知機構の構成を説明するための概略図である。 図４に示すパネルステージの斜視図である。 図１１に示す２個の配線載置部がパネル載置部側に移動して固定されているときのパネルステージの斜視図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

（搬送システムの全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかるパネル搬送ロボット９が組み込まれる搬送システム１の側面図である。図２は、図１のＥ−Ｅ方向から搬送システム１を示す平面図である。図３は、図１に示すパネル搬送ロボット９の斜視図である。

本形態のパネル搬送ロボット９（以下、「ロボット９」とする。）は、表示パネルである液晶パネル２を搬送するロボットである。このロボット９は、搬送システム１に組み込まれて使用される。搬送システム１は、携帯機器等で使用される液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれている。この搬送システム１は、液晶パネル２を搬送して、液晶パネル２に対して所定の処理を行う処理装置１４（図２参照）に液晶パネル２を供給する。

液晶パネル２は、長方形の平板状に形成されている。液晶パネル２の、表示領域から外れた箇所には、液晶パネル２の検査データ等のデータが記録されている。液晶パネル２の、表示領域から外れた箇所に記録されるデータは、光学的に読取可能なデータである。本形態の搬送システム１で搬送される液晶パネル２には、ドライバＩＣが実装されている。また、液晶パネル２には、配線としてのＦＰＣ２ａ（図９、図１１参照）が接続されている。すなわち、配線基板であるＦＰＣ２ａが液晶パネル２から引き出されている。ＦＰＣ２ａは、たとえば、長方形の平板状に形成される液晶パネル２の一方の短辺から長辺に平行な方向へ引き出されている。なお、図２等では、ＦＰＣ２ａの図示を省略している。

搬送システム１は、液晶パネル２を収容可能なトレイ３を搬送する２個のコンベヤ４、５を備えている。トレイ３には、複数枚の液晶パネル２が収容可能となっている。トレイ３に収容される複数枚の液晶パネル２は、互いに重なっていない状態でトレイ３に収容されている。コンベヤ４、５は、複数段に積み重なったトレイ３（段積みされたトレイ３）を水平方向へ直線的に搬送する。

以下の説明では、コンベヤ４、５によるトレイ３の搬送方向（図１等のＸ方向）を「前後方向」とし、上下方向（鉛直方向）と前後方向とに直交する方向（図１等のＹ方向）を「左右方向」とする。また、前後方向の一方側（図１等のＸ１方向側）を「前」側とし、その反対側（図１等のＸ２方向側）を「後ろ側」とし、左右方向の一方側（図２等のＹ１方向側）を「右」側とし、その反対側（図２等のＹ２方向側）を「左」側とする。本形態では、搬送システム１の後ろ側に処理装置１４が配置されている。

また、搬送システム１は、トレイ３が載置される２個のトレイステージ６、７と、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７との間でトレイ３を搬送するロボット８と、トレイステージ６、７に載置されたトレイ３から液晶パネル２を搬出する上述のロボット９と、ロボット９から液晶パネル２を受け取って処理装置１４に供給する供給ユニット１１とを備えている。トレイステージ６、７は、コンベヤ４、５よりも後ろ側に配置されている。供給ユニット１１は、トレイステージ６、７よりも後ろ側に配置されている。

また、搬送システム１は、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７とロボット８と供給ユニット１１とが設置される本体フレーム１２と、ロボット９が設置される本体フレーム１３とを備えている。本体フレーム１２の上面は、上下方向に直交する平面状に形成されており、本体フレーム１２の上面に、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７とロボット８と供給ユニット１１とが設置されている。本体フレーム１３は、略門型に形成された門型フレームであり、左右方向で本体フレーム１２の後端側部分を跨ぐように設置されている。ロボット９は、本体フレーム１３の上面部に設置されている。

コンベヤ４、５は、複数のローラを備えるローラコンベヤである。コンベヤ４とコンベヤ５とは、左右方向で隣接配置されている。コンベヤ４は、段積みされたトレイ３を後ろ側へ向かって搬送し、コンベヤ５は、段積みされたトレイ３を前側に向かって搬送する。コンベヤ４で搬送されるトレイ３には、複数枚の液晶パネル２が収容されている。一方、コンベヤ５で搬送されるトレイ３には、液晶パネル２は収容されておらず、コンベヤ５で搬送されるトレイ３は空トレイとなっている。

コンベヤ４の前端側には、仮置き用の棚（図示省略）から作業者によって運ばれてきた段積み状態のトレイ３が載置される。コンベヤ４の前端側に載置された段積み状態のトレイ３は、後ろ側へ搬送され、コンベヤ４の後端側まで搬送された段積み状態のトレイ３は、後述のようにロボット８によって段ばらしされる。また、コンベヤ５の後端側には、後述のようにロボット８によって空のトレイ３が段積みされる。所定の段数までトレイ３が段積みされると、段積み状態のトレイ３は、前側に搬送される。コンベヤ５の前端側まで搬送された段積み状態のトレイ３は、作業者によって空トレイ用の棚まで運ばれる。

トレイステージ６、７には、１個のトレイ３が載置される。トレイステージ６とトレイステージ７とは、左右方向において所定の間隔をあけた状態で配置されている。トレイステージ６は、左右方向においてコンベヤ４と略同じ位置に配置され、トレイステージ７は、左右方向においてコンベヤ５と略同じ位置に配置されている。トレイステージ６、７の上面は、上下方向に直交する平面状に形成されている。

ロボット８は、いわゆる３軸直交ロボットである。このロボット８は、門型に形成される本体フレーム１５と、本体フレーム１５に対して左右方向へのスライドが可能となるように本体フレーム１５に保持される可動フレーム１６と、可動フレーム１６に対して前後方向へスライドが可能となるように可動フレーム１６に保持される可動フレーム１７と、可動フレーム１７に対して上下方向へのスライドが可能となるように可動フレーム１７に保持される可動フレーム１８と、可動フレーム１８に取り付けられるトレイ把持部１９とを備えている。また、ロボット８は、可動フレーム１６を左右方向へスライドさせる駆動機構と、可動フレーム１７を前後方向へスライドさせる駆動機構と、可動フレーム１８を上下方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。

本体フレーム１５は、左右方向でコンベヤ４、５を跨ぐように設置されている。可動フレーム１６は、本体フレーム１５の上面側に取り付けられている。この可動フレーム１６は、コンベヤ４、５に載置される段積み状態のトレイ３よりも上側に配置されている。可動フレーム１７は、可動フレーム１６の右側に取り付けられている。可動フレーム１８は、可動フレーム１７の後端側に取り付けられている。トレイ把持部１９は、可動フレーム１８の下端に取り付けられている。このトレイ把持部１９は、トレイ３を吸着して把持する複数の吸着部を備えている。

ロボット８は、コンベヤ４からトレイステージ６、７へのトレイ３の搬送と、トレイステージ６、７からコンベヤ５へのトレイ３の搬送とを行う。具体的には、ロボット８は、コンベヤ４の後端側まで搬送された段積み状態のトレイ３をトレイステージ６またはトレイステージ７に１個ずつ搬送して、コンベヤ４上の段積み状態のトレイ３を段ばらしする。また、ロボット８は、空になった１個のトレイ３をトレイステージ６またはトレイステージ７からコンベヤ５の後端側に搬送して、コンベヤ５にトレイ３を段積みする。

