JP5894459B2 - 基板検査装置および基板検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、プリント配線板やＩＣパッケージを含む被検査基板の検査ポイントにピンを接触させその電気的な特性を検査する基板検査装置および基板検査方法に係り、さらに詳しくは、今回の検査対象である被検査基板を検査した後の検査済み基板中に要再検査基板が含まれるとしてその全てを再度検査工程に乗せる際、特定された要再検査基板に対してのみ再検査する基板検査装置および基板検査方法に関する技術である。

基板検査装置は、多数本のピン（「プローブ」ともいう。）で構成されるピンブロックを備える基板検査部を備えており、所定位置に定置させた被検査基板の検査ポイントにピンブロック側を接触させその電気的な特性を測定して該被検査基板の良否を判定できるようにしたシステム構成のもとで用いられている。

このような構成からなる基板検査装置においては、被検査基板を基板検査部側へと自動的に搬送する必要があり、その際の基板搬送機構として例えば下記特許文献１の図１および図２に示されているように回転テーブルを備えているものもある。

特開２００２−２７７５０２号公報

すなわち、特許文献１には、円周方向に所定の間隔を置いて被検査基板のための搬入位置、位置ズレ検出位置、検査位置および搬出位置が設けられ、これらの各位置と対応させた各位置に基板保持手段を各別に配置してなる回転テーブルを備える基板検査装置が開示されている。

このため、特許文献１の開示技術によれば、基板保持機構に被検査基板を保持させた状態のもとで回転テーブルを搬入位置、位置ズレ検出位置、検査位置および搬出位置に合わせた所定の角度ずつ回転させることで、複数の被検査基板の配線パターンの良否判定を高精度で短時間に行うことができることになる。

しかも、この場合における各被検査基板とそれぞれの良否判定結果との間の関連付けは、基板検査装置を構成している中央処理手段（ＰＣ）が備えるプリンタで被検査基板別の良否判定情報を時系列で印字し、該良否判定情報と積み上げられている検査済み基板とを印字順に照合したり、中央処理御手段（ＰＣ）の表示画面に被検査基板別の良否判定情報を時系列でファイル出力し、該良否判定情報と対応する検査済み基板プリントとを各別に照合したり、被検査基板の良否判定結果中の判定不能の被検査基板に対してのみをＦＡＩＬ情報として直接マーキングするなどして行われている。

しかし、上記従来手法による場合には、搬出位置に検査の順に積み上げられている検査済み基板との関係でプリンタ出力やファイル出力に基づく出力順での関連付けを行ったり、人手を介して行われるマーキング処理との関係で関連付けが行われることになるので、入力ミスや見落としといったような人為的なミスの発生が不可避的に生じる不都合があった。

また、上記従来手法による場合には、検査済み基板を再検査するに際し、接触不良などを理由とする要再検査基板のみを検査対象としたい場合であっても、再検査する必要がない良品基板や完全不良品基板を含む検査済み基板の全てを再度検査しなければならなくなる煩雑さがあることから、検査効率をそれだけ低下させてしまうという不具合もあった。

本発明は、従来技術にみられた上記課題に鑑み、接触不良などを理由とする要再検査基板を含む検査済み基板の全てを再度検査工程に投入するなかで、特定された前記要再検査基板に対してのみ再検査を行うようにした基板検査装置および基板検査方法を提供することを目的とする。

本発明は、上記目的を達成すべくなされたものであり、そのうちの第１の発明（基板検査装置）は、自他識別標識が付された被検査基板の着脱が自在な基板着脱部をその搬送方向に沿わせた複数箇所に設けて制御された停止と走行とを繰り返す搬送手段を装置本体に備えるとともに、前記搬送手段が備える前記基板着脱部のそれぞれの停止位置との関係で定まる前記装置本体側には、現に位置する前記基板着脱部に対し前記被検査基板を供給する基板供給部と、現に位置する前記被検査基板の前記自他識別標識から基板固有情報を読み込む基板情報読込部と、現に位置する前記被検査基板を検査する基板検査部と、現に位置する前記基板着脱部から検査済み基板を搬出する基板搬出部とが少なくとも配置され、前記装置本体が備える中央処理手段は、前記基板検査部を経た前記検査済み基板中に再検査が必要な要再検査基板が混在するとして前記搬送手段に再度投入された際に、前記検査済み基板中から前記要再検査基板を前記自他識別標識に基づいて特定し、該特定基板に対してのみ前記基板検査部で再検査させるようにしたことを最も主要な特徴とする。

