JP3299189B2

JP3299189B2 - 基板検査装置及び基板検査方法

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Publication number: JP3299189B2
Application number: JP19072698A
Authority: JP
Inventors: 保成吉岡
Original assignee: OHT Inc
Current assignee: OHT Inc
Priority date: 1998-07-06
Filing date: 1998-07-06
Publication date: 2002-07-08
Anticipated expiration: 2018-07-06
Also published as: JP2000019213A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、狭ピッチの導体パ
ターンが印刷された基板（ＩＣチップを搭載される前の
ＬＳＩパッケージを含み、以下、これらを「基板」とい
う）上の一部のパターンにおける断線等の検査に適用さ
れる基板検査装置及び方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、基板上に印刷された狭ピッチ
の導体パターンの導通状態を検出さする方法として、そ
のパターン線の一端に信号を印加し、他端にてその信号
を受信し、その受信信号の振幅などに基づいて、パター
ン線の導通状態を検査する装置は広く知られている。

【０００３】本出願人も、そのような検査装置として、
非接触式のシールド付きプローブを用いた検査装置を特
願平８−１０４１４８号において開示した。この従来技
術に関わる特願平８−１０４１４８号等の検査装置は、
検査信号として、所定の周波数の交流成分を有するパル
ス信号を用いる。受信側では、検査信号の受信レベルの
平均値を演算し、その平均値と所定の閾値との大小に基
づいて、導通状態を判定するものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例の検査方法及び装置では、平均値を演算する必要が
あるために、複数周期分の受信信号を受信する時間を必
要とするために、検査対象の基板の全パターンを検査し
終わるのに多くの時間を必要としていた。特に、昨今の
基板はパターン線の数や端子の数が膨大（例えば、１０
００サンプル数）であるので、１つのパターン線や端子
の検査に例えば５msの時間しかかからなくとも、一枚の
基板の検査を終了するのに５秒もかかってしまい、効率
化が必要である。

【０００５】

【課題を達成するための手段】本発明は、効率よく基板
上のパターン線の導通を検査する事のできる検査装置及
び方法を提案するものである。上記課題を達成するため
に、例えば、基板上のパターン線の一端において所定の
トランスミッタから信号を印加し、該パターン線の他端
で信号を所定のプローブにて受信し、この受信信号に基
づいてパターン線の導通を検査する基板検査装置は、所
定の時刻に前記パターン線の一端に検査信号を印加する
印加手段と、前記検査信号の印加タイミングを信号ピッ
クアップ手段に報知する報知手段と、前記信号ピックア
ップ手段において、前記報知を受けた後に、前記プロー
ブにて検出される受信信号の変化を監視する監視手段を
具備することを特徴とする。信号の出力を検出する信号
検出手段とを具備することを特徴とする。

【０００６】信号変化の監視は、前記報知を受けた後に
限定して行えばよいので、監視手段側での処理が効率化
する。特に、検査信号に対応する受信信号の到来を予期
できるので、検査信号を例えば１〜２発の少数のパルス
信号とすることが許されるので、全体的な処理も効率化
する。上記課題は複数のパターン線を検査する装置にも
当てはまる。即ち、適用複数の基板上のパターン線の夫
々の一端に所定のトランスミッタから信号を印加し、該
夫々のパターン線の各々の他端で信号を夫々の所定のプ
ローブにて受信し、これらの受信信号に基づいて個々の
パターン線の導通を検査する基板検査装置は、検査信号
の発生源と、所定の時刻に複数の基板上のパターン線の
夫々の一端に前記発生源からの検査信号を略同時に印加
する複数の印加手段と、前記検査信号の印加タイミング
を報知する複数の報知手段と、前記報知手段からの報知
を受けた後に、前記夫々のプローブにて検出される受信
信号の変化を監視する複数の監視手段を具備することを
特徴とする。

【０００７】本発明の一態様に拠れば、前記印加手段の
夫々と前記報知手段の夫々と前記複数の監視手段の夫々
とは、１つのチャンネルを構成することを特徴とする。
チャンネル化することにより全体の制御を用意にするこ
とができる。また、検査装置全体の構成をモジュール化
することが容易になる。本発明の他の一態様に拠れば、
前記所定のトランスミッタは前記一端に接触する信号印
加端子であり、前記プローブは非接触型のシールド付き
プローブであることを特徴とする。また、本発明の更に
他の一態様に拠れば、前記所定のトランスミッタは非接
触式の信号印加端子であり、前記プローブは前記他端に
接触する信号印加端子であることを特徴とする。

