KR101420312B1

KR101420312B1 - 인쇄회로기판 검사장치

Info

Publication number: KR101420312B1
Application number: KR1020120134609A
Authority: KR
Inventors: 오갑근; 도영기; 전승호; 박민호; 박찬석
Original assignee: 성우세미텍 주식회사
Priority date: 2012-11-26
Filing date: 2012-11-26
Publication date: 2014-07-17
Also published as: KR20140067415A

Abstract

검사대상기판의 외관을 다양한 조명시스템을 이용하여 보다 세밀하고 정확하게 자동검사하기 위해서, 본 발명은 매거진으로부터 일단부로 반입된 검사대상기판을 타단부로 직진 이송하는 기판이송부; 적.녹.청 빛을 발산하는 조명부가 각각 상이하게 설정된 복수개의 촬상장치로 구비되되, 상기 각 촬상장치는 상기 기판이송부의 길이방향을 따라 배치되어 직진 이송되는 상기 검사대상기판을 컬러스캐닝하여 컬러데이터를 각각 수집하는 컬러촬상부; 상기 컬러스캐닝된 검사대상 인쇄회로기판을 반입받아 직진 이송하면서 모노스캐닝하여 모노 데이터를 수집하는 모노촬상부; 및 상기 컬러데이터를 적.녹.청 별로 분해하여 생성된 각각의 분해 데이터 및 상기 모노 데이터를 기저장된 회로패턴 데이터와 비교하며, 상기 각각의 분해 데이터 및 상기 모노 데이터 중 상기 회로패턴 데이터와 일치율이 기설정된 범위 미만인 검사대상기판의 영역을 추출 및 표시하는 연산제어부를 포함하는 인쇄회로기판 검사장치를 제공한다.

Description

인쇄회로기판 검사장치{apparatus for inspecting printed circuit board}

본 발명은 인쇄회로기판 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 검사대상기판의 외관을 다양한 조명시스템을 이용하여 보다 세밀하고 정확하게 자동검사하는 인쇄회로기판 검사장치에 관한 것이다.

일반적으로 인쇄회로기판(PCB)은 반도체 칩, 저항, 콘덴서 등의 전자부품을 배치시키고 이를 전도성을 갖는 소정 형상의 배선패턴을 통하여 배치된 전자부품을 전기적으로 연결시키거나 구동 전원을 공급하기 위한 것으로서, 전자부품을 배치시키기 위한 보드와 배치된 전자부품을 전기적으로 연결시키기 위한 배선으로 구성되어 있다.

이와 같은 인쇄회로기판의 구성 및 생성 과정을 보다 구체적으로 설명하면, 절연체 합성수지로 만든 얇은 기판의 한쪽 면 또는 양쪽 면에 동박 적층판(CCL : Copper Clad Laminate)을 수지와의 접착력을 높이기 위하여 동박의 형성시에 동박이 수지와 화학적으로 반응하여 수지 쪽으로 소정의 깊이를 파고들어가도록 형성한다.

이후, 동박 적층판을 실제 작업에 사용할 크기인 패널크기로 재단하고, 재단된 동박 적층판의 모서리를 부드럽게 하는 면취가공(Bevelling)을 수행한다.

그리고, 동박 적층판의 동박면에 묻어있는 지문, 먼지 등을 제거하거나 후술하는 라미네이션 공정에서 드라이 필름의 밀착력을 높이기 위하여 동박의 표면에 거칠기를 부여하는 정면처리(Scrubbling)를 수행한다.

상술한 바와 같은 정면 처리를 수행한 후, 인쇄회로기판상에 배선패턴을 형성하기 위해 필름형태로 된 감광재와 신축성을 부여하기 위한 마일러 필름 및 커버 필름으로 이루어진 드라이필름을 동박면상에 코팅한다.

이후, 드라이필름이 코팅된 기판에 배선패턴이 형성된 아트워크 필름을 밀착시킨 후 자외선을 조사하여 감광재가 빛에 반응하는 부분은 경화되게 하고, 그 이외의 부분은 변화하지 않도록 하는 노광(Exposure)을 수행한다.

그리고, 소정의 현상액을 이용하여 자외선에 노출되어 경화된 부분인 부식레지스트는 남기고, 그 외의 부분은 용해시켜 제거함으로써 동박 적층판의 동박면상에 배선패턴을 형성하는 현상(Development)과정을 수행한다.

상술한 바와 같이, 동박면상에 배선패턴을 형성한 후, 부식액을 분무하여 부식레지스트에 의해 보호되는 영역, 즉 배선패턴이 되는 부분을 제외한 나머지 영역의 동박을 제거하고, 역할을 다한 부식레지스트를 박리하여 최종적으로 동박의 배선패턴을 형성하는 과정을 반복하여 최종적인 인쇄회로기판을 형성한다.

즉, 인쇄회로기판의 제조공정은 상술한 바와 같이, 동박의 적층, 에칭 및 세정의 반복적인 작업으로서, 작업 공정의 진행중에 먼지, 지문 등의 오염원의 잔류, 소정의 배선패턴의 산화 및 변색 등 인쇄회로기판의 표면조건과 관련하여 불량이 발생할 수 있다.

특히, 반도체 칩과 상호 접속하는 인쇄회로기판의 본딩 패드 부분에 산화가 발생하는 경우 인쇄회로기판의 금속표면의 산소 함유로 인하여 볼 어테치(ball attach) 또는 와이어 어테치(wire attach)가 이루어지지 않으며, 비록 어테치가 된다고 하여도 본딩 강도(bonding strength)가 일반적인 인쇄회로기판에 비교하여 현저히 낮은 결과를 초래하는 문제점이 발생하였다.

그래서, 종래에는 이와 같은 문제점를 발생하는 인쇄회로기판의 금속 표면상태를 관측하는 방법으로서, 작업자의 육안관찰을 통하여 인쇄회로기판의 금속 표면 상태에 대한 산화 정도를 관측하였다.

그리고, 대한민국 특허출원번호 제2001-0021471호인 "반도체 장치의 구조 및 표면분석 방법"에 기재된 바와 같이, 기판 또는 반도체 소자의 표면 및 성분을 분석하기 위하여 상기기판 또는 반도체 소자의 박막시편을 투과전자현미경(TEM)을 사용하여 상기 박막시편의 구조를 분석하고, AES(auger electron spectroscopy)장비를 사용하여 상기 구조 분석한 박막시편의 성분을 분석함으로써 기판과 반도체 소자의 표면 상태를 측정하는 기술적 사상이 개시되어 있다.

또한, 인쇄회로기판 검사장치는 기판을 로딩하여 이송시키는 과정에서 상측에 구비된 조명에 의해 반사된 빛을 촬상하여 기설계된 회로설계패턴과 화상 매칭을 통하여 오차가 설정치를 초과하는 경우 불량으로 판정하였다.

이를 위해, 인쇄회로기판의 검사장치의 구조는 제어부와 인쇄회로기판의 반사된 조명값을 분석하여 제어부에 전달하는 촬상부, 촬상부에 인쇄회로기판을 반입 및 반출하는 이송부, 이송된 인쇄회로기판에 기록된 제어프로그램의 정상 유무를 검사하는 지그부, 마킹된 인쇄회로기판의 정상유무를 검사하여 마킹하는 마킹부와 상기 마킹부에 의해 마킹된 인쇄회로기판에 인입되되 정상인 인쇄회로기판과 불량인 인쇄회로기판을 구분하여 취출하는 승강취출부가 포함되어 이루어진 것을 특징으로 한다.

