JPS59100600A - 半導体素子製造用自動選別装置 - Google Patents
半導体素子製造用自動選別装置Info
- Publication number
- JPS59100600A JPS59100600A JP20996682A JP20996682A JPS59100600A JP S59100600 A JPS59100600 A JP S59100600A JP 20996682 A JP20996682 A JP 20996682A JP 20996682 A JP20996682 A JP 20996682A JP S59100600 A JPS59100600 A JP S59100600A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contactor
- automatic
- measuring device
- automatic sorting
- semiconductor element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は半導体素子の製造における自動選別装置に関
するものである。
するものである。
従来、自動選別装置において、生産される半導体素子の
品種は膨大で投入されている品種別に伴ない担当作業省
は、その菌株に見合う接合部分の取シ付は堆シはずしの
交換を必要とされていた。
品種は膨大で投入されている品種別に伴ない担当作業省
は、その菌株に見合う接合部分の取シ付は堆シはずしの
交換を必要とされていた。
元来自動選別装置というものは、第１図に示す如く、測
定装置と電気的及び機械的に接続されてはじめてその機
能を発揮できるものである。
定装置と電気的及び機械的に接続されてはじめてその機
能を発揮できるものである。
図中″ＩＨが自動選別装置本体であり、測定装Ｂ４は、
測定装置架台３に保持されて自動選別装置１と一体化さ
れている。測定用プリント板５はコンタクタ−２と電気
的に接続されている。
測定装置架台３に保持されて自動選別装置１と一体化さ
れている。測定用プリント板５はコンタクタ−２と電気
的に接続されている。
第２図は、コンタクタ−の概略図である。図中ｔｏ ４
．、は、測定装置本体であムその先に測定用プリント板
５品種別プリント板８がある。６は品種別プリント板８
を、固定させるための固定ネジであり、９は測定用プリ
ント板５を固定させるための固定ネジである。
．、は、測定装置本体であムその先に測定用プリント板
５品種別プリント板８がある。６は品種別プリント板８
を、固定させるための固定ネジであり、９は測定用プリ
ント板５を固定させるための固定ネジである。
測定装置と、自動選別装置を機械的接続し、さらに自動
選別装置に投入された半導体素子の電気的接続を行なう
ものが、第２図の接触子７及び品種別プリント板８であ
シ、この２種の部品を総称してコンタクタ−と呼ぶ。そ
のコンタクタ−を半導体素子の品種別に測定ｉｔから取
シはずし取シ伺は作業を作業者が行なうということは交
換に長い時間を要し島価格である測定装置の稼動時間を
低下させるという欠点があった。第３図はコンタクタ−
を作業者が交換する手順を図示したものであるが、図中
測距装置架台３に保持された測定装置４に測定用プリン
ト板５を測定用プリント板弁え板９にて、置屋された状
態から、コンタクタ−の交換作業を開始する。まず品種
別プリント板８を測定用プリント板５の前面に叔ぜて次
に、固定ネジ６′にて取シつけ締める。このようにコン
タクタ−の交換は憂い時間を擬し、半導体素子の多品種
大量生産に対し多数の作業者を必要とする欠点があった
。
選別装置に投入された半導体素子の電気的接続を行なう
ものが、第２図の接触子７及び品種別プリント板８であ
シ、この２種の部品を総称してコンタクタ−と呼ぶ。そ
のコンタクタ−を半導体素子の品種別に測定ｉｔから取
シはずし取シ伺は作業を作業者が行なうということは交
換に長い時間を要し島価格である測定装置の稼動時間を
低下させるという欠点があった。第３図はコンタクタ−
を作業者が交換する手順を図示したものであるが、図中
測距装置架台３に保持された測定装置４に測定用プリン
ト板５を測定用プリント板弁え板９にて、置屋された状
態から、コンタクタ−の交換作業を開始する。まず品種
別プリント板８を測定用プリント板５の前面に叔ぜて次
に、固定ネジ６′にて取シつけ締める。このようにコン
タクタ−の交換は憂い時間を擬し、半導体素子の多品種
大量生産に対し多数の作業者を必要とする欠点があった
。
さらにコンタクタ−の接触子７は、半導体素子の外部リ
ードと接触する為、微小で精度を要す形状であり、手作
業による作業者のコンタクタ−交換は、入手を介す為変
形させる事が多々あシ寿命が短いという欠点があった。
ードと接触する為、微小で精度を要す形状であり、手作
業による作業者のコンタクタ−交換は、入手を介す為変
形させる事が多々あシ寿命が短いという欠点があった。
本発明は、前記問題点を解消するもので高価格である測
定装置の稼動時間を上げるべく交換時間の短縮を可能と
しさらに作業者工数の低減をはかるべく、自動交換を行
かいコンタクタ−の寿命向上の為の人手を介さないとい
うことを％黴とするも”のである。
定装置の稼動時間を上げるべく交換時間の短縮を可能と
しさらに作業者工数の低減をはかるべく、自動交換を行
かいコンタクタ−の寿命向上の為の人手を介さないとい
うことを％黴とするも”のである。
すなわち、本発明の特徴は、半導体水子の電気的特性の
選別において被測定素子の測定装置への供給、収納を自
動的に行なう為の自動選別装置で、前記級測定累子の品
積切換えに伴なう接合部分をヌライド機能、を有したわ
（構部に株数個搭載し必要に応じ前記槌梠部のスライド