【０００８】即ち、上記態様では、トランスミッタ側と
受信側とでは、どちらも非接触型プローブを用いること
ができる。装置の小型化に寄与する。本発明の他の一態
様に拠れば、前記検査信号は少なくとも１周期分の長さ
のパルスである。検査の高速化に寄与する。更に他の一
態様に拠れば、前記検査信号は正弦波形を有する。正弦
波は高調波成分を含まないので、検査装置全体でノイズ
耐性が強くなる。

【０００９】また本発明の一態様に拠れば、前記検査信
号は矩形波形を有する。矩形波形はピーク検出が高速且
つ確実なので、検査のさらなる効率化を期待できる。本
発明の他の一態様に拠れば、前記監視手段は、前記報知
の後に、前記受信信号の波形の第１のピークを検出す
る。

【００１０】更に本発明の一態様に拠れば、前記第１の
ピークは前記報知の後の最初のピークである。最初のピ
ークを検出することにより、検査時間が短縮化する。本
発明の他の一態様に拠れば、前記第１のピークを検出し
たならば、その後の第２のピークを検出するまでの前記
受信信号の変化量を検出する手段を更に有することを特
徴とする。

【００１１】本発明の他の一態様に拠れば、前記印加手
段は、パルス信号を発生する信号源を有し、前記印加タ
イミングにおいて前記信号源の付勢を開始する。信号源
のＯＮ／ＯＦＦにより短時間期間の検査信号を生成す
る。本発明の更に他の一態様に拠れば、前記印加手段
は、パルス信号を常時発生する信号源と、この信号源に
接続され、基板のパターン線の端子に接続されたスイッ
チとを有し、前記印加タイミングに前記スイッチを閉じ
ることを特徴とする。

【００１２】信号源を常時付勢することが許されるの
で、検査信号の波形の精度が向上する。上記課題を達成
するために、基板上のパターン線の一端に信号を印加
し、該パターン線の他端で信号を所定のプローブにて受
信し、この受信信号に基づいてパターン線の導通を検査
する基板検査方法は、所定の時刻に前記パターン線の一
端に検査信号を印加し、前記検査信号の印加タイミング
を受信手段に報知し、前記受信手段において、前記報知
信号を受けた後に、前記プローブにて検出される受信信
号の変化を監視することを特徴とする。

【００１３】特に、検査を高速化するためにはパイプラ
イン化が好ましい。そのために、本発明の他の一態様に
拠れば、更に、受信信号をＡ／Ｄ変換する変換工程と、
Ａ／Ｄ変換データを収集する収集工程とを有し、前記変
換工程と収集工程とはパイプライン化されていることを
特徴とする。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下添付図面を参照しながら本発
明を適用した基板検査システムを説明する。尚、本発明
は、その原理上、非接触式のプローブや接触式のプロー
ブにも適用可能であるが、以下に説明する実施形態の検
査システムは、より高密度の基板を検査する事のできる
非接触式のプローブを用いている。

【００１５】〈実施形態〉実施形態は、実施形態の中でも基本的原理を適用するも
ので、その構造は実施形態の中で最も単純である。即
ち、検査信号は信号源１０から供給される。検査信号
は、例えば、第２図のような種々の波形を採用し得る
が、この実施形態及び以下の実施形態でも、第２図の
（ａ）の正弦波形のパルス信号を採用する。正弦波形の
パルス信号を採用することの理由は、矩形波に比してＥ
ＭＩを引き起こすことが少ないことにある。また、信号
のＰ−Ｐ値は約５０Ｖである。高電圧のパルスを入力す
る事によりＳＮ比を改善している。

【００１６】第１図において、２０はワークの基板であ
り、不図示ではあるが、複数のパターン線２２が密に印
刷されている。信号源１０からの検査信号は信号ケーブ
ル１１、端子２１を介してパターン線２２に印加され
る。即ち、信号ケーブル１１と、基板２０上の端子２１
と不図示のコネクタとは、検査信号を基板に印加するた
めの「トランスミッタ」を構成する。

