JP5210183B2 - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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Description
図1は本発明にかかる基板処理装置の第1実施形態たる印刷装置を示す斜視図である。同図においては、装置内部の構成を明示するために、本体カバーを取り外した状態が図示されている。また、図2はマスクを設置していない状態での印刷装置の概略構成を示す平面図であり、図3はマスクを設置した状態での印刷装置の概略構成を示す側面図である。さらに、図4は印刷装置の主要な電気的構成を示すブロック図である。この印刷装置では、基台10上で基板搬送機構20が装置の前後方向(Y軸方向)に移動自在となっている。また、基台10上には一対のメインコンベア251a、251bを有するコンベアユニット25が設けられ、搬入コンベア31、31が装置の右側面部に設けられる一方、搬出コンベア32、32が装置の左側面部に設けられている。
昇降駆動シリンダ103のピストンを上昇させるととも前後駆動シリンダ104のピストンを前進させることで、基板前側端部の搬送経路上でメインストッパー101の先端部がコンベア251aよりも上方に突出して基板1と係合して停止させることが可能となっている。また、センサー102はメインストッパー101に対しX軸方向の上流側近傍(同図の手前側)でコンベア251a、251b上の基板1を下方側より非接触で検出可能となっている。したがって、コンベア251a、251b上を基板1が搬送されてくると、まずセンサー102により基板1が検出され、その検出後もさらにコンベア251a、251bを駆動することで基板1の前左端部がメインストッパー101に係合して基板1の搬送が停止される。このように本実施形態では、メインストッパー101が本発明の「ストッパー」に相当している。また、基板検出センサー102が本発明の「第1検出手段」に相当している。なお、このように搬送中の基板1を検出するために、本実施形態ではいわゆる反射式の光センサーを用いているが、センサーの検出方法などに関しては任意である。
前後駆動シリンダ104のピストンを前進させたまま、昇降駆動シリンダ103のピストンのみを下降させると、同図に示すように、メインストッパー101は退避位置まで下降して先端部がコンベア251aよりも下方に下降する。したがって、上記のように基板1と係合して基板搬送を停止させていた場合には、メインストッパー101の下降によりコンベア251a、251bによる基板搬送が可能となる。なお、前後駆動シリンダ104のピストンを前進させたままであるため、「ストッパー上昇(図6(a))」の場合と同様に、メインストッパー101に対しX軸方向の上流側近傍でコンベア251a、251b上の基板1をセンサー102により検出可能となっている。
本実施形態では、コンベア251a、251bの間にバックアップユニット27が設けられており、バックアップユニット27が上昇して基板1をバックアップしている状態でメインストッパー101がX軸方向に移動すると、メインストッパー101がバックアップユニット27や処理中の基板1を干渉する。そこで本実施形態では、メインストッパー101をX軸方向に移動させる際には、同図(c)に示すように、昇降駆動シリンダ103のピストンを下降させるととも前後駆動シリンダ104のピストンを後退させることで、メインストッパー101およびセンサー102をコンベア251aの下方位置に位置させる。これにより上記干渉を確実に防止することができる。なお、バックアップユニット27が下降しており、メインストッパー101および上流側基板検出センサー102との干渉が問題とならないときには、メインストッパー101および上流側基板検出センサー102を同図(a)や同図(b)の状態で移動させてもよいことはいうまでもない。
図11は本発明にかかる基板処理装置の第2実施形態で実行される動作を模式的に示す図である。この第2実施形態が第1実施形態と大きく相違する点はバックアップユニット27の上昇開始タイミングをセンサー102、105の検出結果に基づき制御している点である。すなわち、第2実施形態では、同図(a)に示すように、センサー105の検出結果に基づき印刷処理を受けた搬出基板1aの搬送方向上流端部がセンサー105を通過することにより、搬出基板1aの全体がバックアップユニット27の動作領域から抜け出したことを検出している。また、基板固定位置Plに移動してきたメインストッパー101の上流側に位置するセンサー102の検出結果に基づき搬入基板1bが基板固定位置Plまで移動してきたことを検出している。そして、これら2つの検出を確認すると、演算処理部41は基板搬送機構制御部43にバックアップ指令を与えてバックアッププレート271を上方に移動させて上記バックアップ処理を実行するのに続いて、基板1bをクランプ片261、261に挟み込み固定する(図11(b))。その後に、上記第1実施形態と同様にして印刷処理を開始する(図11(c))。なお、その他の動作は基本的に第1実施形態と同一である。
ところで、印刷装置で実行される印刷処理は、基板1とマスク51とを密着させた状態でマスク51の開口部を通じて基板1a上面にペーストを印刷するものであり、印刷処理完了後にバックアッププレート271を下降させることでマスク51から基板1を引き離している。しかしながら、マスク51から基板1が良好に剥離しない場合がある。特に、ペーストは粘性を有しているため、基板1がマスク51に付着して残余することがある。そこで、第3実施形態では、センサー102を利用して印刷済の基板1がマスク51から離間する、いわゆる版離れしてコンベア251a、251bに戻されたことを確認している。以下、図12を参照しつつ本発明の第3実施形態について説明する。
