CN111180373A - 用于制造有机发光元件面板的基板移动装置及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及用于制造有机发光元件面板的基板移动装置及方法。本发明的目的在于，提供一种能够避免有机发光元件面板的制造过程中的基板的空气暴露的同时将基板正确且精密地移动至固定位置的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置及方法。本发明的另一目的在于，通过改良这样的基板移动装置的结构，提供一种不仅能够大幅减少装置整体的体积，还能够减少移动基板并排列到固定位置所需的时间的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置及方法。
Description
技术领域
本发明涉及用于制造有机发光元件面板的基板移动装置(Device and methodfor transferring plate for manufacturing OLED panel)，特别地涉及能够避免有机发光元件面板的制造过程中的基板的空气暴露的同时将基板正确且精密地移动至固定位置的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置及方法。
背景技术
有机发光元件(Organic Light Emitting Diodes，OLED)是指，利用电流流过荧光有机化合物时发光的电致发光现象来自行发光的自发光有机物质。有机发光元件具有能够在低的电压下驱动，能够做得薄，并且具有宽的视角及快的响应速度等的优点。由于这样的多个优点，有机发光元件作为各种电子产品的显示器面板现在被广泛使用，并且其使用范围逐渐扩大。
通常在制造有机发光元件面板时，在由玻璃(glass)形成的大型母基板上利用有机物质沉积图案。在母基板沉积单元并经过干燥等多个工序之后，通过将粘贴基板重叠于母基板粘贴来将形成有单元的空间称为相对于外部封闭的状态的工序就是如上所述的密封工序。在这样的密封工序之后将基板切割为相当于各单元的尺寸来完成有机发光元件面板产品的制造。
另外，构成有机发光元件的有机物对水分及氧非常敏感，因此若暴露于空气中则立即会变质。因此，为了避免空气暴露，通常进行密封工序之前的工序在惰性气体(例如氮气)的气体环境的腔室内进行。另一方面，因受到设备空间的限制而可分开配置进行沉积工序的装备和此后进行干燥等其他工序的装备。此时，在从包围沉积装备的腔室向包围其他装备的腔室移动基板的过程中，显然也需要避免空气暴露。由此，在沉积装备完成沉积的基板通过能够以避免空气暴露的环境制成的机器人来向进行其他工序的装备移动。作为例子，在韩国专利申请第1847978号(“有机发光元件制造装备”，2018.04.05，以下成为‘现有文献’)中公开了一种腔室结构，该腔室结构具备位于多个工序腔室之间来以多个工序腔室移送基板的基板移送系统。在现有文献中公开了基板移送系统构成为输送机形式的实施例，此外还使用利用机器人移送基板的设备。
如上所述，在对完成有机物质的沉积的基板进行密封工序之前，不使有机物质受损非常重要。因此通常使沉积有有机物质的表面朝下(facedown，下面称为‘面朝下的状态’)来移动基板，并将未沉积有机物质的表面亦即上表面利用真空吸附手段进行吸附固定之后，执行检查等多个其他工序。即，在完成有机物质的沉积的基板在进入其他工序之前，应以面朝下的状态吸附固定于配置在基板上侧的真空吸附手段。图1是用于这样将基板吸附固定于真空吸附手段的以往的基板移动装置的实施例。
如图1的(A)部分所示，面朝下的状态的基板5通过机械手1被移动至真空吸附手段10的下侧。此时，在所述真空吸附手段10以及所述基板5的下侧配置有基板升降手段20。并且，为了不使所述机械手1对在所述基板5的下表面沉积的有机物质带来损伤，所述机械手1只能握持所述基板5的边缘。
如图1的(B)部分所示，所述机械手1将所述基板5放在所述基板升降手段20的上表面，此时，为了使在所述基板5的下表面沉积的有机物质不受损伤，优选地，所述基板升降手段20也以最小限度与所述基板5的边缘部分接触。为了满足这样的条件，通常所述基板升降手段20可构成为在上侧形成有多个销的方式的称为升降销模块(lift-pinmodule)的装置。
如图1的(C)部分所示，当在所述基板升降手段20的上侧放上所述基板5时，所述机械手1退出，此时由所述基板升降手段20使所述基板5上升至所述真空吸附手段10的下表面的近处。
如图1的(D)部分所示，当所述基板5配置于所述真空吸附手段10的近处时，才由所述真空吸附手段10进行工作来吸附固定所述基板5的上表面。在所述基板5因重力而弯曲的情况下，真空吸附在整体的表面不均匀地进行而所述基板5会不能正确地固定于固定位置。由此，通过将所述基板5放到与所述基板升降手段20即所述真空吸附手段10处于同一平面的装置上，由此确保所述基板5的整体面积的水平之后，通过所述基板升降手段20使所述基板5向所述真空吸附手段10上升来执行吸附。
