JP2014081234A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】１台の検査装置において種類の異なる被検査体の検査に対応するとともに、検査装置の稼働率を高め、以って該被検査体の検査工程における生産性を向上させる検査装置を提供する。
【解決手段】被検査体を検査する検査装置は、前記被検査体を検査する複数のプローブユニット機構と、前記複数のプローブユニット機構に対応する被検査体の検査位置とを備え、前記複数のプローブユニット機構は同じ方向線上に移動可能であり、前記方向線上に前記検査位置がある。
【選択図】図１

Description

本発明は、液晶パネルのような表示パネル等の被検査体を電気的に検査するプローブユニット機構を備えた検査装置に関するものである。

従来、液晶表示パネルのような表示パネル等の被検査体は、一般的に該被検査体の側端部に複数の電極が設けられている。検査装置は、前記被検査体の各電極にプローブを接触させて通電し、点灯確認等による電気的検査を行っている。

液晶表示パネルのような表示パネル等の被検査体は、該被検査体の大きさの違いだけでなく、仕様等の相違により、その被検査体の種類も多岐にわたる。このような多種類の被検査体は、その側端部における電極の数や配置も該被検査体の種類に対応してそれぞれ異なる。このため、異なる種類の被検査体毎に、前記電極に接触するようにプローブの配置を変えた異なる複数のプローブユニット機構が必要になる。

従来の検査装置は、被検査体とプローブユニット機構が１対１の関係を以て構成されている。即ち、１種類の被検査体に対応して１種類のプローブユニット機構が設けられている。そのため、１台の検査装置では１種類の被検査体の検査しか行うことができない。種類の異なる被検査体を検査するためには、それぞれの被検査体に対応するプローブユニット機構を備えた複数の種類の検査装置を検査のために準備する必要がある。
或いは、１台の検査装置において、プローブユニット機構を被検査体の種類に応じて取り換える作業が必要となる。

大きさの異なる被検査体の電極位置に対応して前記プローブの位置を変更させることが可能な検査装置がある（特許文献１、特許文献２）。
この検査装置は、プローブを備える複数個のプローブユニットがガイドに沿って移動可能であるプローブユニット機構を備えている。即ち、ユーザーが前記プローブユニットをガイドに沿って移動させて調整することで、前記大きさの異なる被検査体の電極位置にそれぞれのプローブを対向させることができるように構成されている。

特開２００７−３１６０２２号公報 特開２００８−１２２１４５号公報

従来の検査装置は、１種類の被検査体に対応して１種類のプローブユニット機構が設けられている。そのため、１台の検査装置では１種類の被検査体の検査しか行うことができない。

ユーザーが前記プローブユニット機構を他の種類のものに取り換えることで、１台の検査装置で異なる種類の被検査体の検査を行うことが可能になる。しかし、その取り換えの作業を行っている間、検査を行うことができない。
前記プローブユニット機構が特許文献１や特許文献２に記載の構造である場合も、前記プローブユニットを移動させて調整することで、１台の検査装置で異なる種類の被検査体の検査を行うことが可能になる。しかし、前記調整作業を行っている間は検査を行うことができない。
上記調整作業には通常多くの時間がかかるため、検査装置の稼働率が低く、該被検査体の検査工程における生産性が低いという問題があった。

本発明は、上記課題に鑑みてなされたもので、１台の検査装置において種類の異なる被検査体の検査に対応するとともに、検査装置の稼働率を高め、以って該被検査体の検査工程における生産性を向上させる検査装置を提供することを目的とする。

上記課題を達成するため、本発明の第１の態様の検査装置は、被検査体を検査する検査装置であって、該検査装置は前記被検査体を検査する複数のプローブユニット機構と、前記複数のプローブユニット機構に対応する被検査体の検査位置とを備え、前記複数のプローブユニット機構は同じ方向線上に移動可能であり、前記方向線上に前記検査位置があることを特徴とする。

本態様の検査装置は、１台の検査装置に複数のプローブユニット機構を移動可能に備え、且つその移動線上に被検査体の検査位置が配置されている。従って、種類の異なる被検査体に対応して複数の異なるプローブユニット機構を取り付けることによって、１台の検査装置で種類の異なる被検査体に対する検査を容易に実現することができる。
また、一のプローブユニット機構を対応する前記検査位置に移動させて対応する被検査体の検査を実行している間、他のプローブユニット機構は、検査位置とは別の調整作業位置に移動させてプローブユニットの位置調整或いはプローブユニット機構の取り換え、保守等の調整作業を行うようにすることが可能である。これにより、前記他のプローブユニット機構による検査工程の開始前に、当該他のプローブユニット機構に対して予めその調整作業を終えて準備完了の状態にしておくことが可能になる。
従って、前記他のプローブユニット機構による検査工程の開始タイミングになったら直ちに検査を開始することができ、検査装置の稼働率を向上させることができる。即ち、１台の検査装置において種類の異なる被検査体を検査することができるとともに、被検査体の検査工程における生産性を向上させることができる。

さらに本態様によれば、複数のプローブユニット機構が同じ方向線上を移動するので、複数の各プローブユニット機構を移動させるための駆動機構を共通化し、単純な構成とすることができる。また、前記移動の方向線上に前記検査位置があるので、調整作業位置にあるプローブユニット機構を前記検査位置に対して直線上を移動させるだけで検査位置に到達して検査が可能となる。従って、前記検査位置に対する前記プローブユニット機構のアクセスが容易となる。

尚、ここで「被検査体」とは、液晶表示パネルだけでなく、有機ＥＬパネル、プラズマパネル、ＦＥＤ（電界放出）パネル等の平面型表示パネルを含むものとする。

本発明の第２の態様の検査装置は、前記被検査体を検査する複数のプローブユニット機構と、前記複数のプローブユニット機構に対応する被検査体の検査位置とを備え、前記プローブユニット機構は前記検査位置に対して接離移動可能であることを特徴とする。