【００１７】３０は非接触型のシールド付き結合型のプ
ローブであり、その詳細な構成は例えば本出願人の特願
平８−１０４１４８号に開示されており、例えば、第３
図及び第４図に示す構造を有する。４０はプローブ３０
が拾った信号を増幅するプリアンプを、５０は増幅信号
をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器である。

【００１８】第３図はプローブ３０の構造を示す。プロ
ーブ３０は基板からの検査信号の輻射波を受信する。不
要な輻射波を受信するのを防止するために、水平方向に
拡がった平面状のシールド３１を有する。第４図にシー
ルド３１の斜視図を示す。シールド３１は中央に開口が
設けられ、その開口内にプローブ３０の電極３０ｅが納
められている。電極３０ｅとシールド３１との間には隙
間３２が設けられ、好ましくは絶縁性の接着剤によって
埋められ、この接着剤が電極３０ｅとシールド３１とを
接続固定する。

【００１９】第３図において２０は検査対象の基板を示
す。基板２０にはパターン線２５と２６とが配設され、
パターン線２５には断線２３が発生している。この断線
のために、パターン線２５は、パターン線部分２５ａと
２５ｂとに分離されている。第３図はプローブ３０が、
不図示の位置決め装置により、パターン線部分２５ｂの
上空に位置決めされた状態を示している。パターン２５
ａの一端には電極２１が接続されている。

【００２０】電極２１に検査信号が印加されると、パタ
ーン線２５に沿って電界及び又は電磁界が形成される。
換言すれば、パターン線２５のあらゆる部分から微弱な
輻射波が発生し、これらの輻射波は電極３０ｅに到達し
ようとする。基板２０には断線２３が発生しているの
で、パターン線部分２５ｂは輻射波を発生しない。しか
しながら、パターン線部分２５ａからは輻射波が発生す
る。また、パターン線２６がパターン線２５と電磁的に
或いは静電気的に或いはオーミック的に接続されていれ
ば、パターン線２６からも輻射波が発生する。

【００２１】検査対象のパターン線２５は断線部分２３
を有するので、電極３０ｅは輻射波を受けるべきではな
い。シールド３１は、余分な輻射波（第３図の例では、
パターン線部分２５ａ及びパターン線２６からの輻射
波）が電極３０ｅに到達するのを防止する。パターン線
部分２５ｂは輻射波を発生しないので、電極３０ｅは輻
射波を受信せず、したがって、検出信号の振幅は零又は
極めて低いものとなる。

【００２２】一方、もし断線２３が存在しない場合に
は、パターン線部分２５ａからの輻射波はシールドされ
ても、パターン線部分２５ｂからの輻射波は電極３０ｅ
により受信され。したがって、電極３０ｅを不図示の増
幅器に接続するように構成すれば、増幅された信号をモ
ニタすることにより、断線の有無を判別することができ
る。

【００２３】実施形態の特徴は、信号源１０から検査信
号を発するタイミングと、Ａ／Ｄ変換器５０やプリアン
プ４０（さらには、Ａ／Ｄ変換器４０以降のデータ処理
系６０）の動作の開始とが同期化されている点である。
即ち、信号源１０に信号スタートが入力されると、信号
源１０は付勢されて、パルス信号をケーブル１１に出力
する。信号源１０からは、スタート信号に同期して同期
信号(SYNC)が増幅器４０、Ａ／Ｄ変換器５０、処理シス
テム６０に送られる。

【００２４】このパルス信号は端子２１を介してパター
ン線２２（第１図）に印加される。プローブ３０は、パ
ターン線２２からの輻射波を受信することは前述したと
おりであり、この受信信号は増幅器４０により約３０万
倍に増幅される。第５図に増幅された信号の波形を示
す。即ち、受信信号はスタート信号から約９０度遅れて
（２５μ秒遅れて）受信側で検出される。増幅後の振幅
は実施形態では約１００μＶ_PPである。尚、受信信号が
約０．５ｖオフセットとしているのは増幅器のオフセッ
ト電圧のためである。

