CN1298515C

CN1298515C - 基板输送装置和基板输送方法

Info

Publication number: CN1298515C
Application number: CNB018237657A
Authority: CN
Inventors: 荻本真一
Original assignee: Shibaura Engineering Works Co Ltd
Current assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Priority date: 2001-11-01
Filing date: 2001-11-01
Publication date: 2007-02-07
Anticipated expiration: 2021-11-01
Also published as: CN1558814A; KR20040060854A; KR100676384B1

Abstract

本发明提供一种可以廉价、可靠地输送安装有电子零件的基板、且不产生电子零件落下或基板破损等的基板输送装置。基板输送装置(10)包括可上下左右移动的臂主体(11)。在臂主体(11)上设置有多个吸附并支持玻璃基板(21)的上表面的玻璃基板用吸附衬垫(12)、对应于各电子零件(22)而配置在其上方、并吸附支持各电子零件(22)的上表面的多个电子零件用吸附衬垫(13)。各吸附衬垫(12、13)通过吸附系统与真空源连接。在各吸附衬垫(12、13)上设置有调整相对于臂主体11的相对位置的调整机构，根据玻璃基板(21)或电子零件(22)的尺寸和位置，可在臂主体(11)上调整其安装位置。在各吸附衬垫(13)上设有弹簧(15)，其吸收各吸附衬垫(13)接触电子零件(22)时所施加在电子零件(22)上的冲击。

Description

基板输送装置和基板输送方法

技术领域

本发明涉及一种用于制造以液晶板为代表的平板显示器等的零件安装装置，尤其是涉及一种在工序之间用于交接玻璃基板等的基板输送装置和基板输送方法。

背景技术

一直以来，作为用于制造以液晶板为代表的平板显示器等的零件安装装置，将形成为薄膜状的电子零件(FPC(柔性印制电路)或COF(置于薄膜上的芯片)、TCP(带式运输器组件)等)安装在玻璃基板上的零件安装装置，已为人所熟知。

图6示出了利用这种零件安装装置安装了电子零件的玻璃基板的一个示例。如图6所示，玻璃基板21是由2种尺寸不同的基板21a、21b贴合而成，将多个电子零件22安装在其外周的里外两面(上部基板21a下表面和下部基板21b的上表面)上。

这样安装有电子零件22的玻璃基板21由图7A和图7B所示的基板输送装置30在工序之间进行交接。如图7A和图7B所示，基板输送装置30包括可上下左右移动的臂主体31、多个设置在臂主体31下表面上的并吸附支持玻璃基板21上表面的吸附衬垫32，从而在通过这些各吸附衬垫32支持玻璃基板21的状态下，将玻璃基板21(安装有电子零件22的玻璃基板21)在工序之间输送。

可是近些年来，用在平板显示器中的玻璃基板愈趋大型化，伴随此，安装在玻璃基板上的电子零件也变得大型化。即，作为安装在玻璃基板上的电子零件，外形尺寸增大，而且也日渐采用着连接有印制基板或加热板等的电子零件。因而，一旦由图7A和图7B所示的基板输送装置30输送安装有这种电子零件的玻璃基板，则电子零件22因自重而从玻璃基板21下垂，所以可能由于和其它装置的干涉或输送时的振动等而受到的冲击，电子零件22在输送途中落下(图7A)，另外还可能由于在输送时受到的振动，电子零件22碰撞在玻璃基板21上，而造成玻璃基板21破损(图7B)。

因而，在输送平板显示器等中所使用的大型玻璃基板时，如图8所示，一般使用将安装有电子零件22的玻璃基板21载置在托盘33上，由输送臂或输送载物台输送每个托盘33的方法。

但是，由于用来输送大型玻璃基板的托盘33较大，而且重量较重，所以由人工交换托盘33非常困难，因此有必要另外设计用以托盘33的操纵机构(将托盘33从下游工序返回到上游工序的机构)。因而有装置的设置面积增大或成本增加的问题。此外，还需要为每种平板显示器(也就是玻璃基板的尺寸)准备托盘，所以存在有增大运行成本的问题。

