JP2002131359A

JP2002131359A - 基板検査装置

Info

Publication number: JP2002131359A
Application number: JP2000320523A
Authority: JP
Inventors: Hideo Nishikawa; 秀雄西川
Original assignee: Nidec Read Corp
Current assignee: Nidec Read Corp
Priority date: 2000-10-20
Filing date: 2000-10-20
Publication date: 2002-05-09

Abstract

(57)【要約】【課題】同一の回路パターンが所定ピッチ単位で複数
配列された被検査基板を検査することができ、かつ、検
査治具の汎用性の向上と検査領域の拡大を図ることがで
きる簡素な構成からなる基板検査装置を提供する。【解決手段】被検査基板１１の搬送を行なうベルト式
搬送機構５と、このベルト式搬送機構５によって搬送さ
れる被検査基板１１を基準位置に停止させる基板停止機
構６と、各回路パターンが検査位置に位置決めされるよ
うに被検査基板１１の上記基準位置からの移動を制御す
る移動制御手段と、検査位置に設けられ、検査位置に位
置決めされた被検査基板１１の回路パターンに検査治具
４１のプローブ４２を当接させて回路パターンの検査を
行なう検査ユニット４Ｕ，４Ｄとを備えた構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、同一の回路パター
ンが所定ピッチで複数配列された被検査基板を検査する
のに適した基板検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、被検査基板の回路パターンに
検査治具のプローブを当接させて検査する基板検査装置
が用いられている。しかしながら、１枚のプリント基板
に同一の回路パターンが所定ピッチで複数配列されてい
る場合に、基板検査装置を用いて１枚分の検査を１度で
行うためには検査治具が大きくなって装置全体が大型化
する等の問題があった。

【０００３】そこで、こうした問題を解消するための基
板検査装置が考えられた。例えば、図１０に示すよう
に、この基板検査装置９０は、同一の回路パターンＰ１
〜Ｐ４が所定ピッチＬで４つ配列されている被検査基板
９１を検査するためのものであって、モータ９６，９
６’によってプーリを介して駆動され被検査基板９１を
搬送するための一対の搬送ベルト９５，９５’と、これ
らの搬送ベルト９５，９５’によって搬送される被検査
基板９１の前縁に当接して被検査基板９１を停止させる
ストッパ９２，９２’と、これらのストッパ９２，９
２’の位置を連結部材９４，９４’を介して所定間隔で
移動させるストッパ駆動機構９３，９３’とを備えてい
る。

【０００４】この基板検査装置９０では、図１１（ａ）
に示すように、まず、被検査基板９１の回路パターンＰ
１が検査位置Ｔに位置決めされる位置に、ストッパ９
２，９２’をストッパ駆動機構９３，９３’によって移
動させる。次に、搬送ベルト９５，９５’によって被検
査基板９１を搬送し、被検査基板９１の前縁にストッパ
９２，９２’を当接させて被検査基板９１を停止させ、
回路パターンＰ１を検査位置Ｔに位置決めして、回路パ
ターンＰ１の検査を行う。次に、図１１の（ｂ）〜
（ｄ）に示すように、上述したと同様にして被検査基板
９１の各回路パターンＰ２〜Ｐ４を検査位置Ｔに順次位
置決めして検査することで、１枚の被検査基板９１にお
ける複数の回路パターンＰ１〜Ｐ４を小型の検査治具で
検査できるように構成されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の基板検査装置９０は、被検査基板９１を停止させる
ストッパ９２，９２’をストッパ駆動機構９３，９３’
によって所定間隔Ｌで移動させて、被検査基板９１の各
回路パターンＰ１〜Ｐ４を検査位置Ｔに位置決めする構
成をとっているため、図１２の平面図に示すように、２
点鎖線で表す矩形の検査可能領域Ｒ１における斜線で表
す領域Ｒ３，Ｒ４がストッパ９２，９２’の移動範囲で
占有され、検査領域がドットパターンで表す領域Ｒ１に
制限されるという問題があった。

【０００６】また、ストッパ９２，９２’を移動させる
ストッパ駆動機構９３，９３’を構成することによっ
て、基板検査装置９０が複雑な構造になり組立や動作調
整を行うのに手間がかかることに加えて、装置全体が大
型化し製造原価が高くなるといった問題も生じる。

【０００７】更には、図１２の平面図に示すように、移
動するストッパ９２，９２’と検査治具９７との干渉を
なくすために、ドットパターンで表す検査領域Ｒ１に合
わせて切欠を設けた特殊形状の専用検査治具９７を用い
る必要があり、検査治具の汎用性の点でも問題があっ
た。