この場合、前記基板情報読込部には、現に位置する前記被検査基板の位置ズレの有無を検出する基板位置ズレ検出部をも兼備させるようにすることもできる。また、前記搬送手段は、前記基板検査部に至る前の適宜位置にも前記基板着脱部を備え、該基板着脱部が停止する前記装置本体側には、現に位置する前記被検査基板の位置ズレの有無を検出する基板位置ズレ検出部を配置するようにしていもよい。

さらに、前記搬送手段は、前記基板着脱部をその周縁部の複数箇所に設け、かつ、周方向で隣り合う前記基板着脱部の位置との関係で定まる所定の回転角での停止が可能となって回転自在に軸支された回転テーブルとするのが望ましい。この場合、前記基板供給部が配置されている前記回転テーブルの停止位置には、前記基板搬出部を併置させておくこともできる。さらに、前記搬送手段は、直線的な停止と走行とを繰り返す無端搬送機構または往復移動機構を適宜採用することもできる。

第２の発明（基板検査方法）は、請求項１ないし６のいずれかに記載の基板検査装置により前記被検査基板を検査することを最も主要な特徴とする。

本発明によれば、被検査基板には、基板情報読込部による基板固有情報の読み込みが可能な自他識別標識が付されているので、中央処理手段側に保持させてある基板固有情報との関係で検査済み基板中の再検査必要基板を特定することができるため、再検査工程に投入された検査済み基板のうちの要再検査基板に対してのみ基板検査部にて再検査を行うとともに、その際の検査結果データである自工程結果データを出力させることができる。

したがって、再検査工程に投入された検査済み基板は、そのうちの接触不良などを理由とする要再検査基板に対してのみ再検査が行われ、良品基板や完全不良品基板などの再検査不要基板に対しては再検査しないように処理することができるので、従来手法にみられた入力ミスや見落としといったような人為的なミスの発生を確実に防止することができるほか、再検査工程をそれだけ簡素化して検査効率を向上させることができる。

また、基板情報読込部に現に位置する前記被検査基板の位置ズレの有無を検出する基板位置ズレ検出部をも兼備させたり、装置本体側に被検査基板の位置ズレの有無を検出する基板位置ズレ検出部も別途具備させている場合には、基板検査部で常に正確な位置関係のもとで被検査基板を検査することができる。

また、搬送手段が回転自在に軸支された回転テーブルにより構成されている場合には、各着脱部にてそれぞれの位置との関係で定まる所定の処理を同時に行うことができるので、総合的な検査タクトを短くすることができるほか、回転テーブルの回転との関係で被検査基板のための搬入・搬出を比較的狭いスペースのもとでより効率的に行わせることもできる。

また、基板供給部が配置されている回転テーブルの停止位置に基板搬出部も併置されている場合には、被検査基板の搬入・搬出を同一位置にて行わせることができるので、回転テーブルの停止位置をそれだけ少なくすることができる。

また、搬送手段が直線的な停止と走行とを繰り返す無端搬送機構または往復移動機構により構成されている場合には、回転テーブルにより被検査基板を搬送する場合に比べ、より大型化した被検査基板であっても搬送することができるので、検査できる基板の大型化を実現することができる。

本発明装置の一例についての平面視模式図。 本発明装置の他例についての平面視模式図。 本発明装置の一例についての機能ブロック図。 本発明方法の処理工程例を示す説明図。

図１および図２は、本発明に係る基板検査装置の構成例を示す平面視模式図であり、そのうちの図１は第１の例を、図２は第２の例をそれぞれ示す。これら図１および図２によれば、基板検査装置は、自他識別標識８５が付された被検査基板８１の着脱が自在な基板着脱部１４をその搬送方向に沿わせた複数箇所に設けて制御された停止と走行とを繰り返す搬送手段１３を装置本体１１に備えて構成されている。

