JP3328553B2 - 回路基板検査装置 - Google Patents
回路基板検査装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、回路基板検査装
置、特に部品実装を行っていない回路基板パターンの不
良検出、および部品実装後の回路基板の非動作状態また
は動作状態における故障検出を行う回路基板検査装置に
関する。
置、特に部品実装を行っていない回路基板パターンの不
良検出、および部品実装後の回路基板の非動作状態また
は動作状態における故障検出を行う回路基板検査装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、回路基板の検査は、被検査回路基
板上に設けたテストポイントに検査装置のプローブを電
気的に接続させることによる方法が一般的であった。こ
の方法は、例えば特開平７−６３７８８号公報、特開平
６−４３１８４号公報、特開昭６３−１５１８７２号公
報などに示されるように、検出プローブピンや基板の位
置固定技術や搬送技術に工夫が施され、広く利用されて
いる。
板上に設けたテストポイントに検査装置のプローブを電
気的に接続させることによる方法が一般的であった。こ
の方法は、例えば特開平７−６３７８８号公報、特開平
６−４３１８４号公報、特開昭６３−１５１８７２号公
報などに示されるように、検出プローブピンや基板の位
置固定技術や搬送技術に工夫が施され、広く利用されて
いる。
【０００３】回路基板の別の検査方法としては、例えば
特開平５−２１５４８号公報、特開平５−２６６３７号
公報に示されるように、Ｘ線検査や電子ビーム光による
非接触の検査方式が提案されている。
特開平５−２１５４８号公報、特開平５−２６６３７号
公報に示されるように、Ｘ線検査や電子ビーム光による
非接触の検査方式が提案されている。
【０００４】このような非接触による検査方法の他の例
として、例えば特開平６−３０８２０２号公報に示され
るように、被検査回路基板の動作状態において、被検査
回路基板から放射される電磁波を電磁波センサにより非
接触で検出し、正常に動作している基板から放射される
電磁波分布と比較することにより、故障部位を検出する
方法が提案されている。
として、例えば特開平６−３０８２０２号公報に示され
るように、被検査回路基板の動作状態において、被検査
回路基板から放射される電磁波を電磁波センサにより非
接触で検出し、正常に動作している基板から放射される
電磁波分布と比較することにより、故障部位を検出する
方法が提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の検査方法のうち、検出プローブの電気接触による方
法は、最近の機器の小型化に対応した高密度実装基板に
おいては、テストポイントとパターンや実装部品が極め
て近接するため、誤接触や非接触が問題となっており、
またプローブピンの機械的接触による磨耗も大きな問題
となっていた。
来の検査方法のうち、検出プローブの電気接触による方
法は、最近の機器の小型化に対応した高密度実装基板に
おいては、テストポイントとパターンや実装部品が極め
て近接するため、誤接触や非接触が問題となっており、
またプローブピンの機械的接触による磨耗も大きな問題
となっていた。
【０００６】また、Ｘ線検査や電子ビーム光を用いた非
接触による検査方法は、被検査回路基板の電気的な導通
や電気回路自体を検査することができず、検査精度面で
の問題があった。
接触による検査方法は、被検査回路基板の電気的な導通
や電気回路自体を検査することができず、検査精度面で
の問題があった。
【０００７】さらに、電磁波を用いた非接触による検査
方法は、被検査回路基板を電気的な動作状態にして検査
する必要があり、部品を実装する前の基板単体のパター
ン不良の検出を行うことができないという問題があっ
た。さらに、この方法では、被検査回路基板の動作状態
における放射電磁波を周波数領域において解析している
ため、例えばディジタル回路基板のように同一周波数の
クロック信号が多数存在している場合は、故障部位の特
定の精度が低下するという問題があった。
方法は、被検査回路基板を電気的な動作状態にして検査
する必要があり、部品を実装する前の基板単体のパター
ン不良の検出を行うことができないという問題があっ
た。さらに、この方法では、被検査回路基板の動作状態
における放射電磁波を周波数領域において解析している
ため、例えばディジタル回路基板のように同一周波数の
クロック信号が多数存在している場合は、故障部位の特
定の精度が低下するという問題があった。
【０００８】本発明は、このような従来の問題を解決す
るものであり、被検査回路基板の部品実装の有無や回路
の電気的動作の有無に拘らず対応可能で、かつ高い検出
精度を有する非接触型の回路基板検査装置を提供するこ
とを目的とする。
るものであり、被検査回路基板の部品実装の有無や回路
の電気的動作の有無に拘らず対応可能で、かつ高い検出
精度を有する非接触型の回路基板検査装置を提供するこ
とを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、被検査回路基板の回路パターンから放射
