WO2019163288A1

WO2019163288A1 - 位置決め装置及び位置決め方法

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Publication number: WO2019163288A1
Application number: PCT/JP2018/048057
Authority: WO
Inventors: 石井　徹
Original assignee: ヤマハファインテック株式会社
Priority date: 2018-02-26
Filing date: 2018-12-27
Publication date: 2019-08-29
Also published as: JP7050359B2; JPWO2019163288A1; CN111742233A; CN111742233B; KR102457415B1; KR20200109346A

Abstract

本発明は、処理部を処理対象物に対して正確に位置決めすることができる位置決め装置及び位置決め方法を提供することを課題とする。本発明の一態様に係る位置決め装置は、被位置決め部材である第１処理部（Ｈａ）を位置決め対象物である処理対象物（Ｐ）に対して位置決めする位置決め装置であって、前記第１処理部（Ｈａ）を移動させる第１移動機構（１ａ）と、前記第１移動機構（１ａ）に保持され、前記処理対象物を撮影する第１カメラ（２ａ）と、前記第１カメラ（２ａ）と反対方向から前記第１処理部（Ｈａ）を撮影する第２カメラ（２ｂ）と、対向し合う前記第１カメラ（２ａ）及び前記第２カメラ（２ｂ）の撮影範囲内に出現、消滅するよう配設される基準マーカー（Ｍｃ）とを備える。

Description

位置決め装置及び位置決め方法

　本発明は、位置決め装置及び位置決め方法に関する。

　プリント基板の製造現場では、複数のプローブ（電気接触子）を有する検査ヘッドをプリント基板に圧接し、プローブをプリント基板の測定点に接触させてプリント基板の電気的な特性を検査する検査装置が使用されている。

　このような検査装置の検査ヘッドは、多様なプリント基板を検査可能とするために、３次元の移動機構によって位置決めされるヘッド本体と、このヘッド本体に取り付けられ、複数のプローブ及びこの複数のプローブを位置決めするガイドを有するプローブユニットとを有する構成とされる。つまり、検査装置では、検査ヘッドのプローブユニットが、検査するプリント基板に応じて交換される。

　一般に、検査装置は、検査ヘッドを位置決めする位置決め装置が、カメラを備え、カメラによってプリント基板を撮影し、画像処理によってプリント基板の位置を確認して検査ヘッドを基板に対して位置決めする。しかしながら、近年、プリント基板の高精細化が進んでおり、検査ヘッドをプリント基板に対して厳密に位置決めすることが必要とされるため、ヘッド本体に対するプローブユニットの取り付け誤差が無視できないものとなっている。

　このようなプローブユニットの取り付け誤差を補正するために、プリント基板を保持するテーブルに補助カメラを配設し、この補助カメラによって検査ヘッドを撮影してプローブユニットのガイドに設けられる治具位置決めマークの位置を認識することにより、プローブユニットの正確な位置を把握する検査装置が提案されている（特開２００９－１１３６００号公報参照）。

特開２００９－１１３６００号公報

　前記公報に記載される検査装置では、プリント基板を保持するテーブルに補助カメラを配設するため、装置構成が複雑である。このように複雑な装置構成は、装置のコストを増大させるだけでなく、小型の装置ではプローブユニットの正確な位置を把握するための構成を配置するスペースを確保することが困難となるという不都合もある。特に、プリント基板の両面を検査するためには、前記公報に記載されているように、表側の検査ヘッドのガイドを撮影する補助カメラと、裏側の検査ヘッドのガイドを撮影する補助カメラとが必要である。

　前記不都合に鑑みて、本発明は、検査ヘッド等の処理部をプリント基板等の処理対象物に対して正確に位置決めすることができる位置決め装置及び位置決め方法を提供することを課題とする。

　前記課題を解決するためになされた本発明の位置決め装置は、被位置決め部材である第１処理部を位置決め対象物である処理対象物に対して位置決めする位置決め装置であって、前記第１処理部を移動させる第１移動機構と、前記第１移動機構に保持され、前記処理対象物を撮影する第１カメラと、前記第１カメラと反対方向から前記第１処理部を撮影する第２カメラと、対向し合う前記第１カメラ及び前記第２カメラの撮影範囲内に出現、消滅するよう配設される基準マーカーとを備える。

　また、本発明の位置決め方法は、処理部を処理対象物に対して位置決めする位置決め方法であって、第１カメラと、前記第１カメラに対向するよう配置した第２カメラとによって、前記第１及び第２カメラの撮影範囲内に出現した基準マーカーを撮影する工程と、前記第２カメラで前記処理部に設けられた処理部マーカーを撮影する工程と、前記第２カメラで撮影した前記基準マーカーの位置と、前記第２カメラで撮影した前記処理部マーカーの位置とから、前記基準マーカー及び前記処理部マーカー間の相対位置を算出する工程と、前記算出された前記基準マーカー及び前記処理部マーカー間の相対位置と、前記第１カメラで撮影した前記基準マーカーの位置とから、前記第１カメラ及び前記処理部マーカー間の相対位置を算出する工程と、前記第１カメラで前記処理対象物を撮影する工程と、前記第１カメラで撮影した前記処理対象物の位置から、前記第１カメラに対する前記処理対象物の相対位置を認識する工程と、前記認識された前記第１カメラに対する前記処理対象物の相対位置と、前記算出された前記第１カメラ及び前記処理部マーカー間の相対位置とに基づき、前記処理部を前記処理対象物に対して位置決めする工程とを備える。

本発明の一実施形態に係る位置決め装置の構成を示す模式図である。図１の位置決め装置を備える検査装置の構成を示す模式図である。図１の位置決め装置のマーカー移動装置の構成を示す模式図である。本発明の一実施形態に係る位置決め方法を示すフローチャートである。図４の基準マーカー撮影工程における裏側カメラの撮影画像の簡略化イメージ図である。図４の処理部マーカー撮影工程における裏側カメラの撮影画像の簡略化イメージ図である。図４の基準マーカー位置算出工程の概要を示す簡略化イメージ図である。図４のカメラ位置算出工程における表側カメラの撮影画像の簡略化イメージ図である。本発明の位置決め装置の動作を示すフローチャートである。図９の位置決め工程における表側カメラの撮影画像の簡略化イメージ図である。図３とは異なるマーカー移動装置の構成を示す模式図である。