【０００８】本発明は、こうした従来技術の課題を解決
するものであり、同一の回路パターンが所定ピッチ単位
で複数配列された被検査基板を検査することができ、か
つ、検査治具の汎用性の向上と検査領域の拡大を図るこ
とができる簡素な構成からなる基板検査装置を提供する
ことを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、同一の回路パ
ターンが所定ピッチ単位で複数配列された被検査基板
を、一の回路パターンが検査位置に位置決めされる所定
の基準位置に搬送して検査した後、上記所定のピッチ単
位で移動させて各回路パターンを上記検査位置に順次位
置決めしつつ各回路パターンを検査する基板検査装置で
あって、上記被検査基板の搬送を行なう搬送手段と、上
記搬送手段によって搬送される上記被検査基板を上記基
準位置に停止させる基板停止手段と、各回路パターンが
上記検査位置に位置決めされるように上記被検査基板の
上記基準位置からの移動を制御する移動制御手段と、上
記検査位置に設けられ、当該検査位置に位置決めされた
上記被検査基板の回路パターンに検査治具のプローブを
当接させて回路パターンの検査を行なう検査手段とを備
える。

【００１０】上記構成によれば、搬送手段によって搬送
されてくる被検査基板を、基板停止手段によって一の回
路パターンが検査位置に位置決めされる所定の基準位置
に搬送して正確に停止させ、そこで検査手段によって被
検査基板の回路パターンの１つを検査することが可能と
なる一方、移動制御手段によって基準位置を基準にして
被検査基板を移動させて検査位置に各回路パターンを位
置決めし、検査手段によって被検査基板の各回路パター
ンを検査することが可能となる。

【００１１】しかも、移動制御手段によって被検査基板
を移動させて検査位置に各回路パターンを位置決めし
て、単位検査領域となる１つの回路パターンの検査を繰
り返すことによって被検査基板の全検査領域を検査する
構成であるため、検査手段を簡素で小型かつ軽量なもの
とすることが可能となる。

【００１２】更には、搬送手段に移動制御手段を構成し
たため、基板停止手段を搬送方向に移動させて被検査基
板を各検査位置に位置決めするための移動機構を構成す
る必要がなくなり、その分、基板停止手段を簡素で小型
なものとすることが可能となる。しかも、移動制御手段
によって被検査基板を移動させて検査位置に各回路パタ
ーンを位置決めするため、基板停止手段を検査位置を避
けて配置することが可能となり、検査領域が基板停止手
段及びその移動機構で占有されることがなくなり、その
分、検査領域の拡大を図ることが可能となる。加えて、
検査手段を構成する検査治具として、基板停止手段及び
その移動機構との干渉をなくすための切欠を設けた専用
の検査治具を用いる必要がなくなり、検査治具の形状に
おける制限もなくなるため、検査治具の汎用性の向上を
図ることが可能となる。

【００１３】また、上記した本発明の基板検査装置にお
いて、上記被検査基板の各回路パターンに対応して形成
されたガイド孔と上記検査手段の検査治具に立設された
上記ガイド孔に嵌入可能なガイドピンとを有し、上記検
査位置に各回路パターンが位置決めされると、上記被検
査基板と上記検査治具とを相対的に近接させることによ
り上記ガイドピンを上記ガイド孔に係合させて上記検査
位置に位置決めされた被検査基板の位置ずれを補正する
位置ずれ補正手段を備えた構成とする。

【００１４】この構成によれば、移動制御手段で位置決
めれた被検査基板を、位置ずれ補正手段における検査治
具のガイドピンに被検査基板のガイド孔を係合させて、
検査位置に位置決めされた被検査基板の位置ずれを補正
するため、被検査基板をより一層確実かつ高精度に位置
決めを行うことが可能となる。

【００１５】また、被検査基板に設けられた基準マーク
と、この基準マークを撮像する撮像手段とを有し、被検
査基板の基準マークを撮像手段で撮像して位置ずれを検
出し、それに基づいて検査治具を移動させて位置合わせ
を行う位置合わせ手段を備えた構成とする。

【００１６】この構成によれば、位置合わせ手段によっ
て被検査基板の基準マークを撮像手段で撮像して位置ず
れを検出し、それに基づいて検査治具を移動させて高精
度に位置合わせを行うため、被検査基板の回路パターン
に検査治具のプローブを確実に当接させて回路パターン
の検査を行なうことが可能となり、検査の信頼性の向上
を図ることが可能となる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を図
面に基づいて具体的に説明する。

【００１８】図１〜図６は、本発明による基板検査装置
１の構成例を示す。

【００１９】この基板検査装置１は、図１に示すよう
に、基板供給部２、プレス部３、検査部４、ベルト式搬
送機構５、制御部７、不良基板ストック部８、良品基板
ストック部９及び図２に示す基板停止機構６で主に構成
されている。

【００２０】基板供給部２は、ストックされた被検査基
板１１を１枚ずつベルト式搬送機構５に渡す部分であ
る。この被検査基板１１には、複数の同一の回路パター
ンＰ１〜Ｐｎが所定ピッチ単位で搬送方向に沿って繰り
返し形成されている。具体的には、例えば、図７に示す
被検査基板１１は、同一の回路パターンＰ１〜Ｐ４が所
定ピッチＬ単位で搬送方向となる長手方向に沿って繰り
返し形成されている。

