JP2015021803A - 基板搬送装置および基板検査システム - Google Patents
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Abstract
【課題】検査コストの高騰を招くことなく、第1の基板検査装置による検査結果を第2の基板検査装置において有効利用させる。【解決手段】基板検査装置30による検査が完了した検査対象基板Xをスタック位置P1aから基板検査装置20(搬入搬出位置P2)に搬送する基板搬送機構11と、基板Xから識別符号を取得するバーコードリーダー12と、検査装置30によって基板Xについての検査結果が識別符号に関連付けられて記録された検査結果データD1を記憶する記憶部13と、搬送機構11を制御して基板Xを位置P2に搬送させる第1の処理、リーダー12を制御して基板Xから識別符号を取得させる第2の処理、および識別符号とデータD1とに基づいて基板Xについての検査結果を特定して対応する基板Xの識別符号に関連付けて検査装置20が認識可能な書式で記述して検査結果データD2aを生成する第3の処理を実行可能な処理部14とを備えている。【選択図】図1
Description
本発明は、検査対象の回路基板を基板検査装置に搬送可能に構成された基板搬送装置、および基板搬送装置と基板検査装置とを備えて構成された基板検査システムに関するものである。
出願人は、被検査基板を電気的に検査可能な基板検査装置を下記の先行出願1に開示している。出願人が開示している基板検査装置は、被検査基板を保持可能な複数の基板着脱部を備えて被検査基板を搬送可能に構成された搬送手段と、被検査基板に配設された自他識別標識から基板固有情報を読み込む基板情報読込部と、基板着脱部による被検査基板の保持位置のずれを検出する基板位置ズレ検出部と、被検査基板を検査する基板検査部と、基板検査装置の各部を総括的に制御する中央処理手段とを備えて構成されている。
この基板検査装置では、搬送手段が、中央処理手段の制御に従い、基板供給部(供給/搬出部)から、基板情報読込部による読込み処理位置、基板位置ズレ検出部による検出処理位置、および基板検査部による検査処理位置を経て基板供給部(供給/搬出部)に被検査基板を順次搬送する構成が採用されている。また、この基板検査装置では、中央処理手段が、基板情報読込部において読み込まれた基板固有情報に基板検査部による検査結果を関連付けて保持することにより、例えば、基板検査部による再検査を要すると検査された基板と、基板検査部による検査を実施していない未検査の基板と混在させた状態で搬送手段に搬送させることが可能となっている。
特願2012−037491
ところが、出願人が開示している基板検査装置には、以下の改善すべき課題が存在する。すなわち、出願人が開示している基板検査装置では、被検査基板に配設された自他識別標識から基板固有情報を読み込む基板情報読込部を備えると共に、中央処理手段が、基板情報読込部によって読み込まれた基板固有情報に基板検査部による検査結果を関連付けて保持することによって再検査の基板と新規に検査する基板とを区別し、基板検査部において再検査処理および新規の検査処理のいずれかを実行させる構成が採用されている。
一方、被検査基板の検査に際しては、一例として、出願人が開示している基板検査装置のように被検査基板を電気的に検査する検査装置(以下、「電気的検査装置」ともいう)による検査に先立ち、電気的検査装置とは別個に用意した画像検査装置(被検査基板を撮像した画像データの画像解析によって被検査基板の良否を検査する装置)によって部品の未実装や半田付け不良等の不良箇所の有無を検査し、電気的検査装置による電気的検査に際して画像検査装置によって不良箇所と検査された部位を検査せずに他の部位のみを電気的に検査したり、画像検査装置によって不良箇所と検査された部位を電気的検査装置によって詳細に検査したりすることが広く行われている。
この場合、一例として、画像検査装置によって不良箇所と検査された部位を検査せずに、その他の部位だけを電気的検査装置によって検査する際には、例えば、画像検査装置による検査を完了したときに、検査を完了した被検査基板の基板固有情報と不良箇所を特定可能な情報とを関連付けて記録した検査簿を作成し、検査簿に記録されている事項に基づき、電気的検査装置による検査条件を設定することで、画像検査装置によって不良箇所と検査された部位を除いて電気的検査装置によって検査することが可能となる。しかしながら、そのような手順で両検査装置による検査を行う場合には、検査簿の作成や、検査簿の記録事項に基づく検査条件の設定作業が非常に煩雑となる。
一方、上記のような煩雑な作業を不要とするために、一例として、画像検査装置において被検査基板の基板固有情報と不良箇所に関する情報とを関連付けて記録した検査結果データを生成し、この検査結果データを電気的検査装置において取得して、画像検査装置によって不良箇所と検査された部位を除いて電気的検査装置において検査させる検査方法も考えられる。しかしながら、例えば、画像検査装置の製造メーカと、電気的検査装置の製造メーカとが相違する場合には、画像検査装置において生成された検査結果データに記述されている事項を電気的検査装置において認識することができないことがある。
このため、一例として、画像検査装置によって生成される検査結果データに、「基板固有情報」、「検出した不良の内容」および「基板上における不良箇所の位置」がこの順で記述されているのに対し、電気的検査装置において、「基板固有情報」、「基板上における不良箇所の位置」および「検出した不良の内容」がこの順で記述された検査結果データに基づいて再検査する構成が採用されているときには、画像検査装置における検査結果データの生成手順、および電気的検査装置における検査結果データの生成手順の少なくとも一方を変更して両検査装置における検査手順データの書式を統一する必要がある。