本態様の検査装置は、１台の検査装置に複数のプローブユニット機構を移動可能に備え、且つ前記複数のプローブユニット機構は検査位置に対して接離移動可能である。従って、種類の異なる被検査体に対応して複数の異なるプローブユニット機構を取り付けることによって、１台の検査装置で種類の異なる被検査体に対する検査を容易に実現することができる。

また、本態様によれば、一のプローブユニット機構が検査位置にある被検査体に接近して検査を実行している間に、他のプローブユニット機構を検査位置から離間する位置に移動させてプローブユニットの位置調整、保守或いはプローブユニット機構の交換等の調整作業を行うことができる。これにより、前記他のプローブユニット機構による検査工程の開始前に、当該他のプローブユニット機構に対して予めその調整作業を終えて準備完了の状態にしておくことができる。
従って、前記他のプローブユニット機構による検査工程の開始タイミングになったら直ちに検査を開始することができ、検査装置の稼働率を向上させることができる。即ち、１台の検査装置において種類の異なる被検査体を検査することができるとともに、被検査体の検査工程における生産性を向上させることができる。

本発明の第３の態様は、第１の態様または第２の態様において、前記検査位置は前記複数のプローブユニット機構に対して共通であることを特徴とする。

本態様によれば、複数のプローブユニット機構に対して被検査体の検査位置を共通としていることから、検査装置の構成を簡単なものとすることができ、検査装置を小型化することができる。また、検査装置のコストを低減することができる。

本発明の第４の態様は、第１の態様から第３の態様のいずれか１つの態様において、前記検査装置は、各プローブユニット機構が移動する線上に各プローブユニット機構にそれぞれ対応する調整作業位置を備えることを特徴とする。

本態様によれば、各プローブユニット機構は該プローブユニット機構が移動する線上に対応する調整作業位置を備えている。従って、一のプローブユニット機構を移動させて調整作業位置に位置させることにより、検査位置に位置する被検査体に対する検査の実行及び中断と独立してプローブユニット機構に対して前記調整作業を行うことができる。

また、例えば、移動線上にある調整作業位置をユーザーが容易にアクセス容易な位置、例えば検査装置の周囲或いは外部から調整可能な位置に設けることにより、この調整作業位置に移動させたプローブユニット機構に対して前記調整作業がし易くなる。

本発明の第５の態様は、第４の態様において、前記検査装置は一対のプローブユニット機構を有し、前記プローブユニット機構は一体に移動し、一方のプローブユニット機構が前記検査位置にある際、他方のプローブユニット機構が該プローブユニット機構の前記調整作業位置にあることを特徴とする。

本態様によれば、前記一対のプローブユニット機構を移動させる駆動手段は、前記一対のプローブユニット機構を一体に移動させることから、各プローブユニット機構を個々に移動させる駆動手段よりも簡素化することができる。

さらに本態様によれば、プローブユニット機構を所定の位置に移動させる一工程の動作だけで、一対のプローブユニット機構の一方のプローブユニット機構を被検査体の検査位置に位置させ、他方のプローブユニット機構を該プローブユニット機構の調整作業位置に位置させることができる。即ち、一のプローブユニット機構が検査位置に載置された被検査体に対して検査している状態において、他のプローブユニット機構は、調整作業位置に退避している状態になる。
従って、一の被検査体に対する検査の開始と他の被検査体に対する検査の準備の開始を、前記一対のプローブユニット機構の所定位置への移動という一工程で行えるので、検査工程全体での時間短縮を図ることができ、検査効率を向上させることができる。また、時間短縮によって被検査体の検査工程における生産性を向上させることができる。

本発明の第６の態様は、第４の態様において、前記検査装置は個々に移動可能に構成された一対のプローブユニット機構と、前記一対のプローブユニット機構のそれぞれの移動を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、一方のプローブユニット機構が前記検査位置にある際、他方のプローブユニット機構が該プローブユニット機構の前記調整作業位置にあるように、前記一対のプローブユニット機構を移動させることを特徴とする。

本態様によれば、一対のプローブユニット機構において、制御部が一方のプローブユニット機構が前記検査位置にある際、他方のプローブユニット機構が該プローブユニット機構の前記調整作業位置にあるように、前記一対のプローブユニット機構を移動させる。これにより、一方のプローブユニット機構が検査位置において被検査体の検査を行っている間に、対応する調整作業位置に位置する他方のプローブユニット機構に対して前記調整作業を行うことができる。従って、１台の検査装置において種類の異なる被検査体の検査に対応するとともに、検査装置の稼働率を高め、以って該被検査体の検査工程における生産性を向上させることができる。

本発明の第７の態様は、第１の態様から第５の態様のいずれか一の態様において、前記複数のプローブユニット機構のそれぞれにケーブルで接続された電気信号受領部を備え、前記電気信号受領部は、前記複数のプローブユニット機構と同じ方向に移動可能に構成されていることを特徴とする。

本態様によれば、複数のプローブユニット機構のそれぞれにケーブルで接続された電気信号受領部が複数のプローブユニット機構と同じ方向に移動可能に構成されている。これにより、プローブユニット機構が移動する際、電気信号受領部もプローブユニット機構と一緒に同じ方向に移動させることができる。このため、プローブユニット機構と電気信号受領部との相対的位置関係は、両者が移動しても変化しない。
従って、プローブユニット機構と電気信号受領部とを接続するケーブルの長さを固定構造よりも短くにすることができる。その結果、ケーブルにおいて外部から受けるノイズの影響を最小にすることができ、被検査体の検査における測定精度を向上させることができる。

本発明の第８の態様は、第１の態様から第７の態様のいずれか一の態様において、前記検査装置は一対のプローブユニット機構を有し、各プローブユニット機構は、複数のプローブユニットを備え、前記一方のプローブユニット機構のプローブユニットは、前記他方のプローブユニット機構と対向する側と反対側に設けられ、前記他方のプローブユニット機構のプローブユニットは、前記一方のプローブユニット機構と対向する側と反対側に設けられていることを特徴とする。