【００２１】プレス部３は、図２に示すように、２つの
検査治具４１，４１が上下に対向配置されていて、この
間に被検査基板１１をベルト式搬送機構５により搬送
し、図３に示すように、下側の検査治具４１を上昇させ
て、上下の検査治具４１，４１の各プローブ４２と被検
査基板１１の回路パターンＰｊ（ｊ＝１，２，…，ｎ）
とを当接させて電気的に接触させる部分である。そし
て、検査部４は、上下の検査治具４１，４１の各プロー
ブ４２を被検査基板１１に当接させた状態で、被検査基
板１１上の複数の同一回路パターンにおけるそれぞれの
回路における導通及び絶縁検査を行う部分であり、良品
基板から得られたデータを標準データとして、被検査基
板１１の各回路パターンＰ１〜Ｐｎの検査を行い、各回
路パターンＰ１〜Ｐｎの良否を判定する。尚、本発明に
用いる検査治具４１の場合は、１枚の被検査基板１１の
全回路パターンＰ１〜Ｐｎを１度に検査するのに必要な
プローブ数を備えている必要は無く、１つの回路パター
ンＰｊを検査するだけのプローブ数を備えていれば充分
である。

【００２２】ベルト式搬送機構５は、図６に示すよう
に、被検査基板１１の両端部を受ける一対の搬送ベルト
５１，５１’と、この搬送ベルト５１，５１’を駆動す
るベルト駆動機構５２，５２’と、搬送する被検査基板
１１の幅に合わせて一対の搬送ベルト５１，５１’の間
隔Ｗを調整する間隔調整機構（図示せず）とを備える。
ベルト駆動機構５２（５２’）は、駆動用のモータ５３
（５３’）と、このモータ５３（５３’）の回転軸に連
結される駆動プーリ５４（５４’）と、駆動プーリ５４
（５４’）と離間して配設される従動プーリ５５（５
５’）とからなり、図２に示すように、駆動プーリ５４
（５４’）と従動プーリ５５（５５’）との間に搬送ベ
ルト５１（５１’）を張設し、テンションプーリ５６，
５７（５６’，５７’）によって搬送ベルト５１（５
１’）に所定の張力を与えてモータ５３（５３’）によ
って駆動するように構成されている。

【００２３】制御部７は、マイクロコンピュータを内蔵
したシーケンサー等により、基板検査装置１の全体的な
動作を制御する部分である。

【００２４】基板停止機構６は、被検査基板１１の前縁
にストッパ６１を当接させて、ベルト式搬送機構５によ
って搬送される被検査基板１１を、一の回路パターンが
検査位置に位置決めされる所定の基準位置Ｍで停止させ
るように構成されている。具体的には、基板停止機構６
は、例えば、リニアアクチュエータ６２の移動軸の先端
にストッパ６１が固定され、このストッパ６１の側方に
被検査基板１１の前縁を検出するセンサ６３が設けられ
ていて、図２に示すように、ストッパ６１が搬送経路に
対し直交するＳ方向に出入りし、実線で示す停止位置と
２点鎖線で示す退避位置との間を移動できるようになっ
ている。このように、ストッパ６１を上下動可能にして
いるのは、検査終了後の基板１１を、基準位置より下流
に配置されているストック部８又は９に搬送できるよう
にするためである。

【００２５】上記リニアアクチュエータ６２、センサ６
３及びベルト式搬送機構５のモータ５３（５３’）は、
制御部７に接続されていて、センサ６３からの信号に基
づいてリニアアクチュエータ６２及びベルト式搬送機構
５の動作が制御され、搬送されてくる被検査基板１１を
ストッパ６１によって一の回路パターンＰｊが検査位置
に位置決めされる所定の基準位置Ｍで停止させるように
構成されている。また、この制御部７には、各回路パタ
ーンＰ１〜Ｐｎが検査位置に位置決めされるように被検
査基板１１の基準位置Ｍからの移動を制御する移動制御
手段が構成されている。この移動制御手段としては、例
えば、ベルト式搬送機構５のモータ５３（５３’）を、
パルスモータとして、基準位置Ｍからの移動量をパルス
数で制御する構成とすることができる。また、ベルト式
搬送機構５のモータ５３（５３’）にロータリエンコー
ダ等の位置検出器を設けて、搬送ベルト５１，５１’の
位置を検出して被検査基板１１の基準位置Ｍからの移動
を制御する構成とすることができる。更には、搬送ベル
ト５１，５１’の位置をリニアエンコーダ等の位置検出
器で直接検出して、上記と同様の制御をする構成として
もよい。

【００２６】不良基板ストック部８は、プレス部３にて
プローブ４２と接触した被検査基板１１の複数の回路パ
ターンの内のいずれかが検査部４によって不良と判定さ
れた場合に、その被検査基板１１が搬送ベルト５１，５
１’及びその下流に配置される並行する一対の搬送ベル
ト（図示せず）によって搬送されてきた際に、ストッパ
８１又はストッパ８１’を繰り出して被検査基板１１を
停止させると共に両搬送ベルトの間隔を拡げて落下さ
せ、非導通不良基板１１Ｂとショート不良基板１１Ｃと
に分類されてストックされる部分である。