しかしながら、例えば出願人が開示している基板検査装置と併用され得る画像検査装置の種類が多数存在する現状において、利用者の検査環境(利用者が所有する画像検査装置)に応じて基板検査装置の一連の検査手順を変更するのは非常に困難であり、そのような変更作業を実施したときには、検査コストが高騰するおそれがある。したがって、この点を改善するのが好ましい。
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、検査コストの高騰を招くことなく、第1の基板検査装置による検査結果を第2の基板検査装置において有効利用させ得る基板搬送装置および基板検査システムを提供することを主目的とする。
上記目的を達成すべく請求項1記載の基板搬送装置は、第1の基板検査装置による検査が完了している回路基板を第1の位置から第2の基板検査装置に搬送する基板搬送機構を備えた基板搬送装置であって、前記回路基板に対して個別的に付与された識別符号を当該回路基板から取得する識別符号取得部と、前記第1の基板検査装置によって前記回路基板についての検査結果が当該回路基板の前記識別符号に関連付けられて記録された第1の検査結果データを記憶する記憶部と、前記基板搬送機構を制御して前記回路基板を前記第2の基板検査装置に搬送させる第1の処理、前記識別符号取得部を制御して前記第1の処理によって搬送される前記回路基板の前記識別符号を取得させる第2の処理、および当該第2の処理によって取得された前記識別符号と前記記憶部から読み出した前記第1の検査結果データとに基づいて前記第1の処理によって搬送される前記回路基板についての前記検査結果を特定すると共に、特定した当該検査結果を当該検査結果に対応する前記回路基板の前記識別符号に関連付けて前記第2の基板検査装置による認識が可能な書式で記述して第2の検査結果データを生成する第3の処理を実行可能に構成された処理部とを備えている。
また、請求項2記載の基板搬送装置は、請求項1記載の基板搬送装置において、前記基板搬送機構は、前記第2の基板検査装置による検査が完了した前記回路基板を当該第2の基板検査装置から第2の位置に搬送可能に構成され、前記処理部は、前記基板搬送機構を制御して前記回路基板を前記第2の位置に搬送させる第4の処理、および当該第4の処理によって搬送される前記回路基板についての前記第2の基板検査装置による検査結果を取得すると共に、取得した当該検査結果を当該検査結果に対応する前記回路基板の前記識別符号に関連付けて基板処理装置による認識が可能な書式で記述して第3の検査結果データを生成する第5の処理を実行可能に構成されている。
また、請求項3記載の基板検査システムは、請求項1または2記載の基板搬送装置と、前記第2の基板検査装置とを備えて構成されている。
請求項1記載の基板搬送装置では、基板搬送機構を制御して第1の基板検査装置による検査が完了している回路基板を第2の基板検査装置に搬送させる第1の処理、識別符号取得部を制御して回路基板の識別符号を取得させる第2の処理、および取得された識別符号と第1の基板検査装置によって生成された第1の検査結果データとに基づいて第1の処理によって搬送される回路基板についての検査結果を特定すると共に、特定した検査結果をその回路基板の識別符号に関連付けて第2の基板検査装置による認識が可能な書式で記述して第2の検査結果データを生成する第3の処理を実行可能に構成されている。また、請求項3記載の基板検査システムでは、上記の基板搬送装置と、第2の基板検査装置とを備えて構成されている。
したがって、請求項1記載の基板搬送装置、および請求項3記載の基板検査システムによれば、第1の基板検査装置と、第1の基板検査装置による検査が完了した回路基板を検査する第2の基板検査装置とで検査結果データの書式が相違する場合においても、両基板検査装置については何ら変更することなく、基板搬送装置において、第1の基板検査装置によって生成された第1の検査結果データに基づいて第2の基板検査装置が識別可能な第2の検査結果データを生成することで、第1の基板検査装置による検査結果を第2の基板検査装置に出力して利用させることができる。この結果、両基板検査装置の検査手順に関する仕様を変更せずに、基板搬送装置による処理手順(第1の検査結果データに基づく第2の検査結果データの生成手順)を利用者の検査環境に応じて変更するだけで、各種の基板検査装置の検査結果を低コストで有効利用することができる。
また、請求項2記載の基板搬送装置では、基板搬送機構を制御して回路基板を第2の位置に搬送させる第4の処理、および第4の処理によって搬送される回路基板についての第2の基板検査装置による検査結果を取得すると共に、取得した検査結果を検査結果に対応する回路基板の識別符号に関連付けて基板処理装置による認識が可能な書式で記述して第3の検査結果データを生成する第5の処理を実行可能に構成されている。
したがって、請求項2記載の基板搬送装置によれば、第2の基板検査装置と、第2の基板検査装置による検査が完了した回路基板を処理する基板処理装置とで検査結果データの書式が相違する場合においても、第2の基板検査装置や基板処理装置については何ら変更することなく、基板搬送装置において、第2の基板検査装置による回路基板の検査結果に基づいて基板処理装置が識別可能な第3の検査結果データを生成することで、第2の基板検査装置による検査結果を基板処理装置に出力して利用させることができる。この結果、第2の基板検査装置の検査手順や基板処理装置の処理手順に関する仕様を変更せずに、基板搬送装置による処理手順(第2の基板検査装置による検査結果に基づく第3の検査結果データの生成手順)を利用者の検査環境に応じて変更するだけで、第2の基板検査装置の検査結果を各種の基板処理装置に低コストで有効利用させることができる。