상기 촬상부의 일측에는 촬상부에 인입되는 다수개의 인쇄회로기판이 적재되는 적재부가 더 연결 구성될 수 있다.

상기와 같이 구성된 종래의 인쇄회로기판의 검사장치는 제어부와 촬상부, 지그부, 마킹부, 승강취출부가 하나의 몸체로 연결구성되어 있음에 따라 적은 공간에서의 설치장소에 대한 공간효율성이 향상되고, 각각의 구성 요소들에 의해 인쇄회로기판에 기록된 프로그램의 정상 유무를 자동적으로 검사할 수 있어 작업효율성이 향상된다.

그러나, 상술한 바와 같이 상기 촬상부에서 조명장치를 이용해 검사대상기판을 검사하는 종래의 인쇄회로기판 검사장치는 상기 촬상부의 조명으로만 기판을 유형을 파악하여, 상기 검사대상기판에 불량유형에 대한 정확한 정보획득이 어렵고, 데이터베이스화시 피드백 자료에도 한계가 발생한다.

그리고, 다양한 검사대상기판의 불량유형을 정확하게 파악하기 위해서 각 검사대상기판에 맞는 회로패턴데이터를 얻기 위해 복수개의 촬상부를 구비할 경우 검사대상장치이 자주 바뀌게 되고, 그때마다 새로운 인쇄회로기판 검사장치의 작동방법을 다시 설정해주어야 하므로, 생산과정이 복잡해지고 많은 비용과 시간이 발생하여 생산성이 저하하는 문제점이 있다.

한국 공개특허 제10-2011-0086222호

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 검사대상기판의 외관을 다양한 조명시스템을 이용하여 보다 세밀하고 정확하게 자동검사하는 인쇄회로기판 검사장치를 제공하는 것을 해결과제로 한다.

상기의 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 매거진으로부터 일단부로 반입된 검사대상기판을 타단부로 직진 이송하는 기판이송부; 적.녹.청 빛을 발산하는 조명부가 각각 상이하게 설정된 복수개의 촬상장치로 구비되되, 상기 각 촬상장치는 상기 기판이송부의 길이방향을 따라 배치되어 직진 이송되는 상기 검사대상기판을 컬러스캐닝하여 컬러데이터를 각각 수집하는 컬러촬상부; 상기 컬러스캐닝된 검사대상 인쇄회로기판을 반입받아 직진 이송하면서 모노스캐닝하여 모노 데이터를 수집하는 모노촬상부; 및 상기 컬러데이터를 적.녹.청 별로 분해하여 생성된 각각의 분해 데이터 및 상기 모노 데이터를 기저장된 회로패턴 데이터와 비교하며, 상기 각각의 분해 데이터 및 상기 모노 데이터 중 상기 회로패턴 데이터와 일치율이 기설정된 범위 미만인 검사대상기판의 영역을 추출 및 표시하는 연산제어부를 포함하는 인쇄회로기판 검사장치를 제공한다.

여기서, 상기 각 조명부는 상기 적.녹.청 단위 색의 빛을 발산하는 엘이디 소자의 개수 및 측광을 제공하는 사이드 조명의 배치에서 상호 상이하게 설정됨이 바람직하다.

또한, 상기 연산제어부는 상기 컬러데이터를 적.녹.청 별로 분해하여 생성된 각각의 분해 데이터를 가중치가 적용된 모노화된 데이터로 각각 변환하고, 상기 각 모노화된 데이터 및 상기 모노 데이터가 상기 회로패턴 데이터와 비교됨이 바람직하다.

삭제

한편, 상기 연산제어부는 상기 각 촬상장치에 의해 촬상된 데이터를 비교영역으로 분할 추출하여, 선 순위 비교영역에 대한 적.녹.청 별로 분해하여 생성된 각각의 분해 데이터 및 상기 모노 데이터를 기저장된 회로패턴 데이터의 대응영역과 하나의 사이클로서 비교한 후, 후 순위 비교영역에 대한 각 사이클의 비교과정을 순차적으로 수행함을 특징으로 하는 인쇄회로기판 검사장치.

상기의 해결 수단을 통해서, 본 발명의 인쇄회로기판 검사장치는 다음과 같은 효과를 제공한다.

첫째, 컬러 스캐닝을 실행함으로써 빛의 파장 내지 조사각도에 따라 다양한 종류의 검사대상기판의 결함을 검사하되, 상기 컬러촬상부에 복수개의 조명을 상이하게 설정한 복수개의 촬상장치를 구비하여 상이한 조명에 따른 다수의 컬러데이터를 취득하여, 더욱 세밀하게 불량을 비교 검출할 수 있다. 상세히, 상기 인쇄회로기판의 2차원 결함 여부, 상기 검사대상기판의 패드 주변의 도포 검사 및 SR(Solder Resist)부위에 불량을 포함하는 상기 인쇄회로기판의 부품 결함을 정확하고 세밀하게 검사하는 효과를 기대할 수 있다.

둘째, 상기 모노촬상부에 복수개의 조명을 상이하게 설정하여, 모노 스캐닝을 실행가능하게 하되, 컬러촬상부 및 모노촬상부을 단일장치로 구비하여 상기 컬러 스캐닝 및 모노 스캐닝이 연속적으로 실행됨으로써, 공정과정을 단순화하여 효율적이고 정확한 결함정보 파악을 통해 생산과정 및 공정시간이 단축되어 생산성이 증가 되는 효과를 기대할 수 있다.

셋째, 상기 복수개의 조명이 상이하게 설정된 각 촬상부에서 수집된 각각의 모노데이터 및 모노화된 데이터로부터 비교영역을 추출하여, 기저장된 회로패턴 데이터와 하나의 사이클로 비교함으로써, 인쇄회로기판 검사장치의 불필요한 공정과정이 축소되어, 연산제어속도 및 처리 속도를 현저히 향상시키는 효과를 기대할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 인쇄회로기판 검사장치의 평면도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 인쇄회로기판 검사장치의 시스템을 도시한 블록도.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 인쇄회로기판 검사장치의 촬상부를 이용한 검사방법을 나타낸 흐름도.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 인쇄회로기판 검사장치의 모노 데이터 변환 과정을 나타낸 개요도.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 스포이드기법 실험을 통한 불량 예 취득과정을 나타낸 흐름도.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 인쇄회로기판 검사장치의 비교영역 분할 설정과 복수개의 촬상부를 이용한 검사방법을 나타낸 흐름도.
도 7a는 본 발명의 일실시예에 따른 제1비젼부의 정면도.
도 7b는 본 발명의 일실시예에 따른 제2비젼부의 정면도.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 인쇄회로기판 검사장치를 상세히 설명한다.

여기서, 상기 검사대상기판은 인쇄회로기판(Printed Circuit Board, PCB) 등을 의미하며, 절연 재질의 합성수지에 전기적 전도성을 갖는 회로패턴을 인쇄하여 신호처리를 위한 기판으로 사용되는 장치이다. 이러한 상기 검사대상기판은 컴퓨터에 사용되는 전기적 부품들이 대표적이지만, 본 발명에 따른 검사대상기판은 상기 인쇄회로기판에 국한되는 것만은 아니며, 각종 전기적 신호처리 기판을 포함하는 개념으로 정의한다.

