JP2013068510A - 基板検査装置および補正情報取得方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】移動制御情報Dpに従って移動機構を制御して、位置特定用マーク6mが設けられたテストヘッド保持部6を「第2の撮像処理」の実行位置に移動させると共に(ステップ56(56a))、カメラ5を制御して、テストヘッド保持部6を撮像して撮像データD2を出力する「第2の撮像処理」を実行させ(ステップ57)、かつ、撮像データD2に基づいて特定されるマーク6mの位置と「保持部マーク位置情報」に基づいて特定されるマーク6mの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を、「プロービング処理」において使用する移動制御情報Dpを補正するための補正情報Drとして取得して記憶部に記憶させる(ステップ58,59)。
【選択図】図2
Description
2 基板保持部
3 搬送機構
4,5 カメラ
6 テストヘッド保持部
6m,30m 位置特定用マーク
7 移動機構
11 処理部
12 記憶部
20 検査対象基板
30 補正情報取得用基板
40 テストヘッド
50,50A 補正情報取得処理
D1,D2 撮像データ
Da,Db 基準位置情報
Dc カメラ位置情報
Dp 移動制御情報
Dr 補正情報
P 検査用プローブ
Claims (6)
- 検査対象基板を保持する基板保持部と、検査用プローブが配設されたプローブユニットを保持するユニット保持部と、前記基板保持部に対して前記ユニット保持部を移動させて当該ユニット保持部によって保持されている前記プローブユニットの前記検査用プローブを当該基板保持部によって保持されている前記検査対象基板にプロービングさせるプロービング処理を実行する移動機構と、前記基板保持部における前記検査対象基板の保持位置を撮像して第1の画像データを出力する第1の撮像処理を実行する第1の撮像部と、前記プロービング処理の実行位置および前記第1の撮像処理の実行位置に前記基板保持部を搬送する搬送機構と、前記移動機構によって前記ユニット保持部を移動させる際の移動量および移動方向を特定可能な移動制御情報を記憶する記憶部と、前記搬送機構による前記基板保持部の搬送、前記第1の撮像部による前記第1の撮像処理、および前記移動機構による前記プロービング処理を制御する処理部とを備えた基板検査装置であって、
前記プロービング処理の実行位置において前記ユニット保持部を撮像して第2の画像データを出力する第2の撮像処理を実行する第2の撮像部を備え、
前記ユニット保持部には、保持部位置特定用マークが設けられ、
前記記憶部は、前記移動制御情報に従って前記第2の撮像処理の実行位置に移動させた状態の前記ユニット保持部における前記保持部位置特定用マークの前記第2の撮像部に対する基準の位置を特定可能な保持部マーク位置情報を記憶し、
前記処理部は、前記移動制御情報に従って前記移動機構を制御して前記第2の撮像処理の実行位置に前記ユニット保持部を移動させると共に、前記第2の撮像部を制御して前記第2の撮像処理を実行させ、かつ、前記第2の画像データに基づいて特定される前記保持部位置特定用マークの位置と前記保持部マーク位置情報に基づいて特定される当該保持部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を、前記プロービング処理において使用する前記移動制御情報を補正するための補正情報として取得して前記記憶部に記憶させる補正情報取得処理を実行する基板検査装置。 - 前記第2の撮像部は、前記基板保持部によって保持可能に当該基板保持部とは別体に構成されて撮像部位置特定用マークが設けられた補正情報取得用基板に取り付けられ、
前記記憶部は、前記補正情報取得用基板を保持した前記基板保持部を前記第1の撮像処理の実行位置に位置させた状態における前記撮像部位置特定用マークの前記第1の撮像部に対する基準の位置を特定可能な撮像部マーク位置情報を記憶し、
前記処理部は、前記補正情報取得処理において、前記搬送機構を制御して前記補正情報取得用基板を保持している前記基板保持部を前記第1の撮像処理の実行位置に搬送させると共に、前記第1の撮像部を制御して前記第1の撮像処理を実行させ、かつ、前記第1の画像データに基づいて特定される前記撮像部位置特定用マークの位置と前記撮像部マーク位置情報に基づいて特定される当該撮像部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を撮像部位置情報として取得して前記記憶部に記憶させ、前記移動機構を制御して前記第2の撮像処理の実行位置に前記ユニット保持部を移動させる際に、前記撮像部位置情報に基づいて前記移動制御情報を補正する請求項1記載の基板検査装置。 - 前記第2の撮像部は、前記基板保持部によって保持可能に当該基板保持部とは別体に構成されて撮像部位置特定用マークが設けられた補正情報取得用基板に取り付けられ、
前記記憶部は、前記補正情報取得用基板を保持した前記基板保持部を前記第1の撮像処理の実行位置に位置させた状態における前記撮像部位置特定用マークの前記第1の撮像部に対する基準の位置を特定可能な撮像部マーク位置情報を記憶し、