以下、本発明に係る基板搬送装置および基板検査システムの実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
図1に示す基板検査システム1は、「基板検査システム」の一例であって、基板搬送装置10および基板検査装置20を備え、基板検査装置30による検査を完了した検査対象基板X0001,X0002・・(「回路基板」の一例:図2参照:以下、区別しないときには「検査対象基板X」ともいう)を電気的に検査すると共に、基板検査装置20による検査結果を各検査対象基板Xに関連付けた検査結果データD3(「第3の検査結果データ」の一例)を生成して基板検査装置40に供給可能に構成されている。この場合、図2に示すように、検査対象基板Xは、パターン形状や搭載部品等が互いに等しい基板Xa〜Xdの4枚が面付けされた多面取り基板であって、他の検査対象基板Xと識別可能に各検査対象基板X毎に個別的に付与された「識別符号」を示すバーコードラベルLがそれぞれ貼付されている。
また、基板検査装置30は、「第1の基板検査装置」に相当し、一例として、画像検査装置で構成されている。この基板検査装置30は、検査対象基板Xに付与されている「識別符号」にその検査対象基板Xについての検査結果を関連付けて記録した検査結果データD1(「第1の検査結果データ」の一例)を生成可能に構成されている。さらに、基板検査装置40は、「基板処理装置」に相当し、一例として、複数組の検査用プローブをプローブ移動機構によって別個独立して移動させて検査対象基板X上の任意の検査ポイントを電気的に検査可能なフライングプローブ式の電気的検査装置で構成されている。この基板検査装置40は、後述するように基板搬送装置10によって生成される検査結果データD3に基づき、基板検査装置20によって不良箇所ありと検査された検査対象基板Xを再検査可能に構成されている。
なお、基板検査装置30,40の構成や検査手順については公知のため、各構成要素や検査手順についての図示および詳細な説明を省略する。また、本例では、一例として、基板検査装置30,40が基板検査システム1とは相違する検査場所に設置されると共に、基板検査システム1における基板検査装置20と基板検査装置40とが出願人が開発した装置で構成され、かつ、基板検査装置30が他社製の装置で構成されているものとする。
一方、基板搬送装置10は、「基板搬送装置」の一例であって、基板搬送機構11、バーコードリーダー12、記憶部13および処理部14を備えて構成されている。基板搬送機構11は、「基板搬送機構」の一例であって、後述するように処理部14の制御に従い、基板検査装置30による画像検査が完了し、かつ基板検査装置20による電気的検査を完了していない検査対象基板Xをスタック位置P1a(「第1の位置」の一例)から基板検査装置20における搬入搬出位置P2に搬送する(基板検査装置20への検査対象基板Xの搬入)と共に、基板検査装置20による電気的検査を完了した検査対象基板Xを、搬入搬出位置P2からスタック位置P1b(「第2の位置」の一例)に搬送する(基板検査装置20からの検査対象基板Xの搬出)。
バーコードリーダー12は、「識別符号取得部」に相当し、一例として、基板搬送機構11が上記のスタック位置P1aから搬入搬出位置P2に搬送している間に、検査対象基板XのバーコードラベルLから「識別符号」を読み取って識別符号データDcを処理部14に出力するラインカメラを備えて構成されている。記憶部13は、「記憶部」の一例であって、変換手順データD0および制御プログラムDpを記憶すると共に、後述するように基板検査装置30から取得した検査結果データD1、処理部14によって生成される検査結果データD2a(「第2の検査結果データ」の一例)、基板検査装置20から取得した検査結果データD2b、および処理部14によって生成されて基板検査装置40に供給される検査結果データD3などを記憶する。
この場合、変換手順データD0には、上記したように基板検査装置30によって生成される検査結果データD1を基板検査装置20によって認識可能な書式に変換したり、後述するように基板検査装置20によって生成される検査結果データD2bを基板検査装置40によって認識可能な書式に変換したりするための変換手順が記録されている。また、制御プログラムDpには、処理部14が、基板搬送機構11を制御して検査対象基板Xを搬送させたり、バーコードリーダー12を制御して「識別符号」を読み取らせたり、上記の変換手順データD0に従って検査結果データD1を基板検査装置20が認識可能な書式に変換して検査結果データD2aを生成したり、変換手順データD0および基板検査装置20によって生成される検査結果データD2bに基づいて上記の検査結果データD3を生成したりする処理手順が記録されている。
処理部14は、「処理部」に相当し、基板搬送装置10を総括的に制御する。この場合、本例の基板搬送装置10では、一例として、制御プログラムDpがインストールされた既存の電子端末(パーソナルコンピュータ等)で処理部14が構成されている。なお、本例では、上記の記憶部13も上記の既存の電子端末の記憶素子で構成されており、この記憶部13および処理部14(電子端末)を基板搬送機構11やバーコードリーダー12から切り離して任意の場所に携行することができるように構成されている。
この処理部14は、制御プログラムDpに従い、基板搬送機構11を制御して検査対象基板Xをスタック位置P1aから基板検査装置20の搬入搬出位置P2に搬送させる処理(「第1の処理」の一例)を実行する。また、処理部14は、制御プログラムDpに従い、基板搬送機構11によってスタック位置P1aから搬入搬出位置P2に検査対象基板Xを搬送させている間に、バーコードリーダー12を制御して検査対象基板XのバーコードラベルLから「識別符号」を読み取らせる処理(「第2の処理」の一例)を実行する。