本態様によれば、一方のプローブユニット機構において、複数のプローブユニットが他方のプローブユニット機構と反対側に設けられている。これにより、プローブユニット機構を調整作業位置に移動させた際に、調整対象であるプローブユニットをユーザーが検査装置の周囲或いは外部からアクセス可能な側に位置させることが可能となる。
従って、前記プローブユニットの保守交換或いは位置合わせといった調整作業を行う際に、当該検査装置の周囲からユーザーがプローブユニットの前記調整作業を作業性良く行うことができる。

本発明の第９の態様は、第２の態様において、一つのプローブユニット機構の移動方向と少なくとも１つの他のプローブユニット機構の移動方向とが交差することを特徴とする。

本態様によれば、複数のプローブユニット機構を備える検査装置において、各プローブユニットの移動方向を交差させることができることから、被検査体の交差する２辺の側端部に設けられた電極すなわちマトリクス型に配置された電極を有する被検査体にも対応することができる。

本発明の第１の実施例に係る検査装置の斜視図。 第１の実施例において第１プローブユニット機構がメンテナンス位置にある際の側面図。 第１の実施例において第１プローブユニット機構が被検査体の検査位置にある際の側面図。 （Ａ）は第１の実施例における検査装置の第１の検査工程の平面図であり、（Ｂ）は第１の実施例における検査装置の第２の検査工程の平面図。 （Ａ）は第１の実施例における検査装置の第３の検査工程の平面図であり、（Ｂ）は第１の実施例における検査装置の第４の検査工程の平面図。 第２の実施例に係る検査装置の平面図。 （Ａ）は第２の実施例における検査装置において第１プローブユニット機構の検査位置を示す平面図であり、（Ｂ）は第２の実施例における検査装置において第２プローブユニット機構の検査位置を示す平面図。 第３の実施例に係る検査装置の平面図。 第４の実施例に係る検査装置の平面図。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。尚、各実施例において同一の構成については、同一の符号を付し、最初の実施例においてのみ説明し、以後の実施例においてはその構成の説明を省略する。

＜＜＜第１の実施例＞＞＞
図１を参照するに、検査装置１０は、被検査体検査部１２と、検査部駆動機構１４と、被検査体検査ステージ１６と、被検査体供給部１８と、を備えている。被検査体検査部１２は、ベース２０と、第１プローブユニット機構２２と、第２プローブユニット機構２４と、電気信号受領部２６と、制御部５１とを備えている。

ベース２０は矩形に構成されている。第１プローブユニット機構２２は、ベース２０の上面においてＸ軸方向における＋Ｘ側の端部に配置されている。一方、第２プローブユニット機構２４は、ベース２０の上面においてＸ軸方向における−Ｘ側の端部に配置されている。すなわち、ベース２０にはＸ軸方向に間隔をおいて一対のプローブユニット機構２２，２４が設けられている。

第１プローブユニット機構２２及び第２プローブユニット機構２４は、それぞれ複数のプローブユニット２８を備えている。第１プローブユニット機構２２及び第２プローブユニット機構２４において、それぞれベース２０上にＹ軸方向に延びるレール３０を備えている。第１プローブユニット機構２２及び第２プローブユニット機構２４の各プローブユニット２８は、それぞれ対応するレール３０にＹ軸方向における間隔を調整可能に取り付けられている。

各プローブユニット２８の先端には複数のプローブ３２がプローブユニット２８から突出し、Ｙ軸方向に所定の間隔をおいて設けられている。また、プローブユニット２８は、プローブ３２の先端位置をＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に微調整可能に構成されている。各プローブユニット２８の各プローブ３２は、被検査体Ｐを検査する際、被検査体Ｐの側端部に設けられた複数の電極においてプローブ３２にそれぞれ対応する電極と接触し、通電検査を行うように構成されている。

また、本実施例の第１プローブユニット機構２２及び第２プローブユニット機構２４の各プローブユニット２８は、各プローブユニット間の間隔が等距離である場合、制御部５１により制御されるプローブユニット駆動機構（図示しない）により等間隔に配置される。さらに、各プローブユニット２８は、各プローブユニット間の間隔が等距離でない場合、後述する第１プローブユニット機構メンテナンス位置Ｘ１（図２参照）及び第２プローブユニット機構メンテナンス位置Ｘ４（図３参照）でユーザーによりＹ軸方向の間隔を調整される。

尚、本実施例における第１プローブユニット機構２２、第２プローブユニット機構２４、各プローブユニット２８及びプローブ３２のそれぞれは、特開２００８−１２２１４５号公報及び特開２００７−３１６０２２号公報において開示された可動式プローブユニット機構、プローブユニット及びプローブ等と同一の構成とすることができる。

検査部駆動機構１４は、Ｙ軸方向に間隔をおいて配置され、Ｘ軸方向に延びる一対の直線駆動機構３４、３６として構成されている。検査部駆動機構１４は、図示しない駆動源により、ベース２０を第１プローブユニット機構２２及び第２プローブユニット機構２４と一体にＸ軸方向に沿って往復動可能に移動させる。すなわちベース２０は、検査部駆動機構１４においてＸ軸方向における＋Ｘ側の端部に位置する後述する第１プローブユニット機構メンテナンス位置Ｘ１（図２参照）とＸ軸方向における−Ｘ側の端部に位置する後述する第２プローブユニット機構メンテナンス位置Ｘ４（図３参照）との間を移動する。

被検査体検査ステージ１６は、Ｙ軸方向において検査部駆動機構１４の一対の直線駆動機構３４、３６の間に位置するとともに、Ｘ軸方向において第１プローブユニット機構メンテナンス位置Ｘ１（図２参照）と第２プローブユニット機構メンテナンス位置Ｘ４（図３参照）との間に配置されている。被検査体検査ステージ１６は、ＸＹＺθステージとして構成され、最上部に設けられた被検査体の載置面３８をＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及びθ方向（回転）に変位可能に構成されている。