发明内容

本发明是考虑上述问题而作出的，本发明的目的是提供一种基板输送装置和基板输送方法，可以廉价、可靠地输送安装有电子零件的基板、并防止电子零件落下或基板破损。

本发明提供一种基板输送装置，输送安装有电子零件的基板，其特征在于，包括臂主体，安装在所述臂主体上、且从上侧支持作为输送对象的基板的第1支持机构，安装在所述臂主体上、且从上侧支持安装在上述基板上的电子零件的第2支持机构。

而且在本发明中，上述第1支持机构最好包括对应于上述基板而配置的多个第1支持部件。此外，上述第1支持部件最好在上述臂主体上可以调整其安装位置。而且，吸收与上述基板接触时所施加在上述基板上的冲击的冲击缓冲机构最好设置在上述第1支持部件和上述臂主体之间。可采用吸附保持上述基板的上表面的吸附部件作为上述第1支持部件。

而且在本发明中，上述第2支持机构最好具有对应于所述电子零件而配置的多个第2支持部件。而且，上述第2支持部件最好在上述臂主体上可以调整其安装位置。而且，吸收与上述电子零件接触时所施加在上述电子零件上的冲击的冲击缓冲机构最好设置在上述第2支持部件和上述臂主体之间。此外，作为上述第2支持部件可以采用从上述电子零件上侧延伸、并且吸附保持上述电子零件上表面的吸附部件，或从上述电子零件上侧延伸、并且支承地支持上述电子零件下表面的支持臂。

而且在本发明中，最好还具有选择性地控制上述各第2支持部件的工作状态的工作状态控制机构。

此时，上述工作状态控制机构包括使上述各第2支持部件升降的驱动机构，通过使上述各第2支持部件移动到支持上述各电子零件的支持位置或从上述各个电子零件退避的退避位置的任一位置，可选择性地控制上述各第2支持部件的工作状态。另外在此时，上述工作状态控制机构最好还包括根据作为输送对象的基板的种类而控制上述驱动机构的控制装置。

此外，当上述第2支持部件是吸附保持上述各电子零件的上表面的吸附部件时，上述工作状态控制机构包括用于切换上述各吸附部件的吸附状态的吸附状态切换机构，通过切换上述各第2支持部件的吸附状态，可选择性地控制上述各第2支持部件的工作状态。此时，上述工作状态控制机构最好还包括根据作为输送对象的基板种类而控制上述吸附状态切换机构的控制装置。

此外本发明提供一种将安装有电子零件的基板从第1位置向第2位置输送的基板输送方法，其特征在于，包括如下工序：从上侧使臂主体向着定位于第1位置的作为输送对象的基板下降的工序；利用安装在上述臂主体上且从上侧支持上述基板的第1支持机构支持上述基板，并且利用安装在上述臂主体上且从上侧支持安装在上述基板上的上述电子零件的第2支持机构支持上述电子零件的工序；通过使上述臂主体沿上下和水平方向移动，使安装有上述电子零件的基板定位于第2位置的工序；解除由上述第1支持机构对上述基板的支持、并解除由上述第2支持机构对上述电子零件的支持的工序。

如果选用本发明，由于在配置于基板上方的臂主体上设置有从上侧支持基板的第1支持机构以及从上侧支持安装在基板上的电子零件的第2支持机构，所以可在输送安装有电子零件的基板时防止电子零件因自重而从基板上垂下。因而可以廉价、可靠地输送安装有电子零件的基板，而不产生电子零件落下或基板破损等。

此外，如果选择本发明，通过在臂主体上可调整各第1支持部件和各第2支持部件的安装位置，从而可以根据基板或电子零件的尺寸和位置，在臂主体上调整其安装位置。因而，可实现按照作为制造对象的平板显示器种类的最佳输送。