　本発明の一態様に係る位置決め装置は、被位置決め部材である第１処理部を位置決め対象物である処理対象物に対して位置決めする位置決め装置であって、第１処理部を移動させる第１移動機構と、前記第１移動機構に保持され、前記処理対象物を撮影する第１カメラと、前記第１カメラと反対方向から前記第１処理部を撮影する第２カメラと、対向し合う前記第１カメラ及び前記第２カメラの撮影範囲内に出現、消滅するよう配設される基準マーカーとを備える。

　また、本発明の他の態様に係る位置決め方法は、処理部を処理対象物に対して位置決めする位置決め方法であって、第１カメラと、前記第１カメラに対向するよう配置した第２カメラとによって、前記第１及び第２カメラの撮影範囲内に出現した基準マーカーを撮影する工程と、前記第２カメラで前記処理部に設けられた処理部マーカーを撮影する工程と、前記第２カメラで撮影した前記基準マーカーの位置と、前記第２カメラで撮影した前記処理部マーカーの位置とから、前記基準マーカー及び前記処理部マーカー間の相対位置を算出する工程と、前記算出された前記基準マーカー及び前記処理部マーカー間の相対位置と、前記第１カメラで撮影した前記基準マーカーの位置とから、前記第１カメラ及び前記処理部マーカー間の相対位置を算出する工程と、前記第１カメラで前記処理対象物を撮影する工程と、前記第１カメラで撮影した前記処理対象物の位置から、前記第１カメラに対する前記処理対象物の相対位置を認識する工程と、前記認識された前記第１カメラに対する前記処理対象物の相対位置と、前記算出された前記第１カメラ及び前記処理部マーカー間の相対位置とに基づき、前記処理部を前記処理対象物に対して位置決めする工程とを備える。

　ここで、「撮影範囲」とは、カメラによる撮影画像の中で画像処理に必要とされる画像領域を意味し、画像処理に必要とされない周辺領域は含まないものとする。

　当該位置決め装置及び位置決め方法は、前記第１及び第２カメラの撮影範囲内に出現、消滅する基準マーカーを使用する。これにより、基準マーカーを前記第１及び第２カメラの撮影範囲に出した状態で、処理部側の第１カメラと、それに対向する第２カメラによって、前記基準マーカーをそれぞれ撮影できる。また、基準マーカーをカメラの撮影範囲から退避させた状態で、第２カメラで処理部を撮影することもできる。これらの撮影画像から、前記処理部と前記基準マーカーとの相対位置関係を導き出せる。このため、処理部側の第１カメラで処理対象物を撮影して前記処理対象物に対する前記第１カメラの相対位置を算出し、前記処理部と前記第１カメラとの相対位置関係を補正することによって、前記処理部を前記処理対象物に対して正確に位置決めすることができる。また、当該位置決め装置及び位置決め方法では、移動可能な第１カメラを第２カメラに対向させて処理部の正確な位置を確認するので、第２カメラを当該位置決め装置の他の構成要素及び他の装置の構成要素と干渉しない任意のスペースに配置することができる。これにより、装置を小型化することができる。

　以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を詳説する。

　図１に示す本発明の一実施形態に係る位置決め装置は、位置決め対象である処理対象物（不図示）に対して第１処理部Ｈａを正確に位置決めする装置である。

　前記処理対象物と前記第１処理部Ｈａとの組み合わせの例としては、プリント基板とその電気的特性を検査する検査ヘッド、フィルムとそれに穴を開ける穿孔加工部、仕上げ加工が施される製品パーツと仕上げ加工ヘッドなどを挙げることができる。

　図１の位置決め装置は、第１処理部Ｈａを移動させる第１移動機構１ａと、第１処理部Ｈａとの相対位置が一定であるように第１移動機構１ａに保持され、処理対象物を表側から撮影する第１カメラ（表側カメラ）２ａと、表側カメラ２ａと反対方向（裏側）から第１処理部Ｈａを撮影する第２カメラ（裏側カメラ）２ｂと、対向し合う第１カメラ２ａ及び第２カメラ２ｂの撮影範囲内に出現、消滅するよう配設される基準マーカーＭｃとを備える。

　第１移動機構１ａは、第１処理部Ｈａ及び第１カメラ２ａを保持し、前後、左右、上下の移動や回転などの動作のいずれか又は複数の組み合わせによって、第１処理部Ｈａ及び第１カメラ２ａを移動させる。第２カメラ２ｂは、位置が固定されていてもよいが、第２移動機構（不図示）により保持することで、移動して位置決め可能であってもよい。第１処理部Ｈａには、第２カメラ２ｂによって撮影可能な位置（裏面）に第１処理部マーカーが設けられる。

　当該位置決め装置は、基準マーカーＭｃを第１及び第２カメラ２ａ、２ｂの撮影範囲に出した状態で、第１処理部Ｈａ側の第１カメラ２ａと、それに対向する第２カメラ２ｂによって、基準マーカーＭｃをそれぞれ撮影できる。また、基準マーカーＭｃを第１及び第２カメラ２ａ、２ｂの撮影範囲から退避させた状態で、第２カメラ２ｂで第１処理部Ｈａを撮影することもできる。これらの撮影画像から、第１処理部Ｈａと基準マーカーＭｃとの相対位置関係を導き出せる。このため、第１処理部Ｈａ側の第１カメラ２ａで処理対象物を撮影して処理対象物に対する第１カメラ２ａの相対位置を算出し、第１処理部Ｈａと第１カメラ２ａとの相対位置関係を補正することによって、第１処理部Ｈａを処理対象物に対して正確に位置決めすることができる。

　また、当該位置決め装置は、移動可能な第１カメラ２ａを第２カメラ２ｂに対向させて第１処理部Ｈａの正確な位置を確認するので、第２カメラ２ｂを当該位置決め装置の他の構成要素及び他の装置の構成要素と干渉しない任意のスペースに配置できるので、装置を小型化することができる。

　以下に、当該位置決め装置を備える検査装置の構成について述べることで、当該位置決め装置及び位置決め方法の詳細を説明する。

［検査装置］
　図２に示す検査装置は、両面に回路が形成されたプリント基板Ｐの電気的特性を検査する電気検査装置である。

　図２の検査装置は、処理対象物であるプリント基板Ｐを水平に保持する基板保持機構３と、第１処理部である表側検査ヘッドＨａと、第２処理部である裏側検査ヘッドＨｂと、表側検査ヘッドＨａ及び裏側検査ヘッドＨｂをプリント基板Ｐに対して位置決めする当該位置決め装置とを備える。