される電磁波を検出する複数の微小アンテナを備えるこ
とで、従来における検出プローブの電気接触における問
題を解決することができる。また、高周波信号発生手段
から出力された高周波信号を被検査回路基板の複数の回
路パターンにそれぞれ対応させて誘導結合により励振す
る被接触電磁プローブ手段を備えることで、部品を実装
する前の基板単体のパターン不良の検出および非動作状
態での検査を行うことができる。
成するために、被検査回路基板の回路パターンから放射
される電磁波を検出する複数の微小アンテナを備えるこ
とで、従来における検出プローブの電気接触における問
題を解決することができる。また、高周波信号発生手段
から出力された高周波信号を被検査回路基板の複数の回
路パターンにそれぞれ対応させて誘導結合により励振す
る被接触電磁プローブ手段を備えることで、部品を実装
する前の基板単体のパターン不良の検出および非動作状
態での検査を行うことができる。
【００１０】さらに本発明では、検査用の高周波信号を
被検査回路基板に励振する構成において、部品実装後の
回路基板を検査する場合、検査用の高周波信号を基板上
のすべての回路パターンに伝達させるために、回路を電
気的に動作状態とする必要が生じる。この場合におい
て、検査用の高周波信号を変調する複数の変調手段と、
微小アンテナからの変調高周波信号の解析を行う信号解
析手段とを備え、動作中の被検査回路基板から定常的に
放射される電磁波と検査用の高周波信号とを分離して解
析することで、動作中の被検査回路基板から定常的に放
射される電磁波、例えば多数の同一周波数のクロック信
号の影響により故障部位の特定の精度が低下することを
防止することができる。
被検査回路基板に励振する構成において、部品実装後の
回路基板を検査する場合、検査用の高周波信号を基板上
のすべての回路パターンに伝達させるために、回路を電
気的に動作状態とする必要が生じる。この場合におい
て、検査用の高周波信号を変調する複数の変調手段と、
微小アンテナからの変調高周波信号の解析を行う信号解
析手段とを備え、動作中の被検査回路基板から定常的に
放射される電磁波と検査用の高周波信号とを分離して解
析することで、動作中の被検査回路基板から定常的に放
射される電磁波、例えば多数の同一周波数のクロック信
号の影響により故障部位の特定の精度が低下することを
防止することができる。
【００１１】
【００１２】
【発明の実施の形態】 本発明の請求項１に記載の発明
は、高周波信号発生手段と、複数のパルス信号を発生さ
せるパルス信号発生手段と、前記高周波信号発生手段か
ら出力された高周波信号を前記パルス信号発生手段から
の複数のパルス信号によりパルス変調する複数のパルス
変調手段と、前記パルス変調手段から出力された複数の
パルス変調高周波信号を被検査回路基板の複数の回路パ
ターンにそれぞれ対応させて誘導結合して励振する非接
触電磁誘導プローブ手段と、前記被検査回路基板の回路
パターンから放射される電磁波を検出する複数の微小ア
ンテナと、前記複数の微小アンテナからのパルス変調高
周波信号を順次選択する信号選択手段と、前記信号選択
手段から出力されたパルス変調高周波信号と前記パルス
信号発生手段からのパルス信号とを比較して時間領域で
解析を行う信号解析手段とを備えたことを特徴とする回
路基板検査装置であり、被検査回路を電気的な動作状態
として検査する場合において、特にアナログ回路のよう
に定常的に一定レベルで放射される複数の周波数の電磁
波、例えば複数の局部発振回路や中間周波数回路から放
射される電磁波が存在する状況の中でも、回路検査を高
精度で行える作用を有する。
は、高周波信号発生手段と、複数のパルス信号を発生さ
せるパルス信号発生手段と、前記高周波信号発生手段か
ら出力された高周波信号を前記パルス信号発生手段から
の複数のパルス信号によりパルス変調する複数のパルス
変調手段と、前記パルス変調手段から出力された複数の
パルス変調高周波信号を被検査回路基板の複数の回路パ
ターンにそれぞれ対応させて誘導結合して励振する非接
触電磁誘導プローブ手段と、前記被検査回路基板の回路
パターンから放射される電磁波を検出する複数の微小ア
ンテナと、前記複数の微小アンテナからのパルス変調高
周波信号を順次選択する信号選択手段と、前記信号選択
手段から出力されたパルス変調高周波信号と前記パルス
信号発生手段からのパルス信号とを比較して時間領域で
解析を行う信号解析手段とを備えたことを特徴とする回
路基板検査装置であり、被検査回路を電気的な動作状態
として検査する場合において、特にアナログ回路のよう
に定常的に一定レベルで放射される複数の周波数の電磁
波、例えば複数の局部発振回路や中間周波数回路から放
射される電磁波が存在する状況の中でも、回路検査を高
精度で行える作用を有する。
【００１３】本発明の請求項２に記載の発明は、高周波
信号発生手段と、前記高周波信号発生手段から出力され
た高周波信号を互いに相関の低い複数の拡散符号系列に
よって乗算する複数の拡散変調手段と、前記拡散変調手
段から出力された複数の拡散変調高周波信号を被検査回
路基板の複数の回路パターンにそれぞれ対応させて誘導