【００２７】良品基板ストック部９は、被検査基板１１
の全ての回路パターンＰ１〜Ｐｎが検査部４によって良
品と判定された場合に、その被検査基板１１が搬送ベル
トによって搬送されてきて、良品基板１１Ａがストック
される部分である。

【００２８】より詳しくは、検査部４は、図５に示すよ
うに、被検査基板１１の搬送経路を挟んで上方側（＋Ｚ
側）に被検査基板１１の上面側に形成された回路パター
ンＰ１〜Ｐｎを検査するための上部検査ユニット４Ｕが
配置される一方、下方側（−Ｚ側）に被検査基板１１の
下面側に形成された回路パターンＰ１〜Ｐｎを検査する
ための下部検査ユニット４Ｄが配置されている。これら
の検査ユニット４Ｕ，４Ｄは、いずれも複数のプローブ
４２が装着部材４１Ｆに装着された検査治具４１が駆動
機構４３で駆動されるように構成され、被検査基板１１
の搬送経路を挟んで上下対称に配置されている。

【００２９】これらの検査ユニット４Ｕ，４Ｄの各駆動
機構４３は、図４に示すように、基板検査装置１におい
て、Ｘ方向に検査治具４１を移動させるＸ方向治具駆動
部４３Ｘと、Ｘ方向治具駆動部４３Ｘに連結されて検査
治具４１をＹ方向に移動させるＹ方向治具駆動部４３Ｙ
と、Ｙ方向治具駆動部４３Ｙに連結されて検査治具４１
をＺ軸回りに回転させるθ回転治具駆動部４３θと、θ
回転治具駆動部４３θに連結されて検査治具４１をＺ方
向に移動させるＺ方向治具駆動部４３Ｚとで構成されて
おり、制御部７１により検査治具４１を被検査基板１１
に対して相対的に位置決めしたり、検査治具４１を上下
方向（Ｚ方向）に昇降させてプローブ４２を被検査基板
１１に形成された複数の回路パターンＰ１〜Ｐｎに対し
て接触させたり、離間させたりすることができるように
構成されている。

【００３０】また、上部検査ユニット４Ｕには、撮像手
段である小型ＣＣＤカメラ４５が上側の検査治具４１に
組み込まれ、このＣＣＤカメラ４５の下方には撮影窓４
６が対応する位置に形成されている。そして、検査位置
に被検査基板１１の各回路パターンＰ１〜Ｐｎが位置決
めされると、被検査基板１１の位置決め用基準マーク１
３を撮影窓４６からＣＣＤカメラ４５で撮像して位置ず
れを計算し、上部検査ユニット４Ｕに設けられたＸＹθ
Ｚ駆動機構４３を制御して、被検査基板１１の各回路パ
ターンＰ１〜Ｐｎに対し上側の検査治具４１を高精度に
位置合わせを行う位置合わせ手段２０が構成されてい
る。

【００３１】また、下側の検査治具４１には、図２及び
図３に示すように、ガイドピン４４が立設されていて、
このガイドピン４４は、被検査基板１１の各回路パター
ンＰ１〜Ｐｎが検査位置に位置決めされるときに、被検
査基板１１の各回路パターンＰ１〜Ｐ４のピッチＬに対
応して形成されたガイド孔１２（図７参照）に嵌入可能
に配置されている。そして、被検査基板１１の各回路パ
ターンＰ１〜Ｐｎが検査位置に位置決めされたときに、
被検査基板１１と検査治具４１とを相対的に近接させる
ことにより、ガイドピン４４の先端部４４ａを被検査基
板１１のガイド孔１２に係合させて検査位置に位置決め
された被検査基板１１の位置ずれを補正する位置ずれ補
正手段１０が構成されている。尚、ガイドピン４４は、
軸方向に伸縮自在にばね等で弾性支持されていて、プレ
スアップ時に被検査基板１１の位置ずれを補正しつつ所
定以上の加圧時には下方に引っ込むようになっている。

【００３２】この基板検査装置１は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，
ＲＡＭ，モータドライバ等を備え、装置全体が制御部７
によってプログラム等によって制御される。この制御部
７がベルト式搬送機構５、基板停止機構６及び検査治具
４１の駆動機構４３を駆動制御して、被検査基板１１に
形成された各回路パターンＰ１〜Ｐｎに順次プローブ４
２を接触させる。また、制御部７はテスターコントロー
ラ７３と電気的に接続されており、各回路パターンＰ１
〜Ｐｎへのプローブ４２の接触が完了する毎に、制御部
７からテスターコントローラ７３に検査開始指令が与え
られ、プローブ４２と電気的に接続されたスキャナー７
４から検査信号が多極コネクタ４１Ｃを経由して送られ
て検査が実行される。そして、その検査結果がテスター
コントローラ７３を介して制御部７に与えられる。さら
に、制御部７には、操作パネル７５が電気的に接続され
ており、オペレータからの指令やパラメータなどが制御
部７に与えられる。