도 1는 본 발명의 일실시예에 따른 인쇄회로기판 검사장치를 나타낸 평면도이며, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 인쇄회로기판 검사장치의 개략적 블록도 이다.

도 1 내지 도 2에서 보는 바와 같이, 본 발명에 따른 인쇄회로기판 검사장치(1)는 반입 및 반출부(10), 제1기판이송부(21), 제2기판이송부(22), 제1컬러촬상부(30), 그리고 제1모노촬상부(40)를 포함한다.

여기서, 상기 반입 및 반출부(10)는 상기 검사대상기판을 반입 받아 반출하도록, 상기 반입 및 반출부(10)는 매거진(11), 매거진공급부(12), 세로이송부(13),세척장치(14), 그리고 가로현수이송부(15) 등을 포함하여 구성됨이 바람직하다. 상세히, 상기 반입 및 반출부(10)는 연산제어부(50)의 신호에 통해 매거진(11)에 적재된 상기 검사대상기판을 연속적으로 상기 각각의 이송부로 반입 및 반출하게 됨이 바람직하다.

이때, 상기 매거진(11)의 내부에는 이전 공정에서 제조되어 전처리된 복수개의 검사대상기판이 다단으로 적재된다. 이를 위해, 상기 매거진(11)은 상기 검사대상기판이 안착 되는 매거진적재부(11a)와 상기 적재부의 전후방에 설치되는 매거진측판(11b) 등으로 이루어질 수도 있다. 이를 통해, 상기 매거진(11)은 상기 검사대상기판을 안전하게 적재하여 보관할 수 있으며, 상기 매거진공급부(12)에 연속적으로 공급할 수 있게 됨이 바람직하다.

여기서, 상기 매거진공급부(12)는 상기 매거진(11)에 적재된 상기 검사대상기판을 반입 받아 상기 세로이송부(13)로 연속적으로 공급하도록 구비된다. 이때, 상기 매거진공급부(12)는 매거진공급부 본체에 설치되는 프레임이 설치되는 다수의 롤러와 벨트방식으로 구동하는 다양한 구동장치를 갖출 수 있다. 즉, 상기 매거진공급부(12)는 다수의 롤러와 벨트 방식으로 구동되어 상기 매거진(11)에서 상기 검사대상기판을 상기 세로이송부(13)로 연속적으로 공급되도록 이루어진다. 이때, 상기 매거진공급부(12)는 실린더방식 또는 볼스크류 방식 등을 포함하는 다양한 동력전달 방식을 통해 동력을 전달받을 수도 있다.

이와 같이, 상기 매거진공급부(12)를 이용해서 상기 검사대상기판이 연속적으로 상기 세로이송부(13)에 공급되어 세로방향으로 이송된다. 여기서, 상기 세로이송부(13)는 상기 검사대상기판을 효과적으로 지지하기 위해 흡착이송방식으로 상기 검사대상기판을 이송될 수도 있다. 즉, 상기 세로이송부(13)는 상기 검사대상기판의 가장 자리 지지부 및 중심지지부에 기판을 지지하기 위한 진공흡입부가 형성하여 상기 검사대상기판을 효과적으로 지지 되도록 할 수 있다.

또한, 상기 세로이송부(13)는 기판크기에 따라 다양하게 지지가능하도록 조절 가능한 구조로 형성된 기판지지수단이 구비됨이 바람직하다. 따라서, 상기 검사대상기판은 상기 매거진공급부(12)를 통해서 상기 세로이송부(13)로 연속적으로 자동 반입 및 반출됨이 바람직하다.

그러나, 상기 검사대상기판의 표면의 이물을 제거하지 않고 그대로 사용할 때 상기 검사대상기판의 결합률은 상승하여, 상기 검사대상기판을 유지보수하기 위해선 복잡한 부대설비가 요구되고 이를 유지보수하기 위한 인력이 별도로 필요하여 상기 검사대상기판의 제조단가를 상승시키는 단점을 유발한다.

그래서, 상기 인쇄회로기판 검사장치(1)는 상기 검사대상기판의 검사과정에서 표면에 발생하는 이물을 제거하기 위해 세척장치(14)를 장착됨이 바람직하다.

즉, 상기 검사대상기판은 상기 세척장치(14)의 이오나이징 에어노즐을 통해 중화된 +,- 이온을 발생시켜 에어 블로우시스템 내부의 정전기를 완벽하게 제거되고 에어 분사 및 펌핑을 통해 패키지에 부착된 상기 검사대상기판의 레진 및 외부 이물질들을 효과적으로 강제 배출됨으로써, 상기 인쇄회로 검사 공정에서의 수율을 향상시킬 수도 있다.

이와 같이, 상기 검사대상기판은 상기 세척장치(14)를 통해 표면에 발생하는 이물을 제거하고, 상기 가로현수이송장치(15)로 이송된다. 여기서, 상기 가로현수이송장치(15)는 현수이송부(15a)와 기판고정부(15b)을 포함하여 구비될 수 있다. 즉, 상기 검사대상기판은 상기 현수이송부(15a)를 이용해 횡간 이송되고, 기판 고정부(15b)를 통해 상기 검사대상기판이 고정됨이 바람직하다. 이때, 상기 가로현수이송장치(15)는 상기 인쇄회로기판의 검사과정에 따라 복수개 구비될 수도 있다.

따라서, 상기 검사대상기판은 상기 반입 및 반출부(10)의 상기 매거진(11)에서 반입 및 반출되어, 상기 매거진공급부(12)에서 상기 세로이송부(13)로 공급되고, 상기 세척장치(14)에서 상기 검사대상기판의 표면 이물을 제거한 후, 상기 가로현수이송장치(15)를 이용해, 상기 제1기판이송부(21) 또는 제2기판이송부(22)로 선택적으로 반입 및 반출됨이 바람직하다.

여기서, 상기 제1기판이송부(21)는 상기 반입 및 반출부(10)에 의해 상기 제1컬러촬상부의 일단부로 반입된 상기 검사대상기판을 상기 제1컬러촬상부의 타단부로 직진 이송됨이 바람직하다. 상세히, 상기 제1기판이송부(21)는 상기 반입 및 반출부(10)의 가로현수이송장치(15)에서 반입된 상기 검사대상기판을 세로방향으로 연속적으로 직진이송되도록 이루어진다.

이때, 상기 제1컬러촬상부는 상기 검사대상기판의 외관을 광학적인 방식을 이용하여 다양한 데이터를 수집 및 분석하고 상기 검사대상기판의 결함 유무를 자동 검사 가능함을 특징으로 한다.

그리고, 상기 제1기판이송부(21)는 제1기판 컨베이어벨트부(21a)와 제1기판 컨베이어벨트 구동부(21b) 등을 포함하여 구비됨이 바람직하다. 여기서, 상기 제1기판 컨베이어벨트부(21a)는 상기 반입 및 반출부(10)의 가로현수이송장치(15)를 이용해서 반입된 상기 검사대상기판을 효과적으로 고정되도록 이루어진다. 또한, 제1기판 컨베이어벨트부(21a)는 원형상 또는 직선상으로 배치된 컨베이어 이송라인에 다수의 롤러가 장착된 체인이나 벨트 등을 포함하여 설치되고, 상기 검사대상기판이 이송하기 위해 상기 롤러에서 고정됨이 바람직하다..

