JP2024051876A - 発光装置の検査装置、発光装置の検査方法、モジュールの製造方法および発光装置の検査プログラム - Google Patents

Abstract

【課題】発光装置の種別に応じて適切なテスト用治具を自動的に選択して検査を実施することが可能な発光装置の検査装置、発光装置の検査方法、モジュールの製造方法および発光装置の検査プログラムを提供する。【解決手段】検査装置１０は、情報取得部３１、種別特定部３３、治具選択部３５、搬送機構２０、コレットＣ、検査ユニット１６を備える。治具選択部３５は、情報取得部３１において取得された発光装置Ｓ１～Ｓ５の情報と種別特定部３３において特定された発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別とに基づいて対応する検査用の治具Ｚ１～Ｚ３を選択する。コレットＣは、搬送機構２０によって搬送され、発光装置Ｓ１～Ｓ５を供給位置において把持して治具Ｚ１～Ｚ３における所定の位置へセットする。検査ユニット１６は、検査位置において、治具選択部３５において選択された治具Ｚ１～Ｚ３にセットされた発光装置Ｓ１～Ｓ５の検査を実施する。【選択図】図３

Description

本発明は、発光装置の光学特性の検査を行う検査装置、発光装置の検査方法、モジュールの製造方法および発光装置の検査プログラムに関する。

近年、半導体の製造工程において、半導体ウエハに対して各種処理を施して複数の半導体装置を形成し、個々の半導体装置の電気的、光学的な特性の検査が実施されている。
例えば、特許文献１には、プローブ装置の省スペース化を実現するとともに、半導体ウエハをテストするテスタの稼働率の低下を防止することが可能な半導体検査装置について開示されている。この半導体検査装置では、検査工程において、作業者が固有ＩＤ番号のテスト用治具をテスト用治具供給部にセットすると同時に、その固有ＩＤ番号をＩＤ番号リーダーで読み込み、所望のテスト用治具がセットされたかを照合している。そして、テスト用治具のセットやセットされたテスト用治具の照合は、自動化してもよい旨が記載されている。

特開２０１０－２４５４３７号公報

本開示の課題は、発光装置の種別に応じて適切な治具を自動的に選択して検査を実施することが可能な発光装置の検査装置、発光装置の検査方法、モジュールの製造方法および発光装置の検査プログラムを提供することにある。

本開示に係る発光装置の検査装置は、所定の供給位置に供給された複数の発光装置を取り出して所定の検査位置において個々の検査を行う発光装置の検査装置であって、情報取得部と、種別特定部と、治具選択部と、搬送機構と、把持部材と、検査部と、を備えている。情報取得部は、発光装置の情報を取得する。種別特定部は、供給位置に供給された発光装置の種別を特定する。治具選択部は、情報取得部において取得された発光装置の情報と種別特定部において特定された発光装置の種別とに基づいて、発光装置の種別ごとに対応する検査用の治具を選択する。搬送機構は、供給位置から検査位置へと発光装置を搬送する。把持部材は、搬送機構によって搬送され、発光装置を供給位置において把持して治具における所定の位置へセットする。検査部は、検査位置において、治具選択部において選択された治具にセットされた発光装置の検査を実施する。

本開示に係る発光装置の検査装置によれば、発光装置の種別に応じて適切なテスト用治具を自動的に選択して検査を実施することができる。

本発明の一実施形態に係る発光装置の検査装置の全体構成を示す概念図。 （ａ）～（ｅ）は、図１の検査装置の検査対象となる複数種類の発光装置の構成を示す斜視図。 図１の検査装置の制御ブロック図。 図３に示す配置図作成部によって作成され、図１の検査装置に含まれる供給ユニットへセットされる種別ごとの発光装置のトレイ内の配置を示す配置図。 図１の検査装置に含まれる供給ユニットの構成を示す概略斜視図。 （ａ）は、図５の供給ユニットにセットされる発光装置が区分けされて載置されたトレイを示す概略斜視図。（ｂ）は、図５の供給ユニットにセットされる発光装置が区分けされたトレイを示す概略斜視図。 図５の供給ユニットのトレイの下方から振動を付与する加振ユニット（突き上げユニット）の構成を示す概略斜視図。 図７のトレイの下方から発光装置を突き上げる突き上げユニットの構成を示す概略斜視図。 図１の検査装置に含まれる姿勢補正ユニットの構成を示す概略斜視図。 （ａ）は、図９の姿勢補正ユニットに含まれる９０度回転機構に装着される回転治具を示す概略斜視図。（ｂ）は、（ａ）のＸ１部分の拡大図であって、回転治具の溝にセットされた発光装置を示す概略斜視図。 （ａ）は、図１０（ａ）の回転治具の補正前の状態を示す概略斜視図。（ｂ）は、（ａ）のＸ２部分の拡大図であって、回転治具の溝にセットされた発光装置を示す概略斜視図。 （ａ）は、図１１（ａ）の補正前の回転治具を９０度回転させて姿勢補正した状態を示す概略斜視図。（ｂ）は、（ａ）のＸ３部分の拡大図であって、回転治具の溝にセットされた姿勢補正後の発光装置を示す概略斜視図。 （ａ）は、図９の姿勢補正ユニットに含まれる１８０度回転機構に装着される回転治具によって姿勢補正前の発光装置の状態を示す概略斜視図。（ｂ）は、（ａ）の回転治具によって１８０度姿勢補正された後の発光装置の状態を示す概略斜視図。 図１の検査装置に含まれる搬送機構の第２搬送ユニットがコレット交換ユニット上において移動して選択されたコレットを装着する際の状態を示す概略斜視図。 図１４の第２搬送ユニットに装着されるコレットの全体構成を示す概略斜視図。 図１４の第２搬送ユニットにコレットが装着された状態を示す概略斜視図。 図１の検査装置に含まれる検査ユニットの構成を示す概略斜視図。 図１の検査装置に含まれている第３搬送ユニットが、治具交換ユニット上において移動して選択された治具を装着する際の状態を示す概略斜視図。 （ａ）～（ｃ）は、図１８の第３搬送ユニットに装着される複数種類の治具の構成を示す概略斜視図。 本実施形態の発光装置の検査方法およびモジュールの製造方法の処理の流れを示すフローチャート。

本発明の一実施形態に係る検査装置（発光装置の検査装置）１０について、図１～図２０を用いて説明すれば以下の通りである。
なお、以下の説明において、各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため誇張していることがある。さらに以下の説明において、同一の名称、符号については、原則として同一もしくは同質の部材を示しており、詳細説明を適宜省略する。また、以下の説明では必要に応じて特定の方向や位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」及びそれらの用語を含む別の用語）を用いるが、それらの用語の使用は、図面を参照した開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が制限されるものではない。

（１）検査装置１０全体の構成
本実施形態に係る検査装置１０は、形状、大きさ、電極の位置等が異なる様々な種類の発光装置を所定の供給位置から取り出して所定の検査位置において検査を行う。そして、検査装置１０は、供給ユニット（供給部）１１と、側面カメラ１２と、裏面カメラ１３ａ，１３ｂと、上面カメラ１３ｃと、姿勢補正ユニット（姿勢補正部）１４と、コレット交換ユニット１５と、検査ユニット（検査部）１６と、表示部１７と、治具交換ユニット１８と、排出ユニット（排出機構）１９と、搬送機構２０（第１搬送ユニット２０ａ、第２搬送ユニット２０ｂ、第３搬送ユニット２０ｃ）とを備えている。

ここで、本実施形態の検査装置１０の検査対象は、例えば、図２（ａ）～図２（ｅ）に示す、形状や大きさ、電極の位置等が異なる複数種類の発光装置Ｓ１～Ｓ５である。
発光装置Ｓ１は、図２（ａ）に示すように、略直方体形状の最も大きい平面の約半分に出射面Ｓ１ａを有している。
発光装置Ｓ２は、図２（ｂ）に示すように、略直方体形状の最も大きい略正方形の平面のほぼ全体に出射面Ｓ２ａを有している。
発光装置Ｓ３は、図２（ｃ）に示すように、比較的小型の発光装置であって、積層された上段の略直方体形状の平面に、出射面Ｓ３ａを有している。
発光装置Ｓ４は、図２（ｄ）に示すように、基板Ｓ４ｂ上に載置された略直方体形状の上面に４つの出射面Ｓ４ａを有している。
発光装置Ｓ５は、図２（ｅ）に示すように、略直方体形状の側面に２つの出射面Ｓ５ａを有している。

供給ユニット（供給部）１１は、検査装置１０の本体フレーム１０ａに取り付けられた構成のうち、発光装置Ｓ１～Ｓ５が搬送される検査工程における最も上流側（図中左側）に配置されている。供給ユニット１１は、第１搬送ユニット２０ａの移動範囲内に設置されている。供給ユニット１１は、多段構造（本実施形態では１５段のトレイを設置可能）の供給トレイ１１ａを有している。供給ユニット１１は、複数のトレイＴ１，Ｔ２（図６（ａ）および図６（ｂ）参照）のいずれか１つを供給トレイ１１ａから取り出して、所定の供給位置（供給ステージ１１ｂ）まで搬送する。トレイＴ１，Ｔ２が所定の供給位置へ搬送されると、取り出される発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別に応じて選択されたコレット（把持部材）Ｃ（図１５等参照）が装着された第１搬送ユニット２０ａが供給ステージ１１ｂ上へ移動し、トレイＴ１，Ｔ２上に載置された複数の発光装置Ｓ１～Ｓ５のうちの１つを把持して、下流側へ搬送する。なお、トレイＴ１，Ｔ２内には、発光装置Ｓ１～Ｓ５のうちの同一種類の発光装置が載置されているものとする。
なお、供給ユニット１１の詳細な構成については、後段にて詳述する。