　当該位置決め装置は、表側検査ヘッドＨａを移動させる表側移動機構１ａと、裏側検査ヘッドＨｂを移動させる裏側移動機構１ｂと、プリント基板Ｐを表側（上側）から撮影する表側カメラ２ａと、プリント基板Ｐを裏側（下側）から撮影する裏側カメラ２ｂと、対向し合う表側カメラ２ａ及び裏側カメラ２ｂの撮影範囲内に出現、消滅するよう基準マーカーＭｃを移動させるマーカー移動装置４と、各機構の動作を制御するコントローラー５とを備える。つまり、当該位置決め装置は、処理部を２つ持ち、それぞれの処理部を個別に移動させる２つの移動機構１ａ、１ｂを有する構成となっている。

　当該位置決め装置は、表側検査ヘッドＨａをプリント基板Ｐに対して位置決めする場合、表側移動機構１ａを第１移動機構とし、裏側移動機構１ｂを第２移動機構とし、表側カメラ２ａを第１カメラとし、裏側カメラ２ｂを第２カメラとして用いる。また、当該位置決め装置は、裏側検査ヘッドＨｂをプリント基板Ｐに対して位置決めする場合、表側移動機構１ａを第２移動機構とし、裏側移動機構１ｂを第１移動機構とし、表側カメラ２ａを第２カメラとし、裏側カメラ２ｂを第１カメラとして用いる。

　なお、以下の説明では、実施形態に合わせて「水平」「上」「下」等の絶対的な方向を用いるが、本発明の構成要素の配置を限定するものではない。

〔プリント基板〕
　図２の検査装置によって電気的特性が検査されるプリント基板Ｐとしては、典型的には両面に回路パターンが形成された両面基板が挙げられる。また、プリント基板Ｐは、堅固なリジッドプリント基板であってもよく、可撓性を有するフレキシブルプリント基板であってもよい。

　また、プリント基板Ｐは、表側移動機構１ａ及び裏側移動機構１ｂによって表側検査ヘッドＨａ及び裏側検査ヘッドＨｂを位置決めする際に、プリント基板Ｐの位置を正確に認識するための基準点となる対象物マーカーＭｐを有する。

　対象物マーカーＭｐは、例えば、プリント基板Ｐの両面に回路パターンを形成する金属によって回路パターンと同時に形成される金属パターンとすることができる。また、対象物マーカーＭｐは、回路パターン中の特徴点（画像処理により認識できる点）であってもよく、金属パターン以外に、例えば塗料を用いた印刷等により形成されるものであってもよい。なお、対象物マーカーＭｐはプリント基板Ｐの表と裏に個別に設けられてもよいが、ここでは、表裏いずれの側からも認識できるスルーホールのような単一のパターンであるものとして説明する。

〔基板保持機構〕
　基板保持機構３は、プリント基板Ｐの外縁部を把持することにより、プリント基板Ｐを水平に保持する。保持されたプリント基板Ｐは、表面の回路パターンに表側検査ヘッドＨａが上側から当接可能となり、且つプリント基板Ｐの裏面の回路パターンに裏側検査ヘッドＨｂが下側から当接可能となる。

　この基板保持機構３としては、例えばプリント基板Ｐの周縁を全周に亘って挟持する一対の枠体、プリント基板Ｐの四辺をそれぞれ把持する幅広の４つのクリップ、プリント基板Ｐの四辺にそれぞれ間隔を空けて複数配設される多数のクリップ等を用いることができる。

〔検査ヘッド〕
　表側検査ヘッドＨａは、当該位置決め装置の表側移動機構１ａによって位置決めされるヘッド本体６ａと、このヘッド本体６ａに着脱可能に取り付けられるプローブユニット７ａとを有する。裏側検査ヘッドＨｂも同様に、裏側移動機構１ｂによって位置決めされるヘッド本体６ｂと、このヘッド本体６ｂに取り付けられるプローブユニット７ｂとを有する。

＜ヘッド本体＞
　ヘッド本体６ａ、６ｂは、移動機構１ａ、１ｂの末端に固定される部材であり、移動機構１ａ、１ｂの動作によって、プローブユニット７ａ、７ｂをプリント基板Ｐに対して適切な位置に当接させるように正確に位置決めされることで電気検査を行う。

＜プローブユニット＞
　プローブユニット７ａ、７ｂは、先端がプリント基板Ｐの表面又は裏面に圧接される複数のプローブ８ａ、８ｂと、この複数のプローブ８ａ、８ｂがそれぞれ挿入される複数のガイド孔を有するガイドプレート９ａ、９ｂとを有する。

　複数のプローブ８ａ、８ｂは、その軸方向が、ガイドプレート９ａ、９ｂの面に垂直、かつそれぞれの先端がガイドプレート９ａ、９ｂのガイド孔から僅かに突出するよう保持される。また、複数のプローブ８ａ、８ｂは、プリント基板Ｐの導電パターンの所定の測定点に当接できるよう配置される。

　ガイドプレート９ａ、９ｂは、絶縁性を有する材料で形成され、複数のプローブ８ａ、８ｂの配置を定める。

　ガイドプレート９ａ、９ｂの、プリント基板Ｐに対向する面には、プローブユニット７ａ、７ｂをプリント基板Ｐに正確に位置決めするための基準点となる処理部マーカーＭｈａ、Ｍｈｂが設けられる。つまり、表側検査ヘッドＨａ及び裏側検査ヘッドＨｂは、処理部マーカーＭｈａ、Ｍｈｂがプリント基板Ｐの対象物マーカーＭｐに対して所定の相対位置に配置されるよう位置決めされる。

　また、表側検査ヘッドＨａ及び裏側検査ヘッドＨｂは、複数のプローブ８ａ、８ｂを介してプリント基板Ｐの電気的特性を測定するための回路を有することが好ましい。つまり、表側検査ヘッドＨａ及び裏側検査ヘッドＨｂは、プリント基板Ｐの電気的特性を測定し、測定結果を比較的少数の配線を介してコントローラー５に出力することができるような測定回路を有するとよい。

〔移動機構〕
　表側移動機構１ａは、表側検査ヘッドＨａを位置決めする直交座標型移動機構である。具体的には、表側移動機構１ａは、プリント基板Ｐに平行な第１方向（図２の紙面に垂直な方向）に移動する第１移動体１０ａと、第１移動体１０ａ上をプリント基板Ｐに平行且つ第１方向に垂直な第２方向（図２における左右方向）に移動する第２移動体１１ａと、表側検査ヘッドＨａをプリント基板Ｐに垂直な軸を中心に回転させる回転機構１２ａと、第２移動体１１ａに対して表側検査ヘッドＨａをプリント基板Ｐに垂直な方向に移動させる昇降機構１３ａとを有する。表側移動機構１ａは、第２移動体１１ａによって表側カメラ２ａを保持する。前記プリント基板Ｐに垂直な軸とは、表側カメラ２ａの光軸に平行な軸であり、前記プリント基板Ｐに垂直な方向とは、表側カメラ２ａの光軸に平行な方向である。

