KR20080102087A - 캐리어모듈 개방장치, 그를 포함하는 테스트 핸들러, 및그를 이용한 반도체 소자 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 복수개의 캐리어모듈을 가지는 테스트트레이를 홀딩하는 프레임; 상기 캐리어모듈을 개방시키는 개방핀을 포함하고, 상하 이동하면서 상기 캐리어모듈을 개방시키기 위한 개방영역을 형성하는 개방유닛; 상기 프레임을 이동시키면서, 상기 테스트트레이의 캐리어모듈을 상기 개방영역에 순차적으로 위치시키는 이송부; 및 상기 이송부가 결합되는 본체를 포함하는 캐리어모듈 개방장치, 그를 포함하는 테스트 핸들러, 및 그를 이용한 반도체 소자 제조방법에 관한 것으로서,

본 발명에 따르면, 개방유닛의 대형화를 최소화하면서, 더 많은 반도체 소자를 장착할 수 있는 테스트트레이의 캐리어모듈을 손상없이 개방시킬 수 있으며, 그에 따라 더 많은 반도체 소자들을 안정적으로 테스트할 수 있다.

캐리어모듈, 테스트트레이, 개방유닛, 핸들러

Description

캐리어모듈 개방장치, 그를 포함하는 테스트 핸들러, 및 그를 이용한 반도체 소자 제조방법{Release Apparatus of Carrier Module, Test Handler having the same, and method of manufacturing semiconductor using the same}

도 1은 테스트트레이의 개략적인 평면도

도 2는 테스트트레이 및 개방유닛을 개략적으로 나타낸 사시도

도 3은 본 발명에 따른 캐리어모듈 개방장치의 사시도

도 4는 도 3에서 프레임 및 개방유닛의 작동상태를 나타낸 사시도

도 5는 본 발명에 따른 캐리어모듈 개방장치의 저면도

도 6a 및 도 6b는 본 발명에 따른 캐리어모듈 개방장치에서 지지부의 작동상태를 나타낸 사시도

도 7은 본 발명에 따른 테스트 핸들러를 개략적으로 나타낸 평면도

도 8은 본 발명에 따른 테스트 핸들러에서 캐리어모듈 개방장치가 교환부에 적용된 상태를 개략적으로 나타낸 사시도

도 9는 도 8에서 교환부가 회전되어 테스트트레이를 수직상태로 전환시킨 작동상태도

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

1 : 본 발명에 따른 캐리어모듈 개방장치 2 : 본체 3 : 개방유닛 4 : 프레임

5 : 이송부 6 : 지지부 21 : 돌출부 22 : 회전축연결부 31 : 개방핀

41 : 홀딩구 42 : 걸림부 51 : 가이드부 52 : 연결부 53 : 동력전달부

61 : 연결축 62 : 탄성구 63 : 회전체 521 : 프레임결합부 522 : 연결블록

523 : 이동블록 531 : 회전부 532 : 제1전달부 533 : 제2전달부

A : 해제위치 B : 개방영역

10 : 테스트 핸들러 11 : 로딩스택커 12 : 언로딩스택커 13 : 픽커부

14 : 버퍼부 15 : 교환부 16 : 챔버부 131 : 제1픽커 132 : 제2픽커

141 : 로딩버퍼부 142 : 언로딩버퍼부 161 : 제1챔버 162 : 테스트챔버

163 : 제2챔버 H : 테스트보드 T : 테스트트레이

100 : 테스트트레이 101 : 트레이본체 102 : 캐리어모듈 103 : 몸체

104 : 안착부 105 : 개구부 106 : 랫치 200 : 개방유닛

201 : 안내핀 202 : 개방핀

본 발명은 반도체 소자를 테스트하기 위한 테스트 핸들러에 관한 것으로서, 상세하게는 테스트트레이에 반도체 소자를 고정하는 캐리어모듈의 개방장치에 관한 것이다.

일반적으로, 메모리 혹은 비메모리 반도체 소자 및 이들을 적절히 하나의 기판상에 회로적으로 구성한 모듈 아이씨 등(이하, '반도체 소자'라 함)은 여러 가지 테스트 과정을 거쳐 제조된다.

이러한, 반도체 소자를 테스트하는 과정에서 사용되는 장비가 테스트 핸들러이다.

테스트 핸들러는 크게 로딩공정, 테스트공정, 및 언로딩공정을 수행하고, 복수개의 반도체 소자에 대해 상기와 같은 공정을 수행할 수 있도록, 복수개의 반도체 소자를 고정 또는 해제할 수 있는 테스트트레이를 사용한다.

로딩공정은 반도체 소자를 고객트레이로부터 분리하여 테스트트레이에 장착하는 공정이다.

테스트공정은 테스트트레이에 담겨진 반도체 소자를 테스트장비에 접속시켜 전기적으로 테스트하는 공정이다.

언로딩공정은 테스트가 완료된 반도체 소자를 테스트트레이로부터 분리하고, 테스트 결과에 따라 등급별로 고객트레이에 분류하는 공정이다.

한편, 상기 테스트 공정은 상온 상태에서의 테스트뿐만 아니라, 고온 또는 저온의 극한 상태에서도 반도체 소자가 정상적으로 작동하는 지를 테스트한다. 이를 위해 테스트 핸들러는 복수개의 챔버들을 포함하여 이루어진다.

상기 챔버는 반도체 소자를 고온 또는 저온의 테스트 온도로 조절하는 제1챔버, 테스트 온도로 조절된 반도체 소자를 테스트장비에 접속시키는 테스트챔버, 및 테스트가 완료된 반도체 소자를 상온으로 복원시키는 제2챔버를 포함한다.

한편, 테스트 핸들러는 로딩공정 및 언로딩공정시 반도체 소자를 이송하기 위한 장치로서 픽커를 포함한다. 상기 픽커는 한번에 복수개의 반도체 소자를 픽업 하여 이송할 수 있도록 구현된다.

이하에서는 상기와 같은 테스트 핸들러에서 사용되는 테스트트레이에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1은 테스트트레이의 개략적인 평면도이고, 도 2는 테스트트레이 및 개방유닛을 개략적으로 나타낸 사시도이다.

도 1을 참고하면, 테스트트레이(100)는 사각틀 형태의 트레이본체(101), 및 상기 트레이본체(101)에 결합되는 복수개의 캐리어모듈(102)을 포함한다.

상기 캐리어모듈(102)은 반도체 소자를 고정 또는 해제하는 구성으로서, 한번에 테스트하고자 하는 반도체 소자의 개수와 일치하는 개수로 구비됨이 바람직하며, 몸체(103), 안착부(104), 개구부(105) 및 랫치(106)를 포함한다.

상기 몸체(103)는 트레이본체(101)에 탄성적으로 이동 가능하게 결합되고, 반도체 소자가 테스트장비에 접속될 수 있도록 테스트장비 측으로 이동할 수 있다.

상기 안착부(104)는 반도체 소자의 측면, 및 저면 외측을 지지하고, 테스트트레이(100)의 이동시 반도체 소자가 임의로 움직이는 것을 방지한다.