如图1的(E)部分所示，通过移动手段30以由所述真空吸附手段10吸附固定所述基板5的上表面的状态移动所述基板5来向进行检查手段40等其他工序的区域移动所述基板5。
如上所述，在以往的基板移动装置以及方法中，为了在将基板吸附于真空吸附手段的过程中不破坏水平，在真空吸附手段的下部配置基板升降手段，另外，为了对吸附固定于真空吸附手段的基板执行其他工序，将真空吸附手段直接移动至配置有用于执行其他工序的装置(检查手段等)的区域。但是，由于这样需要在真空吸附手段的下部配置基板升降手段，并且在其他区域配置用于执行其他工序的装置，存在整体装置的体积过大的问题。这还引发使配置装置的场所自身的空间利用性下降的问题。另外，在制造装置后搬运至配置场所的过程中也引起很大的不便，如下详细说明。在装置比道路的宽度更宽的情况下，不能搬运装置，因此，需要以拆解的状态搬运至配置场所，并在配置场所再次组装装置，而并非以完成制造的状态搬运。在此过程中构成装置的部件之间不能实现正确的排列时，导致装置不能正确地工作等不便加重。
因此在将基板吸附固定于真空吸附手段的工序中，正在进行用于减小整体装备的大小的方案的各种研究。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：韩国专利申请第1847978号(“有机发光元件制造装备”，2018.04.05)
发明内容
(发明要解决的课题)
因此，本发明为了解决如上所述的以往技术问题而做出的，本发明的目的在于，提供一种能够避免有机发光元件面板的制造过程中的基板的空气暴露的同时将基板正确且精密地移动至固定位置的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置及方法。本发明的另一目的在于，通过改良这样的基板移动装置的结构，提供一种不仅能够大幅减少装置整体的体积，还能够减少移动基板并排列到固定位置所需的时间的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置及方法。
(用于解决课题的手段)
为了达成如上所述的目的的本发明的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置100是使基板500移动的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置100，在该基板500的除了边缘555之外的下表面的被选择的区域沉积形成有至少一个单元550，该至少一个单元550形成有机发光元件面板，并且由有机物质图案构成，该基板移动装置100可包括：机器人110，包括配置于所述基板500的下侧并且与所述基板500的下表面的所述边缘555接触来支撑所述基板500的机械手111、使所述机械手111升降的升降手段112、以及用于移动的移动手段113；真空吸附手段120，配置于所述基板500的上侧，吸附固定所述基板500；减振手段130，配置于所述真空吸附手段120的沿所述基板500的移动方向的一侧的末端，向所述真空吸附手段120所形成的平面的下侧突出，与所述机械手111的末端接触来减少振动；以及控制手段140，检测所述减振手段130与所述机械手111的接触以及减振状态，同步驱动所述减振手段130及所述升降手段112。
此时，所述机械手111可包括多个支撑部111z，该多个支撑部111z以与所述基板500的下表面的所述边缘555接触的方式向上侧突出分布。
另外，所述机械手111可包括：至少一个主支撑台111a，沿所述基板500的移动方向延伸；以及多个副支撑台111b，与所述主支撑台111a连接，相对于所述主支撑台111a的延伸方向垂直，与所述基板500所形成的平面平行地延伸，所述机械手111形成鱼刺(fishbone)形状，所述支撑部111z形成于在所述主支撑台111a的延伸方向上与所述基板500的两侧的末端的所述边缘555相对应的位置、以及在所述副支撑台111b的延伸方向上与所述基板500的两侧的末端的所述边缘555相对应的位置。
另外，此时，所述机械手111还可包括多个辅助支撑台111c，该多个辅助支撑台111c与在所述主支撑台111a的延伸方向上配置于最外侧的至少一对所述副支撑台111b连接，与所述主支撑台111a的延伸方向平行，与所述基板500所形成的平面平行地延伸，所述支撑部111z还可形成于在所述辅助支撑台111c的延伸方向上与所述基板500的两侧的末端的所述边缘555对应的位置。
另外，所述主支撑台111a可以以在所述主支撑台111a的延伸方向上从所述基板500的末端突出的方式形成。
另外，所述真空吸附手段120可包括：中心吸附部121，配置于所述基板500的中心区域；以及多个周围吸附部122，以包围所述中心吸附部121并且以所述基板500的中心点为基准相互对称的方式分布配置。
此时，所述真空吸附手段120可独立地控制所述中心吸附部121以及多个所述周围吸附部122各自的吸附压力。
另外，此时，所述真空吸附手段120的在所述中心吸附部121真空吸附时所产生的流量可大于在所述周围吸附部122真空吸附时所产生的流量。
