JP2002071753A

JP2002071753A - ハンドラ

Info

Publication number: JP2002071753A
Application number: JP2000261072A
Authority: JP
Inventors: Toshihiko Omachi; 敏彦大町; Toru Ishigame; 徹石亀; Hiroshi Satake; 博佐竹; Takashi Sonobe; 孝園部; Fumie Osumi; 文江大隅; Toshio Adachi; 俊雄足立; Akira Oishi; 明大石; Katsuro Tashiro; 克郎田代; Nobuhiro Okazaki; 信弘岡崎
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 2000-08-30
Filing date: 2000-08-30
Publication date: 2002-03-12

Abstract

(57)【要約】【課題】テスタの検査効率を向上させることができ、
しかも省スペース化を実現できるハンドラを実現する。【解決手段】カセットから検査前のデバイスを取り出
し、取り出したデバイスを取付台まで搬送して位置決め
し、位置決めしたデバイスをテスト部で検査し、検査後
のデバイスを所定の場所まで搬送するハンドラにおい
て、デバイスの搬送経路に複数のハンドと１個以上の取
置台とを設け、複数のハンドでデバイスをリレー方式に
搬送する。また、位置決めしたデバイスの検査と他のデ
バイスの画像計測を並行して実行する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カセットから検査
前のデバイスを取り出し、取り出したデバイスを取付台
まで搬送して位置決めし、位置決めしたデバイスをテス
ト部で検査し、検査後のデバイスを所定の場所まで搬送
するハンドラに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、デバイスの電気的特性の検査
に当たっては、ハンドラがデバイスをテスト装置のテス
トヘッドに搬送し、デバイスのリードをテストヘッドの
コンタクト部に接触させる。リードがコンタクト部に接
触すると、テスト装置は電流または電圧信号をデバイス
に与え、このときのデバイスの出力電流値または電圧値
を測定することにより電気的特性を検査する。検査が終
了すると、ハンドラはデバイスをテスト結果に応じて複
数の分類、例えば、良品、不良品、再検査品等に分類
し、分類毎に収納する。

【０００３】半導体産業の活況に伴って様々なハンドラ
が開発されている。ここで、従来におけるハンドラの問
題点を説明する。（問題点１）ハンドラは次の手順で処理を行う。検査後のデバイスをカセットへ戻し、新たに検査前の
デバイスをカセットから取り出す工程。これをワーク入
替工程とする。取り出したデバイスを取置台に載せ、載せられたデバ
イスの位置を画像計測し、デバイスの基準位置からのず
れを求め、位置ずれを補正するための補正データを求め
る工程。これをアライメント工程とする。取付台上に載せられたデバイスを補正データに基づい
て位置決めし、位置決めしたデバイスをテスト部で検査
する工程。これを検査工程とする。

【０００４】従来のハンドラでは、ワーク入替工程、ア
ライメント工程、検査工程をシリアルに実行していた。
このため、これらの工程に費やす処理時間が長くなり、
テスタの検査効率が低下するという問題点があった。

【０００５】（問題点２）従来のハンドラには、ロボッ
トアームでデバイスの搬送を行うものがあった。しか
し、このハンドラでは、ロボットアームが動作するとき
に周囲の物体と衝突すると危険である。このため、ロボ
ットアームの旋回スペースを確保しなければならない。
これによって、ハンドラの占有スペースが大きくなると
いう問題点があった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上述した問題
点を解決するためになされたものであり、テスタの検査
効率を向上させることができ、しかも省スペース化を実
現できるハンドラを実現することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は次のとおりの構
成になったハンドラである。

【０００８】（１）カセットから検査前のデバイスを取
り出し、取り出したデバイスを取付台まで搬送して位置
決めし、位置決めしたデバイスをテスト部で検査し、検
査後のデバイスを所定の場所まで搬送するハンドラにお
いて、デバイスの搬送経路に複数のハンドと１個以上の
取置台とを設け、前記複数のハンドでデバイスをリレー
方式に搬送し、ハンド間でデバイスを受け渡すときは前
記取置台にデバイスを一旦載せることを特徴とするハン
ドラ。

【０００９】（２）搬送経路でデバイスの配置状態を画
像計測するカメラと、画像計測データと予め定めた基準
データとを比較し、デバイスの位置ずれを補正するため
の補正データを求める演算手段と、前記取付台上に載せ
られたデバイスを前記補正データに基づいて位置決めす
る位置決め装置と、を具備し、位置決めしたデバイスの
検査と他のデバイスの画像計測を並行して行うことを特
徴とする（１）記載のハンドラ。