상기 개구부(105)는 안착부(104)에 형성된 관통공이고, 반도체 소자의 리드가 일측으로 노출될 수 있도록 한다. 따라서, 상기 개구부(105)를 통해 노출된 반도체 소자의 리드가 테스트장비와 접속되면서 테스트가 이루어진다.

상기 랫치(106)는 몸체(103)에 회전가능하게 결합되고, 안착부(104)로 돌출되면 반도체 소자를 고정하고, 안착부(104)로 돌출되지 않으면 몸체(103) 내측에 삽입되어 반도체 소자에 대한 고정을 해제한다.

여기서, 상기 랫치(106)가 몸체(103) 내측에 삽입되어 반도체 소자에 대한 고정을 해제한 상태, 즉 상기 캐리어모듈(102)이 개방된 상태에서 상기 로딩공정 및 언로딩공정이 이루어진다.

또한, 상기 랫치(106)는 반도체 소자를 안정적으로 고정할 수 있도록 하나의 캐리어모듈(102)에서 복수개가 구비되는 것이 바람직하고, 그에 따라 테스트트레이(100)의 이동시 반도체 소자가 임의로 이탈되는 것을 방지한다.

한편, 테스트 핸들러는 로딩공정 및 언로딩공정시 픽커 및 랫치(106) 간에 간섭이 발생하지 않도록, 캐리어모듈(102)을 개방된 상태로 전환시키기 위한 장치로서 개방유닛을 포함하여 이루어진다.

도 1 및 도 2를 참고하면, 상기 개방유닛(200)는 전체적으로 사각판형으로 형성되고, 로딩공정 및 언로딩공정시 상하이동하면서 상기 캐리어모듈(102)을 개방시키며, 안내핀(201) 및 개방핀(202)을 포함한다.

상기 안내핀(201)은 테스트트레이(100)의 안내공에 삽입되고, 랫치(106)를 몸체(103) 내측에 삽입시켜 캐리어모듈(102)을 개방시킬 수 있도록 상기 개방유닛(200)의 이동경로를 안내한다.

상기 개방핀(202)은 개방유닛(200)의 상하이동에 따라, 상기 캐리어모듈(102)의 일정 위치를 가압하여 상기 캐리어모듈(102)을 개방시킨다.

즉, 상기 개방핀(202)은 개방유닛(200)이 상방으로 이동하면 상기 캐리어모듈(102)을 개방시키고, 상기 개방유닛(200)이 하방으로 이동하면 상기 랫치(106)가 반도체 소자를 고정할 수 있도록 캐리어모듈(102)을 폐쇄시킨다.

또한, 상기 개방핀(202)은 한번에 복수개의 랫치(106)를 동시에 개방시킬 수 있도록 복수개가 구비될 수 있다.

여기서, 상기와 같은 테스트 핸들러는 한번에 32개 또는 64개 정도의 반도체 소자를 테스트할 수 있도록 구현되고, 이와 일치하는 개수의 캐리어모듈(102)을 가지는 테스트트레이(100)가 사용된다.

또한, 상기와 같은 캐리어모듈(102)을 개방시킬 수 있도록, 상기 개방유닛(200)도 그에 상응하는 복수개의 개방핀(202)을 포함하여 이루어진다.

그러나, 최근에는 테스트 과정에 소요되는 시간을 줄일 수 있도록, 한번에 128개, 256개, 또는 512개 등 점차적으로 많은 개수의 반도체 소자를 테스트할 수 있는 테스트트레이 및 테스트 핸들러가 개발, 사용되고 있다.

따라서, 상기 개방유닛(200) 및 개방핀(202) 또한 더 많은 개수의 캐리어모듈(102)을 개방시킬 수 있도록 구현되어야 하나, 여기에는 하기와 같은 문제가 있다.

우선, 상기 개방유닛(200) 및 반도체 소자를 픽업하여 이송하는 픽커가 대형화 되어야 하고, 이는 상기 개방유닛(200) 및 픽커를 제조하는데 더 많은 자재가 소요된다는 것을 의미한다.

따라서, 테스트 핸들러의 제조단가를 상승시키는 문제가 있다.

다음, 반도체 소자를 픽업하여 이송하는 픽커는 로딩공정 및 언로딩공정 시간을 단축시키기 위해 고속으로 움직여야 하므로, 한번에 더 많은 반도체 소자를 픽업하여 이송할 수 있도록 대형화 하기에는 한계가 있다.

따라서, 더 많은 개수의 개방핀(202)으로 캐리어모듈(102)을 한꺼번에 개방시키더라도, 상기 픽커는 일부의 캐리어모듈(102)에 대해서만 로딩공정 및 언로딩공정을 수행하게 된다.

즉, 상기 픽커가 로딩공정 및 언로딩공정을 수행하는 동안 상기 캐리어모듈(102)은 개방핀(202)에 의해 개방된 상태를 유지해야 한다.

이에 따라, 상기 캐리어모듈(102)의 몸체(103) 및 랫치(106)의 탄성적인 결합이 저하될 수 있고, 나아가 상기 테스트트레이(100)의 트레이본체(101)에 굽힘 현상이 발생할 수 있는 문제가 있다.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서,

본 발명의 목적은 테스트트레이의 손상을 방지하면서도 한번에 더 많은 반도체 소자들에 대한 테스트를 수행할 수 있도록 하는 캐리어모듈 개방장치, 그를 포함하는 테스트 핸들러, 및 그를 이용한 반도체 소자 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함한다.

본 발명에 따른 캐리어모듈 개방장치는 복수개의 캐리어모듈을 가지는 테스트트레이를 홀딩하는 프레임; 상기 캐리어모듈을 개방시키는 개방핀을 포함하고, 상하 이동하면서 상기 캐리어모듈을 개방시키기 위한 개방영역을 형성하는 개방유 닛; 상기 프레임을 이동시키면서, 상기 테스트트레이의 캐리어모듈을 상기 개방영역에 순차적으로 위치시키는 이송부; 및 상기 이송부가 결합되는 본체를 포함한다.

또한, 본 발명에 따른 테스트 핸들러는 테스트트레이에 담겨진 반도체 소자들을 테스트 온도로 조절하는 제1챔버; 테스트 온도로 조절된 테스트트레이의 반도체 소자들을 테스트장치에 접속시키는 테스트챔버; 테스트가 완료된 테스트트레이의 반도체 소자들을 상온으로 복원시키는 제2챔버; 테스트트레이에 테스트할 반도체 소자를 장착하여 상기 제1챔버에 공급하고, 상기 제2챔버로부터 테스트트레이를 공급받아 테스트가 완료된 반도체 소자를 테스트트레이로부터 분리하여 테스트 결과에 따라 분류하는 교환부; 및 상기 교환부에 설치되는 상기 캐리어모듈 개방장치를 포함한다.