그리고, 상기 제1기판 컨베이어벨트 구동부(21b)의 모터에 의해 상기 체인 및 벨트를 회전구동되어 상기 반입 및 반출부(10)에서 반입된 상기 검사대상기판을 순차적으로 직진이송할 수 있다. 이때, 상기 제1기판 컨베이어벨트 구동부(21b)는 통상의 모터가 적용되는 것이 바람직하다.

따라서, 상기 제1기판 컨베이어벨트부(21a)에 반입되어 고정된 상기 검사대상기판은 상기 제1기판 컨베이어벨트 구동부(21b)를 이용해서 상기 제1컬러촬상부(300)의 일단부로 반입되고 상기 검사대상기판을 상기 제1컬러촬상부의 타단부까지 직진 이송됨이 바람직하다.

상세히, 상기 검사대상기판은 상기 제1기판 이송부(21)에 반입되어 상기 제1컬러촬상부(300)의 타단부를 가로질러 직진이송됨이 바람직하다. 이와 같이, 상기 제1기판 이송부(21)의 상기 제1기판 컨베이어벨트 구동부(21b)는 상기 제1컬러촬상부(300)에서 상기 검사대상기판을 효과적인 컬러 스캐닝하기 위해 제1컬러촬상부(300) 말단부까지 직진이송 및 복귀를 연속적 실행하도록 제어됨이 바람직하다.

한편, 상기 제1기판이송부(21) 및 상기 제2기판이송부(22)는 병렬 배치되어 상기 검사대상기판이 상기 제1컬러촬상부(300)로 교번하여 이송됨이 바람직하다.

여기서, 상기 제2기판이송부(22)는 제2기판 컨베이어벨트부(22a) 및 제2기판 컨베이어벨트 구동부(22b) 등을 포함하며, 본 일실시예에서 전술된 상기 제1기판이송부(21)와 동일한 구조로서 상기 제2기판이송부(22)의 구조에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.

상세히, 상기 검사대상기판은 상기 병렬배치된 제1기판이송부(21) 및 상기 제2기판이송부(22)를 이용해서 상기 제1컬러촬상부(300)의 말단부까지 교번하여 이송되고, 상기 검사대상기판이 상기 제1컬러촬상부(300)에서 다양한 데이터를 수집 및 분석되어, 상기 검사대상기판의 결함 유무를 자동검사됨이 바람직하다.

이와 같이, 상기 제1기판이송부(21) 및 제2기판이송부(22)를 병렬배치됨으로써 다수의 상기 검사대상기판이 상기 제1컬러촬상부(300)에 연속적으로 공급됨이 바람직하다.

즉, 상기 검사대상기판이 상기 제1기판이송부(21)에서 제1컬러촬상부(300)로 이송되어 컬러 스캐닝 되는 동안 상기 반입 및 반출부(10)는 상기 제2기판이송부(22)로 상기 검사대상기판이 연속적으로 공급됨으로써, 상기 제1컬러촬상부(300)는 상기 검사대상기판을 연속적으로 공급받아 반입 및 반출에 소요되는 시간을 단축하여, 공정이 지연되는 시간을 최소화할 수 있다. 이를 통해, 상기 검사대상기판의 검사시간이 현저히 단축되고, 복수개의 인쇄회로기판 검사가 연속적으로 가능해져 신속하고 경제적인 인쇄회로기판의 검사작업이 가능해지는 효과를 기대할 수 있다.

따라서, 본 발명에 따른 인쇄회로기판 검사장치는 상기 기판이송부가 복수개 구비되어 병렬배치됨으로써 다수의 상기 검사대상기판이 상기 제1컬러촬상부(300)에 연속적으로 공급되어 활용될 수도 있다.

여기서, 상기 제1컬러촬상부(300)가 상기 제1기판이송부(21) 및 상기 제2기판이송부(22) 중에 어느 하나를 따라 직진 이송되는 각 검사대상기판의 컬러 스캐닝 된 후 다른 하나로 수평이동됨이 바람직하다.

상세히, 상기 제1컬러촬상부(300)는 상기 제1기판이송부(21)에서 상기 검사대상기판이 반입 받아 컬러 스캐닝 된 후 제1기판이송부(21)가 상기 반입 및 반출부(10)로 복귀하는 동안 상기 제2기판이송부로(22)로 수평이동되어 컬러 스캐닝을 실행함이 바람직하다.

이때, 상기 제1컬러촬상부(300)는 상기 각각의 기판이송부에 수평이동되어 컬러 스캐닝을 실행하기 위해 제1비젼부(31), 제2비젼부(32), 본체프레임(33), 그리고 좌우이송수단(34)을 포함하여 구비될 수도 있다.

상세히, 상기 제1컬러촬상부(300)는 상기 본체프레임(33)의 상부에 좌우이송수단(34)이 구비되어, 상기 제1컬러촬상부(300)가 연산제어부(50)의 명령에 따라 연속적으로 자동 수평 이동될 수도 있다.

이를 통해, 상기 제1컬러촬상부(300)는 상기 검사대상기판의 반입에 따라 상기 각 기판이송부 측으로 수평이동되어 컬러 스캐닝함으로써, 인쇄회로기판 검사장치의 구조를 단순화하면서 인쇄회로기판의 검사속도를 현저히 증가시키고, 자동화 작업에 효과적으로 기여하는 효과를 기대할 수 있다.

또한, 상기 제1컬러촬상부(300)는 상기 본체프레임(33)의 하부에 각각 상이하게 설정된 조명을 각각의 촬상장치를 구비되되, 상기 각 촬상장치는 상기 각각의 기판이송부의 길이방향을 따라 배치되도록 이루어진다. 다양한 데이터를 수집 및 분석 가능하도록 이루어진다.

상세히, 상기 제1컬러촬상부(300)의 각각 상이하게 설정된 조명을 각각의 촬상장치 촬상장치는 제1비젼부(31) 및 제2비젼부(32)를 포함하여 구성될 수도 있다.

여기서, 상기 제1컬러촬상부(300)의 상기 각 촬상장치를 복수개 구비되어 각각의 기판이송부의 길이방향을 따라 상기 촬상장치를 배치됨이 바람직하다. 이를 통해, 별도의 설비 없이 다양한 규격의 상기 검사대상기판이 검사됨이 바람직하다.

상세히, 상기 제1컬러촬상부(300)는 별도의 기구, 하드웨어의 수정 변경 없이 다양한 규격의 상기 검사대상기판의 검사가 가능해져, 효율성 증대에 따른 추가비용이 발생하지 않아 생산성 향상 효과를 기대할 수 있다.

그리고, 제1비젼부(31)는 적,녹,청 조명이 5열로 구비됨으로써 동축의 구조로 밝은 빛을 발산시켜 상기 검사대상기판 내의 볼-패드 및 본딩-패드 부위의 결합 여부 검사하도록 이루어진다. 상세히, 상기 제1비젼부(31)는 면적조명을 이용한 엘티이 조명으로, 상기 검사대상기판의 패턴 상에 2차원 결함 여부를 검사된다.

또한, 상기 제2비젼부(32)는 적,녹,청 조명이 3열 구비되고, 사이드 조명을 추가 구비하여, 측광의 빛을 이용해서 상기 검사대상기판의 패드 주변 도포 검사 및 SR부위에 결함을 검출된다. 이때, 상기 제2비젼부(32)는 3D 조명을 이용한 엘티이 조명으로, 엘티이 조명의 경사각과 정면각으로 상기 검사대상기판을 조사하여 기판 패턴에 대한 3차원 입체 영상을 획득하여 패턴 상의 이물질 여부를 검사된다.