ロボット９は、いわゆるパラレルリンクロボットである。このロボット９は、本体部２０と、本体部２０に連結される３本のレバー２１と、３本のレバー２１のそれぞれに連結される３個のアーム部２２と、３個のアーム部２２に連結されるヘッドユニット２３と、液晶パネル２を把持するパネル把持部２４（図６等参照）とを備えている。ロボット９は、本体フレーム１３の上面部にぶら下がるように設置されている。また、本体部２０は、トレイステージ６、７の上方に配置されるとともに、ロボット８の本体フレーム１５よりも後ろ側に配置されている。なお、図１、図３では、パネル把持部２４の図示を省略している。

３本のレバー２１は、本体部２０の外周側へ略等角度ピッチで略放射状に伸びるように本体部２０に連結されている。すなわち、３本のレバー２１は、本体部２０の外周側へ略１２０°ピッチで略放射状に伸びるように本体部２０に連結されている。また、３本のレバー２１の基端側は、本体部２０に回動可能に連結されている。本体部２０とレバー２１との連結部には、レバー２１を回動させる減速機付きのモータ２５が配置されている。本形態のロボット９は、３本のレバー２１のそれぞれを回動させる３個のモータ２５を備えている。モータ２５の出力軸は、レバー２１の基端側に固定されている。

アーム部２２の基端側は、レバー２１の先端側に回動可能に連結されている。具体的には、アーム部２２は、互いに平行な直線状の２本のアーム２６によって構成されており、２本のアーム２６のそれぞれの基端側がレバー２１の先端側に回動可能に連結されている。ヘッドユニット２３は、３個のアーム部２２の先端側に回動可能に連結されている。ヘッドユニット２３の上端には、モータ２７が取り付けられている。

パネル把持部２４は、ヘッドユニット２３の下端に取り付けられている。また、パネル把持部２４は、モータ２７に連結されており、モータ２７の動力によって上下方向を回転の軸方向とする回転が可能になっている。本形態では、本体部２０と３本のレバー２１と３個のアーム部２２とヘッドユニット２３と３個のモータ２５とモータ２７とによって、パネル把持部２４を移動させる移動機構２８が構成されている。パネル把持部２４の具体的な構成については後述する。

ロボット９では、３個のモータ２５を個別に駆動することで、所定のエリア内において、上下方向、左右方向および前後方向の任意の位置へ、かつ、ヘッドユニット２３が一定の姿勢を保ったままの状態で（具体的には、パネル把持部２４が下側を向いたままの状態で）、ヘッドユニット２３を移動させることが可能になっている。ロボット９は、トレイステージ６、７上のトレイ３に収容された液晶パネル２を１枚ずつ搬出する。具体的には、ロボット９は、トレイステージ６、７上のトレイ３が空になるまでトレイ３から液晶パネル２を１枚ずつ搬出する。また、ロボット９は、トレイ３から搬出した液晶パネル２を後述のパネルステージ３９へ搬送する。

（供給ユニットの構成および動作）
図４は、図１に示す供給ユニット１１の斜視図である。図５は、図４に示す供給ユニット１１の平面図である。

供給ユニット１１は、液晶パネル２の位置合わせを行うためアライメント装置３０と、液晶パネル２に記録されたデータを読み取るデータ読取装置３１とを備えている。アライメント装置３０は、データ読取装置３１で液晶パネル２のデータが読み取られる前に液晶パネル２の位置合わせをする。また、供給ユニット１１は、データ読取装置３１でデータが読み取られた後の液晶パネル２を処理装置１４へ搬送するロボット３３と、処理装置１４へ搬送される液晶パネル２から静電気を除去するイオナイザー（静電気除去装置）３４と、アライメント装置３０で位置合わせされた後の液晶パネル２をロボット３３に向かって搬送する搬送装置３５と、アライメント装置３０で位置合わせされた液晶パネル２を搬送装置３５に搬送するロボット３６と、これらの構成が載置されて固定されるベース板３７とを備えている。

アライメント装置３０は、ベース板３７の右前端側に載置されている。ロボット３３は、ベース板３７の左後端側に載置されている。データ読取装置３１は、ベース板３７の左前端側に載置されている。ロボット３６は、アライメント装置３０の後ろ側に隣接配置されている。搬送装置３５は、左右方向において、データ読取装置３１およびロボット３３と、アライメント装置３０との間に配置されている。イオナイザー３４は、搬送装置３５の上方に配置されている。ベース板３７は、本体フレーム１２の上面の後端側部分に載置されて固定されている。

アライメント装置３０は、トレイステージ６、７上のトレイ３からロボット９によって搬出された液晶パネル２（すなわち、ロボット９が搬送する液晶パネル２）が載置されるパネルステージ３９と、上下方向を回動の軸方向としてパネルステージ３９を回動させるとともに左右方向と前後方向とにパネルステージ３９を移動させて液晶パネル２の位置合わせを行う移動機構４０とを備えている。また、アライメント装置３０は、パネルステージ３９よりも上側に配置されるカメラ４１および照明４２を備えている。

パネルステージ３９は、液晶パネル２が載置されるパネル載置部４３と、ＦＰＣ２ａが載置される配線載置部としての基板載置部４４（図１１、図１２参照）とを備えている。パネル載置部４３は、長方形の平板状に形成されている。パネル載置部４３の上面は、上下方向に直交する平面となっている。上下方向から見たときのパネル載置部４３の外形は、液晶パネル２の外形よりも大きくなっている。なお、図４、図５では、基板載置部４４の図示を省略している。

液晶パネル２は、上下方向から見たときに液晶パネル２の中心とパネル載置部４３の中心とが略一致するように、かつ、液晶パネル２の長辺の方向とパネル載置部４３の長辺の方向とが略一致するように、パネル載置部４３に載置される。また、パネル載置部４３の上面には、平板状またはフィルム状に形成される偏光部材４５が取り付けられている。パネルステージ３９の詳細な構成については後述する。なお、本形態では、ロボット９とパネルステージ３９とによってパネル搬送システム４９（図２参照）が構成されている。

移動機構４０は、パネルステージ３９を回動可能に保持する可動フレーム４６と、前後方向へのスライドが可能となるように可動フレーム４６を保持する可動フレーム４７と、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム４６を保持する固定フレーム４８と、可動フレーム４６に対してパネルステージ３９を回動させる回動機構と、可動フレーム４７に対して可動フレーム４６を前後方向へスライドさせる駆動機構と、固定フレーム４８に対して可動フレーム４７を左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。固定フレーム４８は、ベース板３７に固定されている。

本形態では、可動フレーム４６を前後方向へスライドさせる駆動機構は、パネル載置部４３に載置された液晶パネル２の位置合わせを行うために設けられている。一方、可動フレーム４７を左右方向へスライドさせる駆動機構は、パネル載置部４３に載置された液晶パネル２の位置合わせを行うとともに、後述のエッジ検知位置３９Ａとパネル搬出位置３９Ｂとの間で液晶パネル２を搬送するために設けられている。また、パネルステージ３９を回動させる回動機構は、パネル載置部４３に載置された液晶パネル２の位置合わせを行うために設けられている。

照明４２は、左右方向で直線状に配列される複数の発光ダイオード（ＬＥＤ）を備えるバー照明である。この照明４２は、カメラ４１より下側に配置されるとともにカメラ４１の視野から外れた位置に配置されている。本形態では、照明４２は、カメラ４１の後ろ下側に配置されている。照明４２は、パネルステージ３９に間接光を照射する。

カメラ４１は、パネルステージ３９の上方に配置されている。このカメラ４１は、パネル載置部４３に載置された液晶パネル２のエッジを上側から検知する。具体的には、カメラ４１は、長方形状に形成される液晶パネル２の４個の角部の位置を検知する。カメラ４１は、偏光フィルタ５０を備えている。偏光フィルタ５０は、上下方向を回動の軸方向とする回動が可能となるようにカメラ４１のレンズの先端に取り付けられている。カメラ４１の偏光フィルタ５０の位相と偏光部材４５の位相とは９０°ずれている。そのため、カメラ４１に写るパネル載置部４３は黒くなる。

