JP4820731B2 - 基板検査装置及び基板検査方法 - Google Patents
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- 検査対象となる複数の単位基板が複数行複数列のマトリクス状に形成されてなるマザー基板に対する電気的特性に関する検査を行う基板検査装置であって、
前記マザー基板内の前記各単位基板の検査点の位置を検出する位置検出部と、
前記マザー基板の1列分の前記単位基板の数と同数の一列に配置されたプローブ群を具備する検査治具ユニットを有し、前記位置検出部による検出結果に基づいて前記マザー基板と前記検査治具ユニットとの位置合わせを行って、前記検査治具ユニットを前記マザー基板の各列の前記単位基板に直接接触させて前記単位基板に対する電気的特性に関する検査を行う検査部と、
を備え、
前記位置検出部は、前記マザー基板の各列内のいずれかの前記単位基板を基準単位基板としてその基準単位基板の検査点である基準基板検査点の位置を検出するとともに、その列内の他の単位基板の検査点である他基板検査点の位置に関しては、前記基準基板検査点の位置を基準としたときの設計上の理想位置からの位置ずれ幅を検出し、
前記検査部は、前記位置検出部により検出された前記マザー基板の各列内の前記基準単位基板の前記基準基板検査点の位置と、前記基準単位基板以外の単位基板の前記他基板検査点の前記理想位置からの位置ずれ幅とに基づいて前記マザー基板と前記検査治具ユニットとの位置合わせを行って、前記マザー基板の各列内の前記単位基板に対する検査を行うことを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1に記載の基板検査装置において、
前記検査部は、前記マザー基板の各列内の検査処理において、前記位置検出部の検出結果に基づき、前記基準単位基板と、前記他基板検査点の前記位置ずれ幅が許容範囲内にある単位基板とについては、前記基準単位基板を基準として位置合わせして検査を行い、前記他基板検査点の前記位置ずれ幅が許容範囲内にない単位基板については、その位置ずれ幅に応じて位置合わせして検査を行うことを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の基板検査装置において、
前記基準単位基板には、前記マザー基板の各列の中央に位置する単位基板が設定されることを特徴とする基板検査装置。 - 請求項2に記載の基板検査装置において、
前記検査部は、前記マザー基板の各列内の検査処理において、前記位置検出部の検出結果に基づき、前記他基板検査点の前記位置ずれ幅が許容範囲内にない単位基板については、前記基準単位基板を基準として、その位置ずれ幅に応じて前記マザー基板の列方向及びその列方向に直交する行方向に前記マザー基板と前記検査治具ユニットとの位置関係を補正して検査を行うことを特徴とする基板検査装置。 - 請求項2に記載の基板検査装置において、
前記検査部は、前記マザー基板の各列内の検査処理において、前記位置検出部の検出結果に基づき、前記他基板検査点の前記位置ずれ幅が許容範囲内にない単位基板については、前記基準単位基板を基準として、その位置ずれ幅に応じて前記マザー基板の列方向に前記マザー基板と前記検査治具ユニットとの位置関係を補正して検査を行うことを特徴とする基板検査装置。 - 検査対象となる複数の単位基板が複数行複数列のマトリクス状に形成されてなるマザー基板に対する電気的特性に関する検査を行う基板検査装置であって、
前記マザー基板内の前記各単位基板の検査点の位置を検出する位置検出部と、
前記マザー基板の1列分の前記単位基板の数と同数の一列に配置されたプローブ群を具備する検査治具ユニットを有し、前記位置検出部による検出結果に基づいて前記マザー基板と前記検査治具ユニットとの位置合わせを行って、前記検査治具ユニットを前記マザー基板の各列の前記単位基板に直接接触させて前記単位基板に対する電気的特性に関する検査を行う検査部と、
を備え、
前記位置検出部は、前記マザー基板の各列内の各単位基板内に設定されたマークの位置を基準としたときの列内の各単位基板の検査点の設計上の理想位置からの位置ずれ幅を検出し、
前記検査部は、前記マザー基板の各列内の検査処理において、前記位置検出部の検出結果に基づき、列内のすべての前記単位基板について前記検査点の前記位置ずれ幅が許容範囲内にある場合は、前記検査治具ユニットと前記マザー基板との1回の位置合わせにより、列内のすべての前記単位基板に対する検査を一度に行う一方、列内の少なくともいずれか1つの前記単位基板について前記検査点の前記位置ずれ幅が許容範囲内にない場合は、前記検査点の前記位置ずれ幅が許容範囲内にある前記単位基板が複数あるときはその複数の単位基板について前記検査治具ユニットと前記マザー基板との位置合わせを一度に行って検査を行い、前記検査点の前記位置ずれ幅が許容範囲内にない前記単位基板については、前記検査治具ユニットと前記マザー基板との位置合わせを個別に行って検査を行うことを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1ないし請求項6のいずれかに記載の基板検査装置において、
前記マザー基板に対する前記位置検出部による位置検出と、前記検査部による検査とが当該基板検査装置内の異なる場所で行われることを特徴とする基板検査装置。
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