따라서, 본 발명에 따른 인쇄회로기판 검사장치(1)는 상기 제1컬러촬상부(300)에서 조명이 상이하게 설정된 복수개의 조명을 설정되고, 상기 각각의 기판이송부의 길이방향을 따라 상기 촬상장치를 복수개 배치함으로써, 다양한 검사대상기판이 정확하고 신속하게 검사되어, 상기 검사대상기판의 품질 개선에 기여하는 효과를 기대할 수 있다.

한편, 상기 검사대상기판은 상기 제1컬러촬상부(300)에서 상기 검사대상기판의 결함 여부를 검사된 후 상기 반입 및 반출부(10)를 통해 상기 제1모노촬상부(400)로 이송되어 모노 스캐닝 됨이 바람직하다.

이때, 상기 제1모노촬상부(400)는 제3비젼부(43) 및 제 4비젼부(44)를 포함여 구비되되, 상기 제1기판이송부(21) 및 제2기판이송부(22)의 연장부 또는 측부에 배치되어 상기 검사대상기판의 결함 여부를 검사할 수도 있다.

상세히, 상기 제1모노촬상부(400)는 상기 제1기판이송부(21) 및 제2기판이송부(22)의 연장부 또는 측부에 배치되어 상기 검사대상기판을 제1컬러촬상부(300)에서 컬러 스캐닝 된 후 복귀된 후 상기 각각의 기판이송부에서 반입 받아, 상기 검사대상기판을 연속적으로 모노 스캐닝 될 수 있다.

이와 같이, 상기 제1모노촬상부(400)는 상기 제1기판이송부(21) 및 제2기판이송부(22)의 연장부 또는 측부에 배치되어 상기 검사대상기판의 결함 여부를 검사함이 바람직하다.

따라서, 본 발명에 따른 인쇄회로기판 검사장치(1)는 제1컬러촬상부(300) 및 제1모노촬상부(400)를 구비함으로써, 상기 검사대상기판의 상기 컬러 스캐닝 및 상기 모노 스캐닝을 동시에 검사되도록 구성됨이 바람직하다.

상세히, 상기 제1컬러촬상부(300) 및 제1모노촬상부(400)를 하나의 장치에 구성하여 상기 컬러 스캐닝 및 모노 스캐닝이 연속적으로 실행됨으로써, 공정과정을 단순화하여 경제적이며 효율적인 결함정보 파악이 가능해지는 효과를 기대할 수 있다. 또한, 상기 검사대상기판은 컬러 스캐닝을 이용해서만 검출되는 패드 부위의 2차원 및 3차원 결함 여부와 모노 스캐닝을 이용해서만 검출되는 투명SR(Solder Resist)불량 등을 하나의 장치로 모두 검사가능해져 인쇄회로기판의 검사정밀도가 현저히 향상되고 검사 정확도가 개선되어 정확한 검사가 가능해지는 효과를 기대할 수 있다.

한편, 본 발명에 따른 인쇄회로기판 검사장치는 반전장치(60)를 이용해서 상기 검사대상기판이 이송과 함께 반전되어 양면검사됨이 바람직하다.

여기서, 상기 반전장치(60)는 상기 반입 및 반출부(10)에서 상기 검사대상기판을 반입 받아 반전시킨 후 상기 제3기판이송부(23) 및 상기 제4기판이송부(24)로 선택적으로 반입함이 바람직하다.

이때, 상기 제3기판이송부(23) 및 상기 제4기판이송부(24)는 각각 제3기판 컨베이어벨트부(23a), 제3기판 컨베이어벨트 구동부(23b), 제4기판 컨베이어벨트부(24a), 그리고 제4기판 컨베이어벨트 구동부(24b)를 포함하여 구비되되, 본 일실시예에서 전술된 상기 제1기판이송부(21)와 동일한 구조로서 상기 제3기판이송부(23) 및 제4기판이송부(24)의 구조 및 기능에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.

그리고, 상기 제3기판이송부(23) 및 상기 제4기판이송부(24)는 병렬 배치되어 상기 반전된 검사대상기판이 상기 제1컬러촬상부(300)로 교번하여 이송됨이 바람직하다.

상세히, 상기 반전된 검사대상기판은 상기 병렬배치된 제3기판이송부(23) 및 상기 제4기판이송부(24)를 이용해서 상기 제2컬러촬상부(310)의 말단부까지 교번하여 이송되고, 상기 검사대상기판이 상기 제2컬러촬상부(310)에서 다양한 데이터를 수집 및 분석되어, 상기 검사대상기판의 결함 유무를 자동검사됨이 바람직하다.

여기서, 상기 제2컬러촬상부(310)는 제5비젼부(35), 제6비젼부(36), 본체프레임(37), 그리고 좌우이송수단(38)을 포함하여 구비되되, 본 일실시예에서 전술된 상기 제1컬러촬상부(300)과 동일한 구조로서 상기 제2컬러촬상부(310)의 구조 및 기능에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.

또한, 상기 반전된 검사대상기판은 상기 제2모노촬상부(410)를 이용해서 모노 스캐닝 됨이 바람직하다. 상세히, 상기 제2컬러촬상부(310)에서 상기 검사대상기판의 결함 여부를 검사된 후 상기 반입 및 반출부(10)를 통해 상기 제2모노촬상부(410)로 이송되어 모노 스캐닝 됨이 바람직하다.

여기서, 상기 제2모노촬상부(410)은 제7비젼부(47) 및 제 8비젼부(48)를 포함여 구비되되, 본 일실시예에서 전술된 상기 제2모노촬상부(400)과 동일한 구조로서 상기 제2모노촬상부(410)의 구조 및 기능에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.

따라서, 본 발명에 따른 상기 인쇄회로기판 검사장치(1)는 제1컬러촬상부(300) 및 제1모노촬상부(400),그리고 반전장치(60)를 포함하여, 상기 검사대상기판의 양면이 컬러 스캐닝 및 모노 스캐닝됨으로써 동시에 검사됨이 바람직하다.

이를 통해, 상기 검사대상기판은 별도의 설비 없이 양면검사가 가능하게 되어 상기 검사대상기판의 정확한 검사가 가능하게 되고, 각 공정간의 연결을 원활하게 하여, 작업성과 생산성이 현저히 증가 되는 효과를 기대할 수 있다.

이하 본 발명의 일실시예에 따른 인쇄회로기판 검사장치가 상기 각각의 컬러촬상부 및 모노촬상부을 이용해서 검사대상기판을 스캐닝하여 수집한 각각의 데이터를 기저장된 회로패턴과 비교하여 제품의 결함 여부를 검사하는 방법을 상세히 설명한다.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 인쇄회로기판 검사장치의 촬상부를 이용한 검사방법을 나타낸 흐름도이고, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 인쇄회로기판 검사장치의 모노 데이터 변환 과정을 나타낸 개요도이며, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 스포이드기법 실험을 통한 결함 예 취득과정을 나타낸 흐름도이다.