【００２５】即ち、第２図の（ａ）のような形状のパル
ス（即ち、立ち上がりで始まる正弦波）信号が基板に印
加されると、スタート信号が付勢されてから約２５μ秒
以降に最初の山のピークが現れることになる。従って、
データ処理システム６０は、同期信号SYNCを受信してか
ら、Ａ／Ｄ変換器５０にＡ／Ｄ変換開始信号を送り、Ａ
／Ｄ変換させて、変換された結果を次々と取り込むよう
にする。即ち、データ処理システム６０は、第５図に示
すように、Ａ／Ｄ変換された受信信号の包洛線中に、増
加傾向を検出してから、最初のΔＶボルト（＝数十mV）
の電圧効果を検出したならば、これをもって最初の山の
ピークが検出されたとする。そして、その後に、最初の
谷のピークを検出したならば、その山から谷への電圧降
下分は、検査信号がパターン線２２に印加されその輻射
波がプローブ３０に受信され増幅されたものであるか
ら、パターン線２２についての「検査結果信号」を表
す。

【００２６】第５図の例では、「検査結果信号」は１０
０μＶであるが、これはパターン線２２がオープンして
いないことを示している。このように、実施形態の受信
側は、スタート信号（SYNC信号）から遅くとも２５μ秒
以内に信号の監視を開始すればよい。換言すれば、受信
側のＡ／Ｄ変換器５０やデータ処理系６０は監視が必要
な時間のみに監視を集中すればよい。

【００２７】従来では、連続的なパルス信号を印加し、
複数の受信パルスの平均値を演算していたために、規定
数のパルスを拾うことができれば、そのパルスはいつの
時点のパルスでも演算対象とすることができた。しか
し、複数パルスを受信する必要があったために測定に時
間を要していたことは前述したとおりである。本実施形
態で、受信した１つのパルス信号でもって信号の振幅値
を決定することができるから、測定は短時間ですむ。１
つのパルス信号を確実に受信するには、プローブ３０か
らの信号レベルを常時監視していればよいが、そのよう
にすると、信号処理系やデータ処理系に負担をかけるこ
とになる。実施形態では、スタート信号（ＳＹＮＣ信
号）に同期した信号処理やデータ処理を行うことによ
り、無駄な信号処理やデータ処理の発生を防止してい
る。

【００２８】尚、上記実施形態では、スタート信号は外
部から信号源１０に入力し、併せて信号源１０は受信側
に同期信号SYNCを送るように構成しているとしたが、本
発明の起動方法はこれに限られない。即ち、データ処理
システム６０が、スタート信号を生成し、信号源１０に
送るようにしてもよい。即ち、検査信号の送出と受信と
の同期化は、処理システム６０の制御下におくのであ
る。

【００２９】次に、実施形態を更に具体化させた実施例
を複数挙げて本発明を更に詳細に説明する。〈第１実施例〉第６図は第１実施例のシステム構成を示
す。上記第１図の実施形態の構成は、信号源１０をスタ
ート信号により直接制御していた。しかしながら、信号
源（発振器）はＯＮした直後の信号の波形は精度が低下
する。第１実施例は、信号源１０を常時付勢された状態
（即ち、発振を継続している状態）にしておき、その信
号源１０からのパルス信号をスイッチにより断続する点
に特徴がある。

【００３０】第６図に於いては、スイッチボード１１０
と、検査コントローラ１００と、ホストシステム２００
が備えられ、全体の統御はホストシステム２００が行
う。ホストシステム２００はスタート信号及びＳＹＮＣ
信号を出力する。尚、検査コントローラ１００は第７図
に示すように、増幅器と、ＢＰＦ（バンドパスフィル
タ）１０１や波形成形器などを含む信号コンディショニ
ング回路１０２とＡ／Ｄ変換器１０３とメモリ１０４と
全体を制御するＣＰＵ１０５とを含む。受信信号はＣＰ
Ｕ１０５の制御によりＡ／Ｄ変換されてそのディジタル
値はメモリ１０４に格納される。そして、ＣＰＵ１０５
はメモリ１０４に格納されているデータを処理して、受
信信号の振幅を演算する。ホストシステム２００はこの
処理結果を回収することになる。

【００３１】第１実施例のワーク２０は、ＬＳＩ２８が
載置されることになるために、多数のパターン線２２を
有する。従って、多くの検査用端子が設けられている。
スイッチボード１１０は複数のアナログスイッチ（また
はリードリレー）を有し、個々のアナログスイッチ（ま
たはリードリレー）と検査用端子とがケーブルにより前
もって接続されている。ホストシステム２００は、どの
パターン線をどのような順序でテストするかを予めプロ
グラムされており、その順序に従って個々のスイッチを
開閉制御する。個々のスイッチの開閉制御はホストシス
テムからの選択信号によって行われる。