さらに、処理部14は、変換手順データD0および制御プログラムDpに従い、バーコードリーダー12から出力された識別符号データDcに対応する「識別符号」と、記憶部13から読み出した検査結果データD1とに基づき、基板搬送機構11が基板検査装置20に搬送する検査対象基板Xについての検査結果を特定すると共に、特定した検査結果を、その検査結果に対応する検査対象基板Xの「識別符号」に関連付けて基板検査装置20による認識が可能な書式で記述して検査結果データD2aを生成し、生成した検査結果データD2aを基板検査装置20に出力する処理(「第3の処理」の一例)を実行する。
また、処理部14は、制御プログラムDpに従い、基板搬送機構11を制御して基板検査装置20による検査を完了した検査対象基板Xを搬入搬出位置P2からスタック位置P1bに搬送させる処理(「第4の処理」を実行する)。さらに、処理部14は、変換手順データD0および制御プログラムDpに従い、上記のように搬入搬出位置P2からスタック位置P1bに搬送される検査対象基板Xについての基板検査装置20による「検査結果」が記録された検査結果データD2bを取得すると共に、取得した検査結果データD2bに記録されている「検査結果」を、その「検査結果」に対応する検査対象基板Xの「識別符号」に関連付けて基板検査装置40による認識が可能な書式で記述して検査結果データD3を生成する処理(「第5の処理」の一例)を実行する。また、処理部14は、基板検査装置40からの要求に応じて検査結果データD3を基板検査装置40に供給する処理を実行する。
一方、基板検査装置20は、「第2の基板検査装置」の一例であって、基板搬送機構21、検査処理部22、記憶部23および処理部24を備えて構成されている。基板搬送機構21は、処理部24の制御に従い、基板搬送装置10によって搬入搬出位置P2に搬送された検査対象基板Xを検査処理部22による検査処理位置P3に搬送すると共に、検査処理部22による検査を完了した検査対象基板Xを検査処理位置P3から搬入搬出位置P2に搬送する。検査処理部22は、一例として、検査対象基板Xにおける各基板Xa〜Xdのパターン形状に応じて規定された複数のプロービングポイントの位置に応じて複数の検査用プローブが植設された検査用治具(図示せず)を備え、処理部24の制御に従い、検査用治具の各検査用プローブを各基板Xa〜Xdに順次プロービングさせた状態で検査対象基板Xを電気的に検査する(基板検査装置20が「治具型の電気的検査装置」で構成されている例)。記憶部23は、検査結果データD2a,D2bや処理部24の動作プログラム(検査対象基板Xの検査手順など)を記憶する。
処理部24は、基板検査装置20を総括的に制御する。具体的には、処理部24は、基板搬送機構21を制御して搬入搬出位置P2から検査処理位置P3に検査対象基板Xを搬送させると共に、検査処理部22を制御して検査対象基板Xの電気的検査を実行させる。この際に、処理部24は、基板搬送装置10から出力された検査結果データD2aに基づき、検査処理位置P3に搬送させた検査対象基板Xの基板Xa〜Xdに不良箇所が存在するか否かを判別し、一例として、不良箇所が存在する基板については、不良の基板として、検査処理部22による電気的検査を実行させずに、不良箇所が存在しない基板だけを対象として検査対象基板Xを電気的検査を実行させる。
また、処理部24は、検査処理部22による検査を完了した検査対象基板Xを検査処理位置P3から搬入搬出位置P2に搬送させると共に、検査処理部22による検査対象基板Xについての検査結果を、その検査対象基板Xの「識別符号」(一例として、検査結果データD2aに基づいて特定した「識別符号」)に関連付けて記録することで検査結果データD2bを生成し、生成した検査結果データD2bを基板搬送装置10に出力する。
この基板検査システム1による検査対象基板Xの電気的検査に際しては、まず、上記の変換手順データD0を生成し、記憶部13に記憶させる作業を実行する。
この場合、一例として、上記の基板検査装置30が他国製の検査装置であったり、基板検査装置30の設置場所(検査対象基板Xの検査処理が実行される場所)が他国であったり、基板検査装置30の利用者(検査者)が他国の者であったりするときには、検査結果データD1を検査結果データD2aに変換するために必要な諸情報を、基板検査装置30の利用者と電話や電子メールによってやり取りして正確な変換手順データD0を生成するのが困難となるおそれがある。したがって、本例の基板検査システム1(基板搬送装置10)では、記憶部13および処理部14を構成する電子端末を基板搬送装置10(基板検査システム1)から切り離して基板検査装置30の設置場所(基板検査装置30の利用者の所在地)に携行し、基板検査装置30の利用者と直接対話しながら検査結果データD1を検査結果データD2aに変換するために必要な諸情報を取得して変換手順データD0を生成することで、正確かつスムーズに変換手順データD0を生成することが可能となっている。
また、本例では、基板検査システム1の製造者と基板検査装置40の製造者とが同一であり、上記の検査結果データD1を検査結果データD2aに変換するための変換手順データD0の生成時とは異なり、検査結果データD2bを検査結果データD3に変換するために必要な諸情報をある程度正確かつ容易に取得することができる。しかしながら、例えば、基板検査装置40の製造時期が基板検査装置20の製造時期とは大きく相違するとき(基板検査装置40が旧式の検査装置のとき)には、基板検査装置40に施されているカスタマイズの状態等に応じて、基板検査装置40の設置場所に電子端末を携行し、基板検査装置40の利用者(検査者)と直接対話しながら基板検査装置40の現状に即した変換手順データD0を生成するのが好ましい。
