JP5465617B2 - 基板検査装置 - Google Patents
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Description
11 検査部
12 搬送機構
13 撮像部
14 移動機構
16 制御部
100 基板
P1 第1位置
P2 第2位置
P3 第3位置
P4 第4位置
Claims (3)
- 基板が供給される第1位置から当該基板に対する検査が行われる第2位置に向けて当該基板を搬送可能に構成された搬送機構と、前記搬送機構を制御する第1制御部と、前記基板に対する前記検査を行う検査部と、撮像処理を実行して前記検査において用いる前記基板の画像を撮像する撮像部とを備えた基板検査装置であって、
前記第1位置と前記第2位置との間で前記撮像部を移動可能に構成された移動機構と、当該移動機構および前記撮像部を制御する第2制御部とを備え、
前記第2制御部は、前記移動機構を制御して前記撮像部を前記第1位置に移動させると共に、前記撮像部を制御して前記第1位置において前記撮像処理を実行させた後に、前記移動機構を制御して前記撮像部を前記第2位置に移動させると共に、前記撮像部を制御して前記第2位置において前記撮像処理を実行させ、
前記第1制御部は、前記第1位置における前記撮像処理によって撮像された画像に基づいて前記搬送機構を制御して前記第1位置から前記第2位置に向けての前記基板の搬送を開始させ、前記第2位置における前記撮像処理によって撮像された画像に基づいて前記搬送機構を制御して前記基板の搬送を停止させる基板検査装置。 - 前記搬送機構は、前記第2位置から前記検査が終了した前記基板の搬出が行われる第3位置まで当該基板を搬送可能に構成され、
前記移動機構は、前記第2位置と前記第3位置との間で前記撮像部を移動可能に構成され、
前記第2制御部は、前記基板に対する前記検査が終了したときに前記移動機構を制御して前記撮像部を前記第2位置から前記第3位置に移動させると共に、前記撮像部を制御して前記第3位置において前記撮像処理を実行させ、
前記第1制御部は、前記基板に対する前記検査が終了したときに前記搬送機構を制御して前記第2位置から前記第3位置に向けての前記基板の搬送を開始させ、前記第3位置における前記撮像処理によって撮像された画像に基づいて前記搬送機構を制御して前記基板の搬送を停止させる請求項1記載の基板検査装置。 - 前記第2制御部は、前記移動機構を制御して前記撮像部を前記第1位置から前記第2位置に移動させる途中において、当該第1位置と当該第2位置と間に位置する第4位置で前記撮像部の移動を停止させると共に、前記撮像部を制御して前記第4位置において前記撮像処理を実行させ、
前記第1制御部は、前記第4位置における前記撮像処理によって撮像された画像に基づいて前記搬送機構を制御して前記第1位置から前記第2位置に向けて搬送させている前記基板の搬送速度を減速させる請求項1または2記載の基板検査装置。
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