結合して励振する非接触電磁誘導プローブ手段と、前記
被検査回路基板の回路パターンから放射される電磁波を
検出する複数の微小アンテナと、前記複数の微小アンテ
ナからの拡散変調高周波信号を順次選択する信号選択手
段と、前記信号選択手段からの出力を前記複数の拡散符
号系列と同一符号により逆拡散を行う逆拡散手段と、前
記逆拡散された高周波信号のレベルを検出して解析を行
う信号解析手段とを備え、特定位置の微小アンテナから
検出された信号を符号分割により解析することを特徴と
する回路基板検査装置であり、被検査回路を電気的な動
作状態として検査を行う場合において、特にディジタル
回路のように断続的に発生する多数のクロック信号によ
る高次の高調波成分を含む電磁波が存在する状況の中で
も、回路検査を高精度で行える作用を有する。
信号発生手段と、前記高周波信号発生手段から出力され
た高周波信号を互いに相関の低い複数の拡散符号系列に
よって乗算する複数の拡散変調手段と、前記拡散変調手
段から出力された複数の拡散変調高周波信号を被検査回
路基板の複数の回路パターンにそれぞれ対応させて誘導
結合して励振する非接触電磁誘導プローブ手段と、前記
被検査回路基板の回路パターンから放射される電磁波を
検出する複数の微小アンテナと、前記複数の微小アンテ
ナからの拡散変調高周波信号を順次選択する信号選択手
段と、前記信号選択手段からの出力を前記複数の拡散符
号系列と同一符号により逆拡散を行う逆拡散手段と、前
記逆拡散された高周波信号のレベルを検出して解析を行
う信号解析手段とを備え、特定位置の微小アンテナから
検出された信号を符号分割により解析することを特徴と
する回路基板検査装置であり、被検査回路を電気的な動
作状態として検査を行う場合において、特にディジタル
回路のように断続的に発生する多数のクロック信号によ
る高次の高調波成分を含む電磁波が存在する状況の中で
も、回路検査を高精度で行える作用を有する。
【００１４】（実施の形態１）以下、本発明の実施の形
態を図面を参照して説明する。図１は本発明の第１の実
施の形態における回路基板検査装置の構成を示すもので
ある。図１において、１は検査対象となる被検査回路基
板、２は周波数の異なる複数の高周波信号源、３は高周
波信号源２から出力された複数の高周波信号を被検査回
路基板１の複数の回路パターンにそれぞれ対応させて誘
導結合して励振する電磁プローブ部、４は被検査回路基
板１の回路パターンから放射される電磁波を検出する複
数の微小アンテナ、５は複数の微小アンテナ４からの高
周波信号を順次選択する信号選択回路、６は信号選択回
路５で選択された高周波信号のレベルを周波数成分別に
検出するスペクトラムアナライザまたはメジャリングレ
シーバ、７はスペクトラムアナライザ６の出力を周波数
領域で信号解析するとともに、信号選択回路５およびス
ペクトラムアナライザ６を制御する信号解析制御部であ
る。８は電磁プローブ部３と微小アンテナ４と信号選択
回路５とで構成された検査部である。
態を図面を参照して説明する。図１は本発明の第１の実
施の形態における回路基板検査装置の構成を示すもので
ある。図１において、１は検査対象となる被検査回路基
板、２は周波数の異なる複数の高周波信号源、３は高周
波信号源２から出力された複数の高周波信号を被検査回
路基板１の複数の回路パターンにそれぞれ対応させて誘
導結合して励振する電磁プローブ部、４は被検査回路基
板１の回路パターンから放射される電磁波を検出する複
数の微小アンテナ、５は複数の微小アンテナ４からの高
周波信号を順次選択する信号選択回路、６は信号選択回
路５で選択された高周波信号のレベルを周波数成分別に
検出するスペクトラムアナライザまたはメジャリングレ
シーバ、７はスペクトラムアナライザ６の出力を周波数
領域で信号解析するとともに、信号選択回路５およびス
ペクトラムアナライザ６を制御する信号解析制御部であ
る。８は電磁プローブ部３と微小アンテナ４と信号選択
回路５とで構成された検査部である。
【００１５】以上のように構成された回路基板検査装置
において、被検査回路基板１の回路パターンの断線や短
絡などの故障を検出する動作について、図２および図３
を参照しながら説明する。図２（ａ）において、９は被
検査回路基板１上の回路パターンを示し、それぞれの回
路パターン９ａから９ｃにｆ１からｆ３の検査用高周波
信号が励振されている。１０は微小アンテナ４−１から
４−４がそれぞれ検出しうる範囲を示した検査部位であ
り、微小アンテナ４−１から４−４は、それぞれ同一符
号で示した正方形格子の範囲の電磁波を局所的に検出す
るように配置される。図２（ｂ）から（ｅ）は、微小ア
ンテナ４−１から４−４で検出した電磁波のスペクトラ
ム波形を示している。図２（ｂ）においては、微小アン
テナ４−１において検出された回路パターン９ａおよび
９ｃからの電磁波を示しており、ｆ１およびｆ３の信号
が確認される。また図２（ｃ）から（ｅ）においては、
同様にｆ２およびｆ３の信号が確認されている。検査基
準用の正常な被検査回路基板を測定し、その各微小アン
テナ４で検出されたスペクトラム波形を、測定基準用波
形として記憶しておく。
において、被検査回路基板１の回路パターンの断線や短