另外，本发明的用于制造有机发光元件面板的基板移动方法是使用如上所述的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置100用于制造有机发光元件面板的基板移动方法，作为将所述基板500装载(loading)于所述真空吸附手段120的方法，可包括：基板支撑步骤，所述机械手111与所述基板500的下表面的所述边缘555接触来支撑所述基板500；基板移动步骤，通过所述移动手段113使所述基板500向所述真空吸附手段120的下部移动；第一次基板上升步骤，通过所述升降手段112使所述基板500向所述真空吸附手段120一侧上升；减振步骤，所述机械手111的末端与所述减振手段130接触来减少振动；第二次基板上升步骤，当通过所述控制手段140判断为所述机械手111的末端的振动减少到已设定水准以下时，通过所述控制手段140同步驱动所述减振手段130及所述升降手段112，由此一边通过所述减振手段130减少振动，一边通过所述升降手段112使所述基板500以与所述真空吸附手段120接近的方式上升；以及基板固定步骤，通过所述真空吸附手段120吸附固定所述基板500。
此时，所述基板固定步骤可包括：中心固定步骤，在所述基板500与所述真空吸附手段120非接触的状态下，通过所述中心吸附部121以相对大的流量吸附固定所述基板500的中心；以及周围固定步骤，在所述基板500的中心吸附在所述中心吸附部121的状态下，通过多个所述周围吸附部122以相对小的流量同时吸附固定所述基板500的多个周围。
另外，本发明的用于制造有机发光元件面板的基板移动方法是使用如上所述的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置100的用于制造有机发光元件面板的基板移动方法，作为将所述基板500从所述真空吸附手段120卸载(unloading)的方法，可包括：手移动步骤，通过所述移动手段113使所述机械手111向所述真空吸附手段120的下部移动；第一次手上升步骤，通过所述升降手段112使所述机械手111向所述真空吸附手段120一侧上升；减振步骤，所述机械手111的末端与所述减振手段130接触来减少振动；第二次手上升步骤，当通过所述控制手段140判断为所述机械手111的末端的振动减少到已设定水准以下时，通过所述控制手段140同步驱动所述减振手段130及所述升降手段112，由此一边通过所述减振手段130减少振动，一边通过所述升降手段112使所述机械手111以与所述真空吸附手段120接近的方式上升；基板解除步骤，通过所述真空吸附手段120解除所述基板500的吸附固定；以及基板支撑步骤，所述机械手111与所述基板500的下表面的所述边缘555接触来支撑所述基板500。
此时，所述基板解除步骤可包括：周围解除步骤，在所述基板500与所述真空吸附手段120吸附固定的状态下，通过多个所述周围吸附部122以相对小的流量同时解除吸附所述基板500的多个周围；以及中心解除步骤，在所述基板500的多个周围从所述中心吸附部121解除的状态下，通过所述中心吸附部121以相对大的流量解除吸附所述基板500的中心。
(发明效果)
根据本发明，具有能够仅利用机械手来避免有机发光元件面板的制造过程中的基板的空气暴露的同时正确且精密地移动至固定位置的大效果。
另外，根据本发明，以往为了将基板吸附固定到真空吸附手段的固定位置利用了机械手以及基板升降手段，但在本发明中能够省略升降手段而仅利用机械手，因此通过省略基板升降手段能够得到减少装置整体的体积的效果。
不仅如此，根据本发明，还具有以下的体积减少效果。以往为了配置基板升降手段，需要形成用于配置如检查手段等其他工序用装备的区域，并且需要利用真空吸附手段吸附固定基板来移动至这样的其他区域。但是，根据本发明，通过省略基板升降手段，能够将检查手段等配置于真空吸附手段的正下侧，因此能够从根本上省略配置检查手段等的区域以及真空吸附手段移动用装置。由此，根据本发明，具有能够更加大幅减少装置整体的体积的大效果。
另外，根据本发明，通过这样减少装置的体积能够大幅节省配置装置的空间，因此具有能够大幅提高装置配置场所的空间利用性。不仅如此，在制造装置之后，能够不拆解装置而搬运至配置场所，因此具有能够从根本上省略以往制造比道路大的体积的装置之后暂时拆解来搬运至配置场所并再次组装的棘手的搬运以及配置过程的效果。显然，还具有能够避免以往在装置的拆解以及再组装过程中装置性能下降的危险性的效果。
并且，根据本发明，与如上所述利用两个装置(机械手及基板升降手段)移动基板并排列到固定位置的情况相比，仅利用一个装置(机械手)移动基板并排列到固定位置，因此结果上还具有能够大幅减少移动基板以及排列到固定位置所需的时间的效果。
附图说明
图1是以往的基板移动装置的一实施例。
图2是通过本发明的基板移动装置移动的基板的仰视图。
图3是本发明的基板移动装置的整体的立体图。
图4是本发明的基板移动装置的主要结构的侧视图。