また、被検査体検査ステージ１６は、被検査体検査部１２のベース２０がＸ軸方向に移動する際、被検査体検査ステージ１６とベース２０とが干渉しないように、ベース２０より下方に載置面３８を変位させる。

さらに、被検査体検査ステージ１６は、載置面３８をＺ軸方向において被検査体Ｐを被検査体供給部１８から供給されて載置面３８に載置する被検査体セット位置Ｚ１（図２参照）と、載置面３８に載置された被検査体Ｐを第１プローブユニット機構２２及び第２プローブユニット機構２４により検査する被検査体検査位置Ｚ２（図２参照）との間で変位させる。

また、被検査体検査ステージ１６の載置面３８には、第１プローブユニット機構２２及び第２プローブユニット機構２４にそれぞれ対応する被検査体Ｐを載置可能である。このため、被検査体検査ステージ１６は、第１プローブユニット機構２２に対応する検査ステージすなわち検査位置であるとともに、第２プローブユニット機構２４に対応する検査ステージすなわち検査位置を兼ねている。このため、被検査体検査ステージ１６は、第１プローブユニット機構２２及び第２プローブユニット機構２４に対応する共通の検査位置として構成されている。

被検査体供給部１８は、本実施例においてベルトコンベア４０と、被検査体搬送ハンド４２とを供えている。ベルトコンベア４０は、Ｙ軸方向において直線駆動機構３４の側方すなわち直線駆動機構３６と対向する側（−Ｙ方向）と反対の側（＋Ｙ方向）に配置されている。ベルトコンベア４０は、Ｘ軸方向に沿って延び、検査装置１０の前工程を行う場所と検査装置１０との間及び検査装置１０の後工程を行う場所と検査装置１０との間で被検査体Ｐを搬送可能に構成されている。

被検査体搬送ハンド４２は、Ｘ軸方向において被検査体検査ステージ１６に対応する位置に配置されている。被検査体搬送ハンド４２は、Ｚ軸方向において被検査体検査ステージ１６の被検査体セット位置Ｚ１に対応する高さに配置されている。また、被検査体搬送ハンド４２は、待機位置（図４（Ｂ）における位置）と載置面３８との間でＹ軸方向に伸縮自在に構成され、被検査体ＰをＸ軸方向両側から把持可能に構成されている。このため、被検査体搬送ハンド４２は、ベルトコンベア４０により検査装置１０の前工程を行う場所から搬送されてきた被検査体Ｐを被検査体セット位置Ｚ１状態の被検査体検査ステージ１６にベルトコンベア４０から移送させて載置面３８に載置することができる。

電気信号受領部２６は、第１プローブユニット機構２２及び第２プローブユニット機構２４の各プローブユニット２８と電気信号を送受信するためのケーブル４４でそれぞれ接続されている。電気信号受領部２６は、被検査体Ｐの電極に各プローブユニット２８のプローブ３２を接触させて通電検査を行った際、電気信号を送受信により各電極の断線、短絡や不良を確認するテスタの機能を備えている。

また、電気信号受領部２６は本実施例において直線駆動機構３６の上部にＸ軸方向に沿って移動可能に設けられている。さらに、電気信号受領部２６はベース２０のＸ軸方向における動きに同期してＸ軸方向に移動するように構成されている。

制御部５１は、検査部駆動機構１４、被検査体検査ステージ１６、被検査体供給部１８、第１プローブユニット機構２２、第２プローブユニット機構２４及び電気信号受領部２６のそれぞれと電気的に接続されている。制御部５１は、検査部駆動機構１４を介してベース２０のＸ軸方向の動きを制御し、被検査体検査ステージ１６のＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及びθ回転の動きを制御し、被検査体供給部１８において被検査体Ｐの被検査体検査ステージ１６への搬入及び搬出を制御している。

更に制御部５１は、第１プローブユニット機構２２及び第２プローブユニット機構２４における各プローブユニット２８も制御している。尚、図１、図６、図８及び図９において制御部５１と検査装置１０、４６、６０、７０の各構成要素を結ぶ一点鎖線は、各構成要素が制御部５１の制御を受けていることを模式的に示したものである。
尚、図２、図３、図４（Ａ）、図４（Ａ）、図５（Ａ）、図５（Ｂ）、図７（Ａ）及び図７（Ｂ）において前記一点鎖線は省略されている。

図２及び図３を参照して、ベース２０、第１プローブユニット機構２２及び第２プローブユニット機構２４のＸ軸方向における動きを説明する。

図２において、ベース２０はＸ軸方向において検査部駆動機構１４の＋Ｘ側端部に位置している。このとき、第１プローブユニット機構２２の各プローブユニット２８のプローブ３２は、第１プローブユニット機構メンテナンス位置Ｘ１に位置している。すなわち、第１プローブユニット機構２２の各プローブユニット２８は、検査装置１０の外側（周囲）すなわち＋Ｘ方向に向けて突出している。このため、第１プローブユニット機構２２の各プローブユニット２８のプローブ３２が、検査装置１０の外に向けて露出した状態となり、目視で各プローブユニット２８の位置調整が容易となる。
例えば、各プローブユニット２８を不規則な間隔で配置すること等が容易となる。また、複数回の検査により磨耗したプローブ３２を有するプローブユニット２８の交換、補修が容易となる。

さらに、第１プローブユニット機構２２の各プローブユニット２８のプローブ３２が第１プローブユニット機構メンテナンス位置Ｘ１に位置する際、第２プローブユニット機構２４の各プローブユニット２８のプローブ３２が第２プローブユニット機構検査位置Ｘ２に位置している。この場合、被検査体Ｐの側端部に設けられた電極は被検査体Ｐの＋Ｘ側の側端部に設けられており、第２プローブユニット機構２４のプローブ３２と対応する。

このため、第２プローブユニット機構２４に対応する被検査体Ｐを第２プローブユニット機構２４により通電検査している間、第１プローブユニット機構２２の各プローブユニット２８の位置調整や磨耗したプローブ３２を有するプローブユニット２８の交換、補修を行うことができる。

