JP2010169651A - 基板検査装置及び検査治具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 検査治具32は、検査基板21の配線パターンの検査点に接触させて、配線パターンを検査するための複数の検査用プローブ35を備える、また、基板検査装置1に取り付けられて用いられる。その検査治具は、さらに、複数の検査用プローブを保持するための保持板32Hと、基板検査装置1の制御装置11によってデータの書込み及び読出しが行われる記憶手段37とを備える。保持板32Hに検査治具の位置決めのための治具位置決めマーク36Aを設ける。
【選択図】 図2
Description
図1は、本発明の一実施例に係る基板検査装置1を示す側面図である。その図には、搬送テーブル20と第1及び第2の検査治具移動部30,40との移動方向を明確にする観点からXYZ軸による直交座標系を示す。Y軸は、図1の紙面の表側から裏側に向かう方向が正方向である。他の図面においても、方向を示す場合には、そのXYZ軸による直交座標系に基づくものとする。
図13は、ネットワークで接続された顧客側の基板検査装置システム300を示す。その基板検査装置システム300では、ライン350のノード151,152,153,154から分岐されたラインのそれぞれに基板検査装置(GATS78XX#1、GATS221X#1、GATS222X#1)310,320,330が接続されている。ライン350にはさらに治具メンテナンスステージの不良解析ステージ340が接続されている。一方、基板検査装置及び検査治具の供給者200からは、顧客に対し、記憶装置FDに保存したネットデータ、マップデータ等の検査条件や、検査装置の種別データや検査治具の固有のデータ等が提供される。
上記の実施形態では、第1から第4の差のデータを基板検査装置の制御装置の主記憶部又は検査治具の記憶手段に格納したが、すべての差のデータを主記憶部に記憶させた上で、必要なデータのみを検査治具の記憶手段に記憶させるようにしてもよい。
2A,2B・・・基板位置決めマーク
11・・・制御装置
20・・・搬送テーブル
21・・・検査基板
22・・・基板保持部
26・・・テーブル位置決めマーク
30・・・第1の検査治具移動部
32・・・検査治具
34・・・主カメラ
35・・・検査用プローブ
36A,36B・・・治具位置決めマーク
37・・・記憶手段
38・・・読取及び書込装置
40・・・第2の検査治具移動部
55・・・補助カメラ
110・・・検査治具
112・・・記憶手段
115,116,117・・・修正データ
120・・・マスタースケール
300・・・基板検査装置システム
Claims (10)
- 検査基板の配線パターンの電気的特性を検査するための基板検査装置に用いられる検査治具であって、
前記検査基板の配線パターン上の検査点に接触させて該検査基板の配線パターンの電気的特性を検査するための複数の検査用プローブと、
該複数の検査用プローブを保持するための保持板と、
前記基板検査装置の制御装置によってデータの書込み及び読出しが行われる記憶手段とを備える、検査治具。 - 請求項1の検査治具において、さらに、該検査治具に、該検査治具が前記基板検査装置に取り付けられた際の該検査治具の位置決めのために前記保持板に設けられた複数の治具位置決めマークが設けられている、検査治具。
- 請求項2の検査治具において、前記記憶手段に、前記基板検査装置における基板位置決めマークと前記治具位置決めマークから光学的位置合せした位置から前記検査点における電気検査に適合する位置との差を表すデータが保存される、検査治具。
- 請求項3の検査治具において、前記記憶手段に、該検査治具を用いて検査基板を検査する際の検査データが保存される、検査治具。
- 請求項1の検査治具を搭載する基板検査装置であって、
前記検査治具を移動させるための検査治具移動部と、
前記検査基板を保持する基板保持部と、
該基板保持部に配置されるマスタースケール上の位置の基準を認識するカメラ装置と、
該カメラ装置によって認識された前記マスタースケール上の位置の基準を示す印を該基板検査装置の光学的位置合せ位置の原点として位置決めを行う制御装置とを備え、
該制御装置は、光学的位置合せ位置と前記検査点の電気検査に適合する位置との差を表すデータを該制御装置の主記憶部または外部の記憶手段に個々の前記検査治具と1対1に書込み及び読出を行い、
該差を表すデータに基づいて位置合せして検査する基板検査装置。 - 請求項5の基板検査装置において、前記記憶手段は着脱可能またはLAN接続の記憶部である、基板検査装置。
- 請求項5の基板検査装置において、前記スケールはガラス板材からなるマスタースケールである、基板検査装置。
- 請求項5の基板検査装置において、さらに、アンテナを備える読取及び書込装置を備え、また、前記記憶手段はアンテナ及び半導体メモリを備え、前記読取及び書込装置を介して前記記憶手段の前記半導体メモリに対し非接触でデータの書き込み及び読み出しを行う、基板検査装置。
- 請求項1の検査治具において、前記記憶手段はアンテナ及び半導体メモリを備え、前記基板検査装置の読取及び書込装置を介して前記記憶手段の前記半導体メモリに対し非接触でデータの書き込み及び読み出しが行われる、検査治具。
- 請求項5の検査治具を搭載する基板検査装置において検査治具の位置合わせを行う方法であって、
前記カメラ装置によって前記基板保持部に配置されるマスタースケール上の位置の基準を認識する工程と、
前記制御装置によって、前記カメラ装置によって認識された前記マスタースケール上の位置の基準を示す印を該基板検査装置の光学的位置合せ位置の原点として位置決めを行う工程と、
前記制御装置によって、光学的位置合せ位置と前記検査点の電気検査に適合する位置との差を表すデータを該制御装置の主記憶部または外部の記憶手段に個々の前記検査治具と1対1に書込み及び読出を行なう工程と、
前記差を表すデータに基づいて前記検査治具の位置合せをして前記検査基板の検査をする工程とを含む、検査治具の位置合わせを行う方法。
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