图5是本发明的基板移动装置的鱼刺机械手以及基板的俯视图。
图6是本发明的基板移动装置的真空吸附手段以及减振手段的仰视图。
图7及图8是利用本发明的基板移动装置的基板移动方法的步骤图。
具体实施方式
下面，参考附图详细说明具有如上所述的结构的本发明的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置及方法。
本发明的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置
本发明的基板移动装置100是用于在有机发光元件面板的制造过程中将完成沉积的面朝下的状态的基板仅利用机械手移动来顺利地吸附固定到真空吸附手段的固定位置的装置。在该时点沉积在基板上的有机物质图案处于没有受到外部保护的状态(由于处于密封工序之前)，因此机械手仅能够接触未沉积有有机物质图案的区域。图2是通过本发明的基板移动装置移动的基板的仰视图，参照图2如下具体进行说明。如图2所示，在所述基板的下表面的被选择的区域沉积形成至少一个单元550。所述单元550是指形成有机发光元件面板的有机物质图案，此时，除了所述单元550之外的部分即所述基板500的边缘555以及所述单元550彼此之间的区域就是机械手能够握持的区域。如图2所示，在形成有多个所述单元550的情况下，显然理想地能够利用机械手握持所述单元550彼此之间的区域，但所述单元550的个数或位置会发生改变，从而动作中即使发生一点误差，也存在损伤两侧的单元的可能性，因此，优选地将机械手握持的区域设定为所述边缘555。
图3是本发明的基板移动装置的整体的立体图，图4是本发明的基板移动装置的主要结构的侧视图，通过这些图说明本发明的基板移动装置100的具体的结构。如图3以及图4所示，本发明的基板移动装置100可包括机器人110、真空吸附手段120、减振手段130、及控制手段140。
所述机器人110发挥将所述基板500握持来移动至所述真空吸附手段120的附近的作用。更详细地，所述机器人110包括：机械手111，配置于所述基板500的下侧并且与所述基板500的下表面的所述边缘555接触来支撑所述基板500；升降手段112，使所述机械手111升降；以及移动手段113，用于移动。如下更详细地说明各部分。
所述机械手111作为直接托起支撑所述基板500的手段，为了不与形成于所述基板500的下表面的所述单元550接触来使所述单元550受损，在所述机械手111包括多个支撑部111z，该多个支撑部111z以与所述基板500的下表面的所述边缘555接触的方式向上侧突出分布。此时，所述机械手111例如形成为宽的平面形状，并且多个所述支撑部111z以所述边缘555的形状分布形成等，能够根据使用人员的方便性以多种方式形成，在本发明中提供如图5所示的鱼刺(fishbone)形状的机械手111的结构。
图5是本发明的基板移动装置的鱼刺机械手以及基板的俯视图。如图所示，所述机械手111包括：至少一个主支撑台111a，沿所述基板500的移动方向延伸；以及多个副支撑台111b，与所述主支撑台111a连接，相对于所述主支撑台111a的延伸方向垂直，与所述基板500所形成的平面平行地延伸，由此能够形成为鱼刺(fishbone)形状。在图5中图示了所述主支撑台111a为一对的实施例，即：在以图5为基准时，针对以“11”字平行延伸的左右一对所述主支撑台111a，在左侧主支撑台111a连接有沿左侧延伸的多个副支撑台111b，在右侧主支撑台111a连接有沿右侧延伸的多个副支撑台111b。显然，本发明并不限定于此，例如，在所述主支撑台111a为一个时，所述主支撑台111a形成为沿所述基板500的中心线配置的形状，在这样的一个主支撑台111a的左右两侧连接有副支撑台111b等，能够实施各种变更。无论在哪种情况下，所述支撑部111z形成于在所述主支撑台111a的延伸方向上与所述基板500的两侧的末端的所述边缘555相对应的位置、以及在所述副支撑台111b的延伸方向上与所述基板500的两侧的末端的所述边缘555相对应的位置。
在所述机械手111仅由所述主支撑台111a以及所述副支撑台111b构成的情况下，在所述副支撑台111b的延伸方向的所述基板500的两侧的末端形成有所述副支撑台111b的个数的支撑点。但是，在所述主支撑台111a的延伸方向的所述基板500的两侧的末端只能形成所述主支撑台111a的个数的两倍的个数的支撑点。为了解决这样的问题，优选地，所述机械手111还包括多个辅助支撑台111c，所述多个辅助支撑台111c与在所述主支撑台111a的延伸方向上配置于最外侧的至少一对所述副支撑台111b连接，与所述主支撑台111a的延伸方向平行，与所述基板500所形成的平面平行地延伸。此时，所述支撑部111z还形成于在所述辅助支撑台111c的延伸方向上与所述基板500的两侧的末端的所述边缘555对应的位置。由此，能够使连接多个所述支撑部111z形成的图形成为与所述边缘555整体对应的形状。
另一方面，优选地，所述主支撑台111a以在所述主支撑台111a的延伸方向上从所述基板500的末端突出的方式形成，这是为了与下面说明的所述减振手段130的接触。