パネルステージ３９は、左右方向において、液晶パネル２がカメラ４１の下側に配置されるエッジ検知位置３９Ａ（図４、図５の実線で示す位置）と、ロボット３６によってパネルステージ３９から液晶パネル２が搬出されるパネル搬出位置３９Ｂ（図５の二点鎖線で示す位置）との間で移動可能となっている。本形態では、パネルステージ３９が固定フレーム４８の右端側まで移動すると、パネルステージ３９がエッジ検知位置３９Ａに到達し、パネルステージ３９が固定フレーム４８の左端側まで移動すると、パネルステージ３９がパネル搬出位置３９Ｂに到達する。また、トレイステージ６、７上のトレイ３からロボット９によって搬出された液晶パネル２は、エッジ検知位置３９Ａに配置されるパネルステージ３９に供給される。

エッジ検知位置３９Ａに配置されたパネルステージ３９に、ロボット９によって搬出された液晶パネル２が載置されると、カメラ４１は、液晶パネル２のエッジを検知する。その後、移動機構４０は、カメラ４１での液晶パネル２のエッジの検知結果に基づいて液晶パネル２の位置合わせを行いながらエッジ検知位置３９Ａからパネル搬出位置３９Ｂまでパネルステージ３９を移動させる。具体的は、移動機構４０は、カメラ４１での液晶パネル２のエッジの検知結果に基づいて、パネルステージ３９の回動動作および前後方向への可動フレーム４６のスライド動作の少なくともいずれか一方の動作を行いながら、左方向へ可動フレーム４７をスライドさせて、パネルステージ３９をパネル搬出位置３９Ｂまで移動させる。

搬送装置３５は、液晶パネル２が載置される４個のパネルステージ５２と、４個のパネルステージ５２が固定される可動フレーム５３と、前後方向へのスライドが可能となるように可動フレーム５３を保持する固定フレーム５４と、固定フレーム５４に対して可動フレーム５３を前後方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。４個のパネルステージ５２は、前後方向で隣接配置されている。パネルステージ５２の上面は、上下方向に直交する平面となっている。パネルステージ５２は、パネルステージ５２の上面に載置された液晶パネル２を吸着する複数の吸着部を備えている。固定フレーム５４は、ベース板３７に固定されている。

ロボット３６は、液晶パネル２を吸着して把持するパネル把持部５５と、上下方向へのスライドが可能となるようにパネル把持部５５を保持する可動フレーム５６と、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム５６を保持する固定フレーム５７と、可動フレーム５６に対してパネル把持部５５を昇降させる昇降機構と、固定フレーム５７に対して可動フレーム５６を左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。固定フレーム５７は、ベース板３７に固定されている。パネル把持部５５は、前後方向においてパネルステージ３９と同じ位置に配置されている。

ロボット３６は、パネル搬出位置３９Ｂに配置されるパネルステージ３９上の液晶パネル２（すなわち、アライメント装置３０で位置合わせされた後の液晶パネル２）をパネルステージ５２に搬送する。具体的には、ロボット３６は、パネル搬出位置３９Ｂに配置されるパネルステージ３９上の液晶パネル２の上面をパネル把持部５５で吸着して把持し、前端側まで移動して停止している４個のパネルステージ５２のそれぞれにパネルステージ３９から液晶パネル２を順次、搬送する。また、４個のパネルステージ５２のそれぞれに液晶パネル２が載置されると、搬送装置３５は、後ろ方向へパネルステージ５２を移動させて、液晶パネル２を搬送装置３５の後端側まで搬送する。

ロボット３３は、液晶パネル２を吸着して把持する４個のパネル把持部５８と、上下方向へのスライドが可能となるようにパネル把持部５８を保持する可動フレーム５９と、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム５９を保持する固定フレーム６０と、可動フレーム５９に対してパネル把持部５８を昇降させる昇降機構と、固定フレーム６０に対して可動フレーム５９を左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。４個のパネル把持部５８は、前後方向で隣接配置されている。前後方向における４個のパネル把持部５８のピッチは、前後方向における４個のパネルステージ５２のピッチと等しくなっている。固定フレーム６０は、ベース板３７に固定されている。

ロボット３３は、搬送装置３５によって搬送装置３５の後端側まで搬送された液晶パネル２を処理装置１４に搬入する。具体的には、ロボット３３は、４個のパネルステージ５２のそれぞれに載置される４個の液晶パネル２のそれぞれの上面を４個のパネル把持部５８のそれぞれで吸着して把持し、パネルステージ５２から４個の液晶パネル２を一緒に処理装置１４に搬入する。

データ読取装置３１は、二次元コードや一次元コード等の光学的に読取可能なデータを読み取るカメラ６２と、カメラ６２が取り付けられる可動フレーム６３と、上下方向へのスライドが可能となるように可動フレーム６３を保持する可動フレーム６４と、前後方向へのスライドが可能となるように可動フレーム６４を保持する可動フレーム６５と、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム６５を保持する固定フレーム６６と、可動フレーム６４に対して可動フレーム６３を昇降させる昇降機構と、可動フレーム６５に対して可動フレーム６４を前後方向へスライドさせる駆動機構と、固定フレーム６６に対して可動フレーム６５を左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。固定フレーム６６は、ベース板３７に固定されている。また、データ読取装置３１は、液晶パネル２に光を照射する照明を備えている。

データ読取装置３１は、アライメント装置３０での位置調整後に搬送装置３５のパネルステージ５２に載置された液晶パネル２のデータを読み取る。データ読取装置３１で読み取られた液晶パネル２のデータは、データが読み取られた液晶パネル２の個別データとして、データが読み取られた液晶パネル２に紐付けされる。上述のように、イオナイザー３４は、搬送装置３５の上方に配置されている。また、イオナイザー３４は、データ読取装置３１よりも後ろ側に配置されており、データ読取装置３１でデータが読み取られた後の液晶パネル２の静電気を除去する。

（パネル把持部の構成）
図６は、図３に示すロボット９のパネル把持部２４の斜視図である。図７は、図６に示すパネル把持部２４を別の方向から示す斜視図である。図８は、図６に示す基板吸着部７２および位置調整機構７３を下側から示す斜視図である。図９は、図６に示すパネル吸着部７１および基板吸着部７２に接続される配管の経路を説明するための図である。図１０は、図６に示すパネル検知機構７４の構成を説明するための概略図である。

パネル把持部２４は、液晶パネル２を吸着するパネル吸着部７１と、液晶パネル２から引き出されるＦＰＣ２ａを吸着する配線吸着部としての基板吸着部７２とを備えている。本形態のパネル把持部２４は、２個の基板吸着部７２を備えている。また、パネル把持部２４は、パネル吸着部７１に対する基板吸着部７２の位置を調整するための位置調整機構７３と、パネル把持部２４がトレイ３内の液晶パネル２を把持しようとするときに液晶パネル２の有無を検知するパネル検知機構７４とを備えている。さらに、パネル把持部２４は、パネル吸着部７１、位置調整機構７３およびパネル検知機構７４が取り付けられるベース部材７５を備えている。ベース部材７５は、略円形の平板状に形成されており、ベース部材７５の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。