しかも、搬送手段１３が備える基板着脱部１４のそれぞれの停止位置との関係で定まる装置本体１２側には、現に位置する基板着脱部１４に対し被検査基板８１を供給する基板供給部３２と、現に位置する被検査基板８１の自他識別標識８５から基板固有情報を読み込む基板情報読込部４２と、現に位置する被検査基板８１の位置ズレの有無を順次検出する基板位置ズレ検出部５２と、現に位置する被検査基板８１を検査する基板検査部６２と、現に位置する基板着脱部１４から検査済み基板９１を搬出する基板搬出部７２とが配置されている。

また、装置本体１１は、ＰＣ（パーソナルコンピュータ）などからなる中央処理手段１２を備え、該中央処理手段１２を介することで基板検査部６２を経た検査済み基板８１中に再検査が必要な要再検査基板が混在するとして搬送手段１３に再度投入された際に、検査済み基板８１中から要再検査基板を自他識別標識８５に基づいて特定し、該特定基板に対してのみ基板検査部６２で再検査させるように指示することができるように構成されている。

また、本発明が適用される被検査基板８１については、図１に示す第１の例では４個のピース８４を１つのブロック８３として仕切られた計２個のブロック８３をシート８２上に備えるものが、図２に示す第２の例では４個のピース８４からなる１個のブロック８３をシート８２上に備えるものが、それぞれ示されている。しかし、ブロック８３の数やブロック８３内のピース８４の数については、特にこれらに限られるものではない。また、被検査基板８１に付される自他識別標識８５としては、図示例では二次元バーコードが示されているが、これに限られるものではなく、例えば一次元バーコードやＩＣタグを含む適宜の識別部材を用いることができる。

まず、図１に示す第１の例に基づいて本発明装置をより詳しく説明すれば、基板検査装置は、自他識別標識８５が付された被検査基板８１の着脱が自在な基板着脱部１４をその周縁部１５ａの４箇所に設け、かつ、並行処理が可能なようにそ周方向で隣り合う基板着脱部１４の位置との関係で定まる同じ回転角α、図示例ではそれぞれが９０度の回転角αでの停止が可能となって回転自在に軸支される搬送手段１３としての回転テーブル１５を装置本体１１に備えて構成されている。

この場合、搬送手段１３としての回転テーブル１５は、装置本体１１が備える図示しない駆動モータから回転力が付与されて例えば９０度ずつの回転角αを停止角度とする時計回り方向での回転運動を付与することができる回転軸１８にその中心位置が軸支された例えば平面視が方形を呈する本体部１６と、該本体部１６の各側縁１６ａ〜１６ｄ側からそれぞれの側縁長さ方向と直交する方向に延設された計４個の例えば平面視が長方形を呈する突出部１７とで形成されている。

しかも、各突出部１７には、自他識別標識８５が付された被検査基板８１のための適宜の着脱機構を備える基板着脱部１４が配設されている。この場合、基板着脱部１４は、被検査基板８１の検査ポイントが片面にのみあるものであれば、単に定置させた状態のもとで各被検査基板８１を保持できるようにして、検査ポイントが両面にあるものであれば、突出部１７に設けられている図示しない開口部に位置するように各被検査基板８１を定置させた状態のもとで保持できるようにして、それぞれが構成されることになる。

また、基板着脱部１４のそれぞれの位置との対応関係をとった回転テーブル１５回りの装置本体１１側には、各基板着脱部１４の別に被検査基板８１を順次供給する基板供給部３２と、各被検査基板８１の自他識別標識８５から基板固有情報を順次読み込む基板情報読込部４２と、基板着脱部１４に保持させた被検査基板８１の位置ズレの有無を順次検出する基板位置ズレ検出部５２と、被検査基板８１を順次検査する基板検査部６２と、基板着脱部１４から検査済み基板９１を順次搬出する基板搬出部７２とが配設されている。

これらのうち、基板供給部３２は、回転テーブル１５の外側の所定位置に未検査品として積み上げられている被検査基板８１のうちから、最上位に位置している被検査基板８１を回転停止中の回転テーブル１５の基板着脱部１４に適宜の自動搬送機構を介して供給できるようにして配置されている。