側面カメラ１２は、本体フレーム１０ａにおける発光装置Ｓ１～Ｓ５の搬送経路の近傍に設置されている。側面カメラ１２は、第１搬送ユニット２０ａに装着されたコレットＣの先端に把持された発光装置Ｓ１～Ｓ５を含む画像を側方から撮影し、後述する制御部３０へ送信する。
裏面カメラ１３ａ，１３ｂは、本体フレーム１０ａにおける発光装置Ｓ１～Ｓ５の搬送経路の直下に設置されている。裏面カメラ１３ａは、側面カメラ１２と同様に、第１搬送ユニット２０ａによって搬送中の発光装置Ｓ１～Ｓ５を含む画像を下方から撮影し、後述する制御部３０へ送信する。裏面カメラ１３ｂ は、第２搬送ユニット２０ｂによって搬送中の発光装置Ｓ１～Ｓ５を含む画像を下方から撮影し後述する制御部３０へ送信する。その他、複数のカメラが搬送ユニット又は、搬送ユニットの近傍に取り付けられており、搬送中の発光装置Ｓ１～Ｓ５の位置や姿勢を撮影し、制御部３０へ送信している。これらのカメラの位置や個数は一例であって、これに限定されるものではない。
裏面カメラ１３ａは、側面カメラ１２の近傍に設置されている。

制御部３０では、第１搬送ユニット２０ａによって搬送中の発光装置Ｓ１～Ｓ５の姿勢が適正であるか否かを、予め保存されている発光装置Ｓ１～Ｓ５のデータに基づいて、側面カメラ１２および裏面カメラ１３ａによって撮影された画像を用いて、画像処理によって大きさや出射面の形状等を参照することで判定することができる。
裏面カメラ１３ｂは、姿勢補正ユニット１４よりも下流側に配置されており、検査ユニット１６へ搬入直前の発光装置Ｓ１～Ｓ５の姿勢が適正であるか否かを最終確認するための画像を撮影して、制御部３０へ送信する。制御部３０では、裏面カメラ１３ｂから受信した画像を画像処理して、発光装置Ｓ１～Ｓ５の姿勢が適正であるか否かを判定する。
上面カメラ１３ｃは、第２搬送ユニット２０ｂの近傍に取り付けられている。上面カメラ１３ｃは、複数のコレットＣを保持しているコレット交換ユニット１５の情報へ移動した際に、コレットＣの円板部Ｃ３の上面に付されたデータマトリックスＤＭを含む画像を撮影し、制御部３０へ送信する。
これにより、第２搬送ユニット２０ｂは、搬送される発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別に応じて適切なコレットＣをコレット交換ユニット１５の中から取り出して装着することができる。

姿勢補正ユニット（姿勢補正部）１４は、側面カメラ１２および裏面カメラ１３ａの下流側であって、第２搬送ユニット２０ｂの移動範囲内に配置されている。姿勢補正ユニット１４は、側面カメラ１２および裏面カメラ１３ａによって撮影された画像を用いた画像処理によって、搬送中の発光装置Ｓ１～Ｓ５の姿勢が検査ユニット１６へそのまま搬送するには不適切であると判定された場合に、その発光装置Ｓ１～Ｓ５の姿勢を９０度あるいは１８０度回転等させ、適切な姿勢となるように回転等させる。
ここで、発光装置Ｓ１～Ｓ５の姿勢が不適切か否かは、いくつかの不適切な姿勢の発光装置を含む画像を記憶しておき、それぞれの不適切姿勢画像に該当する場合にはどの方向に回転させるかをプログラムしておいてもよい。
なお、姿勢補正ユニット１４の詳細な構成については、後段にて詳述する。

コレット交換ユニット１５は、姿勢補正ユニット１４の下流側に配置されていてもよいが、搬送ユニット２０ａ，２０ｂ，２０ｃの移動範囲であれば特に限定されない。コレット交換ユニット１５は、発光装置Ｓ１～Ｓ５を１つ把持するためのコレットＣ（図１５等参照）が複数配置されている。本実施形態では、コレット交換ユニット１５には、発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別に応じて用意された９種類のコレットＣが３つずつ、計２７個配置されている。
コレットＣは、第１搬送ユニット２０ａ、第２搬送ユニット２０ｂおよび第３搬送ユニット２０ｃによってそれぞれ保持され、その下端において発光装置Ｓ１～Ｓ５を１つずつ把持する。
なお、コレットＣの詳細な構成については、後段にて詳述する。

検査ユニット（検査部）１６は、コレット交換ユニット１５の下流側であって、第２搬送ユニット２０ｂおよび第３搬送ユニット２０ｃの移動範囲が重複する位置に配置されている。これにより、検査ユニット１６には、第２搬送ユニット２０ｂによって検査対象となる発光装置Ｓ１～Ｓ５が上流側から搬送されてきて、検査が完了した発光装置Ｓ１～Ｓ５が第３搬送ユニット２０ｃによって下流側へと搬送される。
また、検査ユニット１６は、第２搬送ユニット２０ｂに保持されたコレットＣの下端に把持されて搬送されてきた発光装置Ｓ１～Ｓ５を、発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別ごとに用意された治具Ｚ（図１８参照）上にセットした状態で通電し、１つずつ点灯テストを実施する。

本実施形態では、検査ユニット１６において、発光装置Ｓ１～Ｓ５に通電させて光を出射した状態で、後述する積分球１６ａと光度計１６ｂとを用いて、積分球測定と光度測定とを実施する。
なお、検査ユニット１６の詳細な構成については、後段にて詳述する。
表示部１７は、検査装置１０の本体フレーム１０ａにおける正面側であって、検査ユニット１６の上方に設けられている。表示部１７には、各発光装置Ｓ１～Ｓ５の検査の結果、供給ユニット１１へ供給される発光装置Ｓ１～Ｓ５の配置図面等が表示される。
治具交換ユニット１８は、検査ユニット１６の下流側における近傍に配置されており、発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別ごとに用意された複数種類の治具Ｚを保持している。治具交換ユニット１８は、発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別に応じて適切な治具Ｚを取り出して、検査ユニット１６へ搬送する治具交換ハンド１８ａを有している。
なお、治具交換ユニット１８における治具Ｚの交換については、後段にて詳述する。

排出ユニット（排出機構）１９は、本体フレーム１０ａにおける最下流側であって、第３搬送ユニット２０ｃの移動範囲内に設置されている。排出ユニット１９は、排出ステージ１９ａと、排出トレイ１９ｂとを有している。
排出ステージ１９ａは、検査ユニット１６において検査が完了した発光装置Ｓ１～Ｓ５を第３搬送ユニット２０ｃから１つずつ受け取って、排出トレイ１９ｂへと排出する。
搬送機構２０は、所定の供給位置（供給ステージ１１ｂ）から所定の検査位置（検査ユニット１６）へと発光装置Ｓ１～Ｓ５を搬送するとともに、検査を終えた発光装置Ｓ１～Ｓ５を所定の排出位置（排出ステージ１９ａ）へと搬送する。そして、搬送機構２０は、第１搬送ユニット２０ａ、第２搬送ユニット２０ｂおよび第３搬送ユニット２０ｃを有している。

第１搬送ユニット２０ａは、３つの搬送ユニットの中で最も上流側に配置されており、略水平方向に沿って配置されたレール１０ｂに沿って移動する。第１搬送ユニット２０ａは、コレットＣを保持した状態で、コレットＣの下端に発光装置Ｓ１～Ｓ５を把持し、供給ユニット１１から姿勢補正ユニット１４まで発光装置Ｓ１～Ｓ５を搬送する。
第２搬送ユニット２０ｂは、第１搬送ユニット２０ａと第３搬送ユニット２０ｃとに挟まれるように配置されており、略水平方向に沿って配置されたレール１０ｃに沿って移動する。第２搬送ユニット２０ｂは、第１搬送ユニット２０ａと同様に、コレットＣを保持した状態で、コレットＣの下端に発光装置Ｓ１～Ｓ５を把持し、姿勢補正ユニット１４から検査ユニット１６まで発光装置Ｓ１～Ｓ５を搬送する。
第３搬送ユニット２０ｃは、３つの搬送ユニットの中で最も下流側に配置されており、略水平方向に沿って配置されたレール１０ｄに沿って移動する。第３搬送ユニット２０ｃは、第１搬送ユニット２０ａおよび第２搬送ユニット２０ｂと同様に、コレットＣを保持した状態で、コレットＣの下端に発光装置Ｓ１～Ｓ５を把持し、検査ユニット１６から排出ユニット１９まで発光装置Ｓ１～Ｓ５を搬送する。