【００１０】（３）カセットから検査前のデバイスを取
り出し、取り出したデバイスを取付台まで搬送して位置
決めし、位置決めしたデバイスをテスト部で検査し、検
査後のデバイスを所定の場所まで搬送するハンドラにお
いて、検査前のデバイスをカセットから取り出して第１
の取置台に載せる第１のハンドと、第１の取置台に載せ
られたデバイスを搬送して第２の取置台に載せる第２の
ハンドと、第２の取置台に載せられたデバイスを取付台
に搬送する第３のハンドと、第３のハンドに載せられた
デバイスの配置状態を画像計測するカメラと、画像計測
データと予め定めた基準データとを比較し、デバイスの
位置ずれを補正するための補正データを求める演算手段
と、取付台上のデバイスを前記補正データに基づいて位
置決めする位置決め装置と、を具備し、位置決めしたデ
バイスの検査と他のデバイスの画像計測を並行して行う
ことを特徴とするハンドラ。

【００１１】（４）検査後のデバイスを取付台上から取
り除くハンドＡと、検査前のデバイスを取付台上に載せ
るハンドＢと、各ハンドを制御する制御手段と、取付台
をＺ軸方向に移動する移動手段とを設け、前記ハンドＢ
はハンドＡより上方に位置し、各ハンドは２本の腕が生
えたフォーク状に形成されていて、前記取付台の幅は前
記２本の腕の間隔よりも小さい寸法になっていて、前記
移動手段は、検査後のデバイスがハンドＡとＢの間にく
るように取付台の高さを調整し、この状態でハンドＡと
Ｂは、取付台に向かって移動し、ハンドＢは取付台の上
方に位置し、ハンドＡは２本の腕で取付台を挟み込み、
取付台は下方に移動して検査後のデバイスをハンドＡに
載せ、ハンドＡは取付台から離れる方向に移動して検査
後のデバイスを取り除き、取付台は上方に移動し、ハン
ドＢにある２つの腕の間を潜り抜け、検査前のデバイス
を持ち上げて取付台に載せ、ハンドＢは取付台から離れ
る方向に移動することによって、デバイスの入替を行う
ことを特徴とする（２）または（３）記載のハンドラ。

【００１２】（５）２つのハンドＣ，Ｄが設けられ、ハ
ンドＣは直進移動をし、ハンドＤは、旋回可能で、向き
を変えて異なる方向に直進移動し、ハンドＤはカセット
に向かって移動し、検査前のデバイスをカセットから取
り出してもとの位置へ戻り、ハンドＤはハンドＣに向け
て移動し、検査前のデバイスをハンドＣに渡し、ハンド
Ｃは受け取ったデバイスを画像計測する位置まで搬送
し、検査後のデバイスを保持したハンドＣはハンドＤに
向けて移動し、デバイスをハンドＤに渡し、ハンドＤは
カセットに向かって移動し、検査後のデバイスをカセッ
トに収納することを特徴とする（２）または（３）のハ
ンドラ。

【００１３】（６）前記カメラはデバイスの搬送方向と
交わる方向に複数のセンサを配列したラインセンサで構
成していて、搬送されたデバイスが前記ラインセンサを
よぎることによりデバイスの配置状態を画像計測するこ
とを特徴とする（２）または（３）記載のハンドラ。

【００１４】（７）前記カメラと位置決め装置は同じ筐
体に取り付けられていることを特徴とする（２）または
（３）記載のハンドラ。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図１及び図２は本発明の一実施例を示す構成
図である。図１は搬送系の概略構成図、図２はハンドラ
の正面図である。図２のＡ方向から搬送系が見える。

【００１６】図１及び図２で、カセット１０は検査前の
デバイスと検査後のデバイスを格納する。検査前のデバ
イスと検査後のデバイスはカセット１０の異なる位置に
格納されている。デバイスは、例えばＣＳＰ（Chip Si
ze Package）、ＢＧＡ（Ball Grid Array）等であ
る。ハンド１１は、検査前のデバイス１２をカセット１
０から取り出して取置台１３に載せる。ハンド１４は、
取置台１３に載せられたデバイスを搬送して取置台１５
に載せる。ハンド１９は、取置台１５に載せられたデバ
イスを搬送する。搬送の途中で画像計測が行われる。ハ
ンド１９は、画像計測後のデバイスを取付台２０に載せ
る。カメラ１６は、ハンド１９に載せられたデバイスの
配置状態を画像計測する。カメラ１６は、例えばＣＣＤ
カメラである。