【００３３】次に、この基板検査装置１における検査手
順について図９に基づいて説明する。ここでは、被検査
基板１１として、例えば、図７に示すように、基板の裏
表に同一の回路パターンＰ１〜Ｐ４が所定ピッチＬ単位
で搬送方向となる長手方向に繰り返し形成されているも
のを用いる。また、この被検査基板１１には、ガイド孔
１２が、各回路パターンＰ１〜Ｐ４に対応させて、長手
方向に同じピッチＬで各回路パターンＰ１〜Ｐ４を挟ん
でその両側縁部に穿孔されている。更に、被検査基板１
１の長辺方向の片側縁部には、各回路パターンＰ１〜Ｐ
４に対応させて、位置合わせ用の基準マーク１３が形成
されている。

【００３４】まず、被検査基板１１に所定ピッチＬ単位
で形成された同一回路パターンの数に従って、基板検査
装置１に対し１つの被検査基板１１における検査回数ｎ
の設定を行う（ステップＳ１）。図７に示す基板１１で
は、ｎ＝４と設定する。

【００３５】次に、基板検査装置１の基板供給部２に被
検査基板１１を投入する（ステップＳ２）。

【００３６】次に、図２に示すように、被検査基板１１
をベルト式搬送機構５で図中のＨ方向に搬送すると共
に、上記基板停止機構６のストッパ６１を実線で示す停
止位置に移動させ、被検査基板１１をストッパ６１に当
接させて基準位置Ｍに停止させる（ステップＳ３）。こ
こで、ストッパ６１の位置は、同一の回路パターンＰ１
〜Ｐ４が所定ピッチＬ単位で４つ配置された図７に示す
被検査基板１１における第４の回路パターンＰ４がプレ
ス部３の上下の検査治具４１，４１の間で検査位置Ｔに
位置決めされるように設定されている。

【００３７】次に、ベルト式搬送機構５の移動制御手段
によって位置決めされた被検査基板１１に対し、下側の
検査治具４１を＋Ｚ方向に上昇させると、図３に示すよ
うに、上記位置ずれ補正手段１０を構成するガイドピン
４４の先端部４４ａが被検査基板１１の周囲に形成され
たガイド孔１２に挿入され、これによって位置ずれが補
正され、被検査基板１１が検査位置に高精度で位置決め
される。そして、下側の検査治具４１を＋Ｚ方向に更に
上昇させ、被検査基板１１が上下の検査治具４１の保護
板で挟まれて固定されるようにプレスアップを行う（ス
テップＳ４）。

【００３８】この状態では、図８（ａ）に示すように、
被検査基板１１の第４の回路パターンＰ４が斜線領域で
示す検査位置Ｔに位置決めされているので、第４の回路
パターンＰ４にプローブ４２を当接させて導通絶縁検査
を行う（ステップＳ５）。そして、被検査基板１１の第
４の回路パターンＰ４が検査に合格しているか否かを判
定し（ステップＳ６）、合格であればステップＳ１２に
移行する。

【００３９】他方、被検査基板１１の第４の回路パター
ンＰ４が検査に不合格である場合には、再検査を行うた
め、まず、下側の検査治具４２を−Ｚ方向に降下させプ
レスダウンを行う（ステップＳ７）。

【００４０】次に、位置合わせ手段２０を構成する上側
の検査治具４１に組み込まれた撮像手段である小型ＣＣ
Ｄカメラ４５で、被検査基板１１の位置合わせ用の基準
マーク１３を撮影窓４６から撮像して位置ずれを計算
し、上部検査ユニット４Ｕに設けられたＸＹθＺ駆動機
構４３を制御して、被検査基板１１の第４の回路パター
ンＰ４に対し上側の検査治具４１を高精度に位置合わせ
を行う（ステップＳ８）。

【００４１】次に、上記と同様にしてプレスアップを行
い（ステップＳ９）、テスタによる再検査を行う（ステ
ップＳ１０）。そして、その再検査の結果が出力される
（ステップＳ１１）。

【００４２】上述したように、被検査基板１１における
第４の回路パターンＰ４の検査が終了すると、下側の検
査治具４２を−Ｚ方向に降下させプレスダウンを行い
（ステップＳ１２）、被検査基板１１を搬送ベルト５
１，５１’上に載せる。ここで、設定回数ｎの検査を行
ったか否かの判定を行う（ステップＳ１３）。

【００４３】この例では、設定回数ｎ＝４であるのに対
し１回の検査を行っただけなので、ステップＳ１４に移
行し、被検査基板１１は、ベルト式搬送機構５の移動制
御手段によって搬送ベルト５１，５１’が逆方向へ駆動
されて、次の回路パターンが検査位置Ｔに位置決めされ
るように搬送される。すなわち、図８（ｂ）に示すよう
に、被検査基板１１の第３の回路パターンＰ３が上下の
検査治具４１，４１の間の検査位置Ｔに位置決めされる
ように、基準位置Ｍから寸法Ｌだけ後退した位置で被検
査基板１１が停止する（ステップＳ１４）。