により、胴記接合部分を交ゼ・Ｎする自動選別装置にあ
る。
選別において被測定素子の測定装置への供給、収納を自
動的に行なう為の自動選別装置で、前記級測定累子の品
積切換えに伴なう接合部分をヌライド機能、を有したわ
（構部に株数個搭載し必要に応じ前記槌梠部のスライド
により、胴記接合部分を交ゼ・Ｎする自動選別装置にあ
る。
以下本発明の一夾施例をシソ４図第５図に基いて
′説明する。
′説明する。
第４しｊに示すように自動選別装置１の後面に左右スラ
イド式の桜構を取９つける。これはそ−ター又はエアー
シリンダー等の動力を駆動源とする。
イド式の桜構を取９つける。これはそ−ター又はエアー
シリンダー等の動力を駆動源とする。
品種別プリント板８をスライド部の左端及び中央部そし
７て右端に複数個取シ付ける。” ｉ ｏ 、はコンタ
クタ−のスライドベースである。作業者はるらかしめ複
数個取シ付けたコネクターの種類の中から盛上とするコ
ンタクタ−を駆動スイッチにて選択し動作させることｒ
（よシコンタフタ−の自動交換を左右スライド式にて可
能とすることができる。
７て右端に複数個取シ付ける。” ｉ ｏ 、はコンタ
クタ−のスライドベースである。作業者はるらかしめ複
数個取シ付けたコネクターの種類の中から盛上とするコ
ンタクタ−を駆動スイッチにて選択し動作させることｒ
（よシコンタフタ−の自動交換を左右スライド式にて可
能とすることができる。
上記実施例では左右スライド式を能、明したがスライド
方向は上下、斜めでも可能でおることは自明である。ま
た本発明は半導体素子のウエノ・−テストにおいて自動
選別に＃’：（ウエノ・−］゛ロローノのプローブカー
ドの交換等においても適用できることはいうまてもない
。
方向は上下、斜めでも可能でおることは自明である。ま
た本発明は半導体素子のウエノ・−テストにおいて自動
選別に＃’：（ウエノ・−］゛ロローノのプローブカー
ドの交換等においても適用できることはいうまてもない
。
第１図は、従来の自動選別装置と測定装置のψ１ｊ面図
、第２図はコンタクタ−と測定−（（ｉＨの側（３）図
、第３図は手作業によるコンタクタ−の数句は方法、第
４図は本発明の一笑施例のコンタクタ−自制交換機能を
有した半導体素子製造用の自動選別装置の正面図、であ
る。 なお図において、１・・・・・・自動選別装置本体、２
・・・・・・コンタクタ−１３・・・・・・測定装か架
台、４・・・・・・測定装置本体、５・・・・・・測定
用プリント板、６・・・・・・固定ネジ、７・・・・・
・接触子、８・・・・・・品禅別プリント板、９・・・
・・・也１１短用プリント板押え板、１０・・・・・・
コンタクタ−回転軸、でおる。
、第２図はコンタクタ−と測定−（（ｉＨの側（３）図
、第３図は手作業によるコンタクタ−の数句は方法、第
４図は本発明の一笑施例のコンタクタ−自制交換機能を
有した半導体素子製造用の自動選別装置の正面図、であ
る。 なお図において、１・・・・・・自動選別装置本体、２
・・・・・・コンタクタ−１３・・・・・・測定装か架
台、４・・・・・・測定装置本体、５・・・・・・測定
用プリント板、６・・・・・・固定ネジ、７・・・・・
・接触子、８・・・・・・品禅別プリント板、９・・・
・・・也１１短用プリント板押え板、１０・・・・・・
コンタクタ−回転軸、でおる。
Claims (1)
- 半導体素子の袖、熟的特性の選別において、被測定素子
の測定装置への供給、収納を自動的に行なう為の自動選
別装置において、前記被測定素子の８釉切換えに伴なう
接合部分をスライド機能を有した機構部に被数個搭載し
必要に応じ前記機構部のスライドによシ、前記接合部分
を交換することを特徴とする半導体素子製造用自動選別
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20996682A JPS59100600A (ja) | 1982-11-30 | 1982-11-30 | 半導体素子製造用自動選別装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20996682A JPS59100600A (ja) | 1982-11-30 | 1982-11-30 | 半導体素子製造用自動選別装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59100600A true JPS59100600A (ja) | 1984-06-09 |
Family
ID=16581624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20996682A Pending JPS59100600A (ja) | 1982-11-30 | 1982-11-30 | 半導体素子製造用自動選別装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59100600A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014081234A (ja) * | 2012-10-15 | 2014-05-08 | Micronics Japan Co Ltd | 検査装置 |
-
1982
- 1982-11-30 JP JP20996682A patent/JPS59100600A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014081234A (ja) * | 2012-10-15 | 2014-05-08 | Micronics Japan Co Ltd | 検査装置 |
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