CN220975785U - 一种ldi曝光机的横向取料机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种LDI曝光机的横向取料机构，包括机架、横向驱动模组、纵向驱动模组、十字滑轨，所述十字滑轨的前部滑动连接有第一滑动组件、其后部滑动连接有第二滑动组件、其左部滑动连接有第三滑动组件，其右部滑动连接有第四滑动组件，所述第一滑动组件、第二滑动组件、第三滑动组件和第四滑动组件底部各装设有若干个用于吸取PCB基板的第一吸盘，所述第一滑动组件、第二滑动组件、第三滑动组件和第四滑动组件上各装设有若干个用于吸取Tray盘的第二吸盘组件；本实用新型实现了对PCB基板和Tray盘分开进行取料的功能，并且对不同的PCB基板尺寸进行取料时，其吸附尺寸调节效率高。

Description

一种LDI曝光机的横向取料机构

技术领域

本实用新型涉及LDI曝光机的取料机构的技术领域，特别涉及一种LDI曝光机的横向取料机构。

背景技术

LDI曝光机，为一种激光直接成像技术设备，用于对PCB基板进行激光刻蚀，使得PCB基板上形成微电子结构。

在LDI曝光机的上料过程中，一般采用半自动方式进行，即人工拿取PCB放置板到指定放置工位上，接着，通过横向取料吸盘机构将PCB放置板中的PCB基板移动至LDI曝光机的上料端，最后，由于PCB放置板中的PCB基板与用于放置PCB基板的Tray盘的尺寸不一样，所以，需要人工将PCB放置板中的Tray盘手动收走。

上述的横向取料吸盘机构例如专利申请号为：201811440840.4，专利名称为：具有暂存功能的放板机的中国发明专利申请中的吸盘组件及其吸取机构。

所以，综上所述，目前，上述的横向取料吸盘机构具有两个缺陷：

1.只有单一吸取PCB基板的功能，不能对PCB放置板中的PCB基板和Tray盘分开进行取料；

2.如同上述的具有暂存功能的放板机的吸盘组件及其吸取机构，一般横向取料吸盘机构通过各个吸盘的滑槽和螺母进行位置调节，其对于不同的PCB基板尺寸，其调节效率极低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中的上述缺陷，提供一种LDI曝光机的横向取料机构，其一，能够对PCB放置板中的PCB基板、Tray盘分开取料，其二，其通过第一滑动组件、第二滑动组件、第三滑动组件和第四滑动组件进行调节，避免了对单个吸盘进行调节，提高了对于不同的PCB基板尺寸的尺寸调节效率。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种LDI曝光机的横向取料机构，包括机架、装设在机架上的横向驱动模组、装设在横向驱动模组上的纵向驱动模组，还包括装设在纵向驱动模组底部的十字滑轨，所述十字滑轨的前部滑动连接有第一滑动组件、其后部滑动连接有第二滑动组件、其左部滑动连接有第三滑动组件，其右部滑动连接有第四滑动组件，所述第一滑动组件、第二滑动组件、第三滑动组件和第四滑动组件底部各装设有若干个用于吸取PCB放置板的PCB基板的第一吸盘，所述第一滑动组件、第二滑动组件、第三滑动组件和第四滑动组件上各装设有若干个用于吸取PCB放置板的Tray盘的第二吸盘组件，所述第二吸盘组件包括第二吸盘以及驱动第二吸盘升降的升降气缸。

作为优选的，还包括装设在横向驱动模组上的支撑臂，所述横向驱动模组驱动支撑臂横向往复移动，所述纵向驱动模组装设在支撑臂一端。

作为优选的，所述支撑臂上装设有横向定位传感器。

作为优选的，所述第一滑动组件和第二滑动组件上各设有接近传感器，或者，所述第三滑动组件和第四滑动组件上各设有接近传感器。

作为优选的，所述第一滑动组件、第二滑动组件、第三滑动组件和第四滑动组件各包括与十字滑轨滑动连接的滑动块、装设在滑动块底部的滑动条以及装设在滑动块一端的锁止把手。

作为优选的，所述第一滑动组件的第一吸盘装设在第一滑动组件的滑动条底部，所述第二滑动组件的第一吸盘装设在第二滑动组件的滑动条底部，所述第三滑动组件的第一吸盘装设在第三滑动组件的滑动条底部，所述第四滑动组件的第一吸盘装设在第四滑动组件的滑动条底部。

作为优选的，所述第一滑动组件的第二吸盘组件装设在第一滑动组件的滑动条上，所述第二滑动组件的第二吸盘组件装设在第二滑动组件的滑动条上，所述第三滑动组件的第二吸盘组件装设在第三滑动组件的滑动条上，所述第四滑动组件的第二吸盘组件装设在第四滑动组件的滑动条上。

作为优选的，所述第二吸盘组件还包括用于安装升降气缸的L形安装板。

作为优选的，所述横向驱动模组为无尘皮带滑台。

作为优选的，所述机架包括若干个工字支撑钢。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

1.本实用新型设置有十字滑轨和与之滑动连接的第一滑动组件、第二滑动组件、第三滑动组件和第四滑动组件，其四者滑动组件上各设有吸盘，当对需要对不同的PCB基板尺寸进行吸附时，只需要调节四者滑动组件即可，就不需要单独调节每个吸盘的位置，其调节效率较高。