또한, 본 발명에 따른 반도체 제조방법은 반도체 소자를 준비하는 단계; 상기 캐리어모듈 개방장치를 이용하여 테스트트레이의 캐리어모듈을 개방시키는 단계; 테스트할 반도체 소자들을 테스트트레이의 개방된 캐리어모듈에 장착하는 단계; 반도체 소자의 장착이 완료되어 상기 테스트트레이에 담겨진 반도체 소자들을 테스트 온도로 조절하는 단계; 테스트 온도로 조절된 반도체 소자들을 테스트장비에 접속시켜 테스트하는 단계; 테스트가 완료된 반도체 소자들을 상온으로 복원시키는 단계; 및 상온으로 복원된 반도체 소자들을 상기 테스트트레이의 개방된 캐리어모듈로부터 분리하여 테스트 결과에 따라 분류하는 단계를 포함한다.

따라서, 개방유닛의 대형화를 최소화할 수 있고, 더 많은 반도체 소자들을 장착할 수 있도록 대형화되는 테스트트레이의 손상을 방지하면서 안정적으로 로딩 공정 및 언로딩공정을 수행할 수 있다.

또한, 한번에 더 많은 반도체 소자들을 테스트할 수 있도록 구현함으로써, 반도체 소자들에 대한 테스트 및 제조시간을 단축시킬 수 있다.

이하에서는 본 발명에 따른 캐리어모듈 개방장치의 구성에 대한 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 3은 본 발명에 따른 캐리어모듈 개방장치의 사시도, 도 4는 도 3에서 프레임 및 개방유닛의 작동상태를 나타낸 사시도, 도 5는 본 발명에 따른 캐리어모듈 개방장치의 저면도, 도 6a 및 도 6b는 본 발명에 따른 캐리어모듈 개방장치에서 지지부의 작동상태를 나타낸 사시도이다.

여기서, 테스트트레이는 캐리어모듈, 랫치 등을 포함하여 이루어지는데, 이는 상술한 종래의 테스트트레이(100)와 대략 일치하므로, 이에 대한 도면에의 도시 및 상세한 설명은 생략하기로 한다.

도 3 및 도 4를 참고하면, 본 발명에 따른 캐리어모듈 개방장치(1)는 본체(2), 개방유닛(3), 프레임(4), 이송부(5), 및 지지부(6)를 포함한다.

상기 본체(2)는 전체적으로 사각판형으로 형성되고, 상기 구성들이 결합되며, 돌출부(21)를 포함한다.

상기 돌출부(21)는 지지부(6)의 저면을 지지함으로써 상기 지지부(6)를 회전시키고(도 6b에 도시됨), 그에 따라 상기 지지부(6)의 테스트트레이(도시되지 않음)에 대한 지지를 해제시키며, 해제위치(A)에 형성될 수 있다.

여기서, 해제위치(A)는 상기 지지부(6)의 테스트트레이에 대한 지지를 해제 시킬 수 있는 지점으로서, 바람직하게는 상기 본체(2)의 일단(2a)으로부터 내측으로 일정 길이 이격된 지점일 수 있다.

한편, 해제위치(A)는 테스트트레이를 테스트 핸들러의 다른 구성으로 이동시킬 수 있도록 프레임(4)으로부터 이동 가능한 상태로 전환시키는 위치이다.

또한, 상기 돌출부(21)는 본체(2)의 상방으로 돌출되게 형성되고, 상기 본체(2)의 상면 양측에 복수개가 구비될 수 있으며, 바람직하게는 상기 지지부(6)와 일치하는 개수로 구비될 수 있다.

상기 개방유닛(3)은 본체(2)에 승하강 가능하게 결합되고, 상기 본체(2)에서 상하 이동하면서 테스트트레이의 캐리어모듈을 개방시키며, 개방핀(31)을 포함한다.

또한, 상기 개방유닛(3)은 본체(2)의 타단(2b)에서 상기 본체(2) 및 테스트트레이보다 작은 크기로 형성되는 것이 바람직하고, 그에 따라 상기 개방유닛(3)의 상측을 개방영역(B)으로 규정한다.

여기서, 상기 개방유닛(3)은 테스트트레이가 이동하는 경로를 방해하지 않도록, 테스트트레이의 이동시에는 도 3에 도시된 바와 같이 하강하며, 그에 따라 테스트트레이의 캐리어모듈은 폐쇄된다.

테스트트레이의 이동이 정지되면, 도 4에 도시된 바와 같이 상승하고, 그에 따라 개방영역(B)에 위치한 캐리어모듈을 개방시킨다.

이 경우, 상기 개방유닛(3)은 본체(2)에 고정되는 실린더의 로드(C)에 결합되고, 로드(C)의 승하강에 따라 상하 이동하도록 구현될 수 있다.

상기 개방핀(31)은 상술한 종래의 개방핀(202, 도 2에 도시됨)과 마찬가지로 캐리어모듈의 소정 위치를 가압하여 캐리어모듈을 개방시킬 수 있다.

또한, 상기 개방유닛(3)은 도시되지는 않았지만, 상술한 종래의 안내핀(201, 도 2에 도시됨)을 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 프레임(4)은 본체(2)의 상측에서 테스트트레이를 홀딩하고, 상기 테스트트레이의 캐리어모듈이 상기 개방영역(B)에 순차적으로 위치하도록 이동하며, 홀딩구(41) 및 걸림부(42)를 포함한다.

또한, 상기 프레임(4)은 전체적으로 일측에 개방공간(4a)을 규정하는 'ㄷ'형태로 형성되고, 상기 개방공간(4a)에 테스트트레이가 삽입되며, 테스트트레이의 양측을 홀딩할 수 있도록 복수개가 구비되는 것이 바람직하다.

상기 홀딩구(41)는 프레임(4)의 개방공간(4a)으로 돌출되게 형성되어 테스트트레이를 홀딩하고, 상기 프레임(4)에 탄성부재를 통해 탄성적으로 지지되면서 회전 가능하게 결합된다.

또한, 상기 홀딩구(41)는 테스트트레이에 작용하는 외력의 방향에 따라 회전하면서 테스트트레이를 홀딩하거나 홀딩을 해제한다.

이를 도 5를 참고하여 더 구체적으로 살펴보면, 상기 홀딩구(41)는 테스트트레이에 일측 방향(화살표 D방향)으로 외력이 작용하면, 탄성부재의 탄성력에 의해 회전이 차단됨으로써 테스트트레이를 홀딩한다.

또한, 테스트트레이에 타측 방향(화살표 E방향)으로 외력이 작용하면, 탄성부재가 압축되면서 회전하게 되고, 그에 따라 테스트트레이에 대한 홀딩을 해제한 다.

상기 걸림부(42)는 개방유닛(3)에 의해 캐리어모듈이 개방될 시에 상기 본체(2)의 저면에 지지되고, 그에 따라 상기 프레임(4) 및 테스트트레이가 본체(2)의 상측으로 들리는 것을 방지한다.

따라서, 상기 개방유닛(3)의 가압에 의해 테스트트레이 및 프레임(4)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 상기 걸림부(42)는 프레임(4)이 본체(2)의 상측에서 테스트트레이를 홀딩하는 경우, 상기 프레임(4)으로부터 본체(2)의 저면까지 연장되고, 그 연장면에서 상기 본체(2)의 저면에 지지되도록 돌출되게 형성될 수 있다.

한편, 상기 걸림부(42)는 본체(2)의 저면에 충분히 지지될 수 있도록, 상기 프레임(4)에서 일정 거리로 이격되어 복수개가 형성될 수 있다.