所述升降手段112作为使所述机械手111升降的手段，只要是能够沿垂直方向升降的形状，能够以任何形状形成。但是，所述升降手段112应良好地保持由所述机械手111托起支撑的所述基板500的水平的同时无振动地稳定地升降，因此，优选地，在所述升降手段112自身包括保持水平的结构或者使振动衰减的结构。
所述移动手段113作为通过使所述机械手111移动来将由所述机械手111托起支撑的所述基板500向所述真空吸附手段120的下方移动的手段，能够根据使用人员的方便性，能够构成为轨道与轮的组合形式，传送带形式等适当的形式。另外，能够根据使用人员的方便性，所述移动手段113可构成为使所述机器人110自身移动的结构、仅使所述机械手111移动的结构等适当的结构。图3示出了所述移动手段仅使所述机械手111移动的轨道与轮的组合形式，但如上所述，本发明并不限定于此。
所述真空吸附手段120配置于所述基板500的上侧，发挥吸附固定所述基板500的作用。图6是本发明的基板移动装置的真空吸附手段以及减振手段的仰视图。通过图6如下详细说明所述真空吸附手段120。
如图6所示，所述真空吸附手段120可包括：中心吸附部121，配置于所述基板500的中心区域；以及多个周围吸附部122，以包围所述中心吸附部121并且以所述基板500的中心点为基准相互对称的方式分布配置。图6中所述中心吸附部121构成为椭圆形状，所述周围吸附部122为四角形且与所述中心吸附部121重叠的部分被切掉的形状。另外，如图6所示，所述中心吸附部121及所述周围吸附部122可构成为细的流路槽形成闭曲线的形状。
这样所述真空吸附手段120包括多个吸附部121、122是因为以下理由。例如，所述真空吸附手段120也可包括由形成与所述基板500形状相对应的一个闭曲线的流路槽构成的一个吸附部。但是，在此情况下，即使非常精密地进行调节，也难以在吸附部整体的所有位置正确地控制相同的流量，在实际上要实现上述的精密控制时，存在用于执行这样的精密控制的部件个数或价格过高的忧虑。但是，在吸附部整体的所有位置不能正确地控制相同的流量的情况下，例如在所述基板500的某一侧周围先被所述真空吸附手段120吸附而被粘贴时不仅所述基板500整体的水平被破坏，还发生不必要的振动，从而会发生损坏所述基板500或对固定位置的排列带来坏影响等的问题。
在本发明中，为了避免这样的问题，如图6所示，所述真空吸附手段120包括所述中心吸附部121以及多个所述周围吸附部122，并独立地控制所述中心吸附部121以及多个所述周围吸附部122各自的吸附压力。更详细地，在所述中心吸附部121真空吸附时所产生的流量大于在所述周围吸附部122真空吸附时所产生的流量。即，在吸附所述基板500的过程中，在先吸附所述基板500的中心时(即使所述基板500弯曲一点)，处于四个周围未被所述真空吸附手段120粘贴的状态，因此不会过多影响动态稳定性。另外，此后通过同时吸附所述基板500的四个周围，使因变形等发生的应力等整体上均匀，结果能够在整体吸附过程中充分确保动态稳定性。
如图6所示，所述减振手段130配置于所述真空吸附手段120的沿所述基板500的移动方向的一侧的末端，另外，如图4所示，所述减振手段130向所述真空吸附手段120所形成的平面的下侧突出，从而发挥与所述机械手111的末端接触来减少振动的作用。如下详细说明其原理。
如前面的说明所述机械手111的末端配置为向所述基板500外侧突出，所述减振手段130比所述真空吸附手段120向下侧更突出。因此，在由所述机械手111使所述基板500上升的过程中，所述机械手111的末端会先与所述减振手段130接触。实质上所述机械手111形成为一侧的末端为自由端且另一侧末端为固定端的悬臂形状，在因此升降过程中在物理上无法避免作为自由端的一侧的末端弯曲或抖动的现象。但是，这样通过使所述机械手111的自由端先与所述减振手段130，可通过内置于所述减振手段130的减震器有效果地减少振动。
所述控制手段140发挥检测这样的所述减振手段130以及所述机械手111的接触以及减振状态的作用。另一方面，在这样振动被减少的时点，所述机器人110应将所述基板500进一步上升至由所述真空吸附手段120能够将所述基板500充分顺利地吸附的位置。此时，所述控制手段140在由所述减振手段130与所述机械手111的末端(自由端)接触而振动被减少的状态下，同步驱动所述减振手段130及所述升降手段112，由此能够将所述基板500无振动地上升至所希望的位置。
本发明的用于制造有机发光元件面板的基板移动方法
下面，按步骤说明使用以如上所述的结构构成的本发明的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置100的用于制造有机发光元件面板的基板移动方法。
图7及图8是利用本发明的基板移动装置的基板移动方法的步骤图，参照图7及图8，首先如下说明将所述基板500装载(loading)于所述真空吸附手段120的方法。在装载时基板移动方法大致包括基板支撑步骤、基板移动步骤、第一次基板上升步骤、减振步骤、第二次基板上升步骤、以及基板固定步骤。