また、本実施形態の検査装置１０は、図３に示すように、制御部３０を中心として、上述した側面カメラ１２、裏面カメラ１３ａ，１３ｂ、上面カメラ１３ｃ、搬送機構２０、姿勢補正ユニット１４、コレット交換ユニット１５、検査ユニット１６、表示部１７、治具交換ユニット１８（治具交換ハンド１８ａ）および排出ユニット１９とともに、入力受付部２１と、コードリーダ１８ｂと、治具センサ１８ｃと、記憶部２３と、加振ユニット１１ｃと、突き上げユニット１１ｄと、を備えている。
制御部３０は、検査装置１０の各構成を制御するために設けられており、図３に示すように、入力受付部２１、側面カメラ１２、裏面カメラ１３ａ，１３ｂ、上面カメラ１３ｃ、コードリーダ１８ｂ、治具センサ１８ｃ、記憶部２３、搬送機構２０、加振ユニット１１ｃ、突き上げユニット１１ｄ、姿勢補正ユニット１４、コレット交換ユニット１５、検査ユニット１６、表示部１７、治具交換ハンド１８ａおよび排出ユニット１９と接続されている。

入力受付部２１は、例えば、マウス、キーボード、タッチパネル等の入力手段を用いて各種情報が入力されるとともに、発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別ごとのデータ、検査指示の入力情報（依頼ＩＤ（Identification））等が入力される。入力受付部２１は、入力された発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別ごとのデータ、検査指示の入力情報（依頼ＩＤ）等の情報を制御部３０へ送信する。
治具交換ハンド１８ａは、治具交換ユニット１８に設けられたロボットハンドであって、入力受付部２１を介して入力された発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別の情報に基づいて、発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別に応じた治具Ｚを選択して保持するように、制御部３０によって制御される。また、治具交換ハンド１８ａは、治具Ｚの上面に検査対象となる発光装置Ｓ１～Ｓ５を１つ受け取った後、治具Ｚを検査ユニット１６へ搬送するように、制御部３０によって制御される。

コードリーダ１８ｂは、治具交換ユニット１８に設けられており、目前に配置された治具Ｚの外周面に付されたデータマトリックス（図１９参照）を読み込んで、その種別情報を制御部３０へ送信する。
治具センサ１８ｃは、治具交換ユニット１８におけるコードリーダ１８ｂの近傍に設置されており、目の前に治具Ｚが有るか否かを検出し、制御部３０へ送信する。
これにより、制御部３０は、コードリーダ１８ｂにおける読取り結果および治具センサ１８ｃにおける検出結果に基づいて、治具交換ユニット１８の保持された複数種類の治具Ｚから、検査対象となる発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別に応じた適切な治具Ｚを選択して取り出すことができる。
記憶部２３は、図３に示すように、入力受付部２１を介して入力された複数種類の発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別情報に関する種別データ（形状、大きさ、重量、電極位置等）、光学特性検査結果のデータ、検査装置１０を自動運転させるための各種プログラム等を保存している。

供給ユニット１１は、発光装置Ｓ１～Ｓ５が縦横に整列されて配置されているトレイＴ１や、発光装置Ｓ１～Ｓ５毎に区分け部に分かれているトレイＴ２を使用することができる。
トレイＴ１においては、発光装置Ｓ１～Ｓ５が、粘着膜Ｔ１ａに貼り付けられており、下方から発光装置を突き上げ、発光装置を取り出す。突き上げユニット１１ｄは、供給ユニット１１に設けられている。突き上げユニット１１ｄは、供給トレイ１１ａから取り出されたトレイＴ１の粘着膜Ｔ１ａ上に載置された発光装置Ｓ１～Ｓ５の接着面積を小さくするために、粘着膜Ｔ１ａに対して下方から針部１１ｄｃ（図８参照）を突き上げるように、制御部３０によって制御される。粘着膜Ｔ１ａに貼り付けられた発光装置は、トレイ毎にＩＤが付与されており、発光装置の情報を管理することができる。

一方、トレイＴ２においては、複数の発光装置Ｓ１～Ｓ５がくっついて重なっていることもあるため、区分け部Ｔ２ａに振動を加えて、発光装置を引き離している。
発光装置Ｓ１～Ｓ５を引き離すための加振ユニット１１ｃは、供給ユニット１１に設けられており、トレイＴ２に対して下方から振動を付与するように、制御部３０によって制御される。
姿勢補正ユニット１４は、側面カメラ１２および裏面カメラ１３ａにおいて取得された発光装置Ｓ１～Ｓ５を含む画像に基づいて制御部３０（姿勢判定部３２）によって姿勢が適正ではないと判定された発光装置Ｓ１～Ｓ５の姿勢を、適正な向きに補正するように、制御部３０によって制御される。
コレット交換ユニット１５は、上面カメラ１３ｃによって取得されたコレットＣの円板部Ｃ３の上面のデータマトリックスＤＭを含む画像に基づいて、搬送される発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別に応じた適切なコレットＣを選択して第２搬送ユニット２０ｂによって保持されるように、制御部３０によって制御される。

検査ユニット１６は、検査対象となる発光装置Ｓ１～Ｓ５が治具Ｚの上面にセットされた状態で搬送されると、予め設定された検査条件に従って、積分球測定と光度測定とを実施するように制御部３０によって制御される。
表示部１７は、例えば、上述した検査ユニット１６における発光装置Ｓ１～Ｓ５の検査結果、後述する供給ユニット１１に供給すべき発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別ごとの配置図、各種設定画面等を表示するように、制御部３０によって制御される。
排出ユニット１９は、検査ユニット１６における検査が完了した発光装置Ｓ１～Ｓ５が搬送されてくると、排出トレイ１９ｂへ排出するように、制御部３０によって制御される。
制御部３０は、記憶部２３に保存された各種プログラムをＣＰＵが読み込んで、図３に示すように、情報取得部３１、姿勢判定部３２、種別特定部３３、コレット選択部（把持部材選択部）３４、治具選択部３５、検査制御部３６、排出制御部３７、配置図作成部３８および表示制御部３９を機能ブロックとして内部に生成する。

情報取得部３１は、入力受付部２１を介して入力された発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別ごとのデータ、検査指示（依頼ＩＤ）等の情報を取得する。
姿勢判定部３２は、側面カメラ１２および裏面カメラ１３ａ，１３ｂによって撮影された画像を用いて、搬送される発光装置Ｓ１～Ｓ５の姿勢が検査ユニット１６にそのまま搬入しても問題ない適正な姿勢であるか否かを判定する。
種別特定部３３は、情報取得部３１において取得された発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別ごとのデータ（形状、大きさ等）と記憶部２３に保存された種別データ（形状、大きさ等）とに基づいて、搬送される発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別を特定する。なお、姿勢判定部３２による判定と種別特定部３３における特定とは、同時に実施される。
コレット選択部３４は、種別特定部３３において特定された発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別に対応するコレットＣを、コレット交換ユニット１５の中から選択して取り出すように、第１～第３搬送ユニット２０ａ～２０ｃを制御する。

これにより、第１～第３搬送ユニット２０ａ～２０ｃは、検査ユニット１６へ搬送しようとしている発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別に対応する適切なコレットＣを選択して、発光装置Ｓ１～Ｓ５を搬送することができる。
治具選択部３５は、種別特定部３３において特定された発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別に対応する治具Ｚを、治具交換ユニット１８から選択して取り出すように、治具交換ハンド１８ａを制御する。
これにより、治具交換ハンド１８ａは、検査対象であって搬送されてくる発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別に対応する適切な治具Ｚを選択して、検査ユニット１６へ搬送することができる。
検査制御部３６は、入力受付部２１を介して入力された検査指示（依頼ＩＤ）に基づいて、検査ユニット１６において、積分球測定と光度測定とを実施するように制御する。

排出制御部３７は、検査ユニット１６における検査が完了した発光装置Ｓ１～Ｓ５について、排出ユニット１９において排出ステージ１９ａから排出トレイ１９ｂへ排出するように制御する。
配置図作成部３８は、入力受付部２１を介して検査指示（依頼ＩＤ）が入力されると、依頼ＩＤの情報に紐づけられた測定情報を取得して、供給ユニット１１に供給されるべき発光装置Ｓ１～Ｓ５の配置図を作成する。
なお、依頼ＩＤの情報に紐づけられた測定情報は、例えば、サンプル情報（品種、色、ロット数、測定数量等）、回路情報（駆動電流、回路数、同時点灯等）、係数情報（係数名、校正ファイル名、補正値等）を含む。
配置図は、例えば、図４に示すように、供給ユニット１１の供給トレイ１１ａの１５段目にセットされる９分割されたトレイＴ２の、それぞれの区画に対して投入される発光装置Ｓ１～Ｓ５の種類とロット番号が示されている。

本実施形態では、このような配置図が、供給ユニット１１の供給トレイ１１ａの１段目～１５段目についてそれぞれ作成される。
これにより、検査装置１０の使用者は、配置図作成部３８によって作成された配置図を確認することで、供給トレイ１１ａのどの段に、どのトレイＴ１，Ｔ２を挿入し、トレイＴ１，Ｔ２のどの場所へ、どの発光装置Ｓ１～Ｓ５を供給するのかを容易に認識することができる。
表示制御部３９は、各発光装置Ｓ１～Ｓ５の検査の結果、供給ユニット１１へ供給される発光装置Ｓ１～Ｓ５の配置図面等が表示されるように、表示部１７を制御する。