而且如果选用本发明，由于在各第2支持部件和臂主体之间设有吸收各第2支持部件与电子零件接触时所施加在各电子零件上的冲击的冲击缓冲机构，所以可防止在各第2支持部件与电子零件接触时对各电子零件施加不必要的冲击和载荷。

附图说明

图1A是显示根据本发明的基板输送装置的一个实施形式的正视图；

图1B是显示由图1A所示的基板输送装置输送的带有电子零件的玻璃基板的平面图；

图2是显示由图1A所示的基板输送装置在工序间交接玻璃基板的形态的视图；

图3是显示图1A所示的基板输送装置的变形示例的视图；

图4是显示图1A所示的基板输送装置的其它变形示例的视图；

图5是显示图1A所示的基板输送装置的另一变形示例的视图；

图6是显示安装有电子零件的玻璃基板的视图；

图7A和图7B是显示一个现有基板输送装置示例的视图；

图8是显示现有基板输送装置的其它示例的视图。

具体实施形式

下文参考附图介绍本发明实施形式。

如图1A和图1B所示，本实施形式的基板输送装置10是用于在工序间交接安装有电子零件22的玻璃基板21的装置。作为输送对象的玻璃基板21由2种尺寸不同的基板21a、21b贴合而成，多个电子零件22安装在玻璃基板外周的表里两面上(上部基板21a的下表面和下部基板21b的上表面)。

如图1A和图1B所示，基板输送装置10包括配置在玻璃基板21上方且可上下和左右移动的臂主体11。作为从上侧支持玻璃基板21的第1支持机构，对应于玻璃基板21被设置在其上方，吸附并支持玻璃基板21的上表面的多个玻璃基板用吸附衬垫(第1支持部件)12被设置在臂主体11上。此外，作为从上侧支持被安装在玻璃基板21上的多个电子零件22的第2支持机构，对应于各电子零件22而配置在其上方，吸附并支持电子零件22的上表面的电子零件用吸附衬垫(第2支持部件)13被设置在臂主体11上。而且，各玻璃基板用吸附衬垫12和各电子零件用吸附衬垫13通过吸附系统(参考图4中附图标记16a～16d)与真空源(参考图4中附图标记18)相连。

其中，在各玻璃基板用吸附衬垫12上设置有调整相对于臂主体11的相对位置的调整机构(图中未示)，根据玻璃基板21的尺寸(纵向、横向的尺寸和厚度)和位置，可以在臂主体11上调整其安装位置(纵向、横向的位置和高度)。此外，在各电子零件用吸附衬垫13上设置有调整相对于臂主体11的相对位置的调整机构(图中未示)，可根据电子零件22的尺寸(纵向、横向的尺寸和厚度)和位置，调整其安装位置(纵向、横向的位置和高度)。进一步，在各电子零件用吸附衬垫13上设置有吸收各电子零件用吸附衬垫13与电子零件22接触时所施加在电子零件22上的冲击的弹簧(冲击缓冲机构)15。

也可以在各电子零件用吸附衬垫13上设置检测电子零件22在各电子零件用吸附衬垫13上的支持状况(电子零件22的有无)的传感器(图中未示)。因而可有效地检测由电子零件22下落等所引起的制造不良。

下文，由图2的(a)(b)(c)(d)(e)，介绍如上所构成的本实施形式的作用。而且，此处，以通过基板输送装置10将安装有电子零件22的玻璃基板21(下文也简称“玻璃基板21”)从上一个工序交接到下一个工序的情况为例进行说明。

首先通过使臂主体11向左侧移动，将基板输送装置10向基板接收位置移动(图2(a))。此时，前工序的基板输送载物台41在载置了玻璃基板21的状态下移动到基板交接位置(第1位置)。

在此状态下，通过使臂主体11向下侧移动，使得基板输送装置10下降，安装在臂主体11上的所有的玻璃基板用吸附衬垫12和电子零件用吸附衬垫13形成吸附状态(工作状态)，吸附并支持玻璃基板21和电子零件22(图2(b))。