パネル吸着部７１は、ベース部材７５の下面側に取り付けられている。このパネル吸着部７１は、液晶パネル２の厚さ方向と上下方向（鉛直方向）とが一致するように液晶パネル２を吸着している。パネル吸着部７１の下面には、液晶パネル２の上面を吸引する吸引口（図示省略）が形成されている。パネル吸着部７１は、液晶パネル２の上面を真空吸着することで液晶パネル２を把持する。以下の説明では、上下方向（鉛直方向）に直交する図６等のＶ方向を「第１方向」とし、上下方向と第１方向とに直交する図６等のＷ方向を「第２方向」とする。

基板吸着部７２は、ＦＰＣ２ａの厚さ方向と上下方向とが一致するようにＦＰＣ２ａを吸着している。この基板吸着部７２は、ＦＰＣ２ａに接触する配線接触部としての基板接触部７６と、基板接触部７６がＦＰＣ２ａに接触するときの衝撃を緩和する緩衝機構７７とを備えている。緩衝機構７７は、たとえば、ピストン７７ａとピストン７７ａをスライド可能に保持するシリンダ７７ｂとを備えるエアダンパーである。この緩衝機構７７は、ピストン７７ａの移動方向と上下方向とが一致するように配置されている。

基板接触部７６は、ピストン７７ａの下端に固定されており、ＦＰＣ２ａの上面に接触可能となっている。基板接触部７６の下面には、ＦＰＣ２ａの上面を吸引する吸引口７６ａ（図８参照）が形成されている。吸引口７６ａの径は、パネル吸着部７１の下面に形成される吸引口の径よりも小さくなっている。そのため、液晶パネル２の、パネル吸着部７１によって吸着される部分の面積よりも、ＦＰＣ２ａの、基板吸着部７２によって吸着される部分の面積の方が狭くなっている。基板吸着部７２は、ＦＰＣ２ａの上面を真空吸着することでＦＰＣ２ａを把持する。

位置調整機構７３は、手動式の調整機構である。この位置調整機構７３は、シリンダ７７ｂを保持する保持部材７８と、保持部材７８を第１方向へスライド可能に保持する保持部材７９と、保持部材７９を第２方向へスライド可能に保持する保持部材８０とを備えている。本形態の位置調整機構７３は、２個の保持部材７８と、２個の保持部材７９と、２個の保持部材８０とを備えている。

保持部材８０は、断面形状がＬ形状をなす細長い板状部材である。２個の保持部材８０のそれぞれの一端部は、第１方向におけるベース部材７５の両端側のそれぞれに固定されており、保持部材８０は、ベース部材７５から第２方向の一方側へ伸びている。すなわち、保持部材８０は、保持部材８０の長手方向と第２方向とが一致するように配置されている。保持部材８０には、第２方向を長手方向とする長穴８０ａが形成されている。長穴８０ａは、保持部材８０の、上下方向に直交する平板部分を上下方向で貫通している。また、長穴８０ａは、第２方向における保持部材８０の略中心と、保持部材８０の第２方向の一方側（ベース部材７５から保持部材８０が伸びている方向の側）の端部との間の全域に形成されている。

保持部材７９は、断面形状がＬ形状をなす細長い板状部材である。保持部材７９の両端側には、ネジ８１がねじ込まれるネジ穴が形成されている。このネジ穴は、保持部材７９の、上下方向に直交する平板部分に形成されている。保持部材７９の両端側のそれぞれは、上側から長穴８０ａに挿通されるネジ８１によって２個の保持部材８０のそれぞれに固定されている。すなわち、保持部材７９は、ネジ８１によって２個の保持部材８０に固定されており、保持部材８０の下側に配置されている。また、２個の保持部材７９のそれぞれが２個の保持部材８０に固定されている。保持部材７９は、第１方向と平行に配置されている。すなわち、２個の保持部材７９は、互いに平行に配置されるとともに第１方向と平行に配置されている。

保持部材７９には、第１方向を長手方向とする長穴７９ａが形成されている。長穴７９ａは、保持部材７９の、第２方向に直交する平板部分を第２方向で貫通している。また、長穴７９ａは、保持部材７９の第１方向の一方側の端部と他方側の端部との間の全域に形成されている。保持部材７８は、Ｌ形状に折り曲げられた平板状の部材である。保持部材７８には、ネジ８２がねじ込まれるネジ穴が形成されている。このネジ穴は、保持部材７８の、第２方向に直交する平板部分に形成されている。

保持部材７８は、第２方向の一方側から長穴７９ａに挿通されるネジ８２によって保持部材７９に固定されており、保持部材７９の、第２方向の他方側に配置されている。また、２個の保持部材７８のそれぞれが２個の保持部材７９のそれぞれに固定されている。保持部材７８の、上下方向に直交する平板部分には、シリンダ７７ｂが固定されている。すなわち、保持部材７８には、基板吸着部７２が固定されている。

本形態では、ネジ８２を緩めることで、パネル吸着部７１に対する第１方向での基板吸着部７２の位置調整が可能となる。また、ネジ８１を緩めることで、パネル吸着部７１に対する第２方向での基板吸着部７２の位置調整が可能となる。すなわち、基板吸着部７２は、第１方向と第２方向とにおいて、パネル吸着部７１に対して位置調整可能となっている。また、２個の基板吸着部７２のそれぞれがパネル吸着部７１に対して位置調整可能となっている。

図９に示すように、パネル吸着部７１と２個の基板吸着部７２とは、共通のオンオフ弁８４を介して共通の空気の吸引機構８５に接続されている。オンオフ弁８４は、電磁弁である。また、吸引機構８５は、たとえば、真空ポンプである。オンオフ弁８４と２個の基板吸着部７２との間の配管経路には、流量制御弁８６が配置されている。流量制御弁８６は、たとえば、流量調整弁や絞り弁である。本形態では、流量制御弁８６の作用によって、基板吸着部７２によるＦＰＣ２ａの吸引力は、パネル吸着部７１による液晶パネル２の吸引力よりも小さくなっている。たとえば、基板吸着部７２によるＦＰＣ２ａの吸引力とパネル吸着部７１による液晶パネル２の吸引力との比は、１：９となっている。

オンオフ弁８４とパネル吸着部７１との間の配管経路には、パネル吸着部７１の吸引圧に基づいてパネル吸着部７１に液晶パネル２が吸着されているのか否かを検知するための第１圧力センサ８７が接続されている。また、オンオフ弁８４と２個の基板吸着部７２との間の配管経路には、基板吸着部７２の吸引圧に基づいて基板吸着部７２にＦＰＣ２ａが吸着されているのか否かを検知するための第２圧力センサ８８が接続されている。

パネル検知機構７４は、トレイ３内の液晶パネル２に向かって光を射出する発光部８９と、液晶パネル２で反射された光を受光可能な位置に配置される受光部９０とを備える光学式の検知機構である。具体的には、パネル検知機構７４は、発光部８９および受光部９０を有する受発光部９１と、発光部８９から射出され液晶パネル２で反射された光を液晶パネル２に向かって反射する反射部材（回帰反射板）９２とを有する回帰反射型の光学式の検知機構であり、受光部９０は、反射部材９２で反射された後に液晶パネル２で反射された光を受光可能な位置に配置されている。

発光部８９は、光源であるＬＥＤ（発光ダイオード）を備えている。また、発光部８９は、たとえば、ＬＥＤからの光を伝達する光ファイバーを備えている。受発光部９１および反射部材９２は、ベース部材７５の下面側に固定されている。また、受発光部９１および反射部材９２は、パネル吸着部７１の下面よりも上側に配置されている。受発光部９１と反射部材９２とは、第１方向においてパネル吸着部７１を挟むように配置されている。また、受発光部９１と反射部材９２とは、第１方向におけるベース部材７５の両端側のそれぞれに取り付けられている。