（２－１）供給ユニット１１
供給ユニット１１は、供給トレイ１１ａと、供給ステージ１１ｂと、加振ユニット１１ｃと、突き上げユニット１１ｄと、を有している。
供給トレイ１１ａは、図５に示すように、検査対象となる複数の発光装置Ｓ１～Ｓ５が種別ごとに載置される複数のトレイＴ１，Ｔ２を上下方向に多段化されたトレイ保持部１１ａａにおいて保持している。なお、本実施形態では、供給ユニット１１の供給トレイ１１ａは、上下方向において、１５段のトレイＴ１，Ｔ２を保持することが可能なトレイ保持部１１ａａを有している。
トレイＴ１は、図６（ａ）に示すように、検査対象となる複数種類の発光装置Ｓ１～Ｓ５のいずれか１種類が載置される粘着膜Ｔ１ａと、粘着膜Ｔ１ａの外周部を保持する枠Ｔ１ｂとを有している。
トレイＴ２は、図６（ｂ）に示すように、検査対象となる複数種類の発光装置Ｓ１～Ｓ５のいずれか１種類が種類ごとに載置される９分割された区分け部Ｔ２ａと、その外周部を形成する枠Ｔ２ｂとを有している。

供給ステージ１１ｂは、供給トレイ１１ａから取り出された１つのトレイＴ１，Ｔ２が搬送され、第１搬送ユニット２０ａ（コレットＣ）によって、トレイＴ１，Ｔ２上の発光装置Ｓ１～Ｓ５の１つが把持される、発光装置Ｓ１～Ｓ５の受け渡し場所として設けられている。
加振ユニット１１ｃは、供給ユニット１１における供給ステージ１１ｂの下方に配置されている。そして、加振ユニット１１ｃは、トレイＴ２上に無造作に載置された複数の発光装置Ｓ１～Ｓ５が上下に重なっている状態を解消するために、図７に示すように、上下に振動する。すなわち、加振ユニット１１ｃは、トレイＴ２の下面に先端部が押し当てられた状態で上下に振動することで、トレイＴ２に対して振動を付与する。
これにより、上下に重なった発光装置Ｓ１～Ｓ５の状態を解消して、第１搬送ユニット２０ａのコレットＣによって把持しやすい状態を形成することができる。

突き上げユニット１１ｄは、供給ユニット１１における供給ステージ１１ｂの下方において、図７に示すように、加振ユニット１１ｃに隣接配置されている。そして、突き上げユニット１１ｄは、供給ステージ１１ｂに搬送されたトレイＴ１の粘着膜Ｔ１ａ上に載置された発光装置Ｓ１～Ｓ５の接着面積を小さくして、第１搬送ユニット２０ａのコレットＣによって把持しやすくするために、粘着膜Ｔ１ａに対して下方から発光装置Ｓ１～Ｓ５を突き上げる。
より具体的には、突き上げユニット１１ｄは、図８に示すように、円筒部１１ｄａと、開口１１ｄｂと、針部１１ｄｃとを有している。
これにより、突き上げユニット１１ｄは、供給ステージ１１ｂに搬送されたトレイＴ１の１つの下方から、円筒部１１ｄａの開口１１ｄｂから針部１１ｄｃを突出させることで、弾性を有する粘着膜Ｔ１ａを伸張させて、発光装置Ｓ１～Ｓ５との接触面積を減少させ、第１搬送ユニット２０ａのコレットＣによって把持しやすくすることができる。

（２－２）姿勢補正ユニット１４
姿勢補正ユニット１４は、側面カメラ１２および裏面カメラ１３ａによって撮影された発光装置Ｓ１～Ｓ５を含む画像を用いて発光装置Ｓ１～Ｓ５の姿勢を判定した結果に基づいて、必要に応じて、発光装置Ｓ１～Ｓ５の姿勢を補正する。そして、姿勢補正ユニット１４は、図９に示すように、９０度回転機構１４ａと、１８０度回転機構１４ｂとを有している。
９０度回転機構１４ａは、側面カメラ１２および裏面カメラ１３ａによって撮影された発光装置Ｓ１～Ｓ５を含む画像を用いて発光装置Ｓ１～Ｓ５の姿勢を判定した結果、発光装置Ｓ１～Ｓ５の姿勢が正規の姿勢から９０度回転していると判定された場合に、第１搬送ユニット２０ａのコレットＣから、姿勢を補正すべき発光装置Ｓ１～Ｓ５を受け取って、発光装置Ｓ１～Ｓ５の姿勢を９０度回転させる。

ここで、各発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別判定は、それぞれの大きさ、出射面の形等を画像処理することで判別される。続いて、種別が特定された発光装置Ｓ１～Ｓ５について、出射面が正面に向いているか否かを確認するための姿勢判定が行われる。ここで、出射面が正面を向いていないと判定されると、９０度回転させるように制御が行われる。このような処理を繰り返し実施することで、各発光装置Ｓ１～Ｓ５を、検査を実施する上で適切な姿勢にすることができる。
なお、平板状の発光装置Ｓ１等では、振動付与によって表面あるいは裏面が正面を向いた姿勢となる。よって、裏面を向いた発光装置Ｓ１については１８０度回転させることで、適切な姿勢とすることができる。
同様に、細長い発光装置Ｓ５等では、振動付与によって長さ方向が揃った状態となるため、長さ方向に対して垂直な方向に９０度回転させることで、適切な姿勢とすることができる。

具体的には、９０度回転機構１４ａは、図１０（ａ）および図１０（ｂ）に示す回転治具１４ａａに形成された溝ｇ内に、発光装置Ｓ１～Ｓ５がセットされた状態で、回転治具１４ａａを９０度回転させる。
９０度回転機構１４ａは、例えば、図１１（ａ）に示すように、回転治具１４ａａを右に傾けた状態で、溝ｇ内に発光装置Ｓ５をセットすると、発光装置Ｓ５は、図１１（ｂ）に示すように、出射面Ｓ５ａが横を向いた状態となっている。ここから、９０度回転機構１４ａは、図１２（ａ）に示すように、回転治具１４ａａを左に傾けた状態となるように９０度回転させる。
これにより、発光装置Ｓ５は、回転治具１４ａａの溝ｇ内において、出射面Ｓ５ａが上を向いた正規の姿勢に補正される。そして、９０度回転機構１４ａによって姿勢が補正された発光装置Ｓ５は、回転治具１４ａａの溝ｇ内から、再び、第２搬送ユニット２０ｂのコレットＣによって把持され、下流側へと搬送される。

なお、図１１（ａ）～図１２（ｂ）では、姿勢補正の対象として、９０度回転しやすい形状の発光装置Ｓ５の姿勢を補正する例を挙げて説明したが、他の発光装置Ｓ１～Ｓ４についても同様である。
また、９０度回転機構１４ａには、品種の大きさや形状に応じて、回転治具１４ａａが複数設置されていてもよい。また、回転治具１４ａａには、図１１（ａ）に示すように、データマトリックスが貼られており、上面カメラ１３ｃによって撮影された画像を画像処理することで、品種に応じた回転治具１４ａａを選定することができる。
１８０度回転機構１４ｂは、側面カメラ１２および裏面カメラ１３ａによって撮影された発光装置Ｓ１～Ｓ５を含む画像を画像処理して発光装置Ｓ１～Ｓ５の姿勢を判定した結果、発光装置Ｓ１～Ｓ５の姿勢が正規の姿勢から１８０度回転していると判定された場合に、第１搬送ユニット２０ａのコレットＣから、姿勢を補正すべき発光装置Ｓ１～Ｓ５を受け取って、発光装置Ｓ１～Ｓ５の姿勢を１８０度回転させる。

具体的には、１８０度回転機構１４ｂは、図１３（ａ）および図１３（ｂ）に示す回転治具１４ｂａ，１４ｂｂに形成された吸引部に、発光装置Ｓ２がセットされた状態で、回転軸１４ｂｃを中心にして、回転治具１４ｂａを回転治具１４ｂｂに重ねるように１８０度回転させる。
これにより、発光装置Ｓ２は、回転治具１４ｂａ側から回転治具１４ｂｂ側へ受け渡されることで、出射面Ｓ２ａが上を向いた正規の姿勢に補正される。そして、１８０度回転機構１４ｂによって姿勢が補正された発光装置Ｓ２は、回転治具１４ｂｂの吸引部から、再び、第２搬送ユニット２０ｂのコレットＣによって把持され、下流側へと搬送される。
なお、図１３（ａ）および図１３（ｂ）では、姿勢補正の対象として、１８０度回転しやすい形状の発光装置Ｓ２の姿勢を補正する例を挙げて説明したが、他の発光装置Ｓ１，Ｓ３～Ｓ５についても同様である。

また、１８０度回転機構１４ｂについても同様に、品種の大きさや形状に応じて、複数の回転治具１４ｂａ，１４ｂｂが設置されていてもよい。図１３（ａ）および図１３（ｂ）に示すように、回転治具１４ｂａ，１４ｂｂに貼られたデータマトリックスを上面カメラ１３ｃによって撮影し、撮影した画像を画像処理することで、適切な回転治具１４ｂａ，１４ｂｂを選定することができる。

（２－３）コレット交換ユニット１５
コレット交換ユニット１５は、第１搬送ユニット２０ａから第３搬送ユニット２０ｃの搬送範囲に配置されており、図１４に示すように、発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別に対応した複数種類のコレットＣが保持されている。
第２搬送ユニット２０ｂは、上述したコレット選択部３４において選択されたコレットＣをコレット交換ユニット１５から取り出すように、該当するコレットＣの上方へ移動し、その位置で下降することで、所望のコレットＣが第２搬送ユニット２０ｂに装着される。