도 3 내지 도 5를 참고하면, 상기 이송부(5)는 본체(2)에 결합되고, 상기 프레임(4)을 이동시키면서 테스트트레이의 캐리어모듈을 상기 개방영역(B)에 순차적으로 위치시키며, 가이드부(51), 연결부(52), 및 동력전달부(53)를 포함한다.

또한, 상기 이송부(5)는 테스트트레이를 상기 본체(2)의 내측 및 외측 간에 이동시키면서 캐리어모듈을 개방영역(B)에 순차적으로 이동시킬 수 있다. 이는, 상술한 바와 같이, 상기 개방유닛(3)이 본체(2) 및 테스트트레이보다 작은 크기로 형성되기 때문이다.

따라서, 테스트트레이의 대형화에 따른 본체(2) 및 개방유닛(3)의 대형화를 최소화함으로써, 개방유닛(3)의 제조를 위해 소요되는 자재의 증가량을 줄일 수 있 고, 그에 따라 제조단가를 낮출 수 있다.

상기 가이드부(51)는 본체(2)의 내측에 결합되고, 상기 연결부(52)의 이동경로를 안내하며, 복수개가 구비될 수 있다. 이 경우, 상기 가이드부(51)는 가이드레일을 포함하여 이루어질 수 있다.

한편, 상기 가이드부(51)는 상기 본체(2)의 저면 내측에 형성되는 것이 바람직하다. 따라서, 상기 개방유닛(3)이 테스트트레이의 이동을 방해하지 않으면서, 캐리어모듈을 개방시키기 위해 상하 이동하는 거리를 줄일 수 있다.

상기 연결부(52)는 가이드부(51)에 이동 가능하게 결합되고, 상기 가이드부(51)에 의해 이동경로가 안내되어 이동하면서 상기 프레임(4) 및 테스트트레이를 이동시키며, 프레임결합부(521), 연결블록(522), 및 이동블록(523)을 포함한다.

또한, 상기 연결부(52)는 복수개가 구비되는 상기 프레임(4)을 이동시킬 수 있도록 그에 상응하는 개수로 형성되는 것이 바람직하다.

한편, 상기 연결부(52)는 전체적으로 'ㄴ'형태로 형성될 수 있고, 그에 따라 상기 본체(2)의 상측에서 이동하는 프레임(4) 및 본체(2)의 저면에 형성되는 가이드부(51)에 각각 결합될 수 있다.

상기 프레임결합부(521)는 프레임(4)과 결합되고, 그에 따라 상기 연결부(52)의 이동시 상기 프레임(4)이 함께 이동할 수 있도록 한다.

상기 연결블록(522)은 가이드부(51)에 이동 가능하게 결합되고, 상기 가이드부(51)의 가이드레일에 대응되는 가이드블록을 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 이동블록(523)은 동력전달부(53)에 결합되고, 상기 동력전달부(53)로부 터 구동력을 제공받아 상기 연결부(52)가 이동할 수 있도록 한다.

또한, 상기 이동블록(523)은 이것이 결합되는 동력전달부(53)가 V벨트를 포함하여 이루어지는 경우, 상기 V벨트에 대응하는 형태로 이루어져, 상기 V벨트의 이동에 따라 함께 이동할 수 있다.

도 5를 참고하면, 상기 동력전달부(53)는 동력원(F)으로 제공되는 동력을 상기 연결부(52)에 전달하고, 회전부(531), 제1전달부(532), 및 제2전달부(533)을 포함한다.

상기 회전부(531)는 전체적으로 원반형태로 형성되고, 동력원(F)으로부터 동력을 제공받아 회전하면서 상기 제1전달부(532)를 통해 연결부(52)를 이동시킨다.

또한, 상기 회전부(531)는 도시되지는 않았지만, 복수개가 구비되는 상기 연결부(52)를 이동시킬 수 있도록 그에 상응하는 개수로 형성되는 것이 바람직하다. 이 경우, 복수개의 동력원(F)과 각각 연결될 수 있으며, 동력원(F)은 회전모터가 사용될 수 있다.

상기 제1전달부(532)는 회전부(531)에 연결되고, 상기 회전부(531)의 회전운동을 선형운동으로 전환시켜 상기 연결부(52)를 선형이동시킨다.

여기서, 상기 제1전달부(532)는 풀리 및 벨트를 포함하여 이루어질 수 있다. 상기 풀리는 벨트를 통해 회전부(531)로부터 회전력을 제공받아 회전한다. 상기 벨트는 이동블록(523)이 결합되고, 그에 따라 상기 이동블록(523)을 선형이동시킨다.

또한, 상기 제1전달부(532)는 회전부(531)와 볼스크류 방식으로 연결되어 상기 이동블록(523)을 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 회전부(531) 및 상기 제1전 달부(532)가 나사체결되고, 상기 회전부(531)가 회전하면 그 체결정도에 따라 상기 제1전달부(532)가 이동하면서 연결부(52)를 선형이동시킬 수 있다.

이와 같이, 상기 제1전달부(532)는 회전부(531)의 회전운동을 선형운동으로 전환시킬 수 있도록 다양한 구성 및 연결방식에 의해 구현될 수 있다.

한편, 상기 제1전달부(532)는 복수개가 구비되는 상기 연결부(52)를 이동시킬 수 있도록 그에 상응하는 개수로 형성되는 것이 바람직하다.

상기 제2전달부(533)는 하나의 동력원(F)에 의해 제공되는 동력으로 복수개가 구비되는 상기 회전부(531)를 동시에 회전시키고, 이를 위해 복수개가 구비되는 상기 회전부(531)간을 연결한다.

여기서, 상기 제2전달부(533)는 일측 및 타측에 각각 회전부(531)가 연결되며, 하나의 동력원(F)으로부터 동력을 제공받아 회전할 수 있도록 연결된다.

또한, 상기 동력원(F)이 제2전달부(533)로부터 일정 거리 이격되어 형성되면, 상기 제2전달부(533)는 풀리 및 벨트를 포함하여 이루어질 수 있다.

도 6a 및 도 6b를 참고하면, 상기 지지부(6)는 프레임(4)의 이동시 연결부(52)에 결합되어 함께 이동하면서 테스트트레이를 지지하고, 테스트트레이가 해제위치(A)로 이동하면 지지를 해제하며, 연결축(61), 탄성구(62), 및 회전체(63)를 포함한다.

또한, 상기 지지부(6)는 전체적으로 일단(6a)이 상측으로 돌출되는 'ㄴ'형태로 형성되고, 그 돌출된 일단(6a)으로 테스트트레이를 지지할 수 있다.

한편, 상기 지지부(6)는 프레임(4)이 테스트트레이의 양측을 지지할 수 있도 록 복수개가 구비되는 경우, 그에 상응하는 개수로 형성되는 것이 바람직하다.

여기서, 상기 지지부(6)가 구비되는 이유를 구체적으로 살펴보면, 상술한 바와 같이 상기 프레임(4)의 홀딩구(41)는 테스트트레이에 작용하는 외력의 방향에 따라 회전하면서 테스트트레이를 홀딩하거나 홀딩을 해제한다.