なお、上記の「変換に必要な諸情報」とは、一例として、各検査対象基板Xに付与された「識別符号」、各検査対象基板Xにおける「不良箇所の位置」および各検査対象基板Xにおける「不良の内容」などの項目の記述の順序や、「検査結果データ」のデータ形式などの各種の「書式情報」を意味する。また、実際の検査結果データD1,D2a,D2b,D3では、上記のような項目の他にも、「検査結果」に関する各種の項目が記録されているが、基板検査システム1(基板搬送装置10)による各処理についての理解を容易とするために、それらの項目等についての説明を省略する。また、取得した「諸情報」に基づいて変換手順データD0を生成する作業とは、上記の各項目の順序を入れ替えたり、データ形式を変換したりするための情報を、検査結果データD1および検査結果データD2aに関連付けて記録したり、検査結果データD2bおよび検査結果データD3に関連付けて記録したりする作業を意味する。
一方、変換手順データD0の生成および記憶部13への記憶を完了した状態において、基板検査装置30による画像検査を完了した検査対象基板Xを基板検査装置20によって電気的に検査する際には、まず、基板検査装置30による画像検査を完了している各検査対象基板Xをスタック位置P1aに載置すると共に、載置した各検査対象基板Xについての検査結果データD1を基板検査装置30から取得して記憶部13に記憶させる。なお、検査結果データD1の取得および記憶部13への記憶については、各種通信網を介して基板検査装置30から直接(または、所定のデータサーバを経由して)基板搬送装置10に読み込ませたり、検査結果データD1が記憶されたリムーバブルメディアを取得して、このリムーバブルメディアを介して基板搬送装置10に読み込ませたりすることができる。
この場合、図2に示すように、本例では、一例として、基板Xbに不良箇所が存在するとの「検査結果」が検査対象基板X0001の「識別符号」に関連付けられて検査結果データD1として記録され、かつ、基板Xdに不良箇所が存在するとの「検査結果」が検査対象基板X0002の「識別符号」に関連付けられて検査結果データD1として記録されると共に、基板Xa〜Xdのいずれにも不良箇所が存在しないとの「検査結果」が検査対象基板X0003の「識別符号」に関連付けられて検査結果データD1として記録されているものとする。
なお、同図では、基板Xa〜Xdのうちの基板検査装置30によって不良箇所が存在すると検査された基板の部位に左下がりの斜線を記して「検査結果」を示している。また、図示および説明を省略するが、検査対象基板X0001〜X0003以外の検査対象基板Xについても、基板検査装置30によって不良箇所が存在すると検査されたときには、そのような「検査結果」が、不良箇所が存在する位置(基板)と共に「識別符号」に関連付けられて検査結果データD1として記録され、基板検査装置30によって不良箇所が存在しないと検査されたときには、そのような「検査結果」が「識別符号」に関連付けられて検査結果データD1として記録されている。
次いで、基板検査装置20の図示しない処理開始スイッチが操作されたときに、処理部24は、基板搬送装置10に対して検査対象基板Xの搬送を要求し、これに応じて、基板搬送装置10の処理部14が、制御プログラムDpに従い、基板搬送機構11を制御して最初の検査対象基板X(一例として、検査対象基板X0001)をスタック位置P1aから搬入搬出位置P2に搬送する(「第1の処理」の実行)。この際に、処理部14は、基板搬送機構11による検査対象基板Xの搬送制御と並行してバーコードリーダー12を制御し、基板搬送機構11が搬入搬出位置P2に搬送中の検査対象基板Xに貼付されているバーコードラベルLから「識別符号」を読み取らせる(「第2の処理」の実行)。これに応じて、バーコードリーダー12は、読み取った「識別符号」を示す識別符号データDcを生成して処理部14に出力する。
また、処理部14は、バーコードリーダー12から出力された識別符号データDcに基づき、基板搬送機構11に搬送させている検査対象基板Xの「識別符号」を特定すると共に、特定した「識別符号」の検査結果データD1を記憶部13から読み出す。さらに、処理部14は、読み出した検査結果データD1に基づき、基板搬送機構11によって搬送中の検査対象基板X(この例では、検査対象基板X0001)の「検査結果」を特定すると共に、変換手順データD0に従い、識別符号データDcに基づいて特定した「識別符号」に、特定した「検査結果」を関連付けて記録して検査結果データD2aを生成する(「第3の処理」の実行)。これにより、本例では、検査対象基板X0001の基板Xbに不良箇所が存在するとの検査結果データD2aが基板搬送装置10から基板検査装置20(処理部24)に出力される。
一方、基板検査装置20では、処理部24が基板搬送機構21を制御することにより、基板搬送装置10によって搬入搬出位置P2に搬送された検査対象基板X(この例では、検査対象基板X0001)を搬入搬出位置P2から検査処理位置P3に搬送させる。また、処理部24は、検査処理部22を制御して検査処理位置P3に搬送させた検査対象基板X0001についての電気的検査を実行させる。この際に、処理部24は、基板搬送装置10(処理部14)から出力された検査結果データD2aに基づき、検査処理位置P3に搬送させた検査対象基板X0001の基板Xbに不良箇所が存在し、基板Xbが不良であると判別して、この基板Xbを除く基板Xa,Xc,Xdの3つについての検査だけを実行させる。これにより、基板検査装置20によって不良箇所が存在すると検査された不良の基板Xbについての電気的検査を実行しない分だけ、検査対象基板X0001についての検査に要する時間が短縮される。