　裏側移動機構１ｂは、裏側検査ヘッドＨｂを位置決めする直交座標型移動機構である。具体的には、裏側移動機構１ｂは、表側移動機構１ａの構成を上下反転させた構成であり、プリント基板Ｐに平行な第１方向に移動する第１移動体１０ｂと、第１移動体１０ｂ上をプリント基板Ｐに平行且つ第１方向に垂直な第２方向に移動する第２移動体１１ｂと、裏側検査ヘッドＨｂをプリント基板Ｐに垂直な軸を中心に回転させる回転機構１２ｂと、第２移動体１１ｂに対して裏側検査ヘッドＨｂをプリント基板Ｐに垂直な方向に移動させる昇降機構１３ｂとを有する。裏側移動機構１ｂは、第２移動体１１ｂによって裏側カメラ２ｂを保持する。

　加えて、裏側移動機構１ｂは、第１移動体１０ｂによって、基準マーカーＭｃを移動させるマーカー移動装置４を保持する。なお、本実施形態では、マーカー移動装置４が裏側移動機構１ｂの第１移動体１０ｂに設けられるものとして説明するが、マーカー移動装置４は、表側移動機構１ａの第１移動体１０ａに設けられてもよい。また、マーカー移動装置４は、表側移動機構１ａの第２移動体１１ａに設けられてもよく、裏側移動機構１ｂの第２移動体１１ｂに設けられてもよい。

＜第１移動体＞
　第１移動体１０ａ、１０ｂは、第１方向に延びる一対のレール１４ａ、１４ｂに添って移動可能に配設され、一対のレール１４ａ、１４ｂ間を接続するよう第２方向に延びるよう構成される。この第１移動体１０ａ、１０ｂは、例えばボールねじ等によって第１方向に位置決めされる。

＜第２移動体＞
　第２移動体１１ａ、１１ｂは、第１移動体１０ａ、１０ｂに添って第２方向に移動可能に設けられる。この第２移動体１１ａ、１１ｂは、例えばボールねじ等によって、第１移動体１０ａ、１０ｂ上における第２方向に位置決めされる。

＜回転機構＞
　回転機構１２ａ、１２ｂは、第２移動体１１ａ、１１ｂに取り付けられ、検査ヘッドＨａ，Ｈｂを昇降機構１３ａ、１３ｂと共にプリント基板Ｐに垂直な軸廻り（ここでは鉛直軸の周り）に回転させ、位置（角度）を決定する。

＜昇降機構＞
　昇降機構１３ａ、１３ｂは、検査ヘッドＨａ，Ｈｂをプリント基板Ｐの法線方向に移動させ、複数のプローブ８ａ、８ｂの先端をプリント基板Ｐに当接させる。

＜カメラ＞
　第１及び第２の各カメラ２ａ、２ｂは、プリント基板Ｐの対象物マーカーＭｐを含む画像を撮影して、コントローラー５に画像データを提供する。この画像データに基づき、表側移動機構１ａ又は裏側移動機構１ｂの移動量が算出され、表側検査ヘッドＨａ又は裏側検査ヘッドＨｂがプリント基板Ｐの回路パターンに正対するよう移動される。

　各カメラ２ａ、２ｂが撮影した画像データは、コントローラー５において公知の画像処理技術によって解析される。詳細は後述するが、これによって、表側移動機構１ａ又は裏側移動機構１ｂによって移動すべき表側検査ヘッドＨａ又は裏側検査ヘッドＨｂの必要な移動距離が特定される。

＜基準マーカー＞
　基準マーカーＭｃは、表側カメラ２ａ及び裏側カメラ２ｂによって撮影可能な単一のマークであり、標識部材１５に設けられる。

　標識部材１５は、特に限定されないが、一例として、図３に示すような構成にすることができる。すなわち、この標識部材１５は、裏側カメラ２ｂの撮影範囲内に突出した状態でプリント基板Ｐと平行に保持される板状部１６を有し、板状部１６には基準マーカーＭｃとして、プリント基板Ｐに垂直な細孔が形成されたものとすることができる。

　板状部１６の厚さは、形状を維持できる十分な強度を確保できる範囲で可能な限り小さいことが好ましく、例えば０．０５ｍｍ以上０．２０ｍｍ以下である。板状部１６の厚さを小さくすることによって、基準マーカーＭｃがカメラ２ａ、２ｂの正面に配置されていない場合にも、基準マーカーＭｃの位置を正確に確認しやすくなる。

　基準マーカーＭｃの平面形状は、その位置（座標）を特定可能であればよく、例えば十字状等としてもよいが、形成が容易なように円形とするとよい。円形状の基準マーカーＭｃの直径は、カメラ２ａ、２ｂによって確認できる範囲で可能な限り小さいことが好ましく、例えば０．２ｍｍ以上１．０ｍｍ以下である。

（マーカー移動装置）
　マーカー移動装置４は、標識部材１５の基準マーカーＭｃを、表側カメラ２ａ及び裏側カメラ２ｂの撮影範囲内に出現させ、また撮影範囲外に退避させる。図２の検査装置では、表側移動機構１ａ及び裏側移動機構１ｂによって、表側カメラ２ａと裏側カメラ２ｂとを対向させる。ついで、裏側カメラ２ｂに近接して設けられたマーカー移動装置４で基準マーカーＭｃを突出させることにより、両カメラ２ａ、２ｂの撮影範囲内に基準マーカーＭｃを出現させることができる。基準マーカーＭｃを両カメラ２ａ、２ｂの撮影範囲内に出現させた状態のときには、基準マーカーＭｃと、裏側移動機構１ｂの第１移動体１０ｂとの相対位置が一定となる。

　また、マーカー移動装置４は、プリント基板Ｐに垂直な方向におけるプリント基板Ｐが保持される高さ位置に、基準マーカーＭｃを突出させることが好ましい。このように、基準マーカーＭｃをプリント基板Ｐが保持される高さ位置に配置することによって、基準マーカーＭｃに対する表側カメラ２ａ及び裏側カメラ２ｂの相対位置が、対象物マーカーＭｐの撮影時と同様になる。その結果、表側カメラ２ａと検査ヘッドＨａの処理部マーカーＭｈａとの相対位置関係をより正確に把握することができる。ひいては表側カメラ２ａとプローブ９ａとの相対位置関係をより正確に把握することができる。