なお、第１搬送ユニット２０ａおよび第３搬送ユニット２０ｃにコレットＣが装着される工程についても同様である。
第１～第３搬送ユニット２０ａ，２０ｂ，２０ｃに装着されるコレットＣは、図１５に示すように、先端部Ｃ１と、保持部Ｃ２と、円板部Ｃ３とを有している。
先端部Ｃ１は、図１６に示すように、第２搬送ユニット２０ｂにコレットＣが装着された状態で下端部となる部分であって、発光装置Ｓ１～Ｓ５を保持する。
保持部Ｃ２は、略円筒形状の上端部分であって、図１６に示すように、第２搬送ユニット２０ｂにコレットＣが装着される際に、第２搬送ユニット２０ｂによって保持される。
円板部Ｃ３は、先端部Ｃ１と保持部Ｃ２との間に設けられた略円環状の部材であって、その上面には、データマトリックスＤＭが付与されている。

データマトリックスＤＭは、上述した第２搬送ユニット２０ｂとともに移動する上面カメラ１３ｃによって撮影された画像を用いて読み取られることで、各コレットＣの種類が特定される。
これにより、第２搬送ユニット２０ｂは、上面カメラ１３ｃによって撮影された画像を用いてコレット交換ユニット１５に保持されている複数のコレットＣの種類を特定しつつ、コレット選択部３４において選択されたコレットＣを適切に選択して装着することができる。

（２－４）検査ユニット１６
検査ユニット（検査部）１６は、図１７に示すように、積分球１６ａと、光度計１６ｂと、タッチセンサと、変位計と、測定ステージ１６ｆと、を有している。
積分球１６ａは、内面全体に拡散反射率の高い材料が塗布された略球状の部材であって、発光装置Ｓ１～Ｓ５から出射される光を測定する。より詳細には、積分球１６ａは、球の中心の直下に移動してきた測定ステージ１６ｆに保持された治具Ｚの上面にセットされている発光装置Ｓ１～Ｓ５の出射面Ｓ１ａ～Ｓ５ａ略鉛直上向きに出射される光の光束を測定したり、３６０度全方位に出射される光の全光束を測定したりする。
光度計１６ｂは、図１７に示すように、積分球１６ａの側方に設けられており、直下に移動してきた測定ステージ１６ｆに保持された治具Ｚの上面にセットされている発光装置Ｓ１～Ｓ５の出射面Ｓ１ａ～Ｓ５ａから略鉛直上向きに出射される光の光度測定を行う。
タッチセンサは、治具Ｚの位置決め機構として設けられており、測定ステージ１６ｆに搭載された治具Ｚに当接する。これにより、タッチセンサは、発光装置Ｓ１～Ｓ５の光学検査を実施する際の治具Ｚの位置ずれを検出する。より具体的には、タッチセンサは、Ｘ軸方向およびＹ軸方向における位置ずれを検出し、その検出結果に応じて、測定ステージ１６ｆの位置が補正されることで、治具Ｚが位置決めされる。

変位計は、治具Ｚの位置決め機構として設けられており、測定ステージ１６ｆが移動する開口の裏側付近に配置されており、測定位置へ移動してきた測定ステージ１６ｆの治具Ｚの高さ方向における位置ずれを検出する。これにより、変位計は、Ｚ軸方向における位置ずれを検出し、その検出結果に応じて、測定ステージ１６ｆの位置が補正され、治具Ｚが位置決めされる。
測定ステージ１６ｆは、搬送中の発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別に対応する治具Ｚを治具交換ハンド１８ａから受け取って、積分球１６ａおよび光度計１６ｂの下方に形成された開口から、積分球１６ａあるいは光度計１６ｂの直下まで、治具Ｚを搬送する。測定ステージ１６ｆによって、積分球１６ａあるいは光度計１６ｂの直下に搬送された治具Ｚは、上面にセットされた発光装置Ｓ１～Ｓ５に通電し、発光装置Ｓ１～Ｓ５（出射面Ｓ１ａ～Ｓ５ａ）から略鉛直上向きに光を出射させる。
これにより、種類が異なる複数の発光装置Ｓ１～Ｓ５ごとに適正な治具Ｚを用いて、検査ユニット１６において、積分球１６ａおよび光度計１６ｂによる積分球測定および光度測定を自動的に実施することができる。

（２－５）治具Ｚ
本実施形態の検査装置１０では、図１８に示す複数種類の治具Ｚを用いて、検査ユニット１６へ発光装置Ｓ１～Ｓ５を１個ずつ搬送し、所定の検査を実施する。
治具Ｚは、図１８に示すように、治具保持部１８ｄによって、図中の矢印方向において移動可能な状態で複数保持されている。治具Ｚは、発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別に合わせて９種類用意されており、それぞれ、発光装置Ｓ１～Ｓ５の形状や大きさの違いに合わせて、上面に設けられた設置場所（設置部Ｚ１ｃ～Ｚ３ｃ（図１９（ａ）～図１９（ｃ）参照）の形状が異なっている。そして、治具Ｚは、上述した治具選択部３５において選択されると、コードリーダ１８ｂにおける読取り結果および治具センサ１８ｃにおける検出結果に基づいて、治具交換ハンド１８ａによって保持され、治具交換ユニット１８から取り出される（図中一点鎖線矢印参照）。なお、治具Ｚは、その個数や配列について、特に限定されるものではない。また、予備の治具が備えられていてもよい。

治具交換ハンド１８ａによって取り出された治具Ｚの上面には、検査対象となる発光装置Ｓ１～Ｓ５が、第２搬送ユニット２０ｂのコレットＣによって把持された状態で搬送され、出射面Ｓ１ａ等が上向きになるように載置される。
これにより、治具Ｚは、その上面に検査対象となる発光装置Ｓ１～Ｓ５が適正な姿勢で載置された状態で検査ユニット１６へ搬送されることで、検査ユニット１６における所望の検査を自動的に実施することができる。

ここで、９種類用意された複数の治具Ｚのうち、例えば、３種類の第１～第３治具Ｚ１～Ｚ３について、図１９（ａ）～図１９（ｃ）を用いて詳しく説明すれば以下の通りである。
第１治具Ｚ１は、例えば、発光装置Ｓ２を挟み込んで保持するタイプの治具であって、図１９（ａ）に示すように、円筒部Ｚ１ａ、治具ピンＺ１ｂ、設置部Ｚ１ｃを有している。
円筒部Ｚ１ａは、直径が異なる２つの円柱状の部材を連結して構成されており、円形の上面を有している。円筒部Ｚ１ａの上面には、検査対象となる発光装置Ｓ２を保持する設置部Ｚ１ｃが設けられている。
治具ピンＺ１ｂは、円筒部Ｚ１ａの下部側面に取り付けられており、円筒部Ｚ１ａに向かって押し込むように操作されると、部品が移動して、設置部Ｚ１ｃに発光装置Ｓ２を保持するための隙間が形成される。
設置部Ｚ１ｃは、治具ピンＺ１ｂが操作されて形成される隙間において、検査対象となる発光装置Ｓ２を挟み込むようにして保持する。

なお、図１９（ａ）に示す第１治具Ｚ１は、設置部Ｚ１ｃに、発光装置Ｓ２の裏面側（出射面Ｓ２ａとは反対側）に設けられた電極に対して電力を付与する電極部が設けられている。
これにより、第１治具Ｚ１の設置部Ｚ１ｃに発光装置Ｓ２をセットする際には、治具ピンＺ１ｂが操作され、設置部Ｚ１ｃに発光装置Ｓ２を保持する隙間を形成した状態で、第２搬送ユニット２０ｂによって上方から発光装置Ｓ２を降下させる。このとき、コレットＣによる吸着をオフにすることで、第２搬送ユニット２０ｂのコレットＣに保持された発光装置Ｓ２が設置部Ｚ１ｃの隙間内にセットされる。そして、治具ピンＺ１ｂの操作が解除され、設置部Ｚ１ｃの隙間を狭める方向に部品が移動することで、設置部Ｚ１ｃにおいて発光装置Ｓ２を保持することができる。
そして、設置部Ｚ１ｃに発光装置Ｓ２を保持した状態で、発光装置Ｓ２の電極に電力を供給することで、上面側の出射面Ｓ２ａから光を出射させて、上述した光学検査を実施することができる。

第２治具Ｚ２は、例えば、発光装置Ｓ１を吸着して保持するタイプの治具であって、図１９（ｂ）に示すように、円筒部Ｚ２ａ、設置部Ｚ２ｂを有している。
円筒部Ｚ２ａは、直径が異なる２つの円柱状の部材を連結して構成されており、円形の上面を有している。円筒部Ｚ２ａの上面には、検査対象となる発光装置Ｓ１を保持する設置部Ｚ２ｂが設けられている。
設置部Ｚ２ｂは、空気を吸入することで、設置された発光装置Ｓ１を吸着する。
なお、図１９（ｂ）に示す第１治具Ｚ２は、設置部Ｚ２ｂに、発光装置Ｓ１の裏面側（出射面Ｓ１ａの反対側）に設けられた電極に対して電力を付与する電極部が設けられている。
これにより、第２治具Ｚ２の設置部Ｚ２ｃに発光装置Ｓ１をセットする際には、第２搬送ユニット２０ｂによって上方から発光装置Ｓ１を降下させる。このとき、コレットＣによる吸着をオフにすることで、第２搬送ユニット２０ｂのコレットＣに保持された発光装置Ｓ１が設置部Ｚ２ｃ上にセットされる。そして、設置部Ｚ２ｃによる吸着をオンにすることで、設置部Ｚ２ｃにおいて発光装置Ｓ１を保持することができる。