前記処理部は、前記補正情報取得処理において、前記搬送機構を制御して前記補正情報取得用基板を保持している前記基板保持部を前記第1の撮像処理の実行位置に搬送させると共に、前記第1の撮像部を制御して前記第1の撮像処理を実行させ、かつ、前記第1の画像データに基づいて特定される前記撮像部位置特定用マークの位置と前記撮像部マーク位置情報に基づいて特定される当該撮像部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を撮像部位置情報として取得して前記記憶部に記憶させ、前記第2の画像データに基づいて特定される前記保持部位置特定用マークの位置と前記保持部マーク位置情報に基づいて特定される当該保持部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を前記撮像部位置情報に基づいて補正して前記補正情報として取得する請求項1記載の基板検査装置。 - 検査対象基板を保持する基板保持部と、検査用プローブが配設されたプローブユニットを保持するユニット保持部と、前記基板保持部に対して前記ユニット保持部を移動させて当該ユニット保持部によって保持されている前記プローブユニットの前記検査用プローブを当該基板保持部によって保持されている前記検査対象基板にプロービングさせるプロービング処理を実行する移動機構と、前記基板保持部における前記検査対象基板の保持位置を撮像して第1の画像データを出力する第1の撮像処理を実行する第1の撮像部と、前記プロービング処理の実行位置および前記第1の撮像処理の実行位置に前記基板保持部を搬送する搬送機構とを備えた基板検査装置において、前記移動機構によって前記ユニット保持部を移動させる際の移動量および移動方向を特定可能な移動制御情報を補正するための補正情報を取得する補正情報取得方法であって、
前記移動制御情報に従って前記移動機構を制御して、保持部位置特定用マークが設けられた前記ユニット保持部を第2の撮像部によって撮像して第2の画像データを出力させる第2の撮像処理の実行位置に当該ユニット保持部を移動させると共に、前記第2の撮像部を制御して前記第2の撮像処理を実行させ、かつ、前記第2の画像データに基づいて特定される前記保持部位置特定用マークの位置と、前記移動制御情報に従って前記第2の撮像処理の実行位置に移動させた状態の前記ユニット保持部における前記保持部位置特定用マークの前記第2の撮像部に対する基準の位置を特定可能な保持部マーク位置情報に基づいて特定される当該保持部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を前記補正情報として取得する補正情報取得方法。 - 前記基板保持部によって保持可能に当該基板保持部とは別体に構成されて撮像部位置特定用マークが設けられた補正情報取得用基板に取り付けられた前記第2の撮像部を使用すると共に、前記搬送機構を制御して前記補正情報取得用基板を保持している前記基板保持部を前記第1の撮像処理の実行位置に搬送させると共に、前記第1の撮像部を制御して前記第1の撮像処理を実行させ、かつ、前記第1の画像データに基づいて特定される前記撮像部位置特定用マークの位置と、前記補正情報取得用基板を保持した前記基板保持部を前記第1の撮像処理の実行位置に位置させた状態における前記撮像部位置特定用マークの前記第1の撮像部に対する基準の位置を特定可能な撮像部マーク位置情報に基づいて特定される当該撮像部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を撮像部位置情報として取得して、前記移動機構を制御して前記第2の撮像処理の実行位置に前記ユニット保持部を移動させる際に、前記撮像部位置情報に基づいて前記移動制御情報を補正する請求項4記載の補正情報取得方法。
- 前記基板保持部によって保持可能に当該基板保持部とは別体に構成されて撮像部位置特定用マークが設けられた補正情報取得用基板に取り付けられた前記第2の撮像部を使用すると共に、前記搬送機構を制御して前記補正情報取得用基板を保持している前記基板保持部を前記第1の撮像処理の実行位置に搬送させると共に、前記第1の撮像部を制御して前記第1の撮像処理を実行させ、かつ、前記第1の画像データに基づいて特定される前記撮像部位置特定用マークの位置と、前記補正情報取得用基板を保持した前記基板保持部を前記第1の撮像処理の実行位置に位置させた状態における前記撮像部位置特定用マークの前記第1の撮像部に対する基準の位置を特定可能な撮像部マーク位置情報に基づいて特定される当該撮像部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を撮像部位置情報として取得して、前記第2の画像データに基づいて特定される前記保持部位置特定用マークの位置と前記保持部マーク位置情報に基づいて特定される当該保持部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を前記撮像部位置情報に基づいて補正して前記補正情報として取得する請求項4記載の補正情報取得方法。
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