　マーカー移動装置４は、第１移動体１０ｂの第２方向中央部に基準マーカーＭｃを保持することが好ましい。このように、基準マーカーＭｃを第２方向中央部に保持することによって、マーカー移動装置４が他の構成要素と干渉しにくいので、マーカー移動装置４を簡素な構成とすることができると共に、基準マーカーＭｃの突出位置の誤差を小さくすることができる。

　また、マーカー移動装置４は、基準マーカーＭｃをプリント基板Ｐに対して傾斜する方向に突出及び後退させてもよい。基準マーカーＭｃを傾斜方向に突出及び後退させることによって、基準マーカーＭｃが検査装置の他の構成要素、例えばプリント基板Ｐを保持する治具等と干渉しにくくなるので、基準マーカーＭｃ及びマーカー移動装置４の設計が容易となる。

　基準マーカーＭｃを前記傾斜する方向に突出及び後退させるマーカー移動装置４の構成としては、図３に示すように、標識部材１５を斜め方向に案内する直動ガイド１７と、この直動ガイド１７に傾斜する方向に標識部材１５を押し引きする駆動シリンダー１８とを有する構成とすることができる。駆動シリンダー１８は、ピストン先端部により標識部材１５を押し引きし、シリンダーの反対側の端部（基端部）を中心に上下方向に旋回可能となる。

　このように、マーカー移動装置４が、直動ガイド１７と駆動シリンダー１８とを有する構成とすることにより、駆動シリンダー１８をプリント基板Ｐに平行な方向に延びるよう配置することができる。これにより、マーカー移動装置４、特にその駆動シリンダー１８が他の構成要素と干渉しにくくなるので、マーカー移動装置４の設計が容易となる。

　なお、図３では、裏側移動機構１ｂの第１移動体１０ｂの下面（プリント基板Ｐが保持される側と反対側の面）に第２移動体１１ｂが配設され、第１移動体１０ｂの上面（プリント基板Ｐが保持される側の面）にマーカー移動装置４が配設されている。つまり、マーカー移動装置４は、標識部材１５を後退させた状態で、第１移動体１０ｂの上面と基板保持機構３の下面との隙間に収まるよう構成されている。このため、不図示の回転機構１２ｂ及び昇降機構１３ｂは、裏側検査ヘッドＨｂを第１移動体１０ｂの側方に保持するよう第２移動体１１ｂに取り付けられる。

　また、マーカー移動装置４は、第２移動体１１ａ、１１ｂを位置決めすることによりカメラ２ａ、２ｂを基準マーカーＭｃに略正対させられるように、つまりカメラ２ａ、２ｂの撮影画像の中央部に基準マーカーＭｃを映り込ませることができるように、標識部材１５を突出させる。これにより、カメラ２ａ、２ｂの撮影画像における基準マーカーＭｃの座標をより正確に求めることができるので、表側検査ヘッドＨａ及び裏側検査ヘッドＨｂの位置決め精度をより向上することができる。

　なお、マーカー移動装置４は、両カメラ２ａ、２ｂで同時に撮影可能な場所に基準マーカーＭｃを出現させ、退避させられるものであればよいので、裏側カメラ２ｂではなく表側カメラ２ａに近接した位置に、つまり表側移動機構１ａに設けられてもよい。図２の検査装置では、表側移動機構１ａと裏側移動機構１ｂとが上下対称に設けられているため、１つの基準マーカーＭｃを使用して表側検査ヘッドＨａと裏側検査ヘッドＨｂとの位置決めを行うことが可能である。このため、マーカー移動装置４を２つ設ける必要がない。

〔コントローラー〕
　コントローラー５としては、例えばプログラマブルロジックコントローラー、パーソナルコンピューター等が用いられる。

　コントローラー５は、初期設定制御と位置決め制御とを行う。この初期設定制御と位置決め制御とが、本発明の位置決め方法を構成する。初期設定制御は、検査するプリント基板Ｐの変更（ラインチェンジ）に伴ってプローブユニット７ａ、７ｂを交換したときに行われ、カメラ２ａ、２ｂとプローブユニット７ａ、７ｂとの相対位置を確認する。位置決め制御は、電気検査を行うためにプローブユニット７ａ、７ｂをプリント基板Ｐに対して位置決めする制御である。この位置決め制御では、後で詳述するが、初期設定制御において確認したカメラ２ａ、２ｂとプローブユニット７ａ、７ｂとの相対位置を考慮して、実際のプリント基板Ｐに対してプローブユニット７ａ、７ｂを位置決めする。これにより、プローブ８ａ、８ｂをプリント基板Ｐの測定点に正確に当接させて、プリント基板Ｐの電気的特性を検査することができる。

　前記初期設定制御及び位置決め制御は、例えばパートプログラム、サブルーチン等のソフトウェアによって実現することができる。

〔位置決め方法〕
　以下、本発明における位置決め方法の詳細を説明する。なお、前記初期設定制御及び位置決め制御について、表側移動機構１ａによって表側検査ヘッドＨａの位置決めを行う場合の制御として説明する。裏側移動機構１ｂによって裏側検査ヘッドＨｂの位置決めを行う場合の制御は、表側移動機構１ａによって表側検査ヘッドＨａの位置決めを行う場合の制御と同様の処理を上下反転して行うものである。このため、裏側移動機構１ｂの位置決めを行う場合の制御の説明は省略する。

＜初期設定制御＞
　図４に示すように、初期設定制御の手順は、基準マーカー撮影工程（ステップＳ１）と、基準マーカー退避工程（ステップＳ２）と、処理部移動工程（ステップＳ３）と、処理部マーカー撮影工程（ステップＳ４）と、基準マーカー位置算出工程（ステップＳ５）と、カメラ位置算出工程（ステップＳ６）とを備える。

（基準マーカー撮影工程）
　ステップＳ１の基準マーカー撮影工程では、表側カメラ（第１カメラ）２ａと表側カメラ２ａに対向するよう配置した裏側カメラ（第２カメラ）２ｂとによって、マーカー移動装置４がこれらのカメラ２ａ、２ｂの撮影範囲に出現させた基準マーカーＭｃを撮影する。

　この基準マーカー撮影工程Ｓ１において、１つの基準マーカーＭｃを２つのカメラ２ａ、２ｂでそれぞれ撮影するので、各カメラ２ａ、２ｂの撮影画像における基準マーカーＭｃの座標の差から、表側カメラ２ａと裏側カメラ２ｂとの位置のずれが算出できる。図５に、この基準マーカー撮影工程Ｓ１における裏側カメラ２ｂの撮影画像を簡略化したイメージを示す。図において、基準マーカーＭｃの像が座標Ｃ１に存在する。