図３を参照するに、ベース２０が検査部駆動機構１４の＋Ｘ側端部に位置する状態（図２参照）からベース２０をＸ軸方向に沿って−Ｘ方向に移動させ、検査部駆動機構１４の−Ｘ側端部に位置させた状態が示されている。

このとき、第２プローブユニット機構２４の各プローブユニット２８のプローブ３２は、第２プローブユニット機構メンテナンス位置Ｘ４に位置している。すなわち、第２プローブユニット機構２４の各プローブユニット２８は、検査装置１０の外側（周囲）すなわち−Ｘ方向に向けて突出している。このため、第２プローブユニット機構２４の各プローブユニット２８のプローブ３２が、検査装置１０の外に向けて露出した状態となり、目視で各プローブユニット２８の位置調整が容易となる。例えば、各プローブユニット２８を不規則な間隔で配置すること等が容易となる。また、複数回の検査により磨耗したプローブ３２を有するプローブユニット２８の交換、補修が容易となる。

さらに、第２プローブユニット機構２４の各プローブユニット２８のプローブ３２が第２プローブユニット機構メンテナンス位置Ｘ４に位置する際、第１プローブユニット機構２２の各プローブユニット２８のプローブ３２が第１プローブユニット機構検査位置Ｘ３に位置している。この場合、被検査体Ｐの側端部に設けられた電極は被検査体Ｐの−Ｘ側の側端部に設けられており、第１プローブユニット機構２２のプローブ３２と対応する。

このため、第１プローブユニット機構２２に対応する被検査体Ｐを第１プローブユニット機構２２により通電検査している間、第２プローブユニット機構２４の各プローブユニット２８の位置調整や磨耗したプローブ３２を有するプローブユニット２８の交換、補修を行うことができる。

従って、本実施例の検査装置１０では、第１プローブユニット機構２２が被検査体Ｐを検査している間、第２プローブユニット機構２４において位置調整や保守作業を行うことができ、第２プローブユニット機構２４が被検査体Ｐを検査している間、第１プローブユニット機構２２において位置調整や保守作業を行うことができる。

すなわち、いずれか一方のプローブユニット機構の調整作業中においても、他方のプローブユニット機構が被検査体Ｐの検査を実行することから、検査装置１０の稼働率を向上させることができる。これにより、検査装置１０における生産性が向上する。

さらに、検査装置１０は、第１プローブユニット機構２２及び第２プローブユニット機構２４がそれぞれ対応する被検査体Ｐの種類を異なるものとすることができるため、１台の検査装置で多種類の被検査体に対応することができる。

次いで、図４（Ａ）、図４（Ｂ）、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）を参照して、本実施例における検査装置１０における検査工程を説明する。尚、図４（Ａ）、図４（Ｂ）、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）において被検査体Ｐは、第１プローブユニット機構２２に対応する被検査体であり、その電極Ｐ１の位置は被検査体において−Ｘ方向側の側端部に設けられている。

図４（Ａ）は第１の検査工程を示している。ベルトコンベア４０により、検査装置１０の前工程から搬送されてきた被検査体Ｐは、Ｘ軸方向における被検査体検査ステージ１６に対応する位置において、被検査体搬送ハンド４２によりＸ軸方向両側を把持されて、ベルトコンベア４０上から、被検査体検査ステージ１６上部の載置面３８に載置される。

このとき、被検査体検査ステージ１６上部の載置面３８は、Ｚ軸方向において被検査体セット位置Ｚ１にある。このため、被検査体Ｐを搬送する被検査体搬送ハンド４２及び被検査体Ｐは、第２プローブユニット機構２４と干渉しない。

次いで図４（Ｂ）は第２の検査工程を示している。被検査体搬送ハンド４２は、被検査体検査ステージ１６上部の載置面３８に被検査体Ｐを載置した後、Ｙ方向に収縮し、被検査体搬送ハンド４２の待機位置（図４（Ｂ）の位置）に退避する。被検査体搬送ハンド４２の退避後、ベース２０がＸ軸方向に沿って＋Ｘ方向から−Ｘ方向に移動する。すなわち、第１プローブユニット機構２２を第１プローブユニット機構メンテナンス位置Ｘ１から第１プローブユニット機構検査位置Ｘ３まで移動させる。このとき、電気信号受領部２６もベース２０の動きに同期して−Ｘ方向に移動する。尚、この時点において、載置面３８は被検査体セット位置Ｚ１に位置した状態を維持している。

次いで図５（Ａ）は第３の検査工程を示している。第１プローブユニット機構２２が第１プローブユニット機構検査位置Ｘ３に移動すると、被検査体検査ステージ１６は載置面３８を被検査体セット位置Ｚ１から＋Ｚ方向に上昇させて被検査体検査位置Ｚ２に変位させる。そして、被検査体検査ステージ１６は、載置面３８をＸ軸方向、Ｙ軸方向及びθ方向に微動させて位置調整すなわちアライメント動作を行う。

そして被検査体Ｐの電極Ｐ１と第１プローブユニット機構２２の各プローブユニット２８のプローブ３２との位置が一致すると、プローブ３２が電極Ｐ１を押圧するように再度被検査体検査ステージ１６を＋Ｚ方向に微量上昇させて、通電検査を行う。尚、本実施例における通電検査は、被検査体Ｐに構成された複数の回路群の断線、短絡や不良の有無を確認するオープンショート検査である。

次いで図５（Ｂ）は第４の検査工程を示している。通電検査終了後、被検査体検査ステージ１６は載置面３８を被検査体検査位置Ｚ２から−Ｚ方向に下降させて被検査体セット位置Ｚ１に変位させる。載置面３８が被検査体セット位置Ｚ１に位置すると、被検査体搬送ハンド４２は退避位置（図５（Ａ）参照）から載置面３８の位置まで伸長し、被検査体ＰのＸ軸方向の両側端を把持する。その後、被検査体搬送ハンド４２は、把持した状態の被検査体Ｐをベルトコンベア４０上まで移送し、ベルトコンベア４０に載置する。ベルトコンベア４０に載置された被検査体Ｐは、検査装置１０の後工程に搬送される。