즉, 상기 홀딩구(41)는 테스트트레이에 일측 방향(화살표 D방향)으로 외력이 작용하면 테스트트레이를 홀딩하지만, 테스트트레이에 타측 방향(화살표 E방향)으로 외력이 작용하면 테스트트레이에 대한 홀딩을 해제한다.

따라서, 상기 테스트트레이가 프레임(4)에 홀딩되어 일측 방향(화살표 D방향)으로 이동을 시작하면, 관성력에 의해 타측 방향(화살표 E방향)으로 외력이 작용하게 되고, 그에 따라 홀딩구(41)의 홀딩이 해제되어 테스트트레이가 임의로 이탈될 수 있다.

이는 상기 테스트트레이가 타측 방향(화살표 E방향)으로 이동하다가 정지하는 경우에도 마찬가지이며, 기타 다양한 외력에 의해 테스트트레이에 타측 방향(화살표 E방향)으로 외력이 작용하는 경우를 포함한다.

이를 방지하기 위해, 상기 지지부(6)가 구비되는 것이며, 상기 지지부(6)는 테스트트레이에 타측 방향(화살표 E방향)으로 외력이 작용하여 홀딩구(41)의 홀딩이 해제되는 경우에도, 테스트트레이가 임의로 이탈되지 않도록 지지한다.

상기 연결축(61)은 연결부(52)에 회전 가능하게 결합되고, 그에 따라 상기 지지부(6)가 연결부(52)의 이동에 따라 함께 이동할 수 있도록 하고, 상기 지지부(6)의 회전축으로서 기능한다.

또한, 상기 연결축(61)은 지지부(6)의 일단(6a) 및 타단(6b) 사이에 형성되는 것이 바람직하다.

상기 탄성구(62)는 지지부(6) 및 연결부(52)를 탄성적으로 연결하고, 상기 연결축(61) 및 타단(6b) 사이에서 지지부(6)와 결합될 수 있다. 바람직하게는 도 6a의 확대도에 도시된 바와 같이, 상기 타단(6b) 외측(6c)에서 지지부(6)와 결합될 수 있다.

이에 따라, 상기 탄성구(62)는 지지부(6)의 일단(6a)이 테스트트레이를 지지하고, 지지부(6)의 타단(6b)이 본체의 상면에 지지되도록 탄성력을 제공한다.

또한, 상기 탄성구(62)는 지지부(6)가 해제위치(A)로 이동함에 따라, 상기 지지부(6)의 타단(6b)이 상기 돌출부(21)에 지지되면, 인장되면서 상기 지지부(6)가 회전할 수 있도록 한다.

그에 따라 상기 지지부(6)의 테스트트레이에 대한 지지가 해제되고, 테스트트레이는 테스트 핸들러의 다른 구성으로 이동할 수 있는 상태로 전환된다.

따라서, 간단한 구성만으로 테스트트레이를 안정적으로 지지하면서 이동시켜 캐리어모듈을 순차적으로 개방시킬 수 있을 뿐만 아니라, 테스트트레이를 테스트 핸들러의 다른 구성으로 이동할 수 있는 상태로 자동 전환시킬 수 있다.

상기 회전체(63)는 지지부(6)의 일단(6a) 및 타단(6b)에 각각 결합되고, 각각의 중심축을 기준으로 회전한다.

따라서, 상기 회전체(63)는 테스트트레이의 이동시, 회전하면서 본체(2)의 상면 및 지지부(6)의 타단(6b) 간에 마찰이 발생하는 것을 최소화할 수 있고, 그에 따라 마찰에 의한 손상을 방지할 수 있다.

또한, 상기 회전체(63)는 지지부(6)의 회전시, 회전하면서 지지부(6)의 일단(6a) 및 테스트트레이 간의 접촉면에서 발생하는 마찰을 최소화함으로써, 마찰에 의한 각 구성의 손상을 방지할 수 있다.

이하에서는 본 발명에 따른 캐리어모듈 개방장치의 작동관계에 관한 바람직한 실시예를 첨부된 도 3 내지 도 6b를 참고하여 상세히 설명한다.

먼저, 상기 프레임(4)에 테스트트레이가 홀딩된 상태에서, 상기 개방유닛(3)이 상승하여 개방영역(B)에 위치한 테스트트레이의 일부 캐리어모듈을 개방시킨다. 이 경우, 프레임(4) 및 테스트트레이는 상기 걸림부(42)에 의해 상측으로 들리는 것이 방지될 수 있다.

여기서, 상기 테스트트레이의 캐리어모듈이 비어있는 상태라면, 개방된 캐리어모듈에 반도체 소자가 장착되는 로딩공정이 이루어질 수 있다. 상기 테스트트레이의 캐리어모듈에 반도체 소자가 장착되어 있는 상태라면, 개방된 캐리어모듈로부터 반도체 소자가 분리되는 언로딩공정이 이루어질 수 있다.

또한, 개방된 캐리어모듈로부터 반도체 소자가 분리되면 캐리어모듈은 비게되는데, 이러한 비게되는 캐리어모듈이 개방된 상태를 그대로 이용하여 로딩공정이 이루어질 수 있다.

다음, 개방된 캐리어모듈에 대해 상기와 같은 작업이 완료되면, 상기 개방유닛(3)이 하강하여 개방영역(B)에 위치한 테스트트레이의 캐리어모듈을 폐쇄시킨다. 이에 따라 반도체 소자는 캐리어모듈의 랫치에 의해 고정된다.

다음, 상기 연결부(52)가 동력전달부(53)로부터 동력을 전달받아 이동하고, 상기 프레임(4) 및 테스트트레이가 함께 이동한다.

이 경우, 동력원(F)이 작동하면, 상기 제2전달부(533)가 회전하게 되고, 상기 제2전달부(533)의 양측에 연결된 회전부(531)가 함께 회전하게 된다. 상기 회전부(531)의 회전에 따라 제1전달부(532)를 통해 상기 이동블록(523)이 선형 이동하게 되고, 그에 따라 상기 연결부(52), 프레임(4), 및 테스트트레이가 이동한다.

다음, 상기 개방영역(B)에 다른 일부의 캐리어모듈이 위치하게 되면, 상기 연결부(52)는 이동을 정지한다.

다음, 상기 개방유닛(3)이 상승하여 개방영역(B)에 위치한 테스트트레이의 다른 일부의 캐리어모듈을 개방시킨다.

여기서, 테스트트레이의 이동 및 정지시 테스트트레이에 타측 방향(화살표 E방향)으로 외력이 작용하게 되면, 상기 지지부(6)가 테스트트레이를 지지함으로써 테스트트레이의 이탈을 방지할 수 있다.

상기와 같은 과정을 통해, 상기 테스트트레이는 본체(2)의 내측 및 외측 간을 이동하면서 개방영역(B)에 순차적으로 위치하면서 개방된다.

다음, 모든 캐리어모듈에 대한 순차적인 개방을 완료한 후에, 캐리어모듈이 폐쇄된 상태에서, 상기 연결부(52)는 테스트트레이를 해제위치(A)로 이동시킨다.