在所述基板支撑步骤中，如图7的(A)部分所示，所述机械手111与所述基板500的下表面的所述边缘555接触来支撑所述基板500。即，所述基板支撑步骤是在所述机械手111放上去所述基板500的步骤。
在所述基板移动步骤中，如图7的(B)部分所示，通过所述移动手段113使所述基板500向所述真空吸附手段120的下部移动。此时，决定是否移动至适当的位置为止可利用另外的光学排列手段，或者可对构成所述移动手段113的马达等利用已设定的设置值等，能够实施各种变更。
在所述第一次基板上升步骤中，如图7的(C)部分所示，通过所述升降手段112使所述基板500向所述真空吸附手段120一侧上升。如前面的说明，在这样所述基板500上升的过程中，由于所述机械手111本身是悬臂形状，因此在自由端(以图7为基准时是右侧末端)不可避免地发生弯曲或抖动。
在所述减振步骤中，如图8的(A)部分所示，通过使所述机械手111的末端与所述减振手段130接触来减少振动。如前面的说明，所述机械手111的末端配置为向所述基板500的外侧突出，所述减振手段130比所述真空吸附手段120更向下侧突出，因此显然所述机械手111的末端首先与所述减振手段130接触，从而在所述机械手111的末端发生的振动通过所述减振手段130被顺利地减少。当通过所述控制手段140判断为所述机械手111的末端的振动减少到已设定水准以下时，执行所述第二次基板上升步骤。
在所述第二次基板上升步骤中，如图8的(B)部分所示，通过所述控制部140同步驱动所述减振手段130及所述升降手段112，由此一边通过所述减振手段130减少振动，一边通过所述升降手段112使所述基板500以与所述真空吸附手段120接近的方式上升。此时，使在所述第二次基板上升步骤的最终时点的所述基板500与所述真空吸附手段120之间的间距成为由所述真空吸附手段120能够充分地顺利吸附所述基板500的程度即可，这可根据所述真空吸附手段120的设计或所述基板500的面积、质量、形状等来改变，由使用人员所述间距根据工序条件适当地预先决定即可。
在所述基板固定步骤中，如图8的(C)部分所示，通过所述真空吸附手段120吸附固定所述基板500。此时，在所述基板500与所述真空吸附手段120非接触的状态下发生吸附，因此存在先吸附所述基板500的一侧周围的过程中所述基板500的水平被破会而对动态稳定性带来坏影响的可能性。为了避免这样的问题，优选地，所述基板固定步骤依次进行中心固定步骤及周围固定步骤。首先，在所述中心固定步骤中，在所述基板500与所述真空吸附手段120非接触的状态下，通过所述中心吸附部121以相对大的流量吸附固定所述基板500的中心。接着，在所述周围固定步骤中，在所述基板500的中心吸附在所述中心吸附部121的状态下，通过多个所述周围吸附部122以相对小的流量同时吸附固定所述基板500的多个周围。
通过这样的过程，根据本发明，仅利用所述机械手111就能够将所述基板500稳定地吸附固定到所述真空吸附手段120。如图1所示，以往为了将基板吸附固定真空吸附手段的固定位置，利用机械手以及基板升降手段(前面说明的升降销模块)，但在本发明中仅利用机械手。
由此，根据本发明，首先能够从根本上省略以往的基板升降手段，因此与以往相比能够减少装置体积。特别地，因省略基板升降手段而能够将检查手段等配置于真空吸附手段的正下侧，因此能够从根本上省略配置检查手段等的区域以及真空吸附手段移动用装置，从而与以往相比能够显著减少装置体积。由此，根据本发明，能够同时得到配置场所的空间利用性的提高、搬运以及配置容易性的提高、搬运以及配置时(因省略拆解以及再组装过程而引起的)装置性能下降危险性的减少等的诸多效果。
同时，根据本发明，与如上所述利用两个装置(机械手及基板升降手段)移动基板并排列到固定位置的情况相比，仅利用一个装置(机械手)移动基板并排列到固定位置，因此结果上还能够大幅减少移动基板以及排列到固定位置所需的时间。
图7及图8示出了将所述基板500装载到所述真空吸附手段120的方法的步骤，在将所述基板500从所述真空吸附手段120卸载(unloading)时执行与装载时相反的步骤即可。进行具体说明，在卸载时基板移动方法大致包括手移动步骤、第一次手上升步骤、减振步骤、第二次手上升步骤、及基板解除步骤。各步骤类似地对应于倒序进行装载时的各步骤的情况，因此对于各步骤进行简略说明。
在所述手移动步骤中，通过所述移动手段113使所述机械手111向所述真空吸附手段120的下部移动。
在所述第一次手上升步骤中，通过所述升降手段112使所述机械手111向所述真空吸附手段120的一侧上升。
在所述减振步骤中，通过使所述机械手111的末端与所述减振手段130接触来减少振动。当通过所述控制手段140判断为所述机械手111的末端的振动减少到已设定水准以下时，执行所述第二次手上升步骤。