2.本实用新型提供的第一吸盘可用于吸取PCB放置板，当需要对Tray盘进行取料时，升降气缸驱动第二吸盘下降，第二吸盘可用于吸取Tray盘，实现了对PCB放置板中的PCB基板和Tray盘分开进行取料的功能。

3.综上，本实用新型提供的一种LDI曝光机的横向取料机构，实现了对PCB放置板中的PCB基板和Tray盘分开进行取料的功能，并且对不同的PCB基板尺寸进行取料时，其吸附尺寸调节效率高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的实施例提供的一种LDI曝光机的横向取料机构的结构示意图；

图2是本实用新型的实施例提供的一种LDI曝光机的横向取料机构省略了机架、横向驱动模组和支撑臂的结构示意图；

图3是本实用新型的实施例提供的一种LDI曝光机的横向取料机构省略了机架、横向驱动模组、支撑臂和纵向驱动模组的俯视图；

图4是本实用新型的实施例提供的第一滑动组件、第二滑动组件、第三滑动组件或者第四滑动组件的结构示意图；

图5是现有技术的PCB放置板的结构示意图。

在图中包括有：

1、机架；11、第一吸盘；12、第二吸盘组件；120、L形安装板；121、升降气缸；122、第二吸盘；17、PCB放置板；18、PCB基板；19、Tray盘；2、横向驱动模组；3、支撑臂；4、纵向驱动模组；5、十字滑轨；51、接近传感器；55、滑动块；56、滑动条；57、锁止把手；6、第一滑动组件；7、第二滑动组件；8、第三滑动组件；9、第四滑动组件。

具体实施方式

下面将结合本实用新型本实施方式中的附图，对本实用新型本实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的本实施方式是本实用新型的一种实施方式，而不是全部的本实施方式。基于本实用新型中的本实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他本实施方式，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1至图5，本实用新型的实施例提供了一种LDI曝光机的横向取料机构，包括机架1、装设在机架1上的横向驱动模组2、装设在横向驱动模组2上的纵向驱动模组4，还包括装设在纵向驱动模组4底部的十字滑轨5，十字滑轨5的前部滑动连接有第一滑动组件6、其后部滑动连接有第二滑动组件7、其左部滑动连接有第三滑动组件8，其右部滑动连接有第四滑动组件9，第一滑动组件6、第二滑动组件7、第三滑动组件8和第四滑动组件9底部各装设有若干个用于吸取PCB放置板17的PCB基板18的第一吸盘11，第一滑动组件6、第二滑动组件7、第三滑动组件8和第四滑动组件9上各装设有若干个用于吸取PCB放置板17的Tray盘19的第二吸盘组件12，第二吸盘组件12包括第二吸盘122以及驱动第二吸盘122升降的升降气缸121。

该一种LDI曝光机的横向取料机构还包括装设在横向驱动模组2上的支撑臂3，横向驱动模组2驱动支撑臂3横向往复移动，纵向驱动模组4装设在支撑臂3一端。

支撑臂3上装设有横向定位传感器未在附图中出现。横向驱动模组2可以依靠编程控制位移，也可以依靠横向定位传感器控制位移。横向定位传感器可以为光电传感器或红外传感器。

第一滑动组件6和第二滑动组件7上各设有接近传感器51，或者，第三滑动组件8和第四滑动组件9上各设有接近传感器51。

第一滑动组件6、第二滑动组件7、第三滑动组件8和第四滑动组件9各包括与十字滑轨5滑动连接的滑动块55、装设在滑动块55底部的滑动条56以及装设在滑动块55一端的锁止把手57。通过锁止把手57拧松或拧紧，从而控制滑动块55与十字滑轨5的相对固定和相对滑动，其第一滑动组件6、第二滑动组件7、第三滑动组件8和第四滑动组件9的结构设置优点在于：当对需要对不同的PCB基板18尺寸进行吸附时，只需要调节四者滑动组件的锁止把手57即可，其调节方便，调节效率较高。

第一滑动组件6的第一吸盘11装设在第一滑动组件6的滑动条56底部，第二滑动组件7的第一吸盘11装设在第二滑动组件7的滑动条56底部，第三滑动组件8的第一吸盘11装设在第三滑动组件8的滑动条56底部，第四滑动组件9的第一吸盘11装设在第四滑动组件9的滑动条56底部。

第二吸盘组件12还包括用于安装和固定升降气缸121的L形板。

第一滑动组件6的第二吸盘组件12的L形板装设在第一滑动组件6的滑动条56上，第二滑动组件7的第二吸盘122组的L形板件装设在第二滑动组件7的滑动条56上，第三滑动组件8的第二吸盘组件12的L形板装设在第三滑动组件8的滑动条56上，第四滑动组件9的第二吸盘组件12的L形板装设在第四滑动组件9的滑动条56上。