다음, 상기 테스트트레이가 해제위치(A)로 이동되면, 상기 지지부(6)는 그 타단(6b)이 돌출부(21)에 지지되어 회전하게 된다. 이에 따라 테스트트레이에 대한 상기 지지부(6)의 지지는 해제되며, 테스트트레이는 테스트 핸들러의 다른 구성으 로 이동할 수 있는 상태로 전환된다.

다음, 다른 테스트트레이가 프레임(4)에 삽입된 상태에서, 상기 테스트트레이(A)가 이동하여 해제위치(A)로부터 이격되면, 상기 지지부(6)는 탄성구(62)에 의해 본래의 위치로 복원되어 테스트트레이를 지지한다.

이하에서는, 본 발명에 따른 캐리어모듈 개방장치를 포함하는 테스트 핸들러의 구성에 대한 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 7은 본 발명에 따른 테스트 핸들러를 개략적으로 나타낸 평면도, 도 8은 본 발명에 따른 테스트 핸들러에서 캐리어모듈 개방장치가 교환부에 적용된 상태를 개략적으로 나타낸 사시도, 도 9는 도 8에서 교환부가 회전되어 테스트트레이를 수직상태로 전환시킨 작동상태도이다.

도 7 내지 도 9를 참고하면, 본 발명에 따른 테스트 핸들러(10)는 로딩스택커(11), 언로딩스택커(12), 픽커부(13), 버퍼부(14), 교환부(15), 챔버부(16), 및 캐리어모듈 개방장치(1)를 포함한다.

상기 로딩스택커(11)는 테스트할 반도체 소자들이 담겨진 복수개의 고객트레이를 수납한다. 반도체 소자들이 모두 이송되어 비게되는 고객트레이는 상기 언로딩스택커(12)로 이송되어 적재된다.

상기 언로딩스택커(12)는 등급별로 서로 다른 위치에 적재되는 복수개의 빈 고객트레이를 수납한다. 이러한, 빈 고객트레이에는 테스트 완료된 반도체 소자들이 등급별로 분류되어 담겨진다.

상기 픽커부(13)는 복수개의 반도체 소자들을 픽업하여 이송하고, 제1픽 커(131) 및 제2픽커(132)를 포함한다.

상기 제1픽커(131)는 복수개가 구비되어 X-Y 축으로 선형이동하면서, 테스트할 반도체 소자들을 로딩스택커(11)의 고객트레이로부터 픽업하여 버퍼부(14)로 이송한다. 또한, 테스트가 완료된 반도체 소자들을 버퍼부(14)로부터 픽업하여 언로딩스택커(12)의 고객트레이로 이송한다.

상기 제2픽커(132)는 복수개가 구비되어 X축으로 선형이동하면서, 버퍼부(14) 및 교환부(15) 간에 반도체 소자들을 픽업하여 이송한다.

상기 버퍼부(14)는 반도체 소자들을 일시적으로 장착하고, 로딩버퍼부(141) 및 언로딩버퍼부(142)를 포함한다.

상기 로딩버퍼부(141)는 Y축으로 선형이동하면서, 상기 제1픽커(131)에 의해 로딩스택커(11)의 고객트레이로부터 이송되는 반도체 소자들을 일시적으로 장착한다. 이러한 반도체 소자들은 상기 제2픽커(132)에 의해 상기 교환부(15)로 이송된다.

상기 언로딩버퍼부(142)는 Y축으로 선형이동하면서, 상기 제2픽커(132)에 의해 교환부(15)로부터 이송되는 반도체 소자들을 일시적으로 장착한다. 이러한 반도체 소자들은 상기 제1픽커(131)에 의해 상기 언로딩스택커(12)의 고객트레이로 이송된다.

상기 교환부(15)는 테스트할 반도체 소자들이 장착된 테스트트레이를 상기 챔버부(16)로 공급하고, 테스트 완료된 반도체 소자들이 장착된 테스트트레이를 상기 챔버부(16)로부터 공급받는다.

또한, 상기 교환부(15)에서는 테스트할 반도체 소자들이 테스트트레이에 장착되는 로딩공정, 및 테스트 완료된 반도체 소자들이 테스트트레이로부터 분리되어 테스트 결과에 따라 분류되는 언로딩공정이 이루어진다. 이를 위해 상기 교환부(15)에는 상기 캐리어모듈 개방장치(1)가 설치된다.

한편, 상기 교환부(15)는 로딩공정이 이루어지는 로딩부, 및 언로딩공정이 이루어지는 언로딩부를 포함하여 이루어질 수 있다. 이 경우 상기 로딩부 및 언로딩부는 상호간에 분리되어 개별적으로 구성될 수 있으며, 상기 캐리어모듈 개방장치(1)는 로딩부 및 언로딩부에 각각 설치되는 것이 바람직하다.

여기서, 상기 캐리어모듈 개방장치(1)는 테스트트레이(T)를 회전시킬 수 있도록 구현될 수 있는데, 이는 상기 챔버부(16)에서 테스트트레이(T)를 수직상태로 이송하면서 테스트하기 위함이다.

이를 위해 상기 본체(2)는 핸들러본체(G)에 회전 가능하게 결합되어 테스트트레이를 회전시키며, 회전축연결부(22)를 포함하여 이루어진다.

상기 회전축연결부(22)는 핸들러본체에 구비되는 회전축(도시되지 않음)에 결합되고, 동력원으로부터 회전축을 통해 회전력을 제공받는다.

이 경우, 상기 본체(2)는 테스트할 반도체 소자가 담겨진 테스트트레이(T)를 회전시켜 수직상태로 전환시키고(도 9에 도시됨), 테스트가 완료된 반도체 소자가 담겨진 테스트트레이(T)를 회전시켜 수평상태로 전환시킬 수 있다(도 8에 도시됨).

상기 챔버부(16)는 테스트트레이를 이동시키면서 반도체 소자들에 대한 테스트공정을 수행하고, 제1챔버(161), 테스트챔버(162), 및 제2챔버(163)를 포함한다.

상기 제1챔버(161)는 교환부(15)로부터 공급받은 테스트트레이(T)를 한스텝씩 이동시키면서, 테스트할 반도체 소자들을 테스트 조건에 상응하는 온도(이하, '테스트 온도'라 함)로 가열 또는 냉각한다. 반도체 소자들이 테스트 온도로 조절되면, 테스트트레이(T)는 상기 테스트챔버(162)로 이동한다.

상기 테스트챔버(162)는 테스트장비의 테스트보드(H) 일부 또는 전부가 내측으로 삽입되도록 결합되고, 상기 테스트보드(H)에 테스트트레이(T)의 반도체 소자들을 접속시켜 테스트한다. 반도체 소자들에 대한 테스트가 완료되면, 테스트트레이(T)는 상기 제2챔버(163)로 이동한다.

상기 제2챔버(163)는 테스트트레이를 한스텝씩 이동시키면서, 테스트 완료된 반도체 소자들을 상온으로 복원시킨다. 반도체 소자들이 상온으로 복원되면, 테스트트레이는 상기 교환부(15)로 공급된다.