（基準マーカー退避工程）
　ステップＳ２の基準マーカー退避工程では、マーカー移動装置４によって、基準マーカーＭｃを、第１及び第２カメラ２ａ、２ｂの撮影範囲から退避させる。

（処理部移動工程）
　ステップＳ３の処理部移動工程では、表側移動機構１ａによって、表側検査ヘッドＨａを裏側カメラ２ｂの撮影範囲内に移動させる。この際、表側検査ヘッドＨａと表側カメラ２ａとの相対位置が一定であるように、表側カメラ２ａも表側検査ヘッドＨａと共に移動する。

（処理部マーカー撮影工程）
　ステップＳ４の処理部マーカー撮影工程では、裏側カメラ２ｂによって、表側検査ヘッドＨａの処理部マーカーＭｈａを撮影する。図６に、この処理部マーカー撮影工程Ｓ４における裏側カメラ２ｂの撮影画像を簡略化したイメージを示す。図において、処理部マーカーＭｈａの像が座標Ｃ２に存在する。

　なお、基準マーカー撮影工程Ｓ１において、裏側カメラ２ｂの撮影範囲が十分に広く、表側検査ヘッドＨａを移動させなくても裏側カメラ２ｂの撮影範囲内に処理部マーカーＭｈａが出現している場合には、基準マーカー撮影工程Ｓ１がこの処理部マーカー撮影工程Ｓ４を兼ねることができる。この場合、基準マーカー退避工程Ｓ２及び処理部移動工程Ｓ３は省略することができる。

　つまり、当該位置決め方法は、表側カメラ２ａとこの表側カメラ２ａに対向するよう配置した裏側カメラ２ｂとによって、これらのカメラ２ａ、２ｂの撮影範囲内に出現した基準マーカーＭｃを撮影する基準マーカー撮影工程Ｓ１と、裏側カメラ２ｂで表側検査ヘッドＨａに設けられた処理部マーカーＭｈａを撮影する処理部マーカー撮影工程Ｓ４とを、別々に行ってもよく、同時に行ってもよい。

（基準マーカー位置算出工程）
　ステップＳ５の基準マーカー位置算出工程では、基準マーカー撮影工程Ｓ１で裏側カメラ２ｂにより撮影した画像中の基準マーカーＭｃの位置（第１方向の位置と第２方向の位置とを含む座標）Ｃ１と、処理部移動工程Ｓ３での表側検査ヘッドＨａの移動距離（第１方向の移動距離及び第２方向の移動距離を含む２次元データ）Ｌと、処理部マーカー撮影工程Ｓ４で裏側カメラ２ｂにより撮影した前記処理部マーカーＭｈａの位置（座標）Ｃ２とから、基準マーカーＭｃと処理部マーカーＭｈａとの間の相対位置（第１方向の間隔及び第２方向の間隔を含む２次元データ）Ｘを算出する。図７は、処理部マーカー撮影工程Ｓ４において裏側カメラ２ｂから見た、基準マーカーＭｃと処理部マーカーＭｈａとの相対位置Ｘを示している。図において、処理部マーカーＭｈａは、座標Ｃ３に存在する。この座標Ｃ３は、撮影画像の外側に位置し得る。

　なお、処理部移動工程Ｓ３を省略した場合には、表側検査ヘッドＨａの前記移動距離Ｌを０として基準マーカーＭｃ及び処理部マーカーＭｈａ間の相対位置Ｘを算出する。つまり、処理部移動工程Ｓ３が不要の場合には、裏側カメラ２ｂで撮影した画像中の基準マーカーＭｃの位置（座標Ｃ１）及び処理部マーカーＭｈａの位置（座標Ｃ２）のみから、基準マーカーＭｃ及び処理部マーカーＭｈａ間の相対位置Ｘを算出することができる。

（カメラ位置算出工程）
　ステップＳ６のカメラ位置算出工程では、基準マーカー位置算出工程Ｓ５で算出された基準マーカーＭｃと処理部マーカーＭｈａとの相対位置Ｘと、表側カメラ２ａで撮影した基準マーカーＭｃの位置（座標）とから、表側カメラ２ａ及び処理部マーカーＭｈａ間の相対位置（表側カメラ２ａの撮影画像における処理部マーカーＭｈａの位置に対応する座標）を算出する。

　具体的には、図８に示すように、表側カメラ２ａの撮影画像における基準マーカーＭｃの位置（座標Ｃ４）から、前記相対位置Ｘ（すなわち、基準マーカー位置算出工程Ｓ５で算出した図７に示す基準マーカーＭｃ及び処理部マーカーＭｈａ間の相対位置Ｘ）を、カメラの向きの違いを相殺するために反転した距離－Ｘだけ離れた位置が、表側カメラ２ａの撮影画像における処理部マーカーＭｈａの座標Ｃ５となる。

　表側カメラ２ａと裏側カメラ２ｂとが完全には対向せず多少のずれがある場合、裏側カメラ２ｂで撮影した基準マーカーＭｃの座標Ｃ１と、表側カメラ２ａで撮影した基準マーカーＭｃの座標Ｃ４とは異なる。しかし、ステップＳ１～Ｓ６の初期設定制御を行うことで、両カメラ２ａ、２ｂのずれが補正できる。その結果、裏側カメラ２ｂの撮影画像を用いて、表側カメラ２ａと処理部Ｈａとの位置関係を正確に算出することができる。

＜位置決め制御＞
　図９に示すように、位置決め制御の手順は、処理対象物撮影工程（ステップＳ１１）と、対象物位置認識工程（ステップＳ１２）と、位置決め工程（ステップＳ１３）とを備える。

（処理対象物撮影工程）
　ステップＳ１１の処理対象物撮影工程では、表側カメラ２ａによって、プリント基板Ｐ、つまり処理対象物の代表点である対象物マーカーＭｐを撮影する。対象物マーカーＭｐの撮影が可能な位置まで表側カメラ２ａを移動させる際、表側検査ヘッドＨａは、表側カメラ２ａと一定の相対位置を保って表側カメラ２ａと共に動く。

（対象物位置認識工程）
　ステップＳ１２の対象物位置認識工程では、処理対象物撮影工程Ｓ１１で表側カメラ２ａにより撮影した対象物マーカーＭｐの位置から、表側カメラ２ａに対する対象物マーカーＭｐの位置、つまり表側カメラ２ａの撮影画像における対象物マーカーＭｐの座標Ｃ６を認識する。

