JP2013174450A - 基板検査装置および基板検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】自他識別標識85付きの被検査基板81が着脱される基板着脱部14を搬送方向での複数箇所に設けて停止と走行とを繰り返す搬送手段13を装置本体11に備え、基板着脱部14の各停止位置に対応する装置本体11側には、基板着脱部14に対し被検査基板81を供給する基板供給部32と、自他識別標識85から基板固有情報を読み込む基板情報読込部42と、被検査基板81を検査する基板検査部62と、検査済み基板91を搬出する基板搬出部72とが配置され、装置本体11が備える中央処理手段12は、検査済み基板91中に要再検査基板を含むとして搬送手段13に再度投入された際に、要再検査基板のみを自他識別標識85に基づいて特定し、該特定基板に対してのみ基板検査部62で再検査させるようにした。
【選択図】図1
Description
11a 機械制御部
12 中央処理手段
12a 位置補正部
13 搬送手段
14 基板着脱部
15 回転テーブル
15a 周縁部
16 本体部
16a〜16d 側縁
17 突出部
18 回転軸
24 無端搬送機構
25 再検査用搬送路
32 基板供給部
42 基板情報読込部
43 情報読取り手段
52 基板位置ズレ検出部
62 基板検査部
63 計測手段
72 基板搬出部
81 被検査基板
82 シート
83 ブロック
84 ピース
85 自他識別標識
91 検査済み基板
95 構内ネットワーク(LAN)
96 I/Oインターフェース
Claims (7)
- 自他識別標識が付された被検査基板の着脱が自在な基板着脱部をその搬送方向に沿わせた複数箇所に設けて制御された停止と走行とを繰り返す搬送手段を装置本体に備えるとともに、
前記搬送手段が備える前記基板着脱部のそれぞれの停止位置との関係で定まる前記装置本体側には、現に位置する前記基板着脱部に対し前記被検査基板を供給する基板供給部と、現に位置する前記被検査基板の前記自他識別標識から基板固有情報を読み込む基板情報読込部と、現に位置する前記被検査基板を検査する基板検査部と、現に位置する前記基板着脱部から検査済み基板を搬出する基板搬出部とが少なくとも配置され、
前記装置本体が備える中央処理手段は、前記基板検査部を経た前記検査済み基板中に再検査が必要な要再検査基板が混在するとして前記搬送手段に再度投入された際に、前記検査済み基板中から前記要再検査基板を前記自他識別標識に基づいて特定し、該特定基板に対してのみ前記基板検査部で再検査させるようにしたことを特徴とする基板検査装置。 - 前記基板情報読込部には、現に位置する前記被検査基板の位置ズレの有無を検出する基板位置ズレ検出部をも兼備させた請求項1に記載の基板検査装置。
- 前記搬送手段は、前記基板検査部に至る前の適宜位置にも前記基板着脱部を備え、
該基板着脱部が停止する前記装置本体側には、現に位置する前記被検査基板の位置ズレの有無を検出する基板位置ズレ検出部を配置した請求項1に記載の基板検査装置。 - 前記搬送手段は、前記基板着脱部をその周縁部の複数箇所に設け、かつ、周方向で隣り合う前記基板着脱部の位置との関係で定まる一定の回転角での停止が可能となって回転自在に軸支された回転テーブルである請求項1ないし3のいずれかに記載の基板検査装置。
- 前記基板供給部が配置されている前記回転テーブルの停止位置には、前記基板搬出部も併置させた請求項4に記載の基板検査装置。
- 前記搬送手段は、直線的な停止と走行とを繰り返す無端搬送機構または往復移動機構である請求項1ないし3のいずれかに記載の基板検査装置。
- 請求項1ないし6のいずれかに記載の基板検査装置により前記被検査基板を検査することを特徴とする基板検査方法。
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