【００３２】スタート信号を送出してから、受信信号の
ピーク−ピークレベルの検出は前述の実施形態と同じで
ある。第１実施例では、プローブ３０は１つであるの
で、一度に１つのパターン線しかテストできない。しか
しながら、信号源やプローブ等を共通化することにより
コストダウンとなる。

【００３３】〈第２実施例〉第８図に示した第２実施例に係わる検査システムは、複
数のパターン線を同時に或いは時間をずらして検出する
ことを可能ならしめたものである。このために、第２実
施例の検査システムは、検査対象のパターン線の数に等
しい数のプローブ３０，３０，…と、同じ数の検査コン
トローラ１００，１００，…とを有する。即ち、この検
査システムはＮチャンネル分の検査系を有し、同時に最
大ｎ個のパターン線のテストを行うことができる。

【００３４】ホスト２００は選択／スタート信号を生成
して、スイッチボード１１０及び検査コントローラ１０
０に送る。選択／スタート信号が“１”とされたスイッ
チボード１１０のスイッチｎ及び検査コントローラ１０
０のコントローラ１００‐ｎが付勢されて、それに接続
されたパターン線が検査対象となる。全チャンネルを同
時に検査するには、選択／スタート信号の全てを同時に
“１”にする。

【００３５】しかしながら、全チャンネルを同時に監視
することはホスト２００に大きな負担をかける。そこ
で、第２実施例では、ホスト２００が選択／スタート信
号を制御して、一部のチャンネルのみが作動するように
制御する。例えば、ホスト２００が、全てのコントロー
ラ１００‐１，１００‐２，…において検査結果が得ら
れたかを監視し、データを回収するのに、１秒当たり最
大ｎチャンネルが限度とすれば、また、個々のコントロ
ーラ１００において検査を終了するのにｐ秒を要すると
すると、理論上は、最初のｐ₁（＝ｐ）秒間の間に、ｐ×ｎチャンネルに対して同時に検査を行うことができる。そして、次の
ｐ₂（＝ｐ）秒間の間に、同じく、ｎ₁チャンネルグループ＝ｐ×ｎチャンネルに対して同時に検査を行うことができ、更に、次のｐ₃
（＝ｐ）秒間の間に、ｎ₂チャンネルグループ＝ｐ×ｎチャンネルに対して同時に検査を行うことができる。

【００３６】即ち、第９図に示すように、上記ｐ₂秒間
の期間では、前のｐ₁期間に検出されたｎ₁チャンネルグ
ループの検査結果データをホスト２００が収集するよう
にし、次の上記ｐ₃秒間の期間では、前のｐ₂期間に検出
されたｎ₂チャンネルグループの検査結果データをホス
ト２００が収集するようにする事により、検査とデータ
収集とをパイプライン化することができる。このパイプ
ライン化により検査速度は飛躍的に向上する。

【００３７】〈変形例〉上記実施形態及び実施例では、
検査信号の印加はパターン線上に直接的に行い、検査信
号の輻射波の受信を非接触型のシールド付きプローブに
より間接的に行っていたが、本発明はこれに限定され
ず、検査信号の印加は検査信号の輻射波を非接触型のシ
ールド付きプローブを介して基板上に行い、その受信信
号の収集を直接接続にプローブによって行うようにして
もよい。尚、この逆にした検査装置の構成は特願平８−
１０４１４８号において開示されている。

【００３８】また、検査信号は正弦波を用いたが、ＥＭ
Ｉに耐性を有するシステムであれば、矩形波を用いても
よい。矩形波を用いることにより、ピーク検出が高速化
する。また、上記実施例では、信号コンディショニング
回路から出力された１０ｋＨｚの１波長をピークホール
ドするために、正弦波形の精度により繰り返し精度が大
きく変化するために、安定した正弦波をプリアンプに取
り込む必要がある。そのために、コンディショニング回
路のアイソレーション化が必要であり、例えば、ロック
インアンプを必要とする場合もある。

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の検査装置
及び検査方法により、効率的な基板検査を行うことがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の好適な実施形態に関わる検査システ
ムの構成を示すブロック図。