도 3 내지 도 5에서 보는 바와 같이, 상기 인쇄회로기판 검사장치(1)는 상기 각 컬러촬상부 및 모노촬상부를 이용해서 상기 검사대상기판을 스캐닝한다(s10). 즉, 상기 검사대상기판은 상기 반입 및 반출부(10)을 통해 상기 제1기판이송부(21) 및 상기 제2기판이송부(22)로 선택적으로 반입된 후, 상기 각각의 이송부에 반입된 검사대상기판은 상기 제1컬러촬상부(300)의 타단부를 가로질러 직진이송되면서 상기 각 촬상부의 조명에서 조사된 검사대상기판 데이터가 스캐닝 됨이 바람직하다..

따라서, 본 발명에 따른 인쇄회로기판 검사장치(1)는 상기 컬러촬상부 및 모노촬상부를 구비함으로써, 검사대상기판을 컬러 스캐닝 및 모노 스캐닝 동시에 수행됨이 바람직하다(s10).

이와 같이, 상기 제1컬러촬상부(300) 및 제1모노촬상부(400)를 하나의 장치에 구성하여 상기 컬러 스캐닝 및 모노 스캐닝이 연속적으로 실행됨으로써, 공정과정을 단순화하여 경제적이며 효율적인 결함정보 파악이 가능해지는 효과를 기대할 수 있다. 또한, 상기 검사대상기판은 컬러 스캐닝을 이용해서만 검출되는 패드 부위의 2차원 및 3차원 결함 여부와 모노 스캐닝을 이용해서만 검출되는 투명SR(Solder Resist)불량 등을 하나의 장치로 모두 검사가능해져 인쇄회로기판의 검사정밀도가 현저히 향상되고 검사 정확도가 개선되어 정확한 검사가 가능해지는 효과를 기대할 수 있다.

또한, 상기 검사대상기판은 상기 복수개의 각 촬상부를 이용해서 상기 검사대상기판의 결함 종류에 따라 필요한 데이터를 추출하여 사용함으로써, 불필요한 공정과정이 축소되어, 작업성과 생산성이 증가하는 효과를 기대할 수 있다. 즉, 상기 검사대상기판은 결함 종류에 따라 상기 각 컬러데이터 및 모노데이터가 선택적으로 추출하여 검사됨이 바람직하다.

이와 같이, 상기 검사대상기판은 상기 각 촬상부에서 수집된 상기 검사대상기판의 컬러데이터 및 모노 데이터는 연산제어부(50)에 전송됨이 바람직하다(s20).이때, 상기 검사대상기판의 컬러데이터는 연산제어부(50)에서 적, 녹, 청 별로 분해 후 모노화된 데이터로 변환됨이 바람직하다(s30).

상세히, 도 4를 참조하면, 상기 검사대상기판의 컬러데이터는 컬러 스캐닝 된 후 상기 검사기판의 컬러데이터를 각각 적, 녹, 청등으로 분류하여 각 색상별 데이터로서 분할 추출됨이 바람직하다(s30a). 이를 위해, 상기 검사대상기판의 컬러데이터는 상기 제1컬러촬상부(300)에서 컬러 스캐닝 되어 수집된 후, 상기 각 촬상부에 저장된다. 그리고, 상기 각 촬상부에 저장된 컬러데이터는 상기 연산제어부(50)에 전송되며, 상기 연산제어부(50)는 상기 각 촬상부에 저장된 컬러데이터를 적, 녹, 청으로 분리하여 분류되도록 제어됨이 바람직하다.

여기서, 연산제어부(50)에 전송되어 분리된 상기 컬러데이터는 상기 적, 녹, 청의 비율에 따라 가중치 설정이 가능해진다(s30b). 이때, 상기 가중치설정은 영상테스트를 통해 상기 검사대상기판의 결함 여부를 효과적으로 나타낼 수 있는 데이터의 평균값분석을 통해 가중치 설정됨이 바람직하다.

이와 같이, 상기 각 색상별로 분할 추출된 컬러데이터는 가중치 설정 후 합산되어 모노화된 데이터로 변환된다(s30c).

따라서, 상기 제1컬러촬상부에서 컬러스캐닝된 컬러데이터는 상기 연산제어부(50)에 전송되어 상기 적, 녹, 청으로 분류되고, 상기 적, 녹, 청의 평균값 분석을 통해서 설정된 비율에 따라 가중치가 적용된 컬러데이터의 명도 및 채도를 유지하면서 색상을 조절하여 모노화된 데이터로 변환됨이 바람직하다.

이를 통해, 상기 검사대상기판에서 취득된 상기 각 컬러데이터 및 모노화된 데이터는 하나의 기저장된 회로패턴 데이터와 비교되어 검사과정이 통일적이고 연속적으로 수행될 수 있어 데이터량 감축 및 비교 연산과정 간략화를 통해 연산처리과정을 효율화할 수 있다.

여기서, 본 발명에 따른 인쇄회로기판 검사장치(1)는 각 촬상부에서 수집된 상기 각각의 모노 데이터 및 모노화된 데이터를 기저장된 회로패턴 데이터와 비교하여 일치율이 기설정된 범위 이상인지 여부를 검사되고,상기 검사대상기판의 결함 유무를 확인할 수 있다(s40).

상세히, 상기 각 촬상부에서 수집된 각각의 모노데이터 및 모노화된 데이터로부터 비교영역을 분할 추출하여, 선순위 비교영역에 대한 적.녹.청 별로 분해하여 생성된 각각의 분해 데이터 및 상기 모노 데이터를 기저장된 회로패턴 데이터의 대응영역과 하나의 사이클로서 비교한 후, 후순위 비교영역에 대한 각 사이클의 비교과정을 순차적으로 수행됨이 바람직하다.

이를 통해, 본 발명에 따른 인쇄회로기판 검사장치는 상기 각 촬상부에서 수집된 각각의 모노데이터 및 모노화된 데이터로부터 비교영역을 추출하여, 기저장된 회로패턴 데이터와 하나의 사이클로 비교하는 과정을 각 비교영역에 대하여 순차적으로 수행함으로써, 인쇄회로기판 검사장치의 불필요한 공정과정이 축소되어, 연산제어속도 및 처리 속도를 현저히 향상시키는 효과를 기대할 수 있다.

따라서, 상기 검사대상기판은 상기 제1컬러촬상부(300) 및 상기 제1모노촬상부(400)에서 수집되어 변환된 상기 모노 데이터 및 모노화된 데이터를 기저장된 회로패턴과 비교하여, 일치율이 기설정된 범위 미만인지 여부가 확인됨이 바람직하다.

여기서, 상기 검사대상기판의 상기 모노 데이터 및 모노화된 데이터는 상기 기저장된 회로패턴 데이터와 일치율이 기설정된 범위 미만일 경우 결함으로 판별되어 추출됨이 바람직하다(s50). 그리고, 상기 연산제어부(50)에서 상기 검사대상기판에 결함 여부가 표시됨이 바람직하다(s60). 또한, 결함 여부가 표시된 상기 검사대상기판의 상기 모노 데이터 및 모노화된 데이터는 연산제어부(50)에 저장 및 분류됨이 바람직하다(s70).

상세히, 도 5를 참조하면 상기 결함으로 추출된 검사대상기판의 회로패턴은 연산제어부(50)에서 불량예를 취득되어 상기 연산제어부(50)에 저장 및 분류되어 상기 검사대상기판의 결함여부를 검사하는 지표가 된다.