絡などの故障を検出する動作について、図２および図３
を参照しながら説明する。図２（ａ）において、９は被
検査回路基板１上の回路パターンを示し、それぞれの回
路パターン９ａから９ｃにｆ１からｆ３の検査用高周波
信号が励振されている。１０は微小アンテナ４−１から
４−４がそれぞれ検出しうる範囲を示した検査部位であ
り、微小アンテナ４−１から４−４は、それぞれ同一符
号で示した正方形格子の範囲の電磁波を局所的に検出す
るように配置される。図２（ｂ）から（ｅ）は、微小ア
ンテナ４−１から４−４で検出した電磁波のスペクトラ
ム波形を示している。図２（ｂ）においては、微小アン
テナ４−１において検出された回路パターン９ａおよび
９ｃからの電磁波を示しており、ｆ１およびｆ３の信号
が確認される。また図２（ｃ）から（ｅ）においては、
同様にｆ２およびｆ３の信号が確認されている。検査基
準用の正常な被検査回路基板を測定し、その各微小アン
テナ４で検出されたスペクトラム波形を、測定基準用波
形として記憶しておく。
【００１６】図３（ａ）は図２（ａ）に示した被検査回
路基板１上の回路パターン９の検査部位１０において、
部位１０−３において断線不良があった場合を示す。こ
の断線部位１０−３があるため、検査用信号ｆ２および
ｆ３は、断線部位１０−３から先へは伝送されないた
め、各微小アンテナ４での検出スペクトラム波形は、そ
れぞれ図３（ｂ）から（ｅ）のようになる。この図３
（ｂ）から（ｅ）までの波形と図２（ｂ）から（ｅ）ま
での波形（測定基準波形）とを比較することで、故障が
発生している回路パターン９ｂおよび９ｃと、また故障
発生部位を１０−３と特定することができる。
路基板１上の回路パターン９の検査部位１０において、
部位１０−３において断線不良があった場合を示す。こ
の断線部位１０−３があるため、検査用信号ｆ２および
ｆ３は、断線部位１０−３から先へは伝送されないた
め、各微小アンテナ４での検出スペクトラム波形は、そ
れぞれ図３（ｂ）から（ｅ）のようになる。この図３
（ｂ）から（ｅ）までの波形と図２（ｂ）から（ｅ）ま
での波形（測定基準波形）とを比較することで、故障が
発生している回路パターン９ｂおよび９ｃと、また故障
発生部位を１０−３と特定することができる。
【００１７】一般には、被検査回路基板１上の回路パタ
ーンは、例えば１００以上になる場合が多いが、その場
合の最良の方法は、すべての回路パターンにそれぞれ対
応した周波数の異なる検査用信号を励振するものであ
る。しかし、このような方法では、検査用設備が大規模
となる。それを改善する手段として、検査工程を数段階
に分け、各工程においてそれぞれ特定の回路パターンに
のみ検査用信号源を励振し検査する方法がある。故障部
位の検出精度および位置分解能は、微小アンテナ４の位
置分解能および数に左右されるが、例えば複数の微小ア
ンテナの組を機械的に移動させることにより、さらに位
置分解能を高めることができる。
ーンは、例えば１００以上になる場合が多いが、その場
合の最良の方法は、すべての回路パターンにそれぞれ対
応した周波数の異なる検査用信号を励振するものであ
る。しかし、このような方法では、検査用設備が大規模
となる。それを改善する手段として、検査工程を数段階
に分け、各工程においてそれぞれ特定の回路パターンに
のみ検査用信号源を励振し検査する方法がある。故障部
位の検出精度および位置分解能は、微小アンテナ４の位
置分解能および数に左右されるが、例えば複数の微小ア
ンテナの組を機械的に移動させることにより、さらに位
置分解能を高めることができる。
【００１８】以上のように、本実施の形態１によれば、
検出プローブピンなどの電気接触手段によることなく、
部品の実装する前の基板単体のパターン不良の検出およ
び非動作状態での検査を高精度で行うことができる。
検出プローブピンなどの電気接触手段によることなく、
部品の実装する前の基板単体のパターン不良の検出およ
び非動作状態での検査を高精度で行うことができる。
【００１９】（実施の形態２）次に、本発明の第２の実
施の形態における回路基板検査装置を図４を参照して説
明する。図４において、１１は図１の検査部８と同様な
構成の検査部であり、被検査回路基板の複数の回路パタ
ーンにそれぞれ対応させて誘導結合して励振する電磁プ
ローブ部３Ａと、被検査回路基板の回路パターンから放
射される電磁波を検出する複数の微小アンテナ４Ａと、
複数の微小アンテナ４Ａからのパルス変調高周波信号を
順次選択する信号選択回路５Ａとを有する。１２は高周
波信号発生器、１３はパルス信号を発生させるパルス信
号発生器、１４はパルス信号発生器１３から複数のパル
ス信号を発生させるための複数の遅延器、１５は高周波
発生器１２から出力された高周波信号を各遅延器１４か
らのパルス信号によりパルス変調する複数のパルス変調
器、１６はパルス変調器１５から検査部１１へ出力され
るパルス変調高周波信号である検査用高周波信号、１７
は信号選択回路５Ａからの検査用高周波信号を検波する
高周波信号検波器、１８は検波されたパルス変調高周波
信号をパルス信号発生器１３からのパルス信号と比較し
て遅延時間差を検出するパルス比較器、１９は検出され