発光部８９の発光面および受光部９０の受光面は斜め下側に向き、反射部材９２の反射面は、斜め下側を向いている。また、発光部８９の発光面、受光部９０の受光面および反射部材９２の反射面は、第１方向の内側に向いている。発光部８９から射出された光の液晶パネル２への入射角θは、４５°以上９０°未満となっている。具体的には、入射角θは、略６５°となっている。また、本形態では、液晶パネル２に照射される光のスポット径は比較的小さくなっている。

パネル検知機構７４は、パネル把持部２４がトレイ３内の液晶パネル２を把持しようとするときに液晶パネル２の有無を検知する。具体的には、パネル検知機構７４は、パネル把持部２４がトレイ３内の液晶パネル２を把持しようとするときに、受光部９０の受光量に基づいて、液晶パネル２の有無を検知する。

すなわち、パネル把持部２４がトレイ３内の液晶パネル２を把持しようとするときに、図１０に示すように、パネル把持部２４の下側に液晶パネル２があれば、発光部８９から射出された光は、液晶パネル２の上面で反射され、反射部材９２で反射された後、再び、液晶パネル２の上面で反射されて受光部９０に入射するが、パネル把持部２４の下側に液晶パネル２がないと、発光部８９から射出された光は、トレイ３で反射され、反射部材９２で反射された後、再び、トレイ３で反射されて受光部９０に入射するため、パネル把持部２４の下側に液晶パネル２がある場合とない場合とで、受光部９０の受光量が異なる。パネル検知機構７４は、受光部９０の受光量の相違に基づいて、液晶パネル２の有無を検知する。

なお、図１０に示すように、トレイ３には、液晶パネル２の外周端部分を支持するパネル支持部３ａが形成されている。パネル支持部３ａは、長方形の枠状に形成されており、液晶パネル２の外周端部分の下面がパネル支持部３ａの上面に接触している。パネル支持部３ａの内周側は、下側に向かって窪む凹部３ｂとなっている。パネル支持部３ａの上面と凹部３ｂの底面との上下方向の距離Ｄは、３〜４（ｍｍ）程度となっている。上述のように、液晶パネル２の厚さは１（ｍｍ）程度となっており、トレイ３に収容される液晶パネル２に撓みが生じていない場合には、トレイ３に収容される液晶パネル２の上面と凹部３ｂの底面との上下方向の距離は、４〜５（ｍｍ）程度となっている。

パネル把持部２４がトレイ３内の液晶パネル２を把持しようとするときに、パネル把持部２４の下側に液晶パネル２がない場合には、発光部８９から射出された光は、凹部３ｂの底面で反射される。また、凹部３ｂの底面で反射された光は、反射部材９２で反射された後、再び、凹部３ｂの底面で反射される。

本形態では、トレイ３内の所定の箇所に収容されている液晶パネル２をパネル把持部２４が把持しようとするときに、たとえば、トレイ３内で液晶パネル２の抜けがあって、パネル検知機構７４によって液晶パネル２が検知されないと、ロボット９は、パネル把持部２４を移動させて、トレイ３内の他の箇所に収容されている液晶パネル２をパネル把持部２４で把持することを試みる。

一方、トレイ３内の所定の箇所に収容されている液晶パネル２をパネル把持部２４が把持しようとするときに、パネル検知機構７４によって液晶パネル２が検知されると、ロボット９は、そのまま、液晶パネル２の把持動作を継続する。すなわち、ロボット９は、パネル把持部２４による液晶パネル２およびＦＰＣ２ａの吸着を試みる。具体的には、ロボット９は、液晶パネル２をパネル吸着部７１で吸着し、ＦＰＣ２ａを基板吸着部７２で吸着することを試みる。

その後、第１圧力センサ８７によってパネル吸着部７１に液晶パネル２が吸着されていることが検知され、かつ、第２圧力センサ８８によって基板吸着部７２にＦＰＣ２ａが吸着されていることが検知されると、ロボット９は、トレイ３からの液晶パネル２の搬出動作を開始する。一方、パネル吸着部７１に液晶パネル２が吸着されていること、および、基板吸着部７２にＦＰＣ２ａが吸着されていることの少なくともいずれか一方が検知されない場合には、ロボット９は、パネル把持部２４による液晶パネル２およびＦＰＣ２ａの吸着を再度試みる。

その後、パネル吸着部７１に液晶パネル２が吸着されていることが検知され、かつ、基板吸着部７２にＦＰＣ２ａが吸着されていることが検知されると、ロボット９は、トレイ３からの液晶パネル２の搬出動作を開始するが、パネル吸着部７１に液晶パネル２が吸着されていること、および、基板吸着部７２にＦＰＣ２ａが吸着されていることの少なくともいずれか一方が検知されないと、エラーとなってロボット９が停止する。

（パネルステージの構成）
図１１は、図４に示すパネルステージ３９の斜視図である。図１２は、図１１に示す２個の基板載置部４４がパネル載置部４３側に移動して固定されているときのパネルステージ３９の斜視図である。

上述のように、パネルステージ３９は、液晶パネル２が載置されるパネル載置部４３と、ＦＰＣ２ａが載置される基板載置部４４とを備えている。本形態のパネルステージ３９は、２個の基板載置部４４を備えている。また、パネルステージ３９は、パネル載置部４３に対する基板載置部４４の位置を調整するための第２位置調整機構９３を備えている。

パネル載置部４３は、上述のように、長方形の平板状に形成されている。パネル載置部４３は、パネル載置部４３の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。以下の説明では、上下方向（鉛直方向）に直交する方向であって長方形の平板状に形成されるパネル載置部４３の長手方向（図１１、図１２のＳ方向）を「第３方向」とし、上下方向と第３方向とに直交するパネル載置部４３の短手方向（図１１、図１２のＴ方向）を「第４方向」とする。

パネル載置部４３は、導電性を有する樹脂材料で形成されている。このパネル載置部４３は、パネル載置部４３の上面に載置された液晶パネル２を真空吸着する吸着部４３ａを備えている。吸着部４３ａは、パネル載置部４３の中心に配置されている。上述のように、パネル載置部４３の上面には、偏光部材４５が取り付けられている。偏光部材４５は、パネル載置部４３の上面の、吸着部４３ａが配置されていない位置に貼り付けられている。

基板載置部４４は、細長い扁平な直方体状に形成されている。基板載置部４４の上面は、上下方向に直交する平面となっている。基板載置部４４の長さは、パネル載置部４３の短手方向の幅（第４方向の幅）と等しくなっている。基板載置部４４の厚さ（上下方向の厚さ）は、パネル載置部４３の厚さと等しくなっている。基板載置部４４は、ＦＰＣ２ａが接触する配線接触部材としての基板接触部材９４を備えている。

基板接触部材９４は、細長い長方形の薄板状に形成されており、基板載置部４４の上面を構成している。基板接触部材９４は、ゴムで形成されている。たとえば、基板接触部材９４は、シリコーンゴムで形成されている。基板接触部材９４の上面には、シボ加工が施されており、基板接触部材９４の上面は、シボ形状をなす凹凸面となっている。すなわち、ＦＰＣ２ａの接触する基板接触部材９４の上面は、シボ形状をなす凹凸面となっている。