【００１７】オプトブリッジ１７は、Ｙ軸方向に移動し
てカメラ１６のＹ軸方向の位置決めをする。カメラ１６
がＹ軸方向に移動し、ハンド１９がデバイスをＸ軸方向
に搬送することにより、カメラ１６はハンド１９に載せ
られたデバイスを画像計測する位置に位置決めされる。
演算手段１８は、カメラ１６の計測結果からデバイスの
位置ずれの補正データを生成する。補正データは、予め
用意した基準データと画像計測により得られたデータを
比較して求める。例えば、デバイスには基準マークが付
けられている。基準マークの正規の位置データを基準デ
ータとして用意しておく。計測した画像から基準マーク
の位置を算出する。算出した位置と基準データとを比較
して補正データを求める。補正データは、Ｘ軸方向の位
置ずれ、Ｙ軸方向の位置ずれ、Ｚ軸まわりの回転ずれを
補正するためのデータである。

【００１８】取付台２０はチャック部２０１とＺθ移動
部２０２からなる。チャック部２０１は、真空圧を利用
してデバイスを吸着し、位置固定する。Ｚθ移動部２０
２は、チャック部２０１をＺ軸方向（上下方向）とＺ軸
まわりの回転方向に移動する。位置決め装置２１は、取
付台２０上のデバイスを演算手段１８で求めた補正デー
タに基づいて位置決めする。位置決め装置２１は、取付
台２０のＸ軸方向の位置、Ｙ軸方向の位置、Ｚ軸まわり
の回転位置を制御可能な装置である。この位置決め装置
２１によって、デバイスのＸ軸方向の位置ずれ、Ｙ軸方
向の位置ずれ及びＺ軸まわりの回転ずれが補正される。

【００１９】位置決め装置２１は、例えば本出願人によ
る特開２０００−６５９７０号公報または特願平１１−
３０８７９７号の出願明細書に記載された装置である。
位置決め装置２１は、平板状のプラテン２１１上にスラ
イダ部２１２を浮揚させ、Ｘ軸方向とＹ軸方向に推力を
発生するモータをフィードバック制御することによりス
ライダ部２１２を２次元方向に位置決めする。スライダ
部２１２は圧縮空気により浮揚させる。スライダ部２１
２に取付台２０が固定されている。Ｘ軸方向に推力を発
生するモータは２つ設けられていて、これらのモータに
異なる位置指令を与えることによりＺ軸まわりの回転位
置を制御する。取付台２０上に位置決めしたデバイスに
対してテストヘッドが検査を行う。デバイスがウエハで
あるときは、テストヘッドはウエハの各チップに対して
順番に検査を行う。

【００２０】なお、ハンド１４は取付台２０にアクセス
可能な移動範囲になっている。取置台１５、カメラ１
６、オプトブリッジ１７、ハンド１９、取置台２０及び
位置決め装置２１は筐体２２に取り付けられている。ハ
ンド１１，１４と取置台１３は筐体２３に取り付けられ
ている。

【００２１】電源２４は、位置決め装置２１にある２次
元位置決め用モータに電力を供給する。ドライバ２５
は、２次元位置決め用モータを駆動する。リニアモータ
用ドライバ２６は、ハンド１１，１４，１９とオプトブ
リッジ１７を移動するリニアモータ（図示せず）を駆動
する。シーケンサ２７は、デバイスの搬送、画像計測、
検査の手順を制御する。キーボード２８とジョイスティ
ック２９は、必要な入力を行うために設けられている。
キーボード２８とジョイスティック２９でデータ入力し
てハンドラへティーチングを行う。例えば、プロービン
グの位置データをハンドラに教示する。

【００２２】電力制御ユニット（ＰＣＵ）３０は、ハン
ドラ電源のオン／オフや、非常停止を行う。モーション
制御ユニット（ＭＣＵ）３１は、位置決め装置２１にあ
る２次元位置決め用モータ以外のモータを駆動する。パ
ソコン（ＰＣ）３２は、ハンドラのメインコントローラ
となっていると共に、テスタとのインタフェイスとして
も機能する。ディスプレイ３３は、ハンドラのマン・マ
シン・インタフェイスになっている。表示器３４は、ハ
ンドラの稼働状態を表示する。