そして、設置部Ｚ２ｃに発光装置Ｓ１を保持した状態で、発光装置Ｓ１の電極に電力を供給することで、上面側の出射面Ｓ１ａから光を出射させて、上述した光学検査を実施することができる。
第３治具Ｚ３は、例えば、発光装置Ｓ４を側方からスライド挿入しプローブ（電極部）Ｚ３ｄによって保持するタイプの治具であって、図１９（ｃ）に示すように、円筒部Ｚ３ａ、治具ピンＺ３ｂ、設置部Ｚ３ｃ、プローブ（電極部）Ｚ３ｄを有している。
円筒部Ｚ３ａは、直径が異なる２つの円柱状の部材を連結して構成されており、円形の上面を有している。円筒部Ｚ３ａの上面には、検査対象となる発光装置Ｓ４を保持する設置部Ｚ３ｃが設けられている。
治具ピンＺ３ｂは、円筒部Ｚ３ａの下部側面に取り付けられており、円筒部Ｚ３ａに向かって押し込むように操作されると、プローブＺ３ｄが上昇して、設置部Ｚ３ｃに発光装置Ｓ４を側方からスライド挿入するための空間が形成される。

設置部Ｚ３ｃは、治具ピンＺ３ｂが操作されて形成される空間において、検査対象となる発光装置Ｓ４をプローブＺ３ｄによって押さえるようにして保持する。
プローブＺ３ｄは、設置部Ｚ３ｃにおける発光装置Ｓ４の載置面から上方に隙間を空けて設けられている。プローブＺ３ｄは、設置部Ｚ３ｃに発光装置Ｓ４がセットされると、発光装置Ｓ４の上面側（出射面Ｓ４ａと同じ側）に設けられた電極と当接し、発光装置Ｓ４に対して電力を供給する。
ここで、検査対象となる発光装置Ｓ４は、図２（ｄ）に示すように、他の発光装置Ｓ１～Ｓ３，Ｓ５とは異なり、出射面Ｓ４ａと同じ上面に、電極が設けられている。
そこで、治具Ｚ３では、発光装置Ｓ４の電極の位置に合わせて、設置部Ｚ３ｃにおける発光装置Ｓ４の上面に対応する位置に、プローブＺ３ｄが設けられている。

これにより、第３治具Ｚ３の設置部Ｚ３ｃに発光装置Ｓ４をセットする際には、治具ピンＺ３ｂが操作され、設置部Ｚ３ｃにおけるプローブＺ３ｄを上昇させた状態で、第２搬送ユニット２０ｂによって側方から発光装置Ｓ４をスライド移動させる。
このとき、コレットＣによる吸着をオフにすることで、第２搬送ユニット２０ｂのコレットＣに保持された発光装置Ｓ４が設置部Ｚ３ｃの空間内にセットされる。そして、治具ピンＺ３ｂの操作が解除され、設置部Ｚ３ｃにセットされた発光装置Ｓ４の電極に対応する位置へプローブＺ３ｄが上方から降下することで、設置部Ｚ３ｃにおいて発光装置Ｓ４を保持される。
これにより、出射面Ｓ４ａと同じ上面に電極が設けられた発光装置Ｓ４の検査を実施する場合でも、上面を保持するプローブＺ３ｄを上下させて、発光装置Ｓ４の保持と電極への電力供給とを両立させ、適正な検査を実施することができる。

以上のように、本実施形態の検査装置１０は、所定の供給位置に供給された複数の発光装置Ｓ１～Ｓ５を取り出して所定の検査位置において個々の検査を行う装置であって、情報取得部３１、種別特定部３３、治具選択部３５、搬送機構２０、コレットＣ、検査ユニット１６を備える。情報取得部３１は、発光装置Ｓ１～Ｓ５の情報を取得する。種別特定部３３は、供給位置に供給された発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別を特定する。治具選択部３５は、情報取得部３１において取得された発光装置Ｓ１～Ｓ５の情報と種別特定部３３において特定された発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別とに基づいて、それぞれの発光装置Ｓ１～Ｓ５に対応する検査用の治具Ｚを選択する。コレットＣは、搬送機構２０によって搬送され、発光装置Ｓ１～Ｓ５を供給位置において把持して治具Ｚにおける所定の位置へセットする。検査ユニット１６は、検査位置において、治具選択部３５において選択された治具Ｚにセットされた発光装置Ｓ１～Ｓ５の検査を実施する。

これにより、検査対象となる発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別に応じて適切な検査用の治具Ｚが選択されて使用される。このため、発光装置Ｓ１～Ｓ５を１つずつ保持したコレットＣが装着された搬送機構２０によって、検査対象となる発光装置Ｓ１～Ｓ５を１つずつ適切な治具Ｚへと搬送することで、検査ユニット１６において適切な検査を自動的に行うことができる。
この結果、発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別に応じて適切なテスト用の治具Ｚを自動的に選択して、所望の検査を実施することができる。

＜発光装置Ｓ１～Ｓ５の検査方法＞
本実施形態の発光装置Ｓ１～Ｓ５の検査方法は、図２０に示すフローチャートに従って、処理を実行する。
すなわち、ステップＳ１１では、情報取得部３１が、検査対象となる発光装置Ｓ１～Ｓ５の情報を取得する（情報取得ステップ）。
次に、ステップＳ１２では、種別特定部３３が、上述した通り、検査対象として搬送機構２０によって１つずつ搬送される発光装置Ｓ１～Ｓ５に関するデータに基づいて、各発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別を特定する（種別特定ステップ）。
次に、ステップＳ１３では、コレット選択部３４が、ステップＳ１２において特定された発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別情報に基づいて、その種別に対応するコレットＣを選択する、これにより、コレットＣをコレット交換ユニット１５から取り出して搬送機構２０に装着する。
次に、ステップＳ１４では、姿勢判定部３２が、上述した通り、側面カメラ１２および裏面カメラ１３ａによって撮影された発光装置Ｓ１～Ｓ５を含む画像を用いて、搬送される発光装置Ｓ１～Ｓ５の姿勢が適正であるか否かを判定する。

ここで、本実施形態では、上述した通り、検査ユニット１６における発光装置Ｓ１～Ｓ５の検査に適した出射面Ｓ１ａ～Ｓ５ａが鉛直上向きとなる姿勢を適正な姿勢として判定する。
次に、ステップＳ１５では、姿勢判定部３２が、ステップＳ１４における姿勢判定の結果、姿勢の補正が必要か否かを判定する。ここで、姿勢の補正が必要である場合（出射面Ｓ１ａ～Ｓ５ａが横向きあるいは裏面向き）には、ステップＳ１６へ進む。一方、姿勢の補正が必要ではない場合（すでに出射面Ｓ１ａ～Ｓ５ａが上向きである場合）には、ステップＳ１７へ進む。
次に、ステップＳ１６では、ステップＳ１５において姿勢の補正が必要と判定されたため、発光装置の姿勢を補正する。例えば、姿勢補正ユニット１４が、発光装置Ｓ１～Ｓ５の姿勢を出射面Ｓ１ａ～Ｓ５ａが上を向くように、９０度あるいは１８０度回転させる。

次に、ステップＳ１７では、治具交換ハンド１８ａが、ステップＳ１２において特定された発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別情報に基づいて、検査対象となる発光装置Ｓ１～Ｓ５に対応する検査用の治具Ｚを選択する。これにより、検査用の治具Ｚを治具交換ユニット１８から取り出す（治具選択ステップ）。
次に、ステップＳ１８では、選択された治具へ発光装置を搬送する。例えば、搬送機構２０（第２搬送ユニット２０ｂ）が、コレットＣを用いて、適正な姿勢の発光装置Ｓ１～Ｓ５を保持した状態で、検査用の治具Ｚの上面へ搬送する（搬送ステップ）。
次に、ステップＳ１９では、発光装置の検査を実施する。例えば、検査ユニット１６が、検査用の治具Ｚの上面にセットされた発光装置Ｓ１～Ｓ５について、所定の検査位置において検査を実施する（検査ステップ）。

次に、ステップＳ２０では、排出ユニット１９が、ステップＳ１９において検査が実施された発光装置Ｓ１～Ｓ５を、排出ステージ１９ａから排出トレイ１９ｂへと排出する。
なお、ステップＳ１９における検査の結果、十分な光度が得られない等の不具合が生じた発光装置Ｓ１～Ｓ５については、排出トレイ１９ｂではなく、所定の廃棄トレイ等へ排出される。
次に、ステップＳ２１では、検査が完了して排出トレイ１９ｂへ排出された発光装置Ｓ１～Ｓ５を排出トレイ１９ｂから取り出して、実装基板上へ配置する。
これにより、検査が実施され正常と判定された発光装置Ｓ１～Ｓ５が実装基板上に取り付けられたモジュールを製造することができる。

［他の実施形態］
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
（Ａ）
上記実施形態では、発光装置の検査装置および検査方法として、本発明の一実施形態を実現した例を挙げて説明した。
例えば、上述した発光装置の検査方法をコンピュータに実行させる検査プログラムとして本実施形態を実現してもよい。
この検査プログラムは、検査装置に搭載されたメモリ（記憶部）に保存されており、ＣＰＵがメモリに保存された検査プログラムを読み込んで、ハードウェアに各ステップを実行させる。より具体的には、ＣＰＵがプログラムを読み込んで、上述した情報取得ステップと、種別特定ステップと、治具選択ステップと、搬送ステップと、検査ステップとを実行することで、上記と同様の効果を得ることができる。
また、本実施形態は、発光装置の検査プログラムを保存した記録媒体として実現されてもよい。