この際に、検査処理部22は、図2に示すように、一例として、基板Xa,Xcの2つが正常であると検査すると共に、基板Xdに不良箇所が存在すると検査し、その検査結果を処理部24に出力する。なお、同図では、基板Xa〜Xdのうちの基板検査装置20によって不良箇所が存在すると検査された基板の部位に右下がりの斜線を記して「検査結果」を示している。
これに応じて、処理部24は、基板搬送機構21を制御して検査対象基板X0001を検査処理位置P3から搬入搬出位置P2に搬送させると共に、検査処理部22による検査結果(この例では、基板Xa,Xcが正常で、基板Xdに不良箇所が存在するとの検査結果)を、検査結果データD2aに記録されている検査対象基板X(すなわち、基板搬送装置10によって搬入搬出位置P2に搬送され、検査処理部22による電気的検査を実行した検査対象基板X0001)の「識別符号」に関連付けて記録して検査結果データD2bを生成する。続いて、処理部24は、生成した検査結果データD2bを基板搬送装置10(処理部14)に出力すると共に、基板搬送装置10(処理部14)に対して、検査を完了した検査対象基板Xの搬送を要求する。
また、処理部14は、基板搬送機構21を制御して、搬入搬出位置P2からスタック位置P1bに検査対象基板X0001を搬送させると共に(「第4の処理」の実行)、変換手順データD0に従い、基板検査装置20から出力された検査結果データD2bを、基板検査装置40による認識が可能な検査結果データD3に変換して記憶部13に記憶させる処理を実行する(「第5の処理」の実行)。具体的には、処理部14は、基板検査装置20(処理部24)から出力された検査結果データD2bに基づき、基板搬送機構11に搬送させている検査対象基板Xの「識別符号」、およびその検査対象基板Xについての「検査結果」を特定すると共に、その検査対象基板X(この例では、検査対象基板X0001)の「検査結果」を、特定した「識別符号」に関連付けて記録して検査結果データD3を生成する。
この際に、本例の基板検査システム1では、検査結果データD3の生成に際して、基板検査装置20による「検査結果」と併せて、この基板検査装置20による検査に先立って基板検査装置30によって検査された際の「検査結果」(この例では、基板Xbに不良箇所が存在するとの「検査結果」)を「識別符号」に関連付けて記録する。これにより、基板検査装置30によって基板Xbに不良箇所が存在すると検査され、かつ基板検査装置20によって基板Xdに不良箇所が存在すると検査されたとの「検査結果」が検査対象基板X0001の「識別符号」に関連付けて記録された検査結果データD3が生成され、最初の検査対象基板X0001についての基板検査システム1(基板検査装置20)による電気的検査が完了する。
次いで、検査対象基板X0002の検査に際しては、上記の検査対象基板X0001の検査時と同様にして、基板搬送装置10における処理部14が基板検査装置20における処理部24の要求に従って基板搬送機構11を制御して検査対象基板X0002をスタック位置P1aから搬入搬出位置P2に搬送させ、バーコードリーダー12を制御して検査対象基板X0002に貼付されているバーコードラベルLを読み取らせると共に、検査対象基板X0002についての検査結果データD1を検査結果データD2aに変換して基板検査装置20(処理部24)に出力する。これに応じて、基板検査装置20では、処理部24が基板搬送機構21を制御して検査対象基板X0002を搬入搬出位置P2から検査処理位置P3に搬送させ、検査処理部22を制御して検査対象基板X0002についての電気的検査を実行させる。
この際に、処理部24は、検査結果データD2aに基づき、検査対象基板X0002の基板Xdに不良箇所が存在し、基板Xdが不良であると判別して、この基板Xdを除く基板Xa〜Xcの3つについての検査だけを実行させる。また、この際には、図2に示すように、一例として、検査処理部22によって基板Xa〜Xcのすべてが正常であると検査され、処理部24によって、そのような「検査結果」が検査対象基板X0002の「識別符号」に関連付けられて記録されて検査結果データD2bが生成されると共に、検査を完了した検査対象基板X0002が検査処理位置P3から搬入搬出位置P2に搬送される。続いて、処理部24は、生成した検査結果データD2bを基板搬送装置10(処理部14)に出力すると共に、基板搬送装置10(処理部14)に対して、検査を完了した検査対象基板Xの搬送を要求する。
これに応じて、処理部14は、基板搬送機構11を制御して、搬入搬出位置P2からスタック位置P1bに検査対象基板X0002を搬送させると共に、変換手順データD0に従い、検査対象基板X0002についての検査結果データD2bを検査結果データD3に変換して記憶部13に記憶させる。これにより、基板検査装置30によって基板Xdに不良箇所が存在すると検査され、かつ基板検査装置20によって基板Xa〜Xcのすべてが正常であると検査されたとの「検査結果」が検査対象基板X0002の「識別符号」に関連付けて記録された検査結果データD3が生成され、2枚目の検査対象基板X0002についての基板検査システム1(基板検査装置20)による電気的検査が完了する。
この後、検査対象基板X0003以降の各検査対象基板Xについても、上記の検査対象基板X0001や検査対象基板X0002についての検査時と同様の手順で電気的検査が実行される。また、スタック位置P1aに載置されたすべての検査対象基板Xについての検査を完了したときには、スタック位置P1bに載置されたすべての検査対象基板Xについての検査結果データD3が記憶部13に記憶された状態となる。これにより、基板検査システム1(基板検査装置20)による各検査対象基板Xの検査が完了する。