此后，通过使臂主体11向上和向右移动，使得基板输送装置10上升之后，向下一个工序的基板交接位置(第2位置)移动(图2(c))。此时，下一个工序的基板输送载物台42移动到基板接收位置。

随后，通过使臂主体11向下移动，使得基板输送装置10下降，从而将玻璃基板21载置在下一工序的基板输送载物台42上(图2(d))。

然后，安装在臂主体11上的所有的玻璃基板用吸附衬垫12和电子零件用吸附衬垫13形成非吸附状态(非工作状态)，卸下玻璃基板21和电子零件22后，通过使臂主体11向上方移动，从而使基板输送装置10上升(图2(e))。

如果选用本实施形式，由于在臂主体11上设置有从上侧支持作为输送对象的玻璃基板21的玻璃基板用吸附衬垫12，以及从上侧支持安装在玻璃基板21上的多个电子零件22的多个电子零件用吸附衬垫13，所以就可以防止在输送安装有电子零件22的玻璃基板21时，电子零件22因自重而从玻璃基板21下垂，因而，可以廉价、可靠地输送安装有电子零件22的玻璃基板21，而不产生电子零件22的落下或玻璃基板21的破损等。

此外，如果选用本实施形式，由于可以在臂主体11上调整各玻璃基板用吸附衬垫12和各电子零件用吸附衬垫13的安装位置，所以根据玻璃基板21或电子零件22的尺寸(纵向、横向的尺寸和厚度)以及位置，可在臂主体11上调整其安装位置(纵向、横向的位置及高度)，因而可实现对每种作为制造对象的平板显示器的最佳输送。

进一步，如果选用本实施形式，由于在各电子零件用吸附衬垫13和臂主体11之间设置有吸收各电子零件用吸附衬垫13与电子零件22接触时所施加在各电子零件22上的冲击的弹簧(冲击缓冲机构)15，所以可以防止在各电子零件用吸附衬垫13与电子零件22接触时，对电子零件22施加不必要的冲击和负荷。

而且，尽管在上述实施形式中，在输送安装有电子零件22的玻璃基板21时，使设置在臂主体11上的所有电子零件用吸附衬垫13都工作。但是并不局限于此，根据作为制造对象的平板显示器的种类，可选择性地控制各电子零件用吸附衬垫13的吸附状态(工作状态)，而使与不存在电子零件22的位置、或者无需支持的位置相对应的电子零件用吸附衬垫13处于非吸附状态(非工作状态)。

具体地说，如图3所示，在多个电子零件用吸附衬垫13的每个上设置使该电子零件用吸附衬垫升降的驱动机构14，通过控制装置35，根据作为输送对象的基板的品种(种类)，使各电子零件用吸附衬垫13向支持电子零件22的支持位置或从电子零件22退避的退避位置中任一个位置移动即可。此外，由驱动机构14和控制装置35构成工作状态控制机构。

此外，也可以如图4所示，将多个吸附系统16a～16d设置在真空源18和各电子零件用吸附衬垫13之间，并在控制装置36的控制下，由真空电磁阀等吸附系统切换机构17对吸附系统进行切换，来切换各电子零件用吸附衬垫13的吸附状态。此外，虽然图4中在玻璃基板21的每一边分别分配一吸附系统，但是并不局限于此，也可以为各电子零件用吸附衬垫13的每个分别分配一吸附系统。此外，各个电子零件用吸附衬垫13的选择信息也可以与作为制造对象的平板显示器的品种信息一起，先保持在控制装置36中，通过控制装置36对应于作为输送对象的基板品种(种类)，自动地控制电子零件用吸附衬垫13的吸附状态。此外，由吸附系统16a～16d以及吸附系统切换机构17构成吸附状态切换机构，由吸附系统16a～16d、吸附系统切换机构17和控制装置36构成工作状态控制机构。

另外在上述实施形式中，虽然由电子零件用吸附衬垫13吸附并支持各电子零件22的上表面，但是并不局限于此，如图5所示，也可以由电子零件用支持臂19来支承并支持各电子零件22的下表面。