여기서, 상기 챔버부(16)는 제1챔버(161), 테스트챔버(162), 및 제2챔버(163)가 수평으로 배열되어 설치될 수 있으나, 상하로 적층 배열되면서 설치될 수도 있다.

상기 제1챔버(161), 테스트챔버(162), 및 제2챔버(163)가 상하로 적층 배열되면서 설치되는 경우, 상기 본체(2)는 테스트트레이를 해제위치(A, 도 6b에 도시됨)에 위치시킨 상태에서 회전시켜 수직상태로 전환시키는 것이 바람직하다.

이는 테스트트레이(T)에 대한 지지부(6, 도 6b에 도시됨)의 지지를 해제시킨 상태에서 수직상태로 전환시킴으로써, 테스트트레이(T)를 그 상측에 설치되는 상기 제1챔버(161)로 공급하기 위함이다.

이하에서는 본 발명에 따른 캐리어모듈 개방장치를 이용한 반도체 소자 제조방법의 바람직한 실시예를 첨부된 도 3 내지 도 9를 참고하여 상세히 설명한다.

우선, 반도체 소자를 준비한다. 상기 반도체 소자는 메모리 또는 비메모리 반도체 소자, 모듈아이씨 등을 포함한다.

상기 반도체 소자를 준비하는 공정은 고객 트레이에 반도체 소자를 담아 로딩스택커(11)에 적재하는 공정으로 이루어질 수 있다.

다음, 상기 캐리어모듈 개방장치를 이용하여 테스트트레이의 캐리어모듈을 개방시킨다.

이 공정은 테스트트레이를 이동시켜 개방영역(B)에 위치시키고, 상기 개방유닛(3)이 상승하여 일부의 캐리어모듈을 개방시키는 공정으로 이루어질 수 있다.

또한, 이 공정은 테스트트레이(T)를 이동시켜 일부의 캐리어모듈을 개방영역(B)에 위치시키는 단계, 개방유닛(3)이 상승하여 개방영역(B)에 위치한 캐리어모듈을 개방시키는 단계, 개방유닛(3)이 하강하여 개방영역(B)에 위치한 캐리어모듈을 폐쇄시키는 단계, 및 테스트트레이(T)를 이동시켜 다른 일부의 캐리어모듈을 개방영역에 위치시키는 단계를 포함하여 이루어질 수 있다.

이와 같은 공정을 반복적으로 진행함으로써, 테스트트레이(T)의 모든 캐리어모듈을 순차적으로 개방시킨 후에, 캐리어모듈을 폐쇄시킬 수 있다.

다음, 테스트할 반도체 소자들을 테스트트레이의 개방된 캐리어모듈에 장착한다.

이 공정은 상기 제1픽커(131) 및 제2픽커(132)에 의해 반도체 소자를 로딩스 택커(11)의 고객트레이로부터 버퍼부(14)를 거쳐 교환부(15)의 테스트트레이(T)에 장착하는 공정으로 이루어질 수 있다.

이 경우, 개방영역(B)에 순차적으로 위치하면서 개방되는 캐리어모듈에 반도체 소자를 장착하고, 상기 캐리어모듈은 비어있는 상태인 것이 바람직하다.

또한, 상기 교환부(15)가 로딩부 및 언로딩부로 분리되어 형성되는 경우 로딩부에 위치한 테스트트레이(T)의 개방된 캐리어모듈에 반도체 소자를 장착할 수 있다.

다음, 반도체 소자의 장착이 완료되어 상기 테스트트레이에 담겨진 반도체 소자들을 테스트 온도로 조절한다.

이 공정은 상기 제1챔버(161)에서 테스트트레이(T)를 한스텝씩 이동시키면서, 반도체 소자들을 테스트 온도로 가열 또는 냉각하는 공정으로 이루어질 수 있다.

이 경우 상기 테스트트레이(T)는 교환부(15)로부터 공급받은 테스트트레이(T)이고, 테스트할 반도체 소자들이 장착되어 있는 것이 바람직하다.

다음, 테스트 온도로 조절된 반도체 소자들을 테스트장비에 접속시켜 테스트한다.

이 공정은 상기 테스트챔버(162)에서 테스트트레이(T)를 테스트보드(H) 측으로 수평 이동시켜, 반도체 소자들을 테스트보드(H)에 접속시켜 테스트하는 공정으로 이루어질 수 있다.

이 경우 상기 테스트트레이(T)는 제1챔버(161)로부터 공급받은 테스트트레 이(T)이고, 테스트 온도로 조절된 반도체 소자들이 장착되어 있는 것이 바람직하다.

다음, 테스트가 완료된 반도체 소자들을 상온으로 복원시킨다.

이 공정은 상기 제2챔버(163)에서 테스트트레이(T)를 한스텝씩 이동시키면서, 반도체 소자들을 상온으로 복원시키는 공정으로 이루어질 수 있다.

이 경우 상기 테스트트레이(T)는 테스트챔버(162)로부터 공급받은 테스트트레이(T)이고, 테스트가 완료된 반도체 소자들이 장착되어 있는 것이 바람직하다.

다음, 상온으로 복원된 반도체 소자들을 상기 테스트트레이의 개방된 캐리어모듈로부터 분리하여 테스트 결과에 따라 분류한다.

이 공정은 상기 제2픽커(132) 및 제1픽커(131)에 의해 반도체 소자를 교환부(15)의 테스트트레이(T)로부터 분리한 후에, 버퍼부(14)를 거쳐 테스트 결과에 따라 등급별로 언로딩스택커(12)의 고객트레이에 수납하는 공정으로 이루어질 수 있다. 이 경우, 개방영역(B)에 순차적으로 위치하면서 개방되는 캐리어모듈로부터 반도체 소자를 분리하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 교환부(15)가 로딩부 및 언로딩부로 분리되어 형성되는 경우 언로딩부에 위치한 테스트트레이(T)로부터 반도체 소자를 분리할 수 있다.

또한, 상기 테스트트레이(T)는 제2챔버(163)로부터 공급받은 테스트트레이(T)이고, 상온으로 복원된 반도체 소자들이 장착되어 있는 것이 바람직하다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.

본 발명은 앞서 본 구성 및 작동관계에 의해 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.

본 발명은 개방유닛의 대형화를 최소화하면서, 더 많은 반도체 소자를 장착할 수 있는 테스트트레이의 캐리어모듈을 손상없이 개방시킬 수 있으며, 그에 따라 더 많은 반도체 소자들을 안정적으로 테스트할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

본 발명은 캐리어모듈을 개방시키기 위해 승하강하는 개방유닛의 이동거리를 줄임으로써, 개방영역에 위치한 캐리어모듈을 정확하고 안정적으로 개방시킬 수 있을 뿐만 아니라, 작업시간을 단축시킬 수 있는 효과를 이룰 수 있다.

본 발명은 캐리어모듈을 개방시키기 위한 테스트트레이의 이동시 테스트트레이를 안정적으로 홀딩할 수 있도록 구현하여, 작업의 효율성 및 안정성을 향상시킬 수 있는 효과를 가진다.

본 발명은 간결한 구성으로 반도체 소자들의 로딩공정 및 언로딩공정을 수행할 수 있도록 구현하여, 제조단가를 낮출 수 있음과 동시에 작동에러를 줄일 수 있는 효과를 도모할 수 있다.