一方、一例として、基板検査システム1(基板検査装置20)による電気的検査において不良箇所が存在すると検査された基板が存在する検査対象基板Xを対象として、不良箇所が存在する基板を基板検査装置40によって再検査する際には、その検査対象基板Xを基板検査装置40による検査場所に搬送する。なお、本例とは相違するが、基板検査装置40が基板検査システム1の近傍に設置されている場合には、基板搬送装置10が上記のスタック位置P1bに代えて基板検査装置40における搬入搬出位置に検査対象基板Xを自動搬送する構成を採用することもできる。また、再検査を要する検査対象基板Xの搬送と併せて、一例として、記憶部13に記憶されている検査結果データD3を、各種通信網やリムーバブルメディアを介して基板検査装置40に転送する。
また、基板検査装置40では、搬送された検査対象基板X(例えば、検査対象基板X0001)の再検査に際して、その検査対象基板Xの「識別符号」を特定すると共に、基板検査システム1(基板搬送装置10)によって生成された検査結果データD3に基づき、特定した「識別符号」の検査対象基板Xに関して基板検査装置20によって不良箇所が存在すると検査された基板Xdだけを対象とする再検査が実行される。したがって、基板Xa〜Xdのいずれかに不良箇所が存在する検査対象基板Xについて、基板Xa〜Xdのすべてを再検査するのと比較して、検査対象基板Xに不良箇所が存在するか否かを短時間で再検査することが可能となっている。
このように、この基板搬送装置10では、基板搬送機構11を制御して基板検査装置30による検査が完了している検査対象基板Xを基板検査装置20の搬入搬出位置P2に搬送させる「第1の処理」、バーコードリーダー12を制御して検査対象基板Xの「識別符号」を取得させる「第2の処理」、および取得された「識別符号」と基板検査装置30によって生成された検査結果データD1とに基づいて「第1の処理」によって搬送される検査対象基板Xについての「検査結果」を特定すると共に、特定した「検査結果」をその検査対象基板Xの「識別符号」に関連付けて基板検査装置20による認識が可能な書式で記述して検査結果データD2aを生成する「第3の処理」を実行可能に構成されている。また、この基板検査システム1では、上記の基板搬送装置10と、基板検査装置20とを備えて構成されている。
したがって、この基板搬送装置10および基板検査システム1によれば、基板検査装置30と、基板検査装置30による検査が完了した検査対象基板Xを検査する基板検査装置20とで「検査結果データ」の書式が相違する場合においても、両基板検査装置20,30については何ら変更することなく、基板搬送装置10において、基板検査装置30によって生成された検査結果データD1に基づいて基板検査装置20が識別可能な検査結果データD2aを生成することで、基板検査装置30による「検査結果」を基板検査装置20に出力して利用させることができる。この結果、基板検査装置20,30の検査手順に関する仕様を変更せずに、基板搬送装置10による処理手順(この例では、変換手順データD0の内容)を利用者の検査環境(基板検査システム1と併用する「基板検査装置」)に応じて変更するだけで、各種の「基板検査装置」の「検査結果」を低コストで有効利用することができる。
また、この基板搬送装置10および基板検査システム1では、基板搬送機構11を制御して検査対象基板Xをスタック位置P1bに搬送させる「第4の処理」、および「第4の処理」によって搬送される検査対象基板Xについての基板検査装置20による「検査結果」を取得すると共に、取得した「検査結果」をその検査対象基板Xの「識別符号」に関連付けて基板検査装置40による認識が可能な書式で記述して検査結果データD3を生成する「第5の処理」を実行可能に構成されている。
したがって、この基板搬送装置10および基板検査システム1によれば、基板検査装置20と、基板検査装置20による検査が完了した検査対象基板Xを処理する「基板処理装置(本例では、基板検査装置40)」とで「検査結果データ」の書式が相違する場合においても、基板検査装置20や「基板処理装置」については何ら変更することなく、基板搬送装置10において、基板検査装置20によって生成された検査結果データD2bに基づいて「基板処理装置」が識別可能な検査結果データD3を生成することで、基板検査装置20による「検査結果」を「基板処理装置」に出力して利用させることができる。この結果、基板検査装置20の検査手順や「基板処理装置」の処理手順に関する仕様を変更せずに、基板搬送装置10による処理手順(この例では、変換手順データD0の内容)を利用者の検査環境(基板検査システム1と併用する「基板処理装置」)に応じて変更するだけで、基板検査装置20の「検査結果」を各種の「基板処理装置」に低コストで有効利用させることができる。
なお、「基板搬送装置」および「基板検査システム」の構成は、上記の基板検査システム1の構成に限定されない。例えば、基板搬送機構11によってスタック位置P1aから搬入搬出位置P2に搬送中の検査対象基板Xに貼付されているバーコードラベルLをバーコードリーダー12によって読み取ることで「識別符号」を取得する構成を例に挙げて説明したが、バーコードラベルLの読み取り等(「識別符号」の取得)は、基板搬送機構11による搬送中に限定されるものではなく、例えば、スタック位置P1bに載置されているとき、または、搬入搬出位置P2に搬送された際に「識別符号」を取得する構成を採用することもできる。