여기서, 상기 검사대상기판의 불랑예는 스포이드 기법을 통해 취득되어 축적됨이 바람직하다(s100). 상세히, 상기 검사대상기판은 상기 각 촬상부에서 수집되고 변환된 모노데이터 및 모노화된 데이터를 연산제어부(50)의 기저장된 회로패턴와 비교되어 일치율이 기설정된 범위 미만인 경우 연산제어부(50)에서 불량으로 판별되어 추출된다. 이때, 결함으로 추출된 상기 검사대상기판의 각각의 모노 데이터 및 모노화된 데이터는 연산제어부(50)에서 불량으로 판정되면 불량예로 분류되어 저장된다.

이때, 수집된 각 데이터는 상기 검사대상기판의 결함 종류 및 빈번하게 발생되는 위치를 파악하기 위해 활용될 수 있다.

상세히, 상기 각 촬상부에서 수집된 상기 각 데이터는 상기 검사대상기판의 결함 종류 및 빈번하게 발생되는 위치를 파악하는데 활용되고, 상기 결함종류 및 결함위치는 스포이드기법 실험을 통해 취득됨으로써 상기 검사대상기판의 회로패턴 결함예로 판별되어 상기 검사대상기판의 결함여부를 검사하는데 활용될 수 있다.

여기서, 상기 취득된 회로패턴 결함예는 적, 녹, 청 정보로 표시됨이 바람직하다(s110). 그리고, 상기 각각의 적, 녹, 청 정보의 비율에 따라 가중치 설정됨이 바람직하다(s120). 이때, 상기 가중치설정은 영상테스트를 통해 상기 검사대상기판의 결함 여부를 효과적으로 나타낼 수 있는 데이터의 평균값분석을 통해 가중치 설정됨이 바람직하다.

이와 같이, 상기 각 색상별로 분할 추출된 컬러데이터는 가중치 설정 후 합산되어 모노화된 데이터로 변환된다. 상세히, 상기 각각의 적, 녹, 청 정보는 종래의 모노 데이터를 기반하여 평균값 분석을 하고 가중치 설정됨이 바람직하다.

이와 같이, 상기 각각의 적, 녹, 청 정보는 가중치 설정 후 모노화된 데이터로 변환되어, 상기 연산제어부(50)에 회로패턴 데이터로 저장 및 분류됨이 바람직하다(s130).

따라서, 상기 결함으로 추출된 검사대상기판의 회로패턴을 연산제어부(50)에서 데이터베이스를 구축하고, 상기 데이터베이스를 활용하여 결함의 원인을 추적하는 검사방법으로 활용됨이 바람직하다.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 인쇄회로기판 검사장치의 비교영역 분할설정과 복수개의 촬상부를 이용한 검사방법을 나타낸 흐름도이고, 도 7a는 본 발명의 일실시예에 따른 제1비젼부의 정면도이며, 도 7b는 본 발명의 일실시예에 따른 제2비젼부의 정면도이다.

도 6 내지 도 7b에서 보는 바와 같이, 상기 인쇄회로기판 검사장치(1)는 복수개의 조명이 상이하게 설전된 상기 각각의 컬러촬상부 및 모노촬상부을 이용해서 검사대상기판을 스캐닝하여 수집한 각각의 데이터를 기저장된 회로패턴과 비교하여 제품의 상태를 확인할 수 있다.

여기서, 상기 검사대상기판은 복수개의 조명이 상이하게 설정된 상기 제1컬러촬상부(300) 및 제1모노촬상부(400)에서 복수개의 스캐닝을 동시에 수행될 수 있다(s210).

상세히, 제1컬러촬상부(300) 및 제1모노촬상부(400)은 각각 제1비젼부(31),제2비젼부(32), 제3비젼부(33), 그리고 제4비젼부(34)를 포함하여 구비됨이 바람직하다.

이때, 제1비젼부(31)는 적,녹,청 조명이 5열로 구비됨으로써 동축의 구조로 밝은 빛을 발산시켜 상기 검사대상기판 내의 볼-패드 및 본딩-패드 부위의 결합 여부 검사하도록 이루어진다. 상세히, 상기 제1비젼부(31)는 면적조명을 이용한 엘티이 조명으로, 상기 검사대상기판의 패턴 상에 2차원 결함 여부를 검사된다.

그리고, 상기 제2비젼부(32)는 적,녹,청 조명이 3열 구비되고, 사이드 조명을 추가 구비하여, 측광의 빛을 이용해서 상기 검사대상기판의 패드 주변 도포 검사 및 SR부위에 결함을 검출된다. 이때, 상기 제2비젼부(32)는 3D 조명을 이용한 엘티이 조명으로, 엘티이 조명의 경사각과 정면각으로 상기 검사대상기판을 조사하여 기판 패턴에 대한 3차원 입체 영상을 획득하여 패턴 상의 이물질 여부를 검사된다.

또한, 상기 제3비젼부(33)는 적외선조명으로 상기 검사대상기판을 솔더 레지스트 내부의 비전도성 이물질에 의해 불량으로 판별되는 과검출을 방지하고, 내부의 비전도성 이물질에 의해 결함으로 판별되는 과검출을 방지되도록 이루어진다.

즉, 상기 제3비젼(40a)의 상기 적외선 조명은 긴 파장의 전자파를 이용하여 높은 투과성과 감도로 인해 상기 검사대상기판의 SR검사 및 목시로 구분하기 힘든 SR 하지패턴 부위의 불량을 검출하도록 이루어진다.

더욱이, 상기 제4비젼부(40b)의 UV 백화조명은 반원뿔 구조와 직광 면적 구조의 조명으로 구성되며, 검사대상기판이 백화현상 및 진성 이물 관련 항복 검사되도록 이루어진다.

즉, 상기 제4비젼(40b)은 돔 형태의 동축 조명 타입으로 짧은 파장으로 높은 해상도를 지니고 있는 특성을 이용하여 상기 검사대상기판의 백화현상 및 진성 이물 관련 항복 검사되도록 이루어진다.

따라서, 상기 검사대상기판은 복수개의 조명이 상이하게 설정된 상기 제1컬러촬상부(300) 및 제1모노촬상부(400)에서 복수개의 스캐닝을 동시에 수행됨으로써, 상기 검사대상기판은 빛의 파장에 따라 다양한 조명으로 스캐닝할 수 있게 되어, 다양한 종류의 검사대상기판의 결함을 더욱 세밀하게 검출할 수 있다.

상세히, 상기 검사대상기판은 상기 복수개의 각 촬상부를 이용해서 상기 검사대상기판의 외관이 검사됨으로써, 다양한 기판의 불량종류를 최대한 효율적으로 추출하여, 상기 검사대상기판의 불량마크 혼입 검사 및 SR이물, SR변색, SR뭉침 등과 같은 SR(Solder Resist) 불량등 상기 검사대상기판의 다양한 불량에 대한 정확한 검사가 가능해진다. 이를 통해, 상기 검사대상기판은 제품의 미검(Miss Defecting)이 현저히 감소하는 효과를 기대할 수 있다.

이와 같이, 상기 검사대상기판은 상기 각 촬상부에서 수집된 상기 검사대상기판의 컬러데이터 및 모노 데이터는 연산제어부(50)에 전송됨이 바람직하다(s220).이때, 상기 검사대상기판의 컬러데이터는 연산제어부(50)에서 적, 녹, 청 별로 분해 후 모노화된 데이터로 변환됨이 바람직하다(s230).