た遅延時間差をもとに時間領域解析を行うとともに、信
号選択回路５Ａおよび高周波信号検波器１７を制御する
信号解析制御部である。
施の形態における回路基板検査装置を図４を参照して説
明する。図４において、１１は図１の検査部８と同様な
構成の検査部であり、被検査回路基板の複数の回路パタ
ーンにそれぞれ対応させて誘導結合して励振する電磁プ
ローブ部３Ａと、被検査回路基板の回路パターンから放
射される電磁波を検出する複数の微小アンテナ４Ａと、
複数の微小アンテナ４Ａからのパルス変調高周波信号を
順次選択する信号選択回路５Ａとを有する。１２は高周
波信号発生器、１３はパルス信号を発生させるパルス信
号発生器、１４はパルス信号発生器１３から複数のパル
ス信号を発生させるための複数の遅延器、１５は高周波
発生器１２から出力された高周波信号を各遅延器１４か
らのパルス信号によりパルス変調する複数のパルス変調
器、１６はパルス変調器１５から検査部１１へ出力され
るパルス変調高周波信号である検査用高周波信号、１７
は信号選択回路５Ａからの検査用高周波信号を検波する
高周波信号検波器、１８は検波されたパルス変調高周波
信号をパルス信号発生器１３からのパルス信号と比較し
て遅延時間差を検出するパルス比較器、１９は検出され
た遅延時間差をもとに時間領域解析を行うとともに、信
号選択回路５Ａおよび高周波信号検波器１７を制御する
信号解析制御部である。
【００２０】以上のように構成された被接触型回路基板
検査装置について、以下図４を用いてその動作を説明す
る。高周波信号発生器１２は、一定の周波数に設定さ
れ、その出力はパルス変調器１５に入力される。一方、
パルス信号発生器１３から出力されたパルス信号は、一
定の遅延時間ｔに設定された遅延器１４により遅延さ
れ、パルス変調器１５に変調パルスとして入力される。
その結果、パルス変調器１５からは検査用高周波信号１
６が出力され、検査用高周波信号１６−１は、パルス信
号発生器１３の出力パルスに対して時間ｔだけ、また検
査用高周波信号１６−ｎはｔ×ｎだけ遅延されたパルス
変調波信号となる。検査部１１において、検査用高周波
信号１６は、電磁プローブ３Ａを通じて被検査回路基板
上の各回路パターンを励振し、放射された各回路毎の電
磁波が微小アンテナ４Ａにより検出され、信号選択回路
５Ａにより順次選択されて高周波検波器１７に出力され
る。高周波信号検波器１７では、入力された信号をパル
ス検波する。パルス比較器１８では、高周波信号検波器
１７のパルス検波出力と、パルス信号発生器１３からの
パルス信号とを比較し、遅延時間差として信号解析制御
部１９に出力する。信号解析制御部１９では、検査部１
１における各微小アンテナ４Ａ（検出部位）毎の信号の
遅延時間差を解析することで、検査用高周波信号１６の
成分を特定することができる。また、定常的に一定のレ
ベルで放射される複数の周波数の電磁波が存在しても、
上記のパルス時間差検出には影響を及ぼさない。
検査装置について、以下図４を用いてその動作を説明す
る。高周波信号発生器１２は、一定の周波数に設定さ
れ、その出力はパルス変調器１５に入力される。一方、
パルス信号発生器１３から出力されたパルス信号は、一
定の遅延時間ｔに設定された遅延器１４により遅延さ
れ、パルス変調器１５に変調パルスとして入力される。
その結果、パルス変調器１５からは検査用高周波信号１
６が出力され、検査用高周波信号１６−１は、パルス信
号発生器１３の出力パルスに対して時間ｔだけ、また検
査用高周波信号１６−ｎはｔ×ｎだけ遅延されたパルス
変調波信号となる。検査部１１において、検査用高周波
信号１６は、電磁プローブ３Ａを通じて被検査回路基板
上の各回路パターンを励振し、放射された各回路毎の電
磁波が微小アンテナ４Ａにより検出され、信号選択回路
５Ａにより順次選択されて高周波検波器１７に出力され
る。高周波信号検波器１７では、入力された信号をパル
ス検波する。パルス比較器１８では、高周波信号検波器
１７のパルス検波出力と、パルス信号発生器１３からの
パルス信号とを比較し、遅延時間差として信号解析制御
部１９に出力する。信号解析制御部１９では、検査部１
１における各微小アンテナ４Ａ（検出部位）毎の信号の
遅延時間差を解析することで、検査用高周波信号１６の
成分を特定することができる。また、定常的に一定のレ
ベルで放射される複数の周波数の電磁波が存在しても、
上記のパルス時間差検出には影響を及ぼさない。
【００２１】以上のように、本実施の形態２によれば、
被検査回路を電気的な動作状態として検査を行う場合に
おいて、特にアナログ回路のように、定常的に一定のレ
ベルで放射される複数の周波数の電磁波、例えば複数の
局部発振回路や中間周波段回路から放射される電磁波が
存在する状況の中でも、回路検査を高精度で行うことが
できる。
被検査回路を電気的な動作状態として検査を行う場合に
おいて、特にアナログ回路のように、定常的に一定のレ
ベルで放射される複数の周波数の電磁波、例えば複数の
局部発振回路や中間周波段回路から放射される電磁波が
存在する状況の中でも、回路検査を高精度で行うことが
できる。
【００２２】（実施の形態３）次に、本発明の第３の実