第２位置調整機構９３は、手動式の調整機構である。この第２位置調整機構９３は、基板載置部４４を保持する２個の保持部材９５を備えている。保持部材９５は、細長い長方形の平板状部材である。保持部材９５には、長穴９５ａが形成されている。長穴９５ａは、保持部材９５の一端側と保持部材９５の他端側との間の全域に形成されている。パネル載置部４３の第４方向の両端側には、ネジ９６がねじ込まれるネジ穴４３ｂが形成されている。具体的には、パネル載置部４３の第４方向の両端側のそれぞれに２個のネジ穴４３ｂが形成されている。ネジ穴４３ｂは、上下方向でパネル載置部４３を貫通している。

２個の保持部材９５のそれぞれは、下側から長穴９５ａに挿通されるネジ９６によって、パネル載置部４３の第４方向の両端側のそれぞれに固定されている。また、保持部材９５は、保持部材９５の長手方向と第３方向とが一致するように、パネル載置部４３の下面に固定されている。また、保持部材９５は、保持部材９５の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されており、長穴９５ａは、上下方向で保持部材９５を貫通している。

２個の基板載置部４４のうちの一方の基板載置部４４は、２個の保持部材９５の一端部の上面に固定されている。すなわち、この基板載置部４４の一端部は、第４方向の一方側に配置される保持部材９５の一端部の上面に固定され、この基板載置部４４の他端部は、第４方向の他方側に配置される保持部材９５の一端部の上面に固定されている。

他方の基板載置部４４の両端側部分の下面には、ネジ９７がねじ込まれるネジ穴が形成されている。この基板載置部４４は、下側から長穴９５ａに挿通されるネジ９７によって保持部材９５の上面に固定されている。すなわち、この基板載置部４４の一端部は、ネジ９７によって第４方向の一方側に配置される保持部材９５の上面に固定され、この基板載置部４４の他端部は、ネジ９７によって第４方向の他方側に配置される保持部材９５の上面に固定されている。基板載置部４４は、第４方向と平行に配置されている。すなわち、２個の基板載置部４４は、互いに平行に配置されるとともに第４方向と平行に配置されている。また、２個の基板載置部４４は、第３方向において、パネル載置部４３の一方側に配置されている。

本形態では、ネジ９６を緩めることで、パネル載置部４３に対する第３方向での保持部材９５の位置調整が可能となる。すなわち、ネジ９６を緩めることで、パネル載置部４３に対する第３方向での２個の基板載置部４４の位置調整が可能となる。また、ネジ９７を緩めることで、保持部材９５に対する第３方向での他方の基板載置部４４の位置調整が可能となる。すなわち、ネジ９７を緩めることで、パネル載置部４３および一方の基板載置部４４に対する第３方向での他方の基板載置部４４の位置調整が可能となる。このように、本形態では、２個の基板載置部４４のそれぞれがパネル載置部４３に対して位置調整可能となっている。

２個の基板載置部４４の第３方向のピッチは、２個の基板吸着部７２の第２方向のピットとほぼ等しくなっている。また、２個の基板載置部４４のうちのパネル載置部４３側に配置される基板載置部４４（他方の基板載置部４４）とパネル載置部４３の中心との第３方向のピッチは、２個の基板吸着部７２のうちのパネル吸着部７１側に配置される基板吸着部７２とパネル吸着部７１の中心との第２方向のピッチとほぼ等しくなっている。

そのため、パネル吸着部７１に吸着された液晶パネル２がパネル載置部４３に載置され、基板吸着部７２に吸着されたＦＰＣ２ａが基板載置部４４に載置されるときには、２個の基板載置部４４のそれぞれは、２個の基板吸着部７２のそれぞれの真下に配置されている。なお、本形態では、図１２に示すように、２個の基板載置部４４が互いに接触するとともに、他方の基板載置部４４とパネル載置部４３とが互いに接触する位置まで、２個の基板載置部４４をパネル載置部４３に近づけることが可能になっている。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、液晶パネル２を把持するパネル把持部２４は、液晶パネル２を吸着するパネル吸着部７１に加えて、液晶パネル２から引き出されるＦＰＣ２ａを吸着する基板吸着部７２を備えている。そのため、本形態では、ＦＰＣ２ａが液晶パネル２から引き出されていても、液晶パネル２を搬送する際のＦＰＣ２ａのふらつきを抑制することが可能になる。

本形態では、パネル把持部２４は、パネル吸着部７１に対する基板吸着部７２の位置を調整するための位置調整機構７３を備えている。そのため、本形態では、液晶パネル２からのＦＰＣ２ａの引き出し位置やＦＰＣ２ａの形状が変わっても、パネル吸着部７１に対する基板吸着部７２の位置を調整することで、ＦＰＣ２ａがふらつかないように基板吸着部７２によってＦＰＣ２ａを吸着することが可能になる。したがって、本形態では、液晶パネル２からのＦＰＣ２ａの引き出し位置やＦＰＣ２ａの形状が変わっても、共通のパネル把持部２４を用いて、液晶パネル２を搬送する際のＦＰＣ２ａのふらつきを抑制することが可能になる。

特に本形態では、基板吸着部７２が、第１方向と第２方向とにおいて、パネル吸着部７１に対して位置調整可能となっているため、液晶パネル２からのＦＰＣ２ａの引き出し位置やＦＰＣ２ａの形状が大きく変わっても、第１方向と第２方向との両方向においてパネル吸着部７１に対する基板吸着部７２の位置を調整することで、ＦＰＣ２ａがふらつかないように基板吸着部７２によってＦＰＣ２ａを吸着することが可能になる。したがって、本形態では、液晶パネル２からのＦＰＣ２ａの引き出し位置やＦＰＣ２ａの形状が大きく変わっても、共通のパネル把持部２４を用いて、液晶パネル２を搬送する際のＦＰＣ２ａのふらつきを抑制することが可能になる。

また、本形態では、２個の基板吸着部７２のそれぞれがパネル吸着部７１に対して位置調整可能となっているため、液晶パネル２からのＦＰＣ２ａの引き出し位置やＦＰＣ２ａの形状が大きく変わっても、パネル吸着部７１に対する２個の基板吸着部７２のそれぞれの位置を調整することで、ＦＰＣ２ａがふらつかないように基板吸着部７２によってＦＰＣ２ａを吸着することが可能になる。したがって、本形態では、液晶パネル２からのＦＰＣ２ａの引き出し位置やＦＰＣ２ａの形状が大きく変わっても、共通のパネル把持部２４を用いて、液晶パネル２を搬送する際のＦＰＣ２ａのふらつきを抑制することが可能になる。

本形態では、基板吸着部７２は、基板接触部７６がＦＰＣ２ａに接触するときの衝撃を緩和する緩衝機構７７を備えている。そのため、本形態では、パネル吸着部７１が液晶パネル２を吸着するときに基板吸着部７２がＦＰＣ２ａを確実に吸着できるように、パネル吸着部７１より下側に基板接触部７６が飛び出していても、基板接触部７６がＦＰＣ２ａに接触するときの衝撃を緩和することが可能になる。したがって、本形態では、パネル吸着部７１が液晶パネル２を吸着するときに基板吸着部７２がＦＰＣ２ａを確実に吸着することが可能となっていても、基板接触部７６とＦＰＣ２ａとの接触時のＦＰＣ２ａの損傷を防止することが可能になる。

また、本形態では、基板吸着部７２が緩衝機構７７を備えているため、液晶パネル２の下面の位置とＦＰＣ２ａの下面の位置とが上下方向でずれていても、液晶パネル２をパネル載置部４３の上面に接触させ、かつ、ＦＰＣ２ａを基板載置部４４の上面に接触させた状態で、パネル吸着部７１による液晶パネル２の吸着の解除と、基板吸着部７２によるＦＰＣ２ａの吸着の解除とを一緒に行うことが可能になる。