また、基板供給部３２の位置から時計方向に回転テーブル１５を９０度回転させた位置には、被検査基板８１に付されている自他識別標識８５が例えば図１に示す二次元バーコードや図示しない一次元バーコードであれば、基板情報読込部４２としてこれらのコードから基板固有情報を光学的に読み込むことができるバーコードリーダーが、自他識別標識８５が例えば図示しないＩＣタグであれば、基板情報読込部４２としてこれらのＩＣタグから基板固有情報を電気的に読み込むことができるＲＦＩＤ（ｒａｄｉｏ ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）リーダーが情報読取り手段４３として配置されることになる。なお、自他識別標識８５が二次元バーコードや一次元バーコードである場合には、図示しないＣＣＤカメラを基板情報読込部４２の情報読取り手段４３として用い、該カメラによりしてこれらのコードから基板固有情報を読み取るとともに、後述する基板位置ズレ検出部５２としての機能を発揮させるようにすることもできる。

この場合、情報読取り手段４３は、図３に示すように中央処理手段１２側と構内ネットワーク（ＬＡＮ）９５を介して接続されており、該情報読取り手段４３が読み取った被検査基板８１の基板固有情報を中央処理手段１２が備える読み書き自在なメモリ（図示せず）に保持させることで、個々の被検査基板８１の別を管理する「基板固定分コード管理」と、個々の被検査基板８１に対し「検査実行処理」と「検査不実行処理」とのいずれを行うかを管理する「ＴＥＳＴ／ＳＫＩＰ管理」とを行うことができるようになっている。

また、基板情報読込部４２の位置から時計方向に回転テーブル１５を９０度回転させた位置には、基板着脱部１４を介して保持されている被検査基板８１が回転テーブル１５の所定位置に位置しているか否かを適宜の位置決めマークを撮像して検出するためのＣＣＤカメラ（図示せず）を備える基板位置ズレ検出部５２が配置されている。

該基板位置ズレ検出部５２では、被検査基板８１が予め定められている所定位置に位置しているか否かがチェックされ、その情報は、中央処理手段１２が備える位置補正部１２ａから構内ネットワーク（ＬＡＮ）９５を介して装置本体１１が備える機械制御部１１ａへと送られ、必要な位置補正処理が行われるようになっている。

また、基板位置ズレ検出部５２の位置から時計方向に回転テーブル１５を９０度回転させた位置には、被検査基板８１の検査ポイントとの対向面方向をそれぞれの軸方向として検査治具に多数本のピンを植設してなるピンブロックとして用意される計測手段６３を備える基板検査部６２が配置されている。この場合、計測手段６３は、被検査基板８１が両面に検査ポイントを備えているものであれば、回転テーブル１５の表裏両面に各別に対面させた対となって、被検査基板８１が片面に検査ポイントを備えているものであれば回転テーブル１５の表面側に対面させて、それぞれが配置されることになる。

この場合、該基板検査部６２が備える計測手段６３は、図３に示すように構内ネットワーク（ＬＡＮ）９５を介して中央処理手段１２側と接続されており、該中央処理手段１２が備える読み書き自在なメモリ（図示せず）に対し、前工程と自工程との結果を統合して行う「総合判定」処理や、ある被検査基板８１が備える各ピース８４の判定を行うために必要な「ピースの結果の統合」処理を行った上で、今回の検査手法により得られた検査結果は「自工程結果データ」として、他の検査手法で得られた検査結果は「前工程結果データ」として各別に保持させておくことができるようになっている。なお、機械制御部１１ａは、Ｉ／Ｏインターフェース９６を介して計測手段６３とも接続されている。また、「自工程結果データ」は、何回か繰り返すことで基板検査部６２所得された検査データを検査回数別にファイル化して保持されることになる。さらに、「前工程結果データ」は、今回の検査手法とは異なる検査手法により取得された検査データをファイル化して保持されることになる。

基板検査部６２の位置から時計方向に回転テーブル１５を９０度回転させた位置、つまり、基板供給部３２が配置されている位置には、基板検査部６２での検査を終えた被検査基板８１を検査済み基板９１として基板着脱部１４から取り出すための基板搬出部７２が併置されている。この場合、基板搬出部７２は、検査済み基板９１を適宜の自動搬出機構を介して取り出すことができるようにして配置されている。