【図２】実施形態及び実施例の検査システムに印加さ
れる検査信号の波形のバリエーションを説明する図。

【図３】実施形態及び実施例の検査システムに用いら
る非接触型のシールド付きプローブの構成及び動作を説
明する図。

【図４】実施形態及び実施例の検査システムに用いら
る非接触型のシールド付きプローブの構成及び動作を説
明する図。

【図５】実施形態及び実施例の検査システムにおける
ピークホールドのための処理原理を説明するタイミング
チャート。

【図６】第１実施例にかかる検査システムの構成を示
すブロック図。

【図７】第１実施例及び第２実施例の検査コントロー
ラ１００の構成を示すブロック図。

【図８】第２実施例にかかる検査システムの構成を示
すブロック図。

【図９】第２実施例におけるパイプライン化の原理を
説明する図。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01R 31/02 G01R 31/28 G01R 31/302 H05K 3/00

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】基板上の検査対象パターン線の一端に検
査信号を印加し、前記検査対象パターン線の他端近傍で
信号を受信し、前記受信した受信信号に基づいてパター
ン線を検査可能な基板検査装置であって、交流電圧成分を有する検査信号を供給する発生源と、前記発生源からの検査信号を前記検査対象パターン線の
一端に印加する印加手段と、前記検査対象パターン線の他端近傍に所定距離離反して
配置され前記検査対象パターン線よりの輻射信号を受信
するプローブと、前記プローブにて受信される受信信号の変化を監視する
監視手段ととを備え、前記発生源は、前記検査信号の供給開始タイミングに同
期した同期信号を前記監視手段に出力し、前記監視手段
は、前記同期信号を受けた後に前記検査対象パターン線
からの前記受信信号１周期内の高レベル出力点と低レベ
ル出力点との変化量を監視することにより前記パターン
線を検査可能とすることを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】複数の基板上の検査対象パターン線の一
端に検査信号を印加し、前記複数の検査対象パターン線
の他端近傍で信号を受信し、前記受信した受信信号に基
づいて個々のパターン線を検査可能な基板検査装置であ
って、交流電圧成分を有する検査信号を供給する発生源と、前記発生源からの検査信号を複数の前記検査対象パター
ン線の夫々の一端に略同時に印加する印加手段と、前記複数の前記検査対象パターン線の夫々の他端近傍に
所定距離離反して配置され夫々の前記検査対象パターン
線よりの輻射信号を受信するプローブと、前記プローブにて受信される受信信号の変化を監視する
監視手段と、前記検査信号の印加タイミングを前記監視手段に報知す
る報知手段とを備え、前記監視手段は、前記報知手段よりの報知を受けた後に
前記検査対象パターン線の夫々からの前記受信信号１周
期内の高レベル出力点と低レベル出力点との変化量を監
視することにより前記夫々のパターン線を検査可能とす
ることを特徴とする基板検査装置。
【請求項３】前記発生源は常時検査信号を前記印加手
段に供給し、前記報知手段は前記印加手段にも前記検査
信号の印加タイミングを報知し、前記印加手段は前記報
知手段よりの前記検査信号の印加タイミングに従って前
記発生源から供給される前記検査信号を前記複数の前記
検査対象パターン線の夫々の一端に印加する事を特徴と
する請求項２記載の基板検査装置。
【請求項４】前記印加手段は前記検査対象パターン線
の全ての一端に略同時に前記検査信号を印加し、前記プローブは、少なくとも前記検査対象パターン線の
夫々のパターン線毎に夫々の他端近傍に所定距離離反し
て複数配置され各パターン線よりの輻射信号を受信可能
であり、前記監視手段は、前記複数配置されたプローブよりの受
信信号を監視することを特徴とする請求項２に記載の基
板検査装置。
【請求項５】前記複数の基板上の検査対象パターン線
を同時に検査可能な範囲内の所定数ごとの検査対象パタ
ーン線に分け、前記印加手段は分けられた夫々の検査対
象パターン線の夫々の一端に略同時に前記検査信号を印
加し、前記プローブは、少なくとも前記分けられた夫々の検査
対象パターン線の他端近傍に所定距離離反して複数配置
され各パターン線よりの輻射信号を受信可能であり、前記監視手段は、前記複数配置されたプローブよりの受