【００４４】次に、上記プレスアップ工程Ｓ４、テスタ
による検査工程Ｓ５、検査判定工程Ｓ６で不合格と判定
された場合には、ステップＳ７〜Ｓ１１からなる再検査
工程Ｓ２０を行った後に、プレスダウン工程Ｓ１２を順
次行い、被検査基板１１における第３の回路パターンＰ
３の検査が終了する。

【００４５】次に、設定回数ｎの検査を行ったか否かの
判定を行い（ステップＳ１３）、この例では設定回数ｎ
＝４であるのに対し２回の検査を行っただけなので、ス
テップＳ１４に移行し、検査工程であるステップＳ４〜
ステップＳ１２を４回の検査が終了するまで繰り返す。
すなわち、図８（ｃ）に示す基準位置Ｍから寸法２Ｌだ
け被検査基板１１を後退させた状態で行う被検査基板１
１における第２の回路パターンＰ２の検査、図８（ｄ）
に示す基準位置Ｍから寸法３Ｌだけ被検査基板１１を後
退させた状態で行う被検査基板１１における第１の回路
パターンＰ１の検査を順次行って、全ての検査工程を終
了する。

【００４６】次に、ストッパ６１を搬送経路から退避さ
せると共に、検査が終了した被検査基板１１の全ての回
路パターンＰ１〜Ｐ４が検査に合格しているか否かを判
定し（ステップＳ１５）、被検査基板１１の全ての回路
パターンＰ１〜Ｐ４が検査に合格であれば被検査基板１
１を良品基板ストック部９へ搬送して排出する一方（ス
テップＳ１６）、不合格であれば被検査基板１１を不良
基板ストック部８へ搬送して排出する（ステップＳ１
７）。以上で、１枚の被検査基板１１の検査が終了す
る。

【００４７】このように、上記基板検査装置１では、同
一の回路パターンＰ１〜Ｐ４が所定ピッチＬ単位で複数
配列された被検査基板１１を検査するのに、ベルト式搬
送機構５によって搬送されてくる被検査基板１１を、基
板停止機構６によって被検査基板１１における最後の回
路パターンＰ４が検査位置Ｔにくるように被検査基板１
１を位置決めして検査し、その後この被検査基板１１を
ベルト式搬送機構５の移動制御手段によって順次所定ピ
ッチＬ単位で後退させて各回路パターンＰ１〜Ｐ３を検
査位置に位置決めして検査する構成からなるので、被検
査基板１１の検査位置Ｔに対し基板停止機構６を検査領
域を避けて搬送経路の下流側に配置することができるた
め、検査領域の拡大を図る上で有効である。

【００４８】また、被検査基板１１と検査治具４１とを
相対的に近接させることにより、位置ずれ補正手段１０
を構成する検査治具４１のガイドピン４４の先端部４４
ａに被検査基板１１のガイド孔１２を係合させて被検査
基板１１の位置ずれを補正するため、被検査基板１１を
より一層確実かつ高精度に位置決めを行うことができ
る。

【００４９】しかも、上記基板検査装置１によれば、単
位検査領域となる１つの回路パターン分の検査治具４１
を用いて回路パターンＰ１〜Ｐ４の全てを検査すること
ができるので、高密度の回路パターンが繰り返し配列さ
れた基板を、小型かつ軽量な低コストの検査治具４１で
検査することができる。

【００５０】更には、ベルト式搬送機構５に移動制御手
段を構成したため、従来のようにストッパを搬送方向に
移動させて被検査基板１１を各検査位置に位置決めする
ためのストッパ駆動機構を構成する必要がなくなり、そ
の分、基板停止機構６を簡素で小型なものとすることが
できる。しかも、ベルト式搬送機構５の移動制御手段に
よって被検査基板１１を移動させて検査位置Ｔに各回路
パターンＰ１〜Ｐ４を位置決めするため、基板停止機構
６を検査位置Ｔを避けて配置することが可能となり、従
来構成においてストッパの移動範囲及びストッパ駆動機
構で占有されていた領域（図１２における領域Ｒ３，Ｒ
４に相当）をも検査領域として検査領域の拡大を図るこ
とができる。

【００５１】加えて、検査ユニット４Ｕ，４Ｄを構成す
る検査治具４１として、従来構成のように移動するスト
ッパ及びストッパ駆動機構との干渉をなくすための切欠
を設けた専用の検査治具（図１２における検査治具９
７）を用いる必要がなくなり、図５に示すように、形状
上の制限がない検査治具４１を用いることができるた
め、検査治具の汎用性の向上を図ることができる。