本形態では、パネル吸着部７１と基板吸着部７２とが共通のオンオフ弁８４を介して共通の空気の吸引機構８５に接続されている。そのため、本形態では、パネル吸着部７１が接続されるオンオフ弁８４と基板吸着部７２が接続されるオンオフ弁８４とが別個に設けられている場合と比較して、ロボット９の構成を簡素化することが可能になる。また、パネル吸着部７１が接続される吸引機構８５と基板吸着部７２が接続される吸引機構８５とが別個に設けられている場合と比較して、ロボット９の構成を簡素化することが可能になる。

本形態では、基板吸着部７２によるＦＰＣ２ａの吸引力は、パネル吸着部７１による液晶パネル２の吸引力よりも小さくなっている。そのため、本形態では、液晶パネル２よりも重量の軽いＦＰＣ２ａを適切な吸引力で吸引することが可能になるとともに、液晶パネル２を適切な吸引力で吸引することが可能になる。

本形態では、液晶パネル２の、パネル吸着部７１によって吸着される部分の面積よりも、ＦＰＣ２ａの、基板吸着部７２によって吸着される部分の面積の方が狭くなっている。そのため、パネル吸着部７１による液晶パネル２の吸着力よりも基板吸着部７２によるＦＰＣ２ａの吸着力の方が低くなっており、パネル吸着部７１に吸着された液晶パネル２がパネル吸着部７１から外れるのと比較して、基板吸着部７２に吸着されたＦＰＣ２ａは基板吸着部７２から外れやすい。また、本形態では、パネル吸着部７１と基板吸着部７２とが共通のオンオフ弁８４を介して共通の空気の吸引機構８５に接続されているため、基板吸着部７２に吸着されたＦＰＣ２ａが基板吸着部７２から外れると、パネル吸着部７１による液晶パネル２の吸引力が低下して、パネル吸着部７１に吸着された液晶パネル２がパネル吸着部７１から外れて落下し、液晶パネル２が破損するおそれがある。

しかしながら、本形態では、基板吸着部７２とオンオフ弁８４との間の配管経路に流量制御弁８６が配置され、基板吸着部７２によるＦＰＣ２ａの吸引力が、パネル吸着部７１による液晶パネル２の吸引力よりも小さくなっているため、ＦＰＣ２ａを吸引する空気の吸引量を少なくすることが可能になる。したがって、本形態では、基板吸着部７２に吸着されたＦＰＣ２ａが基板吸着部７２から外れたときの、パネル吸着部７１による液晶パネル２の吸引力の低下を抑制することが可能になり、その結果、仮に、基板吸着部７２に吸着されたＦＰＣ２ａが基板吸着部７２から外れたとしても、パネル吸着部７１に吸着された液晶パネル２のパネル吸着部７１からの外れを防止することが可能になる。

また、本形態では、基板吸着部７２の吸引圧に基づいて基板吸着部７２にＦＰＣ２ａが吸着されているのか否かを検知するための第２圧力センサ８８が設けられているため、基板吸着部７２に吸着されたＦＰＣ２ａの、基板吸着部７２から外れが検知されたときに、ロボット９を停止させることで、液晶パネル２を落下させることなく、ロボット９を安全に停止させることが可能になる。

本形態では、パネルステージ３９は、液晶パネル２が載置されるパネル載置部４３に加えて、ＦＰＣ２ａが載置される基板載置部４４を備えている。そのため、本形態では、パネルステージ３９が前後方向や左右方向にスライドするときや、パネルステージ３９が回動するときに、パネルステージ３９に載置されるＦＰＣ２ａのふらつきを抑制することが可能になる。

本形態では、パネル吸着部７１に吸着された液晶パネル２がパネル載置部４３に載置され、基板吸着部７２に吸着されたＦＰＣ２ａが基板載置部４４に載置されるときには、２個の基板載置部４４のそれぞれは、２個の基板吸着部７２のそれぞれの真下に配置されている。そのため、本形態では、基板吸着部７２に吸着されたＦＰＣ２ａを基板載置部４４に載置するときに基板載置部４４の上面にＦＰＣ２ａを確実に接触させた状態で、基板載置部４４にＦＰＣ２ａを載置することが可能になる。

本形態では、パネルステージ３９は、パネル載置部４３に対する基板載置部４４の位置を調整するための第２位置調整機構９３を備えている。そのため、本形態では、液晶パネル２からのＦＰＣ２ａの引き出し位置やＦＰＣ２ａの形状が変わっても、パネル載置部４３に対する基板載置部４４の位置を調整することで、基板載置部４４にＦＰＣ２ａを適切に載置することが可能になる。したがって、本形態では、液晶パネル２からのＦＰＣ２ａの引き出し位置やＦＰＣ２ａの形状が変わっても、共通のパネルステージ３９にＦＰＣ２ａ付きの液晶パネル２を適切に載置することが可能になる。

特に本形態では、２個の基板載置部４４のそれぞれがパネル載置部４３に対して位置調整可能となっているため、液晶パネル２からのＦＰＣ２ａの引き出し位置やＦＰＣ２ａの形状が大きく変わっても、パネル載置部４３に対する２個の基板載置部４４のそれぞれの位置を調整することで、基板載置部４４にＦＰＣ２ａを適切に載置することが可能になる。したがって、本形態では、液晶パネル２からのＦＰＣ２ａの引き出し位置やＦＰＣ２ａの形状が大きく変わっても、共通のパネルステージ３９にＦＰＣ２ａ付きの液晶パネル２を適切に載置することが可能になる。

また、本形態では、図１２に示すように、２個の基板載置部４４が互いに接触するとともに他方の基板載置部４４とパネル載置部４３とが互いに接触する位置まで２個の基板載置部４４をパネル載置部４３に近づけることができるため、パネルステージ３９が原点位置を見失ったときに、図１２に示す状態で、パネルステージ３９を原点復帰させることが可能になる。したがって、本形態では、パネルステージ３９を原点復帰させるときにパネルステージ３９を回動させても、パネルステージ３９の周囲の構成とパネルステージ３９との干渉を防止することが可能になる。

本形態では、ＦＰＣ２ａが接触する基板載置部４４の上面は、ゴム製の基板接触部材９４によって構成されている。また、基板載置部４４の上面は、シボ形状をなす凹凸面となっている。そのため、本形態では、基板載置部４４に対するＦＰＣ２ａの貼り付きを防止することが可能になる。

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

上述した形態では、位置調整機構７３は、手動式の調整機構であるが、位置調整機構７３は、駆動源等を備える自動式の調整機構であっても良い。また、上述した形態において、基板吸着部７２は、第１方向のみにおいてパネル吸着部７１に対して位置調整可能となっていても良いし、第２方向のみにおいてパネル吸着部７１に対して位置調整可能となっていても良い。また、上述した形態では、２個の基板吸着部７２がパネル吸着部７１に対して個別に調整可能となっているが、２個の基板吸着部７２がパネル吸着部７１に対して一緒に調整可能となっていても良い。さらに、上述した形態において、２個の基板吸着部７２のうちのいずれか一方の基板吸着部７２のみがパネル吸着部７１に対して位置調整可能となっていても良い。また、２個の基板吸着部７２がパネル吸着部７１に対して位置調整可能となっていなくても良い。

上述した形態において、パネル把持部２４が備える基板吸着部７２の数は、１個であっても良いし、３個以上であっても良い。また、基板吸着部７２は、緩衝機構７７を備えていなくても良い。また、上述した形態において、パネル吸着部７１と基板吸着部７２とが個別のオンオフ弁８４を介して共通の吸引機構８５に接続されていても良いし、個別のオンオフ弁８４を介して個別の吸引機構８５に接続されていても良い。