본 발명은 테스트트레이를 안정적으로 홀딩하면서 이동시킬 수 있을 뿐만 아니라, 테스트트레이를 테스트 핸들러의 다른 구성으로 이동 가능한 상태로 자동 전환시킬 수 있어 구성의 간결함 및 작업의 효율성을 향상시킬 수 있다.

Claims (17)

1. 복수개의 캐리어모듈을 가지는 테스트트레이를 홀딩하는 프레임;

   상기 캐리어모듈을 개방시키는 개방핀을 포함하고, 상하 이동하면서 상기 캐리어모듈을 개방시키기 위한 개방영역을 형성하는 개방유닛;

   상기 프레임을 이동시키면서, 상기 테스트트레이의 캐리어모듈을 상기 개방영역에 순차적으로 위치시키는 이송부; 및

   상기 이송부가 결합되는 본체를 포함하는 캐리어모듈 개방장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 이송부는 테스트트레이를 상기 본체의 내측 및 외측간에 이동시키면서 개방영역에 순차적으로 위치시키고,

   상기 개방유닛은 상기 본체에 승하강 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈 개방장치.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 이송부는

   상기 본체의 저면 내측에 결합되는 가이드부; 및

   상기 가이드부에 이동가능하게 결합되어 상기 가이드부에 의해 이동경로가 안내되는 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈 개방장치.
4. 제 3 항에 있어서, 상기 이송부는 동력원으로부터 제공되는 동력을 상기 연 결부에 전달하는 동력전달부를 포함하고;

   상기 동력전달부는 동력원으로부터 동력을 제공받아 회전하는 회전부, 및 상기 회전부의 회전운동을 선형운동으로 전환시켜 상기 연결부를 선형이동시키는 제1전달부를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈 개방장치.
5. 제 4 항에 있어서, 상기 연결부는

   상기 프레임과 결합되는 프레임결합부;

   상기 가이드부에 이동 가능하게 결합되는 연결블록; 및

   상기 제1전달부에 결합되는 이동블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈 개방장치.
6. 제 5 항에 있어서, 상기 프레임은 테스트트레이의 양측을 홀딩할 수 있도록 복수개가 구비되고;

   상기 연결부, 상기 가이드부, 상기 회전부, 및 상기 제1전달부는 복수개가 구비되는 상기 프레임을 이동시킬 수 있도록 복수개가 구비되는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈 개방장치.
7. 제 6 항에 있어서, 상기 동력전달부는 하나의 동력원에 의해 복수개가 구비되는 상기 회전부를 동시에 회전시키는 제2전달부를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈 개방장치.
8. 제 3 항에 있어서, 상기 프레임은 상기 본체의 상측에서 테스트트레이를 홀딩할 수 있도록 형성되고, 걸림부를 포함하며;

   상기 걸림부는 상기 개방유닛에 의해 상기 캐리어모듈이 개방될 시에 상기 본체의 저면에 지지되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈 개방장치.
9. 제 1 항에 있어서, 상기 프레임은 테스트트레이에 일측 방향으로 외력이 작용하면 홀딩하고, 테스트트레이에 타측 방향으로 외력이 작용하면 홀딩을 해제하는 홀딩구를 포함하고;

   상기 캐리어모듈 개방장치는 상기 프레임의 이동시 상기 테스트트레이를 지지하며, 상기 테스트트레이가 해제위치로 이동하면 지지를 해제하는 지지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈 개방장치.
10. 제 9 항에 있어서, 상기 이송부는 상기 프레임과 결합되어 함께 이동하는 연결부를 포함하고;

    상기 지지부는 상기 연결부에 회전 가능하게 결합되는 연결축을 포함하며;

    상기 본체는 상기 해제위치에 형성되어 상기 지지부를 회전시켜 상기 테스트트레이에 대한 지지를 해제시키는 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈 개방장치.
11. 제 10 항에 있어서, 상기 지지부는 탄성구를 포함하고;

    상기 탄성구는 상기 지지부 및 상기 연결부를 탄성적으로 연결하며;

    상기 지지부는 일단 및 타단에 각각 결합되는 회전체를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈 개방장치.
12. 테스트트레이에 담겨진 반도체 소자들을 테스트 온도로 조절하는 제1챔버;

    테스트 온도로 조절된 테스트트레이의 반도체 소자들을 테스트장치에 접속시키는 테스트챔버;

    테스트가 완료된 테스트트레이의 반도체 소자들을 상온으로 복원시키는 제2챔버;

    테스트트레이에 테스트할 반도체 소자를 장착하여 상기 제1챔버에 공급하고, 상기 제2챔버로부터 테스트트레이를 공급받아 테스트가 완료된 반도체 소자를 테스트트레이로부터 분리하여 테스트 결과에 따라 분류하는 교환부; 및

    상기 교환부에 설치되는 상기 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 하나의 캐리어모듈 개방장치를 포함하는 테스트 핸들러.
13. 제 12 항에 있어서, 상기 교환부는 테스트할 반도체 소자들을 테스트트레이에 장착하는 로딩부, 및 테스트가 완료된 반도체 소자들을 테스트트레이로부터 분리하여 테스트 결과에 따라 분류하는 언로딩부를 포함하고;

    상기 캐리어모듈 개방장치는 상기 로딩부 및 상기 언로딩부에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
14. 제 12 항에 있어서, 상기 본체는 핸들러본체에 회전가능하게 결합되고, 핸들러본체에 구비되는 회전축에 결합되는 회전축연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
15. 제 14 항에 있어서, 상기 제1챔버, 상기 테스트챔버, 및 상기 제2챔버는 상하로 적층 배열되면서 설치되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
16. 반도체 소자를 준비하는 단계;

    상기 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 하나의 캐리어모듈 개방장치를 이용하여 테스트트레이의 캐리어모듈을 개방시키는 단계;

    테스트할 반도체 소자들을 테스트트레이의 개방된 캐리어모듈에 장착하는 단계;

    반도체 소자의 장착이 완료되어 상기 테스트트레이에 담겨진 반도체 소자들을 테스트 온도로 조절하는 단계;

    테스트 온도로 조절된 반도체 소자들을 테스트장비에 접속시켜 테스트하는 단계;

    테스트가 완료된 반도체 소자들을 상온으로 복원시키는 단계; 및

    상온으로 복원된 반도체 소자들을 상기 테스트트레이의 개방된 캐리어모듈로 부터 분리하여 테스트 결과에 따라 분류하는 단계를 포함하는 반도체 소자 제조방법.
17. 제 16 항에 있어서, 상기 테스트트레이의 캐리어모듈을 개방시키는 단계는

    테스트트레이를 이동시켜 일부의 캐리어모듈을 개방영역에 위치시키는 단계;

    개방유닛이 상승하여 개방영역에 위치한 캐리어모듈을 개방시키는 단계;

    개방유닛이 하강하여 개방영역에 위치한 캐리어모듈을 폐쇄시키는 단계; 및

    테스트트레이를 이동시켜 다른 일부의 캐리어모듈을 개방영역에 위치시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조방법.

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