여기서, 상기 연산제어부(50)에서 컬러데이터가 모노화된 데이터로 변환되는 과정은 본 일실시예에서 전술된 도 4의 내용과 일치하여 컬러데이터가 모노화된 데이터로 변환되는 과정에 대한 설명은 생략하기로 한다.

그리고, 상기 연산제어부(50)에서 분류된 상기 검사대상기판의 모노 데이터와 모노화된 데이터는 비교영역을 분할됨이 바람직하다(s240).

상세히, 연산제어부(50)에서 분류된 상기 검사대상기판의 모노데이터와 모노화된 데이터는 기저장된 회로패턴의 대응영역과 순차적으로 비교, 분석되도록 비교영역이 분할된다.

따라서, 상기 검사대상기판은 상기 연산제어부(50)에서 상기 분활 된 각 비교영역과 기저장된 회로패턴 데이터를 순차적으로 비교하여 일치율이 기설정된 범위 이상인지 여부가 검사되고, 상기 검사대상기판의 결함 유무를 확인할 수 있다(s250).

상세히, 본 발명에 따른 상기 인쇄회로기판 검사장치(1)는 상기 각 촬상영역의 각 데이터로부터 비교영역을 분할 추출하여, 선순위 비교영역에 대한 적.녹.청 별로 분해하여 생성된 각각의 모노화된 데이터 및 상기 모노 데이터를 기저장된 회로패턴 데이터의 대응영역과 하나의 사이클로서 비교한 후, 후순위 비교영역에 대한 각 사이클의 비교과정을 순차적으로 수행됨이 바람직하다.

이와 같이, 상기 복수개의 조명이 상이하게 설정된 각 촬상부에서 수집된 각각의 모노데이터 및 모노화된 데이터로부터 비교영역을 추출하여, 기저장된 회로패턴 데이터와 하나의 사이클로 비교함으로써, 인쇄회로기판 검사장치의 불필요한 공정과정이 축소되어, 연산제어속도 및 처리 속도를 현저히 향상시키는 효과를 기대할 수 있다.

여기서, 상기 검사대상기판의 상기 분할된 각 비교영역이 상기 기저장된 회로패턴 데이터와 일치율이 기설정된 범위 미만일 경우 결함으로 판별되어 추출됨이 바람직하다(s260)

상세히, 상기 검사대상기판은 복수개의 조명이 상이하게 설정된 상기 제1컬러촬상부(300) 및 상기 제1모노촬상부(400)에서 컬러 스캐닝 및 모노 스캐닝 되어 변환된 상기 모노 데이터 및 모노화된 데이터를 기저장된 회로패턴과 비교하여, 일치율이 기설정된 범위 이상인지 여부가 확인됨이 바람직하다.

여기서, 상기 검사대상기판의 상기 모노 데이터 및 모노화된 데이터는 상기 기저장된 회로패턴 데이터와 일치율이 기설정된 범위 미만일 경우 결함으로 판별되어 추출됨이 바람직하다(s260). 그리고, 상기 연산제어부(50)에서 상기 검사대상기판에 결함 여부가 표시됨이 바람직하다(s270). 또한, 결함 여부가 표시된 상기 검사대상기판의 상기 모노 데이터 및 모노화된 데이터는 연산제어부(50)에 저장 및 분류됨이 바람직하다(s280).

이때, 상기 연산제어부(50)에서 상기 불량으로 추출된 검사대상기판의 회로패턴을 불량예로 취득하고 상기 연산제어부(50)에 저장 및 분류하는 과정은 본 일실시예에 전술된 도 5의 내용과 일치하여 스포이드기법을 통한 불량예 취득과정에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 각 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 청구항에서 청구한 범위를 벗어남 없이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 변형실시되는 것은 가능하며, 이러한 변형실시는 본 발명의 범위에 속한다.

10: 반입 및 반출부 50: 연산제어부
11: 매거진 60: 반전장치
11a: 매거진적재부 300: 제1컬러촬상부
11b: 매거진측판 31: 제1비젼부
12: 매거진공급부 32: 제2비젼부
13: 세로이송부 33: 제1컬러촬상부 본체프레임
14: 세척장치 34: 제1컬러촬상부 좌우이송수단
15: 가로현수이송장치 310: 제2컬러촬상부
15a: 현수이송부 35: 제5비젼부
15b: 기판고정부 36: 제6비젼부
21: 제1기판이송부 37: 제2컬러촬상부 본체프레임
21a: 제1기판 컨베이어벨트부 38: 제2컬러촬상부 좌우이송수단
21b: 제1기판 컨베이어벨트 구동부 400: 제1모노촬상부
22a: 제2기판 컨베이어벨트부 40a: 제3비젼부
22b: 제2기판 컨베이어벨트 구동부 40b: 제4비젼부
23a: 제3기판 컨베이어벨트부 410: 제2모노촬상부
23b: 제3기판 컨베이어벨트 구동부 41a: 제7비젼부
24b: 제4기판 컨베이어벨트 구동부 42b: 제8비젼부

Claims

매거진으로부터 일단부로 반입된 검사대상기판을 타단부로 직진 이송하는 기판이송부;
적.녹.청 빛을 발산하는 조명부가 각각 상이하게 설정된 복수개의 촬상장치로 구비되되, 상기 각 촬상장치는 상기 기판이송부의 길이방향을 따라 배치되어 직진 이송되는 상기 검사대상기판을 컬러스캐닝하여 컬러데이터를 각각 수집하는 컬러촬상부;
상기 컬러스캐닝된 검사대상 인쇄회로기판을 반입받아 직진 이송하면서 모노스캐닝하여 모노 데이터를 수집하는 모노촬상부; 및
상기 컬러데이터를 적.녹.청 별로 분해하여 생성된 각각의 분해 데이터 및 상기 모노 데이터를 기저장된 회로패턴 데이터와 비교하며, 상기 각각의 분해 데이터 및 상기 모노 데이터 중 상기 회로패턴 데이터와 일치율이 기설정된 범위 미만인 검사대상기판의 영역을 추출 및 표시하는 연산제어부를 포함하는 인쇄회로기판 검사장치.
제 1 항에 있어서,
상기 각 조명부는 상기 적.녹.청 단위 색의 빛을 발산하는 엘이디 소자의 개수 및 측광을 제공하는 사이드 조명의 배치에서 상호 상이하게 설정됨을 특징으로 하는 인쇄회로기판 검사장치.
삭제
제 1 항에 있어서,
상기 연산제어부는 상기 컬러데이터를 적.녹.청 별로 분해하여 생성된 각각의 분해 데이터를 가중치가 적용된 모노화된 데이터로 각각 변환하고, 상기 각 모노화된 데이터 및 상기 모노 데이터를 상기 회로패턴 데이터와 비교함을 특징으로 하는 인쇄회로기판 검사장치.
제 1 항에 있어서,
상기 연산제어부는 상기 각 촬상장치에 의해 촬상된 데이터를 비교영역으로 분할 추출하여, 선 순위 비교영역에 대한 적.녹.청 별로 분해하여 생성된 각각의 분해 데이터 및 상기 모노 데이터를 기저장된 회로패턴 데이터의 대응영역과 하나의 사이클로서 비교한 후, 후 순위 비교영역에 대한 각 사이클의 비교과정을 순차적으로 수행함을 특징으로 하는 인쇄회로기판 검사장치.