更に、第１プローブユニット機構２２により通電検査を継続する場合、ベルトコンベア４０上を搬送されてきた次の検査対象の被検査体Ｐを被検査体搬送ハンド４２により把持してベルトコンベア４０上から載置面３８に移送し、載置面３８に載置する。その後、第３工程及び第４工程を繰り返す。

また、第４工程後に第２プローブユニット機構２４に対応する被検査体Ｐ（Ｘ軸方向において＋Ｘ方向側の側端部に電極Ｐ２が設けられている。）を検査する場合、ベース２０をＸ軸方向において＋Ｘ方向に移動させ、第２プローブユニット機構２４を第２プローブユニット機構メンテナンス位置Ｘ４から第２プローブユニット機構検査位置Ｘ２まで移動させる。尚、このとき、電気信号受領部２６はベース２０の動きに同期して＋Ｘ方向に移動する。

次いで、第３工程のアライメント動作を行い、第２プローブユニット機構２４により被検査体Ｐの通電検査を行う。通電検査後、被検査体搬送ハンド４２により検査の終了した被検査体Ｐをベルトコンベア４０上に載置面３８から戻し、新たな被検査体Ｐをベルトコンベア４０上から載置面３８に載置し、第２プローブユニット機構２４により被検査体Ｐの通電検査を行う。

尚、上記説明では、第１プローブユニット機構２２及び第２プローブユニット機構２４の各プローブユニット２８の各プローブ３２がそれぞれ検査対象の被検査体ＰのＹ軸方向における電極位置に対応した位置に配置されている状態としている。

また、例えば図４（Ａ）において電極Ｐ１を備える被検査体Ｐに代えて、電極Ｐ２を備える他の種類の被検査体Ｐが載置面３８に載置された状態において、第２プローブユニット機構２４の各プローブユニット２８の各プローブ３２が、等間隔に配置された電極Ｐ２の位置に対応していない場合、以下のように調整する。ユーザーがプローブユニット２８の位置を手動で調整して位置を合わせる。
尚、第２プローブユニット機構２４において制御部（図示せず）により制御された駆動機構（図示せず）により自動的に各プローブユニット２８を等間隔に配置しなおし、電極Ｐ２の位置に対応させることも可能である。

再度、図４（Ａ）及び図４（Ｂ）を参照して、電気信号受領部２６は、第１プローブユニット機構２２が第１プローブユニット機構メンテナンス位置Ｘ１に位置する際、Ｘ軸方向において第１プローブユニット機構２２の各プローブユニット２８のプローブ３２から長さＬ１の距離をおいて位置している（位置Ｘ５）。また、この場合、電気信号受領部２６は、Ｘ軸方向において第２プローブユニット機構２４の各プローブユニット２８のプローブ３２から長さＬ２の距離をおいて位置している（位置Ｘ５）。

図５（Ａ）及び図５（Ｂ）を参照して、電気信号受領部２６は、第１プローブユニット機構２２が第１プローブユニット機構メンテナンス位置Ｘ１から移動して第１プローブユニット機構検査位置Ｘ３に位置する際、Ｘ軸方向において第１プローブユニット機構２２の各プローブユニット２８のプローブ３２から長さＬ１の距離をおいて位置している（位置Ｘ６）。また、この場合、電気信号受領部２６は、Ｘ軸方向において第２プローブユニット機構２４の各プローブユニット２８のプローブ３２から長さＬ２の距離をおいて位置している（位置Ｘ６）。

すなわち、電気信号受領部２６はベース２０と同期してＸ軸方向に移動することから、電気信号受領部２６と第１プローブユニット機構２２との相対関係及び電気信号受領部２６と第２プローブユニット機構２４との相対関係は、電気信号受領部２６の移動前後においても変化しない。

このため、電気信号受領部２６と第１プローブユニット機構２２とを接続するケーブル４４の長さを一定のものとすることができ、かつ最短の長さとすることができる。同様に、電気信号受領部２６と第２プローブユニット機構２４とを接続するケーブル４４の長さも最短とすることができる。これにより、電気信号受領部２６が受信する電気信号において、ケーブル４４からのノイズの影響を小さくすることができ、電気信号受領部２６における測定精度を向上させることができる。

＜＜＜第２の実施例＞＞＞
図６、図７（Ａ）及び図７（Ｂ）を参照して、第２の実施例の検査装置４６について説明する。第２の実施例の検査装置４６は、第１プローブユニット機構２２と第２プローブユニット機構２４とがＸ軸方向において独立して移動可能に構成されている点で第１の実施例と相違する。

検査装置４６において第１プローブユニット機構２２は、ベース４８に設けられ、Ｘ軸方向に移動可能に構成されている。また、第２プローブユニット機構２４は、ベース５０に設けられ、Ｘ軸方向に移動可能に構成されている。尚、ベース４８、５０は、制御部５１によりＸ軸方向における動きを制御されている。

また、第１プローブユニット機構２２及び第２プローブユニット機構２４にそれぞれ対応する電気信号受領部５２、５４が直線駆動機構３６の上部に設けられている。電気信号受領部５２、５４は、第１プローブユニット機構２２を備えるベース４８及び第２プローブユニット機構２４を備えるベース５０のＸ軸方向における動作に同期してそれぞれ移動可能に構成されている。

図７（Ａ）を参照するに、第１プローブユニット機構２２が被検査体Ｐを検査している間、第２プローブユニット機構２４はメンテナンス位置にあり、各プローブユニット２８の位置調整及び保守作業を行うことができる。

また、図７（Ｂ）を参照するに、第２プローブユニット機構２４が被検査体Ｐを検査している間、第１プローブユニット機構２２はメンテナンス位置にあり、各プローブユニット２８の位置調整及び保守作業を行うことができる。