施の形態における回路基板検査装置について図５を参照
して説明する。図５において、２１は図１の検査部８と
同様な構成の検査部であり、被検査回路基板の複数の回
路パターンにそれぞれ対応させて誘導結合して励振する
電磁プローブ部３Ｂと、被検査回路基板の回路パターン
から放射される電磁波を検出する複数の微小アンテナ４
Ｂと、複数の微小アンテナ４Ｂからの符号拡散変調高周
波信号を順次選択する信号選択回路５Ｂとを有する。２
２は高周波信号発生器、２３は互いに相関の極めて低い
複数の拡散符号を発生する拡散符号発生器、２４は高周
波信号発生器２２から出力された高周波信号を拡散符号
発生器２３からの拡散符号系列によって乗算して拡散す
る複数の拡散変調器、２５は拡散変調された複数の検査
用スペクトラム拡散信号である。２６は拡散符号発生器
２３からの拡散符号を順次切り替える拡散符号切替器、
２７は拡散符号切替器２６からの拡散符号を用いて検査
部２１から出力された検査用スペクトラム拡散信号を逆
拡散する逆拡散器、２８は逆拡散された信号の帯域制限
を行う帯域制限フィルタ、２９は帯域制限された信号の
レベルを検出するレベル検出器、３０はレベル検出され
た信号の解析を行うとともに、信号選択回路５Ｂおよび
拡散符号切替器２６を制御する信号解析制御部である。
施の形態における回路基板検査装置について図５を参照
して説明する。図５において、２１は図１の検査部８と
同様な構成の検査部であり、被検査回路基板の複数の回
路パターンにそれぞれ対応させて誘導結合して励振する
電磁プローブ部３Ｂと、被検査回路基板の回路パターン
から放射される電磁波を検出する複数の微小アンテナ４
Ｂと、複数の微小アンテナ４Ｂからの符号拡散変調高周
波信号を順次選択する信号選択回路５Ｂとを有する。２
２は高周波信号発生器、２３は互いに相関の極めて低い
複数の拡散符号を発生する拡散符号発生器、２４は高周
波信号発生器２２から出力された高周波信号を拡散符号
発生器２３からの拡散符号系列によって乗算して拡散す
る複数の拡散変調器、２５は拡散変調された複数の検査
用スペクトラム拡散信号である。２６は拡散符号発生器
２３からの拡散符号を順次切り替える拡散符号切替器、
２７は拡散符号切替器２６からの拡散符号を用いて検査
部２１から出力された検査用スペクトラム拡散信号を逆
拡散する逆拡散器、２８は逆拡散された信号の帯域制限
を行う帯域制限フィルタ、２９は帯域制限された信号の
レベルを検出するレベル検出器、３０はレベル検出され
た信号の解析を行うとともに、信号選択回路５Ｂおよび
拡散符号切替器２６を制御する信号解析制御部である。
【００２３】以上のように構成された非接触型の回路基
板検査装置について、図５を用いてその動作を説明す
る。高周波信号発生器２２は、一定の周波数に設定さ
れ、その出力は、拡散符号発生器２３からの互いに相関
の極めて低い拡散符号により拡散変調器２４で拡散変調
され、検査用スペクトラム拡散信号２５として検査部２
１に入力される。検査部２１において、検査用スペクト
ラム拡散信号２５は、電磁プローブ３Ｂを通じて被検査
回路基板上の各回路パターンを励振し、放射された各回
路毎の電磁波が微小アンテナ４Ｂにより検出され、信号
選択回路５Ｂにより順次選択されて逆拡散器２７に送ら
れる。逆拡散器２７では、検査部２１からの信号を拡散
符号切替器２６からの拡散時と同一の符号を用いて順次
逆拡散する。逆拡散された信号は、帯域制限フィルタ２
８を介してレベル検出器２９に入力され、信号解析制御
部３０で、各信号毎のレベル差を解析することで、検査
用スペクトラム拡散信号２５の成分を特定することがで
きる。これにより、動作中の被検査回路基板から断続的
に放射されている多数のクロック信号による高次の高調
波成分を含む電磁波成分についても、逆拡散持に無相関
な信号として逆拡散されるので、レベル検出に影響を与
えない。
板検査装置について、図５を用いてその動作を説明す
る。高周波信号発生器２２は、一定の周波数に設定さ
れ、その出力は、拡散符号発生器２３からの互いに相関
の極めて低い拡散符号により拡散変調器２４で拡散変調
され、検査用スペクトラム拡散信号２５として検査部２
１に入力される。検査部２１において、検査用スペクト
ラム拡散信号２５は、電磁プローブ３Ｂを通じて被検査
回路基板上の各回路パターンを励振し、放射された各回
路毎の電磁波が微小アンテナ４Ｂにより検出され、信号
選択回路５Ｂにより順次選択されて逆拡散器２７に送ら
れる。逆拡散器２７では、検査部２１からの信号を拡散
符号切替器２６からの拡散時と同一の符号を用いて順次
逆拡散する。逆拡散された信号は、帯域制限フィルタ２
８を介してレベル検出器２９に入力され、信号解析制御
部３０で、各信号毎のレベル差を解析することで、検査
用スペクトラム拡散信号２５の成分を特定することがで
きる。これにより、動作中の被検査回路基板から断続的
に放射されている多数のクロック信号による高次の高調
波成分を含む電磁波成分についても、逆拡散持に無相関
な信号として逆拡散されるので、レベル検出に影響を与
えない。
【００２４】以上のように、本実施の形態３によれば、
被検査回路を電気的な動作状態として検査を行う場合に
おいて、特にディジタル回路のように断続的に発生する