【００５２】以上、本発明の基板検査装置は、上記した
実施形態の具体的構成に限定されるものではなく、必要
に応じ適宜構成を変形、追加又は削除した構成としても
よいことは言うまでもない。

【００５３】例えば、上記では、被検査基板の搬送を行
う搬送手段としてベルト式搬送機構による構成例を示し
たが、本発明はこれに限定されるものではなく、搬送手
段としてボールネジ等の送りねじやチェーン等の他の駆
動部材を用いて被検査基板を搬送する構成としてもよ
い。

【００５４】また、上記では、被検査基板を停止させる
基板停止機構として、リニアアクチュエータの移動軸の
先端にストッパを固定する構成例を示したが、本発明は
これに限定されるものではなく、停止位置と退避位置と
に回動するロータリ式のストッパを用いて基板停止機構
を構成してもよい。また、これらの各基板停止機構にお
ける駆動源として、ロータリアクチュエータ、モータ、
油圧シリンダ、エアシリンダ等を用いて、ストッパを直
接駆動したり、ギア、ベルト、リンク等を使用した駆動
機構を介してストッパを駆動することもできる。更に
は、基板停止手段として、被検査基板に設けた基準マー
クをＣＣＤカメラ等で検出し、それに基づいて搬送手段
を制御して被検査基板を所定の基準位置に停止させる構
成としてもよい。

【００５５】また、上記では、同一の回路パターンが所
定ピッチ単位で複数配列された被検査基板を検査するの
に、ベルト式搬送機構によって搬送されてくる被検査基
板を、基板停止機構によって被検査基板における最後の
回路パターンが検査位置にくるように被検査基板を位置
決めして検査し、その後この被検査基板を順次所定ピッ
チ単位で後退させて各回路パターンを検査位置に位置決
めして検査する例を示したが、本発明はこれに限定され
るものではなく、基板停止機構によって被検査基板を、
一の回路パターンが検査位置に位置決めされる所定の基
準位置に搬送して検査した後、移動制御手段によって基
準位置を基準にして被検査基板を移動させて検査位置に
各回路パターンを位置決めし、検査手段によって被検査
基板の各回路パターンを検査する構成が、本発明に含ま
れることは言うまでもない。

【００５６】具体的には、例えば、ベルト式搬送機構に
よって搬送されてくる被検査基板を、基板停止機構によ
って被検査基板における最初の回路パターンが検査位置
にくるように被検査基板を位置決めして検査し、その後
この被検査基板を順次所定ピッチ単位で前進させて各回
路パターンを検査位置に位置決めして検査する構成とし
てもよい。

【００５７】また、上記では、検査治具のガイドピンに
被検査基板のガイド孔を係合させて被検査基板の位置ず
れを補正する位置ずれ補正手段と、被検査基板の基準マ
ークを撮像手段で撮像して位置ずれを検出し、それに基
づいて検査治具を移動させて位置合わせを行う位置合わ
せ手段の両方を備えた構成とする例を示したが、本発明
はこれに限定されるものではなく、位置ずれ補正手段又
は位置合わせ手段のいずれか一方を備える構成としても
よい。

【００５８】また、上記では、位置合わせ手段におい
て、被検査基板の基準マークを撮像手段であるＣＣＤカ
メラで撮像して位置ずれを検出するタイミングを、プレ
スダウンした後に行う例を示したが、本発明はこれに限
定されるものではなく、プレスダウンする前に位置ずれ
を検出するようにしてもよい。

【００５９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の基板検査
装置によれば、簡素な構成にして、同一の回路パターン
が所定ピッチ単位で複数配列された被検査基板を検査す
ることができることに加えて、検査治具の汎用性の向上
と検査領域の拡大を図ることができる。

【００６０】より詳しくは、本発明の基板検査装置は、
搬送手段によって搬送されてくる被検査基板を、基板停
止手段によって一の回路パターンが検査位置に位置決め
される所定の基準位置に搬送して正確に停止させ、そこ
で検査手段によって被検査基板の回路パターンの１つを
検査することが可能となる一方、移動制御手段によって
基準位置を基準にして被検査基板を移動させて検査位置
に各回路パターンを位置決めし、検査手段によって被検
査基板の各回路パターンを検査することができる。

【００６１】しかも、移動制御手段によって被検査基板
を移動させて検査位置に各回路パターンを位置決めし
て、単位検査領域となる１つの回路パターンの検査を繰
り返すことによって被検査基板の全検査領域を検査する
構成であるため、検査手段を簡素で小型かつ軽量なもの
とすることができる。

【００６２】更には、搬送手段に移動制御手段を構成し
たため、基板停止手段を搬送方向に移動させて被検査基
板を各検査位置に位置決めするための移動機構を構成す
る必要がなくなり、その分、基板停止手段を簡素で小型
なものとすることができる。しかも、移動制御手段によ
って被検査基板を移動させて検査位置に各回路パターン
を位置決めするため、基板停止手段を検査位置を避けて
配置することが可能となり、検査領域が基板停止手段及
びその移動機構で占有されることがなくなり、その分、
検査領域の拡大を図ることができる。加えて、検査手段
を構成する検査治具として、基板停止手段及びその移動
機構との干渉をなくすための切欠を設けた専用の検査治
具を用いる必要がなくなり、検査治具の形状における制
限もなくなるため、検査治具の汎用性の向上を図ること
ができる。