在所述第二次手上升步骤中，通过所述控制手段140同步驱动所述减振手段130及所述升降手段112，由此一边通过所述减振手段130减少振动，一边通过所述升降手段112使所述机械手111以与所述真空吸附手段120接近的方式上升。
在所述基板解除步骤中，通过所述真空吸附手段120解除所述基板500的吸附固定。此时，所述基板解除步骤类似于倒序进行装载时的所述基板固定步骤，因此，可依次执行：周围解除步骤，在所述基板500与所述真空吸附手段120吸附固定的状态下，通过多个所述周围吸附部122以相对小的流量同时解除吸附所述基板500的多个周围；以及中心解除步骤，在所述基板500的多个周围从所述中心吸附部121解除的状态下，通过所述中心吸附部121以相对大的流量解除吸附所述基板500的中心。
在所述基板支撑步骤中，所述机械手111与所述基板500的下表面的所述边缘555接触来支撑所述基板500。在该状态下，通过使所述升降手段112以及所述移动手段113进行工作来将所述基板500从所述真空吸附手段120完全去除。
本发明并不限定于所述的实施例，显然有多种适用范围，本领域技术人员在不脱离权利要求书中所要求的本发明的宗旨的前提下能够进行各种变形实施。
(标号说明)
100基板移动装置
110机器人 111机械手
111z支撑部 111a主支撑台
111b副支撑台 111c辅助支撑台
120真空吸附手段
121中心吸附部 122周围吸附部
130减振手段 140控制手段
500基板 550单元
555边缘
Claims (12)
1.一种用于制造有机发光元件面板的基板移动装置，是使基板(500)移动的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置(100)，在该基板(500)的除了边缘(555)之外的下表面的被选择的区域沉积形成有至少一个单元(550)，该至少一个单元(550)形成有机发光元件面板，并且由有机物质图案构成，
该用于制造有机发光元件面板的基板移动装置的特征在于，包括：
机器人(110)，包括配置于所述基板(500)的下侧并且与所述基板(500)的下表面的所述边缘(555)接触来支撑所述基板(500)的机械手(111)、使所述机械手(111)升降的升降手段(112)、以及用于移动的移动手段(113)；
真空吸附手段(120)，配置于所述基板(500)的上侧，吸附固定所述基板(500)；
减振手段(130)，配置于所述真空吸附手段(120)的沿所述基板(500)的移动方向的一侧的末端，向所述真空吸附手段(120)所形成的平面的下侧突出，与所述机械手(111)的末端接触来减少振动；以及
控制手段(140)，检测所述减振手段(130)与所述机械手(111)的接触以及减振状态，同步驱动所述减振手段(130)及所述升降手段(112)。
2.根据权利要求1所述的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置，其特征在于，
所述机械手(111)包括多个支撑部(111z)，该多个支撑部(111z)以与所述基板(500)的下表面的所述边缘(555)接触的方式向上侧突出分布。
3.根据权利要求2所述的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置，其特征在于，
所述机械手(111)包括：
至少一个主支撑台(111a)，沿所述基板(500)的移动方向延伸；以及
多个副支撑台(111b)，与所述主支撑台(111a)连接，相对于所述主支撑台(111a)的延伸方向垂直，与所述基板(500)所形成的平面平行地延伸，
所述机械手(111)形成鱼刺形状，
所述支撑部(111z)形成于在所述主支撑台(111a)的延伸方向上与所述基板(500)的两侧的末端的所述边缘(555)相对应的位置、以及在所述副支撑台(111b)的延伸方向上与所述基板(500)的两侧的末端的所述边缘(555)相对应的位置。
4.根据权利要求3所述的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置，其特征在于，
所述机械手(111)还包括多个辅助支撑台(111c)，该多个辅助支撑台(111c)与在所述主支撑台(111a)的延伸方向上配置于最外侧的至少一对所述副支撑台(111b)连接，与所述主支撑台(111a)的延伸方向平行，与所述基板(500)所形成的平面平行地延伸，
所述支撑部(111z)还形成于在所述辅助支撑台(111c)的延伸方向上与所述基板(500)的两侧的末端的所述边缘(555)对应的位置。
5.根据权利要求3所述的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置，其特征在于，
所述主支撑台(111a)以在所述主支撑台(111a)的延伸方向上从所述基板(500)的末端突出的方式形成。
6.根据权利要求1所述的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置，其特征在于，
所述真空吸附手段(120)包括：