また、装置本体１１が備える中央処理手段１２は、検査済み基板９１中に基板検査部６２にて再検査を要すると判定された要再検査基板が混在するとして回転テーブル１５に再度投入された際に、検査済み基板９１についての「自工程結果データ」中から判定不能基板を自他識別標識８５から得られた基板固有情報に基づいて特定し、該特定基板に対してのみ再検査を受けさせることができるように基板検査部６２を制御している。なお、「自工程結果データ」については、例えばTEST1として、「前工程結果データ」を使って自工程で１回目の検査を行って「自工程結果データ」として出力するパターンや、TEST2として、１回目の「自工程結果データ」を使って自工程で２回目の検査を行って「自工程結果データ」として出力するパターンや、TEST3として、２回目の「自工程結果データ」を使って自工程で３回目の検査を行って「自工程結果データ」として出力するパターンなどがある。

一方、図２に示す第２の例に基づいて本発明装置をより詳しく説明すれば、基板検査装置は、自他識別標識８５が付された被検査基板８１の着脱が自在な基板着脱部１４を搬送方向での４箇所に所定間隔をおいて備えて制御された停止と走行とを繰り返す搬送手段１３を装置本体１１に備えて構成されている。

この例における搬送手段１１については、例えばベルトコンベアのような無端ベルトを備えた無端搬送機構２４により構成することができるほか、ボールネジを介して進退駆動させる往復移動機構（図示せず）により構成することもできる。

また、第２の例における基板着脱部１４については、被検査基板８１の検査ポイントが上面に位置するようにして、それぞれの被検査基板８１を定置させた状態のもとで保持できるようにして構成されている。

しかも、搬送手段１３が備える基板着脱部１４のそれぞれの停止位置との関係で定まる装置本体１１側には、図１に示す第１の例における搬送手段１３と同様に、現に位置する基板着脱部１４に対し被検査基板８１を供給する基板供給部３２と、現に位置する被検査基板８１の自他識別標識８５から基板固有情報を読み込む基板情報読込部４２と、現に位置する被検査基板８１の位置ズレの有無を順次検出する基板位置ズレ検出部５２と、現に位置する被検査基板８１を検査する基板検査部６２と、現に位置する基板着脱部１４から検査済み基板９１を搬出する基板搬出部７２とが配置されている。なお、図示しないＣＣＤカメラを基板情報読込部４２の情報読取り手段４３として用いることで、該カメラにより自他識別標識８５からコードを読み取るとともに、基板位置ズレ検出部としての機能をも発揮させるようにして、図２に示す基板位置ズレ検出部５２の設置を省略することもできる。

つまり、図２に示す第２の例においては、基板供給部３２が搬送方向での始端（上流）側に、基板搬出部７２が搬送方向での終端（下流）側に各別に配置され、検査済み基板９１については、人手や無端搬送ベルトなどにより形成される再検査用搬送路２５を介して基板供給部３２側に再度供給されることになる。なお、第２の例における基板供給部３２、基板情報読込部４２、基板位置ズレ検出部５２、基板検査部６２、および基板搬出部７２が担う機能的な役割は、第１の例と同じなので、それぞれに対応する引き出し符号を付してその説明を省略する。

次に、上記構成からなる基板検査装置を用いて行われる基板検査方法（第２の発明）について、図１の回転テーブル１５において「Ａ０」として表示されている突出部１７に備える基板着脱部１４に保持させた被測定基板８１を例に第１の発明の作用効果とともに説明すれば、自動検査処理は、図３および図４に示されているように、位置補正部１２ａを備える中央処理手段１２と、装置本体１１における機械制御部１１ａと、基板情報読込部４２における情報読取り手段４３、基板検査部５２における計測手段５３との間でデータの送受を行うことで実行される。

すなわち、まず、機械制御部１１ａのスタートボタンが押されると、該機械制御部１１ａからは、図３に示されているように、位置補正部１２ａと中央処理手段１２とに対し検査開始指令が与えられ、計測手段６３に対しては、Ｉ／Ｏインターフェース９６を介して検査実行指令である「ＲＵＮ」指令が与えられる。

検査開始指令を受けた中央処理手段１２は、メモリに保持させてある検査データ（例えばパターンネットワークの情報、該情報との関係での検査する電圧・電流・基準値、基板のピース８４およびブロック８３の構成、被検査基板８１の検査箇所の座標等）を計測手段６３に対し送るとともに、機械制御データとして位置補正部１２ａを経由して機械制御部１１ａへも送る。