【００２３】このようなハンドラの動作を説明する。ハ
ンドラは次の手順でデバイスを搬送する。取付台２０で検査を終了したデバイスは、ハンド１
４、取置台１３の順に搬送される。ここで、ハンド１１は取置台１３にある検査後のデバ
イスをカセット１０へ格納し、新たに検査前のデバイス
をカセット１０から取り出して取置台１３に載せる。取置台１３に載せられた検査前のデバイスは、ハンド
１４で搬送されて取置台１５に載せられ、ハンド１９が
受け取る。カメラ１６はハンド１９に載せたままデバイスの配置
状態を画像計測する。画像計測の結果、位置の補正デー
タが求められる。ハンド１９は、画像計測後のデバイスを取付台２０に
載せる。位置決め装置２１は、取付台２０上のデバイス
を補正データに基づいて位置決めする。ここで、テスト
ヘッドが取付台２０上のデバイスを検査する。

【００２４】〜の工程をワーク入れ替え工程、の
工程をアライメント工程、の工程を検査工程とする。
ハンド１１，１４，１９と取置台１３，１５で構成され
る搬送系をローダ／アンローダとする。図３は従来のハ
ンドラと本発明実施例のハンドラの処理を示したタイム
チャートである。

【００２５】図３に示すように、従来のハンドラでは、
ワーク入替工程、アライメント工程、検査工程がシリア
ルに実行される。これに対して、本発明実施例のハンド
ラでは、検査工程と並行してワーク入替工程とアライメ
ント工程が実行される。すなわち、あるデバイスの検査
を行っている間に、他のデバイスのワーク入替とアライ
メントを行う。そして、検査が終わると、アライメント
済の新たなデバイスの検査に直ちにとりかかる。このよ
うに本発明実施例では、検査工程と並行してワーク入替
工程とアライメント工程が実行することによって、テス
タの検査効率を向上させることができる。一般に、検査
に要する時間はワーク入替とアライメントの時間よりも
長くなっている。

【００２６】図４は図１及び図２に示したハンドラの構
成斜視図である。図４で前出の図と同一のものは同一符
号を付ける。図４では、搬送系の構成を見やすくするた
め、カセット１０とオプトブリッジ１７を省いた構成を
示している。

【００２７】図５はハンドの構成例を示した図である。
この例では２つのハンド４０，４１が設けられている。
ハンド４０は検査後のデバイス１２１を取付台２０上か
ら取り除くために設けられている。ハンド４１は検査前
のデバイス１２２を取付台２０上に載せるために設けら
れている。ハンド４１はハンド４０よりも上方に位置す
る。モーション制御ユニット３１は各ハンドの動作を制
御する。Ｚθ移動部２０２は取付台２０をＺ軸方向（上
下方向）に移動する。ハンド４０は２本の腕４０１，４
０２が生えたフォーク状に形成されている。取付台２０
の幅は２本の腕４０１，４０２の間隔よりも小さい寸法
になっている。ハンド４１についても同様である。

【００２８】デバイスの入替は次の手順で行う。図６
（ａ）に示すように、Ｚθ移動部２０２は、検査後のデ
バイス１２１がハンド４０と４１の間にくるように取付
台２０の高さを調整する。この状態でハンド４０と４１
は、取付台２０に向かって移動する。ハンド４１は取付
台２０の上方に位置し、ハンド４０は２本の腕４０１，
４０２で取付台２０を挟み込む。

【００２９】図６（ｂ）に示すように、取付台２０は下
方に移動すると、検査後のデバイス１２１はハンド４０
に載せられる。

【００３０】図６（ｃ）に示すように、ハンド４０は取
付台２０から離れる方向に移動する。これによって、検
査後のデバイス１２１が取り除かれる。

【００３１】図６（ｄ）に示すように、取付台２０は上
方に移動し、ハンド４１にある２つの腕の間を潜り抜
け、検査前のデバイス１２２を持ち上げる。これによっ
て、検査前のデバイス１２２が取付台２０に載せられ
る。

【００３２】図６（ｅ）に示すように、ハンド４１は取
付台２０から離れる方向に移動する。これによって、デ
バイスの入替が完了する。

【００３３】図７はハンドの他の構成例を示した図であ
る。２つのハンド５０，５１が設けられている。ハンド
５０は直進移動をする。ハンド５１は、旋回可能で、向
きを変えて異なる方向に直進移動する。

【００３４】このような構成では、ハンド５１はカセッ
ト１０に向かって移動し（ａ方向に移動し）、検査前の
デバイスをカセット１０から取り出す。ハンド５１はも
との位置へ戻る。次に、ハンド５１はハンド５０に向け
て移動し（ｂ方向に移動し）、検査前のデバイスをハン
ド５０に渡す。ハンド５０は受け取ったデバイスを画像
計測する位置まで搬送する。