多数のクロック信号による高次の高調波成分を含む電磁
波が存在する状況の中でも、回路検査を高精度で行うこ
とができる。
被検査回路を電気的な動作状態として検査を行う場合に
おいて、特にディジタル回路のように断続的に発生する
多数のクロック信号による高次の高調波成分を含む電磁
波が存在する状況の中でも、回路検査を高精度で行うこ
とができる。
【００２５】
【発明の効果】本発明は、上記実施の形態から明らかな
ように、部品を実装する前の基板単体のパターン不良の
検出および被検査回路が非動作状態での回路検査を高精
度で行うことができる。また被検査回路を電気的な動作
状態として検査を行う場合において、特にアナログ回路
のように、定常的に一定のレベルで放射される複数の周
波数の電磁波、例えば複数の局部発振回路や中間周波段
回路から放射される電磁波が存在する状況の中でも、回
路検査を高精度で行うことができる。さらに、被検査回
路を電気的な動作状態として検査を行う場合において、
特にディジタル回路のように断続的に発生する多数のク
ロック信号による高次の高調波成分を含む電磁波が存在
する状況の中でも、回路検査を高精度で行うことができ
る。
ように、部品を実装する前の基板単体のパターン不良の
検出および被検査回路が非動作状態での回路検査を高精
度で行うことができる。また被検査回路を電気的な動作
状態として検査を行う場合において、特にアナログ回路
のように、定常的に一定のレベルで放射される複数の周
波数の電磁波、例えば複数の局部発振回路や中間周波段
回路から放射される電磁波が存在する状況の中でも、回
路検査を高精度で行うことができる。さらに、被検査回
路を電気的な動作状態として検査を行う場合において、
特にディジタル回路のように断続的に発生する多数のク
ロック信号による高次の高調波成分を含む電磁波が存在
する状況の中でも、回路検査を高精度で行うことができ
る。
【図１】本発明の実施の形態１における回路基板検査装
置の概略構成を示すブロック
置の概略構成を示すブロック
【図２】（ａ）実施の形態１における動作を説明するた
めの回路パターンの模式図 （ｂ），（ｃ），（ｄ），（ｅ）実施の形態１における
動作を説明するためのスペクトラム波形図
めの回路パターンの模式図 （ｂ），（ｃ），（ｄ），（ｅ）実施の形態１における
動作を説明するためのスペクトラム波形図
【図３】（ａ）実施の形態１における断線時の動作を説
明するための回路パターンの模式図 （ｂ），（ｃ），（ｄ），（ｅ）実施の形態１における
断線時の動作を説明するためのスペクトラム波形図
明するための回路パターンの模式図 （ｂ），（ｃ），（ｄ），（ｅ）実施の形態１における
断線時の動作を説明するためのスペクトラム波形図
【図４】本発明の実施の形態２における回路基板検査装
置の概略構成を示すブロック図
置の概略構成を示すブロック図
【図５】本発明の実施の形態３における回路基板検査装
置の概略構成を示すブロック図
置の概略構成を示すブロック図
１ 被検査回路基板 ２ 高周波信号源 ３、３Ａ、３Ｂ 電磁プローブ部 ４、４Ａ、４Ｂ 微小アンテナ ５、５Ａ、５Ｂ 信号選択回路 ６ スペクトラムアナライザ ７ 信号解析制御部 ８ 検査部 ９ 回路パターン １０ 検査部位 １１ 検査部 １２ 高周波信号発生器 １３ パルス信号発生器 １４ 遅延器 １５ パルス変調器 １６ 検査用高周波信号 １７ 高周波信号検波器 １８ パルス比較器 １９ 信号解析制御部 ２１ 検査部 ２２ 高周波信号発生器 ２３ 拡散符号発生器 ２４ 拡散変調器 ２５ 検査用スペクトラム拡散信号 ２６ 拡散符号切替器 ２７ 逆拡散器 ２８ 帯域制限フィルタ ２９ レベル検出器 ３０ 信号解析制御部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 31/02 G01R 31/28 - 31/3193 G01R 31/00
Claims (2)
- 【請求項１】 高周波信号発生手段と、複数のパルス信
号を発生させるパルス信号発生手段と、前記高周波信号
発生手段から出力された高周波信号を前記パルス信号発
生手段からの複数のパルス信号によりパルス変調する複
数のパルス変調手段と、前記パルス変調手段から出力さ
れた複数のパルス変調高周波信号を被検査回路基板の複
数の回路パターンにそれぞれ対応させて誘導結合して励
振する非接触電磁誘導プローブ手段と、前記被検査回路
基板の回路パターンから放射される電磁波を検出する複
数の微小アンテナと、前記複数の微小アンテナからのパ
ルス変調高周波信号を順次選択する信号選択手段と、前
記信号選択手段から出力されたパルス変調高周波信号と
前記パルス信号発生手段からのパルス信号とを比較して
時間領域で解析を行う信号解析手段とを備えたことを特
徴とする回路基板検査装置。 - 【請求項２】 高周波信号発生手段と、前記高周波信号
発生手段から出力された高周波信号を互いに相関の低い
複数の拡散符号系列によって乗算する複数の拡散変調手
段と、前記拡散変調手段から出力された複数の拡散変調
高周波信号を被検査回路基板の複数の回路パターンにそ
れぞれ対応させて誘導結合して励振する非接触電磁誘導