（位置決め工程）
　ステップＳ１３の位置決め工程では、対象物位置認識工程Ｓ１２で認識した表側カメラ２ａに対する対象物マーカーＭｐの座標Ｃ６と、初期設定制御において算出された表側カメラ２ａ及び処理部マーカーＭｈａ間の相対位置とに基づき、表側検査ヘッドＨａをプリント基板Ｐに対して正確に正対させるよう位置決めする。

　具体的には、先ず、表側検査ヘッドＨａ及びプリント基板Ｐの設計データから、表側検査ヘッドＨａがプリント基板Ｐに対して正確に正対するときの、処理部マーカーＭｈａと対象物マーカーＭｐとのあるべき相対位置Ｙを算出する。この相対位置Ｙの算出は、位置決め制御を行う前に予め実施しておくことが好ましい。

　次に、図１０に示すように、対象物位置認識工程Ｓ１２で撮影した画像の座標系における対象物マーカーＭｐの座標Ｃ６に対して前記相対位置Ｙだけずれた位置を、処理部マーカーＭｈａがあるべき座標Ｃ７として決定する。このあるべき座標Ｃ７も、表側カメラ２ａの撮影画像の外側に存在する場合がある。

　さらに、このあるべき座標Ｃ７に処理部マーカーＭｈａが一致するよう、表側検査ヘッドＨａ及び表側カメラ２ａを表側移動機構１ａにより移動させる移動量Ｚを算出する。この移動量Ｚは、処理部マーカーＭｈａのあるべき座標Ｃ７と、初期設定制御のカメラ位置算出工程Ｓ６で算出した表側カメラ２ａの撮影画像における処理部マーカーＭｈａの座標Ｃ５との差分として算出することができる。

　そして、表側移動機構１ａによって、算出した移動量Ｚだけ表側検査ヘッドＨａ及び表側カメラ２ａを移動させる。これにより、表側検査ヘッドＨａがプリント基板Ｐに対して正確に正対する状態となる。

＜利点＞
　図２の検査装置は、第１移動体１０ｂに保持され、裏側カメラ２ｂの撮影範囲内に出現及び撮影範囲外に退避可能な基準マーカーＭｃを有することにより、基準マーカーＭｃを突出させて、表側カメラ２ａ及び裏側カメラ２ｂで、同一の基準マーカーＭｃを撮影できる。また、基準マーカーＭｃを退避させて、裏側カメラ２ｂで表側検査ヘッドＨａの処理部マーカーＭｈａを撮影できる。このように、必要なときだけ基準マーカーＭｃをカメラの前に出現させられるので、位置決めが迅速に行える。

　また、図２の検査装置は、表側カメラ２ａ及び裏側カメラ２ｂのいずれもが移動可能である。従って、位置決めの初期設定制御を任意の位置で行うことができる。具体的には、初期設定制御の必要が生じた際の表側カメラ２ａ又は裏側カメラ２ｂの位置において、基準マーカーＭｃを突出させれば、すぐに初期設定制御が開始できる。あるいは、基板や配線、その他の検査装置のパーツによって表側カメラ２ａと裏側カメラ２ｂとの間が遮られる場合にも、遮断物のない位置まで両カメラを移動させることで初期設定制御が開始でき、位置決めにおける制約が少ない。

　図２の検査装置は、表側移動機構１ａと裏側移動機構１ｂの２つの移動機構が対に設けられており、移動機構１ａ、１ｂの一方が保持するカメラ２ａ、２ｂを第１カメラとし、移動機構１ａ、１ｂの他方が保持するカメラ２ｂ，２ａを第２カメラとして相互に利用して検査ヘッドＨａ，Ｈｂのプローブ８ａ、８ｂの位置を確認するため、専用のカメラ等が不要であり、構成が簡単である。

　また、図２の検査装置において、基準マーカーＭｃを有する標識部材１５及び基準マーカーＭｃを移動させるマーカー移動装置４を第１移動体１０ｂに設けることで、標識部材１５及び基準マーカーＭｃの移動を比較的大型で駆動力に余裕を持たせやすい第１移動体１０ｂの駆動部に負担させ、第２移動体１１ｂの駆動部、回転機構１２ｂ及び昇降機構１３ｂに負担をかけないことで、図２の検査装置の全体設計が容易となる。なお、マーカー移動装置４を裏側移動機構１ｂの第１移動体１０ｂではなく表側移動機構１ａの第１移動体１０ａに設けてもよいことは言うまでもない。

　また、基準マーカーＭｃを移動させるマーカー移動装置４を第１移動体１０ｂに設けることで、他の構成要素と干渉しにくくなることから、基準マーカーＭｃの移動距離を比較的小さくすることができる。このため、標識部材１５及びマーカー移動装置４の重量及び弾性に起因する基準マーカーＭｃの位置ずれが生じにくくなるので、図２の検査装置は位置決め精度を向上しやすい。

［第二実施形態］
　図１１に、図３のマーカー移動装置４に替えて図２の検査装置に使用することができるマーカー移動装置４ａを示す。

　このマーカー移動装置４ａは、標識部材１５ａに設けられた基準マーカーＭｃを、カメラ２ａ、２ｂの撮影範囲内に出現させ、また撮影範囲外に退避させる。

　このマーカー移動装置４ａは、標識部材１５ａを保持し、標識部材１５ａを第１方向及び第２方向の平面内で水平に直線移動させる第１駆動部１９と、標識部材１５ａを第１駆動部１９もろとも第１方向及び第２方向それぞれに垂直な方向（すなわち、プリント基板Ｐに垂直な方向であり、ここでは鉛直方向）に直線移動させる第２駆動部２０とを有する。

　第１駆動部１９及び第２駆動部２０は、例えばシリンダー機構等から構成することができる。

　マーカー移動装置４ａは、マーカーの突出及び後退が２方向の直線移動の組み合わせであることによって、裏側移動機構１ｂの第２移動体１１ｂとの干渉を避けることが容易である。このため、図２の検査装置全体の設計がさらに容易になる。

［その他の実施形態］
　前記実施形態は、本発明の構成を限定するものではない。従って、前記実施形態は、本明細書の記載及び技術常識に基づいて前記実施形態各部の構成要素の省略、置換又は追加が可能であり、それらは全て本発明の範囲に属するものと解釈されるべきである。