図13は本発明にかかる基板処理装置の第4実施形態で実行される動作を模式的に示す図である。この第4実施形態が第3実施形態と大きく相違する点は、図13(a)に示すように、基板1aに対して印刷処理を施している間にメインストッパー101を基板固定位置Plと基板待機位置Pwとの中間位置Piに移動させて当該中間位置Piの近傍位置にセンサー102を配置して当該センサー102による版離れ検出を可能としている点である。すなわち、第4実施形態では、基板1aの印刷処理中に演算処理部41はメインストッパー101をセンサー102と一緒に中間位置Piに移動させ、センサー102は当該中間位置Piの搬送方向上流側で印刷済の基板1aがコンベア251a、251b上に戻されるのを待つ。そして、図13(b)に示すように版離れが良好に行われたことがセンサー102により検出されると、演算処理部41はメインストッパー101をセンサー102と一緒に中間位置Piから基板待機位置Pwに移動させるとともに、第1搬送速度Vfで基板1aの搬出と基板1bの搬入を開始する(図13(c))。
図14および図15は本発明にかかる基板処理装置の第5実施形態を模式的に示す図である。この第5実施形態が第1実施形態と大きく相違する点は、メインストッパー101と一緒に搬送方向Xに移動させられるセンサーが追加されている点と、当該追加センサーによる基板1aの検出結果に基づきメインストッパーの動作を制御している点である。以下においては、上記相違点を中心に説明し、同一構成については同一符号を付して構成説明を省略する。
1a…第1基板
1b…第2基板
21…可動板(支持テーブル)
25…コンベアユニット
27…バックアップユニット(昇降手段)
40…制御ユニット(制御手段)
41…演算処理部(制御手段)
51…マスク
60…半田供給ユニット(処理手段)
70…スキージユニット(処理手段)
83…マスクカメラ駆動ユニット(移動手段)
100…メインストッパーユニット
101…メインストッパー
102…上流側基板検出センサー(第1検出手段)
105…第1搬出側基板検出センサー(第2検出手段、第3検出手段)
107…下流側基板検出センサー(第4検出手段)
251a、251b…コンベア
Pi...中間位置
Pl...基板固定位置
Pw...基板待機位置
Vf…基板搬送速度(第1搬送速度)
X…搬送方向
Claims (11)
- 基板を搬送方向に搬送するコンベアと、
前記コンベアにより搬送される基板と係合して停止させるストッパーと、
前記ストッパーに対し前記搬送方向の上流側に配置されて前記コンベア上の基板を検出する第1検出手段と、
基板固定位置と前記基板固定位置で前記ストッパーにより停止された基板から前記搬送方向の上流側に離れた基板待機位置との間で、前記ストッパーを前記第1検出手段と一体的に移動させる移動手段と、
前記基板固定位置に対し前記搬送方向の下流側で前記基板固定位置から搬出されてくる基板を検出する第2検出手段と、
前記第1検出手段および前記第2検出手段による基板の検出結果に基づき前記コンベアおよび前記移動手段を制御する制御手段とを備え、
前記基板固定位置に停止された基板を第1基板とし、前記第1基板に続いて前記コンベアに搬入される基板を第2基板としたとき、
前記制御手段は、
前記移動手段が前記第1基板から前記基板待機位置への前記ストッパーの移動を開始してからの経過時間が、前記第2基板が前記基板待機位置に達するまでに要する時間未満であることを確認しつつ、前記ストッパーを前記基板待機位置に移動させることで、前記第1基板、前記ストッパーおよび前記第2基板を前記搬送方向に配列させ、
前記第2検出手段により前記第1基板が検出されると前記基板待機位置から前記基板固定位置に向けて前記ストッパーの移動を開始するとともに、
前記第2検出手段が前記第1基板を検出するより前では、前記第1検出手段により前記第2基板が検出されない間、前記コンベアにより前記第1基板および前記第2基板を第1搬送速度で搬送する一方、前記第1検出手段により前記第2基板が検出されると前記コンベアの基板搬送速度を前記第1搬送速度よりも遅い第2搬送速度に減速して、
前記第1基板の搬出と前記第2基板の搬入を同時に行うことを特徴とする基板処理装置。 - 前記基板固定位置に位置決めされた基板を前記コンベアと前記コンベアの上方の間で昇降移動させる昇降手段と、
前記昇降手段により前記コンベアから上方に移動された前記基板に対して所定の処理を施す処理手段と、
前記基板固定位置に対し前記搬送方向の下流側で前記基板固定位置から前記搬送方向に搬送される基板を検出する第3検出手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記処理手段により前記処理を受けた前記第1基板の全体が前記基板固定位置に対し前記搬送方向の下流側に搬出されたことを前記第3検出手段の検出結果に基づき検出し、しかも前記第1基板の搬出と同時に前記基板固定位置に向けて搬入されてきた前記第2基板が前記基板固定位置に位置したことを前記第1検出手段の検出結果に基づき検出したとき、前記昇降手段を制御して前記第2基板を前記コンベアから上昇移動させた後、前記所定の処理を実行する請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記基板固定位置に位置決めされた基板を前記コンベアと前記コンベアの上方の間で昇降移動させる昇降手段と、