中心吸附部(121)，配置于所述基板(500)的中心区域；以及
多个周围吸附部(122)，以包围所述中心吸附部(121)并且以所述基板(500)的中心点为基准相互对称的方式分布配置。
7.根据权利要求6所述的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置，其特征在于，
所述真空吸附手段(120)独立地控制所述中心吸附部(121)以及多个所述周围吸附部(122)各自的吸附压力。
8.根据权利要求7所述的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置，其特征在于，
在所述真空吸附手段(120)中，在所述中心吸附部(121)真空吸附时所产生的流量大于在所述周围吸附部(122)真空吸附时所产生的流量。
9.一种用于制造有机发光元件面板的基板移动方法，使用根据权利要求1所述的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置(100)，其特征在于，
作为将所述基板(500)装载于所述真空吸附手段(120)的方法，包括：
基板支撑步骤，所述机械手(111)与所述基板(500)的下表面的所述边缘(555)接触来支撑所述基板(500)；
基板移动步骤，通过所述移动手段(113)使所述基板(500)向所述真空吸附手段(120)的下部移动；
第一次基板上升步骤，通过所述升降手段(112)使所述基板(500)向所述真空吸附手段(120)一侧上升；
减振步骤，所述机械手(111)的末端与所述减振手段(130)接触来减少振动；
第二次基板上升步骤，当通过所述控制手段(140)判断为所述机械手(111)的末端的振动减少到已设定水准以下时，通过所述控制手段(140)同步驱动所述减振手段(130)及所述升降手段(112)，由此一边通过所述减振手段(130)减少振动，一边通过所述升降手段(112)使所述基板(500)以与所述真空吸附手段(120)接近的方式上升；以及
基板固定步骤，通过所述真空吸附手段(120)吸附固定所述基板(500)。
10.根据权利要求9所述的用于制造有机发光元件面板的基板移动方法，其特征在于，
所述真空吸附手段(120)包括：中心吸附部(121)，配置于所述基板(500)的中心区域；以及多个周围吸附部(122)，以包围所述中心吸附部(121)并且以所述基板(500)的中心点为基准相互对称的方式分布配置，
所述基板固定步骤包括：
中心固定步骤，在所述基板(500)与所述真空吸附手段(120)非接触的状态下，通过所述中心吸附部(121)以相对大的流量吸附固定所述基板(500)的中心；以及
周围固定步骤，在所述基板(500)的中心吸附在所述中心吸附部(121)的状态下，通过多个所述周围吸附部(122)以相对小的流量同时吸附固定所述基板(500)的多个周围。
11.一种用于制造有机发光元件面板的基板移动方法，使用根据权利要求所述的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置(100)，其特征在于，
作为将所述基板(500)从所述真空吸附手段(120)卸载的方法，包括：
手移动步骤，通过所述移动手段(113)使所述机械手(111)向所述真空吸附手段(120)的下部移动；
第一次手上升步骤，通过所述升降手段(112)使所述机械手(111)向所述真空吸附手段(120)一侧上升；
减振步骤，所述机械手(111)的末端与所述减振手段(130)接触来减少振动；
第二次手上升步骤，当通过所述控制手段(140)判断为所述机械手(111)的末端的振动减少到已设定水准以下时，通过所述控制手段(140)同步驱动所述减振手段(130)及所述升降手段(112)，由此一边通过所述减振手段(130)减少振动，一边通过所述升降手段(112)使所述机械手(111)以与所述真空吸附手段(120)接近的方式上升；
基板解除步骤，通过所述真空吸附手段(120)解除所述基板(500)的吸附固定；以及
基板支撑步骤，所述机械手(111)与所述基板(500)的下表面的所述边缘(555)接触来支撑所述基板(500)。
12.根据权利要求11所述的用于制造有机发光元件面板的基板移动方法，其特征在于，
所述真空吸附手段(120)包括：中心吸附部(121)，配置于所述基板(500)的中心区域；以及多个周围吸附部(122)，以包围所述中心吸附部(121)并且以所述基板(500)的中心点为基准相互对称的方式分布配置，
所述基板解除步骤包括：
周围解除步骤，在所述基板(500)与所述真空吸附手段(120)吸附固定的状态下，通过多个所述周围吸附部(122)以相对小的流量同时解除吸附所述基板(500)的多个周围；以及
中心解除步骤，在所述基板(500)的多个周围从所述中心吸附部(121)解除的状态下，通过所述中心吸附部(121)以相对大的流量解除吸附所述基板(500)的中心。
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