信信号を監視することを特徴とする請求項２に記載の基
板検査装置。
【請求項６】更に、前記監視手段は前記受信信号をＡ
／Ｄ変換する変換手段と、前記変換手段で変換された変
換データを収集して１周期内の高レベル出力点と低レベ
ル出力点との変化量を監視する収集手段とを含み、前記変換手段の変換処理が終了すると前記印加手段は未
検査の次に分けられた夫々の検査対象パターン線に次の
検査信号を印加し、変換手段は未検査の次に分けられた
夫々の検査対象パターン線よりの受信検査信号のＡ／Ｄ
変換を可能とするとともに、前記収集手段は前記変換手
段が未検査の次に分けられた夫々の検査対象パターン線
よりの受信検査信号のＡ／Ｄ変換を行なっている時に前
に変換した前記検査対象パターン線よりの受信検査信号
のＡ／Ｄ変換結果の前記受信信号の高レベル出力点と低
レベル出力点情報の収集を可能とし、前記変換手段と前
記収集手段のパイプライン処理を可能とすることを特徴
とする請求項５記載の基板検査装置。
【請求項７】前記印加手段は、前記パターン線の一端
へ検査信号の供給するための信号印加端子を有し、前記
信号印加端子を検査するべきパターン線の一端に接触さ
せて前記検査信号を検査対象パターン線の一端に印加す
ることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の
基板検査装置。
【請求項８】前記プローブには、中央部に開口が設け
られた平面状のシールド部と、前記シールド部の開口内
に収められる電極部とを有し、前記電極部で前記検査対
象パターン線よりの輻射信号を受信することを特徴とす
る請求項１乃至７のいずれかに記載の基板検査装置。
【請求項９】前記検査信号は正弦波形を有することを
特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の基板検査
装置。
【請求項１０】前記検査信号は矩形波形を有すること
を特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の基板検
査装置。
【請求項１１】基板上の検査対象パターン線の一端に
検査信号を印加し、前記検査対象パターン線の他端近傍
に所定距離離反して配置され前記検査対象パターン線よ
りの輻射信号を受信するプローブで信号を受信し、前記
受信した受信信号に基づいてパターン線を検査可能な基
板検査装置における基板検査方法であって、交流電圧成分を有する検査信号を前記検査対象パターン
線の一端に印加し、前記検査信号の供給開始タイミング
に同期して前記プローブからの受信信号の変化の監視を
開始し、前記検査対象パターン線からの前記受信信号の
１周期内の高レベル出力点と低レベル出力点との変化量
を監視することにより前記パターン線を検査することを
特徴とする基板検査方法。
【請求項１２】前記プローブは、少なくとも前記検査
対象パターン線の夫々のパターン線毎に夫々の他端近傍
に所定距離離反して複数配置されており、前記検査対象パターン線の全ての一端に略同時に前記検
査信号を印加し、少なくとも前記検査対象パターン線の
夫々の他端近傍よりの受信信号を同時に監視可能である
ことを特徴とする請求項１１に記載の基板検査方法。
【請求項１３】前記複数の基板上の検査対象パターン
線を同時に検査可能な範囲内の所定数ごとの検査対象パ
ターン線に分け、分けられた夫々の検査対象パターン線
の夫々の一端に略同時に前記検査信号を印加し、前記プローブよりの前記分けられた夫々の検査対象パタ
ーン線よりの輻射信号を同時に監視することを特徴とす
る請求項１１に記載の基板検査方法。
【請求項１４】受信信号の監視では、前記受信信号を
Ａ／Ｄ変換する変換工程と、前記変換工程で変換された
変換データを収集して前記受信信号の高レベル出力点と
低レベル出力点との変化量を監視する収集工程とを含
み、前記変換工程の変換処理が終了すると未検査の次に分け
られた夫々の検査対象パターン線に次の検査信号を印加
し、変換工程では未検査の次に分けられた夫々の検査対
象パターン線よりの受信検査信号のＡ／Ｄ変換を可能と
するとともに、前記収集手工程では前記変換工程が未検
査の次に分けられた夫々の検査対象パターン線よりの受
信検査信号のＡ／Ｄ変換を行なっている時に前に変換工
程で変換した前記検査対象パターン線よりの受信検査信
号のＡ／Ｄ変換結果の高レベル出力点と低レベル出力点
情報の収集を可能とし、前記変換工程と前記収集工程を
パイプライン処理することを特徴とする請求項１３記載
の基板検査方法。