（Ｂ）
上記実施形態では、検査対象となる発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別（形状、大きさ等）に応じて選択される９種類のコレットＣがコレット交換ユニット１５に用意されている例を挙げて説明した。
例えば、検査対象となる発光装置の種別がもっと多い場合には、より多くの種類のコレット（把持部材）がコレット交換ユニットに用意されていてもよいし、種別が少ない場合には、より少ない種類のコレットがコレット交換ユニットに用意されていてもよい。
（Ｃ）
上記実施形態では、検査対象となる発光装置Ｓ１～Ｓ５の種別（形状、大きさ等）に応じて選択される９種類の治具Ｚが治具交換ユニット１８に用意されている例を挙げて説明した。
例えば、検査対象となる発光装置の種別がもっと多い場合には、より多くの種類の治具が治具交換ユニットに用意されていてもよいし、種別が少ない場合には、より少ない種類の治具が治具交換ユニットに用意されていてもよい。

（Ｄ）
上記実施形態では、検査装置１０が、検査ユニット１６において実施される発光装置Ｓ１～Ｓ５の検査として、積分球１６ａおよび光度計１６ｂを用いた積分球測定および光度測定とを実施する例を挙げて説明した。
例えば、上記検査以外の検査を実施する検査装置であってもよい。
この場合でも、情報取得部において取得された発光装置の種別に基づいて、適切な治具と把持部材とを用いて各種検査を自動的に実施することができる。

（Ｅ）
上記実施形態では、発光装置Ｓ１～Ｓ５の搬送中の姿勢を判定し、適正な姿勢ではないと判定されると、姿勢補正ユニット１４において、９０度あるいは１８０度、回転させることで、発光装置Ｓ１～Ｓ５の姿勢を補正する例を挙げて説明した。
例えば、薄板状の発光装置のみを検査対象とする場合には、発光装置の形状等の種別に応じて、発光装置を１８０度回転させる１８０度回転機構のみを含む姿勢補正ユニットであってもよい。
あるいは、発光装置の形状等の種別に応じて、発光装置を９０度回転させる９０度回転機構のみを含む姿勢補正ユニットであってもよい。
この場合には、発光装置の９０度回転を２回繰り返すことで、１８０度回転させることができるため、９０度回転機構のみを含む構成とすることで、姿勢補正ユニットの構成を簡素化することができる。

（Ｆ）
上記実施形態では、検査装置１０内に、発光装置Ｓ１～Ｓ５に関する種別情報、発光装置の検査結果等の各種情報を保存する記憶部２３が設けられている例を挙げて説明した。
例えば、発光装置の種別情報、検査結果等の各種情報は、検査装置の外部に設けられたサーバ、クラウド空間等に保存されていてもよい。
なお、請求項の構成において、以下に示す［項１］から［項２０］のような従属関係であっても構わない。
以上、説明した構成を採用することによって、１つの検査部（積分球）を用いて、大きさや形状等の異なる種類の発光装置を１０秒以内毎に次々測定することができる。このため、検査部による時間や温度等に伴う測定バラツキを低減することができる。また、異なる種類の発光装置を、１種の検査装置で測定することができるため、発光装置ごとの測定バラツキを低減することができる。

また、異なる種類の発光装置であっても、発光装置に応じて適切なコレットや治具を選定し、自動交換し、発光装置を適切な姿勢に回転等させて治具に適切に配置し、自動で測定することができ、さらに自動で排出することができる等、発光装置の供給から、搬送、検査、測定、排出まで全て自動で行うことができる。
この結果、発光装置の検査において、従来よりも大幅な時間短縮と作業効率の向上を図ることができる。さらに、依頼ＩＤ等を予め付与しておくことで、全ての工程の検査、測定結果を確認することができる。

［項１］
所定の供給位置に供給された複数の半導体装置を取り出して所定の検査位置において個々の検査を行う半導体装置の検査装置であって、
前記半導体装置の情報を取得する情報取得部と、
前記供給位置に供給された前記半導体装置の種別を特定する種別特定部と、
前記情報取得部において取得された前記半導体装置の情報と前記種別特定部において特定された前記半導体装置の種別とに基づいて、前記半導体装置の種別ごとに対応する検査用の治具を選択する治具選択部と、
前記供給位置から前記検査位置へと前記半導体装置を搬送する搬送機構と、
前記搬送機構によって搬送され、前記半導体装置を前記供給位置において把持して前記治具における所定の位置へセットする把持部材と、
前記検査位置において、前記治具選択部において選択された前記治具にセットされた前記半導体装置の検査を実施する検査部と、
を備えている半導体装置の検査装置。

［項２］
前記情報取得部において取得された前記半導体装置の情報と前記種別特定部において特定された前記半導体装置の種別とに基づいて、前記半導体装置の種別ごとに対応する前記把持部材を選択する把持部材選択部を、さらに備えている、項１に記載の検査装置。
［項３］
前記半導体装置の情報は、前記半導体装置の形状、大きさ、重量、電極の位置、対応する治具の情報を含む、項１または２に記載の検査装置。
［項４］
前記供給位置に供給された前記半導体装置の姿勢を判定する姿勢判定部を、さらに備えている、項１から３のいずれか一項に記載の検査装置。

［項５］
前記姿勢判定部において判定された前記半導体装置の姿勢に応じて、前記半導体装置の姿勢を所定のピックアップ姿勢に補正する姿勢補正部を、さらに備えている、項４に記載の検査装置。
［項６］
前記姿勢補正部は、前記半導体装置に対して振動を付与する、項５に記載の検査装置。
［項７］
前記姿勢補正部は、前記半導体装置の向きを９０度あるいは１８０度変更する、項５に記載の検査装置。
［項８］
前記種別特定部は、前記半導体装置を複数の方向から撮影する複数の撮像装置において撮影された画像に基づいて、前記半導体装置の種別を特定する、項１から７のいずれか一項に記載の検査装置。

［項９］
前記検査部は、前記半導体装置に通電させた状態で、前記半導体装置から発せられる光の光束、輝度、配向の少なくとも１つについて検査を行う、項１から８のいずれか一項に記載の検査装置。
［項１０］
前記検査部は、積分球および光度計の少なくとも１つを含む、項１から９のいずれか一項に記載の検査装置。
［項１１］
前記検査部における検査が完了した前記半導体装置を所定の排出位置へ排出する排出機構を、さらに備えている、項１から１０のいずれか一項に記載の検査装置。

［項１２］
前記半導体装置に関する情報を保存する記憶部を、さらに備え、
前記情報取得部は、前記記憶部から前記情報を取得する、項１から１１のいずれか一項に記載の検査装置。
［項１３］
前記記憶部は、前記半導体装置の種別ごとの測定条件を保存しており、
使用者からの検査指示が入力される入力受付部と、
前記記憶部に保存された前記測定条件と、前記入力受付部に入力された検査指示の情報に基づいて、前記半導体装置の種別ごとに前記供給位置への配置図を作成する配置図作成部と、
前記配置図作成部において作成された配置図を表示する表示部と、
さらに備えている、項１２に記載の検査装置。

［項１４］
前記供給位置には、検査対象となる複数の種別の半導体装置が供給される供給部を、さらに備えている、項１から１３のいずれか一項に記載の検査装置。
［項１５］
前記供給部は、複数の種別の半導体装置が供給される多段構造を有している、項１４に記載の検査装置。
［項１６］
前記供給部にセットされ、同一平面上において複数の区画を有しており、複数の種別ごとの前記半導体装置を保持する供給トレイを、さらに備えている、項１４または１５に記載の検査装置。

［項１７］
前記治具は、前記半導体装置に対して電流を供給する電極部を有している、項１から１６のいずれか一項に記載の検査装置。
［項１８］
所定の供給位置に供給された複数の半導体装置を取り出して、所定の検査位置において個々の検査を行う半導体装置の検査方法であって、
前記半導体装置の情報を取得する情報取得ステップと、
前記供給位置に供給された前記半導体装置の種別を特定する種別特定ステップと、
前記情報取得ステップにおいて取得された前記半導体装置の情報と前記種別特定ステップにおいて特定された前記半導体装置の種別とに基づいて、前記半導体装置の種別ごとに対応する検査用の治具を選択する治具選択ステップと、
前記供給位置から前記半導体装置を取り出して前記治具における所定の位置へセットする把持部材を用いて、前記供給位置から前記治具へと前記半導体装置を搬送する搬送ステップと、
前記検査位置において、前記治具選択ステップにおいて選択された前記治具にセットされた前記半導体装置の検査を実施する検査ステップと、
を備えている半導体装置の検査方法。

［項１９］
項１８に記載の半導体装置の検査方法によって検査された前記半導体装置を、実装基板上に配置するステップを備えた、
モジュールの製造方法。
［項２０］
所定の供給位置に供給された複数の半導体装置を取り出して、所定の検査位置において個々の検査を行う半導体装置の検査プログラムであって、
前記半導体装置の情報を取得する情報取得ステップと、
前記供給位置に供給された前記半導体装置の種別を特定する種別特定ステップと、
前記情報取得ステップにおいて取得された前記半導体装置の情報と前記種別特定ステップにおいて特定された前記半導体装置の種別とに基づいて、前記半導体装置の種別ごとに対応する検査用の治具を選択する治具選択ステップと、
前記供給位置から前記半導体装置を取り出して前記治具における所定の位置へセットする把持部材を用いて、前記供給位置から前記治具へと前記半導体装置を搬送する搬送ステップと、
前記検査位置において、前記治具選択ステップにおいて選択された前記治具にセットされた前記半導体装置の検査を実施する検査ステップと、
を備えている半導体装置の検査方法を、コンピュータに実行させる半導体装置の検査プログラム。