【００３５】検査後のデバイスを保持したハンド５０
は、ハンド５１に向けて移動し、デバイスをハンド５１
に渡す。ハンド５１はカセット１０に向かって移動し、
検査後のデバイスをカセットに収納する。このようにし
て２つのハンドでデバイスを入れ替える。

【００３６】図８は図１及び図２のカメラの構成例を示
した図である。カメラはデバイスの搬送方向と交わる方
向に複数のセンサを配列したラインセンサ６０で構成さ
れている。ハンド１９により搬送されたデバイス１２が
ラインセンサをよぎることによりデバイスの配置状態を
画像計測する。

【００３７】

【発明の効果】本発明によれば次の効果が得られる。

【００３８】請求項１記載の発明では、デバイスの搬送
経路に複数のハンドと１個以上の取置台とを設け、複数
のハンドでデバイスをリレー方式に搬送しているため、
ロボットハンドの旋回スペースのような領域が不要にな
る。これによって、省スペース化したハンドラを実現で
きる。

【００３９】請求項２及び請求項３記載の発明では、位
置決めしたデバイスの検査と他のデバイスの画像計測を
並行して実行しているため、テスタの検査効率を向上さ
せることができる。すなわち、テスタが単位時間当たり
に検査できるデバイスの個数を増加させることができ
る。

【００４０】請求項４記載の発明では、２つのハンドを
用いてデバイスを入れ替えているため、入替に要する時
間を短縮できる。また、画像計測をしたときにデバイス
を載せたハンドが取付台まで移動する。この間はデバイ
スの載せ替えは行わない。そして、取付台が検査前のデ
バイスを持ち上げることによって、デバイスを取付台に
載せている。これによって、デバイスを取付台に載せる
ときの位置ずれを低減できる。

【００４１】請求項５記載の発明では、直進移動をする
ハンドと、向きを変えて異なる方向に直進移動するハン
ドとの間でデバイスを受け渡すことにより搬送を行って
いるため、搬送系に要するハンドの数を減らすことがで
きる。

【００４２】請求項６記載の発明では、デバイスの搬送
方向と交わる方向に複数のセンサを配列したラインセン
サを用いて画像計測をしているため、オプトブリッジを
用いてカメラを位置決めする制御系が不要になる。これ
によって、構成を簡略化できる。カメラが画像計測でき
る場所にオプトブリッジを位置決めするためのティーチ
ングをハンドラに対して行うことが不要になる。

【００４３】請求項７記載の発明では、カメラと位置決
め装置は同じ筐体に取り付けられている。これによっ
て、カメラと位置決め装置相互の位置関係が変わりにく
くなるため、デバイスを高精度に取付台上に位置決めで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。

【図２】本発明の一実施例を示す構成図である。

【図３】従来のハンドラと本発明実施例のハンドラの処
理を示したタイムチャートである。

【図４】本発明実施例のハンドラの構成斜視図である。

【図５】ハンドの構成例を示した図である。

【図６】デバイスの入替手順を示した説明図である。

【図７】ハンドの他の構成例を示した図である。

【図８】図１及び図２のカメラの構成例を示した図であ
る。

【符号の説明】

１０カセット１１，１４，１９，４０，４１，５０，５１ハンド１２，１２１，１２２デバイス１３，１５取置台１６カメラ１８演算手段２０取付台２１位置決め装置２２．２３筐体４０１，４０２腕６０ラインセンサ２０２Ｚθ移動部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者園部孝東京都武蔵野市中町２丁目９番32号横河電機株式会社内 (72)発明者大隅文江東京都武蔵野市中町２丁目９番32号横河電機株式会社内 (72)発明者足立俊雄東京都武蔵野市中町２丁目９番32号横河電機株式会社内 (72)発明者大石明東京都武蔵野市中町１丁目19番18号横河エム・エー・ティー株式会社内 (72)発明者田代克郎東京都武蔵野市中町１丁目19番18号横河エム・エー・ティー株式会社内 (72)発明者岡崎信弘東京都武蔵野市中町１丁目19番18号横河エム・エー・ティー株式会社内Ｆターム(参考） 2G003 AA00 AG11 AG12 AG13 AG16 AH04 4M106 AA01 AA02 AA04 DG02 DG03 DG08 DG16 DH03 DJ04 DJ06 DJ07 DJ18 5F031 CA17 FA01 FA05 FA11 FA12 FA15 GA38 JA04 JA22 JA27 LA08 MA33