また、第１プローブユニット機構２２と電気信号受領部５２とは、移動後においても相対位置に変化がないことから、第１プローブユニット機構２２と電気信号受領部５２とを接続するケーブル５６の長さを最短にすることができる。同様に、第２プローブユニット機構２４と電気信号受領部５４とは、移動後においても相対位置に変化がないことから、第２プローブユニット機構２４と電気信号受領部５４とを接続するケーブル５８の長さを最短にすることができる。

＜＜＜第１の実施例及び第２の実施例の変更例＞＞＞
（１）被検査体検査ステージ１６は、該ステージ１つの構成に代えてＸ軸方向にステージを２つ配置し、第１の被検査体検査ステージ１６が第１プローブユニット機構２２に対応し、第２の被検査体ステージ１６が第２プローブユニット機構２４に対応する構成としてもよい。
（２）被検査体検査ステージ１６は、ＸＹＺθステージに代えて、ベース２０、４８、５０がＸ方向における微調整を行うとともにＹＺθステージとする構成としてもよく、丸型インデックスステージとして構成してもよい。

＜＜＜第３の実施例＞＞＞
図８を参して、第３の実施例の検査装置６０について説明する。第３の実施例の検査装置６０は、第１プローブユニット機構２２と第２プローブユニット機構２４とがそれぞれ独立して移動可能に構成され、第２プローブユニット機構２４がＹ軸方向に移動可能に構成されている点で第１の実施例と相違する。

検査装置６０において第１プローブユニット機構２２は、ベース６２に設けられ、Ｘ軸方向に沿って第１の検査部駆動機構６４により移動可能に構成されている。また、第２プローブユニット機構２４は、ベース６６に設けられ、Ｙ軸方向に沿って第２の検査部駆動機構６８により移動可能に構成されている。尚、ベース６２は、制御部５１によりＸ軸方向における動きを制御され、ベース６６は、制御部５１によりＹ軸方向における動きを制御されている。

このように、Ｘ軸方向に移動可能な第１プローブユニット機構２２及びＹ軸方向に移動可能な第２プローブユニット機構２４を備えることにより、Ｘ軸方向における一端部に形成された電極Ｐ１及びＹ軸方向における一端部に形成された電極Ｐ３を備える被検査体Ｐすなわちマトリクス状に電極が配置された被検査体Ｐにも対応して検査することが可能となる。

＜＜＜第４の実施例＞＞＞
図９を参して、第４の実施例の検査装置７０について説明する。第４の実施例の検査装置７０は、第２の実施例の構成に加えて、Ｙ軸方向に独立して移動可能な第３プローブユニット機構７２を備えている点で第１の実施例と相違する。

検査装置７０は、第２の実施例の構成に加えて、ベース７４に設けられ、Ｙ軸方向に沿って第２の検査部駆動機構７６により移動可能に構成された第３プローブユニット機構７２と、電気信号受領部７８と、第３プローブユニット機構７２と電気信号受領部７８とを接続するケーブル８０とを備えている。尚、ベース４８、５０は、制御部５１によりＸ軸方向における動きを制御され、ベース７４は、制御部５１によりＹ軸方向における動きを制御されている。

このように、Ｘ軸方向に移動可能な第１プローブユニット機構２２、第２プローブユニット機構２４及びＹ軸方向に移動可能な第３プローブユニット機構７２を備えることにより、Ｘ軸方向における両側端部に形成された電極Ｐ１、Ｐ２及びＹ軸方向における１つの側端部に形成された電極Ｐ３を備える被検査体Ｐすなわち被検査体Ｐの４辺のうち３辺に電極が設けられた被検査体Ｐの検査に対応することができる。尚、図９における被検査体Ｐは、電極Ｐ１及び電極Ｐ３を備えたものを図示している。

＜＜＜その他の変形例＞＞＞
（１）第４の実施例において、Ｙ軸方向に移動可能な第４プローブユニット機構を備えていてもよい。この構成により４辺に電極が配置された被検査体Ｐの検査に対応することが可能となる。
（２）被検査体検査ステージ１６の上方にカメラを設ける構成としてもよい。この構成により検査装置１０、４６、６０、７０においてオープンショート検査だけでなく被検査体Ｐの点灯検査を行うことが可能となる。
（３）被検査体供給部１８は、ベルトコンベア４０及び被検査体搬送ハンド４２の構成に代えて、フラットパネル用の搬送ローダーや搬送ロボット、被検査体を吸着して搬送するもの等に構成を代えてもよい。

上記説明をまとめると、被検査体Ｐを検査する検査装置１０、４６、６０、７０は、被検査体Ｐを検査する複数のプローブユニット機構２２、２４、７２と、前記複数のプローブユニット機構２２、２４、７２に対応する被検査体検査ステージ１６とを備えている。複数のプローブユニット機構２２、２４は同じ方向線上（Ｘ軸方向）に移動可能であり、Ｘ軸方向線上に前記検査ステージ１６がある。

被検査体Ｐを検査する検査装置１０、４６、６０、７０は、被検査体Ｐを検査する複数のプローブユニット機構２２、２４、７２と、複数のプローブユニット機構２２、２４、７２に対応する被検査体Ｐの検査ステージ１６とを備えている。プローブユニット機構２２、２４、７２は前記検査ステージ１６に対して接離移動可能である。

検査ステージ１６は複数のプローブユニット機構２２、２４に対して共通である。検査装置１０、４６、６０、７０は、第１プローブユニット機構２２及び第２プローブユニット機構２４が移動する線上に各プローブユニット機構２２、２４にそれぞれ対応する第１プローブユニット機構メンテナンス位置Ｘ１及び第２プローブユニット機構メンテナンス位置Ｘ４を備えている。
検査装置１０は、一対のプローブユニット機構２２、２４を有し、第１プローブユニット機構２２及び第２プローブユニット機構２４は一体に移動し、第１プローブユニット機構２２が第１プローブユニット機構検査位置Ｘ３にある際、第２プローブユニット機構２４が第２プローブユニット機構メンテナンス位置Ｘ４にあり、第２プローブユニット機構２４が第２プローブユニット機構検査位置Ｘ２にある際、第１プローブユニット機構２２が第１プローブユニット機構メンテナンス位置Ｘ１にある。