本開示の発光装置の検査装置は、発光装置の種別に応じて適切な治具を自動的に選択して検査を実施することができるという効果を奏することから、各種発光装置の検査を実施する検査装置に対して広く適用可能である。

１０ 検査装置
１０ａ 本体フレーム
１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ レール
１１ 供給ユニット（供給部）
１１ａ 供給トレイ
１１ａａ トレイ保持部
１１ｂ 供給ステージ
１１ｃ 加振ユニット
１１ｄ 突き上げユニット
１１ｄａ 円筒部
１１ｄｂ 開口
１１ｄｃ 針部
１２ 側面カメラ
１３ａ，１３ｂ 裏面カメラ
１３ｃ 上面カメラ
１４ 姿勢補正ユニット（姿勢補正部）
１４ａ ９０度回転機構
１４ａａ 回転治具
１４ｂ １８０度回転機構
１４ｂａ，１４ｂｂ 回転治具
１４ｂｃ 回転軸
１５ コレット交換ユニット
１６ 検査ユニット（検査部）
１６ａ 積分球
１６ｂ 光度計
１６ｆ 測定ステージ
１７ 表示部
１８ 治具交換ユニット
１８ａ 治具交換ハンド
１８ｂ コードリーダ
１８ｃ 治具センサ
１９ 排出ユニット
１９ａ 排出ステージ
１９ｂ 排出トレイ
２０ 搬送機構
２０ａ 第１搬送ユニット
２０ｂ 第２搬送ユニット
２０ｃ 第３搬送ユニット
２１ 入力受付部
２３ 記憶部
３０ 制御部
３１ 情報取得部
３２ 姿勢判定部
３３ 種別特定部
３４ コレット選択部（把持部材選択部）
３５ 治具選択部
３６ 検査制御部
３７ 排出制御部
３８ 配置図作成部
３９ 表示制御部
Ｃ コレット（把持部材）
Ｃ１ 先端部
Ｃ２ 保持部
Ｃ３ 円板部
ＤＭ データマトリックス
ｇ 溝
Ｓ１ 発光装置
Ｓ１ａ 出射面
Ｓ２ 発光装置
Ｓ２ａ 出射面
Ｓ３ 発光装置
Ｓ３ａ 出射面
Ｓ４ 発光装置
Ｓ４ａ 出射面
Ｓ４ｂ 基板
Ｓ５ 発光装置
Ｓ５ａ 出射面
Ｔ１ トレイ
Ｔ１ａ 粘着膜
Ｔ１ｂ 枠
Ｔ２ トレイ
Ｔ２ａ 区分け部
Ｔ２ｂ 枠
Ｚ 治具
Ｚ１ 第１治具
Ｚ１ａ 円筒部
Ｚ１ｂ 治具ピン
Ｚ１ｃ 設置部
Ｚ２ 第２治具
Ｚ２ａ 円筒部
Ｚ２ｂ 設置部
Ｚ３ 第３治具
Ｚ３ａ 円筒部
Ｚ３ｂ 治具ピン
Ｚ３ｃ 設置部
Ｚ３ｄ プローブ（電極部）

Claims (20)

1. 所定の供給位置に供給された複数の発光装置を取り出して所定の検査位置において個々の検査を行う発光装置の検査装置であって、
   前記発光装置の情報を取得する情報取得部と、
   前記供給位置に供給された前記発光装置の種別を特定する種別特定部と、
   前記情報取得部において取得された前記発光装置の情報と前記種別特定部において特定された前記発光装置の種別とに基づいて、前記発光装置の種別ごとに対応する検査用の治具を選択する治具選択部と、
   前記供給位置から前記検査位置へと前記発光装置を搬送する搬送機構と、
   前記搬送機構によって搬送され、前記発光装置を前記供給位置において把持して前記治具における所定の位置へセットする把持部材と、
   前記検査位置において、前記治具選択部において選択された前記治具にセットされた前記発光装置の検査を実施する検査部と、
   を備えている発光装置の検査装置。
2. 前記情報取得部において取得された前記発光装置の情報と前記種別特定部において特定された前記発光装置の種別とに基づいて、前記発光装置の種別ごとに対応する前記把持部材を選択する把持部材選択部を、さらに備えている、
   請求項１に記載の検査装置。
3. 前記発光装置の情報は、前記発光装置の形状、大きさ、重量、電極の位置、対応する治具の情報を含む、
   請求項１または２に記載の検査装置。
4. 前記供給位置に供給された前記発光装置の姿勢を判定する姿勢判定部を、さらに備えている、
   請求項１または２に記載の検査装置。
5. 前記姿勢判定部において判定された前記発光装置の姿勢に応じて、前記発光装置の姿勢を所定のピックアップ姿勢に補正する姿勢補正部を、さらに備えている、
   請求項４に記載の検査装置。
6. 前記姿勢補正部は、前記発光装置に対して振動を付与する、
   請求項５に記載の検査装置。
7. 前記姿勢補正部は、前記発光装置の向きを９０度あるいは１８０度変更する、
   請求項５に記載の検査装置。
8. 前記種別特定部は、前記発光装置を複数の方向から撮影する複数の撮像装置において撮影された画像に基づいて、前記発光装置の種別を特定する、
   請求項１または２に記載の検査装置。
9. 前記検査部は、前記発光装置に通電させた状態で、前記発光装置から発せられる光の光束、輝度、配向の少なくとも１つについて検査を行う、
   請求項１または２に記載の検査装置。
10. 前記検査部は、積分球および光度計の少なくとも１つを含む、
    請求項９に記載の検査装置。
11. 前記検査部における検査が完了した前記発光装置を所定の排出位置へ排出する排出機構を、さらに備えている、
    請求項１または２に記載の検査装置。
12. 前記発光装置に関する情報を保存する記憶部を、さらに備え、
    前記情報取得部は、前記記憶部から前記情報を取得する、
    請求項１または２に記載の検査装置。
13. 前記記憶部は、前記発光装置の種別ごとの測定条件を保存しており、
    使用者からの検査指示が入力される入力受付部と、
    前記記憶部に保存された前記測定条件と、前記入力受付部に入力された検査指示の情報に基づいて、前記発光装置の種別ごとに前記供給位置への配置図を作成する配置図作成部と、
    前記配置図作成部において作成された配置図を表示する表示部と、
    さらに備えている、
    請求項１２に記載の検査装置。
14. 前記供給位置には、検査対象となる複数の種別の発光装置が供給される供給部を、さらに備えている、
    請求項１に記載の検査装置。
15. 前記供給部は、複数の種別の発光装置が供給される多段構造を有している、
    請求項１４に記載の検査装置。
16. 前記供給部にセットされ、同一平面上において複数の区画を有しており、複数の種別ごとの前記発光装置を保持する供給トレイを、さらに備えている、
    請求項１４または１５に記載の検査装置。
17. 前記治具は、前記発光装置に対して電流を供給する電極部を有している、
    請求項１または２に記載の検査装置。
18. 所定の供給位置に供給された複数の発光装置を取り出して、所定の検査位置において個々の検査を行う発光装置の検査方法であって、
    前記発光装置の情報を取得する情報取得ステップと、
    前記供給位置に供給された前記発光装置の種別を特定する種別特定ステップと、
    前記情報取得ステップにおいて取得された前記発光装置の情報と前記種別特定ステップにおいて特定された前記発光装置の種別とに基づいて、前記発光装置の種別ごとに対応する検査用の治具を選択する治具選択ステップと、
    前記供給位置から前記発光装置を取り出して前記治具における所定の位置へセットする把持部材を用いて、前記供給位置から前記治具へと前記発光装置を搬送する搬送ステップと、
    前記検査位置において、前記治具選択ステップにおいて選択された前記治具にセットされた前記発光装置の検査を実施する検査ステップと、
    を備えている発光装置の検査方法。
19. 請求項１８に記載の発光装置の検査方法によって検査された前記発光装置を、実装基板上に配置するステップを備えた、
    モジュールの製造方法。
20. 所定の供給位置に供給された複数の発光装置を取り出して、所定の検査位置において個々の検査を行う発光装置の検査プログラムであって、
    前記発光装置の情報を取得する情報取得ステップと、
    前記供給位置に供給された前記発光装置の種別を特定する種別特定ステップと、
    前記情報取得ステップにおいて取得された前記発光装置の情報と前記種別特定ステップにおいて特定された前記発光装置の種別とに基づいて、前記発光装置の種別ごとに対応する検査用の治具を選択する治具選択ステップと、
    前記供給位置から前記発光装置を取り出して前記治具における所定の位置へセットする把持部材を用いて、前記供給位置から前記治具へと前記発光装置を搬送する搬送ステップと、
    前記検査位置において、前記治具選択ステップにおいて選択された前記治具にセットされた前記発光装置の検査を実施する検査ステップと、
    を備えている発光装置の検査方法を、コンピュータに実行させる発光装置の検査プログラム。