上述した形態において、パネル吸着部７１に吸着された液晶パネル２がパネル載置部４３に載置され、基板吸着部７２に吸着されたＦＰＣ２ａが基板載置部４４に載置されるときに、２個の基板載置部４４の少なくともいずれか一方が基板吸着部７２の真下からずれた位置に配置されていても良い。また、上述した形態では、第２位置調整機構９３は、手動式の調整機構であるが、第２位置調整機構９３は、駆動源等を備える自動式の調整機構であっても良い。また、上述した形態において、パネルステージ３９は、固定されていても良い。

上述した形態において、２個の基板載置部４４のうちのいずれか一方の基板載置部４４のみがパネル載置部４３に対して位置調整可能となっていても良いし、２個の基板載置部４４がパネル載置部４３に対して位置調整可能となっていなくても良い。また、上述した形態において、パネルステージ３９が備える基板載置部４４の数は、１個であっても良いし、３個以上であっても良い。パネルステージ３９が備える基板載置部４４の数が１個であって、かつ、基板載置部４４がパネル載置部４３に対して位置調整可能となっていない場合には、たとえば、基板載置部４４は、１枚の平板状に形成されている。なお、パネルステージ３９は、基板載置部４４を備えていなくても良い。

上述した形態において、ＦＰＣ２ａ以外の配線が液晶パネル２から引き出されていても良い。たとえば、ＦＦＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｆｌａｔ Ｃａｂｌｅ）が液晶パネル２から引き出されていても良い。この場合には、パネル把持部２４は、基板吸着部７２に代えて、ＦＦＣを把持する配線吸着部を備えている。また、上述した形態において、ロボット９に搬送される表示パネルは、液晶パネル２以外の表示パネルであっても良い。たとえば、ロボット９に搬送される表示パネルは、有機ＥＬパネルであっても良い。

上述した形態において、ロボット３６のパネル把持部５５がパネル把持部２４と同様に構成されていても良い。すなわち、パネル把持部５５は、液晶パネル２を吸着するパネル吸着部とＦＰＣ２ａを吸着する基板吸着部とを備えていても良い。この場合には、パネル載置部４３に載置された液晶パネル２がパネル把持部５５のパネル吸着部に吸着され、基板載置部４４に載置されたＦＰＣ２ａがパネル把持部５５の基板吸着部に吸着されるときに、２個の基板載置部４４のそれぞれは、パネル把持部５５の２個の基板吸着部のそれぞれの真下に配置されている。

この場合には、基板載置部４４に載置されたＦＰＣ２ａをパネル把持部５５の基板吸着部に吸着させる際にパネル把持部５５の基板吸着部をＦＰＣ２ａに確実に接触させた状態で、パネル把持部５５の基板吸着部にＦＰＣ２ａを吸着させることが可能になる。この場合のロボット３６は、パネル搬送ロボットである。すなわち、本発明が適用されるパネル搬送ロボットは、２軸直交ロボットであっても良い。また、この場合には、ロボット３６とパネルステージ３９とによってパネル搬送システムが構成されている。なお、本発明が適用されるパネル搬送ロボットは、３軸直交ロボットであっても良いし、水平多関節ロボットであっても良い。

同様に、上述した形態において、ロボット３３のパネル把持部５８がパネル把持部２４と同様に構成されていても良い。この場合のロボット３３は、パネル搬送ロボットである。また、パネルステージ５２がパネルステージ３９と同様に構成されていても良い。すなわち、パネルステージ５２は、液晶パネル２が載置されるパネル載置部と、ＦＰＣ２ａが載置される基板載置部とを備えていても良い。パネル把持部５８がパネル把持部２４と同様に構成され、パネルステージ５２がパネルステージ３９と同様に構成されている場合には、ロボット３３とパネルステージ５２とによってパネル搬送システムが構成されている。また、パネル把持部５５がパネル把持部２４と同様に構成され、かつ、パネルステージ５２がパネルステージ３９と同様に構成されている場合には、ロボット３６とパネルステージ５２とによってパネル搬送システムが構成されている。

２ 液晶パネル（表示パネル）
２ａ ＦＰＣ（フレキシブルプリント基板、配線）
９ ロボット（パネル搬送ロボット）
２４ パネル把持部
２８ 移動機構
３９ パネルステージ
４３ パネル載置部
４４ 基板載置部（配線載置部）
４９ パネル搬送システム
７１ パネル吸着部
７２ 基板吸着部（配線吸着部）
７３ 位置調整機構
７６ 配線接触部
７７ 緩衝機構
８４ オンオフ弁
８５ 吸引機構
８６ 流量制御弁
９３ 第２位置調整機構
９４ 基板接触部材（配線接触部材）
Ｖ 第１方向
Ｗ 第２方向

Claims (9)

1. 表示パネルを把持するパネル把持部と、前記パネル把持部を移動させる移動機構と、流量制御弁とを備え、
   前記パネル把持部は、前記表示パネルを吸着するパネル吸着部と、前記表示パネルから引き出される配線を吸着する配線吸着部とを備え、
   前記パネル吸着部と前記配線吸着部とは、共通のオンオフ弁を介して共通の空気の吸引機構に接続され、
   前記流量制御弁は、前記配線吸着部と前記オンオフ弁との間の配管経路に配置され、
   前記配線吸着部による前記配線の吸引力は、前記パネル吸着部による前記表示パネルの吸引力よりも小さくなっていることを特徴とするパネル搬送ロボット。
2. 前記パネル把持部は、前記パネル吸着部に対する前記配線吸着部の位置を調整するための位置調整機構を備えることを特徴とする請求項１記載のパネル搬送ロボット。
3. 前記パネル吸着部は、前記表示パネルの厚さ方向と鉛直方向とが一致するように前記表示パネルを吸着し、
   前記配線吸着部は、鉛直方向に直交する第１方向と、鉛直方向と第１方向とに直交する第２方向とにおいて、前記パネル吸着部に対して位置調整可能となっていることを特徴とする請求項２記載のパネル搬送ロボット。
4. 前記パネル把持部は、複数の前記配線吸着部を備え、
   複数の前記配線吸着部のそれぞれが前記パネル吸着部に対して個別に位置調整可能となっていることを特徴とする請求項２または３記載のパネル搬送ロボット。
5. 前記配線吸着部は、前記配線に接触する配線接触部と、前記配線接触部が前記配線に接触するときの衝撃を緩和する緩衝機構とを備えることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のパネル搬送ロボット。
6. 請求項１から５のいずれかに記載のパネル搬送ロボットと、前記パネル搬送ロボットが搬送する前記表示パネルが載置されるパネルステージとを備え、
   前記パネルステージは、前記表示パネルが載置されるパネル載置部と、前記配線が載置される配線載置部とを備えることを特徴とするパネル搬送システム。
7. 前記配線載置部は、前記配線吸着部に吸着された前記配線が前記配線載置部に載置されるとき、および、前記配線載置部に載置された前記配線が前記配線吸着部に吸着されるときの少なくともいずれか一方において、前記配線吸着部の真下に配置されていることを特徴とする請求項６記載のパネル搬送システム。
8. 前記パネルステージは、前記パネル載置部に対する前記配線載置部の位置を調整するための第２位置調整機構を備えることを特徴とする請求項６または７記載のパネル搬送システム。
9. 前記配線載置部は、前記配線が接触するゴム製の配線接触部材を備え、
   前記配線が接触する前記配線接触部材の上面は、シボ形状をなす凹凸面となっていることを特徴とする請求項６から８のいずれかに記載のパネル搬送システム。

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