【００６３】また、上記位置ずれ補正手段を備えた構成
とすれば、移動制御手段で位置決めれた被検査基板を、
位置ずれ補正手段における検査治具のガイドピンに被検
査基板のガイド孔を係合させて、検査位置に位置決めさ
れた被検査基板の位置ずれを補正するため、被検査基板
をより一層確実かつ高精度に位置決めを行うことができ
る。

【００６４】また、上記位置合わせ手段を備えた構成と
すれば、被検査基板の基準マークを撮像手段で撮像して
位置ずれを検出し、それに基づいて検査治具を移動させ
て高精度に位置合わせを行うことができるため、被検査
基板の回路パターンに検査治具のプローブを確実に当接
させて回路パターンの検査を行なうことができ、検査の
信頼性の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の基板検査装置の全体の構成例を示す正
面図である。

【図２】本発明の基板検査装置における検査部のプレス
ダウン状態を示す正面図である。

【図３】本発明の基板検査装置における検査部のプレス
アップ過程の状態を示す正面図である。

【図４】本発明の基板検査装置の構成例を示すブロック
図である。

【図５】本発明の基板検査装置における検査部の構成例
を示す斜視図である。

【図６】本発明の基板検査装置におけるベルト式搬送機
構の構成例の概略を示す上視図である。

【図７】本発明の基板検査装置で検査する同一の回路パ
ターンが所定ピッチ単位で複数配列された被検査基板の
一例を示す上視図である。

【図８】本発明の基板検査装置における被検査基板の搬
送手段による位置決め機能を説明するための説明図であ
る。

【図９】本発明の基板検査装置における検査手順の一例
を示すフローチャートである。

【図１０】従来の基板検査装置における被検査基板の搬
送手段並びにストッパ及びその駆動機構の概略を示す平
面図である。

【図１１】従来の基板検査装置における被検査基板の位
置決め方法を説明するための説明図である。

【図１２】従来の基板検査装置における検査治具の形状
及び検査領域を説明するための平面図である。

【符号の説明】

１基板検査装置４Ｕ，４Ｄ検査ユニット（検査手段）５ベルト式搬送機構（搬送手段）６基板停止機構（基板停止手段）７制御部（移動制御手段）１０位置ずれ補正手段１１被検査基板１２ガイド孔１３基準マーク２０位置合わせ手段４１検査治具４２プローブ４４ガイドピン４５ＣＣＤカメラ（撮像手段）Ｐ１〜Ｐ４回路パターン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2F065 AA02 BB02 BB15 BB27 CC01 FF04 JJ03 JJ05 JJ09 JJ26 PP12 QQ31 2G011 AA02 AA16 AB01 AB05 AB07 AC06 AC09 AE01 AF06 2G014 AA13 AA15 AB59 AC09 AC10 2G032 AC03 AD08 AE01 AE04 AE10 AE12 AF01 AK04 AL04

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】同一の回路パターンが所定ピッチ単位で
複数配列された被検査基板を、一の回路パターンが検査
位置に位置決めされる所定の基準位置に搬送して検査し
た後、上記所定のピッチ単位で移動させて各回路パター
ンを上記検査位置に順次位置決めしつつ各回路パターン
を検査する基板検査装置であって、上記被検査基板の搬送を行なう搬送手段と、上記搬送手段によって搬送される上記被検査基板を上記
基準位置に停止させる基板停止手段と、各回路パターンが上記検査位置に位置決めされるように
上記被検査基板の上記基準位置からの移動を制御する移
動制御手段と、上記検査位置に設けられ、当該検査位置に位置決めされ
た上記被検査基板の回路パターンに検査治具のプローブ
を当接させて回路パターンの検査を行なう検査手段とを
備えたことを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】上記被検査基板の各回路パターンに対応
して形成されたガイド孔と上記検査手段の検査治具に立
設された上記ガイド孔に嵌入可能なガイドピンとを有
し、上記検査位置に各回路パターンが位置決めされる
と、上記被検査基板と上記検査治具とを相対的に近接さ
せることにより上記ガイドピンを上記ガイド孔に係合さ
せて上記検査位置に位置決めされた被検査基板の位置ず
れを補正する位置ずれ補正手段を備えたことを特徴とす
る請求項1記載の基板検査装置。
【請求項３】被検査基板に設けられた基準マークと、
この基準マークを撮像する撮像手段とを有し、被検査基
板の基準マークを撮像手段で撮像して位置ずれを検出
し、それに基づいて検査治具を移動させて位置合わせを
行う位置合わせ手段を備えたことを特徴とする請求項1
又は請求項２記載の基板検査装置。