プローブ手段と、前記被検査回路基板の回路パターンか
ら放射される電磁波を検出する複数の微小アンテナと、
前記複数の微小アンテナからの拡散変調高周波信号を順
次選択する信号選択手段と、前記信号選択手段からの出
力を前記複数の拡散符号系列と同一符号により逆拡散を
行う逆拡散手段と、前記逆拡散された高周波信号のレベ
ルを検出して解析を行う信号解析手段とを備え、特定位
置の微小アンテナから検出された信号を符号分割により
解析することを特徴とする回路基板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19972497A JP3328553B2 (ja) | 1997-07-25 | 1997-07-25 | 回路基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19972497A JP3328553B2 (ja) | 1997-07-25 | 1997-07-25 | 回路基板検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1144724A JPH1144724A (ja) | 1999-02-16 |
| JP3328553B2 true JP3328553B2 (ja) | 2002-09-24 |
Family
ID=16412568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19972497A Expired - Fee Related JP3328553B2 (ja) | 1997-07-25 | 1997-07-25 | 回路基板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3328553B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4277398B2 (ja) * | 1999-03-26 | 2009-06-10 | 富士通株式会社 | 配線板の検査装置 |
| JP2002189049A (ja) * | 2000-12-21 | 2002-07-05 | Oht Inc | 検査方法及び検査装置 |
| US6850080B2 (en) | 2001-03-19 | 2005-02-01 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Inspection method and inspection apparatus |
| SG142160A1 (en) * | 2001-03-19 | 2008-05-28 | Semiconductor Energy Lab | Method of manufacturing a semiconductor device |
| TW573128B (en) * | 2001-05-15 | 2004-01-21 | Semiconductor Energy Lab | Voltage measuring method, electrical test method and apparatus, semiconductor device manufacturing method and device substrate manufacturing method |
| KR100674026B1 (ko) * | 2004-12-15 | 2007-01-25 | 엘지전자 주식회사 | 보드 검사 방법 및 이를 수행하기 위한 장치 |
| JP4744924B2 (ja) | 2005-05-10 | 2011-08-10 | 株式会社東芝 | Ｌｓｉ内部信号観測回路 |
| JP4671939B2 (ja) * | 2006-10-05 | 2011-04-20 | ジヤトコ株式会社 | 回路の内部信号を検出する方法及び、それに用いる実装基板 |
| EP2211194A4 (en) * | 2007-10-29 | 2013-05-01 | Tokyo Inst Tech | DEVICE FOR DETECTING PHYSICAL QUANTITY |
| JP5332975B2 (ja) * | 2009-07-07 | 2013-11-06 | 富士ゼロックス株式会社 | 検出装置及びプログラム |
| JP5146554B2 (ja) * | 2011-02-14 | 2013-02-20 | パルステック工業株式会社 | 太陽電池検査装置 |
| JP7303543B2 (ja) | 2019-08-30 | 2023-07-05 | ヤマハファインテック株式会社 | 高周波特性検査装置、及び高周波特性検査方法 |
-
1997
- 1997-07-25 JP JP19972497A patent/JP3328553B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1144724A (ja) | 1999-02-16 |
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