纵向驱动模组4为滑台气缸，其优点为安装可靠，动作精度较高。

横向驱动模组2为无尘皮带滑台，其优点为负载高，防止异物损坏。

机架1包括若干个工字支撑钢，其优点为支撑强度高。

本实用新型的实施例提供了一种LDI曝光机的横向取料机构的动作原理为：

S1：横向驱动模组2将纵向驱动模组4移动至PCB放置板17的指定放置工位；

S2:纵向驱动模组4将下降至PCB放置板17的PCB基板18位置，该下降位置通过接近传感器51确认；

S3:第一吸盘11对PCB放置板17的PCB基板18进行吸附，横向驱动模组2将第一吸盘11驱动至LDI曝光机的上料端，将PCB基板18放入LDI曝光机的上料端；

S4:横向驱动模组2将纵向驱动模组4移动至PCB放置板17的指定放置工位,纵向驱动模组4将下降至PCB放置板17的PCB基板18位置S2已经记录了PCB基板18位置；

S5:升降气缸121驱动第二吸盘122下降至PCB放置板17的Tray盘19位置，第二吸盘122对PCB放置板17的Tray盘19进行吸附，横向驱动模组2将第二吸盘122驱动至回收Tray盘19工位，将Tray盘19放入回收Tray盘19工位。

以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种LDI曝光机的横向取料机构，包括机架(1)、装设在机架(1)上的横向驱动模组(2)、装设在横向驱动模组(2)上的纵向驱动模组(4)，其特征在于，还包括装设在纵向驱动模组(4)底部的十字滑轨(5)，所述十字滑轨(5)的前部滑动连接有第一滑动组件(6)、其后部滑动连接有第二滑动组件(7)、其左部滑动连接有第三滑动组件(8)，其右部滑动连接有第四滑动组件(9)，所述第一滑动组件(6)、第二滑动组件(7)、第三滑动组件(8)和第四滑动组件(9)底部各装设有若干个用于吸取PCB放置板(17)的PCB基板(18)的第一吸盘(11)，所述第一滑动组件(6)、第二滑动组件(7)、第三滑动组件(8)和第四滑动组件(9)上各装设有若干个用于吸取PCB放置板(17)的Tray盘(19)的第二吸盘组件(12)，所述第二吸盘组件(12)包括第二吸盘(122)以及驱动第二吸盘(122)升降的升降气缸(121)。

2.根据权利要求1所述的一种LDI曝光机的横向取料机构，其特征在于，还包括装设在横向驱动模组(2)上的支撑臂(3)，所述横向驱动模组(2)驱动支撑臂(3)横向往复移动，所述纵向驱动模组(4)装设在支撑臂(3)一端。

3.根据权利要求2所述的一种LDI曝光机的横向取料机构，其特征在于，所述支撑臂(3)上装设有横向定位传感器。

4.根据权利要求1所述的一种LDI曝光机的横向取料机构，其特征在于，所述第一滑动组件(6)和第二滑动组件(7)上各设有接近传感器(51)，或者，所述第三滑动组件(8)和第四滑动组件(9)上各设有接近传感器(51)。

5.根据权利要求1所述的一种LDI曝光机的横向取料机构，其特征在于，所述第一滑动组件(6)、第二滑动组件(7)、第三滑动组件(8)和第四滑动组件(9)各包括与十字滑轨(5)滑动连接的滑动块(55)、装设在滑动块(55)底部的滑动条(56)以及装设在滑动块(55)一端的锁止把手(57)。

6.根据权利要求5所述的一种LDI曝光机的横向取料机构，其特征在于，所述第一滑动组件(6)的第一吸盘(11)装设在第一滑动组件(6)的滑动条(56)底部，所述第二滑动组件(7)的第一吸盘(11)装设在第二滑动组件(7)的滑动条(56)底部，所述第三滑动组件(8)的第一吸盘(11)装设在第三滑动组件(8)的滑动条(56)底部，所述第四滑动组件(9)的第一吸盘(11)装设在第四滑动组件(9)的滑动条(56)底部。

7.根据权利要求5所述的一种LDI曝光机的横向取料机构，其特征在于，所述第一滑动组件(6)的第二吸盘组件(12)装设在第一滑动组件(6)的滑动条(56)上，所述第二滑动组件(7)的第二吸盘组件(12)装设在第二滑动组件(7)的滑动条(56)上，所述第三滑动组件(8)的第二吸盘组件(12)装设在第三滑动组件(8)的滑动条(56)上，所述第四滑动组件(9)的第二吸盘组件(12)装设在第四滑动组件(9)的滑动条(56)上。

8.根据权利要求1或7所述的一种LDI曝光机的横向取料机构，其特征在于，所述第二吸盘组件(12)还包括用于安装升降气缸(121)的L形安装板(120)。

9.根据权利要求1所述的一种LDI曝光机的横向取料机构，其特征在于，所述横向驱动模组(2)为无尘皮带滑台。

10.根据权利要求1所述的一种LDI曝光机的横向取料机构，其特征在于，所述机架(1)包括若干个工字支撑钢。