前記昇降手段により前記コンベアから上方に移動された前記基板に対して所定の処理を施す処理手段とをさらに備え、
前記制御手段は、
前記基板固定位置に前記ストッパーを位置させることで前記基板固定位置に対し前記搬送方向の上流側に配置された前記第1検出手段によって、前記処理手段による前記処理を受けた前記第1基板が前記昇降手段により前記コンベアに戻されるのを検出した後に、前記ストッパーを前記基板待機位置に移動させる請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記基板固定位置に位置決めされた基板を前記コンベアと前記コンベアの上方の間で昇降移動させる昇降手段と、
前記昇降手段により前記コンベアから上方に移動された前記基板に対して所定の処理を施す処理手段とをさらに備え、
前記制御手段は、
前記処理手段による前記第1基板の処理中に前記ストッパーを前記基板固定位置と前記基板待機位置との中間位置に位置させることで前記中間位置に対し前記搬送方向の上流側に配置された前記第1検出手段によって、前記処理を受けた前記第1基板が前記昇降手段により前記コンベアに戻されるのを検出した後に、前記ストッパーを前記基板待機位置に移動させる請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記ストッパーに対し前記搬送方向の下流側に配置されて前記ストッパーと一体的に移動するとともに前記コンベア上の基板を検出する第4検出手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記配列関係を維持しながら前記第4検出手段による前記第1基板の検出結果に基づき前記移動手段による前記ストッパーの移動および移動停止を制御する請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記基板固定位置に位置決めされた基板を前記コンベアと前記コンベアの上方の間で昇降移動させる昇降手段と、
前記昇降手段により前記コンベアから上方に移動された前記基板に対して所定の処理を施す処理手段とをさらに備え、
前記制御手段は、
前記基板待機位置に前記ストッパーを位置させることで前記基板待機位置に対し前記搬送方向の下流側に配置された前記第4検出手段によって、前記処理手段による前記処理を受けた前記第1基板が前記昇降手段により前記コンベアに戻されるのを検出する請求項5に記載の基板処理装置。 - 前記搬送方向における基板の寸法が最大基板サイズ以下の基板を前記基板固定位置に搬送して処理する請求項1ないし6のいずれか一項に記載の基板処理装置であって、
前記移動手段は、前記最大基板サイズの基板に対応する前記基板固定位置と、前記基板固定位置から前記搬送方向の上流側に前記最大基板サイズより離れた位置との間で前記ストッパーを移動させる基板処理装置。 - 支持テーブルをさらに備え、
前記移動手段および前記コンベアは前記支持テーブル上に設けられている請求項1ないし7のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記搬送方向に移動自在に設けられた撮像手段をさらに備え、
前記移動手段は前記ストッパーと前記撮像手段を一体的に移動させる請求項1ないし8のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記基板固定位置に位置決めされた基板を前記コンベアと前記コンベアの上方の間で昇降移動させる昇降手段と、
前記ストッパーの移動範囲内での前記昇降手段の有無を検出する第5検出手段とをさらに備え、
前記制御手段は、前記第5検出手段により前記昇降手段が前記ストッパーの移動範囲から離れていることを確認したときに前記移動手段により前記ストッパーを移動させる請求項1に記載の基板処理装置。 - コンベアにより搬送方向に搬送される第1基板をストッパーにより基板固定位置で停止させた後に前記第1基板に所定の処理を施す第1工程と、
前記処理中または前記処理後に、前記ストッパーに対し前記搬送方向の上流側に配置されて前記ストッパーに向かう基板を検出する、第1検出手段を前記ストッパーと一体的に前記第1基板から前記搬送方向の上流側に離れた基板待機位置に移動させることで前記第1基板、前記ストッパーおよび前記第1基板に続く第2基板を前記搬送方向に配列する第2工程と、
前記処理後に、前記配列関係を維持しながら前記第1基板および前記第2基板を前記搬送方向に搬送するとともに前記ストッパーおよび前記第1検出手段を一体的に前記搬送方向に移動させる第3工程とを備え、
前記第2工程では、前記ストッパーが前記第1基板から前記基板待機位置への移動を開始してからの経過時間が、前記第2基板が前記基板待機位置に達するまでに要する時間未満であることを確認しつつ、前記ストッパーを前記基板待機位置に移動させることで、前記第1基板、前記ストッパーおよび前記第2基板を前記搬送方向に配列させ、
前記第3工程では、前記基板固定位置に対し前記搬送方向の下流側で前記基板固定位置から搬出されてくる基板を検出する第2検出手段が前記第1基板を検出すると前記基板待機位置から前記基板固定位置に向けて前記ストッパーの移動を開始するとともに、前記第2検出手段が前記第1基板を検出するより前では、前記第1検出手段により前記第2基板が検出されない間、前記コンベアにより前記第1基板および前記第2基板を第1搬送速度で搬送する一方、前記第1検出手段により前記第2基板が検出されると前記コンベアの基板搬送速度を前記第1搬送速度よりも遅い第2搬送速度に減速することを特徴とする基板処理方法。
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