　当該位置決め装置において、初期設定制御を開始してから全ての位置決め制御を終了するまで、より詳しくは、初期設定制御の基準マーカー撮影工程で基準マーカーを撮影するときから最後の位置決め工程の対象物位置認識工程で対象物マーカーを撮影するまでの間、処理部と第１カメラとの相対位置を一定にできればよい。つまり、当該位置決め装置は、位置決めに必要な制御を行う間、処理部と第１カメラとが連動して移動する構成であればよい。従って、第２カメラは、図２に示した検査装置のように第２移動体に保持されるものに限られず、昇降機構や回転機構に保持されてもよく、処理部に直接取り付けられてもよい。

　当該位置決め装置において、表側移動機構が基準マーカーつまりマーカー移動装置を保持してもよい。また、基準マーカーは、表側移動機構又は裏側移動機構の第２移動体に保持されてもよい。

　当該位置決め装置において、第２移動体に取り付けられた昇降機構が処理部を回転機構と共に昇降させてもよい。

　当該位置決め装置の移動機構は、直交座標型移動機構に限られず、例えば多関節ロボット、デルタ型（パラレルリンク）ロボット等、任意の移動機構を有するものとすることができ、複数の移動機構を組み合わせたものであってもよい。

　本発明に係る位置決め装置は、両面に回路パターンが形成されたプリント基板の電気的特性を検査する検査装置に特に好適に利用することができる。

１ａ、１ｂ　移動機構
２ａ、２ｂ　カメラ
３　保持機構
４、４ａ　マーカー移動装置
５　コントローラー
６ａ、６ｂ　ヘッド本体
７ａ、７ｂ　プローブユニット
８ａ、８ｂ　プローブ
９ａ、９ｂ　ガイドプレート
１０ａ、１０ｂ　第１移動体
１１ａ、１１ｂ　第２移動体
１２ａ、１２ｂ　回転機構
１３ａ、１３ｂ　昇降機構
１４ａ、１４ｂ　レール
１５、１５ａ　標識部材
１６　板状部
１７　直動ガイド
１８　駆動シリンダー
１９　第１駆動部
２０　第２駆動部
Ｈａ　表側検査ヘッド（第１処理部）
Ｈｂ　裏側検査ヘッド
Ｍｃ　基準マーカー
Ｍｐ　対象物マーカー
Ｍｈａ、Ｍｈｂ　処理部マーカー
Ｐ　プリント基板

Claims

　被位置決め部材である第１処理部を位置決め対象物である処理対象物に対して位置決めする位置決め装置であって、
　前記第１処理部を移動させる第１移動機構と、
　前記第１移動機構に保持され、前記処理対象物を撮影する第１カメラと、
　前記第１カメラと反対方向から前記第１処理部を撮影する第２カメラと、
　対向し合う前記第１カメラ及び前記第２カメラの撮影範囲内に出現、消滅するよう配設される基準マーカーと
　を備える位置決め装置。
　前記第２カメラを移動可能に保持する第２移動機構をさらに備える、請求項１に記載の位置決め装置。
　前記第２移動機構が、前記処理対象物に対して位置決めされる第２処理部を、前記第２カメラとの相対位置が一定であるよう保持する請求項２に記載の位置決め装置。
　前記第１移動機構が、前記第１カメラの光軸に垂直な第１方向に移動する第１移動体と、前記第１カメラの光軸及び前記第１方向に垂直な第２方向に移動する第２移動体とを有する、請求項１、請求項２又は請求項３に記載の位置決め装置。
　前記基準マーカーが前記第１移動体の前記第２方向中央部に保持される請求項４に記載の位置決め装置。
　前記第１移動機構が、前記第２移動体に保持され、前記第１処理部を前記第１カメラの光軸に平行な軸周りに回転させる回転機構をさらに有する、請求項４又は請求項５に記載の位置決め装置。
　前記第１移動機構が、前記第２移動体に保持され、前記第１処理部を前記第１カメラの光軸に平行な方向に移動させる昇降機構をさらに有する、請求項４、請求項５又は請求項６に記載の位置決め装置。
　前記基準マーカーが、前記第１カメラの光軸方向において前記処理対象物が保持される位置に突出する、請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の位置決め装置。
　前記基準マーカーが前記第１カメラの光軸に対して傾斜する方向に突出及び後退する請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の位置決め装置。
　前記基準マーカーを突出及び後退させる機構が、前記基準マーカーを案内する直動ガイドと、この直動ガイドに傾斜する方向に前記基準マーカーを押し引きする駆動シリンダーとを有する請求項９に記載の位置決め装置。
　前記基準マーカーを突出させる機構が、前記第１方向及び第２方向の平面内に直線移動させる機構と、前記第１方向及び第２方向に垂直な方向に直線移動させる機構との組み合わせである請求項８に記載の位置決め装置。
　前記第１処理部が、複数のプローブを有する検査ヘッドである、請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の位置決め装置。
　被位置決め部材である処理部を位置決め対象物である処理対象物に対して位置決めする位置決め方法であって、
　第１カメラと、前記第１カメラに対向するよう配置した第２カメラとによって、前記第１及び第２カメラの撮影範囲内に出現した基準マーカーを撮影する工程と、
　前記第２カメラで前記処理部に設けられた処理部マーカーを撮影する工程と、
　前記第２カメラで撮影した前記基準マーカーの位置と、前記第２カメラで撮影した前記処理部マーカーの位置とから、前記基準マーカー及び前記処理部マーカー間の相対位置を算出する工程と、
　前記算出された前記基準マーカー及び前記処理部マーカー間の相対位置と、前記第１カメラで撮影した前記基準マーカーの位置とから、前記第１カメラ及び前記処理部マーカー間の相対位置を算出する工程と、
　前記第１カメラで前記処理対象物を撮影する工程と、
　前記第１カメラで撮影した前記処理対象物の位置から、前記第１カメラに対する前記処理対象物の相対位置を認識する工程と、
　前記認識された前記第１カメラに対する前記処理対象物の相対位置と、前記算出された前記第１カメラ及び前記処理部マーカー間の相対位置とに基づき、前記処理部を前記処理対象物に対して位置決めする工程と
　を備える位置決め方法。
　前記基準マーカーを撮影する工程と、前記処理部マーカーを撮影する工程との間に、
　前記基準マーカーを前記第１及び第２カメラの撮影範囲から退避する工程と、
　前記処理部を前記第２カメラの撮影範囲まで移動させる工程と、
　をさらに備え、
　前記基準マーカー及び前記処理部マーカー間の相対位置を算出する工程で、さらに前記処理部の移動距離を考慮して、前記基準マーカー及び前記処理部マーカー間の相対位置を算出する
　請求項１３に記載の位置決め方法。