また、「識別符号取得部」としてのバーコードリーダー12によって検査対象基板XのバーコードラベルLから「識別符号」を取得する構成を例に挙げて説明したが、「識別符号取得部」の構成はこれに限定されず、例えば、各検査対象基板Xに対して個別的に付与された「識別符号」がICタグ等に記憶されて検査対象基板Xに付されている場合には、このICタグ等から「識別符号」を読み取り可能な各種の装置(ICタグリーダー等)で「識別符号取得部」を構成することができる。
さらに、「第1の基板検査装置」としての基板検査装置30による検査に際して不良箇所が存在すると検査された基板を基板検査装置20によって検査しない検査手順を例に挙げて説明したが、基板検査装置30による検査に際して不良箇所が存在すると検査された基板を基板検査装置20によって詳細に再検査する検査手順を採用した場合においても、上記の例と同様に、基板検査装置20において再検査を実行すべき基板や再検査を実行しない基板を検査結果データD2aに基づいて基板検査装置20に確実に認識させることができる。
また、「第2の基板検査装置」としての基板検査装置20による検査に際して不良箇所が存在すると検査された基板を「基板処理装置」としての基板検査装置40によって再検査する検査手順を例に挙げて説明したが、基板検査装置20による検査に際して不良箇所が存在すると検査された基板を基板検査装置40によって検査しない検査手順を採用した場合においても、上記の例と同様に、基板検査装置40において再検査を実行すべき基板や再検査を実行しない基板を検査結果データD3に基づいて基板検査装置40に確実に認識させることができる。
さらに、「基板処理装置」としての基板検査装置40による認識が可能な書式で検査結果データD3を生成する例について説明したが、「基板処理装置」は、基板検査装置40のような基板検査装置に限定されず、一例として、基板検査装置20等による検査結果を表示する処理や検査結果を印刷する処理を実行可能な「検査結果表示装置」や「検査結果印刷装置」を「基板処理装置」として「第3の検査結果データ」を生成したり、基板検査装置20による検査を完了した検査対象基板Xを梱包する「基板梱包装置」を「基板処理装置」として「第3の検査結果データ」を生成したりすることもできる。加えて、基板検査装置20による検査結果に基づいて「第3の検査結果データ」を生成しない構成を採用することもできる。
1 基板検査システム
10 基板搬送装置
11,21 基板搬送機構
12 バーコードリーダー
13,23 記憶部
14,24 処理部
20,30,40 基板検査装置
22 検査処理部
D0 変換手順データ
D1,D2a,D2b,D3 検査結果データ
Dc 識別符号データ
Dp 制御プログラム
L バーコードラベル
P1a,P1b スタック位置
P2 搬入搬出位置
P3 検査処理位置
X 検査対象基板
Xa〜Xd 基板
10 基板搬送装置
11,21 基板搬送機構
12 バーコードリーダー
13,23 記憶部
14,24 処理部
20,30,40 基板検査装置
22 検査処理部
D0 変換手順データ
D1,D2a,D2b,D3 検査結果データ
Dc 識別符号データ
Dp 制御プログラム
L バーコードラベル
P1a,P1b スタック位置
P2 搬入搬出位置
P3 検査処理位置
X 検査対象基板
Xa〜Xd 基板
Claims (3)
- 第1の基板検査装置による検査が完了している回路基板を第1の位置から第2の基板検査装置に搬送する基板搬送機構を備えた基板搬送装置であって、
前記回路基板に対して個別的に付与された識別符号を当該回路基板から取得する識別符号取得部と、
前記第1の基板検査装置によって前記回路基板についての検査結果が当該回路基板の前記識別符号に関連付けられて記録された第1の検査結果データを記憶する記憶部と、
前記基板搬送機構を制御して前記回路基板を前記第2の基板検査装置に搬送させる第1の処理、前記識別符号取得部を制御して前記第1の処理によって搬送される前記回路基板の前記識別符号を取得させる第2の処理、および当該第2の処理によって取得された前記識別符号と前記記憶部から読み出した前記第1の検査結果データとに基づいて前記第1の処理によって搬送される前記回路基板についての前記検査結果を特定すると共に、特定した当該検査結果を当該検査結果に対応する前記回路基板の前記識別符号に関連付けて前記第2の基板検査装置による認識が可能な書式で記述して第2の検査結果データを生成する第3の処理を実行可能に構成された処理部とを備えている基板搬送装置。 - 前記基板搬送機構は、前記第2の基板検査装置による検査が完了した前記回路基板を当該第2の基板検査装置から第2の位置に搬送可能に構成され、
前記処理部は、前記基板搬送機構を制御して前記回路基板を前記第2の位置に搬送させる第4の処理、および当該第4の処理によって搬送される前記回路基板についての前記第2の基板検査装置による検査結果を取得すると共に、取得した当該検査結果を当該検査結果に対応する前記回路基板の前記識別符号に関連付けて基板処理装置による認識が可能な書式で記述して第3の検査結果データを生成する第5の処理を実行可能に構成されている請求項1記載の基板搬送装置。 - 請求項1または2記載の基板搬送装置と、前記第2の基板検査装置とを備えて構成されている基板検査システム。
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Publication Number | Publication Date |
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-
2013
- 2013-07-18 JP JP2013149016A patent/JP2015021803A/ja active Pending
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