JP7303543B2 - 高周波特性検査装置、及び高周波特性検査方法 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態による高周波特性検査装置1の構成例を示す図である。また、図2は、本実施形態による高周波特性検査装置の一例を示す機能ブロック図である。
また、高周波特性検査装置1には、基板PBの高周波特性を検査する分析装置であるネットワークアナライザー2が接続されている。
また、上面検査治具21及び下面検査治具22は、高周波特性検査装置1が備える任意の検査治具を示す場合、又は特に区別しない場合には、検査治具20として説明する。
なお、制御PC50は、下面検査治具駆動部42を制御して、下面カメラ32が撮像した基板パターンに基づいて、下面検査治具22を平行(例えば、X軸方向、Y軸方向、及びθ方向のいずれか又はこれらを組み合わせた方向)に移動させて、下面検査治具22に対する基板PBの位置決めの微調整を行う。
図3に示すように、上面検査治具21は、上面検査治具駆動部41の駆動により、検査ケーブルCB1の姿勢変化が高周波特性の検査に影響を与えない範囲で、且つ、Z軸方向にのみ移動可能である。なお、上面検査治具21は、X軸方向、Y軸方向、及びθ方向に移動できない構成になっている。ここで、上面検査治具21の垂直方向(Z軸方向)の移動量は、例えば、50mm(ミリメートル)以下である。上面検査治具21の垂直方向(Z軸方向)の移動は、上面検査治具21の検査プローブ11と基板PBとのコンタクトに用いられる。
図4は、本実施形態による高周波特性検査装置1の動作の一例を示すフローチャートである。この図では、高周波特性検査装置1の制御PC50による基板PBの高周波特性の検査を基板PBの両面側から行う動作を示している。
図5は、本実施形態による高周波特性検査装置1の動作の別の一例を示すフローチャートである。この図では、高周波特性検査装置1の制御PC50による基板PBの高周波特性の検査を基板PBの上面側(主面F1側)から行う動作を示している。
これにより、本実施形態による高周波特性検査装置1は、上下面の検査治具20がある場合であっても、検査ケーブル(CB1、CB2)の姿勢変化を適切に低減することができる。
これにより、本実施形態による高周波特性検査装置1は、同軸ケーブルのシールド効果により、高周波特性をさらに適切に検査することができる。
これにより、本実施形態による高周波特性検査方法は、上述した高周波特性検査装置1と同様の効果を奏し、基板PBに検査プローブ10を自動で接続して、高周波特性を適切に検査することができる。
また、上記の実施形態では、高周波特性検査装置1に外付けのネットワークアナライザー2を接続する例を説明したが、高周波特性検査装置1が、ネットワークアナライザー2の機能を備えるようにしてもよい。
また、「コンピュータシステム」は、インターネットやWAN、LAN、専用回線等の通信回線を含むネットワークを介して接続された複数のコンピュータ装置を含んでもよい。また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ROM、CD-ROM等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。このように、プログラムを記憶した記録媒体は、CD-ROM等の非一過性の記録媒体であってもよい。
Claims (7)
- 基板の高周波特性を検査する高周波特性検査装置であって、
前記基板の主面側から前記基板を検査するための、複数の検査プローブを有する移動可能な検査治具と、
前記基板の主面側を撮像する撮像部と、
前記基板を保持し、少なくとも前記基板の主面に対して平行に移動可能な基板ホルダーと、
前記撮像部が撮像した画像に基づいて、少なくとも前記基板ホルダーを移動させて、前記検査プローブを前記基板にコンタクトさせる制御部と
を備え、
前記検査治具には、前記基板の第1主面側に配置される第1検査治具と、前記第1主面側と反対側の第2主面側に配置される第2検査治具とが含まれ、
前記撮像部には、前記第1主面側の基板パターンを撮像する第1撮像部と、前記第2主面側の基板パターンを撮像する第2撮像部とが含まれ、
前記制御部は、前記第1撮像部及び前記第2撮像部が撮像した前記基板パターンに基づいて、前記基板ホルダーを前記基板の主面に対して平行に移動させて、前記検査治具に対する前記基板の位置決めを行った後、前記第1検査治具及び前記第2検査治具と前記基板ホルダーとを相対的に前記主面の垂直方向に移動させて、前記複数の検査プローブを前記基板にコンタクトさせる
高周波特性検査装置。 - 前記第2検査治具は、前記平行に移動可能であり、
前記制御部は、
前記第2撮像部が撮像した前記基板パターンに基づいて、前記第2検査治具を前記平行に移動させて、前記基板に対する前記第2検査治具の位置決めを行い、
前記基板ホルダーを前記垂直方向に移動させて、前記第2検査治具の前記複数の検査プローブを前記基板にコンタクトさせ、
前記第1検査治具を前記垂直方向に移動させて、前記第1検査治具の前記複数の検査プローブを前記基板にコンタクトさせる
請求項1に記載の高周波特性検査装置。 - 前記第1主面が、前記基板の上側の主面であり、前記第2主面が、前記基板の下側の主面である
請求項1又は請求項2に記載の高周波特性検査装置。 - 前記第1検査治具の前記垂直方向の移動量は、50mm(ミリメートル)以下である
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の高周波特性検査装置。 - 前記第2検査治具の前記平行の方向の移動量は、5mm以下であり、前記基板の主面と平行な面上の角度方向の移動量は、3°(度)以下である
請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の高周波特性検査装置。 - 前記複数の検査プローブは、前記基板の高周波特性を検査する分析装置と検査ケーブルにより接続されており、
前記検査ケーブルは、同軸ケーブルである
請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の高周波特性検査装置。 - 基板の主面側から前記基板を検査するための、複数の検査プローブを有する移動可能な検査治具と、前記基板の主面側を撮像する撮像部と、前記基板を保持し、少なくとも前記基板の主面に対して平行に移動可能な基板ホルダーと、前記撮像部が撮像した画像に基づいて、少なくとも前記基板ホルダーを移動させて、前記検査プローブを前記基板にコンタクトさせる制御部とを備え、前記基板の高周波特性を検査する高周波特性検査装置の高周波特性検査方法であって、
前記検査治具には、前記基板の第1主面側に配置される第1検査治具と、前記第1主面側と反対側の第2主面側に配置される第2検査治具とが含まれ、
前記撮像部には、前記第1主面側の基板パターンを撮像する第1撮像部と、前記第2主面側の基板パターンを撮像する第2撮像部とが含まれ、
前記制御部が、前記第1撮像部及び前記第2撮像部が撮像した前記基板パターンに基づいて、前記基板ホルダーを前記基板の主面に対して平行に移動させて、前記検査治具に対する前記基板の位置決めを行った後、前記第1検査治具及び前記第2検査治具と前記基板ホルダーとを相対的に前記主面の垂直方向に移動させて、前記複数の検査プローブを前記基板にコンタクトさせる
高周波特性検査方法。
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