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】カセットから検査前のデバイスを取り出
し、取り出したデバイスを取付台まで搬送して位置決め
し、位置決めしたデバイスをテスト部で検査し、検査後
のデバイスを所定の場所まで搬送するハンドラにおい
て、デバイスの搬送経路に複数のハンドと１個以上の取置台
とを設け、前記複数のハンドでデバイスをリレー方式に
搬送し、ハンド間でデバイスを受け渡すときは前記取置
台にデバイスを一旦載せることを特徴とするハンドラ。
【請求項２】搬送経路でデバイスの配置状態を画像計
測するカメラと、画像計測データと予め定めた基準データとを比較し、デ
バイスの位置ずれを補正するための補正データを求める
演算手段と、前記取付台上に載せられたデバイスを前記補正データに
基づいて位置決めする位置決め装置と、を具備し、位置
決めしたデバイスの検査と他のデバイスの画像計測を並
行して行うことを特徴とする請求項１記載のハンドラ。
【請求項３】カセットから検査前のデバイスを取り出
し、取り出したデバイスを取付台まで搬送して位置決め
し、位置決めしたデバイスをテスト部で検査し、検査後
のデバイスを所定の場所まで搬送するハンドラにおい
て、検査前のデバイスをカセットから取り出して第１の取置
台に載せる第１のハンドと、第１の取置台に載せられたデバイスを搬送して第２の取
置台に載せる第２のハンドと、第２の取置台に載せられたデバイスを取付台に搬送する
第３のハンドと、第３のハンドに載せられたデバイスの配置状態を画像計
測するカメラと、画像計測データと予め定めた基準データとを比較し、デ
バイスの位置ずれを補正するための補正データを求める
演算手段と、取付台上のデバイスを前記補正データに基づいて位置決
めする位置決め装置と、を具備し、位置決めしたデバイ
スの検査と他のデバイスの画像計測を並行して行うこと
を特徴とするハンドラ。
【請求項４】検査後のデバイスを取付台上から取り除
くハンドＡと、検査前のデバイスを取付台上に載せるハ
ンドＢと、各ハンドを制御する制御手段と、取付台をＺ
軸方向に移動する移動手段とを設け、前記ハンドＢはハンドＡより上方に位置し、各ハンドは
２本の腕が生えたフォーク状に形成されていて、前記取
付台の幅は前記２本の腕の間隔よりも小さい寸法になっ
ていて、前記移動手段は、検査後のデバイスがハンドＡとＢの間
にくるように取付台の高さを調整し、この状態でハンド
ＡとＢは、取付台に向かって移動し、ハンドＢは取付台
の上方に位置し、ハンドＡは２本の腕で取付台を挟み込
み、取付台は下方に移動して検査後のデバイスをハンドＡに
載せ、ハンドＡは取付台から離れる方向に移動して検査
後のデバイスを取り除き、取付台は上方に移動し、ハンドＢにある２つの腕の間を
潜り抜け、検査前のデバイスを持ち上げて取付台に載
せ、ハンドＢは取付台から離れる方向に移動することによっ
て、デバイスの入替を行うことを特徴とする請求項２ま
たは請求項３記載のハンドラ。
【請求項５】２つのハンドＣ，Ｄが設けられ、ハンド
Ｃは直進移動をし、ハンドＤは、旋回可能で、向きを変
えて異なる方向に直進移動し、ハンドＤはカセットに向かって移動し、検査前のデバイ
スをカセットから取り出してもとの位置へ戻り、ハンドＤはハンドＣに向けて移動し、検査前のデバイス
をハンドＣに渡し、ハンドＣは受け取ったデバイスを画
像計測する位置まで搬送し、検査後のデバイスを保持したハンドＣはハンドＤに向け
て移動し、デバイスをハンドＤに渡し、ハンドＤはカセ
ットに向かって移動し、検査後のデバイスをカセットに
収納することを特徴とする請求項２または請求項３記載
のハンドラ。
【請求項６】前記カメラはデバイスの搬送方向と交わ
る方向に複数のセンサを配列したラインセンサで構成し
ていて、搬送されたデバイスが前記ラインセンサをよぎ
ることによりデバイスの配置状態を画像計測することを
特徴とする請求項２または請求項３記載のハンドラ。
【請求項７】前記カメラと位置決め装置は同じ筐体に
取り付けられていることを特徴とする請求項２または請
求項３記載のハンドラ。