機械制御データを受信した機械制御部１１ａは、基板固有情報である自他識別標識８５がバーコードであればバーコードトリガを発して「Ａ０」と表示された突出部１７備える基板着脱部１４に供給された被検査基板８１に付された自他識別標識８５の基板固有情報であるコードの読込要求を「Ａ０：バーコード読込要求」として位置補正部１２ａから中央処理手段１２側へと送る。

「Ａ０：バーコード読込要求」を受けた中央処理手段１２は、基板情報読込部４２における情報読取り手段４３に対しバーコードの読み込みを行わせ、該情報読取り手段４３であるバーコードリーダーによるバーコードの読み込みが完了した後、バーコード読み込みを完了したことを位置補正部１２ａを経由して機械制御部１１ａへと送信する。なお、中央処理手段１２は、このような手順を踏むことで「Ａ０」のほか、図１に「Ｄ０」，「Ｃ０」，「Ｂ０」として表示されている各突出部１７が備える基板着脱部１４に供給された被検査基板８１に付された自他識別標識８５の基板固有情報をもメモリに保持している。

次いで、位置補正部１２ａは、基板位置ズレ検出部５２が検出し、中央処理手段１２を経由して受け取った位置ズレ情報に基づいて基板検査部６２の検査ブロックである計測手段６３の位置を「Ａ０」に位置している被検査基板８１の実位置に位置合わせするために必要な位置補正情報を機械制御部１１ａに送る。

位置補正情報を受け取った機械制御部１１ａは、計測手段６３の位置を「Ａ０」に位置している被検査基板８１の実位置に位置合わせする機械制御を行った上で、計測手段６３に対し検査を開始するためのテスト開始指令を送る。

テスト開始指令を受けとった計測手段６３は、「Ａ０」に位置している被検査基板８１に対する検査が開始される旨を、「ピースデータ要求」指令とともに、中央処理手段１２に送信する。

「ピースデータ要求」指令を受け取った中央処理手段１２は、「Ａ０」に位置している被検査基板８１が備える全てのピース８４に関する全ピースデータとの関係で今回の検査が「検査実行処理」と「検査不実行処理」とのいずれを行うかの設定を「Ｔｅｓｔ／Ｓｋｉｐ設定」として行う。

このような「Ｔｅｓｔ／Ｓｋｉｐ設定」を行った中央処理手段１２は、「Ａ０」に位置している被検査基板８１の全ピースデータを計測手段６３に送り、全ピースデータを受け取った計測手段６３は、今回の検査が「検査実行処理」であれば被検査基板８１に対する検査を開始して全ピース８４に対し検査を実行する。

計測手段６３は、被検査基板８１の各ピース８４に対する検査を全て終了した後、検査終了信号を機械制御部１１ａに送り、検査終了信号を受けた機械制御部１１ａは、その作動を停止させる。

一方、「Ａ０」に位置している被検査基板８１に対する検査を終了した計測手段６３は、その検査終了信号を「総合判定」情報や「結果統合」情報とともに中央処理手段１２に送ってメモリに保持させる。

中央処理手段１２は、「Ａ０」に位置している被検査基板８１の今回の検査結果を「自工程結果データ」として例えばプリンタを介して印字出力したり、表示部にファイル出力したりする。

このため、本発明によれば、被検査基板８１には、基板情報読込部４２による基板固有情報の読み込みが可能な自他識別標識８５を付すことで、中央処理手段１２側に保持させてある基板固有情報との関係で検査済み基板９１中の要再検査基板を特定することができるため、再検査工程に投入された検査済み基板９１のうちから要再検査基板に対してのみ基板検査部６２にて再検査を行った結果データである「自工程結果データ」を出力させることができる。

したがって、再検査工程に投入された検査済み基板９１は、そのうちの接触不良などを理由とする要再検査基板に対してのみ再検査が行われ、良品基板や完全不良品基板などの再検査不要基板に対しては再検査しないように処理することができるので、従来手法にみられた入力ミスや見落としといったような人為的なミスの発生を確実に防止することができるほか、再検査工程をそれだけ簡素化して検査効率を向上させることができる。