検査装置４６は、個々に移動可能に構成された一対のプローブユニット機構２２、２４と、一対のプローブユニット機構２２、２４のそれぞれの移動を制御する制御部５１とを備えている。制御部５１は、第１プローブユニット機構２２が第１プローブユニット機構検査位置Ｘ３にある際、第２プローブユニット機構２４が第２プローブユニット機構メンテナンス位置Ｘ４にあり、第２プローブユニット機構２４が第２プローブユニット機構検査位置Ｘ２にある際、第１プローブユニット機構２２が第１プローブユニット機構メンテナンス位置Ｘ１にあるように、前記一対のプローブユニット機構２２、２４を移動させる。

複数のプローブユニット機構２２、２４、７２のそれぞれにケーブルで接続された電気信号受領部２６、５２、５４、７８を備えている。電気信号受領部２６、５２、５４、７８は、複数のプローブユニット機構２２、２４、７２と同じ方向に移動可能に構成されている。

前記検査装置１０、４６は一対のプローブユニット機構２２、２４を有し、各プローブユニット機構２２、２４は、複数のプローブユニット２８を備え、一方のプローブユニット機構２２、２４のプローブユニット２８は、他方のプローブユニット機構２２、２４と対向する側と反対側に設けられ、他方のプローブユニット機構２２、２４のプローブユニット２８は、一方のプローブユニット機構２２、２４と対向する側と反対側に設けられている。

検査装置６０、７０において、一つのプローブユニット機構２２、２４、７２の移動方向と少なくとも１つの他のプローブユニット機構２２，２４、７２の移動方向とが交差する。

尚、本発明は上記実施例に限定されることなく、特許請求の範囲に記載した発明の範囲内で、種々の変形が可能であり、それらも本発明の範囲内に含まれるものであることは言うまでもない。

１０，４６，６０，７０ 検査装置、１２ 被検査体検査部、１４ 検査部駆動機構、
１６ 被検査体検査ステージ、１８ 被検査体供給部、
２０，４８，５０，６２，６６，７４ ベース、２２ 第１プローブユニット機構、
２４ 第２プローブユニット機構、２６，５２，５４，７８ 電気信号受領部、
２８ プローブユニット、３０ レール、３２ プローブ、３４，３６ 直線駆動機構、
３８ 載置面、４０ ベルトコンベア、４２ 被検査体搬送ハンド、
４４，５６，５８，８０ ケーブル、５１ 制御部、６４ 第１の検査部駆動機構、
６８，７６ 第２の検査部駆動機構、７２ 第３プローブユニット機構、Ｐ 被検査体、
Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３ 電極、Ｘ１ 第１プローブユニット機構メンテナンス位置、
Ｘ２ 第２プローブユニット機構検査位置、Ｘ３ 第１プローブユニット機構検査位置、
Ｘ４ 第２プローブユニット機構メンテナンス位置、Ｚ１ 被検査体セット位置、
Ｚ２ 被検査体検査位置

Claims (9)

1. 被検査体を検査する検査装置であって、
   前記検査装置は
   前記被検査体を検査する複数のプローブユニット機構と、
   前記複数のプローブユニット機構に対応する被検査体の検査位置と、
   を備え、
   前記複数のプローブユニット機構は同じ方向線上に移動可能であり、
   前記方向線上に前記検査位置がある、
   ことを特徴とする検査装置。
2. 被検査体を検査する検査装置であって、
   前記検査装置は
   前記被検査体を検査する複数のプローブユニット機構と、
   前記複数のプローブユニット機構に対応する被検査体の検査位置と、
   を備え、
   前記プローブユニット機構は前記検査位置に対して接離移動可能である、
   ことを特徴とする検査装置。
3. 請求項１及び２に記載の検査装置において、前記検査位置は前記複数のプローブユニット機構に対して共通である、
   ことを特徴とする検査装置。
4. 請求項１から３に記載の検査装置において、前記検査装置は、各プローブユニット機構が移動する線上に各プローブユニット機構にそれぞれ対応する調整作業位置を備える、
   ことを特徴とする検査装置。
5. 請求項４に記載の検査装置において、前記検査装置は一対のプローブユニット機構を有し、
   前記プローブユニット機構は一体に移動し、
   一方のプローブユニット機構が前記検査位置にある際、他方のプローブユニット機構が該プローブユニット機構の前記調整作業位置にある、
   ことを特徴とする検査装置。
6. 請求項４に記載の検査装置において、前記検査装置は、個々に移動可能に構成された一対のプローブユニット機構と、前記一対のプローブユニット機構のそれぞれの移動を制御する制御部と、
   を備え、
   前記制御部は、一方のプローブユニット機構が前記検査位置にある際、他方のプローブユニット機構が該プローブユニット機構の前記調整作業位置にあるように、前記一対のプローブユニット機構を移動させる、
   ことを特徴とする検査装置。
7. 請求項１から５に記載の検査装置において、前記複数のプローブユニット機構のそれぞれにケーブルで接続された電気信号受領部を備え、
   前記電気信号受領部は、前記複数のプローブユニット機構と同じ方向に移動可能に構成されている、
   ことを特徴とする検査装置。
8. 請求項１から７に記載の検査装置において、前記検査装置は一対のプローブユニット機構を有し、
   各プローブユニット機構は、複数のプローブユニットを備え、
   前記一方のプローブユニット機構のプローブユニットは、前記他方のプローブユニット機構と対向する側と反対側に設けられ、
   前記他方のプローブユニット機構のプローブユニットは、前記一方のプローブユニット機構と対向する側と反対側に設けられている、
   ことを特徴とする検査装置。
9. 請求項２に記載の検査装置において、
   一つのプローブユニット機構の移動方向と少なくとも１つの他のプローブユニット機構の移動方向とが交差する、
   ことを特徴とする検査装置。

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