而且，在上述实施形式中，虽然在电子零件用吸附衬垫13上设置有弹簧15，但是并不局限于此，也可以在玻璃基板用吸附衬垫12上设置相同的机构。

另外，在上述实施形式中，虽然以用于平板显示器的玻璃基板为例进行了说明，但是并不局限于此，可适用于任意基板。

Claims

1、一种基板输送装置，输送安装有电子零件的基板，其特征在于，包括：臂主体，安装在所述臂主体上的第1支持机构，从作为输送对象的基板的上侧支持基板，安装在所述臂主体上的第2支持机构，从安装在上述基板上的电子零件的上侧支持电子零件。

2、如权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，上述第1支持机构包括与上述基板对应配置的多个第1支持部件。

3、如权利要求2所述的基板输送装置，其特征在于，上述第1支持部件在上述臂主体上可以调整其安装位置。

4、如权利要求2所述的基板输送装置，其特征在于，在上述第1支持部件和上述臂主体之间，设置有吸收与上述基板接触时所施加在上述基板上的冲击的冲击缓冲机构。

5、如权利要求2所述的基板输送装置，其特征在于，上述第1支持部件是吸附保持上述基板的上表面的吸附部件。

6、如权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，上述第2支持机构具有与所述电子零件对应配置的多个第2支持部件。

7、如权利要求6所述的基板输送装置，其特征在于，上述第2支持部件在上述臂主体上可以调整其安装位置。

8、如权利要求6所述的基板输送装置，其特征在于，在上述第2支持部件和上述臂主体之间，设置有吸收与上述电子零件接触时所施加在上述电子零件上的冲击的冲击缓冲机构。

9、如权利要求6所述的基板输送装置，其特征在于，上述第2支持部件是从上述电子零件上侧延伸、并且吸附保持上述电子零件的上表面的吸附部件。

10、如权利要求6所述的基板输送装置，其特征在于，上述第2支持部件是从上述电子零件上侧延伸、并且支承地支持上述电子零件的下表面的支持臂。

11、如权利要求6所述的基板输送装置，其特征在于，还包括选择性地控制上述各第2支持部件的工作状态的工作状态控制机构。

12、如权利要求11所述的基板输送装置，其特征在于，上述工作状态控制机构包括使上述各第2支持部件升降的驱动机构，通过使上述各第2支持部件移动到支持上述各个电子零件的支持位置或从上述各电子零件退避的退避位置的任一位置，来选择性地控制上述各第2支持部件的工作状态。

13、如权利要求12所述的基板输送装置，其特征在于，上述工作状态控制机构还包括根据作为输送对象的基板的种类而控制上述驱动机构的控制装置。

14、如权利要求11所述的基板输送装置，其特征在于，上述第2支持部件是吸附保持上述各电子零件的上表面的吸附部件，上述工作状态控制机构包括用于切换上述各吸附部件吸附状态的吸附状态切换机构，通过切换上述各第2支持部件的吸附状态，来选择性地控制上述各第2支持部件的工作状态。

15、如权利要求14所述的基板输送装置，其特征在于，上述工作状态控制机构还包括根据作为输送对象的基板种类而控制上述吸附状态切换机构的控制装置。

16、一种基板输送方法，将安装有电子零件的基板从第1位置向第2位置输送，其特征在于，包括如下工序：

从上侧使臂主体向着定位于第1位置的作为输送对象的基板下降的工序；

利用安装在上述臂主体上且从上述基板的上侧支持基板的第1支持机构支持上述基板、并且利用安装在上述臂主体上且从安装在上述基板上的上述电子零件的上侧支持电子零件的第2支持机构支持上述电子零件的工序；

通过使上述臂主体沿上下方向和水平方向移动、使安装有上述电子零件的基板定位于第2位置的工序；

解除由上述第1支持机构对上述基板的支持、并且解除由上述第2支持机构对上述电子零件支持的工序。