以上は、本発明を図示例に基づいて説明したものであり、本発明の要旨はこれに限定されるものではない。例えば、回転テーブル１５は、図示例では基板供給部３２と基板搬出部７２とが供給／搬出として同一位置に配置されている例が示されているので、図示例のように９０度をそれぞれの回転角αとして計４箇所にて停止するようにして回転制御するのが望ましいが、基板供給部と基板搬出部とを各別に配置しておく場合の回転テーブル１５は、７２度をそれぞれの回転角αとして計５箇所にて停止するように回転制御されることになる。さらに、基板検査部６２側は、回転テーブル１５のいずれか一方の面と対面させて片面検査ができるように配置することもできる。

また、図２に示す搬送手段１３は、一列に配置した例が示されているが、所望により２列に配置した上で、一方の列が移動している間に他方の列を停止させて基板固有情報の読み込みや位置ズレの有無の検出や検査を実行させ、他方の列が移動している間に一方の列を停止させて基板固有情報の読み込みや位置ズレの有無の検出や検査を実行させるようにして、移動時間を無駄にしないようにすることもできる。

１１ 装置本体
１１ａ 機械制御部
１２ 中央処理手段
１２ａ 位置補正部
１３ 搬送手段
１４ 基板着脱部
１５ 回転テーブル
１５ａ 周縁部
１６ 本体部
１６ａ〜１６ｄ 側縁
１７ 突出部
１８ 回転軸
２４ 無端搬送機構
２５ 再検査用搬送路
３２ 基板供給部
４２ 基板情報読込部
４３ 情報読取り手段
５２ 基板位置ズレ検出部
６２ 基板検査部
６３ 計測手段
７２ 基板搬出部
８１ 被検査基板
８２ シート
８３ ブロック
８４ ピース
８５ 自他識別標識
９１ 検査済み基板
９５ 構内ネットワーク（ＬＡＮ）
９６ Ｉ／Ｏインターフェース

Claims (7)

1. 自他識別標識が付された被検査基板の着脱が自在な基板着脱部をその搬送方向に沿わせた複数箇所に設けて制御された停止と走行とを繰り返す搬送手段を装置本体に備えるとともに、
   前記搬送手段が備える前記基板着脱部のそれぞれの停止位置との関係で定まる前記装置本体側には、現に位置する前記基板着脱部に対し前記被検査基板を供給する基板供給部と、現に位置する前記被検査基板の前記自他識別標識から基板固有情報を読み込む基板情報読込部と、現に位置する前記被検査基板を検査する基板検査部と、現に位置する前記基板着脱部から検査済み基板を搬出する基板搬出部とが少なくとも配置され、
   前記装置本体が備える中央処理手段は、前記基板検査部を経た前記検査済み基板中に再検査が必要な要再検査基板が混在するとして前記搬送手段に再度投入された際に、前記検査済み基板中から前記要再検査基板を前記自他識別標識に基づいて特定し、該特定基板に対してのみ前記基板検査部で再検査させるようにしたことを特徴とする基板検査装置。
2. 前記基板情報読込部には、現に位置する前記被検査基板の位置ズレの有無を検出する基板位置ズレ検出部をも兼備させた請求項１に記載の基板検査装置。
3. 前記搬送手段は、前記基板検査部に至る前の適宜位置にも前記基板着脱部を備え、
   該基板着脱部が停止する前記装置本体側には、現に位置する前記被検査基板の位置ズレの有無を検出する基板位置ズレ検出部を配置した請求項１に記載の基板検査装置。
4. 前記搬送手段は、前記基板着脱部をその周縁部の複数箇所に設け、かつ、周方向で隣り合う前記基板着脱部の位置との関係で定まる一定の回転角での停止が可能となって回転自在に軸支された回転テーブルである請求項１ないし３のいずれかに記載の基板検査装置。
5. 前記基板供給部が配置されている前記回転テーブルの停止位置には、前記基板搬出部も併置させた請求項４に記載の基板検査装置。
6. 前記搬送手段は、直線的な停止と走行とを繰り返す無端搬送機構または往復移動機構である請求項１ないし３のいずれかに記載の基板検査装置。
7. 請求項１ないし６のいずれかに記載の基板検査装置により前記被検査基板を検査することを特徴とする基板検査方法。

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