JP5818524B2 - 検査装置および検査システム - Google Patents
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Description
1 基板検査装置
2 搬入機構
3 搬出機構
11,13 カメラ
12 検査部
14 クリーニング処理部
15 搬送機構
15a 基板保持部
18 制御部
20 検査処理
D1,D3 撮像データ
D2 検査結果データ
P1 搬入位置
P2 クリーニング処理位置
P3 位置情報取得処理位置
P4,P8 位置
P5 検査処理位置
P6 判定処理位置
P7 搬出位置
S1〜S5,Si,So 制御信号So
Claims (4)
- 検査処理位置に配設されて検査対象体についての検査処理を実行可能に構成された検査部と、前記検査対象体を保持部によって保持して、搬入位置、前記検査処理位置および搬出位置の各位置に搬送する搬送機構と、前記検査部による前記検査処理の実行および前記搬送機構による前記検査対象体の搬送を制御する制御部とを備えた検査装置であって、
判定処理位置に配設されて前記検査部による前記検査処理において不良と検査された前記検査対象体についての当該検査部による再検査処理の要否を判定する判定処理を実行可能に構成された判定部を備え、
前記判定部は、前記保持部によって保持されている前記検査対象体を撮像すると共に、その撮像データに基づき、不良箇所の有無、当該保持部に対する当該検査対象体の保持位置のずれの有無、および異物の付着の有無を少なくとも特定し、前記不良箇所が存在すると特定したときには、前記検査対象体が不良であるため当該検査対象体についての前記再検査処理を不要と判定し、前記保持位置のずれ、および前記異物の付着のいずれかが存在すると特定したときには、当該検査対象体についての前記再検査処理を要すると判定可能に構成され、
前記制御部は、前記検査部によって前記検査対象体が不良と検査されたときに、前記搬送機構を制御して当該不良と判定された検査対象体を前記判定処理位置に搬送させると共に、前記判定部を制御して当該検査対象体を対象とする前記判定処理を実行させ、当該検査対象体についての前記再検査処理を要すると判定されたときに、当該検査対象体を保持している前記保持部からの当該検査対象体の搬出を規制すると共に当該保持部に対する他の前記検査対象体の搬入を規制する搬出搬入規制処理を実行した後に、前記搬送機構を制御して当該再検査処理を要すると判定された検査対象体を前記検査処理位置に搬送させて、前記検査部を制御して当該検査対象体についての前記再検査処理を実行させる検査装置。 - クリーニング処理位置に配設されて前記検査対象体をクリーニング処理するクリーニング処理部を備え、
前記制御部は、前記検査対象体に付着した前記異物に起因して前記判定部によって当該検査対象体についての前記再検査処理を要すると判定されたときに、当該検査対象体についての前記再検査処理に先立って、前記搬送機構を制御して当該検査対象体を前記クリーニング処理位置に搬送させると共に、前記クリーニング処理部を制御して当該検査対象体についての前記クリーニング処理を実行させる請求項1記載の検査装置。 - 前記判定処理位置とは異なる位置情報取得処理位置に配設されて前記保持部によって保持されている前記検査対象体を撮像すると共に、その撮像データに基づき、当該保持部に対する当該検査対象体の位置ずれ量を取得する検査位置補正情報取得部を備え、
前記検査部は、前記検査対象体にプロービング可能なプローブを備えて当該プローブを介して測定した測定結果に基づいて当該検査対象体を検査可能に構成され、
前記制御部は、前記検査位置補正情報取得部によって取得された前記位置ずれ量に応じて前記検査部に前記プローブをプロービングさせる位置を補正させる請求項1または2記載の検査装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の検査装置と、前記搬入位置において前記搬送機構の前記保持部に前記検査対象体を搬入する搬入機構と、前記搬出位置において前記搬送機構の前記保持部から前記検査対象体を搬出する搬出機構とを備えて構成された検査システム。
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